KR100619477B1 - 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트 - Google Patents

건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트 Download PDF

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Abstract

본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 개시한다. 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다. 그에 따라, 본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있고, 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있다.
건식필름 레지스트, 경사노광, 마스크, DFR, 프리즘, 금형

Description

건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트{METHOD FOR MANUFACTURING METAL MOLD OF PRISM USING DRY FILM RESIST AND THE DRY FILM RESIST USED FOR THE METHOD}
도 1은 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법의 흐름도이다.
도 2a는 본 발명의 제1실시예에 따라 건식필름 레지스트 상에 마스크가 정렬된 상태를 도시한 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 제1실시예에 따라 건식필름 레지스트에서 노광영역과 비노광영역을 표시한 단면도이다.
도 2c는 본 발명의 제1실시예에 따라 현상된 건식필름 레지스트를 도시한 단면도이다.
도 2d는 본 발명의 제1실시예에 따라 금속금형을 제조하는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따라 완성된 프리즘 제조용 금속금형을 도시한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 제2실시예에 따라 건식필름 레지스트 상에 마스크가 정렬된 상태를 도시한 단면도이다.
도 4b는 본 발명의 제2실시예에 따라 건식필름 레지스트에서 노광영역과 비노광영역을 표시한 단면도이다.
도 4c는 본 발명의 제2실시예에 따라 현상된 건식필름 레지스트를 도시한 단면도이다.
도 4d는 본 발명의 제2실시예에 따라 금속금형을 제조하는 공정을 나타내는 단면도이다.
♣도면의 주요부분에 관한 부호의 설명 ♣
2 : 제1 경사노광 자외선 4 : 제2 경사노광 자외선
6 : 마스크 7 : 광흡수부
8 : 광투과부 12 : 자외선 투광기판
14 : 건식필름 레지스트 16 : 비노광부
18 : 노광부 20 : 프리즘제조용 금속금형
본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것이다.
일반적인 백라이트유닛(BLU; Back Light Unit)의 구조는 일측에 선광원을 구비하고 선광원으로부터의 광을 반사시켜 면광원으로 변경시키면서 빛을 반사하기 위하여 반사시트(Reflector Sheet) 및 광가이드패널(LGP; Light Guide Panel)을 구비한다. 광가이드패널을 지나고 반사시트에서 반사되어 면광원으로 출사되는 빛은 광확산시트(Diffuser Sheet)를 거쳐 확산된다. 광을 확산하는 것은 면광원의 빛의 휘도가 전체 면에 대하여 균일하게 유지되도록 하기 위함이다.
광확산시트를 거친 광원은 집광의 기능을 하는 프리즘시트를 거친다. 프리즘시트는 광을 집중시켜 소정의 각도에서 높은 휘도를 갖는 화면을 볼 수 있도록 한다. 이러한 프리즘시트는 프리즘시트면에 대하여 프리즘들이 수평방향으로 배열된 시트와 수직방향으로 배열된 시트가 사용된다. 프리즘시트는 삼각기둥 형상이 배열형으로 배치되는 복수의 프리즘들로 구성된다.
프리즘시트의 광학적 특성은 프리즘시트에 형성된 프리즘들의 배열구조, 프리즘의 경사면 각도 및 프리즘의 경사면 표면 특성에 의하여 결정된다. 이를 위하여, 종래의 프리즘시트를 제조하기 위한 다양한 방법이 개시되고 있다. 종래의 프리즘시트를 제조하기 위한 방법은 웨이퍼상에 포토레지스트를 스핀코팅하고 경사면을 갖도록 노광 및 현상함으로써 프리즘시트를 제조하고 있다.
상술한 종래의 방법에 의하여 제조되는 프리즘시트는 프리즘의 경사면 표면조도를 일정하게 유지할 수 없어 경사면의 표면이 균일지 못한 문제점을 갖는다. 그에 따라, 종래의 방법에 의하여 제조되는 프리즘시트는 광학표시장치상에 휘도를 균일하게 유지할 수 없거나 얼룩을 생성시키는 등의 문제점을 안고 있다. 또한, 포토레지스트를 스핀코팅하는 경우 포토레지스트는 굳은 상태가 되는데, 이 경우 마스크와 접촉시 스핀코팅된 포토레지스트의 표면상태에 따라서 마스크와 포토레지스트의 사이에 간극이 발생하는 문제점을 안고 있다. 마스크와 포토레지스트의 사이에 간극이 발생할 경우 원하는 프리즘의 금형을 제조하는데, 오차가 커지는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있도록 건식필름 레지스트를 이용하여 프리즘의 V형의 홈을 제조하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은 건식필름 레지스트의 탄력성을 이용하여 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 상술한 목적, 장점들 및 신규한 특징들은 첨부한 도면들을 참조하여 설명되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이나, 첨부한 도면들은 본 발명을 명확하게 기술하고자 하는 것으로서 본 발명의 보호범위가 도면에 나타난 구성에 국한되지는 않는다.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로서, 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 특징으로서, 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법에 사용되는 건식필름 레지스트는 삼각기둥형상이 길게 형성된 프리즘이 복수개가 배열된 구조물을 제조하기 위한 금속금형의 재료가 전기도금되는 공정에 사용되고, 길게 배치된 삼각기둥형상이 복수개가 배열된다.
이하에서는, 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트의 실시예에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법의 흐름도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 마스크를 건식필름 레지스트(Dry Film Resist)에 정렬한다(S10).
도 2a는 본 발명의 제1실시예에 따라 건식필름 레지스트 상에 마스크가 정렬된 상태를 도시한 단면도이다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 건식필름 레지스트(14) 상에 소정의 형상으로 패턴된 마스크(6)가 정렬된다.
마스크(6)는 노광하고자 하는 광의 종류에 따라서 다른 재료로 구성되는 패턴을 구비한다. 마스크(6)는 프리즘 구조에 따라 패턴된 광흡수부(7)와 광흡수부(7)의 사이에 형성된 광투과부(8)로 구성된다. 마스크(6)의 광흡수부(7)는 광투과부(8)가 상면에서 바라보았을 경우 길게 일자형인 슬릿형으로 복수개가 형성되도록 패턴된다.
건식필름 레지스트(14)의 하면에는 자외선 투광기판(12)이 건식필름 레지스트(14)를 지지하도록 배치된다. 건식필름 레지스트(14)는 두께가 상면 및 하면의 가로, 세로 길이에 비하여 상대적으로 얇은 필름형의 구조를 갖는다. 건식필름 레지스트(14)는 유연성이 높은 재료로 구성되어 다른 물질에 접촉될 경우 물체 표면의 특성과 관계없이 다른 고체물질의 포토레지스트에 비하여 상대적으로 접촉 사이의 간극이 거의 없다. 도 2a상에서는 설명의 편의를 위하여 마스크(6)와 건식필름 레지스트(14)가 이격된 상태를 도시하였으나, 실제로 본 발명의 실시예에 따라 마스크(6)와 건식필름 레지스트(14) 사이에는 간극이 없는 상태로 자외선이 노광된다.
도 2a를 참조하면, 마스크(6)를 건식필름 레지스트(14)에 정렬한 후, 마스크(6)에 자외선을 제1 경사노광한다(S12). 제1 경사노광 자외선(2)은 수직축에 대하여 소정의 경사각을 갖는 상태에서 노광된다. 제1 경사노광 자외선(2)은 마스크(6)의 광흡수부(7)에서는 흡수되지만, 광투과부(8)를 통하여 통과하게 된다. 마스크(6)를 통과한 제1 경사노광 자외선(2)은 건식필름 레지스트(14)에 자외선의 경사각만큼의 경사진 부분에 노광된다.
제1 경사노광 후, 마스크(6)에 자외선을 제2 경사노광한다(S14). 제2 경사노광 자외선(4)은 수직축에 대하여 제1 경사노광 자외선(2)의 진행방향에 엇갈리게 노광된다. 제2 경사노광 자외선(4)은 마스크(6)의 광흡수부(7)에서는 흡수되지만, 광투과부(8)를 통하여 통과하게 된다. 마스크(6)를 통과한 제2 경사노광 자외선(4)은 건식필름 레지스트(14)에 제1 경사노광 자외선(2)에 의한 노광영역과는 엇갈리게 경사진 부분에 노광된다.
제2 경사노광에서는 제2 경사노광 자외선(4)이 수직축에 대하여 제1 경사노광 자외선(2)에 대칭되도록 경사각이 조절되어 노광되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1 경사노광 자외선(2)에 의하여 노광된 영역과 제2 경사노광 자외선(4)에 의하여 노광된 영역이 대칭을 이루게 된다.
도 2b는 본 발명의 제1실시예에 따라 건식필름 레지스트에서 노광영역과 비노광영역을 표시한 단면도이다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따라 제1 노광과 제2 노광을 통하여 서로 엇갈리게 경사진 영역인 노광부(18)가 노광된다. 도 2b를 참조하면, 노광부(18)의 상부영역은 자외선이 투과되지 않은 비노광부(16)가 된다.
제1 노광과 제2 노광을 거친 후, 노광된 건식필름 레지스트(14)가 현상된다. 도 2c는 본 발명의 제1실시예에 따라 현상된 건식필름 레지스트를 도시한 단면도이다. 도 2c에 도시된 바와 같이, 비노광부(16)는 현상액에 의하여 제거되고 노광부(18)는 제거되지 않은 상태로 그대로 잔류한다. 그에 따라, 건식필름 레지스트(14)는 삼각기둥형상이 눕혀진 상태의 프리즘 형상이 연속적으로 인접하여 배열된 형상으로 가공된다. 이 경우, 자외선 투광기판(12)과 노광부(18) 사이의 영역은 현상액에 노출되지 않아 그대로 잔류하게 된다.
현상액에 의하여 현상함으로써 건식필름 레지스트(14)의 식각이 완료된 후, 현상된 건식필름 레지스트(14)에 전기도금을 통하여 금속금형(20)이 제조된다(S18). 도 2d는 본 발명의 제1실시예에 따라 금속금형을 제조하는 공정을 나타내는 단면도이다. 도 2d에 도시된 바와 같이, 건식필름 레지스트(14)의 노광부(18) 표면상에 금속재질의 금속금형(20)이 전기도금된다.
금속금형(20)을 제조하기 위하여, 건식필름 레지스트(14)의 경사면 상에 전기전도성이 높은 금속이 도포된다. 이와 같이 도포된 금속에 전류를 가하면서 금속금형(20)의 재료가 되는 금속재료를 전해전착시킨다. 금속금형(20)의 재료인 금속재료는 내부식성 및 내화학성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 니켈, 크롬 등의 금속으로 구성되는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명에 따라 완성된 프리즘 제조용 금속금형을 도시한 단면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 금속금형(20)은 단면으로 삼각형의 구조물이 배열되어 있는 형상을 갖는다. 상세히 말하면, 금속금형(20)은 삼각기둥형상이 눕혀진 상태의 구조물이 배열되어 있는 형상을 갖는다.
상술한 바와 같이 제조된 금속금형(20) 상에 액정표시장치의 백라이트 유닛에 사용되는 프리즘을 제조하기 위한 재료를 형성시키면 삼각기둥형이 반복적으로 형성된 프리즘 시트를 제조할 수 있다. 프리즘을 제조하기 위한 재료로서 다양한 재료가 사용될 수 있는데, 본 발명의 일실시예에 따라 프리즘을 제조하기 위한 재료로서 PMMA(Poly-Methyl-MetAcrylate)와 같은 재료가 사용된다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 제2실시예에 따라 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법을 나타내는 공정의 단면도이다. 도 4a는 본 발명의 제2실시예에 따라 건식필름 레지스트 상에 마스크가 정렬된 상태를 도시한 단면도이다. 도 4a에 도시된 바와 같이, 건식필름 레지스트(14)상에 소정의 형상으로 패턴된 마스크(6)가 정렬된다.
마스크(6)는 노광하고자 하는 광의 종류에 따라서 다른 재료로 구성되는 패턴을 구비한다. 마스크(6)는 프리즘 구조에 따라 패턴된 광흡수부(7)와 광흡수부(7)의 사이에 형성된 광투과부(8)로 구성된다. 마스크(6)의 광흡수부(7)는 광투과부(8)가 상면에서 바라보았을 경우 길게 일자형인 슬릿형으로 복수개가 형성되도록 패턴된다.
건식필름 레지스트(14)는 두께가 상면 및 하면의 가로, 세로 길이에 비하여 상대적으로 얇은 필름형의 구조를 갖는다. 건식필름 레지스트(14)는 유연성이 높은 재료로 구성되어 다른 물질에 접촉될 경우 물체 표면의 특성과 관계없이 다른 고체물질의 포토레지스트에 비하여 상대적으로 접촉 사이의 간극이 거의 없다. 도 4a상에서는 설명의 편의를 위하여 마스크(6)와 건식필름 레지스트(14)가 이격된 상태를 도시하였으나, 실제로 본 발명의 실시예에 따라 마스크(6)와 건식필름 레지스트(14) 사이에는 간극이 없는 상태로 자외선이 노광된다.
도 4a를 참조하면, 마스크(6)를 건식필름 레지스트(14)에 정렬한 후, 마스크 (6)에 자외선을 제1 경사노광한다. 제1 경사노광 자외선(2)은 수직축에 대하여 소정의 경사각을 갖는 상태에서 노광된다. 제1 경사노광 자외선(2)은 마스크(6)의 광흡수부(7)에서는 흡수되지만, 광투과부(8)를 통하여 통과하게 된다. 마스크(6)를 통과한 제1 경사노광 자외선(2)은 건식필름 레지스트(14)에 자외선의 경사각 만큼의 경사진 부분에 노광된다.
제1 경사노광 후, 마스크(6)에 자외선을 제2 경사노광한다. 제2 경사노광 자외선(4)은 수직축에 대하여 제1 경사노광 자외선(2)의 진행방향에 엇갈리게 노광된다. 제2 경사노광 자외선(4)은 마스크(6)의 광흡수부(7)에서는 흡수되지만, 광투과부(8)를 통하여 통과하게 된다. 마스크(6)를 통과한 제2 경사노광 자외선(4)은 건식필름 레지스트(14)에 제1 경사노광 자외선(2)에 의한 노광영역과는 엇갈리게 경사진 부분에 노광된다.
제2 경사노광에서는 제2 경사노광 자외선(4)이 수직축에 대하여 제1 경사노광 자외선(2)에 대칭되도록 경사각이 조절되어 노광되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1 경사노광 자외선(2)에 의하여 노광된 영역과 제2 경사노광 자외선(4)에 의하여 노광된 영역이 대칭을 이루게 된다.
도 4b는 본 발명의 제2실시예에 따라 건식필름 레지스트에서 노광영역과 비노광영역을 표시한 단면도이다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따라 제1 노광과 제2 노광을 통하여 서로 엇갈리게 경사진 영역인 노광부(18)가 노광된다. 도 4b를 참조하면, 노광부(18)의 상부영역은 자외선이 투과되지 않은 비노광부(16)가 된다.
제1 노광과 제2 노광을 거친 후, 노광된 건식필름 레지스트(14)가 현상된다. 도 4c는 본 발명의 제2실시예에 따라 현상된 건식필름 레지스트를 도시한 단면도이다. 도 4c에 도시된 바와 같이, 비노광부(16)는 현상액에 의하여 제거되고 노광부(18)는 제거되지 않은 상태로 그대로 잔류한다. 그에 따라, 건식필름 레지스트(14)는 삼각기둥형상이 눕혀진 상태의 프리즘 형상이 연속적으로 인접하여 배열된 형상으로 가공된다. 이 경우, 자외선 투광기판(12)과 노광부(18) 사이의 영역은 현상액에 노출되지 않아 그대로 잔류하게 된다.
현상액에 의하여 현상함으로써 건식필름 레지스트(14)의 식각이 완료된 후, 현상된 건식필름 레지스트(14)에 전기도금을 통하여 금속금형(20)이 제조된다. 도 4d는 본 발명의 제2실시예에 따라 금속금형을 제조하는 공정을 나타내는 단면도이다. 도 4d에 도시된 바와 같이, 건식필름 레지스트(14)의 노광부(18) 표면상에 금속재질의 금속금형(20)이 전기도금된다.
금속금형(20)을 제조하기 위하여, 건식필름 레지스트(14)의 경사면 상에 전기전도성이 높은 금속이 도포된다. 이와 같이 도포된 금속에 전류를 가하면서 금속금형(20)의 재료가 되는 금속재료를 전해전착시킨다. 금속금형(20)의 재료인 금속재료는 내부식성 및 내화학성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 니켈, 크롬 등의 금속으로 구성되는 것이 바람직하다.
결과적으로, 본 발명의 제2실시예에 따라 제조되는 금속금형(20)은 도 3에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따라 제조되는 금속금형(20)과 동일한 형상을 갖도록 제조된다.
이상에서 설명된 실시예들은 본 발명의 다양한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있도록 건식필름 레지스트를 이용하여 프리즘의 V형의 홈을 제조할 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명은 건식필름 레지스트의 탄력성을 이용하여 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있는 현저한 효과를 갖는다.

Claims (10)

  1. 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와;
    상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와;
    상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와;
    상기 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와;
    상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계는,
    상기 마스크를 상기 건식필름 레지스트에 접촉시켜 상기 건식필름 레지스트에 정렬하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,
    상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계는,
    상기 건식필름 레지스트를 자외선 투광기판상에 부착하여 상기 마스크를 정렬하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,
    상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계는,
    상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속을 도포하고 니켈을 전기도금하여 니켈로 구성되는 금속금형을 제조하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이 용한 프리즘의 금형 제조 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,
    상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법.
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