KR100617609B1 - Alignment system for bonding substrates in lcd - Google Patents

Alignment system for bonding substrates in lcd Download PDF

Info

Publication number
KR100617609B1
KR100617609B1 KR1019990061642A KR19990061642A KR100617609B1 KR 100617609 B1 KR100617609 B1 KR 100617609B1 KR 1019990061642 A KR1019990061642 A KR 1019990061642A KR 19990061642 A KR19990061642 A KR 19990061642A KR 100617609 B1 KR100617609 B1 KR 100617609B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
mark
glass mark
absorption
reflectance
Prior art date
Application number
KR1019990061642A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010058142A (en
Inventor
김상욱
김태만
Original Assignee
비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 filed Critical 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사
Priority to KR1019990061642A priority Critical patent/KR100617609B1/en
Publication of KR20010058142A publication Critical patent/KR20010058142A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100617609B1 publication Critical patent/KR100617609B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1313Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치를 개시한다. 개시된 본 발명은, 반사 타입의 글래스 마크가 형성된 제 1 기판과 흡수 타입의 글래스 마크가 형성된 제 2 기판을 합착할 때 화상 처리하는 것에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판에 대한 해당 글래스 마크 사이의 반사율 및 흡수율을 측정하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 얼라인시키는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치에 있어서, 상기 제 1 기판 저부에는 전하를 조사하여 상기 제 1 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크의 반사율 차이와 상기 제 2 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 측정하는 CCD 카메라가 위치되고, 상기 제 2 기판 상부에는 상기 상부기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 상기 제 1 기판에 대한 상기 반사 타입의 글래스 마크의 반사율의 차이와 유사하도록 증폭시키는 반사경이 구비된 것을 특징으로 한다.The present invention discloses an alignment device for bonding a substrate of a liquid crystal display device. The disclosed invention provides a reflectance between a corresponding glass mark for the first and second substrates by image processing when bonding the first substrate on which the reflection type glass mark is formed and the second substrate on which the absorption type glass mark is formed. And an alignment device for bonding the substrate of the liquid crystal display device to align the first and second substrates by measuring an absorptivity, wherein the bottom of the first substrate is irradiated with electric charges to form a reflection mark on the first substrate. The CCD camera for measuring the difference in the reflectance difference of the absorption rate of the glass mark of the absorption type with respect to the second substrate is located, and the absorption rate difference of the absorption mark of the absorption type for the upper substrate on the second substrate; Provided with a reflector for amplifying to be similar to a difference in reflectance of the reflection type glass mark relative to the substrate It characterized.

Description

액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치{ALIGNMENT SYSTEM FOR BONDING SUBSTRATES IN LCD}Alignment device for bonding the substrate of the liquid crystal display device {ALIGNMENT SYSTEM FOR BONDING SUBSTRATES IN LCD}

도 1a는 종래의 액정 표시 장치의 기판에 형성된 반사 타입의 글래스 마크 및 글래스 마크의 반사율을 보여주는 도면.1A is a diagram showing a reflection type glass mark and reflectance of a glass mark formed on a substrate of a conventional liquid crystal display device;

도 1b는 종래의 액정 표시 장치의 기판에 형성된 흡수 타입의 글래스 마크 및 글래스 마크의 흡수율을 보여주는 도면.1B is a view showing an absorption type glass mark and an absorption rate of a glass mark formed on a substrate of a conventional liquid crystal display device.

도 2는 종래의 액정 표시 장치의 기판에 형성된 반사 타입 및 흡수 타입의 글래스 마크 및 각 글래스 마크들간의 반사율 및 흡수율을 보여주는 도면.FIG. 2 is a diagram showing a reflection type and an absorption type of a glass mark formed on a substrate of a conventional liquid crystal display, and reflectance and absorption between each glass mark; FIG.

도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치를 개략적으로 나타낸 도면.3 is a schematic view showing an alignment device for bonding the substrate of the liquid crystal display according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판에 형성된 반사 타입 및 흡수 타입의 글래스 마크 및 각 글래스 마크들간의 반사율 및 흡수율을 보여주는 도면.4 is a view showing a reflection type and an absorption type of the glass mark formed on the substrate of the liquid crystal display according to the present invention and the reflectance and absorption between the respective glass marks.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

10 - CCD 카메라 11 - 기판10-CCD Camera 11-Board

12 - 반사경 20 - 반사 타입의 글래스 마크12-Reflector 20-Reflective glass mark

20a - 반사막 25 - 흡수 타입의 글래스 마크20a-Reflective film 25-Glass mark of absorption type

25a - 흡수막25a-absorption film

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an alignment device for bonding a substrate of a liquid crystal display device.

일반적인 액정 표시 장치는 다음의 순서로 형성된다.A general liquid crystal display device is formed in the following order.

먼저, TFT 및 화소 전극이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터가 형성된 상부 기판 각각의 표면에는 배향막이 인쇄된다. 이어, 배향막들이 일정한 방향성을 갖도록 러빙 공정이 진행된다. 그리고 나서, 상 하부 기판의 표면이 세정된다. 그후, 하부 기판에는 액정 패널에 기밀 유지용 실(seal)이 인쇄되고, 상부 기판에는 셀갭 유지제인 스페이서가 산포된다. 여기서, 실은 액정 주입구가 오픈되도록 인쇄되어야 한다.First, an alignment film is printed on the surface of each of the lower substrate on which the TFT and the pixel electrode are formed and the upper substrate on which the color filter is formed. Then, the rubbing process is performed so that the alignment layers have a constant orientation. Then, the surface of the upper lower substrate is cleaned. Thereafter, an airtight seal is printed on the liquid crystal panel on the lower substrate, and a spacer, which is a cell gap retainer, is scattered on the upper substrate. Here, the seal should be printed so that the liquid crystal injection hole is opened.

그후, 상,하부 기판은 대기압 상태에서 조립된 후, 상하 기판사이의 셀갭을 일정하게 유지시키기 위하여 소정의 가압 수단에 의하여 가압 공정이 진행된다. 이때, 상하부 기판은, 상하부 기판 가장자리에 형성되어 있는 글래스 마크를 CCD(charge coupled device) 카메라의 화상 처리에 의하여 스캐닝하므로써, 정확히 얼라인되어 조립된다. Thereafter, the upper and lower substrates are assembled at atmospheric pressure, and then a pressing process is performed by predetermined pressing means to maintain a constant cell gap between the upper and lower substrates. At this time, the upper and lower substrates are accurately aligned and assembled by scanning the glass marks formed on the upper and lower substrate edges by image processing of a CCD (charge coupled device) camera.

여기서, 글래스 마크로는 도 1a와 같은 반사 타입과, 도 1b와 같은 흡수 타입이 있다. 먼저, 도 1a와 같이 반사 타입의 글래스 마크(1)는 표면에 크롬과 같은 반사막(1a)이 형성되어 있다. 이러한 반사 타입의 글래스 마크(1)가 형성된 기판을 CCD 카메라로 화상처리를 하게 되면, 반사 타입의 글래스 마크(1)가 형성된 부분은 기판 표면보다 상대적으로 높은 반사율을 나타낸다. 이에따라, 글래스 마크(1)의 위치를 파악하게 된다. Here, the glass mark includes a reflection type as shown in FIG. 1A and an absorption type as shown in FIG. 1B. First, as shown in FIG. 1A, the reflective glass mark 1 is formed with a reflective film 1a such as chromium on its surface. When the substrate on which the reflection type glass mark 1 is formed is subjected to image processing by a CCD camera, the portion on which the reflection type glass mark 1 is formed exhibits a relatively higher reflectance than the surface of the substrate. Thereby, the position of the glass mark 1 is grasped | ascertained.

한편, 도 1b에 도시된 흡수 타입의 글래스 마크(5)는 표면에 수지와 같은 흡수막(5a)이 형성되어 있다. 이러한 흡수 타입의 글래스 마크(5)가 형성된 기판을 CCD 카메라로 화상처리하게 되면, 흡수 타입의 글래스 마크(5)가 형성된 부분은 기판 표면보다 상대적으로 낮은 흡수율을 나타낸다. 이에따라, 글래스 마크(5)의 위치를 파악하게 된다. 이러한 글래스 마크는 상하 기판 동일 타입으로 형성함이 바람직하다. On the other hand, in the absorption mark glass mark 5 shown in FIG. 1B, the absorption film 5a like resin is formed in the surface. When the substrate on which the absorption type glass mark 5 is formed is image processed by a CCD camera, the portion on which the absorption type glass mark 5 is formed exhibits a relatively low absorption rate than the substrate surface. Thereby, the position of the glass mark 5 is grasped | ascertained. Such glass marks are preferably formed of the same type of upper and lower substrates.

그리고 나서, 실을 소정 온도에서 경화시키고, 소정 셀별로 절단한다. 그후에 실의 액정 주입구를 통하여 액정을 주입한다음, 주입구를 봉지한다. 끝으로, 액정 패널의 상, 하 뒷면에 편광판을 부착하여, 액정 표시 장치를 완성한다.Then, the yarn is cured at a predetermined temperature and cut into predetermined cells. Thereafter, the liquid crystal is injected through the liquid crystal injection hole of the yarn, and then the injection hole is sealed. Finally, polarizing plates are attached to the upper and lower rear surfaces of the liquid crystal panel to complete the liquid crystal display device.

현재의 액정 표시 장치는 고화질 및 넓은 시야각 특성을 확보하기 위하여, IPS(In-Plane Switching) 모드 또는 FFS(Fringe Field Switching) 모드등과 같이, 상부 기판에 전극이 구비되지 않는 액정 표시 장치들이 제안되고 있다. 이러한 새로운 모드의 액정 표시 장치는 도 2에 도시된 바와 같은 반사타입의 글래스 마크(1)와 흡수타입의 글래스 마크(5)가 각각의 기판에 형성되는 것으로 하부 기판에는 반사 타입의 글래스 마크(1)가 형성되며 상부 기판에는 전극의 부재(不在)로 흡수 타입의 글래스 마크(5)가 형성된다. In order to secure high-definition and wide viewing angle characteristics of the current liquid crystal display, liquid crystal display devices in which an electrode is not provided on an upper substrate, such as an in-plane switching (IPS) mode or a fringe field switching (FFS) mode, are proposed. have. In this new mode liquid crystal display, a reflective glass mark 1 and an absorption type glass mark 5 are formed on each substrate as shown in FIG. 2, and a reflective glass mark 1 is formed on the lower substrate. ) Is formed and an absorption type glass mark 5 is formed on the upper substrate.

이와같이 반사 타입과 흡수 타입의 글래스 마크가 하나의 액정 표시 장치에 혼용되면, CCD 카메라가 정확히 기판의 반사율을 측정하는데 어려움이 있어, 상하 기판을 정확히 얼라인할 수 없다. In this way, when the reflection type and the absorption type glass mark are mixed in one liquid crystal display device, the CCD camera has difficulty in accurately measuring the reflectance of the substrate, so that the upper and lower substrates cannot be accurately aligned.

즉, 반사 타입의 글래스 마크(1)의 반사막(1a)과 하부 기판간의 반사율 차이와 흡수 타입의 글래스 마크(5)의 흡수막(5a)과 상부 기판간의 흡수율의 차이가 일치하지 않으므로, CCD 카메라가 각 기판의 글래스 마크(1,5)의 위치를 정확히 측정하지 못한다. 인하여, 상부 기판과 하부 기판을 합착할 때 정확히 얼라인하기 어렵다. That is, the difference between the reflectance between the reflective film 1a of the reflective glass mark 1 and the lower substrate and the difference between the absorptivity between the absorbing film 5a of the absorption type glass mark 5 and the upper substrate do not coincide with each other. Cannot accurately measure the position of the glass marks 1, 5 of each substrate. Because of this, it is difficult to align exactly when bonding the upper substrate and the lower substrate.

따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액정 표시 장치에서 반사 타입의 글래스 마크와 흡수 타입의 글래스 마크가 혼용되더라도 정확히 상하 기판을 얼라인시킬 수 있는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention is to solve the above-described problems, and even if the reflection type glass mark and the absorption type glass mark are mixed in the liquid crystal display device, the substrate bonding of the liquid crystal display device that can align the upper and lower substrates accurately can be achieved. An object of the present invention is to provide an alignment device.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치는 반사 타입의 글래스 마크가 형성된 제 1 기판과 흡수 타입의 글래스 마크가 형성된 제 2 기판을 합착할 때 화상 처리하는 것에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판에 대한 해당 글래스 마크 사이의 반사율 및 흡수율을 측정하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 얼라인시키는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치에 있어서, 상기 제 1 기판 저부에는 전하를 조사하여 상기 제 1 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크의 반사율 차이와 상기 제 2 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 측정하는 CCD 카메라가 위치되고, 상기 제 2 기판 상부에는 상기 상부기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 상기 제 1 기판에 대한 상기 반사 타입의 글래스 마크의 반사율의 차이와 유사하도록 증폭시키는 반사경이 구비된다.The alignment device for bonding the substrate of the liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object of the present invention when the first substrate on which the reflection type glass mark is formed and the second substrate on which the absorption type glass mark is bonded An alignment apparatus for substrate bonding of a liquid crystal display device for aligning the first and second substrates by measuring the reflectance and the absorptivity between the corresponding glass marks on the first and second substrates by performing image processing. At the bottom of the first substrate, a CCD camera is disposed that irradiates an electric charge to measure a difference in reflectance of a glass mark of a reflection type with respect to the first substrate and a difference in absorption of a glass mark of an absorption type with respect to the second substrate. The difference in the absorption rate of the absorption type glass mark on the upper substrate is formed on the substrate. A reflector for amplifying to be similar to the difference in reflectivity of the group of the reflection-type glass mark is provided.

여기서, 상기 반사경은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하고, 상기 반사경내에는 상기 반사율 차이의 증폭 정도를 조절하는 마이크로 게이지가 내장된 것을 특 징으로 한다.Here, the reflector is characterized in that the semiconductor wafer, the reflector is characterized in that the micro-gauge for controlling the degree of amplification of the difference in reflectance is built.

본 발명에 의하면, 반사 타입의 글래스 마크와 흡수 타입의 글래스 마크가 혼용되는 액정 표시 장치에서, CCD 카메라로 기판과 글래스 마크간의 반사율을 측정할때, 기판상에 반사경을 설치한다. 이에따라, 흡수 타입의 글래스 마크와 기판간의 반사율의 차이를, 반사 타입의 글래스 마크와 기판간의 반사율 정도로 증폭시켜, 상하부 기판을 정확히 얼라인시킨다.According to the present invention, in a liquid crystal display device in which a reflection type glass mark and an absorption type glass mark are mixed, a reflector is provided on the substrate when the reflectance between the substrate and the glass mark is measured by a CCD camera. As a result, the difference in reflectance between the absorption-type glass mark and the substrate is amplified by the degree of reflectance between the reflection-type glass mark and the substrate, thereby accurately aligning the upper and lower substrates.

(실시예)(Example)

이하, 첨부한 도면에 의하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면 도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명애 따른 액정 표시 장치의 기판에 형성된 반사 타입 및 흡수 타입의 글래스 마크 및 각 글래스 마크들간의 반사율 및 흡수율을 보여주는 도면이다.3 is a view schematically showing an alignment device for bonding a substrate of a liquid crystal display according to the present invention, and FIG. 4 is a glass mark and angle of reflection type and absorption type formed on a substrate of the liquid crystal display according to the present invention. A diagram showing reflectance and absorptivity between glass marks.

본 발명에서는 반사 타입의 글래스 마크(20) 및 흡수 타입의 글래스 마크(25)가 상부 기판 및 하부 기판에 각각 형성되는 경우, 예를들어 하부 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크(20)를 구성하는 반사막(20a)의 반사율의 차이와 예를들어 상부 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크(25)를 구성하는 흡수막(25a)의 흡수율의 차이를 일치시켜야 한다. 이에, 흡수 타입의 글래스 마크(25)가 형성되는 상부 기판상에 반사경(12)을 설치한다. In the present invention, when the reflection type glass mark 20 and the absorption type glass mark 25 are formed on the upper substrate and the lower substrate, respectively, for example, the reflection type glass mark 20 for the lower substrate is formed. The difference in the reflectance of the reflecting film 20a and the difference in the absorptivity of the absorbing film 25a constituting the absorption mark glass mark 25 for the upper substrate, for example, must be coincident with each other. Thus, the reflecting mirror 12 is provided on the upper substrate on which the absorption type glass mark 25 is formed.

즉, 도 3에 도시된 바와 같이, CCD 카메라(10)는 반사 타입의 글래스 마크(20) 및 흡수 타입의 글래스 마크(25)가 각각 형성된 상부 기판 및 하부 기판이 합착되기 위해 접촉된 상태인 인식기판(11) 하부에 배치된다. 상기에서 CCD 카메라(10)는 인식기판(11) 하부에서 전하를 조사하여 하부 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크의 반사율과 상부 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율을 측정한다. 이때, 인식기판(11) 상부에는 상부기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 증폭시키는 반사경(12)이 구비된다. 이때, 반사경(12) 내에는 마이크로 게이지(micro gauge)가 내장되어 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율의 증폭도를 반사 타입의 글래스 마크의 반사율과 거의 일치되어 하부 기판 및 상부 기판에 대해 반사폭과 흡수폭이 거의 일치되도록 조절한다. 이때, 반사경(12)은 반사 타입의 글래스 마크의 반사율에는 영향을 미치지 않으며, 이러한 반사경(12)으로는 반도체 웨이퍼가 이용된다.That is, as shown in FIG. 3, the CCD camera 10 recognizes that the upper substrate and the lower substrate on which the reflection type glass mark 20 and the absorption type glass mark 25 are formed are in contact with each other for bonding. It is disposed below the substrate 11. In the above, the CCD camera 10 irradiates an electric charge under the recognition substrate 11 to measure the reflectance of the reflection type glass mark on the lower substrate and the absorption rate of the absorption type glass mark on the upper substrate. At this time, the upper surface of the recognition substrate 11 is provided with a reflector 12 for amplifying the difference in the absorption rate of the absorption type of the glass mark on the upper substrate. At this time, a micro gauge is built in the reflector 12 so that the amplification degree of the absorption rate of the absorption type glass mark is almost equal to the reflectance of the reflection type glass mark, so that the reflection width and the absorption width of the lower substrate and the upper substrate are increased. Adjust this to match almost. At this time, the reflector 12 does not affect the reflectance of the reflection type glass mark, and a semiconductor wafer is used as the reflector 12.

이와같이, 인식되어질 기판(11) 상부에 반사경(12) 설치됨에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(11)과 반사 타입의 글래스 마크(20)의 반사율의 차이와, 기판(11)과 흡수 타입의 글래스 마크(25)의 반사율의 차이가 일치하게 되어, 정확히 상부 기판과 하부 기판을 얼라인할 수 있다. 여기서, 미설명 도면 부호 20a는 크롬과 같은 반사막을 나타내고, 25a는 수지와 같은 흡수막을 나타낸다.As such, as the reflector 12 is installed on the substrate 11 to be recognized, as shown in FIG. 4, the difference in reflectance between the substrate 11 and the reflective glass mark 20 and the substrate 11 and The difference in reflectance of the absorption type glass mark 25 can be matched, so that the upper substrate and the lower substrate can be exactly aligned. Here, reference numeral 20a denotes a reflecting film such as chromium, and 25a denotes an absorbing film such as resin.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반사 타입의 글래스 마크와 흡수 타입의 글래스 마크가 혼용되는 액정 표시 장치에서, CCD 카메라로 하부 기판 및 상부 기판에 대한 각각의 글래스 마크의 반사율 및 흡수율을 측정할 때 인식기판상에 반사경을 설치한다. 이에 따라, 상부 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율을 하부 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크의 반사율 정도로 증폭시켜 상부 기판과 하부 기판을 정확히 얼라인시킨다.As described in detail above, according to the present invention, in the liquid crystal display device in which the reflection type glass mark and the absorption type glass mark are mixed, the reflectance and the absorption rate of each glass mark on the lower substrate and the upper substrate with a CCD camera When measuring, install the reflector on the recognition board. Accordingly, the absorption rate of the absorption type glass mark with respect to the upper substrate is amplified to the degree of reflectance of the reflection type glass mark with respect to the lower substrate to accurately align the upper substrate and the lower substrate.

Claims (3)

반사 타입의 글래스 마크가 형성된 제 1 기판과 흡수 타입의 글래스 마크가 형성된 제 2 기판을 합착할 때 화상 처리하는 것에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판에 대한 해당 글래스 마크 사이의 반사율 및 흡수율을 측정하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 얼라인시키는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치에 있어서, The reflectance and the absorptivity between the corresponding glass marks on the first and second substrates are measured by image processing when the first substrate on which the reflection type glass mark is formed and the second substrate on which the absorption type glass mark is formed are bonded. An alignment apparatus for bonding a substrate of a liquid crystal display device to align the first and second substrates. 상기 제 1 기판 저부에는 전하를 조사하여 상기 제 1 기판에 대한 반사 타입의 글래스 마크의 반사율 차이와 상기 제 2 기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 측정하는 CCD 카메라가 위치되고,At the bottom of the first substrate, a CCD camera is disposed that irradiates an electric charge to measure a difference in reflectance of a glass mark of a reflection type with respect to the first substrate and a difference in absorption of a glass mark of an absorption type with respect to the second substrate. 상기 제 2 기판 상부에는 상기 상부기판에 대한 흡수 타입의 글래스 마크의 흡수율 차이를 상기 제 1 기판에 대한 상기 반사 타입의 글래스 마크의 반사율의 차이와 유사하도록 증폭시키는 반사경이 구비된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치.And a reflector configured to amplify a difference in absorbance of the glass mark of the absorption type on the upper substrate to be similar to a difference in reflectance of the glass mark of the reflection type on the first substrate. Alignment device for substrate bonding of a display device. 제 1 항에 있어서, 상기 반사경은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치.The alignment apparatus of claim 1, wherein the reflector is a semiconductor wafer. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 반사경내에는 상기 반사율 차이의 증폭 정도를 조절하는 마이크로 게이지가 내장된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 기판 합착을 위한 얼라인먼트 장치.The alignment apparatus of claim 1 or 2, wherein a micro gauge for controlling amplification degree of the difference in reflectance is embedded in the reflecting mirror.
KR1019990061642A 1999-12-24 1999-12-24 Alignment system for bonding substrates in lcd KR100617609B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990061642A KR100617609B1 (en) 1999-12-24 1999-12-24 Alignment system for bonding substrates in lcd

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990061642A KR100617609B1 (en) 1999-12-24 1999-12-24 Alignment system for bonding substrates in lcd

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010058142A KR20010058142A (en) 2001-07-05
KR100617609B1 true KR100617609B1 (en) 2006-09-01

Family

ID=19629234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990061642A KR100617609B1 (en) 1999-12-24 1999-12-24 Alignment system for bonding substrates in lcd

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100617609B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100646334B1 (en) * 2004-06-29 2006-11-23 주식회사 롯데기공 Apparatus for sencing the water level
KR100736245B1 (en) * 2006-07-10 2007-07-06 호서대학교 산학협력단 System and method for measuring rate of beam reflection of lcd

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010058142A (en) 2001-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8901525B2 (en) Panel alignment apparatus and panel alignment method
MY114271A (en) Reflection type color liquid crystal display device
US7019800B2 (en) Liquid crystal display device
WO2006129523A1 (en) Liquid crystal display device manufacturing method and liquid crystal display device manufacturing device
RU2172974C2 (en) Liquid-crystal display
EP0874264A3 (en) Reflective type liquid crystal display device
CN100480809C (en) Liquid crystal display device
CN103135264A (en) Liquid-crystal display device and manufacturing method thereof as well as shading element processing device
KR100762034B1 (en) Liquid crystal display device of optically compensated birefringence mode
CN101135806A (en) Polarizing plate, liquid crystal device, and electronic apparatus
JPH11271739A (en) Liquid crystal display element
KR100617609B1 (en) Alignment system for bonding substrates in lcd
KR100437593B1 (en) Liquid crystal display
US9804437B2 (en) Liquid crystal display comprising an optical member having a chamfered portion and method for manufacturing the same
KR20170135529A (en) Inspecting apparatus for tiled display device and inspecting method thereof
CN107272264A (en) A kind of display panel and preparation method thereof, display base plate and display device
KR20050067801A (en) Wire grid polarizer and the device
US20050140901A1 (en) Fringe field switching liquid crystal display
JPH05303099A (en) Liquid crystal display panel and liquid crystal display device
KR20050041363A (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
JPS6435527A (en) Manufacture of liquid crystal display device
KR100675933B1 (en) Thin film transistor liquid crystal display using polarizer film and method for fabricating the same
JP2004191141A (en) Method of measuring flatness, method of measuring adsorption force, and electrooptic panel for measurement
KR20060092367A (en) Lc modulator with high resolution and high reliability and tft array tester using it
KR20070029422A (en) Rubbing device of an alignment layer for liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120709

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130711

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160718

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170719

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180724

Year of fee payment: 13