KR100603398B1 - Mask for evaporation and electroluminescence display device - Google Patents

Mask for evaporation and electroluminescence display device Download PDF

Info

Publication number
KR100603398B1
KR100603398B1 KR1020040094420A KR20040094420A KR100603398B1 KR 100603398 B1 KR100603398 B1 KR 100603398B1 KR 1020040094420 A KR1020040094420 A KR 1020040094420A KR 20040094420 A KR20040094420 A KR 20040094420A KR 100603398 B1 KR100603398 B1 KR 100603398B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
deposition mask
openings
mask
deposition
parallel
Prior art date
Application number
KR1020040094420A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060055097A (en
Inventor
김의규
김태형
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR1020040094420A priority Critical patent/KR100603398B1/en
Publication of KR20060055097A publication Critical patent/KR20060055097A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100603398B1 publication Critical patent/KR100603398B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/191—Deposition of organic active material characterised by provisions for the orientation or alignment of the layer to be deposited
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Abstract

본 발명은 개구율이 높으면서도 얼라인이 용이하고 변형이 적은 증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치를 위하여, 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 및 이를 이용하여 제조한 전계발광 디스플레이 장치를 제공한다.The present invention is a deposition mask having a plurality of openings for a deposition mask and an electroluminescent display device with a high aperture ratio, easy alignment and less deformation, at least one of the ends of the deposition mask The opening has at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the deposition mask has an opening of the continuous stripe pattern parallel to one end of the ends of the deposition mask. Provided are a mask for deposition and an electroluminescent display device manufactured using the same.

Description

증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치{Mask for evaporation and electroluminescence display device}Mask for evaporation and electroluminescence display device

도 1은 종래 전계발광 디스플레이 장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분해 사시도.1 is an exploded perspective view schematically illustrating a mask frame assembly for thin film deposition of a conventional electroluminescent display device.

도 2는 상기 증착용 마스크 프레임 조립체의 개구부들이 변형되는 것을 개념적으로 보여주는 평면도.2 is a plan view conceptually showing that the openings of the deposition mask frame assembly are deformed.

도 3은 또 다른 종래 전계발광 디스플레이 장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분해 사시도.3 is an exploded perspective view schematically showing a mask frame assembly for thin film deposition of another conventional electroluminescent display device.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.4 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.5 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.6 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.7 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략 적으로 도시하는 평면도.8 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.9 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.10 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.11 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.12 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.13 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a preferred embodiment of the present invention.

도 14는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.14 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 15는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.Fig. 15 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 16은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.16 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 17은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.Fig. 17 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 18은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개 략적으로 도시하는 평면도.18 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 19는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.Fig. 19 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 20은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.20 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 21은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도.Fig. 21 is a plan view schematically showing a deposition mask according to another preferred embodiment of the present invention.

도 22는 상기 실시예들에 따른 증착용 마스크를 구비한 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도.FIG. 22 is a schematic cross-sectional view of a deposition apparatus having a deposition mask according to the embodiments. FIG.

도 23은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 전계발광 디스플레이 장치의 부화소의 패턴을 개략적으로 도시한 평면도.FIG. 23 is a plan view schematically illustrating a pattern of a subpixel of an electroluminescent display device according to another exemplary embodiment of the present invention. FIG.

도 24는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 패시브 매트릭스형 전계발광 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도.24 is a schematic cross-sectional view of a passive matrix electroluminescent display device according to another preferred embodiment of the present invention.

도 25는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 액티브 매트릭스형 전계발광 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도.25 is a schematic cross-sectional view of an active matrix electroluminescent display device according to another preferred embodiment of the present invention.

본 발명은 증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 개구율이 높으면서도 얼라인이 용이하고 변형이 적은 증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition mask and an electroluminescent display device, and more particularly to a deposition mask and an electroluminescent display device having a high aperture ratio and easy alignment and less deformation.

전계발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다. Electroluminescent display devices are attracting attention as next-generation display devices because they have a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed.

이러한 전계발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비한다. 이때 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착이다. 증착 방법을 이용하여 전계발광 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는 박막 등이 형성될 면에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 마스크를 밀착시키고 박막 등의 재료를 증착하여 소정 패턴의 박막을 형성한다.The electroluminescent display device includes an intermediate layer including at least a light emitting layer between the first electrode and the second electrode facing each other. In this case, the electrodes and the intermediate layer may be formed by various methods, one of which is deposition. In order to manufacture the electroluminescent display device using the deposition method, a mask having the same pattern as the pattern of the thin film to be formed on the surface on which the thin film is to be formed is brought into close contact with each other, and a thin film having a predetermined pattern is formed by depositing a material such as a thin film.

이러한 증착을 위한 마스크와 상기 마스크를 이용한 전계발광 디스플레이 장치와 그 제조방법이 대한민국 공개특허공보 제 2000-060589호, 대한민국 공개특허공보 제 1998-0071583호 및 일본 공개특허공보 제 2000-12238호 등에 개시되어 있다. 그러나 상기 공보들에 개시된 종래의 마스크들은 금속 박판에 스트라이프 상의 개구부들이 형성되어 있으므로 금속 박판의 가장자리를 지지하는 프레임에 인장이 가하여지도록 지지된다 하여도 마스크의 무게에 의해 처지게 되어 기판에 밀착되지 못하게 되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점은 기판이 대형화 될수록 심하게 나타났다. 또한 증착 공정시 마스크에 가하여 지는 열에 의해 마스크가 팽창됨으로써 개구부들을 형성하는 스트립들의 무게에 의한 처짐은 커지게 되었다.A mask for such deposition, an electroluminescent display device using the mask, and a method of manufacturing the same are disclosed in Korean Unexamined Patent Publication No. 2000-060589, Korean Unexamined Patent Publication No. 1998-0071583, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-12238. It is. However, the conventional masks disclosed in the above publications have openings on the stripe formed in the thin metal sheet, so that even if the frame is supported to apply tension to the frame supporting the edge of the thin metal sheet, the mask is sag caused by the weight of the mask so as not to adhere to the substrate. There was a problem. This problem is exacerbated as the substrate becomes larger. In addition, as the mask is expanded by the heat applied to the mask during the deposition process, the deflection due to the weight of the strips forming the openings is increased.

대량 생산을 위한 종래의 마스크의 일 예를 도 1에 나타내 보였다.An example of a conventional mask for mass production is shown in FIG. 1.

도시된 바와 같이 하나의 금속 박판(11)에 전계발광 디스플레이 장치를 이루는 단위 기판을 복수개 증착할 수 있도록 단위 증착용 마스크(12)들이 구비되어 있으며, 상기 마스크는 프레임(20)에 인장력이 가하여지도록 고정된다.As shown in the drawing, a plurality of unit deposition masks 12 are provided to deposit a plurality of unit substrates constituting the electroluminescent display device on one metal thin plate 11, and the mask is applied to the frame 20 to apply a tensile force. It is fixed.

이러한 종래의 마스크(10)는 대량생산을 위해 상대적으로 그 크기가 크므로 격자상의 프레임(20)에 고정시 균일하게 인장력이 가하여져 있다 하여도 상술한 바와 같은 무게에 의한 문제는 심화된다. 특히 대면적 금속 박판 마스크는 각 단위 증착용 마스크(12)에 형성된 개구부(12a)들의 너비가 설정된 오차범위 내로 유지되도록 프레임(20)에 용접하여야 한다. 이때에 마스크의 처짐을 방지하기 위하여 각 방향으로 인장력을 가하게 되면, 상기 각 단위 증착용 마스크(12)의 개구부(12a) 피치가 왜곡되어 설정된 오차범위 내로 맞추는 것이 불가능하다. 특히, 마스크(10)의 특정 부위의 단위 증착용 마스크(12)의 개구부가 변형되면 이와 이웃하는 모든 개구부에도 힘이 인가되어 변형되므로, 증착되는 기판 등에 대해 개구부가 상대적으로 이동되어 설정된 패턴의 오차범위를 벗어나게 된다. 이러한 현상은 마스크에 형성된 개구부(12a)들의 법선 방향(개구부의 길이 방향의 중심축과 직교하는 방향)에서 더욱 문제되며, 마스크의 단부에 위치한 단위 증착용 마스크에서 더욱 문제된다. 그리고, 도 2에 도시된 바와 같이, 대형 디스플레이 장치를 제조하기 위해 하나의 디스플레이 장치에 대응되는 대형 마스크의 경우에는 이러한 마스크 패턴의 변형은 더욱 문제된다. Since the conventional mask 10 is relatively large for mass production, even if a tensile force is uniformly applied when fixing the grid 20, the problem as described above is exacerbated. In particular, the large-area thin metal mask should be welded to the frame 20 so that the width of the openings 12a formed in each unit deposition mask 12 is maintained within a set error range. At this time, when a tensile force is applied in each direction to prevent the mask from sagging, the pitch of the openings 12a of the unit deposition masks 12 is distorted, so that it is impossible to fit within the set error range. In particular, when the opening of the unit deposition mask 12 of the specific portion of the mask 10 is deformed, a force is applied to all of the neighboring openings so that the opening is relatively moved with respect to the substrate to be deposited. It is out of range. This phenomenon is more problematic in the normal direction of the openings 12a formed in the mask (the direction orthogonal to the central axis in the longitudinal direction of the opening), and more problematic in the unit deposition mask located at the end of the mask. And, as shown in Figure 2, in the case of a large mask corresponding to one display device for manufacturing a large display device, such deformation of the mask pattern is more problematic.

이를 방지하기 위하여, 도 3에 도시된 바와 같이, 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서 스트라이프 패턴의 개구부들이 아닌 각 부화소별로의 도트 패턴의 개 구부들이 구비된 마스크가 개발되었다. 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 마스크의 처짐을 방지하기 위해 마스크에 인장력이 인가되더라도 그 개구부의 피치 왜곡을 방지하는 것이다. In order to prevent this, as shown in FIG. 3, in each unit deposition mask, a mask having openings of a dot pattern for each subpixel, not openings of a stripe pattern, has been developed. By providing the openings of the dot pattern, the pitch distortion of the openings is prevented even if a tensile force is applied to the mask to prevent the mask from sagging.

그러나 상기와 같은 도트 패턴의 개구부들이 구비된 마스크의 경우, 각 부화소의 개구율이 커짐에 따라 도트 패턴의 개구부들의 면적이 커져야 하고, 그에 따라 마스크 제조에 어려움이 발생하게 되며, 각 부화소에 정확하게 각 도트 패턴의 개구부들이 위치하도록 얼라인 해야만 한다는 문제점이 있었다. However, in the case of the mask having the openings of the dot pattern as described above, as the opening ratio of each subpixel increases, the area of the openings of the dot pattern should increase, thereby causing difficulty in manufacturing the mask, and precisely in each subpixel. There has been a problem that the openings of each dot pattern must be aligned to be located.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 개구율이 높으면서도 얼라인이 용이하고 변형이 적은 증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve various problems including the above problems, and an object of the present invention is to provide a deposition mask and an electroluminescent display device having a high aperture ratio and easy alignment and low deformation.

상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object and various other objects, the present invention, in the deposition mask having a plurality of openings, at least one continuous stripe pattern at the end of at least one end of the deposition mask And openings of a plurality of discontinuous dot patterns and openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the ends of the deposition mask in the remaining area of the deposition mask. Provide a wearing mask.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the deposition mask may be provided with a plurality of unit deposition masks.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each unit deposition mask provided on the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end And openings of a plurality of discontinuous dot patterns, and openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask At an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discrete dot pattern openings are provided, and the rest of the deposition mask is provided. The region may be provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들이 구비되며, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트 라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each unit deposition mask provided on the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end Openings and a plurality of discontinuous dot patterns openings, and each unit deposition mask provided at the remaining ends of the deposition mask includes at least one continuous stripe pattern parallel to the remaining ends and a plurality of openings. Discontinuous dot patterns may be provided, and the remaining area of the deposition mask may include openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask At an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discrete dot pattern openings are provided, and the rest of the deposition mask is provided. Each unit deposition mask provided at the ends has at least one continuous stripe at an end that is parallel to the other ends of the ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask. An opening of the pattern and a plurality of openings of a discontinuous dot pattern are provided. The remaining area of the disc has to be provided to the opening of the continuous stripe pattern parallel to the said one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the deposition mask may be provided with one unit deposition mask.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, the opening of at least one continuous stripe pattern and a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, The remaining area of the deposition mask may be provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, at each end of the deposition mask, at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask is Openings in a continuous stripe pattern parallel to one end may be provided.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of openings, at least one of the ends of the deposition mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, The remaining area of the deposition mask is provided with a deposition mask, characterized in that the opening of the continuous stripe pattern parallel to one end of the end of the deposition mask.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the deposition mask may be provided with a plurality of unit deposition masks.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each of the unit deposition masks provided at the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, The remaining area of the deposition mask may be provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 도트 패턴의 개구부 들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask Openings of a dot pattern are provided at an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, and an opening of a continuous stripe pattern parallel to the one end is provided in the remaining area of the deposition mask. Can be provided.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is the one end It may be provided that the opening of the continuous stripe pattern parallel to the.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask A plurality of discontinuous dot patterns openings are provided at an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, and for each unit deposition provided at the remaining ends of the deposition mask. The mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings at an end parallel to the remaining ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask, and the deposition mask The remaining region of the opening is provided with a continuous stripe pattern parallel to the one end Can.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the deposition mask may be provided with one unit deposition mask.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들 이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is Openings in a continuous stripe pattern parallel to one end may be provided.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is parallel to the one end of the deposition mask The openings of the continuous stripe pattern may be provided.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of openings, at least one of the ends of the deposition mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, The remaining area of the deposition mask may be provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the ends of the deposition mask and a plurality of discontinuous dot patterns.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the deposition mask may be provided with a plurality of unit deposition masks.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each of the unit deposition masks provided at the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, The remaining area of the deposition mask may be provided with the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask Openings of a dot pattern are provided at an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, and an opening of a continuous stripe pattern parallel to the one end is provided in the remaining area of the deposition mask. And openings of a plurality of discontinuous dot patterns may be provided.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is the one end Openings in a continuous stripe pattern parallel to and a plurality of openings in a discontinuous dot pattern may be provided.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to still another aspect of the present invention, each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, the deposition mask of the end of the unit deposition mask A plurality of discontinuous dot patterns openings are provided at an end that is parallel to the one end of and the furthest distance from the center of the deposition mask, and for each unit deposition provided at the remaining ends of the deposition mask. The mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings at an end parallel to the remaining ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask, and the deposition mask A plurality of discontinuous openings in a continuous stripe pattern parallel to the one end in the remaining region of the The dot can be made which are provided with openings in the pattern.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the deposition mask may be provided with one unit deposition mask.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the one end of the deposition mask and the other end facing the one end, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is the work The openings of the continuous stripe pattern parallel to the ends and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns may be provided.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, each end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, the remaining area of the deposition mask is parallel to the one end of the deposition mask The openings of the continuous stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns may be provided.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, at least one end of each unit deposition mask and the other end facing the one end, An opening of a continuous stripe pattern of a plurality of openings and openings of a plurality of discontinuous dot patterns, and an opening of a continuous stripe pattern parallel to the one end is provided in the remaining area of the unit deposition mask. Provide a mask.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask, at least one opening of the continuous stripe pattern and A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining region of the unit deposition mask is provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the ends of the unit deposition mask. Provide a mask.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask, and the other end facing the one end, Openings having a discontinuous dot pattern are provided, and the remaining area of the unit deposition mask is provided with a continuous stripe pattern opening parallel to the one end.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings The remaining area of the unit deposition mask is provided with a deposition mask, characterized in that the opening of the continuous stripe pattern parallel to one end of the end of the unit deposition mask.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구 부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask, and the other end facing the one end, The openings of the discontinuous dot pattern are provided, and the remaining areas of the unit deposition mask are provided with the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns. Provide a wearing mask.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings And the openings of the continuous stripe pattern parallel to one end of the ends of the unit deposition mask and the plurality of discontinuous dot patterns openings in the remaining area of the unit deposition mask. Provide a mask.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치를 제공한다.The present invention also provides an electroluminescent display having an intermediate layer comprising a first electrode and a second electrode facing each other and at least an emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode in order to achieve the above object. An electroluminescent display device comprising: an intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device comprising at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns; The intermediate layer of the remaining region of the present invention provides an electroluminescent display device characterized by having continuous stripe patterns parallel to the one end.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스 플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the intermediate layer of one end of the end of the electroluminescent display device, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns, The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 상기 타 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the intermediate layer of one end of the end of the electroluminescent display device, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns, The intermediate layer of one of the other ends formed at an angle of 90 ° with one end includes at least one continuous stripe pattern parallel to the other end, and a plurality of discrete dot patterns, the electroluminescent display The middle layer of the remaining area of the device may be one having continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of The discontinuous dot patterns may be provided, and the intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 단부들의 중간층은, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역 의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of The discontinuous dot patterns, wherein the middle layer of the remaining ends of the electroluminescent display device has at least one continuous stripe pattern parallel to the remaining ends, and a plurality of discontinuous dot patterns, the electroluminescent display The intermediate layer of the remaining area of the device may be one having continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치를 제공한다.The present invention also provides an electroluminescent display having an intermediate layer comprising a first electrode and a second electrode facing each other and at least an emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode in order to achieve the above object. In the device, the intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device has a plurality of discontinuous dot patterns, and the intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device is continuous in parallel with the one end. An electroluminescent display device having stripe patterns is provided.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, an intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device includes a plurality of discontinuous dot patterns, and an intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device is connected to the one end. It can be said to have parallel continuous stripe patterns.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층과, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device, and the middle layer of any one of the other ends forming an angle of 90 ° with the one end, a plurality of discontinuous The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device having dot patterns may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, one end of the ends of the electroluminescent display device and the middle layer of the other end facing the one end has a plurality of discontinuous dot patterns, the rest of the electroluminescent display device The intermediate layer of the region may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the middle layer of the ends of the electroluminescent display device, a plurality of discontinuous dot patterns, the middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device, the ends of the electroluminescent display device One may have continuous stripe patterns parallel to one end thereof.

본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치를 제공한다.The present invention also provides an electroluminescent display having an intermediate layer comprising a first electrode and a second electrode facing each other and at least an emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode in order to achieve the above object. In the device, the intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device has a plurality of discontinuous dot patterns, and the intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device is continuous in parallel with the one end. An electroluminescent display device is characterized by having stripe patterns and a plurality of discrete dot patterns.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, one end of the ends of the electroluminescent display device and the middle layer of the other end facing the one end, has a plurality of discontinuous dot patterns, the rest of the electroluminescent display device The intermediate layer of the region may have continuous stripe patterns parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the intermediate layer of the ends of the electroluminescent display device, a plurality of discontinuous dot patterns, the middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device, the end of the electroluminescent display device It may be said to have continuous stripe patterns and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to one end of them.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.4 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a first preferred embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(110)는 금속 박판(111)에 소정 형태의 개구부들이 구비된 것으로서, 상기 증착용 마스크(110)에는 복수개의 단위 증착용 마스크(112, 113, 114, 115, 116)들이 구비되어 있다. 각각의 단위 증착용 마스크(112, 113, 114, 115, 116)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것으로서, 복수개의 디스플레이 패널을 대량생산하기 위해 도 4에 도시된 바와 같은 마스크를 사용한다. Referring to FIG. 4, the deposition mask 110 according to the present embodiment is provided with openings having a predetermined shape in the metal thin plate 111. The deposition mask 110 includes a plurality of unit deposition masks 112, 113, 114, 115, 116 are provided. Each unit deposition mask 112, 113, 114, 115, and 116 corresponds to one display panel, and a mask as shown in FIG. 4 is used to mass-produce a plurality of display panels.

이때, 상기 증착용 마스크(110)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(112, 113)에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 그리고 상기 증착용 마스크(110)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(112, 113)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(114, 115, 116)들에는 상 기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.In this case, each of the unit deposition masks 112 and 113 provided at one end of the deposition mask 110 and the other end facing the one end may have at least one continuous stripe pattern parallel to the one end. Openings and a plurality of discontinuous dot patterns. The remaining unit deposition masks 114, 115, and 116 except for the unit deposition masks 112 and 113 provided at the remaining area of the deposition mask 110, that is, the one end and the other end facing the one end. ) Are provided with openings in a continuous stripe pattern parallel to the one end.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 이때, 상기 마스크에 형성된 개구부들이 스트라이프 패턴의 개구부들일 경우, 상기 인장력에 의해 상기 마스크의 단부에 위치한 단위 증착용 마스크의 개구부들이 변형되어 원 형상대로 증착이 이루어지지 않는다. 전술한 바와 같이, 이러한 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 4에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트형 패턴의 개구부들과 스트라이프 패턴의 개구부들이 혼재된 형태가 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . In this case, when the openings formed in the mask are openings of the stripe pattern, the openings of the unit deposition mask positioned at the end of the mask are deformed by the tensile force, and thus the deposition is not performed in a circular shape. As mentioned above, the deformation of these openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Therefore, as shown in FIG. 4, the openings at the end of the mask are formed in a mixture of the openings of the dot pattern and the openings of the stripe pattern, which are less deformed than the openings of the stripe pattern. Can prevent deformation.

또한, 상기 증착용 마스크(110)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(112, 113)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(114, 115, 116)들에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 이는 상기 마스크(110)의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되더라도 상기 마스크(110)에 인가되는 인장력에 의한 개구부들의 변형이 작기 때문이다. In addition, the remaining unit deposition masks 114 and 115 except for the unit deposition masks 112 and 113 provided at the remaining area of the deposition mask 110, that is, the one end and the other end facing the one end. 116 are provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end, which is an opening due to a tensile force applied to the mask 110 even when the stripe pattern openings are provided at the center of the mask 110. This is because their deformation is small.

전계발광 디스플레이 장치를 제조함에 있어서, 휘도 등을 향상시키기 위해 각 부화소의 발광면적을 넓히는 것이 필요하고, 이에 따라 발광층이 포함되는 중간층 등을 형성함에 있어서 사용되는 마스크의 개구부의 크기도 커져야 한다. 이때 도트 패턴의 개구부가 구비된 마스크를 이용할 경우에는 각 부화소에 따른 개구부들 사이의 간격이 좁아지게 되고, 따라서 상기 마스크의 제조 수율이 하락하는 등의 문제점이 발생하게 된다. 따라서 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In manufacturing an electroluminescent display device, it is necessary to widen the light emitting area of each subpixel in order to improve the brightness and the like, and accordingly, the size of the opening of the mask used in forming the intermediate layer or the like including the light emitting layer should be increased. In this case, when using a mask having an opening of a dot pattern, the gap between the openings according to each subpixel is narrowed, and thus a problem such as a decrease in the manufacturing yield of the mask occurs. Therefore, by having the opening portion of the stripe pattern in the center portion, it is possible to easily manufacture a mask having a high aperture ratio at low cost.

도 5는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.5 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a second preferred embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(210)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(212, 213, 214)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(212, 213, 214)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 5, a plurality of unit deposition masks 212, 213, and 214 are also provided in the deposition mask 210 according to the present embodiment. Of course, each unit deposition mask 212, 213, 214 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(210)가 전술한 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크(110)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(210)의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(212, 213)에는, 상기 단위 증착용 마스크(212, 213)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(210)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크(210)의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있으며, 상기 증착용 마스크(210)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 210 according to the present embodiment differs from the deposition mask 110 according to the first embodiment described above in that the other end facing the one end and the one end of the deposition mask 210. Each of the unit deposition masks 212 and 213 provided at an end thereof is parallel to the one end of the deposition mask 210 among the ends of the unit deposition masks 212 and 213 and the deposition mask ( At least one end of the continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided at the end of the farthest distance from the center of the center 210, and the remaining end of the deposition mask 210 is disposed at the one end. Is provided with openings in a continuous stripe pattern in parallel with.

즉, 전술한 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(210)의 경우에는, 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(212, 213)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(212, 213)의 상기 증착용 마스크의 단부 방향의 단부에만 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(212, 213)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(210)의 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(212, 213)들 이외의 단위 증착용 마스크(214)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the case of the deposition mask according to the first embodiment described above, in each unit deposition mask provided at both ends of the deposition mask facing each other, an opening of the stripe pattern over the entire area of each unit deposition mask And a pattern of openings of a dot pattern are mixed. However, in the case of the deposition mask 210 according to the present embodiment, in the unit deposition masks 212 and 213 provided at both ends facing each other, The stripe pattern openings and the dot pattern openings are mixed only at the end portions of the deposition masks in the end direction, and the stripe pattern openings are provided in the remaining areas of the unit deposition masks 212 and 213. Of course, the unit deposition masks 214 other than the unit deposition masks 212 and 213 provided at the end of the deposition mask 210 are provided with stripe pattern openings.

도 4에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 4, although the openings of the unit deposition masks are roughly provided in order to schematically show the present embodiment, the actual unit deposition masks are closely provided so as to be difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개 구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings due to the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.6 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a third preferred embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(310)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(312, 313, 314, 315, 316)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(312, 313, 314, 315, 316)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 6, a plurality of unit deposition masks 312, 313, 314, 315, and 316 are also provided in the deposition mask 310 according to the present embodiment. Of course, each unit deposition mask 312, 313, 314, 315, and 316 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(310)가 전술한 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크(110)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(310)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(312, 313)에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크(310)의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(314, 315)에도, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들이 구비되며, 상기 증착용 마스크(310)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비된다는 것이다.The deposition mask 310 according to the present embodiment differs from the deposition mask 110 according to the first embodiment described above in that one end and the other end facing the one end of the deposition mask 310 are different. Each of the unit deposition masks 312 and 313 included in the openings includes at least one opening of a continuous stripe pattern parallel to one end and an opening of a plurality of discontinuous dot patterns, and the deposition mask 310. Each of the unit deposition masks 314 and 315 provided at the remaining end portions of the N) is provided with at least one continuous stripe pattern and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to the remaining ends. The remaining area of 310 is provided with openings in a continuous stripe pattern parallel to the one end.

즉, 전술한 제 1 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들, 그리고 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들에만 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패 턴의 개구부들이 혼재해 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에서는 증착용 마스크의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들에 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the case of the deposition mask according to the first embodiment described above, only the unit deposition masks provided at one end of the deposition mask, and the unit deposition masks provided at the other end facing the one end. The openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern were mixed, and the unit deposition masks provided at the remaining ends of the deposition mask are provided with the openings of the stripe pattern. The difference is that the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed in the unit deposition masks provided at all the ends.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들에 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크의 패턴에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.Thus, the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed in the unit deposition masks provided at all ends of the deposition mask, so that even if a tensile force is applied in all directions of the deposition mask, Deformation can be prevented from occurring in the pattern of each unit deposition mask provided at the end. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 7은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.7 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a fourth preferred embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(410)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415, 416)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415, 416)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 7, the deposition mask 410 according to the present embodiment includes a plurality of unit deposition masks 412, 413, 414, 415, and 416. Of course, each unit deposition mask 412, 413, 414, 415, 416 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(410)가 전술한 제 3 실시예에 따른 증착용 마스크(310)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(410)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(412, 413)에는, 상기 단위 증착용 마스크(412, 413)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(410)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크(410)의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크(410)의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(414, 415)에는, 상기 단위 증착용 마스크(414, 415)의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크(410)의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 점이다. 상기 증착용 마스크(410)의 나머지 영역에는 전술한 제 3 실시예에 따른 증착용 마스크(310)와 동일하게, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.The deposition mask 410 according to the present embodiment is different from the deposition mask 310 according to the third embodiment described above, one end of the deposition mask 410 and the other end facing the one end. Each of the unit deposition masks 412 and 413 included in the unit deposition mask 412 and 413 is parallel to the one end of the deposition mask 410 among the ends of the unit deposition masks 412 and 413. At the end of the farthest distance from the center of the c), at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and each of the remaining ends of the deposition mask 410 is provided. The unit deposition masks 414 and 415 of the unit deposition masks 414 and 415 are parallel to the remaining ends of the end portions of the unit deposition masks 414 and 415, and are disposed at the farthest distance from the center of the deposition mask 410. At least one Is provided with an opening of a continuous stripe pattern of and a plurality of openings of a discontinuous dot pattern. The remaining area of the deposition mask 410 is provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end, similarly to the deposition mask 310 according to the third embodiment.

즉, 전술한 제 3 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(410)의 경우에는, 증착용 마스크(410)의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415)의 상기 증착용 마스크(410)의 단부 방향의 단부에만 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(410)의 단부 에 구비된 단위 증착용 마스크(412, 413, 414, 415)들 이외의 단위 증착용 마스크(416)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the deposition mask according to the third embodiment described above, in each unit deposition mask provided at the ends of the deposition mask, the openings and dots of the stripe pattern are formed over the entire area of each unit deposition mask. It is a mask in which openings of a pattern are mixed. However, in the case of the deposition mask 410 according to the present embodiment, in each unit deposition mask (412, 413, 414, 415) provided at the ends of the deposition mask 410, for each unit deposition Openings in the stripe pattern and openings in the dot pattern are mixed only at ends of the masks 412, 413, 414, and 415 in the end direction of the deposition mask 410, and the masks for the respective unit depositions 412, 413, The remaining areas of 414 and 415 are provided with stripe pattern openings. Of course, the unit deposition masks 416 other than the unit deposition masks 412, 413, 414, and 415 provided at the end of the deposition mask 410 are provided with openings having a stripe pattern.

도 7에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 7, although the openings of the unit deposition masks are roughly provided to schematically illustrate the present embodiment, the actual unit deposition masks are closely provided so that they are difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 혼재되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings due to the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 8은 본 발명의 바람직한 제 5 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.8 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a fifth preferred embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(510)에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(510)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다. 이때, 상기 증착용 마스크(510)의 일 단부(512) 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부(513)에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역(514)에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.Referring to FIG. 8, one deposition mask 510 is provided in the deposition mask 510 according to the present embodiment. That is, the deposition mask 510 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel. At this time, one end 512 of the deposition mask 510 and the other end 513 facing the one end are provided with openings of at least one continuous stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns. The remaining region 514 of the deposition mask is provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 특히, 도 8에 도시된 바와 같은 대형 마스크를 이용하여 하나의 대형 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서는 상기 마스크와 박막이 증착되는 대상과의 밀착이 중요한 바, 상기 마스크에 큰 인장력이 가해지게 된다. 이때, 상기 마스크에 형성된 개구부들이 스트라이프 패턴의 개구부들일 경우, 상기 인장력에 의해 상기 마스크의 단부에 구비된 스트라이프 패턴의 개구부들이 변형되어 원 형상대로 증착이 이루어지지 않는다. 전술한 바와 같이, 이러한 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 8에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트형 패턴의 개구부들과 스트라이프 패턴의 개구부들이 혼재된 형태가 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . In particular, in the process of manufacturing one large display panel using a large mask as illustrated in FIG. 8, close contact between the mask and the object on which the thin film is deposited is important, and a large tensile force is applied to the mask. In this case, when the openings formed in the mask are the openings of the stripe pattern, the openings of the stripe pattern provided at the end of the mask are deformed by the tensile force, and thus deposition is not performed in a circular shape. As mentioned above, the deformation of these openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Therefore, as shown in FIG. 8, the openings at the end of the mask are formed in such a way that the openings of the dot pattern and the openings of the stripe pattern are less mixed than the openings of the stripe pattern. Can prevent deformation.

또한, 상기 증착용 마스크(510)의 나머지 영역(514)에는 상기 증착용 마스크(510)의 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 이는 상기 마스크(510)의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되더라도 상기 마스크(510)에 인가되는 인장력에 의한 개구부들의 변형이 작기 때문이 다. In addition, the remaining region 514 of the deposition mask 510 is provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the deposition mask 510, which is located at the center of the mask 510. Even if the stripe pattern openings are provided, the deformation of the openings due to the tensile force applied to the mask 510 is small.

전계발광 디스플레이 장치를 제조함에 있어서, 휘도 등을 향상시키기 위해 각 부화소의 발광면적을 넓히는 것이 필요하고, 이에 따라 발광층이 포함되는 중간층 등을 형성함에 있어서 사용되는 마스크의 개구부의 크기도 커져야 한다. 이때 도트 패턴의 개구부가 구비된 마스크를 이용할 경우에는 각 부화소에 따른 개구부들 사이의 간격이 좁아지게 되고, 따라서 상기 마스크의 제조 수율이 하락하는 등의 문제점이 발생하게 된다. 따라서 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In manufacturing an electroluminescent display device, it is necessary to widen the light emitting area of each subpixel in order to improve the brightness and the like, and accordingly, the size of the opening of the mask used in forming the intermediate layer or the like including the light emitting layer should be increased. In this case, when using a mask having an opening of a dot pattern, the gap between the openings according to each subpixel is narrowed, and thus a problem such as a decrease in the manufacturing yield of the mask occurs. Therefore, by having the opening portion of the stripe pattern in the center portion, it is possible to easily manufacture a mask having a high aperture ratio at low cost.

도 9는 본 발명의 바람직한 제 6 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.9 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a sixth preferred embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(610)에도, 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(610)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다.Referring to FIG. 9, one unit deposition mask is also provided in the deposition mask 610 according to the present embodiment. That is, the deposition mask 610 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(610)가 전술한 제 5 실시예에 따른 증착용 마스크와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(610)의 각각의 단부(612, 613, 614, 615)에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크(610)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 610 according to the present embodiment differs from the deposition mask according to the fifth embodiment described above at each end 612, 613, 614, 615 of the deposition mask 610. At least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discrete dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask 610 is provided with a continuous stripe pattern opening parallel to the one end. will be.

즉, 전술한 제 5 실시예에 따른 증착용 마스크(510)의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에만 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(610)의 경우에는, 증착용 마스크(610)의 모든 단부들에 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the deposition mask 510 according to the fifth embodiment, the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed only at one end of the deposition mask and the other end facing the one end. The unit deposition masks provided at the other ends of the deposition masks are provided with openings of stripe patterns. In the case of the deposition mask 610 according to the present embodiment, all of the deposition masks 610 are provided. The difference is that the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed at the ends.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 스트라이프 패턴의 개구부들 및 도트 패턴의 개구부들이 혼재해 있도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 개구부들에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In this way, the openings of the stripe pattern and the openings of the dot pattern are mixed at all the ends of the deposition mask, so that the respective openings provided at the ends of the deposition mask are applied even if a tensile force is applied in all directions of the deposition mask. The deformation can be prevented from occurring. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 10은 본 발명의 바람직한 제 7 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 10 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a seventh preferred embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(710)에는 복수개의 단위 증착용 마스크(712, 713, 714, 715, 716)들이 구비되어 있다. 각각의 단위 증착용 마스크(712, 713, 714, 715, 716)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것으로서, 복수개의 디스플레이 패널을 대량생산하기 위해 도 10에 도시된 바와 같은 마스크를 사용한다. Referring to FIG. 10, the deposition mask 710 according to the present embodiment includes a plurality of unit deposition masks 712, 713, 714, 715, and 716. Each unit deposition mask 712, 713, 714, 715, 716 corresponds to one display panel, and uses a mask as shown in FIG. 10 to mass-produce a plurality of display panels.

이때, 상기 증착용 마스크(710)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(712, 713)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 그리고 상기 증착용 마스크(710)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(712, 713)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(714, 715, 716)들에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.In this case, each of the unit deposition masks 712 and 713 provided at one end of the deposition mask 710 and the other end facing the one end is provided with a plurality of discontinuous dot patterns. The remaining unit deposition masks 714, 715, and 716 except for the unit deposition masks 712 and 713 provided at the remaining area of the deposition mask 710, that is, the one end and the other end facing the one end. ) Are provided with openings in a continuous stripe pattern parallel to the one end.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 이때, 상기 마스크에 형성된 개구부들이 스트라이프 패턴의 개구부들일 경우, 상기 인장력에 의해 상기 마스크의 단부에 위치한 단위 증착용 마스크의 개구부들이 변형되어 원 형상대로 증착이 이루어지지 않는다. 전술한 바와 같이, 이러한 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 10에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트형 패턴의 개구부들이 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . In this case, when the openings formed in the mask are openings of the stripe pattern, the openings of the unit deposition mask positioned at the end of the mask are deformed by the tensile force, and thus the deposition is not performed in a circular shape. As mentioned above, the deformation of these openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Therefore, by opening the openings at the end of the mask, as shown in Figure 10, the openings of the dot pattern with less deformation than the openings of the stripe pattern, it is possible to prevent the deformation at the end of the mask.

또한, 상기 증착용 마스크(710)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(712, 713)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(714, 715, 716)들에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 이는 상기 마스크(710)의 중앙부에 는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되더라도 상기 마스크(710)에 인가되는 인장력에 의한 개구부들의 변형이 작기 때문이다. In addition, the remaining unit deposition masks 714 and 715 except for the unit deposition masks 712 and 713 provided in the remaining area of the deposition mask 710, that is, the one end and the other end facing the one end. 716 are provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end, which is caused by a tensile force applied to the mask 710 even though the stripe pattern openings are provided at the center of the mask 710. This is because the deformation of the openings is small.

전계발광 디스플레이 장치를 제조함에 있어서, 휘도 등을 향상시키기 위해 각 부화소의 발광면적을 넓히는 것이 필요하고, 이에 따라 발광층이 포함되는 중간층 등을 형성함에 있어서 사용되는 마스크의 개구부의 크기도 커져야 한다. 이때 도트 패턴의 개구부가 구비된 마스크를 이용할 경우에는 각 부화소에 따른 개구부들 사이의 간격이 좁아지게 되고, 따라서 상기 마스크의 제조 수율이 하락하는 등의 문제점이 발생하게 된다. 따라서 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In manufacturing an electroluminescent display device, it is necessary to widen the light emitting area of each subpixel in order to improve the brightness and the like, and accordingly, the size of the opening of the mask used in forming the intermediate layer or the like including the light emitting layer should be increased. In this case, when using a mask having an opening of a dot pattern, the gap between the openings according to each subpixel is narrowed, and thus a problem such as a decrease in the manufacturing yield of the mask occurs. Therefore, by having the opening portion of the stripe pattern in the center portion, it is possible to easily manufacture a mask having a high aperture ratio at low cost.

도 11은 본 발명의 바람직한 제 8 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.Fig. 11 is a plan view schematically showing a deposition mask according to an eighth preferred embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(810)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(812, 813, 814, 815, 816)들이 구비되어 있다. 각각의 단위 증착용 마스크(812, 813, 814, 815, 816)는 하나의 디스플레이 패널에 대응된다.Referring to FIG. 11, a plurality of unit deposition masks 812, 813, 814, 815, and 816 are also provided in the deposition mask 810 according to the present embodiment. Each unit deposition mask 812, 813, 814, 815, 816 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(810)가 전술한 제 7 실시예에 따른 증착용 마스크(710)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(810)의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(812, 813)에는, 상기 단위 증착용 마스크(812, 813)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(810)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크(810)의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있으며, 상기 증착용 마스크(810)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 810 according to the present embodiment differs from the deposition mask 710 according to the seventh embodiment described above in that the other end facing the one end and the one end of the deposition mask 810. Each of the unit deposition masks 812 and 813 provided at an end thereof is parallel to the one end of the deposition mask 810 among the ends of the unit deposition masks 812 and 813 and the deposition mask ( At the end of the longest distance from the center of the 810, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and in the remaining area of the deposition mask 810, openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end are formed. It is equipped.

즉, 전술한 제 7 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(810)의 경우에는, 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(812, 813)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(812, 813)의 상기 증착용 마스크의 단부 방향의 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(812, 813)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(810)의 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(812, 813)들 이외의 단위 증착용 마스크(814)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the case of the deposition mask according to the seventh embodiment described above, in each unit deposition mask provided at both ends of the deposition mask facing each other, the opening of the dot pattern over the entire area of each unit deposition mask Are masks provided. However, in the case of the deposition mask 810 according to the present embodiment, in the unit deposition masks 812 and 813 provided at both ends facing each other, The openings of the dot pattern are provided only at the end portions of the deposition masks in the end direction, and the openings of the stripe patterns are provided in the remaining areas of the unit deposition masks 812 and 813. Of course, the unit deposition masks 814 other than the unit deposition masks 812 and 813 provided at the end of the deposition mask 810 are provided with stripe pattern openings.

도 11에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 11, although the openings of the unit deposition masks are roughly provided in order to schematically illustrate the present embodiment, the actual unit deposition masks are closely provided so that they are difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착 용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the opening of the dot pattern is provided at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, it is possible to prevent the deformation of the openings by the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 12는 본 발명의 바람직한 제 9 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.12 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a ninth preferred embodiment of the present invention.

도 12를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(910)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(912, 913, 914, 915, 916)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(912, 913, 914, 915, 916)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.12, a plurality of unit deposition masks 912, 913, 914, 915, and 916 are also provided in the deposition mask 910 according to the present embodiment. Of course, each unit deposition mask 912, 913, 914, 915, and 916 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(910)가 전술한 제 7 실시예에 따른 증착용 마스크(710)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(910)의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(912, 913, 914, 915)에는 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크(910)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 910 according to the present embodiment is different from the deposition mask 710 according to the seventh embodiment described above, and each unit deposition mask provided at the ends of the deposition mask 910. 912, 913, 914, and 915 are provided with a plurality of discrete dot pattern openings, and the remaining area of the deposition mask 910 is provided with a continuous stripe pattern opening parallel to the one end. .

즉, 전술한 제 7 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들, 그리고 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(910) 에서는 증착용 마스크(910)의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들(912, 913, 914, 915)에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the case of the deposition mask according to the seventh embodiment described above, only the unit deposition masks provided at one end of the deposition mask, and the unit deposition masks provided at the other end facing the one end. The openings of the dot pattern were provided, and the unit deposition masks provided at the other ends of the deposition masks were provided with the openings of the stripe pattern. In the deposition mask 910 according to the present embodiment, the deposition mask was used. The difference is that the dot pattern openings are provided in the unit deposition masks 912, 913, 914, and 915 provided at all ends of the 910.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크의 패턴에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As such, the openings of the dot pattern are provided in the unit deposition masks provided at all ends of the deposition mask, so that even if a tensile force is applied in all directions of the deposition mask, Deformation can be prevented from occurring in the pattern of the unit deposition mask. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 13은 본 발명의 바람직한 제 10 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. Fig. 13 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a tenth preferred embodiment of the present invention.

도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1010)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015, 1016)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015, 1016)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 13, the deposition mask 1010 according to the present embodiment includes a plurality of unit deposition masks 1012, 1013, 1014, 1015, and 1016. Of course, each unit deposition mask 1012, 1013, 1014, 1015, and 1016 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1010)가 전술한 제 9 실시예에 따른 증착용 마스크(910)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1010)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1012, 1013)에는, 상기 단위 증착용 마스크(1012, 1013)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(1010)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크(1010)의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1014, 1015)에는, 상기 단위 증착용 마스크(1014, 1015)의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다. 상기 증착용 마스크(1010)의 나머지 영역에는 전술한 제 9 실시예에 따른 증착용 마스크(910)와 동일하게, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.The deposition mask 1010 according to the present embodiment is different from the deposition mask 910 according to the ninth embodiment described above, one end of the deposition mask 1010 and the other end facing the one end. Each of the unit deposition masks 1012 and 1013 provided in the unit deposition mask is parallel to the one end of the deposition mask 1010 among the end portions of the unit deposition masks 1012 and 1013 and disposed at the center of the deposition mask. A plurality of discontinuous dot patterns openings are provided at an end farthest from the distance, and each unit deposition mask 1014 or 1015 provided at the remaining ends of the deposition mask 1010 includes the unit. A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided at ends of the deposition masks 1014 and 1015 that are parallel to the remaining ends and furthest from the center of the deposition mask. . The remaining regions of the deposition mask 1010 are provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end, similarly to the deposition mask 910 according to the ninth embodiment.

즉, 전술한 제 9 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1010)의 경우에는, 증착용 마스크(1010)의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015)의 상기 증착용 마스크(1010)의 단부 방향의 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(1010)의 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(1012, 1013, 1014, 1015)들 이외의 단위 증착용 마스크(1016)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the deposition mask according to the ninth embodiment described above, in each unit deposition mask provided at the ends of the deposition mask, openings of a dot pattern are provided over the entire area of each unit deposition mask. Is a mask. However, in the case of the deposition mask 1010 according to the present embodiment, in each unit deposition mask (1012, 1013, 1014, 1015) provided at the ends of the deposition mask 1010, for each unit deposition Openings in a dot pattern are provided only at ends of the masks 1012, 1013, 1014, and 1015 in the end direction of the deposition mask 1010, and the rest of the unit deposition masks 1012, 1013, 1014, and 1015 are provided. The region is provided with openings in a stripe pattern. Of course, the unit deposition masks 1016 other than the unit deposition masks 1012, 1013, 1014, and 1015 provided at the end of the deposition mask 1010 are provided with stripe pattern openings.

도 13에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 13, although the openings of the unit deposition masks are roughly provided to schematically illustrate the present embodiment, the actual unit deposition masks are closely provided so that they are difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the opening of the dot pattern is provided at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings due to the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 14는 본 발명의 바람직한 제 11 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.14 is a plan view schematically showing a deposition mask according to an eleventh preferred embodiment of the present invention.

도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1110)에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1110)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다. 이때, 상기 증착용 마스크(1110)의 일 단부(1112) 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부(1113)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역(1114)에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.Referring to FIG. 14, one deposition mask 1110 is provided in one deposition deposition mask 1110. That is, the deposition mask 1110 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel. In this case, one end 1112 of the deposition mask 1110 and the other end 1113 facing the one end are provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the deposition mask ( 1114 is provided with openings in a continuous stripe pattern parallel to the one end.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 특히, 도 14 에 도시된 바와 같은 대형 마스크를 사용하여 하나의 대형 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서는 상기 마스크와 박막이 증착되는 대상과의 밀착이 중요한 바, 상기 마스크에 큰 인장력이 가해지게 된다. 이때, 상기 마스크에 형성된 개구부들이 스트라이프 패턴의 개구부들일 경우, 상기 인장력에 의해 상기 마스크의 단부에 구비된 스트라이프 패턴의 개구부들이 변형되어 원 형상대로 증착이 이루어지지 않는다. 전술한 바와 같이, 이러한 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 14에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트형 패턴의 개구부들이 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . In particular, in the process of manufacturing one large display panel using a large mask as shown in FIG. 14, close contact between the mask and the object on which the thin film is deposited is important, and thus a large tensile force is applied to the mask. In this case, when the openings formed in the mask are the openings of the stripe pattern, the openings of the stripe pattern provided at the end of the mask are deformed by the tensile force, and thus deposition is not performed in a circular shape. As mentioned above, the deformation of these openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Thus, as shown in FIG. 14, the openings at the end of the mask may be openings of the dot pattern having less deformation than the openings of the stripe pattern, thereby preventing deformation at the end of the mask.

또한, 상기 증착용 마스크(1110)의 나머지 영역(1114)에는 상기 증착용 마스크(1110)의 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 이는 상기 마스크(1110)의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되더라도 상기 마스크(1110)에 인가되는 인장력에 의한 개구부들의 변형이 작기 때문이다. In addition, the remaining region 1114 of the deposition mask 1110 is provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the deposition mask 1110, which is located at the center of the mask 1110. This is because the deformation of the openings due to the tensile force applied to the mask 1110 is small even if the openings of the stripe pattern are provided.

전계발광 디스플레이 장치를 제조함에 있어서, 휘도 등을 향상시키기 위해 각 부화소의 발광면적을 넓히는 것이 필요하고, 이에 따라 발광층이 포함되는 중간층 등을 형성함에 있어서 사용되는 마스크의 개구부의 크기도 커져야 한다. 이때 도트 패턴의 개구부가 구비된 마스크를 이용할 경우에는 각 부화소에 따른 개구부들 사이의 간격이 좁아지게 되고, 따라서 상기 마스크의 제조 수율이 하락하는 등의 문제점이 발생하게 된다. 따라서 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구 비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In manufacturing an electroluminescent display device, it is necessary to widen the light emitting area of each subpixel in order to improve the brightness and the like, and accordingly, the size of the opening of the mask used in forming the intermediate layer or the like including the light emitting layer should be increased. In this case, when using a mask having an opening of a dot pattern, the gap between the openings according to each subpixel is narrowed, and thus a problem such as a decrease in the manufacturing yield of the mask occurs. Therefore, by having the openings of the stripe pattern in the center portion, it is possible to easily manufacture a mask having a high aperture ratio at low cost.

도 15는 본 발명의 바람직한 제 12 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.Fig. 15 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a twelfth preferred embodiment of the present invention.

도 15를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1210)에도, 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1210)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다.Referring to FIG. 15, one unit deposition mask is also provided in the deposition mask 1210 according to the present embodiment. That is, the deposition mask 1210 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1210)가 전술한 제 11 실시예에 따른 증착용 마스크와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1210)의 각각의 단부(1212, 1213, 1214, 1215)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크(1210)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 1210 according to the present embodiment differs from the deposition mask according to the eleventh embodiment described above at each end 1212, 1213, 1214, 1215 of the deposition mask 1210. A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask 1210 is provided with a continuous stripe pattern opening parallel to the one end.

즉, 전술한 제 11 실시예에 따른 증착용 마스크(1110)의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1210)의 경우에는, 증착용 마스크(1210)의 모든 단부들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the deposition mask 1110 according to the eleventh embodiment described above, openings of a dot pattern are provided only at one end of the deposition mask and the other end facing the one end of the deposition mask. The unit deposition masks provided at the other ends are provided with openings of stripe patterns. In the case of the deposition mask 1210 according to the present embodiment, all the ends of the deposition mask 1210 may have dot patterns. The difference is that the openings are provided.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 개구부들에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In this way, openings of a dot pattern are provided at all ends of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings provided at the ends of the deposition mask even when a tensile force is applied in all directions of the deposition mask. can do. In addition, since the openings of the stripe pattern are provided in the center portion, a mask having a high aperture ratio can be easily manufactured at low cost.

도 16은 본 발명의 바람직한 제 13 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 16 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a thirteenth preferred embodiment of the present invention.

도 16을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1310)에는 복수개의 단위 증착용 마스크(1312, 1313, 1314, 1315, 1316)들이 구비되어 있다. 각각의 단위 증착용 마스크(1312, 1313, 1314, 1315, 1316)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 16, the deposition mask 1310 according to the present exemplary embodiment includes a plurality of unit deposition masks 1312, 1313, 1314, 1315, and 1316. Each unit deposition mask 1312, 1313, 1314, 1315, and 1316 corresponds to one display panel.

이때, 상기 증착용 마스크(1310)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1312, 1313)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 그리고 상기 증착용 마스크(1310)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(1312, 1313)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(1314, 1315, 1316)들에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.In this case, each of the unit deposition masks 1312 and 1313 provided at one end of the deposition mask 1310 and the other end facing the one end is provided with a plurality of discontinuous dot patterns. The remaining unit deposition masks 1314, 1315, and 1316 except for the unit deposition masks 1312 and 1313 provided at the remaining area of the deposition mask 1310, that is, the one end and the other end facing the one end. ) Have openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of openings of a discontinuous dot pattern.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 이때, 상기 마스크에 형성된 개구부들이 스트라이프 패턴의 개구부들일 경우, 상기 인장력에 의해 상기 마스크의 단부에 위치한 단위 증착용 마스크의 개구부들이 변형되어 원 형상대로 증착이 이루어지지 않는다. 전술한 바와 같이, 이러한 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 16에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트 패턴의 개구부들이 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다. As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . In this case, when the openings formed in the mask are openings of the stripe pattern, the openings of the unit deposition mask positioned at the end of the mask are deformed by the tensile force, and thus the deposition is not performed in a circular shape. As mentioned above, the deformation of these openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Therefore, as shown in FIG. 16, the openings at the end of the mask may be openings of the dot pattern having less deformation than the openings of the stripe pattern, thereby preventing deformation at the end of the mask.

또한, 상기 증착용 마스크(1310)의 나머지 영역, 즉 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(1312, 1313)들을 제외한 나머지 단위 증착용 마스크(1314, 1315, 1316)들에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 복수개의 디스플레이 패널을 동시에 제조하는 경우, 증착용 마스크의 크기가 더욱 커짐에 따라 상기 증착용 마스크의 중앙부에서도 개구부의 변형이 발생할 수 있는 바, 상기 마스크(1310)의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 하는 것이다.In addition, the remaining unit deposition masks 1314, 1315, except for the unit deposition masks 1312 and 1313 provided at the remaining area of the deposition mask 1310, that is, the one end and the other end facing the one end. 1316 are provided with openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end and openings of a plurality of discontinuous dot patterns. In the case of manufacturing a plurality of display panels at the same time, as the size of the deposition mask becomes larger, deformation of the opening may occur in the center portion of the deposition mask, and the opening portion of the stripe pattern is formed in the center portion of the mask 1310. A plurality of discontinuous dot pattern openings may be provided.

도 17은 본 발명의 바람직한 제 14 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 17 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a fourteenth preferred embodiment of the present invention.

도 17을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1410)에도 복수개의 단위 증착용 마스크(1412, 1413, 1414, 1415, 1416)들이 구비되어 있다. 각각의 단위 증착용 마스크(1412, 1413, 1414, 1415, 1416)는 하나의 디스플레이 패널에 대응된다.Referring to FIG. 17, a plurality of unit deposition masks 1412, 1413, 1414, 1415, and 1416 are also provided in the deposition mask 1410 according to the present embodiment. Each unit deposition mask 1412, 1413, 1414, 1415, and 1416 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1410)가 전술한 제 13 실시예에 따른 증착용 마스크(1310)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1410)의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1412, 1413)에는, 상기 단위 증착용 마스크(1412, 1413)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(1410)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크(1410)의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있으며, 상기 증착용 마스크(1410)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 1410 according to the present embodiment differs from the deposition mask 1310 according to the thirteenth embodiment described above in that the other end facing the one end and the one end of the deposition mask 1410 is different. Each of the unit deposition masks 1412 and 1413 provided at an end thereof is parallel to the one end of the deposition mask 1410 among the ends of the unit deposition masks 1412 and 1413 and the deposition mask ( A plurality of discontinuous dot patterns openings are provided at the end of the center that is farthest from the center, and the remaining strips of the deposition mask 1410 have openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end. And openings of a plurality of discrete dot patterns.

즉, 전술한 제 13 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1410)의 경우에는, 서로 마주보는 양 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1412, 1413)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(1412, 1413)의 상기 증착용 마스크의 단부 방향의 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(1412, 1413)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(1410)의 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(1412, 1413)들 이외의 단위 증착용 마스크(1414)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the case of the deposition mask according to the thirteenth embodiment described above, in each unit deposition mask provided at both ends of the deposition mask facing each other, the opening of the dot pattern over the entire area of each unit deposition mask Are masks provided. However, in the case of the deposition mask 1410 according to the present embodiment, in each of the unit deposition masks 1412 and 1413 provided at both ends facing each other, the masks of the unit deposition masks 1412 and 1413 are respectively described. Openings of a dot pattern are provided only at an end portion of the deposition mask in an end direction, and openings of a stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns are provided in the remaining areas of the unit deposition masks 1412 and 1413. have. Of course, the unit deposition masks 1414 other than the unit deposition masks 1412 and 1413 provided at the end of the deposition mask 1410 may include openings of a stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns. It is.

도 17에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 17, the openings of the unit deposition masks are roughly provided to schematically illustrate the present embodiment. However, the actual unit deposition masks are closely provided so that they are difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the opening of the dot pattern is provided at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings due to the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns are provided in the center part, a mask having a high opening ratio can be easily manufactured at low cost.

도 18은 본 발명의 바람직한 제 15 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다.18 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a fifteenth preferred embodiment of the present invention.

도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1510)에도 각각 하나의 패널에 대응되는 복수개의 단위 증착용 마스크(1512, 1513, 1514, 1515, 1516)들이 구비되어 있다. Referring to FIG. 18, the deposition mask 1510 according to the present exemplary embodiment includes a plurality of unit deposition masks 1512, 1513, 1514, 1515, and 1516 corresponding to one panel, respectively.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1510)가 전술한 제 13 실시예에 따른 증착용 마스크(1310)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1510)의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1512, 1513, 1514, 1515)에는 복수개의 불연속적인 도트 패 턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크(1510)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 1510 according to the present embodiment is different from the deposition mask 1310 according to the thirteenth embodiment described above, and each unit deposition mask provided at the ends of the deposition mask 1510. 1515, 1513, 1514, and 1515 are provided with a plurality of discontinuous dot patterns, and the remaining area of the deposition mask 1510 includes a plurality of openings and a plurality of continuous stripe patterns parallel to one end. Openings of a discontinuous dot pattern are provided.

즉, 전술한 제 13 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들, 그리고 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비되는 단위 증착용 마스크들에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1510)에서는 증착용 마스크(1510)의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들(1512, 1513, 1514, 1515)에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the case of the deposition mask according to the thirteenth embodiment, only the unit deposition masks provided at one end of the deposition mask, and the unit deposition masks provided at the other end facing the one end The openings of the dot pattern were provided, and the unit deposition masks provided at the other ends of the deposition masks were provided with the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns. The deposition mask 1510 has a difference in that the dot pattern openings are provided in the unit deposition masks 1512, 1513, 1514, and 1515 provided at all ends of the deposition mask 1510.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 구비되는 단위 증착용 마스크들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크의 패턴에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As such, the openings of the dot pattern are provided in the unit deposition masks provided at all ends of the deposition mask, so that even if a tensile force is applied in all directions of the deposition mask, Deformation can be prevented from occurring in the pattern of the unit deposition mask. In addition, since the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns are provided in the center part, a mask having a high opening ratio can be easily manufactured at low cost.

도 19는 본 발명의 바람직한 제 16 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. Fig. 19 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a sixteenth preferred embodiment of the present invention.

도 19를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1610)에도 복수개의 단 위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615, 1616)들이 구비되어 있다. 물론, 각각의 단위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615, 1616)는 하나의 디스플레이 패널에 대응하는 것이다.Referring to FIG. 19, a plurality of unit deposition masks 1612, 1613, 1614, 1615, and 1616 are also provided in the deposition mask 1610 according to the present embodiment. Of course, each unit deposition mask 1612, 1613, 1614, 1615, and 1616 corresponds to one display panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1610)가 전술한 제 15 실시예에 따른 증착용 마스크(1510)와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1610)의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1612, 1613)에는, 상기 단위 증착용 마스크(1612, 1613)의 단부들 중 상기 증착용 마스크(1610)의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크(1610)의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크(1614, 1615)에는, 상기 단위 증착용 마스크(1614, 1615)의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다. 상기 증착용 마스크(1610)의 나머지 영역에는 전술한 제 15 실시예에 따른 증착용 마스크(1610)와 동일하게, 상기 증착용 마스크(1610) 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.The deposition mask 1610 according to the present embodiment differs from the deposition mask 1510 according to the fifteenth embodiment described above by one end of the deposition mask 1610 and the other end facing the one end. Each of the unit deposition masks 1612 and 1613 provided in the unit deposition mask is parallel to the one end of the deposition mask 1610 among the ends of the unit deposition masks 1612 and 1613 and disposed at the center of the deposition mask. A plurality of discontinuous dot patterns openings are provided at an end farthest from the distance, and each unit deposition mask 1614 and 1615 provided at the remaining ends of the deposition mask 1610 includes the unit. A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided at ends of the deposition masks 1614 and 1615 that are parallel to the remaining ends and furthest from the center of the deposition mask. . In the remaining area of the deposition mask 1610, a plurality of openings and a plurality of continuous stripe patterns parallel to the ends of the deposition mask 1610 are formed, similar to the deposition mask 1610 according to the fifteenth embodiment. Openings of discrete dot patterns are provided.

즉, 전술한 제 15 실시예에 따른 증착용 마스크의 경우에는 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 있어서, 각 단위 증착용 마스크 전 영역에 걸쳐서 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 마스크이다. 그러나 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1610)의 경우에는, 증착용 마스크(1610)의 단부들에 구비 된 각각의 단위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615)에 있어서, 각 단위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615)의 상기 증착용 마스크(1610)의 단부 방향의 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 각 단위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615)의 나머지 영역에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다. 물론 상기 증착용 마스크(1610)의 단부에 구비된 단위 증착용 마스크(1612, 1613, 1614, 1615)들 이외의 단위 증착용 마스크(1616)들에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.That is, in the deposition mask according to the fifteenth embodiment described above, in each unit deposition mask provided at the ends of the deposition mask, openings of a dot pattern are provided over the entire area of each unit deposition mask. Is a mask. However, in the case of the deposition mask 1610 according to the present embodiment, in each unit deposition mask (1612, 1613, 1614, 1615) provided at the ends of the deposition mask 1610, for each unit deposition Only the end portions of the masks 1612, 1613, 1614, and 1615 in the end direction of the deposition mask 1610 are provided with openings of a dot pattern, and the rest of the unit deposition masks 1612, 1613, 1614, and 1615 are provided. The region is provided with openings in a stripe pattern and openings in a plurality of discrete dot patterns. Of course, the unit deposition masks 1616 other than the unit deposition masks 1612, 1613, 1614, and 1615 provided at the end of the deposition mask 1610 may include stripe pattern openings and a plurality of discrete dot patterns. Openings are provided.

도 19에서는 본 실시예를 개략적으로 도시하기 위해 각 단위 증착용 마스크의 개구부들이 성기게 구비된 것처럼 도시되어 있으나, 실제의 단위 증착용 마스크에는 육안으로는 식별하기 어려울 만큼 촘촘하게 구비되어 있음은 물론이다.In FIG. 19, although the openings of the unit deposition masks are roughly provided to schematically illustrate the present embodiment, the actual unit deposition masks are closely provided so that they are difficult to identify with the naked eye. .

전술한 바와 같이, 증착용 마스크에 스트라이프 패턴의 개구부들이 형성되어 있을 경우, 상기 마스크에 인가되는 인장력에 의해 가장 큰 변형이 발생하는 부분은 상기 마스크의 단부에 구비된 개구부들인바, 특히 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부들에 구비된 개구부들이다. 따라서 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각 단위 증착용 마스크의 단부에는 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 인장력에 의한 개구부들의 변형을 방지할 수 있는 것이다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.As described above, when the stripe pattern openings are formed in the deposition mask, the portion where the greatest deformation occurs due to the tensile force applied to the mask is the openings provided at the end of the mask. Openings are provided at the ends of each unit deposition mask provided at the end of the mask. Therefore, the opening of the dot pattern is provided at the end of each unit deposition mask provided at the end of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings due to the tensile force. In addition, since the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns are provided in the center part, a mask having a high opening ratio can be easily manufactured at low cost.

도 20은 본 발명의 바람직한 제 17 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 20 is a plan view schematically showing a deposition mask according to a seventeenth preferred embodiment of the present invention.

도 20을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1710)에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1710)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다. 이때, 상기 증착용 마스크(1710)의 일 단부(1712) 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부(1713)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역(1714)에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다.Referring to FIG. 20, one deposition mask 1710 is provided with one deposition mask 1710. That is, the deposition mask 1710 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel. In this case, one end 1712 of the deposition mask 1710 and the other end 1713 facing the one end are provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the deposition mask ( 1714 includes openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end and openings of a plurality of discontinuous dot patterns.

전술한 바와 같이, 소정의 박막을 증착하기 위해 마스크가 박막이 증착되는 대상에 부착되는 바, 상기 마스크의 무게에 의해 마스크가 처지게 되므로 이를 방지하기 위해 상기 마스크에 인장력을 가하여 프레임에 고정하게 된다. 이때, 전술한 바와 같이, 개구부들의 변형은 상기 마스크의 단부의 개구부들에서 더 크게 발생한다. 따라서 상기 마스크의 단부의 개구부들을, 도 20에 도시된 바와 같이, 스트라이프 패턴의 개구부들보다 변형이 적은 도트형 패턴의 개구부들이 되도록 함으로써, 상기 마스크의 단부에서의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the mask is attached to the object on which the thin film is to be deposited to deposit a predetermined thin film, and thus the mask is sag due to the weight of the mask. . At this time, as described above, the deformation of the openings occurs larger in the openings at the ends of the mask. Thus, as shown in FIG. 20, the openings at the end of the mask may be openings of the dot pattern having less deformation than the openings of the stripe pattern, thereby preventing deformation at the end of the mask.

또한, 상기 증착용 마스크(1710)의 나머지 영역(1714)에는 상기 증착용 마스크(1710)의 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 이는 상기 마스크(1710)의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구 부들이 혼재되어 있더라도 상기 마스크(1710)에 인가되는 인장력에 의한 개구부들의 변형이 작기 때문이다. In addition, the remaining area 1714 of the deposition mask 1710 includes openings of a continuous stripe pattern parallel to one end of the deposition mask 1710 and a plurality of discontinuous dot patterns. This is because the deformation of the openings due to the tensile force applied to the mask 1710 is small even when the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns are mixed in the center portion of the mask 1710.

도 21은 본 발명의 바람직한 제 18 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 도시하는 평면도이다. Fig. 21 is a plan view schematically showing a deposition mask according to an eighteenth preferred embodiment of the present invention.

도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1810)에도, 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되어 있다. 즉 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1810)는 한 개의 대형 패널을 제조하기 위한 마스크이다.Referring to FIG. 21, one unit deposition mask is also provided in the deposition mask 1810 according to the present embodiment. That is, the deposition mask 1810 according to the present embodiment is a mask for manufacturing one large panel.

본 실시예에 따른 증착용 마스크(1810)가 전술한 제 17 실시예에 따른 증착용 마스크와 다른 점은, 상기 증착용 마스크(1810)의 각각의 단부(1812, 1813, 1814, 1815)에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있고, 상기 증착용 마스크(1810)의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 것이다.The deposition mask 1810 according to the present embodiment differs from the deposition mask according to the seventeenth embodiment described above at each end 1812, 1813, 1814, 1815 of the deposition mask 1810. A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask 1810 includes openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot pattern openings. will be.

즉, 전술한 제 17 실시예에 따른 증착용 마스크(1710)의 경우에는, 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에만 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있었고, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부에 구비된 단위 증착용 마스크들에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있는 바, 본 실시예에 따른 증착용 마스크(1810)의 경우에는, 증착용 마스크(1810)의 모든 단부들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되어 있다는 점에서 차이가 있다. That is, in the deposition mask 1710 according to the seventeenth embodiment described above, openings of a dot pattern were provided only at one end of the deposition mask and the other end facing the one end of the deposition mask. The unit deposition masks provided at the other end are provided with openings of a stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns. In the case of the deposition mask 1810 according to the present embodiment, the deposition mask ( The difference is that all of the ends of 1810 are provided with openings in a dot pattern.

이와 같이 증착용 마스크의 모든 단부들에 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 상기 증착용 마스크의 사방으로 인장력을 인가하더라도 상기 증착용 마스크의 단부에 구비된 각각의 개구부들에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함으로써, 개구율이 높은 마스크를 손쉽게 저비용으로 제조할 수 있는 것이다.In this way, openings of a dot pattern are provided at all ends of the deposition mask, thereby preventing deformation of the openings provided at the ends of the deposition mask even when a tensile force is applied in all directions of the deposition mask. can do. In addition, since the openings of the stripe pattern and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns are provided in the center part, a mask having a high opening ratio can be easily manufactured at low cost.

한편, 상술한 실시예들의 변형예로서, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 8에 도시된 것과 같이, 전술한 제 5 실시예에 따른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. 또한, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 9에 도시된 것과 같이, 전술한 제 6 실시예에 따른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. On the other hand, as a modification of the above-described embodiments, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask, as shown in Figure 8, according to the fifth embodiment described above A deposition mask in the form of a deposition mask may be considered. In addition, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask, as shown in Figure 9, for the deposition having the form of the deposition mask according to the sixth embodiment described above Masks may also be considered.

그리고, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 14에 도시된 것과 같이, 전술한 제 11 실시예에 따른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. 또한, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 15에 도시된 것과 같이, 전술한 제 12 실시예에 따른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. And, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask, as shown in Figure 14, for the deposition having the form of the deposition mask according to the eleventh embodiment described above Masks may also be considered. In addition, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask, as shown in Figure 15, for the deposition having the form of a deposition mask according to the twelfth embodiment described above Masks may also be considered.

물론, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 20에 도시된 것과 같이, 전술한 제 17 실시예에 따 른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. 또한, 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크가, 도 21에 도시된 것과 같이, 전술한 제 18 실시예에 따른 증착용 마스크의 형태를 갖는 증착용 마스크를 고려할 수도 있다. Of course, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask has a form of a deposition mask according to the above-described seventeenth embodiment, as shown in FIG. Consider wearing masks. In addition, in the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each unit deposition mask, as shown in Figure 21, the deposition having the form of a deposition mask according to the above-described eighteenth embodiment Masks may also be considered.

도 22는 상기 실시예들에 따른 증착용 마스크를 구비한 증착 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.22 is a schematic cross-sectional view of a deposition apparatus having a deposition mask according to the embodiments.

전술한 바와 같은 실시예들에 따른 박막 증착용 마스크들은 도 22에서 볼 수 있는 바와 같은 증착장치에 장착되어 증착을 행하게 된다.The thin film deposition masks according to the embodiments as described above are mounted on the deposition apparatus as shown in FIG. 22 to perform deposition.

도 22를 참조하면, 마스크(1)를 이용하여 전계발광 디스플레이 장치의 박막, 즉 적색, 녹색 및 청색 등의 빛을 방출하는 발광부를 포함하는 중간층을 증착하기 위해서는, 진공챔버(2)에 설치된 박막 증착 용기(crucible ; 3)와 대응되는 측에 마스크와 결합된 프레임(4)을 설치하고 이의 상부에 박막 등이 형성될 대상물(5)을 장착한다. 그리고 그 상부에는 프레임(4)에 지지된 마스크(1)를 박막 등이 형성될 대상물(5)에 밀착시키기 위한 마그네트 유니트(6)를 구동시켜 상기 마스크(1)가 상기 박막 등이 형성될 대상물(5)에 밀착되도록 한다. 이 상태에서 상기 박막 증착 용기(3)의 작동으로 이에 장착된 물질이 상기 대상물(5)에 증착되게 된다. Referring to FIG. 22, in order to deposit a thin film of an electroluminescent display device using a mask 1, that is, an intermediate layer including a light emitting part emitting light such as red, green, and blue, the thin film provided in the vacuum chamber 2 is used. The frame 4 coupled with the mask is installed on the side corresponding to the deposition container 3 and the object 5 on which the thin film or the like is to be formed is mounted. In addition, the magnet unit 6 for driving the mask 1 supported on the frame 4 to the object 5 on which the thin film is to be formed is driven on the upper portion of the mask 1 to form the thin film or the like. To be in close contact with (5). In this state, the operation of the thin film deposition container 3 causes the material attached thereto to be deposited on the object 5.

물론 상기 증착장치는 도 22에 도시된 것과 같은 구조에 한정되지 않음은 물론이다.Of course, the deposition apparatus is not limited to the structure as shown in FIG.

도 23에는 전술한 실시예들 및 그 변형예들에 따른 마스크를 이용하여 중간층이 형성된 전계발광 디스플레이 장치의 화소 패턴의 일례가 개략적으로 도시되어 있다. FIG. 23 schematically illustrates an example of a pixel pattern of an electroluminescent display device in which an intermediate layer is formed using a mask according to the above-described embodiments and modified examples thereof.

전계발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비한다. The electroluminescent display device includes an intermediate layer including a first electrode and a second electrode facing each other, and at least an emission layer interposed between the first electrode and the second electrode.

전술한 실시예들에 따른 증착용 마스크들을 사용하여 전계발광 디스플레이 장치를 제조하였을 시, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층의 패터닝은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. When the electroluminescent display device is manufactured using the deposition masks according to the above-described embodiments, the patterning of the intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device may be performed by continuous stripe patterns parallel to the one end. And a plurality of discontinuous dot patterns, and the intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to the one end.

도 23은 도 5에 도시된 바와 같은 제 2 실시예에 따른 마스크를 사용하여 발광층을 증착하였을 때 상기 마스크의 단부에서 제조되는 전계발광 디스플레이 장치에 나타나는 중간층, 특히 발광층의 패턴을 보여주고 있다. 도 23을 참조하면, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들(1920R, 1920G, 1920B)과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들(1910R, 1910G, 1910B)을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖고 있다. FIG. 23 shows a pattern of an intermediate layer, particularly a light emitting layer, which appears in an electroluminescent display device manufactured at an end of the mask when the light emitting layer is deposited using the mask according to the second embodiment as shown in FIG. 5. Referring to FIG. 23, an intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device may include continuous stripe patterns 1920R, 1920G, and 1920B parallel to the one end, and a plurality of discontinuous dot patterns 1910R, 1910G and 1910B, and the middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to the one end.

전계발광 디스플레이 장치의 경우, 각 발광층은 적색, 녹색 및 청색이 될 수 있는 바, 각각의 색의 발광층별로 서로 다른 공정에서 증착이 이루어진다. 즉, 적색광을 방출할 부화소 영역의 패턴에 대응되는 개구부들을 갖는 마스크를 이용하여 적색광을 방출할 발광층을 증착하고, 녹색광을 방출할 부화소 영역의 패턴에 대응되는 개구부들을 갖는 마스크를 이용하여 녹색광을 방출할 발광층을 증착하며, 청색광을 방출할 부화소 영역의 패턴에 대응되는 개구부들을 갖는 마스크를 이용하여 청색광을 방출할 발광층을 증착한다. 따라서 도 23에 도시된 바와 같은 발광층의 패턴의 경우, 도 5에 도시된 바와 같은 제 2 실시예에 따른 마스크를 사용하여 발광층을 증착하였을 때 나타나게 된다. In the case of the electroluminescent display device, each light emitting layer may be red, green, and blue, and the light emitting layer of each color is deposited in a different process. That is, a light emitting layer for emitting red light is deposited by using a mask having openings corresponding to a pattern of subpixel regions to emit red light, and green light using a mask having openings corresponding to a pattern of subpixel areas to emit green light. A light emitting layer for emitting blue light is deposited, and a light emitting layer for emitting blue light is deposited using a mask having openings corresponding to patterns of subpixel regions to emit blue light. Therefore, in the case of the pattern of the light emitting layer as shown in Figure 23, it appears when the light emitting layer is deposited using a mask according to the second embodiment as shown in FIG.

이러한 패턴으로 부화소들을 구성하게 되면, 증착용 마스크의 피치 정밀도가 높기 때문에 매우 정밀한 화소간 피치를 구현할 수 있게 된다. 따라서, 대형 디스플레이 장치의 경우에도 화소간 피치 정밀도가 높아, 고화질 디스플레이 장치를 구현할 수 있으며, 증착 과정에서 증착용 마스크의 개구부들이 변형됨에 따른 수율 저하를 방지할 수 있다. When the subpixels are formed in such a pattern, a very precise inter-pixel pitch can be realized because the pitch precision of the deposition mask is high. Therefore, even in the case of a large display device, the pitch precision between pixels is high, and thus a high quality display device can be realized, and a yield decrease can be prevented as the openings of the deposition mask are deformed during the deposition process.

도 23에는 전술한 제 2 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용하였을 시 나타나는 발광층의 패턴만을 도시하고 있으나, 전술한 다양한 실시예들에 따른 증착용 마스크들을 사용하여, 화소간 피치 정밀도가 높은 고화질 디스플레이 장치를 구현할 수 있으며, 증착 과정에서 증착용 마스크의 개구부들이 변형됨에 따른 수율 저하를 방지할 수 있다. FIG. 23 illustrates only a pattern of a light emitting layer that appears when the deposition mask according to the second embodiment is used, but a high-definition display having high pitch accuracy between pixels using deposition masks according to the aforementioned various embodiments. It is possible to implement the device, it is possible to prevent a decrease in yield as the openings of the deposition mask is deformed during the deposition process.

즉, 도 8에 도시된 바와 같은 제 5 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플 레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. That is, when the deposition mask according to the fifth embodiment as shown in FIG. 8 is used, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end, At least one continuous stripe pattern in parallel and a plurality of discontinuous dot patterns, and an intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device have continuous stripe patterns parallel to the one end.

또한, 도 9에 도시된 바와 같은 제 6 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 단부들의 중간층은, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. In addition, when the deposition mask according to the sixth embodiment as shown in FIG. 9 is used, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end, At least one continuous stripe pattern in parallel and a plurality of discontinuous dot patterns, wherein an intermediate layer of the remaining ends of the electroluminescent display device comprises at least one continuous stripe pattern in parallel with the remaining ends, and Discontinuous dot patterns, and an intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to the one end.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같은 제 8 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 상기 증착용 마스크의 단부에서 제조된 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. And, in the case of using the deposition mask according to the eighth embodiment as shown in Figure 11, the intermediate layer of one end of the end of the electroluminescent display device manufactured at the end of the deposition mask, a plurality of discontinuous The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device having dot patterns has continuous stripe patterns parallel to the one end.

또한, 도 14에 도시된 바와 같은 제 11 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. In addition, in the case of using the deposition mask according to the eleventh embodiment as illustrated in FIG. 14, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer at the other end facing the one end are provided with a plurality of discontinuities. Conventional dot patterns, and the middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to the one end.

한편, 도 15에 도시된 바와 같은 제 12 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖게 된다. Meanwhile, in the case of using the deposition mask according to the twelfth embodiment as shown in FIG. 15, an intermediate layer of the ends of the electroluminescent display device includes a plurality of discontinuous dot patterns, The middle layer of the remaining area has continuous stripe patterns parallel to one of the ends of the electroluminescent display device.

만일, 도 20에 도시된 바와 같은 제 17 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖게 된다. If the deposition mask according to the seventeenth embodiment as shown in FIG. 20 is used, one of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer at the other end facing the one end are provided with a plurality of discontinuities. Conventional dot patterns, and the middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns.

그리고, 도 21에 도시된 바와 같은 제 18 실시예에 따른 증착용 마스크를 사용한 경우에는, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖게 된다. And, in the case of using the deposition mask according to the eighteenth embodiment as shown in Figure 21, the intermediate layer of the ends of the electroluminescent display device is provided with a plurality of discontinuous dot patterns, of the electroluminescent display device The middle layer of the remaining region has continuous stripe patterns and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to one of the ends of the electroluminescent display device.

또한 전술한 실시예들에 따른 증착용 마스크의 변형예들을 이용함으로써, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 상기 타 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복 수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖도록 할 수도 있다. In addition, by using variations of the deposition mask according to the above embodiments, the intermediate layer of one end of the end of the electroluminescent display device, at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuities And an intermediate layer of one of the other ends formed at an angle of 90 ° to the one end, the at least one continuous stripe pattern parallel to the other end, and a plurality of discrete dots. The middle layer of the remaining area of the electroluminescent display device may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

물론, 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층과, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖도록 할 수도 있다.Of course, the middle layer of one end of the ends of the electroluminescent display device and the middle layer of one of the other ends forming an angle of 90 ° with the one end may include a plurality of discontinuous dot patterns, The middle layer of the remaining area of the light emitting display device may have continuous stripe patterns parallel to the one end.

이러한 전계발광 디스플레이 장치의 각 부화소들은 패시브 매트릭스 방식 또는 액티브 매트릭스 방식으로 형성될 수 있다. Each subpixel of the electroluminescent display device may be formed in a passive matrix method or an active matrix method.

도 24에는 패시브 매트릭스 방식의 일 예를 도시한 것으로, 기판(2200) 상에 제 1 전극층(2210)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 이 제 1 전극층(2210)의 상부로 발광층을 포함하는 중간층(2260) 및 제 2 전극층(2270)이 순차로 형성된다. 상기 제 1 전극층(2210)의 각 라인 사이에는 절연층(2220)이 더 개재될 수 있으며, 상기 제 2 전극층(2270)은 상기 제 1 전극층(2210)의 패턴과 직교하는 패턴으로 형성될 수 있다. 24 illustrates an example of a passive matrix method. An intermediate layer 2260 having a first electrode layer 2210 formed in a stripe pattern on a substrate 2200 and including an emission layer on the first electrode layer 2210. ) And the second electrode layer 2270 are sequentially formed. An insulating layer 2220 may be further interposed between the lines of the first electrode layer 2210, and the second electrode layer 2270 may be formed in a pattern orthogonal to the pattern of the first electrode layer 2210. .

상기 중간층(2260)은 유기물 또는 무기물로 구비될 수 있는데, 유기물을 이용할 경우에는 저분자 또는 고분자 유기물이 사용될 수 있다. 저분자 유기물을 사용할 경우, 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer) 등의 제1유기층(2230)과, 유기 발광층(EML: Emission Layer, 2240), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등의 제2유기층(2240)이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기층은 진공증착의 방법으로 형성된다.The intermediate layer 2260 may be provided as an organic material or an inorganic material. When the organic material is used, a low molecular weight or high molecular organic material may be used. When using a low molecular weight organic material, a first organic layer 2230 such as a hole injection layer (HIL) and a hole transport layer (HTL), an organic emission layer (EML) 2240, an electron transport layer ( The second organic layer 2240, such as an Electron Transport Layer (ETL) and an Electron Injection Layer (EIL), may be formed by stacking a single or a complex structure, and the usable organic material may also be formed of copper phthalocyanine (CuPc: copper). phthalocyanine), N, N-di (naphthalen-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine (N, N'-Di (naphthalene-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine: NPB And tris-8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3). These low molecular weight organic layers are formed by the vacuum deposition method.

고분자 유기물을 이용할 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 등의 제1유기층(2230) 및 유기 발광층(EML:2240)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 제2유기층(2250)은 사용되지 않을 수 있다. 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용하며, 이를 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법 등으로 형성할 수 있다.In the case of using a polymer organic material, a structure including a first organic layer 2230 and an organic light emitting layer (EML: 2240), such as a hole transport layer (HTL), may be generally used. In this case, the second organic layer 2250 may not be used. Can be. PEDOT is used as the hole transporting layer, and polymer organic materials such as polyvinylvinylene (PPV) and polyfluorene based are used as the light emitting layer, and may be formed by screen printing or inkjet printing.

상기 유기층(2260) 중 유기 발광층(2240)이 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)으로 구비되어 풀칼라를 구현할 수 있는 데, 이는 전술한 바와 같은 실시예들에 따른 마스크들을 이용하여 형성될 수 있다. The organic light emitting layer 2240 of the organic layer 2260 may be provided as red (R), green (G), and blue (B) to implement a full color. It can be formed using.

상기 제 1 전극층(2210)은 애노드 전극의 기능을 하고, 상기 제 2 전극층(2270)은 캐소드 전극의 기능을 한다. 물론, 이들 제 1 전극층(2210)과 제 2 전극층(2270)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.The first electrode layer 2210 functions as an anode electrode, and the second electrode layer 2270 functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the first electrode layer 2210 and the second electrode layer 2270 may be reversed.

상기 제 1 전극층(2210)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3를 형성할 수 있다.The first electrode layer 2210 may be provided as a transparent electrode or a reflective electrode. When the first electrode layer 2210 is used as a transparent electrode, the first electrode layer 2210 may be provided as ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 . , Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, and a reflective film may be formed, and then ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 may be formed thereon.

한편, 상기 제 2 전극층(2270)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명전극으로 사용될 때에는 이 제 2 전극층(2270)이 캐소드 전극으로 사용되므로, 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물이 유기층(2260)의 방향을 향하도록 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3 등의 투명 전극 형성용 물질로 보조 전극층이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물을 증착하여 형성한다.Meanwhile, the second electrode layer 2270 may also be provided as a transparent electrode or a reflective electrode. When the second electrode layer 2270 is used as a transparent electrode, since the second electrode layer 2270 is used as a cathode, a metal having a small work function, that is, Li , Ca, LiF / Ca, LiF / Al, Al, Ag, Mg, and their compounds are deposited to face the organic layer 2260, and thereafter, such as ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 An auxiliary electrode layer or a bus electrode line may be formed of a material for forming a transparent electrode. And, when used as a reflective electrode is formed by depositing the above Li, Ca, LiF / Ca, LiF / Al, Al, Ag, Mg, and their compounds.

도면으로 도시되지는 않았지만, 이러한 전계발광 디스플레이 장치는 외부의 산소 및 수분의 침투가 차단되도록 밀봉된다.Although not shown in the drawings, such an electroluminescent display device is sealed to block the penetration of oxygen and moisture from the outside.

도 25에는 액티브 매트릭스형(AM type) 전계발광 디스플레이 장치의 한 부화소의 일 예를 도시하였다. 도 25에서 부화소들은 적어도 하나의 박막 트랜지스터와 자발광 소자인 전계발광 소자(OLED)를 갖는다.FIG. 25 illustrates an example of one subpixel of an active matrix type electroluminescent display device. In FIG. 25, the subpixels include at least one thin film transistor and an electroluminescent device (OLED) that is a self-emitting device.

상기 박막 트랜지스터는 반드시 도 25에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형 가능하다. 이러한 액티브 매트릭스형 전계발광 디스플레이 장치를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The thin film transistor is not necessarily limited to the structure shown in FIG. 25, and the number and structure may be variously modified. The active matrix electroluminescent display device will be described in more detail as follows.

도 25에서 볼 수 있듯이, 기판(2200)상에 SiO2, SiNx 등으로 버퍼층(2300)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(2300) 상부로 전술한 박막 트랜지스터가 구비된다. As shown in FIG. 25, a buffer layer 2300 is formed on SiO 2 , SiN x, or the like on the substrate 2200, and the thin film transistor described above is provided on the buffer layer 2300.

상기 박막 트랜지스터는 버퍼층(2300) 상에 형성된 반도체 활성층(2310)과, 이 활성층(2310)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(2320)과, 게이트 절연막(2320) 상부의 게이트 전극(2330)을 갖는다. 이 게이트 전극(2330)을 덮도록 층간 절연막(2340)이 형성되며, 층간 절연막(2340)의 상부에 소스 및 드레인 전극(2350)이 형성된다. 이 소스 및 드레인 전극(2350)은 게이트 절연막(2320) 및 층간 절연막(2340)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(2310)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다. 활성층(2310)은 무기반도체 또는 유기반도체로부터 선택되어 형성될 수 있다. The thin film transistor includes a semiconductor active layer 2310 formed on the buffer layer 2300, a gate insulating film 2320 formed to cover the active layer 2310, and a gate electrode 2330 on the gate insulating film 2320. An interlayer insulating film 2340 is formed to cover the gate electrode 2330, and source and drain electrodes 2350 are formed on the interlayer insulating film 2340. The source and drain electrodes 2350 are in contact with the source and drain regions of the active layer 2310 by contact holes formed in the gate insulating film 2320 and the interlayer insulating film 2340, respectively. The active layer 2310 may be selected from an inorganic semiconductor or an organic semiconductor.

상기 게이트 절연막(2320)은 SiO2 등으로 구비될 수 있는 데, 이 외에도 SiNx 등이 사용될 수 있고, SiO2와 SiNx의 이중막으로 구비될 수도 있다. The gate insulating film 2320 may be formed of SiO 2, etc. In addition, SiN x may be used, or may be provided as a double layer of SiO 2 and SiN x .

이 게이트 절연막(2320) 상부의 소정 영역에는 MoW, Al, Cr, Al/Cu 등의 도전성 금속막으로 게이트 전극(2330)이 형성된다. 상기 게이트 전극(2330)을 형성하는 물질에는 반드시 이에 한정되지 않으며, 도전성 폴리머 등 다양한 도전성 물질이 게이트 전극(2330)으로 사용될 수 있다. 상기 게이트 전극(2330)이 형성되는 영역은 활성층(2310)의 채널 영역에 대응된다.The gate electrode 2330 is formed of a conductive metal film such as MoW, Al, Cr, Al / Cu, etc. in a predetermined region above the gate insulating film 2320. The material forming the gate electrode 2330 is not limited thereto, and various conductive materials such as a conductive polymer may be used as the gate electrode 2330. The region where the gate electrode 2330 is formed corresponds to the channel region of the active layer 2310.

상기 층간 절연막(2340)은 SiO2나 SiNx 또는 이들의 화합물로 형성될 수 있고, 소스/드레인 전극(2350)은 전술한 게이트 전극(2330)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.The interlayer insulating layer 2340 may be formed of SiO 2 , SiN x, or a compound thereof, and the source / drain electrode 2350 may be formed of the same material as the gate electrode 2330 described above.

소스 및 드레인 전극(2350) 상부로는 SiO2, SiNx 등으로 이루어진 패시베이션막(2340)이 형성되고, 이 패시베이션막(2340)의 상부에는 아크릴, 폴리 이미드 등에 의한 평탄화막(2370)이 형성되어 있다. A passivation film 2340 made of SiO 2 , SiN x, or the like is formed on the source and drain electrodes 2350, and a planarization film 2370 made of acryl, polyimide, etc. is formed on the passivation film 2340. It is.

비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 상기 박막 트랜지스터에는 적어도 하나의 커패시터가 연결된다.Although not shown in the drawings, at least one capacitor is connected to the thin film transistor.

한편, 상기 소스/드레인 전극(2350)에 전계발광 소자(OLED)가 연결되는데, 상기 전계발광 소자(OLED)의 애노드 전극이 되는 제 1 전극층(2210)에 연결된다. 상기 제 1 전극층(2210)은 평탄화막(2370) 상부에 형성되어 있으며, 이 제 1 전극층(2210)을 덮도록 화소정의막(Pixel defining layer: 2380)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(2380)에 소정의 개구부를 형성한 후, 전계발광 소자(OLED)를 형성한다. Meanwhile, an electroluminescent device (OLED) is connected to the source / drain electrode 2350, and is connected to a first electrode layer 2210 that becomes an anode of the electroluminescent device (OLED). The first electrode layer 2210 is formed on the planarization layer 2370, and a pixel defining layer 2380 is formed to cover the first electrode layer 2210. After a predetermined opening is formed in the pixel definition film 2380, an electroluminescent element OLED is formed.

상기 전계발광 소자(OLED)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극(2350)에 연결되어 이로부터 플러스 전원을 공급받는 제 1 전극층(2210)과, 전체 화소를 덮도록 구비되어 마이너스 전원을 공급하는 제 2 전극층(2270) 및 이들 제 1 전극층(2210)과 제 2 전극층(2270)의 사이에 배치되어 발광하는 유기층(2260)으로 구성된다.The electroluminescent device (OLED) emits red, green, and blue light according to the flow of current to display predetermined image information. The first electrode layer 2210 to be supplied and the second electrode layer 2270 provided to cover all the pixels to supply negative power, and disposed between the first electrode layer 2210 and the second electrode layer 2270 to emit light. It is composed of an organic layer 2260.

상기 유기층(2260)은 전술한 도 24에 따른 유기층과 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 이러한 액티브 매트릭스형 전계발광 디스플레이 장치에 있어서도, 유기층(2260)의 유기 발광층(EML)을 전술한 실시예들에 따른 증착용 마스크들을 이용하여 다양한 패터닝으로 형성되도록 하여, 고정밀도의 디스플레이 장치를 구현토록 할 수 있다.Since the organic layer 2260 is the same as the organic layer according to FIG. 24 described above, a detailed description thereof will be omitted. In such an active matrix type electroluminescent display device, the organic light emitting layer (EML) of the organic layer 2260 is formed by various patterning using deposition masks according to the above-described embodiments, so that a high precision display device can be realized. can do.

한편, 상기 제 1 전극층(2210)은 전술한 패시브 매트릭스형과 같이, 투명 전극 또는 반사형 전극으로 형성될 수 있는 데, 각 부화소의 개구 형태에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 또, 제 2 전극층(2270)은 투명전극 또는 반사형 전극을 디스플레이 영역 전체에 전면 증착하여 형성할 수 있다. 그러나, 이 제 2 전극층(2270)은 반드시 전면 증착될 필요는 없으며, 다양한 패턴으로 형성될 수 있음은 물론이다. 상기 제 1 전극층(2210)과 제 2 전극층(2270)은 서로 위치가 반대로 적층될 수도 있음은 물론이다.Meanwhile, the first electrode layer 2210 may be formed as a transparent electrode or a reflective electrode as in the passive matrix type described above, and may be formed in a shape corresponding to the opening shape of each subpixel. In addition, the second electrode layer 2270 may be formed by depositing a transparent electrode or a reflective electrode on the entire display area. However, the second electrode layer 2270 is not necessarily deposited on the entire surface, but may be formed in various patterns. Of course, the first electrode layer 2210 and the second electrode layer 2270 may be stacked opposite to each other.

이러한 전계발광 디스플레이 장치는 외부의 산소 및 수분의 침투가 차단되도록 밀봉된다.The electroluminescent display device is sealed to block the penetration of oxygen and moisture from the outside.

이상 설명한 것은 본 발명에 따른 전계발광 디스플레이 장치의 일 예를 도시한 것일 뿐, 그 구조는 다양하게 변형 가능하다.What has been described above is only an example of the electroluminescent display device according to the present invention, the structure can be variously modified.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 증착용 마스크 및 전계발광 디스플레이 장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the deposition mask and the electroluminescent display device of the present invention made as described above, the following effects can be obtained.

첫째, 증착용 마스크의 단부에 도트 패턴의 개구부들이, 또는 스트라이프 패턴의 개구부들과 도트 패턴의 개구부들이 구비되도록 함과 동시에, 증착용 마스크 의 중앙부에는 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되도록 하여, 개구율이 높으면서도 얼라인이 용이하고 변형이 적은 증착용 마스크를 제조할 수 있다. First, openings of the dot pattern, or openings of the stripe pattern and openings of the dot pattern are provided at the end of the deposition mask, and at the same time, openings of the stripe pattern are provided at the center of the deposition mask, and the opening ratio is high. It is also possible to manufacture a deposition mask that is easily aligned and less deformed.

둘째, 상기와 같은 마스크를 사용하여 전계발광 디스플레이 장치를 제조함으로써, 수율을 높여 제조비용을 절감할 수 있다. Second, by manufacturing the electroluminescent display device using the mask as described above, it is possible to reduce the manufacturing cost by increasing the yield.

셋째, 상기와 같은 마스크를 이용하여, 대면적의 디스플레이에 대한 증착이 가능하다.Third, using such a mask, it is possible to deposit a large area display.

넷째, 상기와 같은 마스크를 사용하여, 고정밀도의 디스플레이 장치를 구현토록 할 수 있다.Fourth, it is possible to implement a display device of high precision using the mask as described above.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (46)

복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서,In the deposition mask having a plurality of openings, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.At least one end of the deposition mask is provided with at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining areas of the deposition mask are end portions of the deposition mask. A deposition mask, characterized in that the opening is provided with a continuous stripe pattern parallel to one end of the. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And a plurality of unit deposition masks are provided in the deposition mask. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.In each unit deposition mask provided at one end of the deposition mask and the other end facing the one end, an opening of at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns And openings in the remaining area of the deposition mask, and the opening of the continuous stripe pattern parallel to the one end is provided. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구 비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. At the farthest end from the center of the wearing mask, at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask is continuous in parallel with the one end. And a stripe pattern opening is provided. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, In each unit deposition mask provided at one end of the deposition mask and the other end facing the one end, an opening of at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns Openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들이 구비되며,Each unit deposition mask provided at the remaining ends of the deposition mask may include at least one continuous stripe pattern and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to the remaining ends. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. At the end of the furthest distance from the center of the wearing mask, at least one continuous stripe pattern opening and a plurality of discrete dot pattern openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에 는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며,Each of the unit deposition masks provided at the remaining ends of the deposition mask has a distance parallel to the remaining ends of the ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask. At least one opening in a continuous stripe pattern and a plurality of openings in a discontinuous dot pattern, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.The mask for deposition, characterized in that the deposition mask is provided with one unit deposition mask. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.At least one opening of a continuous stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns are provided at the one end and the other end facing the one end of the deposition mask, and the remaining area of the deposition mask includes A deposition mask, characterized in that the opening is provided with a continuous stripe pattern parallel to one end. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고,At each end of the deposition mask, at least one opening of a continuous stripe pattern and a plurality of openings of a discontinuous dot pattern are provided. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask. 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서,In the deposition mask having a plurality of openings, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.At least one end of the deposition mask has a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining region of the deposition mask has a continuous stripe pattern parallel to one end of the deposition mask. Deposition mask, characterized in that provided with openings. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And a plurality of unit deposition masks are provided in the deposition mask. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the work is disposed in the remaining area of the deposition mask. And a stripe patterned opening parallel to the end. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. The dot pattern openings are provided at the end of the wear mask at the furthest distance from the center, and the remaining area of the deposition mask is provided with a continuous stripe pattern opening parallel to the one end. Mask. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고,Each of the unit deposition masks provided at the ends of the deposition mask includes a plurality of openings of a discontinuous dot pattern. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되 고, Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. At the end of the furthest distance from the center of the wearing mask, a plurality of discrete dot pattern openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며,Each of the unit deposition masks provided at the remaining ends of the deposition mask, at an end that is parallel to the remaining ends of the ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask, A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end are provided in the remaining area of the deposition mask. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.The mask for deposition, characterized in that the deposition mask is provided with one unit deposition mask. 제 16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.The one end of the deposition mask and the other end facing the one end are provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the deposition mask has a continuous stripe pattern parallel to the one end. Deposition mask, characterized in that the opening is provided. 제 16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고,At each end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot patterns openings are provided. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.The remaining mask of the deposition mask is a deposition mask, characterized in that the opening of the continuous stripe pattern parallel to the one end of the deposition mask. 복수개의 개구부들이 구비된 증착용 마스크에 있어서,In the deposition mask having a plurality of openings, 상기 증착용 마스크의 단부들 중 적어도 하나의 단부에는 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.At least one end of the deposition mask has a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining region of the deposition mask has a continuous stripe pattern parallel to one end of the deposition mask. And openings of the plurality of openings and a plurality of discontinuous dot patterns. 제 19항에 있어서,The method of claim 19, 상기 증착용 마스크에는 복수개의 단위 증착용 마스크들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And a plurality of unit deposition masks are provided in the deposition mask. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연 속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end is provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the work is disposed in the remaining area of the deposition mask. And a plurality of openings in a continuous stripe pattern parallel to the ends and a plurality of openings in a discontinuous dot pattern. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. Openings of a dot pattern are provided at the end of the furthest distance from the center of the wear mask, and the remaining area of the deposition mask includes openings of a continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns. Deposition mask, characterized in that the opening is provided. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 증착용 마스크의 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고,Each of the unit deposition masks provided at the ends of the deposition mask includes a plurality of openings of a discontinuous dot pattern. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And a plurality of openings in a continuous stripe pattern and a plurality of discontinuous dot patterns in the remaining area of the deposition mask. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, Each of the unit deposition masks provided at the one end of the deposition mask and the other end facing the one end may be parallel to the one end of the deposition mask among the ends of the unit deposition mask. At the end farthest from the center of the wearing mask, a plurality of discontinuous dot patterns openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 단부들에 구비된 각각의 단위 증착용 마스크에는, 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 상기 나머지 단부들과 평행하고 상기 증착용 마스크의 중앙으로부터의 거리가 가장 먼 단부에, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되며,Each of the unit deposition masks provided at the remaining ends of the deposition mask, at an end that is parallel to the remaining ends of the ends of the unit deposition mask and farthest from the center of the deposition mask, A plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And a plurality of openings in a continuous stripe pattern and a plurality of discontinuous dot patterns in the remaining area of the deposition mask. 제 19항에 있어서,The method of claim 19, 상기 증착용 마스크에는 한 개의 단위 증착용 마스크가 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.The mask for deposition, characterized in that the deposition mask is provided with one unit deposition mask. 제 25항에 있어서,The method of claim 25, 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.At one end of the deposition mask and the other end facing the one end, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided, and the remaining area of the deposition mask has a continuous stripe pattern parallel to the one end. The opening mask and the deposition mask, characterized in that provided with a plurality of discontinuous dot pattern openings. 제 25항에 있어서,The method of claim 25, 상기 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고,At each end of the deposition mask, a plurality of discontinuous dot patterns openings are provided. 상기 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 증착용 마스크의 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end of the deposition mask and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns in the remaining area of the deposition mask. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.In the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, at least one end of each unit deposition mask and the other end facing the one end, the opening of the at least one continuous stripe pattern and the plurality of discontinuous dots The openings of the pattern are provided, and the remaining mask of the unit deposition mask is a deposition mask, characterized in that the opening of the continuous stripe pattern parallel to the one end. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴 의 개구부 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.A deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask having at least one opening of a continuous stripe pattern and openings of a plurality of discontinuous dot patterns; The remaining mask of the unit deposition mask is a deposition mask, characterized in that the opening of the continuous stripe pattern parallel to one end of the end of the unit deposition mask. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.In the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided at one end of the unit deposition mask and the other end facing the one end. And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end of the remaining area of the wearing mask. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.A deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask having a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the unit deposition mask having the unit And a plurality of openings in a continuous stripe pattern parallel to one of the ends of the deposition mask. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.In the deposition mask having a plurality of unit deposition masks, a plurality of discontinuous dot pattern openings are provided at one end of the unit deposition mask and the other end facing the one end. And the openings of the continuous stripe pattern parallel to the one end and the openings of the plurality of discontinuous dot patterns in the remaining area of the wearing mask. 복수개의 단위 증착용 마스크들을 구비한 증착용 마스크에 있어서, 각각의 단위 증착용 마스크의 각각의 단부에는, 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되고, 상기 단위 증착용 마스크의 나머지 영역에는 상기 단위 증착용 마스크의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴의 개구부들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴의 개구부들이 구비되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.A deposition mask having a plurality of unit deposition masks, each end of each unit deposition mask having a plurality of discontinuous dot pattern openings, and the remaining area of the unit deposition mask having the unit And a plurality of openings of a continuous stripe pattern parallel to one of the ends of the deposition mask and a plurality of discontinuous dot patterns. 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서,An electroluminescent display device comprising a first electrode and a second electrode facing each other, and an intermediate layer including at least a light emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode. 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,The intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device includes at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 34항에 있어서,The method of claim 34, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,An intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device includes at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 34항에 있어서,The method of claim 34, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,An intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device includes at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discontinuous dot patterns, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 상기 타 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며,An intermediate layer of one of the other ends formed at an angle of 90 ° with the one end includes at least one continuous stripe pattern parallel to the other end and a plurality of discontinuous dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 34항에 있어서,The method of claim 34, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,One of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end may include at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 34항에 있어서,The method of claim 34, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, One of the ends of the electroluminescent display device and the intermediate layer of the other end facing the one end may include at least one continuous stripe pattern parallel to the one end and a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 단부들의 중간층은, 상기 나머지 단부들과 평행한 적어도 하나의 연속적인 스트라이프 패턴과, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며,The intermediate layer of the remaining ends of the electroluminescent display device includes at least one continuous stripe pattern parallel to the remaining ends, and a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서,An electroluminescent display device comprising a first electrode and a second electrode facing each other, and an intermediate layer including at least a light emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode. 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,An intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device includes a plurality of discontinuous dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 39항에 있어서,The method of claim 39, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,The middle layer of one end of the ends of the electroluminescent display device has a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 39항에 있어서,The method of claim 39, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부의 중간층과, 상기 일 단부와 90°의 각을 이루는 타 단부들 중 어느 하나의 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하며,An intermediate layer of one end of the ends of the electroluminescent display device and an intermediate layer of one of the other ends formed at an angle of 90 ° with the one end may include a plurality of discrete dot patterns. 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 39항에 있어서,The method of claim 39, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,One of the ends of the electroluminescent display device and the middle layer of the other end facing the one end may include a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has a continuous stripe patterns parallel to the one end. 제 39항에 있어서,The method of claim 39, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, The intermediate layer of the ends of the electroluminescent display device has a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.And the intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns parallel to one of the ends of the electroluminescent display device. 서로 대향된 제 1 전극 및 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비하는 전계발광 디스플레이 장치에 있어서,An electroluminescent display device comprising a first electrode and a second electrode facing each other, and an intermediate layer including at least a light emitting layer interposed between the first electrode and the second electrode. 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 적어도 일 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,An intermediate layer of at least one end of the ends of the electroluminescent display device includes a plurality of discontinuous dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to the one end. 제 44항에 있어서,The method of claim 44, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부 및 상기 일 단부와 마주보는 타 단부의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고,One of the ends of the electroluminescent display device and the middle layer of the other end facing the one end may include a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.The intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to the one end. 제 44항에 있어서,The method of claim 44, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들의 중간층은, 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 구비하고, The intermediate layer of the ends of the electroluminescent display device has a plurality of discrete dot patterns, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 나머지 영역의 중간층은, 상기 전계발광 디스플레이 장치의 단부들 중 일 단부와 평행한 연속적인 스트라이프 패턴들 및 복수개의 불연속적인 도트 패턴들을 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 장치.And an intermediate layer of the remaining area of the electroluminescent display device has continuous stripe patterns and a plurality of discontinuous dot patterns parallel to one of the ends of the electroluminescent display device.
KR1020040094420A 2004-11-18 2004-11-18 Mask for evaporation and electroluminescence display device KR100603398B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040094420A KR100603398B1 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Mask for evaporation and electroluminescence display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040094420A KR100603398B1 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Mask for evaporation and electroluminescence display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060055097A KR20060055097A (en) 2006-05-23
KR100603398B1 true KR100603398B1 (en) 2006-07-20

Family

ID=37151315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040094420A KR100603398B1 (en) 2004-11-18 2004-11-18 Mask for evaporation and electroluminescence display device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100603398B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8852346B2 (en) 2009-12-15 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin layer deposition and organic light emitting display device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100739309B1 (en) * 2006-10-13 2007-07-12 삼성에스디아이 주식회사 Mask for thin layer vacuum evaporationand organic electro-luminescence display device
KR101058117B1 (en) * 2010-03-22 2011-08-24 삼성모바일디스플레이주식회사 Mask assembly for thin film deposition, organic light emitting display device using the same, and manufacturing method thereof
KR101156442B1 (en) 2010-04-29 2012-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 Mask frame assembly
KR102106333B1 (en) 2013-07-08 2020-05-06 삼성디스플레이 주식회사 Mask assembly and method of fabricating organic light emitting display device using the same
KR102219210B1 (en) * 2013-12-18 2021-02-23 삼성디스플레이 주식회사 Mask and mask assembly

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004185832A (en) 2002-11-29 2004-07-02 Samsung Nec Mobile Display Co Ltd Vapor deposition mask, method for manufacturing organic el element using the mask, and the element

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004185832A (en) 2002-11-29 2004-07-02 Samsung Nec Mobile Display Co Ltd Vapor deposition mask, method for manufacturing organic el element using the mask, and the element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8852346B2 (en) 2009-12-15 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin layer deposition and organic light emitting display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060055097A (en) 2006-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100659057B1 (en) Mask frame assembly for thin layer vacuum evaporation and organic electro-luminescence display device
KR101182440B1 (en) Mask frame assembly for thin film deposition
US8344619B2 (en) Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
KR101097311B1 (en) Organic light emitting display apparatus and apparatus for thin layer deposition for manufacturing the same
KR101174875B1 (en) Apparatus for thin layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the method
US9224591B2 (en) Method of depositing a thin film
JP5835915B2 (en) Mask assembly for thin film deposition, organic light emitting device using the same, and manufacturing method thereof
KR100937866B1 (en) Organic light emitting display apparatus
KR20110089663A (en) Apparatus for thin layer deposition, method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same, and organic light emitting display apparatus manufactured by the method
KR20120029895A (en) Apparatus for thin layer deposition and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
KR20110014442A (en) Apparatus for thin layer deposition and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
KR100708715B1 (en) Organic light emitting display apparatus
KR100669772B1 (en) Electroluminescence display device
KR100603398B1 (en) Mask for evaporation and electroluminescence display device
KR20100119675A (en) Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused
KR101818256B1 (en) Organic electroluminescent display device and method for fabricating the same
KR100741138B1 (en) Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused
KR100669781B1 (en) Electroluminescence display device
KR101234231B1 (en) Apparatus for thin layer deposition and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
KR100846589B1 (en) Method of aligning substrate
KR100670374B1 (en) Organic light emitting display apparatus
KR100751317B1 (en) Flat panel display apparatus
KR20120067163A (en) Apparatus for thin layer deposition and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
KR20040061988A (en) Hybrid Structure Organic Electroluminescent Device and method for fabricating the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130628

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140701

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150701

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160629

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170704

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180702

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190701

Year of fee payment: 14