KR100622227B1 - Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same - Google Patents
Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR100622227B1 KR100622227B1 KR1020040081810A KR20040081810A KR100622227B1 KR 100622227 B1 KR100622227 B1 KR 100622227B1 KR 1020040081810 A KR1020040081810 A KR 1020040081810A KR 20040081810 A KR20040081810 A KR 20040081810A KR 100622227 B1 KR100622227 B1 KR 100622227B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- transistor
- semiconductor layer
- channel
- light emitting
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 194
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 37
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 claims description 6
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 227
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007715 excimer laser crystallization Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1255—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78696—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the structure of the channel, e.g. multichannel, transverse or longitudinal shape, length or width, doping structure, or the overlap or alignment between the channel and the gate, the source or the drain, or the contacting structure of the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
- H10K59/1213—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being TFTs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Geometry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
본 발명은 구동 트랜지스터의 채널이 다중 전류 이동 경로를 갖는 트랜지스터와, 패널 내의 트랜지스터의 균일도를 높여 표시 장치의 화질을 개선할 수 있는 화소 및 발광 표시 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 트랜지스터는 기판 상에 폐루프 모양으로 형성되며, 적어도 두 개의 전류 이동 경로를 갖는 채널과 이 채널의 양단에 접속되는 소오스 및 드레인을 구비하는 제1 반도체층과, 채널에 접하여 형성되는 게이트 절연층, 및 게이트 절연층을 사이에 두고 채널과 마주하는 게이트를 포함한다.The present invention relates to a transistor in which a channel of a driving transistor has a multi-current movement path, and a pixel and a light emitting display device which can improve the image quality of a display device by increasing the uniformity of transistors in a panel. A transistor according to the present invention is formed in a closed loop shape on a substrate, the first semiconductor layer having a channel having at least two current movement paths and a source and a drain connected to both ends of the channel, and formed in contact with the channel. And a gate facing the channel with the gate insulating layer interposed therebetween.
발광 표시 장치, 트랜지스터, 결정화 공정, 다중 전류 이동 경로Light Emitting Display, Transistor, Crystallization Process, Multi-Current Moving Path
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터에 대한 평면도이다.1 is a plan view of a transistor according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터에 고밀도의 결함부가 형성된 경우를 설명하기 위한 평면도이다.2 is a plan view illustrating a case where a high density defect part is formed in a transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 트랜지스터의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the transistor taken along the line III-III of FIG. 1.
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터의 변형예를 나타낸 평면도들이다.4A to 4G are plan views illustrating modified examples of the transistor according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용한 발광 표시 장치의 화소에 대한 레이아웃 도면이다.5 is a layout diagram of pixels of a light emitting display device employing a transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6은 도 5의 화소에 대한 등가 회로도이다.FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of the pixel of FIG. 5.
도 7은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 화소의 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the pixel taken along line VI-VI of FIG. 5.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용할 수 있는 다른 화소 회로에 대한 회로도이다.8 is a circuit diagram of another pixel circuit that may employ a transistor according to an embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용한 발광 표시 장치에 대한 구성도이다. 9 is a configuration diagram of a light emitting display device employing a transistor according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100: 트랜지스터 110: 반도체층100 transistor 110 a semiconductor layer
120: 채널 130: 소오스/드레인 전극120: channel 130: source / drain electrodes
140: 드레인/소오스 전극 150: 비채널 영역140: drain / source electrode 150: non-channel region
160: 게이트 전극160: gate electrode
300: 화소 310: 주사선300: pixel 310: scanning line
320: 데이터선 330: 전원선320: data line 330: power line
340: 제1 트랜지스터 350: 캐패시터340: First transistor 350: Capacitor
360: 제2 트랜지스터 370: 발광 소자360: second transistor 370: light emitting element
700: 발광 표시 장치 710: 주사 구동부700: light emitting display device 710: scan driver
720: 데이터 구동부 730: 화상표시부720: data driver 730: image display unit
740: 화소740 pixels
본 발명은 트랜지스터, 화소 및 발광 표시 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다중 채널을 갖는 트랜지스터와, 패널 내의 트랜지스터의 균일도를 높여 표시장치의 화질을 개선할 수 있는 화소 및 발광 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 형광성 또는 인광성 유기 화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이로 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형화가 용이하며, 광시야각, 빠른 응답속도 등 액정 표시 장치에서 지적되고 있는 문제점을 해결할 수 있는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.In general, an organic light emitting diode display is a self-luminous display that electrically excites fluorescent or phosphorescent organic compounds to emit light, and can be driven at a low voltage, is easy to thin, and is pointed out in a liquid crystal display such as a wide viewing angle and a fast response speed. It is attracting attention as the next generation display that can solve the problem.
이러한 유기 발광 표시 장치는 그 구동 방식에 따라 크게 액티브 매트릭스(active matrix, AM) 방식(이하 능동 구동 방식이라 한다)과 패시브 매트릭스(passive matrix, PM) 방식으로 구분된다. 그 가운데, 능동 구동 방식의 유기 발광 표시 장치는 각 화소당 적어도 2개의 박막 트랜지스터(thin film transistor; 이하, "TFT"라 함)를 구비한다. 이들 박막 트랜지스터는 각 화소의 동작을 제어하는 스위칭 소자 및 픽셀을 구동시키는 구동 소자로 사용된다.The organic light emitting diode display is classified into an active matrix (AM) method (hereinafter referred to as an active driving method) and a passive matrix (PM) method according to the driving method thereof. Among them, the organic light emitting diode display of the active driving method includes at least two thin film transistors (hereinafter, referred to as TFTs) for each pixel. These thin film transistors are used as switching elements for controlling the operation of each pixel and as driving elements for driving the pixels.
상술한 박막 트랜지스터는 기판 상에 고농도의 불순물로 도핑된 드레인 영역과 소스 영역 및 상기 드래인 영역과 소스 영역의 사이에 형성된 채널 영역을 갖는 반도체층과, 이 반도체층 상에 형성된 게이트 절연막과, 게이트 절연막을 사이에 두고 반도체층의 채널 영역 상부에 형성된 게이트 전극과, 게이트 전극 상에서 층간 절연막을 사이에 두고 콘택홀을 통해 드레인 영역과 소스 영역에 접속되는 드레인 전극 및 소스 전극 등으로 구성된다.The above-described thin film transistor includes a semiconductor layer having a drain region and a source region doped with a high concentration of impurities on a substrate, and a channel region formed between the drain region and the source region, a gate insulating film formed on the semiconductor layer, and a gate A gate electrode formed over the channel region of the semiconductor layer with an insulating film interposed therebetween, and a drain electrode and a source electrode connected to the drain region and the source region through a contact hole with an interlayer insulating film interposed therebetween on the gate electrode.
한편, 능동 구동 방식의 유기 발광 표시 장치의 패널에서 구동 트랜지스터의 특성 균일도가 떨어지면, 패널 내에 랜덤 무라(ramdom mura)가 증가하고, 제조 공정에 따라 엑시머 레이저 어닐링(excimer laser annealing: ELA) 라인에 따른 무라가 나타나 화질이 떨어진다. 상술한 구동 트랜지스터의 특성에 대한 불균일은, ELA 공정에서 ELA의 레이저 빔의 진행 방향과 레이저 빔 내에 예기치 않게 발생되는 불균일한 에너지가 분포에 기인한다. 이것은 패널 내의 구동 트랜지스터에 대한 불균일도를 높인다.On the other hand, when the uniformity of the characteristics of the driving transistor in the panel of the organic light emitting display of the active driving method decreases, random mura increases in the panel, and according to the excimer laser annealing (ELA) line according to the manufacturing process. Mura appears and the picture quality deteriorates. The nonuniformity in the characteristics of the above-described driving transistor is caused by the distribution of the uneven energy generated unexpectedly in the laser beam and the direction of travel of the laser beam of the ELA in the ELA process. This increases the nonuniformity for the drive transistors in the panel.
따라서 종래의 능동 구동 방식의 유기 발광 표시 장치에서는 구동 트랜지스터의 균일도를 개선하기 위한 방법으로 여러 가지 보상 회로를 각각의 화소 회로에 적용하여 구동 트랜지스터의 문턱 전압을 보상한다.Accordingly, in the organic light emitting diode display of the conventional active driving method, various compensation circuits are applied to each pixel circuit as a method for improving the uniformity of the driving transistor to compensate for the threshold voltage of the driving transistor.
그러나, 상술한 종래의 방법은 화소를 복잡하게 만들고 개구율을 떨어뜨리며, 복잡한 화소 구조에 의해 수율이 감소된다는 문제점이 있다.However, the above-described conventional method has a problem that the pixel is complicated, the aperture ratio is decreased, and the yield is reduced by the complicated pixel structure.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 고려하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 제조 공정상의 불안정한 조건에 의해 트랜지스터의 특정 채널 영역에 고밀도의 결함부가 증가되는 경우에도 다른 채널 영역으로 전류 이동 경로를 형성하여 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있는 트랜지스터를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to form a current movement path to another channel region even when a high density defect portion is increased in a specific channel region of a transistor due to unstable conditions in the manufacturing process. It is to provide a transistor that can keep the overall current flow substantially constant.
본 발명의 다른 목적은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널을 구비한 트랜지스터를 채용하여 화질을 높일 수 있는 발광 표시 장치 및 그 화소를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a light emitting display device and a pixel thereof that can improve image quality by employing a transistor having a channel having multiple current movement paths.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판과, 상기 기판 상에 폐루프 모양으로 형성되며, 적어도 두 개의 전류 이동 경로를 갖는 채널과 상기 채널의 양단에 접속되는 소오스 및 드레인을 구비하는 제1 반도체층과, 상기 채널에 접하여 형성되는 게이트 절연층, 및 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 채널과 마주하는 게이트를 포함하는 트랜지스터가 제공된다.In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, a channel, a channel formed in a closed loop shape on the substrate, and having at least two current movement paths and a source and a drain connected to both ends of the channel. Provided is a transistor including a first semiconductor layer having a gate, a gate insulating layer formed in contact with the channel, and a gate facing the channel with the gate insulating layer interposed therebetween.
바람직하게, 상술한 트랜지스터는 상기 제1 반도체층의 안쪽에 브릿지 모양으로 추가적인 전류 이동 경로를 형성하는 제2 반도체층을 더 포함한다.Preferably, the above-described transistor further includes a second semiconductor layer which forms an additional current path in a bridge shape inside the first semiconductor layer.
또한, 상기 제2 반도체층은 상기 소오스 및 상기 드레인을 상호 연결할 수 있다. 또한, 상기 제2 반도체층은 상기 전류 이동 경로들을 상호 연결할 수 있다. 또한, 상기 제2 반도체층은 상기 소오스 및 상기 드레인 중 적어도 어느 하나와 상기 전류 이동 경로들 중 적어도 어느 하나를 연결할 수 있다. 또한, 상기 제2 반도체층은 T자 모양으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 반도체층은 상기 소오스 및 상기 드레인과 상기 전류 이동 경로를 상호 연결할 수 있다. 또한, 상기 제2 반도체층은 십자 모양으로 형성될 수 있다.The second semiconductor layer may interconnect the source and the drain. In addition, the second semiconductor layer may interconnect the current movement paths. In addition, the second semiconductor layer may connect at least one of the source and the drain and at least one of the current paths. In addition, the second semiconductor layer may be formed in a T shape. In addition, the second semiconductor layer may interconnect the source, the drain, and the current path. In addition, the second semiconductor layer may have a cross shape.
또한, 상기 제1 및 제2 반도체층은 폴리실리콘층으로 형성된다. 또한, 상기 제1 및 제2 반도체층은 비정질 실리콘층을 결정화하는 결정화 공정에 의해 형성된다. 또한, 상기 결정화 공정은 엑시머 레이저 어닐링 공정을 포함할 수 있다.In addition, the first and second semiconductor layers are formed of a polysilicon layer. In addition, the first and second semiconductor layers are formed by a crystallization process of crystallizing an amorphous silicon layer. In addition, the crystallization process may include an excimer laser annealing process.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 데이터 신호를 전달하는 제1 트랜지스터와, 상기 데이터 신호에 상응하는 전압을 저장하는 캐패시터와, 상기 캐패시터의 전압에 상응하여 전류를 공급하는 제2 트랜지스터, 및 상기 전류에 상응하여 발광하는 발광 소자를 포함하되, 상기 제2 트랜지스터는, 기판 상에 폐루프 모양으로 형성되며, 적어도 두 개의 전류 이동 경로를 갖는 채널과 상기 채널의 양단에 접속되는 소오스 및 드레인을 구비하는 제1 반도체층과, 상기 채널에 접하여 형성되는 게이트 절연층, 및 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 채널과 마주하는 게이트를 포함하는 발광 표시 장치의 화소가 제공된다.According to another aspect of the present invention, a first transistor for transmitting a data signal, a capacitor for storing a voltage corresponding to the data signal, a second transistor for supplying a current corresponding to the voltage of the capacitor, and the current A second light emitting element comprising a light emitting device correspondingly emitting light, wherein the second transistor is formed in a closed loop shape on a substrate and has a channel having at least two current paths and a source and a drain connected to both ends of the channel; A pixel of a light emitting display device including a semiconductor layer, a gate insulating layer formed in contact with the channel, and a gate facing the channel with the gate insulating layer interposed therebetween is provided.
바람직하게, 상술한 발광 표시 장치의 화소는 상기 제1 반도체층의 안쪽에 브릿지 모양으로 추가적인 전류 이동 경로를 형성하는 제2 반도체층을 포함한다.Preferably, the above-described pixel of the light emitting display device includes a second semiconductor layer that forms an additional current path in a bridge shape inside the first semiconductor layer.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 주사 신호를 전달하는 복수의 주사선과, 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선, 및 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 구비하며 상기 복수의 주사선 및 상기 복수의 데이터선에 각각 연결되는 복수의 화소를 포함하는 발광 표시 장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, a plurality of scan lines for transmitting a scan signal, a plurality of data lines for transmitting a data signal, and a transistor according to an embodiment of the present invention, the plurality of scan lines and the plurality of A light emitting display device including a plurality of pixels connected to data lines, respectively, is provided.
바람직하게, 상기 화소는 데이터 신호를 전달하는 제1 트랜지스터와, 상기 데이터 신호에 상응하는 전압을 저장하는 캐패시터와, 상기 캐패시터의 전압에 상응하여 전류를 공급하는 제2 트랜지스터, 및 상기 전류에 상응하여 발광하는 발광 소자를 포함한다. 또한, 상기 발광 소자는 유기물을 발광층으로 하는 유기 발광 소자를 포함한다.Preferably, the pixel includes a first transistor for transmitting a data signal, a capacitor for storing a voltage corresponding to the data signal, a second transistor for supplying a current corresponding to the voltage of the capacitor, and the current. It includes a light emitting element for emitting light. In addition, the light emitting device includes an organic light emitting device having an organic material as a light emitting layer.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도면에서 본 발명과 관계없는 부분은 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, parts irrelevant to the present invention have been omitted for clarity, and like reference numerals denote like parts throughout the specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터에 대한 평면도이다. 본 실시예에서 트랜지스터(100)는 박막 트랜지스터로 형성될 수 있다.1 is a plan view of a transistor according to an embodiment of the present invention. In the present embodiment, the
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터(100)는 제조 공정에서 채널 내에 고밀도 결함부가 발생하는 경우에도 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다. 이를 위해, 트랜지스터(100)는 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(110)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(100)는 게이트 절연층(미도시)을 사이에 두고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the
또한, 반도체층(110)은 대략 복수의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성하는 제1 반도체층(112)과, 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 적어도 하나 이상의 브릿지(bridge)를 형성하는 제2 반도체층(114)을 포함한다. 제1 반도체층(112)은 소오스 영역(116) 및 소오스 영역(116)이 형성되어 있지 않은 반도체층(110)의 소정 영역에 형성되는 드레인 영역(118)을 포함한다. 제2 반도체층(114)은 도 1에서 볼 때 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역 및 오른쪽 영역과, 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 각각 연결하는 제1, 제2, 제3 및 제4 브릿지(114a, 114b, 114c, 114d)를 구비한다.In addition, the
또한, 반도체층(110)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 마주하는 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 윈도우 모양의 반도체층(110)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 대부분의 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b), 제3 전류 이동 경로(120c), 제4 전류 이동 경로(120d), 제5 전류 이동 경로(120e), 제6 전류 이동 경로(120f) 및 이들의 조합에 의한 전류 이동 경로를 포함한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 1에서 볼 때 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제3 전류 이동 경로(120c)는 소오스 영역(116)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제4 전류 이동 경로(120d)는 제1 전류 이동 경로(120a) 상의 중간 영역(제1 반도체층의 왼쪽 영역)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제5 전류 이동 경로(120e)는 제2 전류 이동 경로(120b) 상의 중간 영역(제1 반도체층의 오른쪽 영역)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내고, 제6 전류 이동 경로(120f)는 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타낸다.The
상술한 반도체층(110)은 게이트 전극(160)에 전압이 인가될 때 소오스(116)과 드레인(118) 사이에서 전류 이동 경로(120a, 120b, 120c, 120d, 120e, 120f)를 형성한다. 소오스(116)는 제1 콘택(132)을 통해 소오스 전극(130)에 접속되고, 드 레인(118)은 제2 콘택(142)을 통해 드레인 전극(140)에 접속된다. 또한, 반도체층(110)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)을 폴리 실리콘(poly silicon, 이하 다결정 실리콘이라 한다)으로 결정화하는 공정을 통해 형성된다. 이러한 반도체층(110)은 트랜지스터의 전기적인 특성을 결정짓는 중요한 요소 중의 하나이다.The
소오스 전극(130) 및 드레인 전극(140)은 제1 콘택홀(132) 및 제2 콘택홀(142)을 통해 반도체층(110)의 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)에 각각 접속된다. 상술한 소오스(116)와 소오스 전극(130) 및 드레인(118)과 드레인 전극(140)은 트랜지스터의 타입에 따라 그 위치가 결정될 수 있다.The
게이트 전극(160)은 소정의 절연층을 사이에 두고 채널(120)과 마주하도록 형성된다. 이러한 게이트 전극(160)은 반도체층(110)에서 채널(120)이 형성되는 영역과 유사한 크기 및 모양으로 형성되거나 또는 채널(120)이 형성되는 영역을 포함하는 크기 및 모양으로 형성될 수 있다.The
한편, 상술한 설명에서는 반도체층(110)의 제2 반도체층(114)이 하나의 십자형 브릿지를 형성하도록 설명하였다. 하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체층(110)의 제2 반도체층(114)은 다양한 모양과 형태로 형성될 수 있다. 또한, 제2 반도체층(114)은 가로 방향 및/또는 세로 방향에서 두 개 이상의 십자형 브릿지를 갖도록 형성될 수 있다. 이러한 구성은 트랜지스터의 크기에 따라 적절하게 선택될 수 있다.Meanwhile, in the above description, the
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터에 고밀도의 결함부가 생성된 경우를 설명하기 위한 평면도이다.2 is a plan view illustrating a case where a high density defect is generated in a transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 트랜지스터(100)는 박막 트랜지스터로 형성된다. 또한, 트랜지스터(100)는 다결정 실리콘으로 형성되는 반도체층(110)을 구비한다. 그것은 다결정 실리콘이 비정질 실리콘에 비해 표면 결함이 매무 작기 때문에 트랜지스터의 동작 속도가 약 100~200배 정도 빠르기 때문이다.Referring to FIG. 2, the
상술한 반도체층(110)은 엑시머 레이저 어닐링(eximer laser anneling, ELA) 공정을 통해 결정화된다. 이때, ELA 공정에서 레이저 빔의 진행 방향은 반도체층의 좌우 방향으로 향하는 가로 방향 이외에 상하 방향으로 향하는 세로 방향으로 설정될 수 있다.The
한편, 반도체층(110)의 결정성은 ELA의 레이저 빔의 펄스투펄스 안정성(pulse to pulse stability)에 많은 영향을 받는다. 다시 말해서, 레이저 어닐링 공정을 통해 다결정 실리콘을 결정화하는 공정에서는 기본적으로 레이저 빔의 진행 방향(제1 방향 또는 제2 방향) 및 라인 형태의 레이저 빔 내의 불균일한 에너지 분포로 인하여 패널 내에 형성되는 복수의 다결정 실리콘으로 형성된 박막 트랜지스터(poly-TFT)의 특성에 불균일도가 발생된다. 또한, 다중 모드의 레이저 빔을 이용하는 엑시머 레이저 어닐링(ELA) 공정에서, 결정화 공정의 중간에 예기치 않은 빔 에너지 밀도의 변동이 발생하면, 트랜지스터(100)는 빔 에너지 밀도의 변동이 발생된 부위에서 반도체층(110)의 결정성에 손상을 받게 된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 트랜지스터(100)는, 종래의 일반적인 poly-TFT와 유사하게, 다결정 실리콘을 결정화하는 공정상의 변동에 의해 결정성에 손상을 입은 부위를 포 함할 수 있다.Meanwhile, the crystallinity of the
예를 들면, 도 2에 도시한 바와 같이, 트랜지스터(100)의 반도체층을 결정화하는 공정에서, 채널(120) 내의 특정 부위에 고밀도 결함부(220, 230)가 발생될 수 있고, 이러한 경우 고밀도 결함부(220, 230)는 채널(120) 내의 전류 흐름을 방해한다.For example, as shown in FIG. 2, in the process of crystallizing the semiconductor layer of the
하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터(100)는, 도 2에서와 같이 채널(120) 내의 제4 전류 이동 경로(120d) 상에 제1 고밀도 결함부(220)가 형성되는 경우 및/또는 제3 전류 이동 경로(120C) 상에 제2 고밀도 결함부(230)가 형성되는 경우에도, 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b), 제5 전류 이동 경로(120e) 및 이들의 조합에 의한 전류 이동 경로를 통해 트랜지스터의 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지한다.However, in the
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터(100)는 제조 공정의 불균일성에 의해 채널 내의 특정 부위에 고밀도의 결함부가 발생되는 경우에도 다른 채널 부위로 전류 이동 경로를 형성하여 트랜지스터의 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지하고, 그것에 의해 패널 내의 트랜지스터의 균일성을 높인다. 따라서, 본 발명에 따른 트랜지스터를 발광 표시 장치에 채용하면, 발광 표시 장치의 화질을 높일 수 있다.As described above, the
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 트랜지스터의 단면도이다. 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터(100)의 제조 과정에 대해 설명하면 다음과 같다.3 is a cross-sectional view of the transistor taken along the line III-III of FIG. 1. A manufacturing process of the
먼저, 유리 기판 또는 절연성 투명 기판(102) 위에 버퍼층(103)을 형성한다. 예를 들면, 버퍼층(103)은 3000Å 정도의 두께로 실리콘 산화막으로 형성된다. 다음, 버퍼층(103) 위에 비정질 실리콘을 형성한다. 예를 들면, 비정질 실리콘은 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 방식으로 증착되고 탈수소 처리된다. 또한 비정질 실리콘은 레이저 스캐닝 공정을 통해 다결정화된다. 레이저 스캐닝에서 적용되는 레이저 빔(beam)은 예를 들어 장방향 200~250㎜, 단방향 0.25~1.5㎜ 내외의 직사각형 단면을 갖는다. 또한, 대면적의 패널인 경우, 레이저 빔은 비정질 실리콘의 다결정화를 위해 겹쳐서 조사된다. 그것은 대면적 비정질 실리콘을 다결정화하는 과정에서 레이저 빔 조사 영역 간에 에너지 편차를 최소화할 수 있기 때문이다.First, the
한편, 비정질 실리콘을 이용하여 다결정 실리콘을 형성하는 방법은 PEDVD 방식 외에 LPCVD(low pressure chemical vapor deposition) 방식을 통해 순수 비정질 실리콘(intrinsic amorphous silicon)을 500Å 정도의 두께로 증착한 다음 결정화하는 방법으로 구현될 수 있다.Meanwhile, a method of forming polycrystalline silicon using amorphous silicon is implemented by depositing pure amorphous silicon (intrinsic amorphous silicon) in a thickness of about 500 통해 through LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) method in addition to PEDVD method and then crystallizing it. Can be.
다음, 소정 패턴의 감광막 마스크를 이용한 식각 공정을 통해 반도체층(110)을 윈도우 모양(도 1 참조)으로 패터닝한다.Next, the
다음, 패터닝된 반도체층(110)의 상부 전면에 게이트 절연막(104)을 형성한다. 그리고, 게이트 절연막(104)의 상부에 게이트 전극(160)을 형성한다. 이때, 게이트 전극(160)은 반도체층(110)의 채널(120)과 마주하도록 형성된다. 여기서, 게 이트 전극(160)은 트랜지스터(100)의 게이트를 포함한다.Next, a
다음, 트랜지스터(100)의 게이트를 마스크로 이용하여 패터닝된 반도체층(110)의 소정 영역에 불순물 이온을 주입한다. 여기서, 불순물 이온이 주입된 소정 영역은 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)으로 형성된다. 그리고, 주입되는 불순물 이온은 트랜지스터의 타입에 따라 결정된다. 예를 들면, n형 박막 트랜지스터의 경우에는 인(P)를 주입하고, p형 박막 트랜지스터의 경우에는 붕소(B)가 주입된다.Next, impurity ions are implanted into a predetermined region of the patterned
한편, 상술한 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)은 게이트를 마스크로 이용하여 불순물 이온을 저농도로 1차 주입하고, 그것에 의해 저농도의 소오스 영역 및 드레인 영역을 형성한 후, 게이트와 게이트로부터 저농도의 소오스 영역 및 드레인 영역의 일정한 거리까지를 감광막(photoresist)으로 덮고 불순물 이온을 고농도로 2차 주입하고, 그것에 의해 고농도의 소오스 영역 및 드레인 영역을 형성하는 LDD(lightly doped drain) 구조로 구현될 수 있다.On the other hand, the
다음, 게이트 전극(160)을 포함한 상기 구조의 상부에 층간 절연막(105)을 형성한다. 그리고 게이트 전극(160)이 형성되어 있지 않으며 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118)과 마주하는 층간 절연막(105)의 소정 영역에 제1 콘택홀 및 제2 콘택홀를 각각 형성한다. 제1 콘택홀 및 제2 콘택홀은 각각 복수개로 형성될 수 있다.Next, an
다음, 게이트 전극(160)을 덮지 않고 게이트 전극(160)과 소정 간격이 형성되도록 층간 절연막(104) 위에 금속층을 형성한 다음 패터닝하여, 소오스 전극 (130) 및 드레인 전극(140)을 형성한다. 이때, 소오스 전극(130)은 제1 콘택홀에 의해 형성되는 제1 콘택(132)을 통해 소오스 영역(116)에 전기적으로 접속되고, 드레인 전극(140)은 제2 콘택홀에 의해 형성되는 제2 콘택(142)을 통해 드레인 영역(118)에 전기적으로 접속된다.Next, a metal layer is formed on the
한편, 상술한 구조의 상부에는 필요에 따라 트랜지스터(100)를 보호하기 위한 패시베이션막 또는 보호막(106)이 추가적으로 형성될 수 있다.On the other hand, a passivation film or a
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터의 변형예를 나타낸 평면도들이다.4A to 4G are plan views illustrating modified examples of the transistor according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 4a를 참조하면, 트랜지스터(100a)는 다중 전류 이동 경로를 가진 채널(120)과, 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(112)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(110a)는 절연층(미도시)을 사이에 두고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 4A, the
반도체층(112)은 하나의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 비채널 영역(150)은 채널(120) 안쪽에 형성되며 전류 이동 경로를 갖지 않는 영역을 나타낸다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성된다. 반도체층(112)은 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다.The
또한, 반도체층(112)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 마주하는 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 반도체층(112)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a) 및 제2 전류 이동 경로(120b)를 형성한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 4a에서 볼 때 소오스 영역(116)에서 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)에서 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타낸다.The
상술한 구성에 의해, 트랜지스터(110a)는, 제1 및 제2 전류 이동 경로(120a, 120b) 중 어느 하나의 전류 이동 경로에 고밀도의 결함부가 발생하는 경우에도, 나머지 다른 하나의 전류 이동 경로를 통해 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다.With the above-described configuration, even when a high density defect portion occurs in one of the first and second
본 실시예에 따른 트랜지스터(110a)는 앞서 설명한 트랜지스터(100)에서의 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 브릿지 모양으로 형성되는 제2 반도체층(114)을 포함하지 않는다. 하지만, 본 실시예에 따른 트랜지스터(110a)는 본 발명의 기본적인 기술적 사상에 따른 것으로서, 폐루프 모양으로 형성되며 다중 전류 이동 경로를 구비하는 채널과, 절연층을 사이에 두고 상기 채널과 마주하는 아령 모양의 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.The transistor 110a according to the present exemplary embodiment does not include the
도 4b를 참조하면, 트랜지스터(100b)는 다중 전류 이동 경로를 가진 채널(120)과, 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(110)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(110b)는 절연층(미도시)을 사이에 두 고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 4B, the
반도체층(110)은 두 개의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성하는 제1 반도체층(112)과, 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 브릿지 모양으로 형성되는 제2 반도체층(114)을 포함한다. 여기서, 제1 반도체층(112)은 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 그리고, 제2 반도체층(114)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118)을 브릿지 모양으로 연결한다.The
또한, 반도체층(110)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 마주하는 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 제1 반도체층(112) 및 제2 반도체층(114)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b) 및 제3 전류 이동 경로(120c)를 포함한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 4b에서 볼 때 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내고, 제3 전류 이동 경로(120c)는 제2 반도체층(114)을 통해 소오스 영역(116)에서 드레인 영역(118)을 직접 연결하는 전류 이동 경로를 나타낸다.The
한편, 제3 전류 이동 경로(120c)는 제1 전류 이동 경로(120a) 상의 중간 영 역(제1 반도체층의 왼쪽 영역)에서 제2 전류 이동 경로(120b) 상의 중간 영역(제1 반도체층의 오른쪽 영역)을 연결하는 전류 이동 경로로 구현될 수 있다. On the other hand, the third
다른 한편으로, 제3 전류 이동 경로(120c)는 도 4c에 도시한 바와 같이 복수의 평행한 브릿지를 형성하도록 구현될 수 있다. 이러한 경우, 반도체층(110)은 폐루프 모양의 제1 반도체층(112)과, 제1 브릿지(114a) 및 제2 브릿지(114b)를 가진 제2 반도체층(114)를 구비하며, 이들 제1 및 제2 반도체층(112, 114)에 의해 제1 내지 제4 전류 이동 경로(120a, 120b, 120c, 120d)를 구비한다.On the other hand, the third
상술한 구성에 의해, 트랜지스터(110b, 110c)는 채널 내의 특정 부위에 고밀고의 결함부가 발생되는 경우에도, 채널 내의 다른 부위를 통해 전류 이동 경로를 형성함으로써 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다.With the above-described configuration, the transistors 110b and 110c can maintain a substantially constant overall current flow by forming a current movement path through other portions in the channel, even when dense defects occur in specific portions in the channel. have.
도 4d를 참조하면, 트랜지스터(100d)는 다중 전류 이동 경로를 가진 채널(120)과, 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(110)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(110d)는 절연층(미도시)을 사이에 두고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 4D, the
반도체층(110)은 세 개의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성하는 제1 반도체층(112)과, 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 T자 모양 또는 Y자 모양의 브릿지를 형성하는 제2 반도체층(114)을 포함한다. 제1 반도체층(112)는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 제2 반도체층(114)은 드레인 영역(118)에 직접 연결된다.The
또한, 반도체층(110)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 윈도우 모양의 반도체층(110)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 대부분의 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b), 제3 전류 이동 경로(120c), 제4 전류 이동 경로(120d), 제5 전류 이동 경로(120e) 및 이들의 조합에 의한 전류 이동 경로를 포함한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 4d에서 볼 때 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제3 전류 이동 경로(120c)는 제1 전류 이동 경로(120a) 상의 중간 영역에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제4 전류 이동 경로(120d)는 제2 전류 이동 경로(120b) 상의 중간 영역에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내고, 제5 전류 이동 경로(120e)는 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타낸다. 한편, 제5 전류 이동 경로(120e)는 소오스 영역(116)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로로 구현될 수 있다.In addition, the
상술한 구성에 의해, 트랜지스터(110d)는, 제1 내지 제5 전류 이동 경로 (120a, 120b, 120c, 120d, 120e) 중 어느 하나, 둘, 셋 또는 네 개의 전류 이동 경로에 고밀도의 결함부가 발생하는 경우에도, 나머지 넷, 셋, 둘 또는 하나의 전류 이동 경로를 통해 전류 흐름을 일정하게 유지할 수 있다.With the above-described configuration, the transistor 110d generates a high density defect portion in any one, two, three or four current movement paths of the first to fifth
한편, 제2 반도체층(114)은 드레인 영역(118)과 제1 및 제2 전류 이동 경로들(120a, 120b)을 연결하는 구성 이외에, 소오스 영역(116)과 제1 및 제2 전류 이동 경로들(120a, 120b)을 연결하거나, 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)과 제1 및 제2 전류 이동 경로(120a, 120b) 중 어느 하나를 연결하는 구성을 갖도록 구현될 수 있다.Meanwhile, the
도 4e를 참조하면, 트랜지스터(100e)는 다중 전류 이동 경로를 가진 채널(120)과, 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(110)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(110e)는 절연층(미도시)을 사이에 두고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 4E, the
반도체층(110)은 다섯 개의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성하는 제1 반도체층(112)과, 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 복수의 교차부를 가진 브릿지를 형성하는 제2 반도체층(114)을 포함한다. 제1 반도체층(112)은 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 제2 반도체층(114)은 도 4e에서 볼 때 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역 및 오른쪽 영역과, 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 각각 연결하는 제1, 제2, 제3, 제4 및 제 5 브릿지(114a, 114b, 114c, 114d, 114e)를 구비한다.The
또한, 반도체층(110)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 마주하는 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 윈도우 모양의 반도체층(110)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b), 제3 전류 이동 경로(120c), 제4 전류 이동 경로(120d), 제5 전류 이동 경로(120e), 제6 전류 이동 경로(120f), 제7 전류 이동 경로(120g) 및 이들의 조합에 의한 전류 이동 경로를 포함한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 4f에서 볼 때 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)에서 제1 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제3 전류 이동 경로(120c)는 소오스 영역(116)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제4 전류 이동 경로(120d)는 제1 전류 이동 경로(120a) 상의 중간 영역(제1 반도체층의 왼쪽 영역)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내며, 제5 전류 이동 경로(120e)는 제2 전류 이동 경로(120b) 상의 중간 영역(제1 반도체층의 오른쪽 영역)에서 제2 반도체층(114)의 중심 영역에 이르는 전류 이동 경로를 나타내고, 제6 및 제7 전류 이동 경로(120f, 120g)는 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 드레인 영역(118)으로 연장되는 대략 평행한 전류 이동 경로를 나타낸다.The
한편, 제3 전류 이동 경로(120c)는 도 4f에 도시한 바와 같이 제6 및 제7 전류 이동 경로(120f, 120g)와 유사하게 소오스 영역(116)과 제2 반도체층(114)의 중간 영역을 각각 연결하는 두 개의 브릿지 상의 전류 이동 경로로 형성될 수 있다. 이러한 경우, 트랜지스터(110f)는 제2 반도체층(114) 내에 제1 내지 제7 브릿지(114a, 114b, 114c, 114d, 114e, 114f, 114g)를 구비하며, 제1 및 제2 반도체층(112, 114) 내에 제1 내지 제9 전류 이동 경로(120a 내지 120g)와 이들의 조합에 의한 다중 전류 이동 경로를 갖는다.Meanwhile, as shown in FIG. 4F, the third
상술한 구성에 의해, 트랜지스터(110e, 110f)는 채널 내의 특정 부위에 고밀도의 결함부가 발생하는 경우에도, 채널 내의 다른 부위에 전류 이동 경로를 형성함으로써, 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다.By the above-described configuration, the transistors 110e and 110f can maintain the current flow substantially constant by forming a current movement path in other portions of the channel even when a high density of defect portions occur in specific portions in the channel. .
도 4g를 참조하면, 트랜지스터(100g)는 다중 전류 이동 경로를 가진 채널(120)과, 이 채널(120)의 양단에 접속되는 소오스(116) 및 드레인(118)을 구비한 반도체층(110)을 포함한다. 또한, 트랜지스터(110h)는 절연층(미도시)을 사이에 두고 채널(120)과 마주하는 게이트 전극(160)을 포함한다.Referring to FIG. 4G, a
반도체층(110)은 네 개의 비채널 영역(150)을 가진 윈도우(window) 형상으로 형성된다. 구체적으로 반도체층(110)은 대략 사각 링 모양으로 폐루프를 형성하는 제1 반도체층(112)과, 제1 반도체층(112)의 안쪽에서 기울어진 십자형 또는 X자 모양의 브릿지(bridge)를 형성하는 제2 반도체층(114)을 포함한다. 제1 반도체층(112)은 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 제2 반도체층(114)은 도 4g에서 볼 때 제2 반도체층(114)의 중심 영역에서 제1 반도체층(112)의 소오스측 제1 왼쪽 영역 및 드레인측 제2 왼쪽 영역과, 제1 반도체층(112)의 소오스측 제1 오른쪽 영역 및 드레인측 제2 오른쪽 영역을 각각 연결하는 제1, 제2, 제3 및 제4 브릿지(114a, 114b, 114c, 114d)를 구비한다.The
또한, 반도체층(110)은 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널(120)과, 채널(120)의 마주하는 양단에 접속되는 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 포함한다. 채널(120)은 윈도우 모양의 반도체층(110)에서 소오스 영역(116) 및 드레인 영역(118)을 제외한 영역에 형성된다. 또한, 채널(120)은 소오스 영역(116)과 드레인 영역(118) 사이에 제1 전류 이동 경로(120a), 제2 전류 이동 경로(120b), 제3 전류 이동 경로(120c), 제4 전류 이동 경로(120d), 제5 전류 이동 경로(120e), 제6 전류 이동 경로(120f) 및 이들의 조합에 의한 전류 이동 경로를 포함한다. 제1 전류 이동 경로(120a)는 도 4g에서 볼 때 소오스 영역(116)과 제1 반도체층(112)의 왼쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)을 연결하는 전류 이동 경로를 나타내며, 제2 전류 이동 경로(120b)는 소오스 영역(116)과 제1 반도체층(112)의 오른쪽 영역을 통해 드레인 영역(118)을 연결하는 전류 이동 경로를 나타내며, 제3 전류 이동 경로(120c)는 소오스 영역(116)에 인접한 제1 왼쪽 영역과 제2 반도체층(114)의 중심 영역을 연결하는 전류 이동 경로를 나타내며, 제4 전류 이동 경로(120d)는 제2 반도체층(114)의 중심 영역과 드레인 영역(118)에 인접한 제2 왼쪽 영역을 연결하는 전류 이동 경로를 나타내며, 제5 전류 이동 경로(120e)는 소오스 영역(116)에 인접한 제1 오른쪽 영역과 제2 반도체층(114)의 중심 영역을 연결하는 전류 이동 경로 를 나타내고, 제6 전류 이동 경로(120f)는 제2 반도체층(114)의 중심 영역과 드레인 영역(118)에 인접한 제2 오른쪽 영역을 연결하는 전류 이동 경로를 나타낸다.The
상술한 구성에 의해, 트랜지스터(110f)는 채널 내의 특정 부위에 고밀도의 결함부가 발생하는 경우에도, 채널 내의 다른 부위에 전류 이동 경로를 형성함으로써, 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다.With the above-described configuration, the transistor 110f can maintain the current flow substantially constant by forming a current movement path at another portion in the channel even when a high density defect portion is generated in the specific portion in the channel.
한편, 상술한 실시예에서는 코플래너 구조 또는 상부 게이트 구조의 트랜지스터에 대하여 설명하였다. 하지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않고 스태거드 구조나 하부 게이트 구조 등의 다른 구조에도 적용할 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 링 모양의 제1 반도체층 및/또는 링 모양의 제1 반도체층 안쪽에서 브릿지 모양으로 형성되는 제2 반도체층을 구비하며 상기 제1 반도체층 및/또는 제2 반도체층을 통해 다중 전류 이동 경로를 형성할 수 있는 채널을 포함하는 다양한 구조의 박막 트랜지스터에 용이하게 적용가능하다.In the above-described embodiment, the transistor having the coplanar structure or the upper gate structure has been described. However, the present invention is not limited to such a configuration and can be applied to other structures such as a staggered structure or a lower gate structure. For example, the present invention includes a ring-shaped first semiconductor layer and / or a second semiconductor layer formed in a bridge shape inside the ring-shaped first semiconductor layer, and the first semiconductor layer and / or the second semiconductor layer. The present invention can be easily applied to thin film transistors having various structures including channels capable of forming multiple current movement paths.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용한 발광 표시 장치의 화소에 대한 레이아웃 도면이다. 도 6은 도 5의 화소에 대한 등가 회로도이다.5 is a layout diagram of pixels of a light emitting display device employing a transistor according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of the pixel of FIG. 5.
도 5 및 도 6을 참조하면, 화소(300)는 발광 표시 장치에서 화상을 표시하기 위한 기본적인 구성요소를 나타내며, 발광 소자(electroluminescent device, EL, 370)와 이 발광 소자(370)를 제어하기 위한 화소 회로(390)를 포함한다. 또한 화소(300)는 제1 전원전압(Vdd)을 전달하는 제1 전원선(330) 및 제2 전원전압(VSS)을 전달하는 전원선(미도시)에 접속되며, 주사선(Sn, 310)을 통해 전달되는 주사 신호 와 데이터선(Dm, 320)을 통해 전달되는 데이터 신호에 따라 소정 색 및 소정 레벨로 빛을 낸다. 이를 위해, 화소(300)는 제1 트랜지스터(M1, 340), 캐패시터(C, 350), 제2 트랜지스터(M2, 360) 및 발광 소자(EL, 380)를 포함한다.5 and 6, the
제1 및 제2 트랜지스터(340, 360)는 박막 트랜지스터로 구현될 수 있으며, 각각 게이트, 소오스 및 드레인을 가진다. 캐패시터(350)는 제1 전극 및 제2 전극을 가진다.The first and
제1 트랜지스터(340)는 주사선(310)에 접속되는 게이트, 제1 콘택홀(342)을 통해 데이터선(320)에 접속되는 소오스, 그리고 제2 콘택홀(344)을 통해 캐패시터(350)의 제1 전극(352)에 접속되는 드레인을 구비한다. 제1 트랜지스터(340)는 주사선(310)에 인가되는 주사 신호에 따라 데이터선(320)에 인가되는 데이터 신호를 샘플링(sampling)한다.The
캐패시터(350)는 제1 트랜지스터(340)의 드레인에 연결되고 제2 트랜지스터(360)의 게이트에 연결되는 제1 전극(352)과, 제3 콘택홀(356)를 통해 제1 전원선(330)에 연결되며 제2 트랜지스터(360)의 반도체층(미도시)과 함께 패터닝되는 제2 전극(354)을 구비한다.The
또한, 캐패시터(350)는 제1 트랜지스터(340)의 온 기간 동안에 데이터선(320)을 통해 전달되는 데이터 신호에 상응하여 소정의 전압을 저장하고, 제1 트랜지스터(340)의 오프 기간 동안에 제2 트랜지스터(360)의 게이트 및 소오스 간의 전압을 저장된 전압으로 유지한다.In addition, the
제2 트랜지스터(360)는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터로 구현된다. 따라서, 제2 트랜지스터(360)는 반도체층의 결정화 공정에서 채널 내의 특정 부위에 고밀도의 결함부가 생성되는 경우에도 채널 내의 다른 부위를 통해 전류 이동 경로를 형성함으로써, 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지할 수 있다. 이것은 본 발명에 따른 화소 내의 트랜지스터가 높은 균일성을 갖는다는 것을 나타낸다.The
예를 들면, 제2 트랜지스터(360)는 도 5에 도시한 바와 같이 네 개의 비채널 영역(368)을 가진 윈도우 모양으로 형성되는 반도체층을 포함한다. 반도체층은 폐루프 모양으로 형성되는 제1 반도체층과 제1 반도체층의 안쪽에 브릿지 모양으로 형성되는 제2 반도체층을 포함한다. 또한, 반도체층은 제1 반도체층 내에서 채널(366)의 양단에 접속되는 소오스(362) 및 드레인(364)을 포함한다. 소오스(362)는 제4 콘택홀(372)을 통해 소오스 전극(370) 또는 제1 전원선(330)에 연결되고, 드레인(364)은 제5 콘택홀(376)을 통해 드레인 전극(374)에 연결된다.For example, the
또한, 제2 트랜지스터(360)는 채널(366)과 소정의 절연층을 사이에 두고 마주하는 게이트(378)를 구비한다. 게이트(378)는 캐패시터(350)의 제1 전극(352)에 접속된다. 이러한 구성에 의해, 제2 트랜지스터(360)는 캐패시터(350)의 제1 전극(352)과 제2 전극(354)에 각각 연결된 게이트(378) 및 소오스(362) 간의 전압에 의해 소정의 전류를 발광 소자(380)에 공급한다.In addition, the
발광 소자(380)는 유기 박막(386)과, 이 유기 박막(386)의 양면에 형성되는 제1 전극(382) 및 제2 전극(미도시)를 포함한다. 여기서, 제1 전극(382)은 애노드 전극을 나타내고, 제2 전극은 캐소드 전극을 나타낸다. 제1 전극(382)은 제6 콘택홀(384)을 통해 제2 트랜지스터(360)의 드레인 전극(374)에 연결된다. 그리고, 제2 전극은 ITO(Indium Tin Oxide) 등으로 이루어진 전극으로 통해 다른 발광 소자의 캐소드 전극과 공통 접속될 수 있다.The
상술한 유기 박막(386)은 애노드 전극(382)과 캐소드 전극으로부터 전자와 전공의 주입 특성을 향상시키기 위해 유기물로 이루어지는 발광층(emitting layer)의 양측에 정공 주입층(hole injecting layer) 및 전자 주입층(electron injecting layer)을 포함하는 다층 구조로 형성될 수 있다. 또한, 유기 박막(386)은 발광 소자의 발광 특성을 향상시키기 위해 전자 수송층(electron transporting layer), 정공 수송층(hole transporting layer), 정공 저지층(hole blocking layer) 등을 선택적으로 포함할 수 있다.The organic
이와 같이, 상술한 본 발명의 발광 표시 장치의 화소는, 결정화 공정 중에 트랜지스터(360)의 채널 상의 특정 부위에 고밀도의 결함부가 형성되는 경우에도 채널의 다른 부위로 전류 이동 경로를 형성함으로써 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 화소를 이용하면, 패널 내의 구동 트랜지스터의 특성 균일도를 크게 향상시킬 수 있다.As described above, in the above-described pixel of the light emitting display device, even when a high-density defect portion is formed in a specific portion on the channel of the
한편, 상술한 실시예에서는 화소 내의 트랜지스터를 P형 트랜지스터로 형성하여 설명하였다. 하지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않고, 화소 내의 트랜지스터가 n형 트랜지스터로 구현될 수 있다.On the other hand, in the above-described embodiment, the transistor in the pixel is formed as a P-type transistor. However, the present invention is not limited to such a configuration, and the transistor in the pixel can be implemented with an n-type transistor.
또한, 상술한 실시예에서는 화소 내에 하나의 스위칭 트랜지스터(제1 트랜지스터)와 하나의 구동 트랜지스터(제2 트랜지스터)를 포함한 경우에 대하여 설명하였다. 하지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 따른 화소는 적어도 두 개의 구동 트랜지스터 및/또는 적어도 두 개의 스위칭 트랜지스터를 포함할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 화소는 하나의 구동 트랜지스터에 연결된 적어도 두 개의 발광 소자를 포함하도록 이루어질 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 화소는 두 개의 발광 소자가 한 수평 주기 동안에 순차적으로 구동되는 순차 구동 방식으로 구동될 수 있다. 이때, 적어도 두 개의 발광 소자는 서로 다른 색을 표시할 수 있다. 더욱이, 본 발명에 따른 화소는 앞서 설명한 기본적인 전압 프로그래밍 구조의 화소 회로뿐만 아니라 다른 전압 프로그래밍 구조의 화소 회로나 전류 프로그래밍 구조의 화소 회로를 포함할 수 있다. 전류 프로그래밍 구조의 화소 회로에 대하여는 도 8을 참조하여 후술한다.In addition, in the above-described embodiment, the case where one switching transistor (first transistor) and one driving transistor (second transistor) is included in the pixel has been described. However, the present invention is not limited to such a configuration. For example, the pixel according to the present invention may include at least two driving transistors and / or at least two switching transistors. In addition, the pixel according to the present invention may be configured to include at least two light emitting elements connected to one driving transistor. In addition, the pixel according to the present invention may be driven in a sequential driving manner in which two light emitting devices are sequentially driven during one horizontal period. In this case, the at least two light emitting devices may display different colors. Furthermore, the pixel according to the present invention may include not only the pixel circuit of the basic voltage programming structure described above but also the pixel circuit of another voltage programming structure or the pixel circuit of the current programming structure. The pixel circuit of the current programming structure will be described later with reference to FIG. 8.
도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취한 화소의 단면도이다. 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 구비한 화소의 단면 구조를 설명하면 다음과 같다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the pixel taken along the line VII-VII of FIG. 5. Referring to FIG. 7, a cross-sectional structure of a pixel including a transistor according to an exemplary embodiment of the present invention will be described below.
먼저 절연성 투명 기판(502) 상에 질화막 또는 산화막으로 형성된 버퍼층(504)을 형성한다. 버퍼층(504)은 금속 이온 등의 불순물이 반도체층, 특히 채널 내부로 확산되는 것을 방지하기 위한 것이다. 이러한 버퍼층(504)은 화학 기상 증착(chemical vapor deposition: CVD) 등의 방법으로 형성될 수 있다.First, a
다음, 버퍼층(504)이 형성된 기판(502) 상에 비정질 실리콘층을 도포하고, 약 430℃ 정도의 온도에서 가열하여 비정질 실리콘층 내부에 함유된 수소 성분을 제거하는 탈수소 처리 공정을 수행한 후, 탈수소 처리된 비정질 실리콘 층을 소정 의 방법으로 결정화하여 반도체층(506)을 형성한다. 반도체층(506)은 채널과 채널 양단에 접속되는 소오스 및 드레인 영역을 가진 제1 및 제2 반도체층(506a)과, 캐패시터(350)의 일전극으로 형성되는 제3 반도체층(506b)을 포함한다.Next, an amorphous silicon layer is coated on the
이러한 반도체층(506)은 고상결정화(solid phase crystallization: SPC)법, 엑시머 레이저 결정화(excimer laser crystallization: ELC/excimer laser anneal: ELA)법, 연속측면 고상화(sequential lateral solidification: SLS)법, 금속 유도 결정화(metal induced crystallization: MIC)법, 금속 유도 측면 결정화(metal induced lateral crystallization: MILC)법 등의 결정화 방법 중 어느 하나의 방법을 통해 결정화된다.The
또한, 반도체층(506)은 물리적, 화학적인 반응을 이용하여 반도체층(506) 상에 형성된 감광막(미도시)을 통해 소정 패턴대로 패터닝된다. 이때, 제1 및 제2 반도체층(506a)은 윈도우 모양(도 1 또는 도 5 참조)으로 패터닝되며, 이와 함께 캐패시터(350)의 일전극을 형성하는 제3 반도체층(506b)도 패터닝된다.In addition, the
이어서, 반도체층(506)이 형성된 기판(502) 상에 게이트 절연막(508)을 형성하고, 게이트 절연막(508) 위에 알루미늄 등의 게이트 전극 물질(510)을 증착한 후 패터닝하여 게이트 전극(510a)을 형성한다. 이때, 커패시터(350)의 타전극(510b)도 게이트 전극(510a)과 함께 패터닝된다. 그 후, 게이트 전극(510a)을 마스크로 이용하여 제1 및 제2 반도체층(506a)의 소정 영역에 불순물 이온을 주입한다. 이때, 제1 및 제2 반도체층(506a)의 소정 영역은 소오스 및 드레인 영역으로 형성된다.Subsequently, a
다음, 상기 구조 상에 층간 절연막(512)을 형성하고, 층간 절연막(512)에 소 오스 및 드레인 영역을 각각 노출시키는 제1 및 제2 콘택홀(512a, 512b)을 형성한다. 그 후, 금속층(514)을 전면 증착하고 패터닝하여 소오스/드레인 전극(514a) 및 드레인/소오스 전극(514b)을 형성한다. 소오스/드레인 전극(514a)과 드레인/소오스 전극(514b)은 제1 콘택홀(512a)과 제2 콘택홀(512b)을 통해 소오스 및 드레인 영역에 접속된다. 소오스/드레인 전극(514a)은 전원선에 연결된다.Next, an interlayer insulating layer 512 is formed on the structure, and first and
다음, 상기 구조 상에 아크릴, 폴리이미드, BCB 등의 유기 물질로 이루어진 평탄화막(516)을 형성한다. 평탄화막(516)은 드레인/소오스 전극(514b)을 노출시키는 제3 콘택홀(518a)을 포함한다. 한편, 평탄화막(516)은 상기 구조 상에 SiO2, SiNx 등으로 이루어진 패시베이션막(미도시)을 형성한 후에 형성될 수 있다.Next, a
다음, 평탄화막(516) 상부에 애노드 전극(520)을 증착하고 패터닝한다. 애노드 전극(520)은 제3 콘택홀(518a)을 통해 드레인/소오스 전극(514b)에 전기적으로 접속된다.Next, the
다음, 상기 구조의 상부에 화소 정의막(522)을 형성한다. 화소 정의막(522)은 애노드 전극(520)을 노출시키는 개구부(522a)를 포함한다. 그 후, 개구부(522a)에 유기 발광 물질(524)을 도포한다. 그리고, 유기 발광 물질(524)이 도포된 상기 구조 상에 캐소드 전극(526)을 형성한다.Next, a pixel defining layer 522 is formed on the structure. The pixel defining layer 522 includes an
상술한 구성에 의해, 다중 전류 이동 경로를 갖는 채널 구조의 트랜지스터와, 트랜지스터의 게이트와 소오스 사이에 전기적으로 접속되는 캐패시터와, 이들 트랜지스터 및 캐패시터에 의해 제어되는 발광 소자(EL)가 형성된다.With the above-described configuration, a transistor having a channel structure having multiple current movement paths, a capacitor electrically connected between the gate and the source of the transistor, and a light emitting element EL controlled by these transistors and the capacitor are formed.
한편, 상술한 실시예에서는 PMOS 구조의 트랜지스터를 포함한 화소에 대하여 언급하였다. 하지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않고, NMOS 구조의 트랜지스터를 포함한 화소에 용이하게 적용할 수 있다. 또한, 상술한 실시예에서는 커패시터의 하부 전극과 상부 전극을 반도체층과 게이트 전극의 형성시에 함께 형성하였지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 커패시터는 게이트 전극과 동일한 층에 형성되는 하부 전극과 소오스/드레인 전극과 동일한 층에 형성되는 상부 전극을 포함하도록 형성될 수 있다.On the other hand, in the above-described embodiment, a pixel including a transistor having a PMOS structure is mentioned. However, the present invention is not limited to such a configuration, and can be easily applied to pixels including transistors of NMOS structure. In the above-described embodiment, the lower electrode and the upper electrode of the capacitor are formed together at the time of forming the semiconductor layer and the gate electrode, but the present invention is not limited to such a configuration. For example, the capacitor may be formed to include a lower electrode formed on the same layer as the gate electrode and an upper electrode formed on the same layer as the source / drain electrode.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용할 수 있는 다른 화소에 대한 회로도이다.8 is a circuit diagram of another pixel that may employ a transistor according to an embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 화소(300a)는 발광 소자(EL)과 이 발광 소자(EL)를 제어하기 위한 화소 회로(390a)를 포함한다. 화소 회로(390a)는 제1 내지 제4 트랜지스터(M1, M2, M3, M4)와 제1 및 제2 캐패시터(C1, C2)를 포함한다.Referring to FIG. 8, the
제1 내지 제4 트랜지스터(M1, M2, M3, M4)는 각각 소오스, 드레인 및 게이트를 가진다. 여기서, 소오스 및 드레인은 제1 전극 및 제2 전극으로 표시될 수 있다. 제1 및 제2 캐패시터(C1, C2)는 제1 전극 및 제2 전극을 가진다.The first to fourth transistors M1, M2, M3, and M4 have a source, a drain, and a gate, respectively. Here, the source and the drain may be represented by the first electrode and the second electrode. The first and second capacitors C1 and C2 have a first electrode and a second electrode.
제1 트랜지스터(M1)의 게이트는 제1 노드(N1)에 접속되며, 소오스는 전원전압(Vdd)을 전달하는 전원선에 접속되고, 드레인은 제2 노드(N2)에 접속된다. 제1 트랜지스터(M1)는 제4 트랜지스터(M4)의 온 기간 동안에 제1 캐패시터(C1)의 제1 전극과 제2 전극 사이에 걸린 전압에 상응하는 전류를 발광 소자(EL)에 공급한다.A gate of the first transistor M1 is connected to the first node N1, a source is connected to a power supply line for transmitting a power supply voltage Vdd, and a drain is connected to the second node N2. The first transistor M1 supplies a current corresponding to the voltage applied between the first electrode and the second electrode of the first capacitor C1 to the light emitting device EL during the on period of the fourth transistor M4.
또한, 제1 트랜지스터(M1)는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터로 구현된다. 다시 말해서, 제1 트랜지스터(M1)는 다중 전류 이동 경로를 갖는 윈도우 모양의 반도체층을 구비한다. 따라서, 제1 트랜지스터(M1)는 제조 공정상에서 발생되는 고밀도의 결함부가 채널 내의 특정 부위에 발생되는 경우에도 채널 내의 다른 부위를 통해 전류 이동 경로를 형성함으로써 실질적으로 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지할 수 있다.In addition, the first transistor M1 is implemented as a transistor according to an embodiment of the present invention. In other words, the first transistor M1 includes a window-shaped semiconductor layer having multiple current movement paths. Accordingly, the first transistor M1 can maintain substantially the entire current flow by forming a current movement path through other portions of the channel even when a high density of defects generated in the manufacturing process occurs in a specific portion of the channel. .
제2 트랜지스터(M2)의 게이트는 주사선(Sn)에 접속되며, 소오스는 데이터선(Dm)에 접속되고, 드레인은 제1 노드(N1)에 접속된다. 제2 트랜지스터(M2)는 주사선(Sn)에 인가되는 주사 신호에 응답하여 데이터선(Dm)을 통해 전달되는 데이터 신호를 제1 노드(N1)에 전달한다.The gate of the second transistor M2 is connected to the scan line Sn, the source is connected to the data line Dm, and the drain is connected to the first node N1. The second transistor M2 transmits a data signal transmitted through the data line Dm to the first node N1 in response to a scan signal applied to the scan line Sn.
제3 트랜지스터(M3)의 게이트는 주사선(Sn)에 접속되며, 소오스는 데이터선(Dm)에 접속되고, 드레인은 제2 노드(N2)에 접속된다. 제3 트랜지스터(M3)는 주사선(Sn)에 인가되는 주사 신호에 응답하여 제1 트랜지스터(M1)를 다이오드 연결시킨다.The gate of the third transistor M3 is connected to the scan line Sn, the source is connected to the data line Dm, and the drain is connected to the second node N2. The third transistor M3 diode-connects the first transistor M1 in response to a scan signal applied to the scan line Sn.
제4 트랜지스터(M4)의 게이트는 발광제어선(En)에 접속되며, 소오스는 제2 노드(N2)에 접속되고, 드레인은 발광 소자(EL)에 접속된다. 제4 트랜지스터(M4)는 발광제어선(En)에 인가되는 발광 제어신호에 응답하여 제1 트랜지스터(M1)으로부터의 전류를 발광 소자(EL)에 선택적으로 또는 제한적으로 공급한다.The gate of the fourth transistor M4 is connected to the light emission control line En, the source is connected to the second node N2, and the drain is connected to the light emitting element EL. The fourth transistor M4 selectively or limitedly supplies the current from the first transistor M1 to the light emitting element EL in response to the light emission control signal applied to the light emission control line En.
제1 캐패시터(C1)의 제1 전극은 제1 노드(N1)에 접속되고, 제2 전극은 전원전압(Vdd)을 전달하는 전원선에 접속된다. 또한, 제1 캐패시터(C1)의 제1 전극은 제1 트랜지스터(M1)의 게이트에 접속되고, 제2 전극은 제1 트랜지스터(M1)의 소오스에 접속된다. 제1 캐패시터(C1)는 제2 및 제3 트랜지스터(M2, M3)의 온 기간에서 제1 트랜지스터(M1)의 문턱 전압에 상응하는 전압을 저장할 수 있다. 또한, 제1 캐패시터(C1)는 제2 트랜지스터(M2)의 온 기간에서 데이터선(Dm)을 통해 전달되는 데이터 전류에 상응하는 전압을 저장한다. 그리고, 제1 캐패시터(C1)는 제2 및 제3 트랜지스터(M2, M3)의 오프 기간에 제1 트랜지스터(M1)의 게이트 소오스 간의 전압을 저장된 전압으로 유지한다.The first electrode of the first capacitor C1 is connected to the first node N1, and the second electrode is connected to a power supply line that transmits a power supply voltage Vdd. In addition, the first electrode of the first capacitor C1 is connected to the gate of the first transistor M1, and the second electrode is connected to the source of the first transistor M1. The first capacitor C1 may store a voltage corresponding to the threshold voltage of the first transistor M1 in the on periods of the second and third transistors M2 and M3. In addition, the first capacitor C1 stores a voltage corresponding to the data current transmitted through the data line Dm in the on period of the second transistor M2. In addition, the first capacitor C1 maintains the voltage between the gate sources of the first transistor M1 at the stored voltage in the off period of the second and third transistors M2 and M3.
제2 캐패시터(C2)의 제1 전극은 제1 노드(N1)에 접속되고, 제2 전극은 부스트(boost) 전압을 전달하는 부스트선에 접속된다. 제2 캐패시터(C2)는 제1 트랜지스터(M1)의 게이트 전압을 부스트하여 전류를 다운 스케일링한다. 다시 말해서, 제2 캐패시터(C2)는 큰 전류의 기입에 의해 제1 노드(N1)에 형성된 낮은 전압을 부스트선의 전압 상승에 따라 제1 노드(N1)의 전압을 상승시킨다.The first electrode of the second capacitor C2 is connected to the first node N1, and the second electrode is connected to a boost line that transmits a boost voltage. The second capacitor C2 boosts the gate voltage of the first transistor M1 to downscale the current. In other words, the second capacitor C2 increases the voltage of the first node N1 with the low voltage formed at the first node N1 due to the writing of a large current as the voltage of the boost line increases.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 포함한 화소를 이용하면, 액티브 매트릭스형 발광 표시 장치의 경우, 구동용 트랜지스터의 채널 내의 특정 부위에 고밀도 결함부가 형성되는 경우에도, 트랜지스터의 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지하여 패널 내의 구동용 트랜지스터의 균일도를 높여 화질을 개선할 수 있다.As described above, when the pixel including the transistor according to the exemplary embodiment of the present invention is used, in the case of an active matrix type light emitting display device, even when a high density defect portion is formed in a specific portion of a channel of the driving transistor, the overall current flow of the transistor It is possible to improve the image quality by increasing the uniformity of the driving transistor in the panel by keeping the constant.
한편, 상술한 실시예에서는 발광 표시 장치의 화소에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 그러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명은 구동용 박막 트랜지스터를 이용하는 TFT-LCD 등의 다른 표시 장치의 화소에도 용이하게 적용될 수 있다.In the above-described embodiment, the pixel of the light emitting display device has been described, but the present invention is not limited to such a configuration. For example, the present invention can be easily applied to pixels of other display devices such as TFT-LCDs using a driving thin film transistor.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터를 채용한 발광 표시 장치에 대한 구성도이다.9 is a configuration diagram of a light emitting display device employing a transistor according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 발광 표시 장치(500)는 액티브 매트릭스 구동 방식으로 화상을 표시한다. 이 구동법은 각 화소를 쉽게 제어할 수 있어 우수한 화질로 천연색을 표시할 수 있다. 이를 위해, 발광 표시 장치(500)는 주사 구동부(510), 데이터 구동부(520) 및 화상표시부(530)를 포함한다. 화상표시부(530)는 복수의 화소(540)를 포함한다. 각 화소(540)는 발광 소자(EL)와 이 발광 소자(EL)를 제어하기 위한 화소 회로(542)를 포함한다. 그리고, 화소 회로(542)는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동용 트랜지스터를 포함한다. 도 9에서, 구동용 트랜지스터는 확대되어 표시되어 있다.Referring to FIG. 9, the light emitting
구체적으로, 발광 표시 장치(500)는 주사 구동부(510)으로부터 화상표시부(530)의 가로 방향으로 연장되는 n개의 주사선(S1, S2,..., Sn)과, 데이터 구동부(520)로부터 화상표시부(530)의 세로 방향으로 연장되는 m개의 데이터선(D1, D2, D3,..., Dm)과, 각 주사선과 각 데이터선에 접속되는 n×m개의 화소(540)를 구비한 화상표시부(530)을 포함한다.Specifically, the light emitting
주사 구동부(510)는 주사선(S1, S2,..., Sn)에 주사 신호를 공급한다. 주사 신호는 단일 주사(single scan) 방식, 순차 주사(progressive scan) 방식, 이중 주사(dual scan) 방식, 비월 주사(interlaced scan) 방식이나 또 다른 방식의 주사 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 각 화소(540)에 전달된다.The
데이터 구동부(520)는 데이터선(D1, D2, D3,..., Dm)에 데이터 신호를 공급한다. 데이터 신호는 데이터 전압을 포함한다. 한편, 데이터 신호는 화소 회로의 구성에 따라 데이터 전류로 구현될 수 있다.The
화상표시부(530)는 전원전압(Vdd)을 전달하는 전원선(미도시), 복수의 주사선(S1, S2,..., Sn), 복수의 데이터선(D1, D2, D3,..., Dm) 및 복수의 화소(540)를 포함한다. 이러한 화상표시부(530)는 절연성 투명 기판 등의 기판(미도시) 상에 형성된다.The
한편, 주사 구동부(510) 및/또는 데이터 구동부(520)는 화상표시부(530)가 형성되는 기판 위에 직접 장착될 수 있으며, 화상표시부(530)가 형성되는 기판에 주사선, 데이터선 및 트랜지스터와 동일한 층들로 형성되는 구동 회로로 대체될 수 있다. 다른 한편으로, 주사 구동부(510) 및/또는 데이터 구동부(520)는 COF(chip on flexible board, or chip on film) 구조로 형성될 수 있다. 다시 말해서, 주사 구동부(510) 및/또는 데이터 구동부(520)는 기판에 접착되어 전기적으로 연결되는 가요성 인쇄 회로 기판(flexible printed circuit: FPC) 또는 필름(film) 등에 칩 등의 형태로 장착될 수 있다.The
화소(540)는 데이터선(D1, D2, D3,..., Dm)을 통해 전달되는 데이터 신호에 따라 소정의 색 및 휘도를 표시한다. 또한, 화소(540)는 적어도 스위치용 트랜지스터, 캐패시터, 구동용 트랜지스터 및 발광 소자를 포함한다. 여기서, 구동용 트랜지스터(543)는, 도 9에 확대하여 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜지스터로 구현된다. 따라서, 각 화소(540)는 ELA 등의 결정화 공정을 통해 구동용 트랜지스터의 반도체층이 형성될 때, 구동용 트랜지스터의 반도체층의 특정 채널 부위에 고밀도의 결함부가 형성되는 경우에도, 다른 채널 부위로 전류 이동 경로를 형성하여 전체적인 전류 흐름을 일정하게 유지함으로써, 또는 화상표시부(530) 내의 구동용 박막 트랜지스터의 균일도를 높임으로써, 발광 표시 장치(500)의 화질을 높일 수 있다.The
한편, 상술한 실시예에서는 트랜지스터가 소오스, 드레인 및 게이트를 구비하는 것으로 설명하였다. 하지만, 본 발명은 제1 전극, 제2 전극, 및 제3 전극을 구비하고, 제1 전극 및 제2 전극 간에 인가되는 전압에 의하여 제2 전극에서 제3 전극으로 흐르는 전류의 양을 제어할 수 있는 능동 소자로 구현될 수 있다.On the other hand, in the above embodiment, the transistor has been described as having a source, a drain, and a gate. However, the present invention includes a first electrode, a second electrode, and a third electrode, and can control the amount of current flowing from the second electrode to the third electrode by a voltage applied between the first electrode and the second electrode. It can be implemented as an active device.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation by a person of ordinary skill in the art within the scope of the technical idea of this invention is carried out. This is possible.
본 발명에 따르면, 발광 소자를 제어하기 위한 화소 회로 내의 구동 트랜지스터의 균일도를 높일 수 있다. 또한, 구동 트랜지스터의 문턱 전압을 보상하기 위한 회로를 생략할 수 있으므로 개구율을 높일 수 있다. 또한, 구동 트랜지스터의 제조시에 고밀도의 결함부가 생성되는 경우에도 구동 트랜지스터가 전체적인 전류 흐름을 실질적으로 일정하게 유지함으로써 구동 트랜지스터의 불량에 의한 수율 감소를 줄일 수 있다. 게다가, 상술한 구동 트랜지스터를 이용하여 발광 표시 장치의 화질을 높일 수 있다.According to the present invention, the uniformity of the driving transistor in the pixel circuit for controlling the light emitting element can be increased. In addition, since the circuit for compensating the threshold voltage of the driving transistor can be omitted, the aperture ratio can be increased. In addition, even in the case where a high density of defects are generated during manufacturing of the driving transistor, the driving transistor keeps the overall current flow substantially constant, thereby reducing the yield reduction due to the failure of the driving transistor. In addition, the image quality of the light emitting display device can be improved by using the above-described driving transistor.
Claims (19)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040081810A KR100622227B1 (en) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040081810A KR100622227B1 (en) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060032827A KR20060032827A (en) | 2006-04-18 |
KR100622227B1 true KR100622227B1 (en) | 2006-09-19 |
Family
ID=37142084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040081810A KR100622227B1 (en) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100622227B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101113370B1 (en) * | 2009-11-11 | 2012-02-29 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Thin Film Transistor and Organic Light Emitting Display device using thereof |
CN103943684A (en) * | 2014-03-26 | 2014-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | TFT, a manufacturing method of thin film transistor, array substrate and display device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100600341B1 (en) * | 2004-11-17 | 2006-07-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | Driver transistor and organic light emitting diode display using the same |
KR102140302B1 (en) * | 2013-09-06 | 2020-08-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light-emitting display apparatus and photo mask for making thereof |
KR102259195B1 (en) * | 2013-09-06 | 2021-06-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light-emitting display apparatus and photo mask for making thereof |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR930020656A (en) * | 1992-03-30 | 1993-10-20 | 김광호 | Multichannel Thin Film Transistor |
JPH06196696A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Canon Inc | Thin-film transistor and manufacture thereof |
JPH1197701A (en) | 1997-09-18 | 1999-04-09 | Seiko Epson Corp | Thin film transistor, manufacture of the same, and liquid crystal display |
KR20010056980A (en) * | 1999-12-17 | 2001-07-04 | 이인환 | Reducing the Polysilicon TFT Nonuniformity by Transister Slicing |
JP2001183704A (en) | 2000-10-19 | 2001-07-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Display device |
KR20030062723A (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | Polysilicon thin layer for thin film transistor and device using thereof |
-
2004
- 2004-10-13 KR KR1020040081810A patent/KR100622227B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR930020656A (en) * | 1992-03-30 | 1993-10-20 | 김광호 | Multichannel Thin Film Transistor |
JPH06196696A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Canon Inc | Thin-film transistor and manufacture thereof |
JPH1197701A (en) | 1997-09-18 | 1999-04-09 | Seiko Epson Corp | Thin film transistor, manufacture of the same, and liquid crystal display |
KR20010056980A (en) * | 1999-12-17 | 2001-07-04 | 이인환 | Reducing the Polysilicon TFT Nonuniformity by Transister Slicing |
JP2001183704A (en) | 2000-10-19 | 2001-07-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Display device |
KR20030062723A (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | Polysilicon thin layer for thin film transistor and device using thereof |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101113370B1 (en) * | 2009-11-11 | 2012-02-29 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Thin Film Transistor and Organic Light Emitting Display device using thereof |
CN103943684A (en) * | 2014-03-26 | 2014-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | TFT, a manufacturing method of thin film transistor, array substrate and display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060032827A (en) | 2006-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100867926B1 (en) | Organic light emitting diode display device and fabrication method of the same | |
KR100906964B1 (en) | Element for driving organic light emitting device and display panel for organic light emitting device with the same | |
US7816687B2 (en) | Driving transistor and organic light emitting diode display having the same | |
KR100698681B1 (en) | Light emitting display device | |
US6762564B2 (en) | Display apparatus | |
US8305311B2 (en) | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same | |
KR101107252B1 (en) | Thin film transistor substrate in electro-luminescence dispaly panel and method of fabricating the same | |
EP1737046B1 (en) | Light emitting display | |
US20050285108A1 (en) | Pixel circuit and display device having improved transistor structure | |
US20080157081A1 (en) | Organic light emitting device and method for manufacturing the same | |
KR100622227B1 (en) | Transistor for driving organic light emitting diode and pixel circuit and display device using the same | |
US7173368B2 (en) | Flat panel display with thin film transistor (TFT) | |
US8426863B2 (en) | Thin film transistor; method of manufacturing same; and organic light emitting device including the thin film transistor | |
KR100599727B1 (en) | A method for manufacturing capacitor in an organic electro-luminescence light emitting cell | |
KR100658288B1 (en) | Pixel circuit and organic light emitting display having an improved transistor structure | |
KR101483629B1 (en) | Thin film transistor and manufacturing method thereof | |
KR100693235B1 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
KR20050122694A (en) | Light emitting display and fabrication method thereof | |
KR100934842B1 (en) | OLED display device | |
KR100430234B1 (en) | Method for forming thin film transistor of organic field emission display |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120831 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130830 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140901 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160831 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180829 Year of fee payment: 13 |