KR100615835B1 - Apparatus for forming an alignment pattern of a liquid crystal display device and method for forming the alignment pattern using the same - Google Patents

Apparatus for forming an alignment pattern of a liquid crystal display device and method for forming the alignment pattern using the same Download PDF

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KR100615835B1 KR1019990021203A KR19990021203A KR100615835B1 KR 100615835 B1 KR100615835 B1 KR 100615835B1 KR 1019990021203 A KR1019990021203 A KR 1019990021203A KR 19990021203 A KR19990021203 A KR 19990021203A KR 100615835 B1 KR100615835 B1 KR 100615835B1
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Abstract

본 발명은 액정표시장치용 배향패턴 형성장치 및 이를 이용한 배향패턴 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 핫 플레이트, 레이저툴, 마스크 플레이트가 조합된 배향패턴 형성장치를 구비하고, 이 배향패턴 형성장치의 레이저툴을 이용하여, 기판상에 도포된 배향막 원료액을 광학적으로 패터닝시킨다. 물론, 이 경우, 배향막 원료액은 다른 기구물과의 직접적인 접촉 없이, 신속한 패터닝 과정을 수행받을 수 있다.The present invention relates to an alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device and an alignment pattern forming method using the same. In the present invention, an alignment pattern forming apparatus including a hot plate, a laser tool, and a mask plate is provided. Using a laser tool, the alignment film raw material liquid applied on the substrate is optically patterned. Of course, in this case, the alignment layer raw material liquid may be subjected to a rapid patterning process without direct contact with other instruments.

이러한 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 배향막과 러빙피륙의 첩촉을 미리 차단시키고, 이를 통해, 불필요한 "이물의 생성", "정전기의 생성"을 미리 방지시킬 수 있음으로써, 이들을 제거하기 위한 별도의 추가공정을 생략시킬 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 기능 및 제품 수율을 일정 수준 이상으로 향상시킬 수 있다. When the present invention is achieved, in the production line, the contact between the alignment film and the rubbing land is blocked in advance, thereby preventing unnecessary "generation of foreign objects" and "generation of static electricity", thereby eliminating them separately. The additional process of may be omitted, and as a result, the function and product yield of the final liquid crystal display device may be improved to a certain level or more.

또한, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 레이저빔의 투과도 조절을 통해, 각 배향패턴들의 프로파일을 균일하게 확보할 수 있음으로써, 배향패턴들과 접촉되는 액정들의 균일 배향을 유도할 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 화상품질을 적정 수준 이상으로 확보할 수 있다.In addition, when the present invention is achieved, the production line can be uniformly secured by adjusting the transmittance of the laser beam, thereby inducing uniform alignment of the liquid crystals in contact with the alignment patterns, As a result, the image quality of the finally completed liquid crystal display device can be secured to an appropriate level or more.

Description

액정표시장치용 배향패턴 형성장치 및 이를 이용한 배향패턴 형성방법{Apparatus for forming an alignment pattern of a liquid crystal display device and method for forming the alignment pattern using the same}Apparatus for forming an alignment pattern of a liquid crystal display device and method for forming the alignment pattern using the same}

도 1은 본 발명에 따른 배향패턴 형성방법을 순차적으로 도시한 순서도.1 is a flow chart sequentially showing a method of forming an alignment pattern according to the present invention.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 배향막 원료액 도포공정을 도시한 예시도.Figure 2 is an exemplary view showing an alignment film raw material coating process for implementing the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 배향패턴 형성장치를 도시한 예시도.3 is an exemplary view showing an alignment pattern forming apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 의해 구현된 배향막의 형상을 도시한 예시도.Figure 4 is an illustration showing the shape of the alignment film implemented by an embodiment of the present invention.

도 5는 도 3의 A 부분을 확대하여 도시한 예시도.5 is an enlarged view illustrating a portion A of FIG. 3.

도 6은 도 5의 측단면도.6 is a side cross-sectional view of FIG.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배향패턴 형성장치를 도시한 예시도.7 is an exemplary view showing an alignment pattern forming apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의해 구현된 배향막의 형상을 도시한 예시도. 8 is an exemplary view showing a shape of an alignment layer implemented by another embodiment of the present invention.

본 발명은 액정표시장치용 배향패턴 형성장치에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 배향막의 배향패턴 형성방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉 방식으로 변경하고, 이를 통해, 배향막과 러빙피륙의 접촉을 미리 차단함으로써, "이물의 생성", "정전기의 생성", "배향패턴들의 프로파일 불량" 등을 미리 방지시킬 수 있도록 하는 배향막 배향장치에 관한 것이다. 더욱이, 본 발명은 이와 같은 배향패턴 형성장치를 이용한 배향패턴 형성방법에 관한 것이다. The present invention relates to an alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to change an alignment pattern forming method of an alignment layer from a conventional mechanical contact method to an optical non-contact method, thereby contacting an alignment film with a rubbing surface. The present invention relates to an alignment film alignment apparatus which can prevent "producing foreign material", "generating static electricity", "bad profile of alignment patterns", and the like, by blocking in advance. Furthermore, the present invention relates to a method of forming an orientation pattern using such an orientation pattern forming apparatus.

최근, 현대사회가 정보사회화 되어감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치는 그 중요성이 점차 증가되는 추세에 있으며, 특히, 그것이 갖고 있는 소형화, 경량화, 저전력소비화 등의 장점 때문에, 액정표시장치는 CRT(Cathode Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.Recently, as the modern society becomes the information society, the importance of the liquid crystal display device, which is one of the information display devices, is gradually increasing. Especially, due to its advantages such as small size, light weight, low power consumption, liquid crystal display Devices are increasingly being used as an alternative means of overcoming the drawbacks of the Cathode Ray Tube (CRT).

통상, 이러한 액정표시장치는 두 장의 유리기판 사이에 액정분자들이 주입된 구조를 이루는데, 이 경우, 유기기판 사이에 주입된 액정분자들은 외부로부터 인가되는 전기적인 신호에 따라 특정 방향으로 배열되어 동적산란을 일으킴으로써, 장치의 광투과량이 적정량으로 조절되도록 하는 역할을 수행한다. In general, such a liquid crystal display device has a structure in which liquid crystal molecules are injected between two glass substrates. In this case, the liquid crystal molecules injected between the organic substrates are arranged in a specific direction in accordance with an electrical signal applied from the outside and are dynamic. By causing scattering, it serves to ensure that the light transmittance of the device is adjusted to an appropriate amount.

이때, 액정표시장치가 특정한 광학적 효과를 발휘하기 위해서는 액정분자들을 특정 방향으로 배향시킬 필요성이 요구되는데, 통상의 액정분자들은 국부적으로만 배향되기 때문에, 종래의 생산라인에서는 액정분자들을 특정 방향으로 배향시키기 위하여 액정분자들과 직접 접촉된 상태의 유기고분자막을 ITO 전극위에 인위적으로 형성시키고 있다. 이러한 유기고분자막을 통상, 배향막이라 일컫는다.In this case, in order for the liquid crystal display device to exhibit a particular optical effect, it is necessary to align the liquid crystal molecules in a specific direction. Since the conventional liquid crystal molecules are only locally oriented, in the conventional production line, the liquid crystal molecules are aligned in a specific direction. In order to achieve this, an organic polymer film in direct contact with liquid crystal molecules is artificially formed on the ITO electrode. Such an organic polymer film is usually referred to as an alignment film.

종래의 생산라인에서는 예컨대, 레이온, 나이론 등으로 이루어진 러빙피륙(Rubbing cloth)을 롤러에 감은 후, 이 롤러를 배향막에 접촉시켜, 배향막 의 표면과 마찰시킴으로써, 해당 배향막이 "일정 수준 이상의 일축 배향성(Uni-directional alignment)" 및 "일정 범위의 선경사각(Pretilt angle)"을 갖는 일련의 배향패턴들을 형성받을 수 있도록 유도한다. 종래의 생산라인에서는 이러한 공정을 통상, "러빙공정(Rubbing process)"이라 일컫고 있다.In a conventional production line, a rubbing cloth made of, for example, rayon, nylon, or the like is wound on a roller, and then the roller is brought into contact with the alignment film and rubbed with the surface of the alignment film, whereby the alignment film is "uniaxially oriented (or more than a predetermined level). Uni-directional alignment "and" a range of pretilt angles "are induced to be formed. In a conventional production line, such a process is commonly referred to as a "rubbing process".

종래의 기술에 따른 배향막의 러빙공정은 예컨대, 미국특허공보 제 4634228 호 "러빙된 폴리이미드 배향막을 갖는 페로일렉트릭 액정 셀(Ferroelectric liquid crystal cell with rubbed polyimide alignment layer)", 미국특허공보 제 5400159 호 "러빙 전·후에 특정 표면에너지 차이를 갖는 배향막을 구비하는 액정 디바이스(Liquid crystal device having alignment film with particular surface energy difference before and after rubbing)", 미국특허공보 제 5710610 호 "러빙을 통해 박막트랜지스터에 적용되는 배향막에 멀티플 경사각을 생성하는 방법 및 장치 그리고 액정 디스플레이의 컬러필터 유리기판(Apparatus and method for creating multiple tilt angles by rubbing the alignment layer applied to thin film transistors and color filter glass plate of a liquid crystal display)", 미국특허공보 제 5744203 호 "액정용 배향막(Alignment layer for liquid crystal)" 등에 좀더 상세하게 제시되어 있다.The rubbing process of an alignment film according to the prior art is described in, for example, US Patent No. 4634228, "Ferroelectric liquid crystal cell with rubbed polyimide alignment layer", US Patent No. 5400159 " Liquid crystal device having alignment film with particular surface energy difference before and after rubbing ", US Patent Publication No. 5710610" Rubber applied to thin film transistors Apparatus and method for creating multiple tilt angles by rubbing the alignment layer applied to thin film transistors and color filter glass plate of a liquid crystal display ", US Patent No. 5744203 "Alignment layer for liquid crystal" It is shown in more detail in the back.

종래의 생산라인에서는 예컨대, "폴리아믹산", "가용성 폴리이미드" 등으로 이루어진 배향막 원료액을 기판상에 도포한 후, 이 배향막 원료액으로 예컨대, 60℃~80℃ 정도의 사전경화(Pre-curing) 공정과, 예컨대, 180℃~200℃ 정도의 메인경화(Main-curing) 공정을 진행시킴으로써, 상술한 폴리아믹산, 가용성 폴리이미드를 폴리이미드화하고, 폴리이미드화된 배향막으로 상술한 러빙공정을 진행시킴으로써, 최종 완성되는 배향막이 일련의 배향패턴들을 형성받을 수 있도록 한다.In a conventional production line, for example, an alignment film raw material liquid composed of "polyamic acid", "soluble polyimide", or the like is applied onto a substrate, and then pre-cured at about 60 ° C to 80 ° C with the alignment film raw material solution. curing) process and the rubbing process mentioned above with the polyimide oriented film by carrying out polyimide of the polyamic acid and soluble polyimide which were mentioned above, for example, by carrying out the main-curing process of about 180 to 200 degreeC. By advancing, the final completed alignment film can be formed a series of alignment patterns.

이후, 생산라인에서는 세정액을 이용한 별도의 세정공정을 통해 배향막의 표면을 깨끗하게 세정함으로써, 최종 완성되는 배향막이 일정 기준 이상의 청정도를 유지할 수 있도록 한다. Thereafter, the production line cleans the surface of the alignment layer through a separate washing process using a cleaning solution, so that the final alignment layer can maintain the cleanliness above a predetermined standard.

그러나, 이러한 종래의 배향패턴 형성방법에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.However, there are some serious problems with this conventional method of forming an alignment pattern.

상술한 바와 같이, 종래의 생산라인에서는 최종 완성되는 배향막이 일련의 배향패턴들을 형성받을 수 있도록 폴리이미드화된 배향막으로 러빙공정을 진행시키게 되는데, 이 경우, 해당 배향막은 어쩔 수 없이 롤러의 러빙피륙과 직접적으로 접촉되는 구조를 이루게 된다.As described above, in the conventional production line, the rubbing process is performed with a polyimide oriented film so that the final oriented film can be formed with a series of alignment patterns. It is in direct contact with the structure.

이와 같이, 롤러의 러빙피륙과 해당 배향막이 직접적으로 접촉된 상태에서 종래의 러빙공정이 진행되는 경우, 최종 완성되는 배향패턴들의 표면에는 파티클, 피륙잔해물 등의 다양한 이물들이 잔존하게 되며, 이러한 이물들은 출하되는 액정표시장치에 지속적으로 상존함으로써, 액정표시장치의 기능에 막대한 악영향을 미치게 된다.As such, when the conventional rubbing process is performed while the rubbing land of the roller is in direct contact with the alignment layer, various foreign substances such as particles and debris remain on the surface of the final alignment patterns. By continuing to exist in the liquid crystal display device shipped, it greatly affects the function of the liquid crystal display device.

이러한 이물들을 제거하기 위해서는 상술한 바와 같이, 러빙공정의 마지막 스텝에서 별도의 세정공정을 진행하여야 하기 때문에, 생산라인에서는 전체적인 공정이 복잡해지고, 공정효율이 저하되는 문제점을 감수하여야만 한다. As described above, in order to remove such foreign matters, since a separate washing process must be performed at the last step of the rubbing process, the entire process becomes complicated and the process efficiency must be taken.                         

한편, 상술한 바와 같이, 러빙공정이 진행되는 경우, 러빙피륙을 장착한 롤러는 배향막의 표면과 광범위한 마찰을 일으키게 되는데, 이 경우, 배향막의 표면에는 강한 정전기가 발생하게 되며, 이러한 정전기는 최종 완성되는 액정표시장치에 잔류하여, 기판상에 형성된 박막트랜지스터들을 파손시킴으로써, 결국, 액정표시장치의 기능이 현저히 저하되고, 제품의 수율이 현저히 저하되는 문제점을 유발하게 된다.On the other hand, as described above, when the rubbing process is carried out, the roller on which the rubbing land is mounted causes extensive friction with the surface of the alignment layer. In this case, strong static electricity is generated on the surface of the alignment layer, and the static electricity is finally completed. By remaining in the liquid crystal display device, the thin film transistors formed on the substrate are damaged, resulting in a problem that the function of the liquid crystal display device is remarkably degraded and the yield of the product is remarkably degraded.

더욱이, 종래의 러빙공정은 근본적으로, 러빙피륙과 배향막이 직접적으로 접촉되는 "기계적인 방식"이기 때문에, 생산라인에서는 어쩔 수 없이, 최종 완성되는 배향패턴들의 형상이 정교하게 제어될 수 없는 문제점을 감수하여야만 한다.Moreover, since the conventional rubbing process is essentially a "mechanical method" in which the rubbing land and the alignment film are in direct contact, it is inevitable that in the production line, the shape of the final alignment patterns cannot be precisely controlled. You have to take it.

만약, 해당 배향패턴들의 형상이 정교하게 제어되지 못하여, 각 배향패턴들이 "불균일한 프로파일"을 이루거나, "일부가 파손된 프로파일"을 이루는 경우, 이와 접촉되는 액정들은 원활한 배향을 이루지 못하게 되며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치는 우수한 성능의 화상품질을 유지하지 못하게 된다.If the shape of the corresponding alignment patterns is not precisely controlled, and each of the alignment patterns has a "non-uniform profile" or a "partially broken profile", the liquid crystals in contact with the alignment patterns do not have a smooth alignment. As a result, the final liquid crystal display device does not maintain excellent image quality.

따라서, 본 발명의 목적은 배향패턴 형성방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉방식으로 변경하고, 이를 통해, 배향막과 러빙피륙의 접촉을 미리 차단함으로써, 배향패턴들의 표면에 상존하는 이물의 생성을 미리 방지하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to change the alignment pattern formation method from the conventional mechanical contact method to the optical non-contact method, and through this, by blocking the contact between the alignment film and the rubbing surface in advance, the foreign material existing on the surface of the alignment patterns To prevent creation in advance.

본 발명의 다른 목적은 배향막과 러빙피륙의 접촉을 차단함으로써, 배향막의 표면에 정전기가 발생되지 않도록 하는데 있다.Another object of the present invention is to prevent the static electricity is generated on the surface of the alignment film by blocking the contact between the alignment film and the rubbing land.

본 발명의 또 다른 목적은 배향패턴들의 표면에 잔류하던 "이물", "정전기" 등의 생성을 미리 차단함으로써, 최종 완성되는 액정표시장치의 기능 및 제품 수율을 일정 수준 이상으로 향상시키는데 있다.Another object of the present invention is to block the generation of "foreign material", "electrostatic" and the like remaining on the surface of the alignment pattern in advance, thereby improving the function and product yield of the final liquid crystal display device to a certain level or more.

본 발명의 또 다른 목적은 배향패턴들의 표면에 잔류하던 "이물"의 생성을 미리 차단하고, 이를 통해, 별도의 세정공정 진행을 생략시킴으로써, 전체적인 배향막 배향공정을 대폭 단순화시키는데 있다. Still another object of the present invention is to greatly simplify the overall alignment layer alignment process by blocking the generation of "foreign material" remaining on the surfaces of the alignment patterns in advance, thereby omitting a separate cleaning process.

본 발명의 또 다른 목적은 광학적 방식을 이용하여, 배향막의 배향패턴들을 형성시키고, 이를 통해, 각 배향패턴들의 프로파일을 균일하게 확보함으로써, 이와 접촉되는 액정들이 균일한 배향성을 유지할 수 있도록 하고, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치가 우수한 성능의 화상품질을 나타낼 수 있도록 하는데 있다.Another object of the present invention is to use an optical method to form the alignment patterns of the alignment layer, thereby ensuring a uniform profile of the respective alignment patterns, so that the liquid crystal in contact with them can maintain a uniform alignment, and eventually Therefore, the final liquid crystal display device can exhibit excellent image quality.

본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.Still other objects of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 배향막의 배향패턴 형성방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉방식으로 변경한다.In order to achieve the above object, in the present invention, the alignment pattern formation method of the alignment layer is changed from the conventional mechanical contact method to the optical non-contact method.

이를 위하여, 본 발명에서는 핫 플레이트, 레이저툴, 마스크 플레이트가 조합된 배향패턴 형성장치를 구비하고, 이 배향패턴 형성장치의 레이저툴을 이용하여, 기판상에 도포된 배향막 원료액을 광학적으로 배향시킨다. 물론, 이 경우, 배향막 원료액은 다른 기구물과의 직접적인 접촉 없이, 신속한 배향과정을 수행받을 수 있다.To this end, in the present invention, an alignment pattern forming apparatus including a hot plate, a laser tool, and a mask plate is provided, and the alignment film raw material liquid applied on the substrate is optically oriented using the laser tool of the alignment pattern forming apparatus. . Of course, in this case, the alignment layer raw material liquid may be subjected to a rapid alignment process without direct contact with other instruments.

이때, 핫 플레이트는 배향막 원료액이 도포된 기판으로 일정 온도 예컨대, 60℃~150℃ 온도 범위의 열을 선택적으로 가함으로써, 배향막 원료액의 신속한 폴리이미드화를 촉진하고, 결국, 이 배향막 원료액이 최종의 완성된 구조를 갖는 배향막으로 제조 완료되도록 한다.At this time, the hot plate is a substrate to which the alignment film raw material liquid is applied to selectively apply heat of a constant temperature, for example, a temperature range of 60 ° C to 150 ° C, thereby promoting rapid polyimidization of the alignment film raw material liquid, and finally, the alignment film raw material liquid The fabrication is completed with the alignment film having the final completed structure.

여기서, 레이저툴은 상술한 핫 플레이트에 의한 배향막 원료액의 경화가 진행될 때, 이와 동시에, 상술한 배향막 원료액으로 예컨대, 535nm 이하의 파장을 갖는 레이저빔을 조사함으로써, 최종 완성되는 배향막에 일정 깊이의 그루브(Groove)들에 의해 분리되는 다수개의 배향패턴들을 형성시킨다.Here, when the curing of the alignment film raw material liquid by the above-mentioned hot plate advances, the laser tool irradiates a laser beam having a wavelength of, for example, 535 nm or less with the above-mentioned alignment film raw material liquid, and thus, a predetermined depth to the final completed alignment film. A plurality of alignment patterns are formed by the grooves of the grooves.

이때, 마스크 플레이트는 레이저툴과 기판 사이에 개재되어, 레이저툴로부터 조사되는 레이저빔을 선택적으로 투과시킴으로써, 그루브 경사면의 깊이 및 폭을 조절한다. 이 경우, 마스크 플레이트는 경사면의 횡폭 및 깊이의 비가 예컨대, 1:4~1:20이 되도록 레이저빔을 선택적으로 투광시켜, 경사면의 횡폭을 예컨대, 수nm~수백nm 정도로 유지시키고, 경사면의 평균깊이를 수십nm~수천nm 정도로 유지시킨다.At this time, the mask plate is interposed between the laser tool and the substrate to selectively transmit the laser beam irradiated from the laser tool, thereby adjusting the depth and width of the groove inclined surface. In this case, the mask plate selectively emits a laser beam so that the ratio of the width and depth of the inclined surface is, for example, 1: 4 to 1:20, and maintains the width of the inclined surface, for example, about several nm to several hundred nm, and the average of the inclined surfaces. Maintain depths of tens of nm to thousands of nm.

이러한 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 배향막과 러빙피륙의 첩촉을 미리 차단시키고, 이를 통해, 불필요한 "이물의 생성", "정전기의 생성"을 미리 방지시킬 수 있음으로써, 이들을 제거하기 위한 별도의 추가공정을 생략시킬 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 기능 및 제품 수율을 일정 수준 이상으로 향상시킬 수 있다. When the present invention is achieved, in the production line, the contact between the alignment film and the rubbing land is blocked in advance, thereby preventing unnecessary "generation of foreign objects" and "generation of static electricity", thereby eliminating them separately. The additional process of may be omitted, and as a result, the function and product yield of the final liquid crystal display device may be improved to a certain level or more.

또한, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 레이저빔의 투과도 조절을 통해, 각 배향패턴들의 프로파일을 균일하게 확보할 수 있음으로써, 배향패턴들과 접촉되는 액정들의 균일 배향을 유도할 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 화상품질을 적정 수준 이상으로 확보할 수 있다.In addition, when the present invention is achieved, the production line can be uniformly secured by adjusting the transmittance of the laser beam, thereby inducing uniform alignment of the liquid crystals in contact with the alignment patterns, As a result, the image quality of the finally completed liquid crystal display device can be secured to an appropriate level or more.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 배향패턴 형성장치 및 이를 이용한 배향패턴 형성방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device and an alignment pattern forming method using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인에서는 기판상에 배향막 원료액을 도포하는 공정을 진행한다(단계 S1). First, as shown in FIG. 1, in the production line, a process of applying the alignment film raw material liquid onto a substrate is performed (step S1).

이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 배향막 도포장치(10)의 디스펜서(16)에 의하여 공급된 배향막 원료액, 예컨대, 폴리이믹산 용액은 고무 재질의 닥터 롤(15)과 세라믹 재질의 애니록스 롤(14) 사이에 고인 다음, 닥터 롤(15)과 애니록스 롤(14)의 회전에 의하여 아래로 흘러내린 후, 판동 롤(13)의 외주면에 감겨진 인쇄제판(18)에 피착된다.At this time, as shown in Figure 2, the alignment film raw material solution, for example, the polyimide acid solution supplied by the dispenser 16 of the alignment film coating device 10, the rubber doctor doctor roll 15 and the ceramic anilox roll After sticking in between (14), it flows down by rotation of the doctor roll 15 and the anilox roll 14, and is adhered to the printing plate 18 wound on the outer peripheral surface of the plate roll 13.

이 경우, 판동 롤(13)이 회전하기 시작하면, 이와 동시에 모터(도시않됨)에 전원이 인가되면서 피니언 기어(12)가 회전하게 되며, 이러한 피니언 기어(12)의 회전에 따라서, 모터의 동력은 랙 기어(11)로 전달되고, 이와 같이 전달된 동력에 의해 기판(1)을 탑재한 테이블(17)은 일정속도로 전진하게 된다. 이 경우, 판동 롤(13)의 회전속도와 테이블(17)의 전진속도는 서로 동일하게 설정된다. In this case, when the plate roll 13 starts to rotate, the pinion gear 12 rotates while power is applied to the motor (not shown), and according to the rotation of the pinion gear 12, the power of the motor Is transmitted to the rack gear 11, and the table 17 on which the substrate 1 is mounted is advanced at a constant speed by the transmitted power. In this case, the rotational speed of the plate roll 13 and the advancing speed of the table 17 are set equal to each other.

이때, 배향막 원료액을 모두 피착받은 인쇄제판(18)은 판동 롤(13)의 회전에 의해 회전하여 자신의 저부로 전진하는 기판(1)과 접촉되고, 결국, 기판(1)의 표면에 얇은 두께의 배향막 원료액을 전사시킨다.At this time, the printing plate 18 which has received all of the alignment film raw material liquid is in contact with the substrate 1 which is rotated by the rotation of the plate roll 13 and is advanced to its bottom, and finally, the surface of the substrate 1 is thin. The thickness of the alignment film raw material liquid is transferred.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 생산라인의 일정 영역에는 기판(1)상에 도 포된 배향막 원료액(2)을 경화시키고, 이 배향막 원료액(2)상에 다수개의 배향패턴들을 형성시키는 배향패턴 형성장치(100)가 배치된다.Meanwhile, as shown in FIG. 3, the alignment film raw material liquid 2 coated on the substrate 1 is cured in a predetermined region of the production line, and a plurality of alignment patterns are formed on the alignment film raw material liquid 2. The alignment pattern forming apparatus 100 is disposed.

도면에 도시된 바와 같이, 이 배향패턴 형성장치(100)는 서로 대향하여 배치된 핫 플레이트(200) 및 레이저툴(20)과, 이 핫 플레이트(200) 및 레이저툴(20) 사이에 개재된 마스크 플레이트(30)의 조합으로 이루어진다.As shown in the figure, the alignment pattern forming apparatus 100 includes a hot plate 200 and a laser tool 20 disposed to face each other, and is interposed between the hot plate 200 and the laser tool 20. It is made of a combination of mask plates 30.

이때, 핫 플레이트(200)는 외부의 전원(도시안됨)과 연결되어, 전기적인 에너지를 공급받은 후, 배향막 원료액(2)이 도포된 기판(1)으로 일정 온도 예컨대, 60℃~150℃ 온도 범위의 열을 가함으로써, 배향막 원료액(2)의 신속한 폴리이미드화를 촉진하고, 결국, 이 배향막 원료액(2)이 최종의 완성된 구조를 갖는 배향막으로 제조 완료되도록 하는 역할을 수행한다.At this time, the hot plate 200 is connected to an external power source (not shown), and receives electrical energy, and then a predetermined temperature, for example, 60 ° C. to 150 ° C. to the substrate 1 to which the alignment layer raw material liquid 2 is applied. By applying heat in the temperature range, it is possible to promote the rapid polyimidization of the alignment film raw material liquid 2, and finally, to make the alignment film raw material liquid 2 be manufactured into an alignment film having a final completed structure. .

또한, 레이저툴(20)은 상술한 핫 플레이트(200)에 의한 배향막 원료액(2)의 경화가 진행될 때, 이와 유사한 시점에서, 상술한 배향막 원료액(2)으로 예컨대, 535nm 이하의 파장을 갖는 레이저빔을 조사함으로써, 최종 완성되는 배향막에 다수개의 배향패턴들이 형성될 수 있도록 하는 역할을 수행한다. 이러한 본 발명의 레이저툴(20)로는 예컨대, Nd:YAG 레이저, Ar 레이저, Kr 레이저 등이 생산라인의 상황에 따라 다양하게 선택될 수 있다.In addition, when the curing of the alignment film raw material liquid 2 by the hot plate 200 proceeds as described above, the laser tool 20 uses a wavelength of 535 nm or less, for example, as the alignment film raw material liquid 2 described above. By irradiating a laser beam having a role, a plurality of alignment patterns can be formed in a final alignment layer. As the laser tool 20 of the present invention, for example, Nd: YAG laser, Ar laser, Kr laser and the like can be variously selected according to the situation of the production line.

이때, 마스크 플레이트(30)는 레이저툴(20)과 기판(1) 사이에 개재되어, 레이저툴(20)로부터 조사되는 레이저빔을 선택적으로 투과시킴으로써, 배향패턴들을 분리하는 각 그루브들의 깊이 및 폭이 일정 비율로 조절될 수 있도록 하는 역할을 수행한다. At this time, the mask plate 30 is interposed between the laser tool 20 and the substrate 1 to selectively transmit the laser beam irradiated from the laser tool 20, thereby the depth and width of each groove separating the alignment patterns. It can play a role in controlling this ratio.

이하, 상술한 구성요소를 갖는 본 발명의 배향패턴 형성장치(100)를 이용한 배향막 원료액의 배향패턴 형성과정을 상세히 설명한다. Hereinafter, the alignment pattern forming process of the alignment film raw material liquid using the alignment pattern forming apparatus 100 of the present invention having the above-described components will be described in detail.

먼저, 상술한 배향막 원료액의 도포과정(단계 S1)이 모두 종료되면, 생산라인에서는 이 배향막 원료액을 가열하여 1차 경화하는 과정을 진행한다(단계 S2). First, when all the application process (step S1) of the above-mentioned alignment film raw material solution is completed, a process of heating the alignment film raw material solution and performing primary curing is performed in the production line (step S2).

이 경우, 생산라인에서는 도면에 도시된 바와 같이, 배향막 원료액(2)이 도포된 기판(1)을 핫 플레이트(200)에 로딩시킨 후, 핫 플레이트(200)로 일정 크기의 전기적인 에너지를 가함으로써, 핫 플레이트(200)가 예컨대, 60℃~80℃ 정도의 온도로 배향막 원료액(2)을 가열시킬 수 있도록 한다. 이 경우, 기판(1)상에 도포된 배향막 원료액(2)은 핫 플레이트(200)로부터 전달되는 열에 의해 1차 경화됨으로써, 최종 완성되는 배향막의 기본 프로파일을 형성한다.In this case, in the production line, as shown in the drawing, the substrate 1 to which the alignment layer raw material liquid 2 is applied is loaded on the hot plate 200, and then electric energy of a predetermined size is transferred to the hot plate 200. By adding, the hot plate 200 can heat the alignment film raw material liquid 2 at the temperature of about 60 to 80 degreeC, for example. In this case, the alignment film raw material liquid 2 applied on the substrate 1 is primarily cured by heat transferred from the hot plate 200, thereby forming a basic profile of the final alignment film.

이러한 배향막 원료액의 1차 경화과정이 어느 정도 진행된 후에, 생산라인에서는 이 배향막 원료액(2)을 좀더 높은 온도로 가열하여 2차 경화하는 과정을 진행한다(단계 S3).After the primary curing process of the alignment film raw material liquid has been progressed to some extent, the production line proceeds to heat the alignment film raw material liquid 2 to a higher temperature and to perform secondary curing (step S3).

이 경우, 생산라인에서는 상술한 핫 플레이트(200)로 좀더 강한 전기적인 에너지를 가함으로써, 핫 플레이트(200)가 예컨대, 100℃~150℃ 정도의 온도로 배향막 원료액(2)을 가열시킬 수 있도록 한다. 이 경우, 상술한 과정을 통해 1차 경화가 완료된 상태의 배향막 원료액(2)은 핫 플레이트(200)로부터 전달되는 추가 열에 의해 2차 경화됨으로써, 급격한 폴리이미드화 반응을 일으키게 되며, 결국, 최종 구조의 배향막으로 경화 완료된다.In this case, in the production line, by applying stronger electric energy to the hot plate 200 described above, the hot plate 200 can heat the alignment film raw material liquid 2 at a temperature of, for example, about 100 ° C to 150 ° C. Make sure In this case, the alignment film raw material solution 2 in the state where the primary curing is completed through the above-described process is secondaryly cured by additional heat transferred from the hot plate 200, thereby causing a rapid polyimidization reaction. Curing is completed with the alignment film of the structure.

이러한 2차 경화과정이 진행될 때, 생산라인에서는 핫 플레이트(200)의 가열 온도가 150℃를 넘지 않도록 주의를 기울인다. 이는 만약, 핫 플레이트(200)의 가열온도가 150℃를 넘는 경우, 그 열에 의해 배향막 원료액(2)이 불필요한 화학적인 전이를 일으킴으로써, 결국, 배향막 원료액(2)이 광학적으로 무반응 상태에 도달하는 문제점이 초래될 수 있기 때문이다.When this secondary curing process proceeds, care is taken in the production line so that the heating temperature of the hot plate 200 does not exceed 150 ° C. This is because if the heating temperature of the hot plate 200 exceeds 150 ° C., the heat of the hot plate 200 causes an unnecessary chemical transition of the alignment film raw material liquid 2, so that the alignment film raw material liquid 2 is optically unreacted. This can be caused by a problem of reaching.

본 발명의 경우, 종래와 달리, 후술하는 광학적인 방법, 예컨대, 레이저빔의 조사를 이용하여, 배향막 원료액(2)에 배향패턴들을 형성시켜야 하기 때문에, 배향막 원료액(2)의 광학적인 반응은 본 발명을 달성하는데 있어, 매우 중요한 요소이며, 만약, 배향막 원료액(2)이 광학적으로 무반응 상태에 도달하는 경우, 본 발명 자체가 성립되지 못하는 문제점이 야기될 수 있다. 이를 미리 방지하기 위하여, 본 발명에서는 2차 경화과정의 온도를 반드시 150℃ 이하로 유지시킨다.In the case of the present invention, unlike the conventional method, since the alignment patterns must be formed in the alignment film raw material liquid 2 by using an optical method described below, for example, irradiation of a laser beam, the optical reaction of the alignment film raw material liquid 2 is required. Is a very important factor in achieving the present invention, and if the alignment film raw material liquid 2 reaches an optically non-reactive state, a problem may arise that the present invention itself cannot be established. In order to prevent this in advance, in the present invention, the temperature of the secondary curing process is necessarily maintained at 150 ° C or less.

이러한 본 발명의 2차 경화과정이 모두 완료되면, 배향막 원료액(2)은 예컨대, 75%~85% 정도의 폴리이미드화율을 나타내게 된다.When all of the secondary curing process of the present invention is completed, the alignment film raw material solution 2 exhibits, for example, a polyimide rate of about 75% to 85%.

계속해서, 생산라인에서는 상술한 레이터툴(20)의 가동을 통해 배향막 원료액(2)으로 일정 파장의 레이저빔을 스캔함으로써, 배향막 원료액(2)의 표면에 다수개의 배향패턴들을 형성시키는 과정을 진행시킨다(단계 S4). 이와 같은, 레이저빔의 스캔과정이 진행될 때, 상술한 배향막 원료액(2)의 2차 경화과정은 별도의 중간단계 없이, 지속적인 진행상태를 유지한다.Subsequently, in the production line, a process of forming a plurality of alignment patterns on the surface of the alignment film raw material 2 by scanning a laser beam of a predetermined wavelength with the alignment film raw material 2 through the operation of the above-described radar tool 20. Proceed to step S4. As described above, when the scanning process of the laser beam proceeds, the secondary curing process of the alignment film raw material liquid 2 described above maintains a continuous progress state without a separate intermediate step.

이때, 도면에 도시된 바와 같이, 마스크 플레이트(30)에는 레이저툴(20)로부터 조사되는 레이저빔을 투광시키는 투광필터들(32)과, 이 레이저빔을 차광시키는 차광필터들(31)이 예컨대, 띠형상을 이루며 배치된다. 이 경우, 각 투광필터들(32) 과 차광필터들(31)은 연속적으로 교번되는 구조를 이루는데, 이때, 각 단위 차광필터들(31)은 각 단위 투광필터들(32) 보다 더 큰 횡폭을 이룬다.At this time, as shown in the figure, the mask plate 30 includes light transmitting filters 32 for transmitting a laser beam emitted from the laser tool 20 and light blocking filters 31 for shielding the laser beam. They are arranged in bands. In this case, each of the light transmitting filters 32 and the light blocking filters 31 is continuously alternating, where each of the light blocking filters 31 has a larger width than that of each of the light transmitting filters 32. To achieve.

이러한 구조의 마스크 플레이트(30)가 레이저툴(20) 및 기판(1) 사이에 개재된 상태에서, 레이저툴(20)로부터 레이저빔이 조사되는 경우, 마스크 플레이트(30)의 투광필터들(32)을 통과한 레이저빔은 기판(1)에 도포된 배향막 원료액(2)에 다다른 후, 해당 배향막 원료액(2)을 신속하게 용융시킴으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 배향막 원료액(2)의 표면에 배향패턴들(2a)을 분리하는 다수개의 그루브들(2b)을 형성시킨다.When the laser plate is irradiated from the laser tool 20 with the mask plate 30 having the structure interposed between the laser tool 20 and the substrate 1, the light transmitting filters 32 of the mask plate 30 are formed. After passing through the laser beam having reached the alignment film raw material liquid 2 applied to the substrate 1, the alignment film raw material liquid 2 is quickly melted, and as shown in FIG. A plurality of grooves 2b separating the alignment patterns 2a are formed on the surface of 2).

이러한 레이저빔 스캔공정은 상술한 배향막 원료액의 2차 경화과정(단계 S3)과 유사한 시점에서 진행된다.This laser beam scanning process is performed at a point similar to the above-mentioned secondary curing process (step S3) of the alignment film raw material solution described above.

일례로, 생산라인에서는 배향막 원료액(2)의 2차 경화과정이 시작된 후, 약 3분 정도의 시간이 경과한 시점에서, 배향막 원료액(2)으로 레이저빔을 스캔하여, 배향막 원료액(2)의 표면에 다수개의 그루브들(2b)을 형성시킨다. 물론, 배향막 원료액(2)의 2차 경화과정이 시작됨과 동시에 배향막 원료액(2)으로 레이저빔을 스캔하여, 배향막 원료액의 표면에 다수개의 그루브들(2b)을 형성시켜도 본 발명을 달성하는데에는 아무런 지장이 없다. 이와 같은, 레이저빔의 스캔시점은 생산라인의 상황에 따라 탄력적으로 선택될 수 있다.For example, in the production line, after the secondary curing process of the alignment film raw material liquid 2 is started, at about 3 minutes have elapsed, the laser beam is scanned with the alignment film raw material liquid 2, and the alignment film raw material liquid ( A plurality of grooves 2b are formed on the surface of 2). Of course, the secondary curing process of the alignment layer raw material liquid 2 starts and at the same time the laser beam is scanned with the alignment layer raw material liquid 2 to form a plurality of grooves 2b on the surface of the alignment layer raw material liquid 2 to achieve the present invention. There is nothing wrong with that. As such, the scanning point of the laser beam may be flexibly selected according to the situation of the production line.

이때, 생산라인에서는 상술한 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D가 예컨대, 1:4~1:20의 비를 이룰 수 있도록 레이저빔의 투광환경을 알맞게 조절한다. In this case, in the production line, the width W and the depth D of the grooves 2b described above may be adjusted, for example, to achieve a ratio of 1: 4 to 1:20.

이와 같이, 생산라인에서, 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D의 비율을 조절하 는 이유는 이 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D가 상술한 1:4~1:20의 비율을 이루는 경우, 차기에 주입되는 액정, 예컨대, 온도전이형 액정은 매우 우수한 일축 배향성을 유지할 수 있기 때문이다. As such, in the production line, the reason for adjusting the ratio of the width W and the depth D of the grooves 2b is that the width W and the depth D of the grooves 2b are 1: 4 to 1:20. In this case, the liquid crystal to be injected next, for example, the temperature-transfer type liquid crystal can maintain a very good uniaxial orientation.

또한, 생산라인에서는 그루브들(2b)의 폭 W가 예컨대, 수nm~수백nm의 범위를 유지할 수 있도록 하고, 그루브들(2b)의 깊이 D가 예컨대, 수십nm~수천nm의 범위를 유지할 수 있도록 레이저빔 투광환경을 조절한다. In addition, in the production line, the width W of the grooves 2b may be maintained, for example, in the range of several nm to several hundred nm, and the depth D of the grooves 2b may be maintained in the range of, for example, several tens of nm to several thousand nm. Adjust the laser beam projection environment.

이와 같이, 생산라인에서, 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D의 범위를 조절하는 이유는 이 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D가 상술한 범위를 유지하는 경우, 차기에 주입되는 액정은 좀더 안정적인 배향상태를 유지할 수 있기 때문이다. As such, in the production line, the reason for adjusting the range of the width W and the depth D of the grooves 2b is that when the width W and the depth D of the grooves 2b maintain the above-mentioned range, This is because the liquid crystal can maintain a more stable alignment state.

이때, 생산라인에서는 최종 완성되는 그루브들(2b)의 폭 W 및 깊이 D가 1:4~1:20의 비율을 유지할 수 있도록 함과 아울러, 그 범위를 각각 수nm~수백nm, 수십nm~수천nm로 유지할 수 있도록 유도하기 위하여, 그루브들(2b)의 폭 W를 조절할 수 있는 펙터, 예를 들어, 투광필터들(32)의 폭을 조절함과 아울러, 이와 연계시켜, 그루브들(2b)의 깊이 D를 조절할 수 있는 펙터, 예를 들어, 레이저툴(20)의 "레이저빔 강도"를 조절한다.At this time, in the production line, the width W and the depth D of the grooves 2b to be finished are maintained at a ratio of 1: 4 to 1:20, and the ranges are several nm to several hundred nm and several tens of nm, respectively. In order to be able to maintain thousands of nm, the width W of the grooves 2b can be adjusted, for example, the width of the light transmitting filters 32 and in conjunction with the grooves 2b A factor that can adjust the depth D) of, for example, the "laser beam intensity" of the laser tool 20 is adjusted.

일례로, 생산라인에서는 각 그루브들(2b)이 100nm의 폭 W를 갖도록 투광필터들(32)의 폭을 예컨대, 100nm로 유지시키고, 또한, 각 그루브들(2b)이 1500nm의 깊이 D를 갖도록 레이저툴(20)의 "레이저빔 강도"를 예컨대, 150와트로 유지시킨다.For example, in the production line, the widths of the light transmitting filters 32 are maintained at, for example, 100 nm such that each of the grooves 2b has a width W of 100 nm, and each of the grooves 2b has a depth D of 1500 nm. The "laser beam intensity" of the laser tool 20 is maintained at 150 watts, for example.

이 경우, 레이저빔 조사과정에 의해 형성되는 각 그루브들(2b)은 100nm의 폭과, 1500nm의 깊이를 유지할 수 있음으로써, 상술한 "1:4~1:20"의 비율과, "수nm~ 수백nm, 수십nm~수천nm"의 범위를 만족할 수 있다.In this case, each of the grooves 2b formed by the laser beam irradiation process can maintain a width of 100 nm and a depth of 1500 nm, thereby providing a ratio of "1: 4-1: 20" and "several nm". ~ Hundreds of nm, tens of nm to thousands of nm "can be satisfied.

이때, 생산라인에서는 배향막 원료액(2)의 내부에 배향막 원료액(2)의 용융을 촉진시키기 위한 감광성 물질을 더 혼합시킨다. 이 경우, 배향막 원료액(2)의 용융온도는 감광성 물질이 혼합되지 않았을 때 보다 대폭 낮아지게 되어, 생산라인에서는 좀더 "약한 강도의 레이저빔"을 이용하면서도, 동일 깊이의 그루브들(2b)을 형성시킬 수 있다.At this time, in the production line, the photosensitive material for further promoting the melting of the alignment film raw material liquid 2 is further mixed in the alignment film raw material liquid 2. In this case, the melting temperature of the alignment film raw material liquid 2 is significantly lower than when the photosensitive material is not mixed. In the production line, grooves 2b of the same depth are used while using a "weak intensity laser beam". Can be formed.

상술한 예에서, 생산라인에서는 레이저툴(20)의 "레이저빔 강도"를 150와트로 유지시켜, 1500nm의 깊이를 갖는 그루브들(2b)을 형성시켰지만, 배향막 원료액(2)에 상술한 감광성 물질을 더 혼합시키는 경우, 생산라인에서는 레이저툴(20)의 "레이저빔 강도"를 100와트로 유지시키고도, 1500nm의 깊이를 갖는 그루브들(2b)을 형성시킬 수 있다. 이 경우, 생산라인에서는 전체적인 제품원가가 대폭 낮아지는 추가의 효과를 획득할 수 있다.In the above-described example, in the production line, the "laser beam intensity" of the laser tool 20 was maintained at 150 watts to form grooves 2b having a depth of 1500 nm, but the photosensitive property described above in the alignment film raw material liquid 2. When further mixing the material, the production line can form grooves 2b having a depth of 1500 nm while maintaining the "laser beam intensity" of the laser tool 20 at 100 watts. In this case, the production line can obtain the additional effect of significantly lowering the overall product cost.

요컨대, 본 발명에서는 배향막 원료액(2)의 2차 경화과정이 진행될 때, 이와 유사한 시점에서 상술한 레이저빔을 스캔시키고, 이를 통해, 경화가 어느 정도 진행된 배향막 원료액(2)의 표면에 일정 깊이의 그루브들(2b)을 형성시킴으로써, 차기의 액정 주입공정에 의해 주입되는 액정이 일정 수준 이상의 일축 배향성을 유지할 수 있도록 하는 기반을 마련한다.In other words, in the present invention, when the secondary curing process of the alignment film raw material liquid 2 proceeds, the above-described laser beam is scanned at a similar point in time, and through this, the surface of the alignment film raw material liquid 2 which has undergone some curing is fixed. By forming the grooves 2b having a depth, the liquid crystal injected by the next liquid crystal injection process provides a foundation for maintaining the uniaxial orientation of a predetermined level or more.

한편, 생산라인에서는 배향패턴들(2a)에 이르는 레이저빔의 강도를 분산시킴으로써, 배향패턴들(2a)의 용융정도를 위치별로 차별화하고, 이를 통해, 각 배향패턴들(2a)이 도면에 도시된 바와 같은 돌기형상을 이룰 수 있도록 한다. 이와 같이, 본 발명에서, 각 배향패턴들(2a)을 돌기형상으로 형성하는 이유는, 각 배향패턴들(2a)이 레이저빔의 강도 분산에 의하여, 돌기형상을 이루는 경우, 각 돌기들은 일정 크기의 경사각도를 유지하게 되고, 결국, 이 돌기들의 경사각도에 의해 차기에 주입되는 액정은 안정적인 선경사각을 확보할 수 있기 때문이다.On the other hand, in the production line, by dispersing the intensity of the laser beam reaching the alignment patterns (2a), the degree of melting of the alignment patterns (2a) are differentiated by position, whereby each alignment pattern (2a) is shown in the figure It is possible to achieve the projection shape as shown. As such, in the present invention, each of the alignment patterns 2a is formed in the shape of a protrusion because, when each of the alignment patterns 2a forms a protrusion by the intensity distribution of the laser beam, each of the protrusions has a predetermined size. This is because the inclination angle of the liquid crystal injected into the next by the inclination angle of the protrusions can secure a stable pretilt angle.

이를 위하여, 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 배향패턴들(2a)에 대응되는 차광필터들(31)에 다수개의 투광량 조절셀들(33)을 일정 피치 P1으로 연속 배치한다. To this end, in the present invention, as shown in FIG. 5, a plurality of light emission control cells 33 are continuously disposed at a predetermined pitch P1 in light blocking filters 31 corresponding to the alignment patterns 2a.

이때, 각 투광량 조절셀들(33)은 단계적으로 서로 다른 농도를 갖는 염료에 의해 코팅되는 구조를 이루게 되며, 이러한 염료의 농도차이에 의하여, 각 투광량 조절셀들(33)은 자신의 엣지면에서 다른 엣지면으로 진행할수록 단계적으로 높은 차광성을 보유하게 된다. At this time, each of the light emission control cells 33 is formed by a step coated with a dye having a different concentration step by step, by the difference in the concentration of the dye, each light emission control cells 33 has its own edge As it progresses from the surface to the other edge surface, it has a high light blocking property step by step.

일례로, 각 투광량 조절셀들(33)은 도면에 도시된 바와 같이, 영역 33a로부터 영역 33d에 이르는 구역이 서로 다른 농도를 갖는 염료에 의해 코팅되어, 단계적으로 높은 차광성을 보유하게 된다. For example, as shown in the drawing, each of the light emission control cells 33 is coated with dyes having different concentrations in the areas from the area 33a to the area 33d, so as to have a high light shielding step by step.

이 경우, 투광량 조절셀(33)의 영역 33a는 염료가 코팅되어 있지 않은 구조를 이루고 있기 때문에, 레이저툴(20)로부터 입사되는 레이저빔을 전량 배향막 원료액(2)으로 투과시킬 수 있으며, 영역 33b는 염료가 여리게 코팅되어 있는 구조를 이루고 있기 때문에, 레이저툴(20)로부터 입사되는 레이저빔을 예컨대, 30% 정도 차광시켜 배향막 원료액(2)으로 투과시킬 수 있고, 영역 33c는 염료가 좀더 진하게 코팅되어 있는 구조를 이루고 있기 때문에, 레이저툴(20)로부터 입사되는 레이저빔 을 예컨대, 70%정도 차광시켜 배향막 원료액(2)으로 투과시킬 수 있으며, 영역 33d는 염료가 진한 블랙으로 코팅되어 있는 구조를 이루고 있기 때문에, 레이저툴(20)로부터 입사되는 레이저빔을 전량 차광시킬 수 있다. In this case, since the region 33a of the light emission control cell 33 has a structure in which no dye is coated, the laser beam incident from the laser tool 20 can be transmitted through the whole quantity alignment film raw material liquid 2, Since the region 33b has a structure in which the dye is coated thinly, the laser beam incident from the laser tool 20 can be blocked by, for example, about 30%, and then transmitted through the alignment film raw material liquid 2, and the region 33c is formed by the dye. Since the structure is more heavily coated, the laser beam incident from the laser tool 20 can be shielded by, for example, about 70% and transmitted to the alignment layer raw material liquid 2, and the region 33d is coated with the dye dark black. Since the structure is provided, the total amount of the laser beam incident from the laser tool 20 can be shielded.

이와 같이, 각 투광량 조절셀들(33)이 자신의 엣지면에서 다른 엣지면으로 갈수록 단계적으로 높은 차광성을 보유한 상태에서, 레이저툴(20)이 레이저빔을 출력하는 경우, 레이저툴(20)로부터 출력되는 레이저빔은 각 투광량 조절셀들(33)의 작용에 의해 차광필터(31)를 선택적으로 투과하게 됨으로써, 자신의 용융강도를 배향막 원료액의 위치별로 분산받게 되며, 이에 따라, 배향패턴들(2a)은 각 위치별로 서로 다른 용융정도를 나타내게 되고, 결국, 도 6에 도시된 바와 같이, 각 배향패턴들(2a)은 일정 피치 P2의 돌기형상을 이루게 된다. 물론, 각 배향패턴들(2a)은 각 투광량 조절셀들(33)을 기준으로 형성되기 때문에, 각 배향패턴들(2a)의 피치 P2는 상술한 투광량 조절셀들(33)의 피치 P1과 동일한 간격을 유지하게 된다.As described above, when the laser tool 20 outputs a laser beam while the light emission control cells 33 have a high light shielding property in stages from their edge surfaces to other edge surfaces, the laser tool 20 The laser beam output from the light beam is selectively transmitted through the light blocking filter 31 by the action of the light emission control cells 33, thereby receiving its melt strength by position of the alignment film raw material solution. The alignment patterns 2a exhibit different degrees of melting for each position, and as a result, as shown in FIG. 6, each of the alignment patterns 2a forms a protrusion having a predetermined pitch P2. Of course, since each of the alignment patterns 2a is formed based on the light emission control cells 33, the pitch P2 of each of the alignment pattern 2a is the pitch P1 of the light emission control cells 33 described above. To maintain the same spacing.

이때, 생산라인에서는 각 배향패턴들(2a)이 후술하는 <수학식 1>의 관계를 유지할 수 있도록 레이저빔의 투광환경을 알맞게 조절한다.At this time, in the production line, the projection environment of the laser beam is appropriately adjusted so that each alignment pattern 2a can maintain the relationship of Equation 1 described later.

P2 >= D P2> = D

(여기서, P2 는 각 배향패턴들의 피치, D는 각 그루브들의 깊이)Where P2 is the pitch of each alignment pattern and D is the depth of each groove.

이와 같이, 생산라인에서, 각 배향패턴들(2a)이 상술한 <수학식 1>의 관계를 유지할 수 있도록 레이저빔의 투광환경을 조절하는 이유는 각 배향패턴들(2a)이 상술한 <수학식 1>의 관계를 이루는 경우, 차기에 주입되는 액정(300)은 자신의 선경 사각 theta 값을 좀더 안정적인 값, 예컨대, 1°~10°범위로 유지할 수 있기 때문이다.As such, in the production line, the reason why the light emission environment of the laser beam is adjusted so that each of the alignment patterns 2a maintains the above-described relationship of Equation 1 is that each of the alignment patterns 2a is described in This is because when the relationship of Equation 1 is achieved, the liquid crystal 300 to be injected next may maintain its wire diameter square theta value in a more stable value, for example, in the range of 1 ° to 10 °.

이와 같이, 각 배향패턴들(2a)이 상술한 <수학식 1>의 관계를 유지할 수 있도록 하기 위하여, 생산라인에서는 각 배향패턴들(2a)의 피치 P2를 조절할 수 있는 펙터, 예를 들어, 각 투광량 조절셀들(33)의 "단위피치 당 레이저빔 투과에너지"를 조절한다. 이 투광량 조절셀들(33)의 "단위피치 당 레이저빔 투과에너지"는 통상, 후술하는 <수학식 2>의 값으로 표현된다.As such, in order to maintain each of the alignment patterns 2a in the above Equation 1, in the production line, a factor capable of adjusting the pitch P2 of each of the alignment patterns 2a, for example, The laser beam transmission energy per unit pitch of each light emission control cell 33 is adjusted. The &quot; laser beam transmission energy per unit pitch &quot; of the light emission control cells 33 is usually expressed by a value of Equation 2 described later.

Figure 111999005818956-pat00001
Figure 111999005818956-pat00001

(여기서,

Figure 111999005818956-pat00002
는 레이저빔의 최대 투과에너지 및 최소 투과에너지의 차, P1은 각 투광량 조절셀들의 피치) (here,
Figure 111999005818956-pat00002
Is the difference between the maximum transmission energy and the minimum transmission energy of the laser beam, P1 is the pitch of each light emission control cell)

이때, 생산라인에서는 "각 배향패턴들(2a)은 각 투광량 조절셀들(33)을 기준으로 형성되기 때문에, 각 배향패턴들(2a)의 피치 P2는 투광량 조절셀들의 피치 P1과 동일한 간격을 유지한다"는 사실을 응용하여, P2와 동일한 값, 즉, P1의 값을 D의 값보다 크게 조절한다. 이 경우, 최종 형성되는 각 배향패턴들은 상술한 <수학식 1>의 관계, 즉, "P2 >= D "를 유지할 수 있다.At this time, in the production line, since "each alignment pattern 2a is formed based on each light emission control cell 33, the pitch P2 of each alignment pattern 2a is the same as the pitch P1 of the light emission control cells. Maintain the spacing "to adjust the value equal to P2, that is, the value of P1 to be greater than the value of D. In this case, each of the finally formed alignment patterns may maintain the above-described relationship of Equation 1, that is, "P2> = D".

여기서,

Figure 111999005818956-pat00003
의 값은 사용되는 레이저툴의 종류에 따라서, 다양하게 선택될 수 있다. here,
Figure 111999005818956-pat00003
The value of may vary depending on the type of laser tool used.

만약, 상술한 과정을 통해, 그루브들(2b)의 깊이 D의 값이 1500nm로 선택된 경우, 생산라인에서는 투광량 조절셀들(33)의 "단위피치 당 투과에너지"를 "

Figure 111999005818956-pat00004
"로 조절하게 되며, 이 경우, 돌기형상의 배향패턴들(2a)은 <수학식 1>의 관계를 만족시킬 수 있게 되고, 결국, 차기에 주입되는 액정(300)의 선경사각 theta 는 최적의 값으로 안정화될 수 있게 된다.If the depth D of the grooves 2b is selected to be 1500 nm through the above-described process, in the production line, " transmission energy per unit pitch "
Figure 111999005818956-pat00004
In this case, the projection-shaped alignment patterns 2a can satisfy the relationship of Equation 1, and thus, the pretilt angle theta of the liquid crystal 300 to be injected next is optimal. Value can be stabilized.

이러한 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 배향막의 배향패턴 형성방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉방식, 예컨대, 레이저빔 조사방식으로 변경하여, 배향막과 러빙피륙의 접촉을 미리 차단시킬 수 있음으로써, "이물의 생성", "정전기의 생성" 등을 미리 방지시킬 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 기능 및 제품 수율을 일정 수준 이상으로 향상시킬 수 있다.When the present invention is achieved, in the production line, the alignment pattern formation method of the alignment film is changed from a conventional mechanical contact method to an optical non-contact method, for example, a laser beam irradiation method, thereby preventing contact between the alignment film and the rubbing surface in advance. In this way, it is possible to prevent "generating foreign matter", "generating static electricity", and the like, and, as a result, to improve the function and product yield of the finally completed liquid crystal display device to a certain level or more.

또한, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 단지, 레이저빔의 투과도 조절을 통해, 각 배향패턴들(2a)의 균일한 프로파일을 손쉽게 확보할 수 있음으로써, 배향패턴들(2a)과 접촉되는 액정들(300)의 균일한 배향을 용이하게 유도할 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 화상품질을 적정 수준 이상으로 확보할 수 있다.In addition, when the present invention is achieved, in the production line, it is possible to easily ensure a uniform profile of each of the alignment patterns 2a by adjusting the transmittance of the laser beam, thereby contacting the alignment patterns 2a. Uniform alignment of the liquid crystals 300 may be easily induced, and as a result, an image quality of the finally completed liquid crystal display device may be secured to an appropriate level or more.

더욱이, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 배향막의 배향패턴(2a) 형성방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉방식으로 변경할 수 있기 때문에, 배향패턴들의 표면에 잔류하던 "이물"을 제거하기 위한 별도의 세정공정을 진행시킬 필요성을 배제시킬 수 있으며, 결국, 전체적인 배향막 배향공정을 대폭 단순화시킬 수 있다.Moreover, when the present invention is achieved, since the formation method of the alignment pattern 2a of the alignment film can be changed from the conventional mechanical contact method to the optical non-contact method, the " foreign material " remaining on the surface of the alignment patterns can be removed. The necessity of carrying out a separate cleaning process for removal can be eliminated and, as a result, the overall alignment film alignment process can be greatly simplified.

한편, 본 발명에서는 다른 실시예로써, 마스크 플레이트(40)를 도 7에 도시된 바와 같은 구조로 형성시킬 수도 있다. 이 경우, 차광필터들(41)은 상술한 투광량 조절셀들(33)을 구비하지 않은 상태에서, 전면이 진한 염료에 의해 코팅된 구조를 이루게 된다. 물론, 투광필터들(42)은 상술한 실시예와 동일한 구조를 이룬다.Meanwhile, in another embodiment of the present invention, the mask plate 40 may be formed in a structure as shown in FIG. 7. In this case, the light blocking filters 41 have a structure in which the front surface is coated with a dark dye in a state in which the light emission control cells 33 are not provided. Of course, the light transmitting filters 42 have the same structure as in the above-described embodiment.

이러한 구조의 마스크 플레이트(40)가 레이저툴(20) 및 기판(1) 사이에 개재된 상태에서, 레이저툴(20)로부터 레이저빔이 조사되는 경우, 마스크 플레이트(40)의 투광필터들(42)을 통과한 레이저빔은 기판(1)에 도포된 배향막 원료액(2)에 다다른 후, 해당 배향막 원료액(2)을 신속하게 용융시킴으로써, 도 8에 도시된 바와 같이, 배향막 원료액(2)의 표면에 배향패턴들(2a)을 분리하는 다수개의 그루브들(2b)을 형성시킨다.Transmitting filters 42 of the mask plate 40 when the laser beam is irradiated from the laser tool 20 with the mask plate 40 having the structure interposed between the laser tool 20 and the substrate 1. After passing through the laser beam having reached the alignment film raw material liquid 2 applied to the substrate 1, the alignment film raw material liquid 2 is rapidly melted, and as shown in FIG. 8, the alignment film raw material liquid ( A plurality of grooves 2b separating the alignment patterns 2a are formed on the surface of 2).

이때, 상술한 바와 같이, 차광필터들(41)은 상술한 투광량 조절셀들(33)을 구비하고 있지 않은 상태에서, 전면이 진한 염료에 의해 코팅된 구조를 이루고 있기 때문에, 차광필터들(41)은 상술한 실시예와 달리, 레이저툴(20)로부터 입사되는 레이저빔을 100% 차광시키게 된다.In this case, as described above, since the light blocking filters 41 do not have the above-described light emission control cells 33, the entire surface of the light blocking filters 41 has a structure coated with a dark dye, the light blocking filters ( Unlike the above-described embodiment, 41) shields the laser beam incident from the laser tool 20 by 100%.

이러한 상태에서, 레이저툴(20)이 레이저빔을 출력하는 경우, 레이저툴(20)로부터 배향막 원료액(2)쪽으로 출력되는 레이저빔은 차광필터들(41)의 작용에 의해 100% 차광됨으로써, 배향막 원료액(2)에 다다르지 못하게 되며, 결국, 도면에 도시된 바와 같이, 최종 완성되는 각 배향패턴들(2a)은 상술한 실시예와 달리, 돌기형상을 이루지 않게 된다.In this state, when the laser tool 20 outputs the laser beam, the laser beam output from the laser tool 20 toward the alignment film raw material liquid 2 is shielded by 100% by the action of the light blocking filters 41, It is impossible to reach the alignment film raw material liquid 2, and as a result, as shown in the drawing, each of the final alignment patterns 2a, unlike the above-described embodiment, does not form a protrusion shape.

요컨대, 본 발명의 다른 실시예에서는 경화가 어느 정도 진행된 배향막 원료 액(2)의 표면에 일정 깊이의 그루브들(2a)을 형성시킴으로써, 액정의 일축 배향성을 확보하기는 하지만, 각 배향패턴들(2b)에는 별도의 돌기형상을 부여하지 않음으로써, 액정(300)의 선경사각은 확보하지 않는다.In other words, in another embodiment of the present invention, by forming grooves 2a having a predetermined depth on the surface of the alignment film raw material liquid 2 to which the curing has been advanced to some degree, the uniaxial alignment of the liquid crystal is ensured, but the respective alignment patterns ( 2b) is not provided with a separate projection, so that the pretilt angle of the liquid crystal 300 is not secured.

이러한 본 발명의 다른 실시예는 액정(300)의 선경사각 보다는 액정(300)의 일축 배향성이 중요시되는 모드의 액정표시장치, 예컨대, IPS 모드의 액정표시장치에서, 좀더 탁월한 효과를 나타낸다.Another embodiment of the present invention has a more excellent effect in the liquid crystal display device of the mode in which the uniaxial orientation of the liquid crystal 300 is more important than the pretilt angle of the liquid crystal 300, for example, the IPS mode liquid crystal display device.

물론, 이러한 본 발명의 다른 실시예에서도, 그루브들(2a)의 폭 W 및 깊이 D가 예컨대, 1:4~1:20의 비를 이룰 수 있도록 레이저빔의 투광환경을 알맞게 조절한다. 또한, 그루브들의 폭 W 및 깊이 D가 각각, 수nm~수백nm, 수십nm~수천nm의 범위를 유지할 수 있도록 레이저빔의 투광환경을 조절한다. 이 경우, 차기에 주입되는 액정(300)은 매우 안정적인 일축 배향성을 유지할 수 있다.Of course, also in this embodiment of the present invention, the width W and depth D of the grooves (2a), for example to achieve a ratio of 1: 4 ~ 1:20 to suitably adjust the light emitting environment of the laser beam. In addition, the width W and the depth D of the grooves are adjusted to the light emission environment of the laser beam so as to maintain the range of several nm to several hundred nm and several tens of nm to several thousand nm, respectively. In this case, the liquid crystal 300 to be injected next may maintain a very stable uniaxial orientation.

또한, 이러한 본 발명의 다른 실시예에서도, 상술한 실시예와 마찬가지로, 배향막 원료액(2)의 내부에 배향막 원료액(2)의 용융을 촉진시키기 위한 감광성 물질을 더 혼합시킨다. 이 경우, 배향막 원료액의 용융온도는 대폭 낮아지게 되어, 생산라인에서는 좀더 "약한 강도의 레이저빔"을 이용해서, 동일한 깊이의 그루브들(2b)을 형성시킬 수 있다.Also in this other embodiment of the present invention, similarly to the above-described embodiment, the photosensitive material for further promoting the melting of the alignment film raw material liquid 2 is further mixed inside the alignment film raw material liquid 2. In this case, the melting temperature of the alignment film raw material liquid is significantly lowered, and in the production line, grooves 2b of the same depth can be formed by using a more "weak intensity laser beam".

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에서는 배향막의 배향방식을 종래의 기계적인 접촉방식에서 광학적인 비접촉 방식으로 변경하고, 이를 통해, 배향막과 러빙피륙 사이의 접촉을 미리 차단함으로써, "이물의 생성", "정전기의 생성", "배향패턴들의 프로파일 불량" 등을 미리 방지시킬 수 있다.As described above, in the present invention, the alignment method of the alignment film is changed from the conventional mechanical contact method to the optical non-contact method, thereby preventing the contact between the alignment film and the rubbing land in advance, thereby creating "foreign material", It is possible to prevent "generation of static electricity", "bad profile of orientation patterns", and the like.

이러한 본 발명은 생산라인에서 제조되는 다양한 품종의 액정표시장치에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다. The present invention exhibits an overall useful effect in various kinds of liquid crystal display devices manufactured in a production line.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.And while certain embodiments of the invention have been described and illustrated, it will be apparent that the invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims of the present invention.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 배향패턴 형성장치 및 이를 이용한 배향패턴 형성방법에서는 핫 플레이트, 레이저툴, 마스크 플레이트가 조합된 장치를 구비하고, 이 장치의 레이저툴을 이용하여, 기판상에 도포된 배향막 원료액을 광학적으로 배향시킨다. 물론, 이 경우, 배향막 원료액은 다른 기구물과의 직접적인 접촉 없이, 신속한 배향과정을 수행받을 수 있다.As described in detail above, in the alignment pattern forming apparatus for the liquid crystal display device and the alignment pattern forming method using the same according to the present invention, a combination of a hot plate, a laser tool, and a mask plate is provided, and the laser tool of the device is used. Then, the alignment film raw material liquid applied on the substrate is optically oriented. Of course, in this case, the alignment layer raw material liquid may be subjected to a rapid alignment process without direct contact with other instruments.

이러한 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 배향막과 러빙피륙의 첩촉을 미리 차단시키고, 이를 통해, 불필요한 "이물의 생성", "정전기의 생성"을 미리 방지시킬 수 있음으로써, 이들을 제거하기 위한 별도의 추가공정을 생략시킬 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 기능 및 제품 수율을 일정 수준 이상으로 향상시킬 수 있다. When the present invention is achieved, in the production line, the contact between the alignment film and the rubbing land is blocked in advance, thereby preventing unnecessary "generation of foreign objects" and "generation of static electricity", thereby eliminating them separately. The additional process of may be omitted, and as a result, the function and product yield of the final liquid crystal display device may be improved to a certain level or more.

또한, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 레이저빔의 투과도 조절을 통해, 각 배향패턴들의 프로파일을 균일하게 확보할 수 있음으로써, 배향패턴들과 접촉되는 액정들의 균일 배향을 유도할 수 있으며, 결국, 최종 완성되는 액정표시장치의 화상품질을 적정 수준 이상으로 확보할 수 있다. In addition, when the present invention is achieved, the production line can be uniformly secured by adjusting the transmittance of the laser beam, thereby inducing uniform alignment of the liquid crystals in contact with the alignment patterns, As a result, the image quality of the finally completed liquid crystal display device can be secured to an appropriate level or more.

Claims (17)

배향막 원료액이 형성된 기판을 탑재한 상태로 상기 배향막 원료액을 경화(Curing)하는 핫 플레이트(Hot plate)와;A hot plate for curing the alignment film raw material liquid while the substrate on which the alignment film raw material liquid is formed is mounted; 상기 핫 플레이트의 상부에 배치되며, 상기 핫 플레이트의 작용에 의해 상기 배향막 원료액의 경화가 진행되는 상태에서, 상기 배향막 원료액으로 레이저빔(Laser beam)을 스캔(Scan)하여, 상기 배향막 원료액의 표면에, 그루브(Groove)들에 의해 분리된 다수개의 배향패턴들을 형성하는 레이저툴과;The alignment film raw material liquid is disposed on the hot plate, and the laser beam is scanned with the alignment film raw material liquid while the alignment film raw material liquid is cured by the action of the hot plate. A laser tool for forming a plurality of alignment patterns separated by grooves on a surface of the groove; 상기 레이저툴 및 상기 기판 사이에 배치되며, 상기 레이저빔을 투광시키는 투광필터들과, 엣지에서 다른 엣지로 갈수록 단계적으로 상기 레이저빔에 대한 높은 차광성을 갖는 다수의 투광량 조절셀들이 일정 피치로 형성된 차광필터들이 교대로 형성된 마스크 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성장치.Light transmission filters disposed between the laser tool and the substrate to transmit the laser beam, and a plurality of light emission control cells each having a high light shielding property with respect to the laser beam from an edge to another edge at a constant pitch An alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that the light blocking filters formed include a mask plate formed alternately. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 투광필터는 상기 각 그루브의 폭 및 깊이의 비가 1:4~1:20이 되도록 상기 레이저빔을 투광시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성장치.The alignment pattern forming apparatus of claim 1, wherein the light transmitting filter transmits the laser beam such that a ratio of widths and depths of the grooves is 1: 4 to 1:20. 제 3 항에 있어서, 상기 투광필터는 상기 각 그루브의 폭이 수nm ~ 수백nm가 되도록 상기 레이저빔을 투광시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성장치.4. The alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device according to claim 3, wherein the light transmitting filter transmits the laser beam such that the width of each groove is several nm to several hundred nm. 제 3 항에 있어서, 상기 투광필터는 상기 각 그루브의 깊이가 수십nm ~ 수천nm가 되도록 상기 레이저빔을 투광시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성장치.4. The alignment pattern forming apparatus of claim 3, wherein the light transmitting filter transmits the laser beam such that the depth of each groove is several tens of nm to several thousand nm. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 투광량 조절셀들은 하기식이 성립하도록 상기 레이저빔을 투광시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성장치.The alignment pattern forming apparatus for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light emission control cells transmit the laser beam to satisfy the following equation. P2 >= D P2> = D (여기서, P2 는 각 배향패턴들의 피치, D는 각 그루브들의 깊이)Where P2 is the pitch of each alignment pattern and D is the depth of each groove. 기판 상에 배향막 원료액을 도포하는 단계와;Applying an alignment layer raw material liquid onto a substrate; 상기 배향막 원료액을 60℃~80℃의 온도로 1차 경화하는 단계와;Primary curing the alignment film raw material liquid at a temperature of 60 ° C to 80 ° C; 상기 배향막 원료액을 100℃~150℃의 온도로 2차 경화하여, 상기 배향막 원료액을 폴리이미드화하는 단계와;Performing secondary curing of the alignment film raw material liquid at a temperature of 100 ° C. to 150 ° C. to polyimide the alignment film raw material liquid; 상기 배향막 원료액의 2차 경화과정이 진행되고 있는 상태에서 레이저빔을 조사하여, 상기 배향막 원료액의 표면에 다수개의 그루브들에 의해 분리된 배향패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성방법.And irradiating a laser beam in a state in which the secondary curing process of the alignment film raw material liquid is in progress to form alignment patterns separated by a plurality of grooves on the surface of the alignment film raw material liquid. Method of forming an orientation pattern for a display device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 8 항에 있어서, 상기 배향막 원료액에는 상기 배향막 원료액의 용융을 촉진시키기 위한 감광성 물질이 더 혼합되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성방법.10. The method of claim 8, wherein the alignment layer raw material liquid is further mixed with a photosensitive material for promoting melting of the alignment layer raw material liquid. 삭제delete 삭제delete 제 8 항에 있어서, 상기 배향막 원료액에 레이저빔을 조사하는 과정에서, 상기 배향패턴들은 상기 레이저빔의 강도 분산에 의해 선택적으로 용융되어 돌기형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성방법.The alignment pattern of claim 8, wherein, in the process of irradiating the laser beam to the alignment layer raw material solution, the alignment patterns are selectively melted by the dispersion of the intensity of the laser beam to form protrusions. Formation method. 제 15 항에 있어서, 상기 레이저빔의 강도 분산은 상기 레이저빔을 선택적으로 투과시키는 것에 의해 달성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성방법.The method of claim 15, wherein intensity dispersion of the laser beam is achieved by selectively transmitting the laser beam. 제 16 항에 있어서, 상기 레이저빔은 535nm 이하의 파장을 유지하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 배향패턴 형성방법.The method of claim 16, wherein the laser beam maintains a wavelength of 535 nm or less.
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