KR100607138B1 - Apparatus for pellicle remove - Google Patents

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Abstract

본 발명은 펠리컬 제거장치에 관한 것으로, 그 구성은 베이스판과, 제거를 하기 위한 제거홈을 가지는 펠리컬(pellicle)이 접착된 포토마스크(photo mask)를 안치하며, 접근하여 상기 포토마스크의 모서리 부위의 상면에 접촉되어 상기 포토마스크의 유동을 방지하고, 이격되어 포토마스크의 유동을 허용하는 유동방지판을 포함하는 마스크안착부재와, 상기 베이스판의 양단에 결합되며, 상기 마스크안착부재의 양단을 수용하는 가이드홈을 가지는 한 쌍의 마스크고정부재와, 상기 베이스판의 후방에 결합되며, 베이스판의 상방으로 돌출된 세로고정부재와, 상기 세로고정부재와 결합되며 상기 베이스판과 평행하게 이격된 고정판부재와, 상기 고정판부재의 양단에 결합된 한 쌍의 당김손잡이부재와, 상기 당김손잡이부재와 연결되어 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상방으로 이동하는 중앙이동판부재와, 상기 중앙이동판부재와 결합되며, 상기 펠리컬의 제거홈에 끼워지는 돌기를 포함하는 제거홈삽입부재를 구비하여, 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상기 제거홈삽입부재에 의해 펠리컬이 상방으로 향하는 힘을 받아 상기 펠리컬이 포토마스크로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 것으로서, 포토마스크의 상면에 긁힘 등의 흠결을 전혀 남기지 않고 용이하고 신속하게 펠리컬을 제거할 수 있으며, 펠리컬을 제거하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellical removal device, the configuration of which includes a base mask and a photomask on which a pellicle having a removal groove for removal is adhered, thereby approaching the photomask. A mask seating member including a flow preventing plate contacting an upper surface of a corner portion to prevent the flow of the photomask, and spaced apart to allow the flow of the photomask, and coupled to both ends of the base plate, A pair of mask fixing members having guide grooves for receiving both ends, a vertical fixing member coupled to the rear of the base plate, protruding upward of the base plate, and coupled to the vertical fixing member and parallel to the base plate; A spaced fixed plate member, a pair of pull handle members coupled to both ends of the fixed plate member, and connected to the pull handle member to provide the pull handle member. And a removal groove inserting member, which is coupled to the central moving plate member and moves upward, as the upper portion moves, and includes a projection fitted to the removal groove of the pellical. The pellical is separated from the photomask by a force directed upward by the removal groove insertion member as it is pulled upward, and is easy to leave no scratches such as scratches on the upper surface of the photomask. It is possible to remove pellicles quickly and quickly, and to reduce the time required to remove pellicals.

Description

펠리컬 제거장치{Apparatus for pellicle remove} Pellicle remover {Apparatus for pellicle remove}             

[발명의 상세한 설명]Detailed description of the invention

[발명의 목적][Purpose of invention]

[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술][Technical Field to which the Invention belongs and Prior Art in the Field]

본 고안은 제거장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 펠리컬(pellicle)이 접착되어 있는 포토마스크(photo mask)에서 펠리컬을 편리하고 신속하게, 그리고 포토마스크의 상면에 긁힘 등의 흠결을 내지 않으면서 펠리컬을 제거할 수 있는 펠리컬 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a removal device, and more particularly, in the photo mask to which the pellicle is attached, the pellicle is conveniently and quickly and without scratches such as scratches on the upper surface of the photomask. The present invention relates to a pellicle removal device capable of removing pellicles.

일반적으로 포토마스크는 반도체 공정 중 웨이퍼(wafer) 위에 패턴(pattern)을 이식시키기 위한 포토리소그래피(photolithography) 공정에 사용되는 유리와 같은 재질의 판으로서, 패턴의 오염 및 손상방지를 위해서 특히 그 취급 및 보관이 중요하다. 왜냐하면 포토마스크 상에 인쇄된 패턴이 그대로 웨이퍼 위에 전사가 되므로 포토마스크 상에 긁힘이나 흠결이 있으면 그 긁힘이나 흠결 역시 그대로 웨이퍼 위에 이식되기 때문이다.In general, a photomask is a plate made of a glass-like material used in a photolithography process for implanting a pattern on a wafer during a semiconductor process. Storage is important Because the pattern printed on the photomask is transferred onto the wafer as it is, if there are scratches or scratches on the photomask, the scratches or scratches are also implanted on the wafer.

따라서, 포토마스크는 원하는 패턴 외에는 다른 긁힘이나 흠결 등이 없어야 한다. 한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 이러한 포토마스크의 상면에는 펠리컬(pellicle)이라고 하는 막이 접착되어 있다. 상기 펠리컬(2)은 얇고 투명한 막으로 포토마스크(1) 표면을 대기중의 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해 준다. 이러한 펠리컬(2)은 금속, 일반적으로 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착한 후 안정되게 포토마스크(1) 위에 단단히 접착제 등에 의해 접착되어진다. 그리고, 펠리클(2) 표면에 부착되어진 이물질(Particle)은 포토마스크 표면으로부터 웨이퍼이미지에 영향을 주지 않을 거리에 위치하게 된다.Therefore, the photomask should be free from scratches and scratches other than the desired pattern. On the other hand, as shown in Fig. 1, a film called pellicle is adhered to the upper surface of the photomask. The pellical 2 is a thin, transparent film that protects the surface of the photomask 1 from contamination with molecules in the atmosphere or other forms. This pellical 2 is attached to a metal, generally anodized aluminum frame, and then firmly adhered to the photomask 1 by an adhesive or the like. Particles attached to the surface of the pellicle 2 are located at a distance from the photomask surface that will not affect the wafer image.

그런데, 상기한 펠리컬(2)은 패턴의 변화나, 포토마스크의 손상 등 여러 가지의 이유로 포토마스크(1)로부터 제거되어야 할 필요가 종종 있다. 이를 위하여 펠리컬(2)의 양측면에는 그 제거를 위한 제거홈(3)이 형성되어 있다.By the way, it is often necessary to remove the pellical 2 from the photomask 1 for various reasons, such as a change of a pattern or damage of a photomask. To this end, removal grooves 3 for removal thereof are formed on both sides of the pellical 2.

도 2 및 도 3은 펠리컬을 제거하는 종래의 방법을 도시한 그림이다. 상기 도면에 도시된 바와 같이 포토마스크(1)는 별도의 케이스(4)에 보관되어 지며, 상기 케이스(4)의 상면에는 부착구(5)가 형성되어 있다. 이 부착구(5)에 포토마스크(1)의 네 모서리가 놓여져서 상기 포토마스크(1)가 케이스(4)에 지지되는 것이다.2 and 3 illustrate a conventional method of removing pellicals. As shown in the figure, the photomask 1 is stored in a separate case 4, and the attachment hole 5 is formed on the upper surface of the case 4. The four edges of the photomask 1 are placed in the attachment port 5 so that the photomask 1 is supported by the case 4.

펠리컬(2)을 제거하기 위해서 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 갈고리 형상의 펠리컬 제거도구(6)의 끝단을 삽입한 채로 손으로 제거도구(6)를 하방으로 누른다. 이때, 제거도구(6)의 굴곡된 부위의 하면은 상기 포토마스크(1)의 상면에 놓이게 된다.In order to remove the pellical 2, the removal tool 6 is pushed downward by hand while inserting the end of the hook-shaped pellical removal tool 6 into the removal groove 3 of the pellical 2. At this time, the lower surface of the curved portion of the removal tool 6 is placed on the upper surface of the photomask (1).

상기 제거도구(6)를 하방으로 누르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 제거도구(6)의 끝단이 제거도구(6)와 포토마스크(1)의 접촉면(C)을 중심으로 회동되고, 이 회동되는 힘으로 펠리컬(2)이 상방으로 힘을 받게 되어 포토마스크(1)와 분리되는 것이다. 이어서 똑같은 방법으로 펠리컬(2)의 반대편을 포토마스크(1)로 부터 분리하면, 펠리컬(2)은 포토마스크(1)로부터 완전히 분리가 된다.When the removal tool 6 is pressed downward, the end of the removal tool 6 is rotated about the contact surface C of the removal tool 6 and the photomask 1, as shown in FIG. By the force of rotation, the pellical (2) is forced upward and separated from the photomask (1). Subsequently, the opposite side of the pellical 2 is separated from the photomask 1 in the same manner, and the pellical 2 is completely separated from the photomask 1.

그러나, 종래의 펠리컬 제거도구(6)는 작업자의 부주의나 작업의 미숙 등으로 제거도구(6)를 움직이면서 포토마스크(1)의 상면에 원하지 않는 긁힘이 생겨 포토마스크(1)를 못쓰게 되는 문제점이 있었다. 또한, 제거도구(6)와 포토마스크(1)의 상면이 맞닿는 접촉점(C)에는 어쩔 수 없이 점 형태의 긁힘이 남는다는 문제점이 있었다.However, the conventional helical removal tool (6) is a problem that undesired scratches on the upper surface of the photomask (1) can not be used while moving the removal tool (6) due to the carelessness of the operator or inexperience of work, etc. There was this. In addition, there was a problem in that a point-shaped scratch remains unavoidably at the contact point C where the upper surface of the removal tool 6 and the photomask 1 abut.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제][Technical problem to be achieved]

본 고안은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 그 목적은 포토마스크의 상면에 긁힘 등의 흠결을 전혀 남기지 않고 용이하고 신속하게 펠리컬을 제거할 수 있으며, 펠리컬을 제거하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 펠리컬 제거 장치를 제공함에 있다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems, the purpose of which can easily and quickly remove the pellical without leaving any scratches, such as scratches on the upper surface of the photomask, It is to provide a pellical removal device that can reduce the time required.

[발명의 구성][Configuration of Invention]

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 펠리컬 제거장치는 베이스판과, 제거를 하기 위한 제거홈을 가지는 펠리컬(pellicle)이 접착된 포토마스크(photo mask)를 안치하며, 접근하여 상기 포토마스크의 모서리 부위의 상면에 접촉되어 상기 포토마스크의 유동을 방지하고, 이격되어 포토마스크의 유동을 허용하는 유동방지판을 포함하는 마스크안착부재와, 상기 베이스판의 양단에 결합되며, 상기 마스크안착부재의 양단을 수용하는 가이드홈을 가지는 한 쌍의 마스크고정부재와, 상기 베이스판의 후방에 결합되며, 베이스판의 상방으로 돌출된 세로고정부재와, 상기 세로고정부재와 결합되며 상기 베이스판과 평행하게 이격된 고 정판부재와, 상기 고정판부재의 양단에 결합된 한 쌍의 당김손잡이부재와, 상기 당김손잡이부재와 연결되어 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상방으로 이동하는 중앙이동판부재와, 상기 중앙이동판부재와 결합되며, 상기 펠리컬의 제거홈에 끼워지는 돌기를 포함하는 제거홈삽입부재를 구비하여, 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상기 제거홈삽입부재에 의해 펠리컬이 상방으로 향하는 힘을 받아 상기 펠리컬이 포토마스크로부터 분리되는 것을 특징으로 한다.The pellical removal device according to the present invention for achieving the above object is to place a photomask (bonded) with a base plate, a pellicle (pellicle) having a removal groove for removal, approaching the A mask seating member including a flow preventing plate contacting an upper surface of an edge portion of the photomask to prevent the flow of the photomask, and spaced apart to allow the flow of the photomask, and coupled to both ends of the base plate, A pair of mask fixing members having guide grooves for receiving both ends of the seating member, coupled to the rear of the base plate, vertical fixing members protruding upward of the base plate, and combined with the vertical fixing members and the base plate; A fixed plate member spaced apart in parallel with the pair, a pair of pull handle members coupled to both ends of the fixed plate member, and connected to the pull handle member, And a removal groove inserting member including a central moving plate member moving upwards as the gripping handle member is moved upward, and a projection coupled to the central moving plate member and fitted into the removal groove of the pellical. As the pull handle member is pulled upward, the pellical is upwardly driven by the removal groove insert member, and the pellical is separated from the photomask.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 펠리컬 제거장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, on the basis of the accompanying drawings a helical removal device according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

도 4 내지 도 34는 본 발명의 실시예에 따른 펠리컬 제거장치를 도시한 것으로, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 펠리컬 제거장치의 사시도를, 도 5는 도 4에 도시된 장치의 마스크안착부재의 분리사시도를, 도 6은 도 4에 도시된 장치의 마스크고정부재 및 마스크안착부재의 사시도를, 도 7은 도 4에 도시된 장치의 세로고정부재 부위를 나타낸 사시도를, 도 8은 도 4에 도시된 장치의 세로고정부재 부위의 후면을 나타낸 도면을, 도 9는 도 4에 도시된 장치의 수직이동레버 부위를 나타낸 사시도를, 도 10은 도 4에 도시된 장치의 정면도를, 도 11은 도 4에 도시된 장치의 제거홈삽입부재를 나타낸 저면사시도를, 도 12 및 도 13은 도 4에 도시된 장치의 회전손잡이 부위를 나타낸 단면도를, 도 14는 도 4에 도시된 장치의 상하미세조절부를 나타낸 분리사시도를, 도 15는 도 4에 도시된 장치의 상하미세조절부를 나타낸 정면도를, 도 16는 도 4에 도시된 장치의 제1회전판 및 제2전진판 부위의 분리사시도를, 도 17 및 도 18은 도 4에 도시된 장치의 마스크안착부재의 작동상태를 설명하기 위한 도면을, 도 19 내지 도 21은 도 4에 도시된 장치의 마스크고정부재에 마스크안착부재가 삽입되는 과정을 설명하기 위한 도면을, 도 22 내지 도 34는 도 4에 도시된 장치의 사용상태를 설명하기 위한 도면을 각각 나타낸 것이다.4 to 34 show a pellical removal device according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a perspective view of the pellical removal device according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a view of the device shown in Figure 4 FIG. 6 is a perspective view of a mask fixing member and a mask seating member of the apparatus shown in FIG. 4, FIG. 7 is a perspective view showing a vertical fixing member portion of the apparatus shown in FIG. 4, and FIG. 8. Figure 4 is a view showing the rear of the longitudinal fixing member portion of the device shown in Figure 4, Figure 9 is a perspective view showing the vertical lever portion of the device shown in Figure 4, Figure 10 is a front view of the device shown in Figure 4 11 is a bottom perspective view showing the removal groove insertion member of the apparatus shown in FIG. 4, FIGS. 12 and 13 are cross-sectional views showing a rotation knob portion of the apparatus shown in FIG. 4, and FIG. 14 is shown in FIG. 4. 15 is an exploded perspective view showing the upper and lower fine control of the device, FIG. Figure 4 is a front view showing the upper and lower fine control of the device shown in Figure 4, Figure 16 is an exploded perspective view of the first rotating plate and the second forward plate portion of the device shown in Figure 4, Figures 17 and 18 shown in Figure 4 19 to 21 are views for explaining the operation of the mask seating member of the device, Figure 19 to 21 is a view for explaining the process of inserting the mask seating member to the mask fixing member of the device shown in Figure 4, 22 to 34 is a view for explaining the state of use of the device shown in FIG.

상기 도 4 내지 도 34에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 펠리컬 제거장치(100)는 베이스판(10)과, 마스크안착부재(20)와, 마스크고정부재(30)와, 세로고정부재(40)와, 고정판부재(50)와, 당김손잡이부재(60)와, 중앙이동판부재(70)와, 제거홈삽입부재(80)와, 상하미세조절부(90)로 이루어져 있다.As shown in FIGS. 4 to 34, the pellical removal device 100 according to the embodiment of the present invention includes a base plate 10, a mask seating member 20, a mask fixing member 30, It consists of a vertical fixing member 40, a fixed plate member 50, a pull handle member 60, a central movable plate member 70, a removal groove insertion member 80, and the upper and lower fine adjustment unit 90 have.

상기 베이스판(10)은 사각의 넓은 판으로 구성되어 있다.The base plate 10 is composed of a wide rectangular plate.

상기 마스크안착부재(20)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 제거를 하기 위한 제거홈(3)을 가지는 펠리컬(2)이 접착된 포토마스크(1)를 안치하며, 접근하여 상기 포토마스크(1)의 모서리 부위의 상면에 접촉되어 상기 포토마스크(1)의 유동을 방지하고, 이격되어 포토마스크(1)의 유동을 허용하는 것으로서, 본 실시예에서는 프레임(21)과 마스크거치대(22)와 한 쌍의 측방연결부(23)와 측면부결합봉(26)과 프레임스프링(27)을 포함하고 있다.As shown in FIG. 5, the mask seating member 20 rests a photomask 1 to which a pellical 2 having a removal groove 3 for removal is attached, and approaches the photomask. Contact with the upper surface of the corner portion of (1) to prevent the flow of the photomask (1), spaced apart to allow the flow of the photomask (1), in this embodiment frame 21 and the mask holder 22 ) And a pair of side connections 23, side coupling rods 26 and frame springs (27).

상기 프레임(21)은 상기 마스크안착부재(20)의 골조를 이루는 부분으로서, 정사각형 형상의 제1프레임(212)과, 그 제1프레임(212)의 한 변을 공통으로 하는 직사각형의 제2프레임(214)으로 구성되어 전체적으로 보면 직사각형 모양을 가진다. 상기 제1프레임(212)은 후술하는 마스크거치대(22)가 고정되는 부분이며, 제2프레임(214)는 상기 마스크안착부재(20)를 마스크고정부재(30)에 탈착 및 부착시킬 때의 손잡이 역할을 한다. 또한, 상기 프레임(21)에 바깥 측면에서 안쪽 측면을 향하여 파여진 프레임홈(240)이 양단에 형성되어 있다.The frame 21 constitutes a frame of the mask seating member 20. The frame 21 has a square first frame 212 and a second rectangular frame having one side of the first frame 212 in common. It consists of 214 and has a rectangular shape as a whole. The first frame 212 is a portion in which the mask holder 22 to be described later is fixed, and the second frame 214 is a handle for detaching and attaching the mask seating member 20 to the mask fixing member 30. Play a role. In addition, frame grooves 240 are formed at both ends of the frame 21 which are dug toward the inner side from the outer side.

상기 마스크거치대(22)는 상기 정사각형의 제1프레임(212)의 상면에 결합되며, 상기 포토마스크(1)의 모서리 부위가 안착되는 거치홈(221)을 가진다.The mask holder 22 is coupled to an upper surface of the square first frame 212, and has a mounting groove 221 on which a corner portion of the photomask 1 is seated.

상기 한 쌍의 측방연결부(23)는 상기 프레임(21)의 양 측면에 각각 결합되는 것으로서, 유동방지판(24)과 걸림부수용홈(234)과 걸림부(25)를 포함하고 있다.The pair of side connection parts 23 are coupled to both sides of the frame 21, respectively, and include a flow preventing plate 24, a locking part receiving groove 234, and a locking part 25.

상기 유동방지판(24)은 상기 측방연결부(23)가 상기 프레임(21)에 접촉하였을 때 상기 마스크거치대(22)의 상면에 위치하게 되어 상기 포토마스크(1)의 모서리 상면에 접촉하여 그 포토마스크(1)의 이동을 방지한다.The flow preventing plate 24 is positioned on the upper surface of the mask holder 22 when the side connecting portion 23 is in contact with the frame 21 to contact the upper surface of the edge of the photomask (1) The movement of the mask 1 is prevented.

상기 걸림부수용홈(234)은 상기 한 쌍의 측방연결부(23)에 각각 형성되며, 측방연결부(23)의 바깥면, 즉 상기 프레임(21)이 위치된 면의 반대면에서 안쪽면을 향하여 파여진 홈이며, 홈의 수직면에 세로홈(244)과 수평면에 수평홈(242)이 각각 형성되어 있다.The catching part accommodating grooves 234 are formed in the pair of side connecting portions 23, respectively, from the outer surface of the side connecting portions 23, that is, from the opposite surface to the surface on which the frame 21 is located, toward the inner surface. It is a recessed groove, the vertical groove 244 and the horizontal groove 242 is formed in the vertical plane of the groove, respectively.

상기 걸림부(25)는 상기 한 쌍의 측방연결부(23)에 각각 결합되며, 그 측방연결부(23)의 측면으로부터 돌출되지 않게 상기 걸림부수용홈(234)에 삽입되어 결합된다. 상기 걸림부(25)는 상기 걸림부수용홈(234)의 세로홈(244)에 체결되는 걸림부체결나사(28)에 의하여 상기 걸림부수용홈(234)에 결합되며, 상기 걸림부(25)의 단부 밑면은 상기 걸림부수용홈(234)의 수평홈(242)에 끼워지는 걸림부스프링(29)에 의해 상방으로 탄성바이어스된다. 또한 상기 걸림부(25)에는 각각 상방을 향하여 돌출된 잠금돌기(252)와 해제돌기(254)가 형성되어 있다. 상기 잠금돌기(252)는 걸림부(25) 전체길이의 대략 중간 부위에 경사면을 가지며 돌출되며 해제돌기(254)는 걸림부(25)의 끝단에 마련되어 있다.The locking portions 25 are respectively coupled to the pair of side connecting portions 23, and are inserted into the locking portion receiving grooves 234 so as not to protrude from the side surfaces of the side connecting portions 23. The locking portion 25 is coupled to the locking portion accommodation groove 234 by the locking portion fastening screw 28 fastened to the vertical groove 244 of the locking portion accommodation groove 234, and the locking portion 25. The bottom of the end portion is elastically biased upward by the engaging spring 29 fitted into the horizontal groove 242 of the engaging portion receiving groove 234. In addition, the locking portion 25 is formed with a locking protrusion 252 and a release protrusion 254 protruding upwards, respectively. The locking protrusion 252 has an inclined surface at approximately the middle of the entire length of the locking portion 25 and protrudes, and the release protrusion 254 is provided at the end of the locking portion 25.

한편, 상기 측방연결부(23)의 상기 프레임홈(240)에 대응되는 위치에는 그 측방연결부(23)를 관통하는 측방연결부관통공(232)이 형성되어 있다.On the other hand, at the position corresponding to the frame groove 240 of the side connecting portion 23, the side connecting portion through-hole 232 penetrating through the side connecting portion 23 is formed.

상기 측면부결합봉(26)의 상기 한 쌍의 측방연결부(23)를 프레임(21)의 양 측면에 결합시키기 위한 것으로서, 상기 측방연결부관통공(232)을 관통하여 상기 프레임홈(240)에 끼워진다.As for coupling the pair of side connecting portions 23 of the side portion connecting rods 26 to both sides of the frame 21, the side connecting portion penetrates through the through hole 232 and inserted into the frame groove 240 Lose.

상기 프레임스프링(27)은 상기 측방연결부(23)와 프레임(21)의 이격을 용이하게 위하여 마련된 것으로서, 상기 측면부결합봉(26)의 외주에 끼워지며, 상기 측방연결부(23)와 프레임(21) 사이에 위치한다.The frame spring 27 is provided to facilitate the separation of the side connecting portion 23 and the frame 21, is fitted to the outer circumference of the side coupling rod 26, the side connecting portion 23 and the frame 21 Is located between).

상기 마스크고정부재(30)는 상기 마스크안착부재(20)를 고정하기 위한 것으로서, 상기 베이스판(10)의 전방 양단에 고정되며, 일정한 길이를 가지며, 그 길이방향을 따라 일정한 깊이로 파여진 안착부재수용홈(32)을 가지는 한 쌍의 수직벽부(31)를 포함한다. 상기 마스크안착부재(20)의 양단이 상기 수직벽부(31)의 안착부재수용홈(32)에 삽입되어 그 마스크안착부재(20)가 고정되는 것이다. 또한, 상기 안착부재수용홈(32)의 입구에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 다시 상방을 향하여 파여진 걸림부돌기수용홈(34)이 형성되어 있다. 이 걸림부돌기수용홈(34)에 상기 걸림부(25)의 잠금돌기(252)가 수용된다.The mask fixing member 30 is for fixing the mask seating member 20, and is fixed to both front ends of the base plate 10, has a predetermined length, and is recessed to a predetermined depth along its longitudinal direction. It includes a pair of vertical wall portion 31 having a member receiving groove (32). Both ends of the mask seating member 20 are inserted into the seat member accommodating groove 32 of the vertical wall portion 31 to fix the mask seating member 20. In addition, at the inlet of the mounting member accommodation groove 32, as shown in Figure 6, the engaging projection projection groove 34 is dug upward again is formed. The locking projection 252 of the locking portion 25 is accommodated in the locking portion projection receiving groove 34.

한편, 본 실시예에서는 상기 마스크안착부재(20)와 마스크고정부재(30)의 결합 해제를 용이하게 하기 위하여, 걸림부스프링(29)과 멈춤부(35)와 멈춤부스프링(37)과 멈춤부돌기(38)가 더 구비되어 있다. 상기 걸림부스프링(29)은 앞서 걸림부(25)의 구성에서 설명하였으므로 자세한 설명은 생략한다. 상기 멈춤부(35)는 상기 마스크고정부재(30)의 후방 끝단에 위치하여, 상기 베이스판(10)에 고정되어 있다. 그리고 멈춤부(35)에는 그 전면에서 후면을 향하여 파여진 멈춤부홈(36)이 형성되어 있다. 상기 멈춤부스프링(37)은 상기 멈춤부홈(36)에 삽입된다. 상기 멈춤부돌기(38)는 상기 멈춤부홈(36)에 삽입되며, 그 일단은 상기 멈춤부스프링(37)과 접촉되며, 그 타단은 상기 멈춤부(35)로부터 돌출된다. 상기 마스크안착부재(20)와 마스크고정부재(30)의 결합이 해제될 때, 상기 멈춤부돌기(38)가 상기 마스크안착부재(20)의 프레임(21)을 밀어주는 것이다.On the other hand, in the present embodiment, in order to facilitate the release of the coupling of the mask seating member 20 and the mask fixing member 30, the stop spring 29 and the stop portion 35 and the stop spring (37) and stop The additional protrusion 38 is further provided. Since the locking spring 29 has been described in the configuration of the locking portion 25 above, a detailed description thereof will be omitted. The stop 35 is located at the rear end of the mask fixing member 30 and is fixed to the base plate 10. And the stop part 35 is formed with a stop part groove 36 dug from the front to the back. The stop spring 37 is inserted into the stop groove 36. The stop projection 38 is inserted into the stop groove 36, one end of which is in contact with the stop spring 37, and the other end thereof protrudes from the stop 35. When the coupling between the mask seating member 20 and the mask fixing member 30 is released, the stop protrusion 38 pushes the frame 21 of the mask seating member 20.

상기 세로고정부재(40)는 수직기둥판(41)과 수직가이드레일(42)과 수직이동판(43)과 연결판(44)과 수직이동레버(45)와 수직이동체인(47)을 포함하고 있다.The vertical fixing member 40 includes a vertical column plate 41, a vertical guide rail 42, a vertical moving plate 43, a connecting plate 44, a vertical moving lever 45, and a vertical moving chain 47. Doing.

상기 수직기둥판(41)은 상기 베이스판(10)의 후방 위치에서 수직방향으로 길게 돌출되어 그 베이스판(10)에 고정되어 있다.The vertical column plate 41 protrudes in the vertical direction from the rear position of the base plate 10 and is fixed to the base plate 10.

상기 수직가이드레일(42)은 상기 수직기둥판(41)의 전면에 결합되며 가이드홈(422)을 가진다.The vertical guide rail 42 is coupled to the front surface of the vertical column plate 41 and has a guide groove 422.

상기 수직이동판(43)은 상기 수직가이드레일(42)의 가이드홈(422)과 결합되며, 그 수직가이드레일(42)을 따라 상하로 슬라이딩 가능하게 그 수직기둥판(41)과 결합된다.The vertical movable plate 43 is coupled to the guide groove 422 of the vertical guide rail 42, and is coupled to the vertical column plate 41 to be slidable up and down along the vertical guide rail 42.

상기 연결판(44)은 상기 수직기둥판(41)의 수직가이드레일(42)이 결합된 면과 반대면에 위치되며, 상기 수직이동판(43)과 연결되어 그 수직이동판(43)을 상하 방향으로 이동시킨다.The connecting plate 44 is located on a surface opposite to the surface to which the vertical guide rail 42 of the vertical column plate 41 is coupled, and is connected to the vertical moving plate 43 to form the vertical moving plate 43. Move in the vertical direction.

상기 수직이동레버(45)는 상기 연결판(44)과 연결핀(46)에 의해 연결되어 그 연결판(44)을 상하방향으로 이동시킨다.The vertical moving lever 45 is connected by the connecting plate 44 and the connecting pin 46 to move the connecting plate 44 in the vertical direction.

상기 수직이동체인(47)은 상기 수직이동판(43)과 연결판(44)을 결합시켜 상기 연결판(44)이 하방으로 이동하면 수직이동판(43)은 상방으로 이동하고, 연결판(44)이 상방으로 이동하면 수직이동판(43)은 하방으로 이동한다.The vertical movable chain 47 combines the vertical movable plate 43 and the connecting plate 44 so that the vertical movable plate 43 moves upward when the connecting plate 44 moves downward. When 44) moves upward, the vertical moving plate 43 moves downward.

한편, 본 실시예에서 상기 세로고정부재(40)에는 상기 수직이동레버(45)가 임의의 위치에 있을 때, 그 수직이동레버(45)가 상하방향으로 원치 않을 때 유동되는 것을 방지하기 위하여, 하방연결판(442)과 무게추(444)가 더 구비되어 있다.On the other hand, in the present embodiment, when the vertical movement lever 45 is at an arbitrary position in the vertical fixing member 40, in order to prevent the vertical movement lever 45 from flowing when it is not desired in the vertical direction, The lower connection plate 442 and the weight 444 is further provided.

상기 하방연결판(442)은 상기 연결판(44)과 하방으로 이격된 위치에 마련되며, 그 연결판(44)과 연결봉(446)에 의해 연결되어 있다.The lower connecting plate 442 is provided at a position spaced downwardly from the connecting plate 44, and is connected by the connecting plate 44 and the connecting rod 446.

상기 무게추(444)는 상기 연결판(44)과 하방연결판(442) 사이에 위치하게 되며, 일정한 무게를 갖는다. 즉 상기 수직이동판(43)에 연결된 무게와 상기 연결판(44)에 연결된 무게가 균형을 이루어 상기 수직이동레버(45)가 임의로 상하방향으로 유동되는 것이 방지되는 것이다.The weight 444 is located between the connecting plate 44 and the lower connecting plate 442, and has a constant weight. That is, the weight connected to the vertical moving plate 43 and the weight connected to the connecting plate 44 are balanced to prevent the vertical moving lever 45 from flowing arbitrarily up and down.

또한, 본 실시예에서 상기 세로고정부재(40)에는 상기 수직이동판(43)의 하방으로의 이동을 제한하기 위한 장치로서, 돌기부(49)와 멈춤부재(412)가 더 구비되어 있다.In addition, the vertical fixing member 40 in the present embodiment as a device for limiting the movement of the vertical movement plate 43 downward, the projection 49 and the stop member 412 is further provided.

상기 돌기부(49)는 상기 수직이동판(43)의 측면에 고정되며, 그 수직이동판(43)의 측면으로부터 돌출된 것으로서, 돌기결합판(492)과 실린더(494) 와 돌출핀(496)을 포함하고 있다.The protrusion 49 is fixed to the side of the vertical plate 43, protrudes from the side of the vertical plate 43, the projection coupling plate 492, the cylinder 494 and the protruding pin 496. It includes.

상기 돌기결합판(492)은 상기 수직이동판(43)의 측면에 고정되며, 관통공(498)을 가진다.The protrusion coupling plate 492 is fixed to the side surface of the vertical movable plate 43 and has a through hole 498.

상기 실린더(494)는 상기 돌기결합판(492)의 관통공(498)에 끼워지며, 그 내부에 공간을 가지며, 그 내부공간에는 고압가스가 채워져 있다.The cylinder 494 is fitted into the through hole 498 of the protrusion coupling plate 492 and has a space therein, and the inner space is filled with a high pressure gas.

상기 돌출핀(496)은 상기 실린더(494)의 내부공간에 끼워진다. 상기 돌출핀(496)과 상기 멈춤부재(412)의 충격이 상기 실린더 홈에 채워진 고압가스에 의해 완화되는 것이다.The protruding pin 496 is fitted into an inner space of the cylinder 494. The impact of the protruding pin 496 and the stop member 412 is mitigated by the high pressure gas filled in the cylinder groove.

상기 멈춤부재(412)는 상기 수직기둥판(41)의 상기 수직가이드레일(42)이 결합된 면에 고정되며, 상기 수직가이드레일(42)의 하방으로의 끝단과 이격된 위치에 결합되어, 상기 돌기부(49)의 하방으로의 진행을 막는다. 상기 돌출핀(496)과 상기 멈춤부재(412)의 충격이 상기 실린더(494) 내부공간에 채워진 고압가스에 의해 완화되는 것이다.The stop member 412 is fixed to a surface to which the vertical guide rail 42 of the vertical column plate 41 is coupled, and is coupled to a position spaced apart from an end of the vertical guide rail 42 downward, The process below the protrusion 49 is prevented. The impact of the protruding pin 496 and the stop member 412 is alleviated by the high pressure gas filled in the inner space of the cylinder 494.

또한, 본 실시예에서 상기 세로고정부재(40)에는 상기 수직이동레버(45)의 최하단 위치에서 상방으로의 이동을 잠금 및 허용하기 위하여, 걸림돌기(414)와 굴곡레버(452)가 더 구비되어 있다.In addition, in the present embodiment, the vertical fixing member 40 is further provided with a locking projection 414 and the bending lever 452 in order to lock and allow the movement upward from the lowest position of the vertical moving lever 45. It is.

상기 걸림돌기(414)는 상기 수직기둥판(41)의 측면에 결합되며, 그 수직기둥판(41)의 측면으로부터 돌출된다.The locking projection 414 is coupled to the side of the vertical column plate 41, and protrudes from the side of the vertical column plate 41.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 수직이동레버(45)에는 관통공(456)이 형성되어 있으며, 상기 굴곡레버(452)는 상기 수직이동레버(45)의 관통공(456)을 관통하는 평행부(453)와, 그 평행부(453)로부터 직각으로 꺾어진 수직부(454)를 가진다. 즉, 상기 수직이동레버(45)의 최하단 위치에서 상방으로 이동할 때, 상기 굴곡레버(452)의 수직부(454) 끝단의 진행경로 상에 상기 걸림돌기(414)가 위치되어 상기 수직이동레버(45)의 상방으로의 이동이 제한되고, 상기 굴곡레버(452)의 평행부(453)를 회동시켜 상기 수직부(454)의 끝단을 위치 이동시켜 상기 수직이동레버(45)의 상방으로의 이동을 허용하는 것이다.On the other hand, as shown in Figure 9, the vertical movement lever 45 is formed with a through hole 456, the bending lever 452 passes through the through hole 456 of the vertical movement lever 45. Parallel portion 453 and a vertical portion 454 bent at right angles from the parallel portion 453. That is, when moving upward from the lowermost position of the vertical movement lever 45, the locking projection 414 is positioned on the traveling path of the end of the vertical portion 454 of the bending lever 452 is the vertical movement lever ( The upward movement of 45 is limited, and the parallel portion 453 of the bending lever 452 is rotated to move the end of the vertical portion 454 to move upward of the vertical movement lever 45. To allow.

상기 고정판부재(50)는 일정한 두께를 가지는 사각의 판으로 구성되며, 상기 수직이동판(43)에 고정되어 있다. 따라서 상기 수직이동판(43)이 상하로 이동하면 고정판부재(50)도 이와 함께 상하로 이동하게 된다. 그리고 상기 고정판부재(50)의 중앙부위에는 네 개의 고정판관통공(51)이 형성되어 있으며, 도 14에 도시된 바와 같이, 그 네 개의 고정판관통공(51)은 하나의 중심점을 가지는 사각형의 배열을 하고 있다. 또한, 상기 고정판관통공(51)이 형성된 위치의 고정판부재(10) 상면에는 상기 고정판관통공(51)과 동일한 직경의 관통공이 형성된 충돌완화패킹(53)이 각각 고정되어 있다.The fixed plate member 50 is composed of a rectangular plate having a predetermined thickness, it is fixed to the vertical movable plate 43. Therefore, when the vertical movable plate 43 moves up and down, the fixed plate member 50 also moves up and down together. In addition, four fixed plate through holes 51 are formed at the central portion of the fixed plate member 50. As shown in FIG. 14, the four fixed plate through holes 51 have a rectangular arrangement having one center point. Doing. In addition, a collision relief pack 53 having a through hole having the same diameter as that of the fixed plate through hole 51 is fixed to an upper surface of the fixed plate member 10 at the position where the fixed plate through hole 51 is formed.

상기 당김손잡이부재(60)는 손잡이부(61)와, 당김레버(62)와, 체인도르래(64)와, 당김체인(66)을 포함하고 있다.The pull knob member 60 includes a handle 61, a pull lever 62, a chain pulley 64, and a pull chain 66.

상기 손잡이부(61)는 상기 고정판부재(50)의 양단에 고정되며, 한 쌍으로 구비되어 있다.The handle 61 is fixed to both ends of the fixing plate member 50, and is provided in pairs.

상기 당김레버(62)는 상기 손잡이부(61)와 힌지 결합되며, 도 10에 도시된 바와 같이, 일단부로부터 굴곡된 굴곡부(622)를 가진다. 그리고 상기 당김레버(62) 는 힌지점(63)을 기준으로 상하로 회동된다.The pull lever 62 is hinged to the handle 61, and has a bent portion 622 bent from one end, as shown in FIG. And the pull lever 62 is rotated up and down based on the hinge point (63).

상기 체인도르래(64)는 상기 고정판부재(50)의 하면에 고정되어 있다.The chain pulley 64 is fixed to the lower surface of the fixed plate member 50.

상기 당김체인(66)은 상기 체인도르래(64)에 감겨지며, 본 실시예에서 그 일단은 상기 당김레버(62)의 굴곡부(622)에 고정되며, 그 타단은 후술하는 제1회전판(71)에 고정되어 있다. 따라서 상기 당김레버(62)가 상방으로 회동되면 그 당김레버(62)와 체인(66)에 의해 연결된 상기 제1회전판(71)이 상방으로 이동하는 것이다.The pull chain 66 is wound around the chain pulley 64, and one end of the pull chain 66 is fixed to the bent portion 622 of the pull lever 62, and the other end thereof is the first rotating plate 71 to be described later. It is fixed at. Therefore, when the pull lever 62 is rotated upwards, the first rotation plate 71 connected by the pull lever 62 and the chain 66 moves upward.

상기 중앙이동판부재(70)는 상기 당김손잡이부재(60)와 연결축(72) 등에 의해 연결되며, 상기 당김레버(62)가 상방으로 회동되면 상기 중앙이동판부재(70)도 상방으로 이동된다.The center plate member 70 is connected by the pull handle member 60 and the connecting shaft 72, and the center plate plate 70 also moves upward when the pull lever 62 is rotated upward. do.

상기 제거홈삽입부재(80)는 상기 중앙이동판부재(70)와 결합되며 상기 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 삽입되는 것으로서, 중앙이동판가이드(81)와, 상판(82)과, 제1삽입돌출부(83) 및 제2삽입돌출부(84)와, 간격조절부(86)를 포함하고 있다.The removal groove insertion member 80 is coupled to the central moving plate member 70 and inserted into the removal groove 3 of the pellical 2, the central moving plate guide 81 and the upper plate 82. And a first insertion protrusion 83, a second insertion protrusion 84, and a gap adjusting portion 86.

상기 중앙이동판가이드(81)는 상기 중앙이동판부재(70)의 하면 좌우 양단에 고정되며, 도 4 및 도 11에 도시된 바와 같이, 좌우방향 즉 상기 손잡이부(61)와 평행한 방향으로 길게 설치된다.The center movable plate guide 81 is fixed to both ends of the bottom left and right of the center movable plate member 70, and as shown in FIGS. 4 and 11, in a horizontal direction, that is, in a direction parallel to the handle part 61. It is installed long.

상기 상판(82)은 사각의 판으로서, 그 상면에는 상기 중앙이동판부재(70)의 중앙이동판가이드(81)와 결합되는 삽입가이드레일(822)이 고정되어 있으며, 한 쌍으로 마련되어 있다.The upper plate 82 is a rectangular plate, and the insertion guide rail 822 coupled to the central movable plate guide 81 of the central movable plate member 70 is fixed to the upper surface thereof, and is provided in pairs.

상기 제1삽입돌출부(83) 및 제2삽입돌출부(84)는 상기 상판(82)의 하면에 결 합되며, 상기 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 삽입되는 제거홈삽입돌기(85)를 각각 가진다.The first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 are coupled to the lower surface of the upper plate 82, and the removal groove insertion protrusion 85 inserted into the removal groove 3 of the pellical 2. Have each).

상기 간격조절부(86)는 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84) 사이의 상호 이격 간격을 조절하기 위한 것으로서, 제1측판(824) 및 제2측판(825)과, 중앙고정부(861)와, 중간베어링(862)과, 회전막대뭉치(870)를 포함한다.The gap adjusting unit 86 is for controlling the mutual separation interval between the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84, the first side plate 824 and the second side plate 825, The central fixing part 861, the intermediate bearing 862, and the rotating rod bundle 870 are included.

상기 제1측판(824) 및 제2측판(825)은 상기 상판(82) 하면의 전후 양끝단에 각각 고정되며, 각각에는 측판관통공(824h,825h)이 형성되어 있다.The first side plate 824 and the second side plate 825 are fixed to both front and rear ends of the lower surface of the upper plate 82, respectively, and side plate through holes 824h and 825h are formed.

상기 중앙고정부(861)는 그 중앙부위에 중앙관통공(861h)을 가지며, 상기 상판(82)의 하면에 고정된다.The central fixing part 861 has a central through hole 861h at its central part and is fixed to the lower surface of the upper plate 82.

상기 중간베어링(862)은 상기 중앙고정부(861)의 중앙관통공(861h)에 끼워진다.The intermediate bearing 862 is fitted into the central through hole 861h of the central fixing part 861.

상기 회전막대뭉치(870)는 중앙막대(868)와, 제1나사막대(864)와, 제2나사막대(865)와, 회전손잡이(866)를 포함하고 있다.The rotating rod bundle 870 includes a central rod 868, a first screw rod 864, a second screw rod 865, and a rotation knob 866.

상기 중앙막대(868)는 상기 중앙베어링(74)에 끼워지며 나사산이 형성되어 있지 않다.The center bar 868 is fitted to the center bearing 74 and is not threaded.

상기 제1나사막대(864)는 상기 중앙막대(868)로부터 연장되며 그 끝단은 상기 측판관통공(824h)에 삽입되어 상기 제1측판(824)에 상대회전가능하게 결합되며, 본 실시예에서는 오른나사산이 형성되어 있다.The first screw rod 864 extends from the center rod 868 and its end is inserted into the side plate through-hole 824h and coupled to the first side plate 824 so as to be relatively rotatable. The right-hand thread is formed.

상기 제2나사막대(865)는 상기 중앙막대(868)로부터 상기 제1나사막대(864)가 위치된 반대방향으로 연장되며 그 끝단은 상기 측판관통공(825h)에 삽입되어 상 기 제2측판(825)에 상대회전 가능하게 결합되며, 상기 제1나사막대(864)에 형성되어 있는 나사산과 반대방향의 나사산인 왼나사산이 형성되어 있다.The second threaded rod 865 extends from the center rod 868 in the opposite direction in which the first threaded rod 864 is located, and an end thereof is inserted into the side plate through-hole 825h, thereby forming the second side plate. 825 is rotatably coupled, and a left thread, which is a screw thread in a direction opposite to a screw thread formed on the first screw rod 864, is formed.

상기 회전손잡이(866)는 상기 제2나사막대(865)에 결합되며 상기 제2측판(825)의 측판관통공(825h)을 통과하여 그 제2측판(825)으로부터 돌출되어 있다.The rotation knob 866 is coupled to the second screw rod 865 and passes through the side plate through hole 825h of the second side plate 825 to protrude from the second side plate 825.

또한, 상기 제1삽입돌출부(83)에는 상기 제1나사막대(864)에 형성된 나사산과 나사결합되는 나사관통공(833)이 형성되며, 상기 제2삽입돌출부(84)에는 상기 제2나사막대(865)에 형성된 나사산과 나사결합되는 나사관통공(843)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 회전손잡이(866)를 일방향으로 회전시키면 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 서로 접근하고, 상기 회전손잡이(866)를 반대방향으로 회전시키면 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 서로 멀어지게 된다.In addition, the first insertion protrusion (83) is formed with a screw through hole (833) is screwed with the screw thread formed in the first screw rod 864, the second insertion protrusion (84) is the second screw rod A screw through hole 843 is formed to be screwed with the thread formed at 865. Accordingly, when the rotation knob 866 is rotated in one direction, the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 approach each other, and when the rotation knob 866 is rotated in the opposite direction, the first insertion is performed. The protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 are separated from each other.

또한, 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)의 이동을 가이드하기 위하여, 상기 제1측판(824)과 제2측판(825)과 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)와 중앙고정부(861)에는 각각 관통공들이 형성되고, 상기 각각의 관통공들을 관통하여 결합된 가이드봉(835)이 더 구비되어 있다.In addition, in order to guide the movement of the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84, the first side plate 824 and the second side plate 825, the first insertion protrusion 83 and the second Insertion protrusions 84 and the central fixing portion 861, respectively, through holes are formed, the guide rods 835 coupled through the respective through holes are further provided.

한편, 본 실시예에서는 상기 회전손잡이(866)의 원치 않는 회전을 방지하기 위하여, 측판돌출부(868)와 접촉부(869)와 회전제한봉(867)이 더 구비되어 있다.On the other hand, in the present embodiment, in order to prevent unwanted rotation of the rotary knob 866, the side plate protrusion 868, the contact portion 869 and the rotation limiting rod 867 is further provided.

상기 측판돌출부(868)는 상기 제2측판(825)으로부터 돌출되게 그 제2측판(825)에 고정되며 측판돌출부관통공(868h)을 가진다. The side plate protrusion 868 is fixed to the second side plate 825 to protrude from the second side plate 825 and has a side plate protrusion through hole 868h.             

상기 접촉부(869)는 상기 측판돌출부(868)의 하방에 위치되며 상기 회전손잡이(866)의 축의 상면에 위치되며, 나사결합 가능한 접촉부나사홈(869h)을 가진다.The contact portion 869 is located below the side plate protrusion 868 and is positioned on an upper surface of the shaft of the rotary knob 866 and has a screw threadable contact portion 869h.

상기 회전제한봉(867)은 상기 측판돌출부(868)의 측판돌출부관통공(868h)을 관통하여 상기 접촉부(869)의 접촉부나사홈(869h)에 나사 결합된다.The rotation limiting rod 867 penetrates through the side plate protrusion through hole 868h of the side plate protrusion 868 and is screwed into the contact portion screw groove 869h of the contact portion 869.

따라서, 상기 회전제한봉(867)을 회전시켜 상기 접촉부(869)가 상기 회전손잡이(866)의 축에 접촉되면서 상기 회전손잡이(866)의 회전이 제한되는 것이다.Therefore, the rotation limiting rod (867) by rotating the contact portion 869 is in contact with the axis of the rotation knob 866, the rotation of the rotation knob 866 is limited.

또한, 본 실시예에서는, 전원케이스(840)와, 밧데리(미도시)와, 스위치(841)와, 램프부(830)가 더 구비되어 있다.In this embodiment, the power supply case 840, a battery (not shown), a switch 841, and a lamp unit 830 are further provided.

상기 전원케이스(840)는 상기 제1측판(824)에 결합되며, 내부공간을 가진다.The power case 840 is coupled to the first side plate 824 and has an inner space.

상기 밧데리(미도시)는 상기 전원케이스(840)의 내부공간에 수용된다.The battery (not shown) is accommodated in the inner space of the power case 840.

상기 스위치(841)는 상기 밧데리의 전원을 차단하는 것이다.The switch 841 cuts off the power of the battery.

상기 램프부(830)는 상기 밧데리에 연결되며, 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)의 각 제거홈삽입돌기(85) 상방에 위치된다.The lamp unit 830 is connected to the battery, and is positioned above the respective removal groove insertion protrusions 85 of the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84.

따라서, 상기 램프부(830)가 발광함으로써 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)의 각 제거홈삽입돌기(85)가 상기 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 삽입시키는 것을 용이하게 하는 것이다.Accordingly, when the lamp unit 830 emits light, each of the removal groove insertion protrusions 85 of the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 is disposed in the removal groove 3 of the pellical 2. To facilitate insertion.

한편, 본 실시예에서는 상기 한 쌍의 상판(82) 사이의 거리를 이격 및 접근시키는 이격접근조절부(870)가 더 구비되어 있다. 상기 이격접근조절부(870)는 결합부(872)와, 이격레버(87)와, 하방돌출부(874)와 아암부(88)를 포함한다.On the other hand, in the present embodiment is further provided with a space access control unit 870 to space and approach the distance between the pair of top plate 82. The spaced access control unit 870 includes a coupling portion 872, the separation lever 87, the downward protrusion 874 and the arm portion 88.

상기 결합부(872)는 상기 중앙이동판부재(70)의 하면 중앙부위에 고정되며, 결합부관통공(872h)을 가진다.The coupling portion 872 is fixed to the central portion of the lower surface of the central moving plate member 70, and has a coupling portion through hole (872h).

상기 이격레버(87)는 상기 결합부(872)의 결합부관통공(872h)을 관통하여 그 결합부(872)로부터 돌출된다.The spaced lever 87 passes through the coupling part through hole 872h of the coupling part 872 and protrudes from the coupling part 872.

상기 하방돌출부(874)는 상기 이격레버(87)의 끝단에 고정되며, 상기 이격레버(87)의 회동위치에 따라 수평 및 수직방향으로 회동가능하다.The downward projection 874 is fixed to the end of the separation lever 87, it is possible to rotate in the horizontal and vertical direction according to the rotation position of the separation lever 87.

상기 아암부(88)는 그 일단은 상기 상판(82)에 결합되며 그 타단은 상기 하방돌출부(874)에 결합된다.One end of the arm portion 88 is coupled to the upper plate 82 and the other end thereof is coupled to the downward protrusion 874.

한편, 본 실시예에서는 상기 한 쌍의 상판(82)이 항상 상호 접근하는 방향으로 힘을 받도록 하기 위하여, 스프링돌기(892)와, 상판스프링(89)이 더 구비되어 있다.On the other hand, in the present embodiment, the spring projection 892 and the upper plate spring 89 are further provided so that the pair of the upper plate 82 receives the force in the direction of mutual access at all times.

상기 스프링돌기(892)는 상기 중앙이동판부재(70)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있다.The spring protrusion 892 protrudes downward from the lower surface of the central moving plate member 70.

상기 상판스프링(89)은 그 일단은 상기 상판(82)에 고정되며 그 타단은 상기 스프링돌기(892)에 결합된다.One end of the upper plate spring 89 is fixed to the upper plate 82, and the other end thereof is coupled to the spring protrusion 892.

한편, 본 실시예에 따른 펠리컬 제거장치(100)에는 상기 제거홈삽입부재(80)의 상하방향으로의 이동을 미세하게 조정하기 위한 상하미세조절부(90)를 더 구비하고 있다. 상기 상하미세조절부(90)는 밀폐부(91)와, 조절상판(92)과, 상방결합부(93)와, 세로막대부(94)와, 조절막대(95)와, 제1회전판(71)과, 제2전진판(73)과, 베어링(74)과, 전진판가이드레일(76)을 포함하고 있다.On the other hand, the helical removal device 100 according to the present embodiment further includes a vertical fine adjustment unit 90 for finely adjusting the movement of the removal groove insert member 80 in the vertical direction. The upper and lower fine adjustment unit 90 is a closed portion 91, the adjustment upper plate 92, the upper coupling portion 93, the vertical rod portion 94, the adjustment rod 95, the first rotating plate ( 71, a second forward plate 73, a bearing 74, and a forward plate guide rail 76 are included.

상기 밀폐부(91)는 상기 고정판부재(50)의 상면에 고정되며, 그 중앙부위에 는 밀폐부관통공(912)이 형성되어 있다.The sealing portion 91 is fixed to the upper surface of the fixing plate member 50, the sealing portion through-hole 912 is formed in the central portion thereof.

상기 조절상판(92)은 상기 고정판부재(50)와 평행하게 이격되게 위치되며, 그 중앙부위에는 조절상판관통공(922)을 가진다. 또한 상기 조절상판(92)은 상기 고정판부재(50)에 대해서 접근 및 이격이 가능하게 그 고정판부재(50)와 연결되어 있는 것이다.The control upper plate 92 is spaced apart in parallel with the fixed plate member 50, and has a control upper plate through-hole 922 at the central portion thereof. In addition, the control upper plate 92 is connected to the fixed plate member 50 to be accessible and spaced apart with respect to the fixed plate member 50.

상기 상방결합부(93)는 상기 조절상판(92)의 상면에 결합되며, 나사탭이 형성되어 있는 상방결합부관통공(932)이 형성되어 있다. 또한, 상기 상방결합부(93)에는 상기 조절상판(92)의 상하방향으로의 이동량을 측정하여 이를 표시하는 표시부(96)가 더 구비되어 있다.The upper coupling portion 93 is coupled to the upper surface of the control top plate 92, the upper coupling portion through hole 932 is formed with a screw tab is formed. In addition, the upper coupling portion 93 is further provided with a display unit 96 for measuring and displaying the amount of movement in the vertical direction of the control top plate 92.

상기 세로막대부(94)는, 본 실시예에서는 도 14에 도시된 바와 같이, 그 일단은 상기 조절상판(92)의 각 모서리에 고정되며, 그 타단은 상기 고정판관통공(51)을 관통하여 후술하는 제1회전판(71)에 고정된다. 또한, 상기 세로막대부(94)에는 상기 조절상판(92)의 하방으로의 이동을 제한하기 위하여, 상기 세로막대부(94)에 끼워지며, 그 상면은 상기 조절상판(92)의 하면과 접촉된 스토퍼(97)를 더 구비하고 있다.The vertical rod portion 94, as shown in Figure 14 in the present embodiment, one end is fixed to each corner of the control upper plate 92, the other end is penetrated through the fixing plate through hole 51 It is fixed to the 1st rotating plate 71 mentioned later. In addition, the vertical rod portion 94 is fitted to the vertical rod portion 94 in order to limit the downward movement of the control upper plate 92, the upper surface is in contact with the lower surface of the control upper plate 92. The stopper 97 is further provided.

상기 조절막대(95)는 상기 상방결합부의 상방결합부관통공(932)과 나사결합되며, 그 끝단은 상기 조절상판(92)의 관통공(922)을 관통하여 하방으로 돌출된다.The control rod 95 is screwed with the upper coupling portion through-hole 932 of the upper coupling portion, the end of which protrudes downward through the through-hole 922 of the control upper plate 92.

상기 제1회전판(71)은 상기 당김손잡이부재(60)의 체인(66)과 연결되어 상기 당김레버(62)를 상방으로 당김에 따라 상방으로 이동하며, 또한 상기 세로막대부(94)와 결합된다. The first rotating plate 71 is connected to the chain 66 of the pull handle member 60 and moves upward by pulling the pull lever 62 upwards, and also coupled to the vertical rod part 94. do.             

상기 제2전진판(73)은 상기 제1회전판(71)과 연결축(72)에 의하여 축연결되며, 상기 제1회전판(71)과 중앙이동판부재(70) 사이에 위치되며, 전진판가이드(75)를 가진다. 상기 전진판가이드(75)는 상기 제2전진판(73)의 하면에 고정되며 그 하면을 따라 전후방향, 즉 상기 손잡이부(61)와 직각인 방향으로 설치되어 있다.The second forward plate 73 is axially connected by the first rotating plate 71 and the connecting shaft 72, and is located between the first rotating plate 71 and the central moving plate member 70, the forward plate It has a guide 75. The advancing plate guide 75 is fixed to the lower surface of the second advancing plate 73 and is installed along the lower surface in the front-rear direction, that is, the direction perpendicular to the handle 61.

상기 베어링(74)은 상기 연결축(72)에 끼워진다.The bearing 74 is fitted to the connecting shaft 72.

상기 전진판가이드레일(76)은 상기 제2전진판(73)의 가이드와 결합하며, 상기 중앙이동판부재(70)의 상면에 고정되어 있다.The advancing plate guide rail 76 is coupled to the guide of the second advancing plate 73 and is fixed to an upper surface of the central moving plate member 70.

따라서, 상기 제2전진판(73)의 전진판가이드(75)와 중앙이동판부재(70)의 전진판가이드레일(76)에 의해 상기 중앙이동판부재(70)와 제2전진판(73)의 전진방향으로의 상대이동이 허용되며, 상기 베어링(74)에 의해 상기 제2전진판(73)과 제1회전판(71) 사이의 수평방향으로 평행한 상대회전이 허용된다.Therefore, the center plate member 70 and the second plate 101 by the forward plate guide 75 of the second forward plate 73 and the forward plate guide rail 76 of the center plate 70. ) Relative movement in the forward direction is allowed, and relative rotation parallel to the horizontal direction between the second forward plate 73 and the first rotating plate 71 is allowed by the bearing 74.

또한, 본 실시예에서는 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제1회전판(71)과 제2전진판(73)의 상대회전량을 제한하기 위하여, 원호홈(712)과 제2전진판돌기(732)가 더 구비되어 있다. 상기 원호홈(712)은 상기 제1회전판(71)의 하면 양단에 형성된 것이다. 상기 제2전진판돌기(732)는 그 일단은 상기 제1회전판(71)의 원호홈(712)에 삽입되며, 그 타단은 상기 제2전진판에 고정된 것으로서, 상기 제2전진판돌기(732)가 원호홈(712)의 일단과 타단을 이동하는 원호거리만큼 상기 제1회전판(71)과 제2전진판 사이의 상대회전량이 제한되는 것이다.In addition, in the present embodiment, as shown in Figure 16, in order to limit the relative rotation amount of the first rotary plate 71 and the second forward plate 73, the arc groove 712 and the second forward plate projection ( 732 is further provided. The arc groove 712 is formed at both ends of the lower surface of the first rotating plate 71. One end of the second forward plate protrusion 732 is inserted into the arc groove 712 of the first rotating plate 71, and the other end thereof is fixed to the second forward plate, and the second forward plate protrusion ( The relative rotation amount between the first rotating plate 71 and the second forward plate is limited by the arc distance 732 moves one end and the other end of the arc groove 712.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 실시예에 따른 펠리컬제거장치(100)는 다음과 같이 사용된다. Pelican removal apparatus 100 according to an embodiment of the present invention having the configuration as described above is used as follows.             

먼저, 상기 수직이동레버(45)는 제일 하방으로 이동시켜 상기 굴곡레버(452)의 끝단이 상기 걸림돌기(414)에 걸리어 상방으로의 이동이 제한되도록 한다. 이 때 상기 고정판부재(50)는 그 상하 이동하는 범위 내에서는 제일 상방에 위치하게 된다. 또한 상기 제거홈삽입부재(80)의 이격레버(87)를 회동시켜 상기 한 쌍의 상판(82)이 서로 가장 이격된 위치에 있도록 조정한다.First, the vertical moving lever 45 is moved to the lowermost position so that the end of the bending lever 452 is caught by the locking protrusion 414 to restrict the upward movement. At this time, the fixing plate member 50 is located at the uppermost within the vertical movement range. In addition, by rotating the separation lever 87 of the removal groove insertion member 80 is adjusted so that the pair of the upper plate 82 is the most spaced from each other.

그리고, 상기 조절막대(95)의 상부 끝단을 회전시켜 상기 조절막대(95)의 하부 끝단을 하방으로 이동시킨다. 계속하여 상기 조절막대(95)의 끝단을 하방으로 이동시켜 그 조절막대(95)의 끝단이 상기 밀폐부(91)의 관통공(912)을 관통하여 상기 고정판부재(50)의 상면에 접촉되기 시작하는 점에서 조절막대(95)의 이동을 멈춘다. 이 상태에서 상기 표시부(96)의 영점(zero point)을 세팅하여 표시부의 눈금이 영(zero)이 되도록 한다. 한편, 상기 조절상판(92)과 상기 고정판부재(50)와의 이격거리는 상기 조절상판(92)의 하면에 끼워진 스토퍼(97)의 높이에 의해 조정된다. 상기 조절상판(92)과 상기 고정판부재(50)와의 사이 간격이 좁을수록 상기 제거홈삽입돌기(85)가 더욱 하방에 위치하게 된다. 따라서, 상기 수직이동레버(45)를 제일 상방으로 이동시켜 상기 제거홈삽입돌기(85)가 제일 하방으로 위치될 때, 그 제거홈삽입돌기(85)가 마스크(1)의 상면에 접촉되지 않고 극히 조금 이격되도록 상기 스토퍼(97)의 높이를 조절하는 것이다.Then, the upper end of the control rod 95 is rotated to move the lower end of the control rod 95 downward. Subsequently, the end of the adjusting rod 95 is moved downward so that the end of the adjusting rod 95 penetrates the through hole 912 of the sealing part 91 to be in contact with the upper surface of the fixing plate member 50. At the starting point, the adjustment bar 95 stops moving. In this state, a zero point of the display unit 96 is set so that the scale of the display unit becomes zero. On the other hand, the distance between the control upper plate 92 and the fixed plate member 50 is adjusted by the height of the stopper 97 fitted to the lower surface of the control upper plate 92. The narrower the gap between the adjusting top plate 92 and the fixed plate member 50, the removal groove insertion protrusion 85 is located further down. Therefore, when the removal groove inserting projection 85 is located at the lowermost position by moving the vertical movement lever 45 upward, the removal groove insertion projection 85 is not in contact with the upper surface of the mask 1. The height of the stopper 97 is adjusted to be spaced slightly apart.

상기와 같은 상태에서, 도 17에 도시된 바와 같이, 제거하고자 하는 펠리컬(2)이 접착된 마스크(1)를 상기 마스크안착부재(20)에 안착시킨다. 이 때 마스크(1)의 네 모서리가 상기 정사각형 형상의 제1프레임(212) 상면에 고정된 상기 마스크거치대(22)의 거치홈(221)에 놓여진 상태로 안착되는 것이다. 이어서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(21)의 양 측면에 결합된 한 쌍의 측방연결부(23)를 상기 프레임(21)이 위치된 방향으로 모은다. 이에 따라 상기 측방연결부(23)의 상면에 결합된 상기 유동방지판(24)이 상기 마스크거치대(22)의 상면에 놓이게 되며, 상기 마스크(1)의 네 모서리 상면에 접촉되면서 상기 마스크(1)가 상방으로 유동되는 것을 방지한다.In the above state, as shown in FIG. 17, the mask 1 to which the pellical 2 to be removed is adhered is seated on the mask seating member 20. At this time, the four edges of the mask 1 is fixed to the upper surface of the first frame 212 of the square shape of the mask holder 22 It is seated in a state placed in the mounting groove (221). Subsequently, as shown in FIG. 18, the pair of lateral connections 23 coupled to both sides of the frame 21 are collected in the direction in which the frame 21 is located. Accordingly, the flow preventing plate 24 coupled to the upper surface of the side connecting portion 23 is placed on the upper surface of the mask holder 22, while the mask (1) is in contact with the upper surface of the four corners of the mask (1) Is prevented from flowing upwards.

상기와 같은 상태에서, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 마스크안착부재(20)를 상기 마스크고정부재(30)가 위치된 방향(도 6의 화살표 D 방향, 도 19의 화살표 H 방향)으로 밀어 넣는다. 이에 따라, 상기 한 쌍의 측방연결부(23) 각각의 끝단이 상기 안착부재수용홈(32)에 삽입된 상태에서 삽입되는 것이다. 계속하여, 도 20에 도시된 바와 같이, 걸림부(25)의 잠금돌기(252)가 상기 마스크고정부재(30)의 걸림부돌기수용홈(34)에 수용될 때까지 상기 마스크안착부재(20)를 마스크고정부재(30)에 밀어 넣는다. 이 때 상기 멈춤부(35)의 멈춤부돌기(38)가 상기 프레임(21)에 접촉되며, 상기 멈춤부돌기(38)는 멈춤부홈(36)에 완전히 삽입된 상태이다. 한편, 상기 마스크안착부재(20)와 마스크고정부재(30)와의 결합을 해제하려면 상기 걸림부(25)의 해제돌기(254)을 하방으로 눌러서 상기 잠금돌기(252)가 걸림부돌기수용홈(34)에서 빠져 나오도록 한 다음 앞으로 잡아당기면, 상기 멈춤부스프링(37)의 복원력의 도움을 받으면서 상기 마스크안착부재(20)와 마스크고정부재(30)와의 결합을 해제할 수 있는 것이다.In the above state, as shown in FIG. 19, the mask seating member 20 is pushed in the direction in which the mask fixing member 30 is positioned (arrow D direction in FIG. 6 and arrow H direction in FIG. 19). Put it in. Accordingly, the ends of each of the pair of side connection portions 23 are inserted in the seating member receiving groove 32. Subsequently, as shown in FIG. 20, the mask seating member 20 until the locking protrusion 252 of the locking portion 25 is accommodated in the locking protrusion accommodation groove 34 of the mask fixing member 30. ) Into the mask fixing member (30). At this time, the stop projection 38 of the stop portion 35 is in contact with the frame 21, the stop projection 38 is completely inserted into the stop groove 36. On the other hand, to release the coupling between the mask seating member 20 and the mask fixing member 30 by pressing the release projection 254 of the locking portion 25 downwards the locking projection 252 is a locking projection receiving groove ( 34) and then pull forward, it is possible to release the coupling between the mask seating member 20 and the mask fixing member 30 with the help of the restoring force of the stop spring (37).

이어서, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 수직이동레버(45)의 굴곡레버(452)를 도 9의 화살표 E 방향으로 회동시킨다. 이에 따라 상기 굴곡레버(452)의 끝단이 회동되며, 굴곡레버(452)의 수직부(454) 끝단의 수직상방으로의 진행경로 상에 상기 걸림돌기(414)가 위치하지 않게 되어, 상기 수직이동레버(45)를 수직 상방으로 이동할 수 있게 된다. 상기와 같은 상태에서, 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 수직이동레버(45)를 상방으로 이동시키면 상기 수직기둥판(41)의 수직가이드레일(42)에 결합된 상태로 상기 수직이동판(43)이 하방으로 이동하게 되고, 이에 따라 상기 수직이동판(43)에 고정된 상기 고정판부재(50)가 하방으로 이동하게 된다. 따라서, 상기 고정판부재(50)에 연결된 상기 제1회전판(71)과 제2전진판(73)과 중앙이동판부재(70) 및 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 함께 하방으로 이동하게 된다. 이 때, 만약 상기 수직이동레버(45)를 상방으로 이동시키다가 중간에서 멈추더라도 상기 무게추(444)의 영향으로 상기 수직이동레버(45)가 하방으로 급격히 떨어지는 것이 방지되고, 그 상태에서 멈추게 된다. 한편, 계속하여 상기 수직이동레버(45)를 상방으로 완전히 이동시키면 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 제일 하방의 위치에 있게 된다. 이 때, 도 23에 도시된 바와 같이, 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)에 결합된 상기 제거홈삽입돌기(85)가 상기 마스크(1)의 상면과 극히 조금 이격된 위치에 있게 되는 것이다. 한편, 상기 고정판부재(50)의 제일 하방으로의 이동은, 도 24 내지 도 26에 도시된 바와 같이, 상기 돌기부(49)의 실린더(494)에 끼워진 상기 돌출핀(496)이 상기 멈춤부재(416)에 접촉되면서 그 충격이 상기 실린더(494) 내부공간에 채워진 고압가스에 의해 완화된다. Subsequently, as shown in FIG. 9, the bending lever 452 of the vertical moving lever 45 is rotated in the direction of arrow E of FIG. 9. Accordingly, the end of the bent lever 452 is rotated, and the locking projection 414 is not positioned on the traveling path vertically upward of the end of the vertical part 454 of the bent lever 452, thereby making the vertical movement. The lever 45 can be moved vertically upwards. In the above state, as shown in FIG. 22, when the vertical movement lever 45 is moved upward, the vertical movement plate (B) is coupled to the vertical guide rail 42 of the vertical column plate 41. 43 is moved downward, and thus the fixed plate member 50 fixed to the vertical movable plate 43 is moved downward. Accordingly, the first rotating plate 71, the second forward plate 73, the central movable plate member 70, the first insertion protrusion 83, and the second insertion protrusion 84 connected to the fixed plate member 50 are provided. Will move downward together. At this time, if the vertical movement lever 45 is moved upwards and stops in the middle, the vertical movement lever 45 is prevented from falling sharply downward under the influence of the weight 444, and stops in that state. do. On the other hand, if the vertical movement lever 45 is completely moved upward, the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 are in the lowermost position. In this case, as shown in FIG. 23, the removal groove insertion protrusion 85 coupled to the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 is spaced slightly apart from the upper surface of the mask 1. It will be in the right place. On the other hand, the downward movement of the fixing plate member 50, as shown in Figures 24 to 26, the protruding pins 496 fitted to the cylinder 494 of the protrusion 49 is the stop member ( The impact is mitigated by the high pressure gas filled in the inner space of the cylinder 494 as it contacts 416.             

상기와 같은 상태에서, 도 27에 도시된 바와 같이, 상기 이격레버(87)를 하방(도 27의 화살표 K 방향)으로 회동시킨다. 이에 따라, 도 28에 도시된 바와 같이, 하방돌출부(874)가 하방으로 회동하고, 상기 하방돌출부(874)와 결합된 아암부(88)가 상기 제거홈삽입부재(80)의 한 쌍의 상판(82)을 서로 접근하는 방향으로 이동시키게 된다. 이 때 상기 상판스프링(89)은 상기 한 쌍의 상판(82)이 서로 가장 접근하는 방향으로 복원력을 제공하게 된다. 상기 상판(82)이 서로 접근하는 방향으로 이동됨에 따라 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)에 각각 결합된 상기 제거홈삽입돌기(85)가 접근된 상태에 있게 된다.In the above state, as shown in FIG. 27, the separation lever 87 is rotated downward (in the direction of arrow K in FIG. 27). Accordingly, as shown in FIG. 28, the lower protrusion 874 rotates downward, and the arm portion 88 coupled with the downward protrusion 874 has a pair of upper plates of the removal groove inserting member 80. The 82 is moved in a direction approaching each other. At this time, the top plate 89 provides a restoring force in a direction in which the pair of top plates 82 are closest to each other. As the upper plate 82 is moved in a direction approaching each other, the removal groove insertion protrusion 85 coupled to the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84, respectively, is in a state of being approached.

이어서, 상기 스위치(841)를 켜서 상기 램프부(830)가 발광되도록 하여 상기 제거홈삽입돌기(85)의 끝단을 비춰주도록 한다. 그리고 상기 회전제한봉(867)을 회전시켜 상기 접촉부(869)가 상기 회전손잡이(866)의 축에 접촉되지 않도록 한다. 이 상태에서 상기 회전손잡이(866)를 회동시킨다. 이에 따라 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 서로 점점 이격되는 방향으로 움직이든지, 혹은 서로 점점 접근되는 방향으로 움직이게 된다. 예를 들어, 도 29에 도시된 바와 같이, 화살표 L 방향으로 상기 회전손잡이(866)를 회전시키면 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)는 서로 멀어지는 방향(도 29의 화살표 M 방향)으로 이동된다. 반대로 도 30에 도시된 바와 같이, 화살표 N 방향으로 상기 회전손잡이(866)를 회전시키면 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)는 서로 가까워지는 방향(도 30의 화살표 O 방향)으로 이동되는 것이다. 이렇게 상기 회전손잡이(866)를 회전시켜 상기 각 제거홈삽입돌기(85)가 상기 펠리컬(2)의 제거홈(3)의 폭 간격에 맞도록 조절한다. 이렇게 제거홈삽입돌기(85)를 상기 제거홈(3)의 폭에 맞도록 폭방향으로의 조절이 끝나면 상기 회전제한봉(867)을 회전시켜 상기 접촉부(869)가 상기 회전손잡이(866)의 축과 밀착되도록 한다. 이렇게 하면 상기 회전손잡이(866)의 원치 않는 회전을 방지할 수가 있는 것이다.Subsequently, the switch 841 is turned on so that the lamp unit 830 emits light to illuminate the end of the removal groove insertion protrusion 85. The rotation limiting rod 867 is rotated so that the contact portion 869 does not come into contact with the shaft of the rotation knob 866. In this state, the rotary knob 866 is rotated. Accordingly, the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 move in a direction gradually spaced apart from each other, or move in a direction gradually approaching each other. For example, as shown in FIG. 29, when the rotation knob 866 is rotated in the direction of the arrow L, the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 move away from each other (arrow of FIG. 29). M direction). On the contrary, as shown in FIG. 30, when the rotation knob 866 is rotated in the direction of arrow N, the first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 are close to each other (arrow O direction in FIG. 30). Will be moved to). In this way, the rotation knob 866 is rotated to adjust the removal groove insertion protrusions 85 to fit the width interval of the removal groove 3 of the pellical 2. When the removal groove insertion protrusion 85 is adjusted in the width direction to fit the width of the removal groove 3, the rotation limiting rod 867 is rotated so that the contact portion 869 of the rotation handle 866 is rotated. Make sure that it is in close contact with the shaft. This prevents unwanted rotation of the rotary knob 866.

이어서, 상기 상하미세조절부(90)의 조절막대(95)를 회전(도 31의 화살표 P 방향)시킨다. 이에 따라 상기 조절막대(95)의 끝단이 상기 고정판부재(50)를 하방(도 31의 화살표 Q 방향)으로 밀게 된다. 그런데 상기 고정판부재(50)는 상기 수직이동레버(45)가 제일 상방에 위치됨에 따라 그 하방으로의 이동이 방지되어 고정되어 있는 상태이므로, 상기 조절막대(95)의 끝단이 고정판부재(50)를 밀더라도 상기 고정판부재(50)는 움직이지 않으며, 그 반작용으로 상기 조절상판(92)이 상방으로 이동하게 된다. 이에 따라, 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 조절상판(92)과 연결된 제1회전판(71)과 제2전진판(73)과 중앙이동판부재(70)와 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 각각 상방으로 미세하게 이동하게 된다. 이렇게 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)를 상방으로 미세하게 이동시켜, 도 32에 도시된 바와 같이, 상기 제거홈삽입돌기(85)가 각각 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 삽입되도록 한다. 이렇게 제거홈삽입돌기(85)가 상기 제거홈(3)에 삽입되는 것은 상기 상판스프링(89)의 작용에 의해 더욱 용이하게 이루어질 수 있는 것이다. 이 때 상기 제거홈삽입돌기(85)의 상방으로의 이동량이 상기 표시부(96)에 표시되므로, 동일한 종류의 다른 마스크(1) 상면에 접착된 펠리컬(2)을 제거하고자 할 때에는 상기 표시부(96)에 표시된 수치만큼 상기 조절막대(95)를 조절하면 되므로, 상술한 상하미세 조절작업이 용이하게 된다.Subsequently, the adjusting rod 95 of the upper and lower fine adjustment unit 90 is rotated (arrow P direction in FIG. 31). Accordingly, the end of the control rod 95 pushes the fixed plate member 50 downward (arrow Q direction in FIG. 31). By the way, the fixed plate member 50 is in a state where the vertical movement lever 45 is prevented from moving downward as the vertical movement lever 45 is positioned in the uppermost position, so that the end of the adjustment bar 95 is fixed plate member 50. Even if the fixed plate member 50 is not moved, the control plate 92 is moved upward by the reaction. Accordingly, as shown in FIG. 31, the first rotary plate 71, the second forward plate 73, the central movable plate member 70, and the first insertion protrusion 83 connected to the control upper plate 92 and The second insertion protrusions 84 are finely moved upwards, respectively. In this way, the first insertion protrusions 83 and the second insertion protrusions 84 are finely moved upwards, and as shown in FIG. 32, the removal groove insertion protrusions 85 remove the pellicals 2, respectively. It is to be inserted into the groove (3). The insertion of the removal groove insertion protrusion 85 into the removal groove 3 may be made easier by the action of the upper plate spring 89. At this time, since the movement amount upward of the removal groove insertion protrusion 85 is displayed on the display portion 96, when the pellical 2 adhered to the upper surface of another mask 1 of the same type is removed, the display portion ( The adjustment bar 95 may be adjusted by the numerical value indicated at 96, so that the above and below fine adjustment operation is facilitated.

상기와 같은 상태에서, 상기 당김손잡이부재(60)의 손잡이부(61)를 손바닥으로 잡고 상기 당김레버(62)를 상방(도 33의 화살표 R 방향)으로 잡아 당긴다. 이에 따라 상기 당김체인(66)에 의해 상기 제1회전판(71)이 상방으로 이동하고, 그 제1회전판(71)과 연결된 제2전진판(73)과 중앙이동판부재(70)와 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 각각 상방으로 이동된다.In the above state, the handle 61 of the pull handle member 60 is held by the palm of the hand and the pull lever 62 is pulled upwards (in the direction of arrow R in FIG. 33). Accordingly, the first rotating plate 71 is moved upward by the pulling chain 66, and the second moving plate 73, the central moving plate member 70, and the first moving plate 71 connected to the first rotating plate 71 are moved upward. The insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 are respectively moved upward.

상기 펠리컬(2)의 제거홈(3)에 각각 상기 제거홈삽입돌기(85)가 완전히 삽입된 상태에서 상기 제1삽입돌출부(83)와 제2삽입돌출부(84)가 상방으로 이동하여, 도 33에 도시된 바와 같이, 상기 펠리컬(2)이 깨끗하게 상기 마스크(1)의 상면으로부터 분리되는 것이다.The first insertion protrusion 83 and the second insertion protrusion 84 move upward in a state where the removal groove insertion protrusion 85 is completely inserted into the removal groove 3 of the pellical 2, respectively. As shown in FIG. 33, the pellical 2 is cleanly separated from the upper surface of the mask 1.

이어서, 상기 걸림부(25)의 해제돌기(254)를 하방으로 누른 상태에서 상기 마스크안착부재(20)를 잡아당겨 상기 마스크안착부재(20)와 마스크고정부재(30)와의 결합을 해제시킨다. 이 때 상기 멈춤부스프링(37)의 복원력에 의해 그 결합 해제가 용이하게 된다. 이렇게 상기 마스크안착부재(20)를 마스크고정부재(30)로부터 완전히 분리하면, 상기 마스크안착부재(20)의 프레임스프링(27)의 복원력으로 상기 한 쌍의 측방연결부(23)가 상기 프레임(21)으로부터 각각 이격되고, 이에 따라 상기 유동방지판(24)이 마스크(1)의 네 모서리 상면에서 이격된다. 따라서 상기 마스크(1)를 상기 마스크거치대(22)로부터 용이하게 제거할 수가 있는 것이다. 이렇게 펠리컬(2)을 제거한 마스크(1)를 상기 마스크안착부재(20)로부터 제거하고, 다른 제거를 요하는 펠리컬(2)이 접착된 마스크(1)를 상기 마스크거치대(22)에 안치하고 상술한 과정을 반복하여 그 펠리컬(2)을 제거하면 되는 것이다.Subsequently, the mask mounting member 20 is pulled out while the release protrusion 254 of the locking portion 25 is pushed downward to release the coupling between the mask mounting member 20 and the mask fixing member 30. At this time, the restoring force of the stop spring 37 makes it easier to release the coupling. When the mask seating member 20 is completely removed from the mask fixing member 30, the pair of lateral connecting portions 23 are connected to the frame 21 by the restoring force of the frame spring 27 of the mask seating member 20. Spaced apart from each other, so that the flow preventing plate 24 is spaced apart from the upper surface of the four corners of the mask 1. Therefore, the mask 1 can be easily removed from the mask holder 22. Thus, the mask 1 from which the pellical 2 has been removed is removed from the mask mounting member 20, and the mask 1 to which the pellical 2 is bonded is placed on the mask holder 22. And repeat the above process to remove the pellical (2).

[발명의 효과][Effects of the Invention]

이상에서와 같이 본 발명에 따른 펠리컬 제거장치에 의하면, 포토마스크의 상면에 긁힘 등의 흠결을 전혀 남기지 않고 용이하고 신속하게 펠리컬을 제거할 수 있으며, 펠리컬을 제거하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the pellical removal device according to the present invention, pellicles can be easily and quickly removed without leaving any scratches such as scratches on the upper surface of the photomask, and the time required to remove pellicles can be reduced. It has an effect.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것이며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, it is intended to be illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent embodiments are possible from this. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

Claims (26)

베이스판;Base plate; 제거를 하기 위한 제거홈을 가지는 펠리컬(pellicle)이 접착된 포토마스크(photo mask)를 안치하며, 접근하여 상기 포토마스크의 모서리 부위의 상면에 접촉되어 상기 포토마스크의 유동을 방지하고, 이격되어 포토마스크의 유동을 허용하는 유동방지판을 포함하는 마스크안착부재;A pellicle having a removal groove for removal is placed in a bonded photo mask, and is approached to contact an upper surface of a corner portion of the photomask to prevent the flow of the photomask and to be spaced apart. A mask seating member including a flow preventing plate to allow flow of the photomask; 상기 베이스판의 양단에 결합되며, 상기 마스크안착부재를 고정하는 마스크고정부재;A mask fixing member coupled to both ends of the base plate to fix the mask seating member; 상기 베이스판의 후방에 결합되며, 베이스판의 상방으로 돌출된 세로고정부재;A vertical fixing member coupled to the rear of the base plate and protruding upward of the base plate; 상기 세로고정부재에 그 세로고정부재의 상하방향으로 이동가능하게 결합되며, 상기 베이스판과 평행한 고정판부재;A fixing plate member coupled to the vertical fixing member so as to be movable in a vertical direction of the vertical fixing member and parallel to the base plate; 상기 고정판부재의 양단에 결합된 한 쌍의 당김손잡이부재;A pair of pull handle members coupled to both ends of the fixed plate member; 상기 당김손잡이부재와 연결되어 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상방으로 이동하는 중앙이동판부재;A center moving plate member connected to the pull handle member and moving upward as the pull handle member is pulled upward; 상기 중앙이동판부재와 결합되며, 상기 펠리컬의 제거홈에 끼워지는 돌기를 포함하는 제거홈삽입부재;를 구비하여,And a removal groove insertion member coupled to the central moving plate member and including a protrusion fitted into the removal groove of the pellical. 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상기 제거홈삽입부재에 의해 펠리컬이 상방으로 향하는 힘을 받아 상기 펠리컬이 포토마스크로부터 분리되는 것 을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And the pellical is separated from the photomask by pulsing upwards by the removal groove inserting member as the pulling knob member is pulled upward. 제 1 항에 있어서, 상기 마스크안착부재는,The method of claim 1, wherein the mask seating member, 프레임과,Frame, 상기 프레임의 상면에 결합되며, 상기 포토마스크의 모서리 부위가 안착되는 거치홈을 가지는 마스크거치대와,A mask holder coupled to an upper surface of the frame and having a mounting groove in which a corner portion of the photomask is seated; 상기 프레임의 양 측면에 결합되며, 상기 프레임에 접촉하여 상기 마스크거치대의 상면에 위치하게 되는 마스크상면덮개를 포함하는 한 쌍의 측방연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a pair of side connection parts coupled to both sides of the frame and including a mask upper cover which is in contact with the frame and is positioned on an upper surface of the mask holder. 제 2 항에 있어서, 상기 마스크안착부재는,The method of claim 2, wherein the mask seating member, 상기 프레임의 양측면에 형성된 프레임홈과,Frame grooves formed on both sides of the frame, 상기 측방연결부의 상기 프레임홈과 대응되는 위치에 상기 측방연결부를 관통하여 형성된 측방연결부관통공과,A side connection part through hole formed through the side connection part at a position corresponding to the frame groove of the side connection part; 측방결합봉을 구비하여,With side coupling rods, 상기 측방결합봉이 측방연결부관통공을 관통하여 상기 프레임홈에 수용되어 상기 측면부가 프레임의 양 측면에 결합되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The side coupling rod is penetrated through the side connecting portion through the hole is received in the frame groove is characterized in that the side portion is coupled to both sides of the frame. 제 3 항에 있어서, 상기 마스크안착부재에는,The method of claim 3, wherein the mask seating member, 상기 측방연결부와 프레임의 이격을 용이하게 하기 위하여,In order to facilitate the separation of the side connection portion and the frame, 상기 측방결합봉의 외주에 끼워지며, 상기 측방연결부와 프레임 사이에 위치하는 코일스프링인 프레임스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.Is inserted into the outer circumference of the side coupling rod, the helical removal device characterized in that it further comprises a frame spring which is a coil spring located between the side connecting portion and the frame. 제 1 항에 있어서, 상기 마스크고정부재는The method of claim 1, wherein the mask fixing member 상기 베이스판의 전방 양단에 고정되며, 일정한 길이를 가지며, 그 길이방향을 따라 일정한 깊이로 파여진 홈을 가지는 한 쌍의 수직벽부을 포함하여,A pair of vertical wall portions fixed to both front ends of the base plate, having a predetermined length, and having a groove cut into a predetermined depth along a longitudinal direction thereof; 상기 마스크안착부재의 양단이 상기 수직벽부에 형성된 홈에 삽입되어 상기 마스크안착부재가 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.Both ends of the mask seating member is inserted into the groove formed in the vertical wall portion pellical removal device, characterized in that the mask seating member is fixed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 한 쌍의 측방연결부에 각각 그 측방연결부의 측면으로부터 돌출되지 않게 결합되며, 돌기를 가지는 걸림부와,A latching portion having a protrusion, coupled to the pair of side connecting portions so as not to protrude from a side of the side connecting portion, respectively; 수직벽부의 전방위치에는 상방을 향하여 파여진 홈인 걸림부돌기수용홈이 형성되어,In the front position of the vertical wall portion is formed a engaging projection receiving groove which is a groove that is dug upwards, 상기 걸림부의 돌기가 상기 걸림부돌기수용홈에 삽입됨으로써, 상기 마스크안착부재가 상기 수직벽부의 홈에 과도하게 삽입되는 것을 방지하고 마스크안착부재의 안착위치를 정하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The projection of the engaging portion is inserted into the engaging projection receiving groove, to prevent the mask seating member from being excessively inserted into the groove of the vertical wall portion, the helical removal device characterized in that the positioning position of the mask seating member. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 마스크안착부재와 마스크고정부재의 결합 해제를 용이하게 하기 위하여,In order to facilitate disengagement of the mask seating member and the mask fixing member, 상기 걸림부를 상방으로 탄성바이어스시키는 걸림부스프링과,A catch spring for elastically biasing the catch upwards; 상기 마스크고정부재의 후방 끝단 위치에 상기 베이스판에 고정되며, 홈을 가지는 멈춤부와,A stop part fixed to the base plate at a rear end position of the mask fixing member and having a groove; 상기 멈춤부의 홈에 삽입되는 멈춤부스프링과,A stopper spring inserted into the groove of the stopper; 상기 멈춤부의 홈에 삽입되며, 그 일단은 상기 멈춤부스프링과 접촉되며, 그 타단은 상기 멈춤부로부터 돌출된 멈춤부돌기를 구비하여,Is inserted into the groove of the stop, one end of the contact with the stop spring, the other end has a stop projection protruding from the stop, 상기 마스크안착부재와 마스크고정부재의 결합이 해제될 때, 상기 멈춤부돌기가 상기 마스크안착부재의 끝단을 밀어주는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And the stopper protrusion pushes an end of the mask seating member when the mask seating member and the mask fixing member are released from each other. 제 1 항에 있어서, 상기 세로고정부재는,The method of claim 1, wherein the vertical fixing member, 상기 베이스판에서 수직방향으로 결합된 수직기둥판과,Vertical column plate coupled in the vertical direction from the base plate, 상기 수직기둥판의 일면에 결합되며 가이드홈을 가지는 수직가이드레일과,A vertical guide rail coupled to one surface of the vertical column plate and having a guide groove; 상기 수직가이드레일의 가이드홈과 결합되며, 그 수직가이드레일을 따라 상하로 슬라이딩되는 수직이동판과,A vertical movable plate coupled to the guide groove of the vertical guide rail and sliding up and down along the vertical guide rail; 상기 수직기둥판의 수직가이드레일이 결합된 면과 반대면에 위치되며, 상기 수직이동판과 연결되어 그 수직이동판을 상하방향으로 이동시키는 연결판과,A connecting plate which is positioned on a surface opposite to the surface where the vertical guide rail of the vertical pillar plate is coupled, and connected to the vertical movable plate to move the vertical movable plate in a vertical direction; 상기 연결판과 연결되어 그 연결판을 상하방향으로 이동시키는 수직이동레버 와,A vertical moving lever connected to the connecting plate to move the connecting plate in a vertical direction; 상기 수직이동판과 연결판을 결합시키는 체인을 구비하며,It is provided with a chain for coupling the vertical plate and the connecting plate, 상기 고정판부재는 상기 수직이동판의 전면에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The fixing plate member is fixed to the front surface of the vertical movable plate, characterized in that the removal device. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 수직이동레버가 임의의 위치에 있을 때, 그 수직이동레버가 상하방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해,When the vertical shift lever is in an arbitrary position, in order to prevent the vertical shift lever from flowing upward and downward, 상기 연결판과 하방으로 이격된 위치에 하방연결판이 구비되며,A downward connection plate is provided at a position spaced downwardly from the connection plate, 상기 연결판과 하방연결판 사이에는 일정한 무게를 갖는 무게추가 끼워져서,A weight having a constant weight is inserted between the connecting plate and the lower connecting plate, 상기 수직이동판에 연결된 무게와 상기 연결판에 연결된 무게가 균형을 이루어 상기 수직이동레버가 임의로 상하방향으로 유동되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a weight connected to the vertical moving plate and a weight connected to the connecting plate to prevent the vertical moving lever from flowing arbitrarily up and down. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 수직이동판의 하방으로의 이동을 제한하기 위하여,In order to limit the movement of the vertical movement plate downward, 상기 수직이동판의 측면에 고정되며, 그 수직이동판의 측면으로부터 돌출된 돌기부와,A protrusion fixed to the side of the vertical movable plate and protruding from the side of the vertical movable plate; 상기 수직기둥판의 상기 가이드레일이 결합된 면에 고정되며, 상기 가이드레일의 하방으로의 끝단과 이격된 위치에 결합되어, 상기 돌기부의 하방으로의 진행 을 막는 멈춤부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The guide rail of the vertical column plate is fixed to the coupled surface, is coupled to a position spaced apart from the end of the guide rail downward, characterized in that the stop member for preventing the progress of the downward projection further characterized in that it is provided Pellical removal device. 제 10 항에 있어서, 상기 돌기부는,The method of claim 10, wherein the protrusions, 상기 수직이동판의 측면에 고정되며, 관통공을 가지는 돌기결합판과,A protrusion coupling plate fixed to a side of the vertical movable plate and having a through hole; 상기 돌기결합판의 관통공에 끼워지며, 그 내부에 홈을 가지며, 그 홈에는 고압가스가 채워진 실린더와,It is inserted into the through hole of the projection coupling plate, has a groove therein, the groove is filled with a high-pressure gas cylinder, 상기 실린더의 홈에 끼워진 돌출핀을 포함하여,Including a protruding pin fitted into the groove of the cylinder, 상기 돌출핀과 상기 멈춤부재의 충격이 상기 실린더 홈에 채워진 고압가스에 의해 완화되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a shock between the protruding pin and the stop member is reduced by the high pressure gas filled in the cylinder groove. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 수직이동레버의 최하단 위치에서 상방으로의 이동을 잠금 및 허용하기 위하여,In order to lock and allow movement upward from the lowest position of the vertical lever, 상기 수직기둥판의 측면에 결합되며, 그 수직기둥판의 측면으로부터 돌출된 걸림돌기와,It is coupled to the side of the vertical column plate, and the engaging projection protruding from the side of the vertical column plate, 상기 수직이동레버에는 관통공이 형성되어 있으며,The vertical movement lever is formed with a through hole, 상기 수직이동레버의 관통공을 관통하는 평행부와, 그 평행부로부터 직각으로 꺾어진 수직부를 가지는 굴곡레버를 구비하여,A bent lever having a parallel portion penetrating the through hole of the vertical moving lever and a vertical portion bent at right angles from the parallel portion, 상기 수직이동레버의 최하단 위치에서 상방으로 이동할 때, 상기 굴곡레버의 수직부 끝단의 진행경로 상에 상기 걸림돌기가 위치되어 상기수직이동레버의 상방 으로의 이동이 제한되고, 상기 굴곡레버의 평행부를 회동시켜 상기 수직부의 끝단을 위치이동시켜 상기 수직이동레버의 상방으로의 이동을 허용하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.When moving upward from the lowermost position of the vertical lever, the locking projection is positioned on the traveling path of the vertical end of the bent lever to restrict the movement of the vertical lever to the upper side, and rotate the parallel part of the bent lever. And moving the end of the vertical portion to allow the vertical movement lever to move upward. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 당김손잡이부재는,The pull handle member, 상기 고정판부재에 고정된 손잡이부와,A handle part fixed to the fixing plate member; 상기 손잡이부와 힌지 결합되며, 굴곡된 굴곡부를 가지는 레버와,A lever coupled to the handle part and having a bent portion, 상기 고정판부재의 하면에 결합된 체인도르래와,A chain pulley coupled to a lower surface of the fixed plate member; 상기 체인도르래와 결합되며, 그 일단은 상기 레버와 연결되며, 그 타단은 상기 중앙이동판부재에 결합된 체인을 구비하여,It is coupled to the chain pulley, one end thereof is connected to the lever, the other end is provided with a chain coupled to the center plate member, 상기 레버를 상방으로 당김에 따라 상기 중앙이동판부재가 상방으로 이동하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And the center moving plate member moves upward as the lever is pulled upward. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제거홈삽입부재는,The removal groove insert member, 상기 중앙이동판부재의 하면 양단에 설치된 한 쌍의 중앙이동판가이드와,A pair of central movable plate guides provided at both ends of the lower surface of the central movable plate member, 상기 중앙이동판부재의 한 쌍의 중앙이동판가이드와 각각 결합되는 삽입가이드레일이 그 상면에 고정된 한 쌍의 상판과,A pair of upper plates having insertion guide rails respectively coupled to the pair of central movable plate guides of the central movable plate member and fixed to an upper surface thereof; 상기 상판의 하면에 결합되며, 상기 펠리컬의 제거홈에 삽입되는 제거홈삽입 돌기를 각각 가지는 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a first insertion protrusion and a second insertion protrusion which are coupled to a lower surface of the upper plate and each have a removal groove insertion protrusion inserted into the removal groove of the pellical. 제 14 항에 있어서, 상기 제거홈삽입부재에는,The method of claim 14, wherein the removal groove insert member, 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부 사이의 간격을 조절하기 위한 간격조절부가 더 구비되며,A gap adjusting unit is further provided to adjust a gap between the first insertion protrusion and the second insertion protrusion. 상기 간격조절부는,The gap adjusting unit, 상기 상판의 하면 양끝단에 고정되며, 측판관통공을 가지는 제1측판과 제2측판,A first side plate and a second side plate fixed to both ends of a lower surface of the upper plate and having side plate through holes; 중앙관통공을 가지며 상기 상판의 하면에 고정된 중앙고정부와,A central fixing part having a central through hole and fixed to a lower surface of the upper plate, 상기 중앙고정부의 중앙관통공에 끼워진 중앙베어링과,A central bearing fitted in the central through hole of the central fixing part, 상기 중앙베어링에 끼워지며 나사산이 형성되어 있지 않은 중앙막대와, 상기 중앙막대로부터 연장되며 그 끝단은 상기 측판관통공에 삽입되어 상기 제1측판에 상대회전 가능하게 결합되며 오른나사산 혹은 왼나사산이 형성되어 있는 제1나사막대와, 상기 중앙막대로부터 상기 제1나사막대가 위치된 반대방향으로 연장되며 그 끝단은 상기 측판관통공에 삽입되어 상기 제2측판에 상대회전 가능하게 결합되며 상기 제1나사막대에 형성되어 있는 나사산과 반대방향의 나사산이 형성되어 있는 제2나사막대와, 상기 제2나사막대에 결합되며 상기 제2측판의 측판관통공을 통과하여 그 제2측판으로부터 돌출된 회전손잡이를 구비하는 회전막대뭉치와,The central rod is inserted into the central bearing and has no thread formed thereon, and extends from the central rod, the end of which is inserted into the side plate through-hole and is coupled to the first side plate so as to be relatively rotatable. And a first screw rod extending from the center rod in the opposite direction in which the first screw rod is positioned, the end of which is inserted into the side plate through-hole and coupled to the second side plate so as to be relatively rotatable. And a second screw rod having a thread formed in a direction opposite to that formed in the screw thread, and a rotary knob which is coupled to the second screw rod and passes through the side plate through-hole of the second side plate and protrudes from the second side plate. With spinning bar bundle, 상기 제1삽입돌출부에는 상기 제1나사막대에 형성된 나사산과 나사결합되는 나사관통공이 형성되며,The first insertion protrusion is formed with a screw through-hole screwed with the thread formed on the first screw rod, 상기 제2삽입돌출부에는 상기 제2나사막대에 형성된 나사산과 나사결합되는 나사관통공이 형성되며,The second insertion protrusion is formed with a screw through-hole screwed with the screw thread formed in the second screw rod, 상기 회전손잡이를 일방향으로 회전시키면 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부가 서로 접근하고 상기 회전손잡이를 반대방향으로 회전시키면 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부가 서로 멀어지는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The first insertion protrusion and the second insertion protrusion approach each other when the rotation knob is rotated in one direction, and the first insertion protrusion and the second insertion protrusion are separated from each other when the rotation knob is rotated in the opposite direction. Removal device. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부의 이동을 가이드하기 위하여,In order to guide the movement of the first insertion protrusion and the second insertion protrusion, 상기 제1측판과 제2측판과 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부와 중앙고정부에 각각 관통공이 형성되고,Through holes are formed in the first side plate, the second side plate, the first insertion protrusion, the second insertion protrusion, and the central fixing part, respectively. 상기 각각의 관통공을 관통하여 결합된 가이드봉을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a guide rod coupled to each of the through-holes. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 회전손잡이의 원치 않는 회전을 제한하기 위하여,In order to limit the unwanted rotation of the rotation knob, 상기 제2측판으로부터 돌출되게 그 제2측판에 고정되며 관통공을 가지는 측판돌출부와,A side plate protrusion having a through hole fixed to the second side plate to protrude from the second side plate, 상기 측판돌출부의 하방에 위치되며 상기 회전손잡이의 축의 상면에 위치되며, 나사결합 가능한 나사홈을 가지는 접촉부와,A contact portion located below the side plate protrusion and positioned on an upper surface of the shaft of the rotary knob, and having a screw groove that is screwable; 상기 측판돌출부의 관통공을 관통하여 상기 접촉부의 나사홈에 나사결합된 회전제한봉을 구비하여,It is provided with a rotation limiting rod threaded through the through-hole of the side plate protrusion, the screw groove of the contact portion, 상기 회전제한봉을 회전시켜 상기 접촉부가 상기 회전제한봉의 축에 접촉되면서 상기 회전손잡이의 회전이 제한되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.Rotating the rotary limiting bar, the contact portion is in contact with the axis of the rotary limiting rod pellical removal device, characterized in that the rotation of the rotary knob is limited. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 제1측판에 결합되며, 내부공간을 가지는 전원케이스와,A power case coupled to the first side plate and having an inner space; 상기 전원케이스의 내부공간에 수용되는 밧데리와,Batteries accommodated in the inner space of the power case, 상기 밧데리의 전원을 차단하는 스위치와,Switch to cut off the power of the battery, 상기 밧데리에 연결되며, 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부의 각 돌기 상방에 위치되는 램프부를 구비하여,A lamp portion connected to the battery and positioned above each protrusion of the first insertion protrusion and the second insertion protrusion, 상기램프부가 발광함으로써, 상기 제1삽입돌출부와 제2삽입돌출부의 각 돌기가 상기 펠리컬의 제거홈에 삽입시키는 것을 용이하게 하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And the projections of the first insertion projections and the second insertion projections facilitate the insertion of the projections into the removal grooves of the pellicals by emitting the lamps. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 한 쌍의 상판 사이의 거리를 이격 및 접근시키는 이격접근조절부가 더 구비되며,A spacing access control unit for spacing and approaching the distance between the pair of top plate is further provided, 상기 이격접근조절부는,The spacing access control unit, 상기 중앙이동판부재의 하면 중앙부위에 고정되며 관통공을 가지는 결합부 와,A coupling part fixed to a central portion of the lower surface of the central movable plate member and having a through hole; 상기 결합부의 관통공을 관통하여 그 결합부로부터 돌출된 이격레버와,A separation lever protruding from the coupling part through the through hole of the coupling part; 상기 이격레버의 끝단에 고정되며, 상기 이격레버의 회동위치에 따라 수평 및 수직방향으로 회동가능한 하방돌출부와,A downward projection fixed to an end of the separation lever, the lower projection being rotatable in a horizontal and vertical direction according to the rotational position of the separation lever; 그 일단은 상기 상판에 결합되며 그 타단은 상기 하방돌출부에 결합되는 아암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.One end thereof is coupled to the upper plate and the other end is provided with an arm portion coupled to the downward protrusion. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 한 쌍의 상판이 항상 상호 접근하는 방향으로 힘을 가하기 위하여,In order to exert a force in the direction that the pair of top plates always approach each other, 상기 중앙이동판()의 하면으로부터 하방으로 돌출된 스프링돌기와,A spring protrusion protruding downward from the lower surface of the central moving plate (), 그 일단은 상기 상판에 고정되며 그 타단은 상기 스프링돌기에 결합되는 코일스프링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.One end thereof is fixed to the upper plate and the other end of the pellical removal device characterized in that it is further provided with a coil spring coupled to the spring projection. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 중앙이동판부재의 상하방향으로의 이동을 미세하게 조정하기 위한 상하미세조절부를 더 구비하며,Further provided with a vertical fine adjustment unit for finely adjusting the movement in the vertical direction of the center plate member, 상기 상하미세조절부는,The upper and lower fine adjustment unit, 상기 고정판부재에는 복수개의 고정판관통공이 구비되며,The fixing plate member is provided with a plurality of fixing plate through holes, 상기 고정판부재의 상면에 고정되며, 그 중앙부위에는 관통공이 형성되어 있는 밀폐부와,It is fixed to the upper surface of the fixed plate member, the central portion and the sealing portion is formed with a through hole, 상기 고정판부재와 평행되게 이격되어 위치하며 관통공을 가지며, 상기 고정판부재와 접근 및 이격이 가능하게 그 고정판부재와 연결된 조절상판과,A control upper plate which is spaced apart from and parallel to the fixed plate member and has a through hole and is connected to the fixed plate member to allow access and separation to the fixed plate member; 상기 조절상판의 상면에 결합되며 나사탭이 형성되어 있는 관통공을 가지는 상방결합부와,An upper coupling part coupled to an upper surface of the control upper plate and having a through hole in which a screw tab is formed; 그 일단은 상기 조절상판에 고정되며, 그 타단은 상기 고정판관통공을 관통하여 상기 중앙이동판부재에 고정된 세로막대부와,One end of which is fixed to the control top plate, and the other end of the vertical rod part which is fixed to the center plate member through the fixing plate through hole; 상기 상방결합부의 관통공과 나사결합되며, 그 끝단은 상기 조절상판의 관통공을 관통하여 하방으로 돌출된 조절막대를 구비하여,It is screwed with the through hole of the upper coupling portion, the end thereof has a control rod protruding downward through the through hole of the control top plate, 상기 조절막대가 하방으로 이동하여 그 끝단이 상기 밀폐부의 관통공을 관통하여 상기 고정판부재의 상면에 접촉되어 그 진행방향으로의 이동이 방지됨에 따라, 그 반작용으로 상기 조절상판 및 중앙이동판부재가 상방으로 미세하게 이동하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.As the adjusting rod moves downward and the end thereof penetrates the through-hole of the sealing part to be in contact with the upper surface of the fixed plate member to prevent movement in the traveling direction, the control upper plate and the central movable plate member are reacted by the reaction. A pellical removal device, characterized in that to move finely upward. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 상방결합부에는, 상기 조절상판의 상하방향으로의 이동량을 측정하여 이를 표시하는 표시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.The upper coupling portion, the pellical removal device further comprises a display unit for measuring the amount of movement in the vertical direction of the control top plate to display this. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 조절상판의 하방으로의 이동을 제한하기 위하여,In order to limit the movement of the control plate downward, 상기 세로막대에 끼워지며, 그 상면은 상기 조절상판의 하면과 접촉된 스토 퍼를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.Is inserted into the vertical rod, the upper surface of the pellical removal device characterized in that it further comprises a stopper in contact with the lower surface of the control top plate. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 중앙이동판부재의 전진방향으로의 이동과 수평면과 평행한 방향으로의 회전을 조절하기 위하여,In order to adjust the movement in the forward direction of the center plate member and the rotation in a direction parallel to the horizontal plane, 상기 당김손잡이부재와 연결되어 상기 당김손잡이부재를 상방으로 당김에 따라 상방으로 이동하며, 상기 세로막대와 결합된 제1회전판과,A first rotating plate connected to the pull handle member and moving upward as the pull handle member is pulled upward, coupled to the vertical rod; 상기 제1회전판과 연결축에 의하여 축연결되며, 상기 제1회전판과 중앙이동판부재 사이에 위치되며, 그 하면에 고정되며 그 하면을 따라 전진방향으로 길게 형성된 가이드를 포함하는 제2전진판과,A second forward plate axially connected to the first rotating plate by a connecting shaft, the second forward plate including a guide positioned between the first rotating plate and the central moving plate member and fixed to the lower surface thereof and extending in a forward direction along the lower surface; , 상기 연결축에 끼워진 베어링과,A bearing fitted to the connecting shaft, 상기 제2전진판의 가이드와 결합하며, 상기 중앙이동판부재의 상면에 고정된 가이드레일를 구비하여,Coupled with the guide of the second forward plate, and provided with a guide rail fixed to the upper surface of the center plate member, 상기 제2전진판의 가이드와 중앙이동판부재의 가이드레일에 의해 상기 중앙이동판부재와 제2전진판의 전진방향으로의 상대이동이 허용되며,Relative movement in the forward direction of the central movable plate member and the second forward plate is permitted by the guide rail of the guide plate and the central movable plate member of the second forward plate, 상기 베어링에 의해 상기 제2전진판과 제1회전판 사이의 수평방향으로 평행한 상대회전이 허용되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And releasing the horizontally parallel relative rotation between the second forward plate and the first rotating plate by the bearing. 제 24 항에 있어서,The method of claim 24, 상기 제1회전판과 제2전진판의 상대회전량을 제한하기 위하여,In order to limit the relative rotation amount of the first rotating plate and the second forward plate, 상기 제1회전판의 하면에는 원호형상의 홈이 형성되며,The lower surface of the first rotating plate is formed with an arc-shaped groove, 일단은 상기 제1회전판의 홈에 삽입되며, 타단은 상기 제2전진판에 고정된 제2전진판돌기를 구비하여,One end is inserted into the groove of the first rotating plate, and the other end includes a second forward plate protrusion fixed to the second forward plate. 상기 제2전진판돌기가 상기 제1회전판의 홈의 일단과 타단을 이동하는 거리만큼 상기 제1회전판과 제2전진판 사이의 상대회전량이 제한되는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And a relative amount of rotation between the first and second advancing plates is limited by a distance from which the second forward plate protrusion moves one end and the other end of the groove of the first rotating plate. 제 24 항에 있어서,The method of claim 24, 상기 당김손잡이부재는,The pull handle member, 상기 고정판부재에 고정된 손잡이부와,A handle part fixed to the fixing plate member; 상기 손잡이부와 힌지 결합되며, 굴곡된 굴곡부를 가지는 레버와,A lever coupled to the handle part and having a bent portion, 상기 고정판부재의 하면에 결합된 체인도르래와,A chain pulley coupled to a lower surface of the fixed plate member; 상기 체인도르래와 결합되며, 그 일단은 상기 레버와 연결되며, 그 타단은 상기 제1회전판에 결합된 체인을 구비하여,It is coupled to the chain pulley, one end thereof is connected to the lever, the other end has a chain coupled to the first rotating plate, 상기 레버를 상방으로 당김에 따라 상기 제1회전판과 제2전진판과 중앙이동판부재가 상방으로 이동하는 것을 특징으로 하는 펠리컬 제거장치.And the first rotating plate, the second forward plate, and the central moving plate member move upward as the lever is pulled upward.
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