KR100598382B1 - Tube type sealing member and vacuum chamber with the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 격벽에 마련된 관통부와 상기 관통부를 통과하는 이송축 사이에 결합된 실링부재에 관한 것으로서, 튜브형상으로 마련되어 상기 관통부에 삽입되며, 그 내측에 기체 및 유체 중 적어도 하나가 수용되어 상기 관통부를 압착하는 본체부를 포함하며, 상기 본체부에는 상기 이송축을 압착가능하게 수용하는 축수용부가 마련된 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 이송축의 정밀제어가 용이하며, 이송축의 이동시 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지하여 기밀능력을 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a sealing member coupled between a through portion provided in a partition wall and a feed shaft passing through the through portion, and is provided in a tubular shape and inserted into the through portion, and at least one of a gas and a fluid is accommodated therein. And a main body portion for compressing the through portion, and the main body portion is provided with a shaft receiving portion for compressively accommodating the feed shaft. As a result, precise control of the feed shaft is easy, and the compressive force can be prevented from being partially weakened when the feed shaft is moved, thereby improving the airtight capacity.

Description

튜브형 실링부재 및 이를 갖는 진공챔버{TUBE TYPE SEALING MEMBER AND VACUUM CHAMBER WITH THE SAME }TUBE TYPE SEALING MEMBER AND VACUUM CHAMBER WITH THE SAME}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버에 실링부재가 장착된 개략적인 단면도,1 is a schematic cross-sectional view in which a sealing member is mounted on a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 도 1에 마련된 실링부재의 사시도,2 is a perspective view of the sealing member provided in FIG. 1, FIG.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버에 마련된 이송축의 작동 단면도,3 is an operation cross-sectional view of the feed shaft provided in the vacuum chamber according to the first embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 실링부재의 사시도,4 is a perspective view of a sealing member according to a second embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 진공챔버에 실링부재가 장착된 부분 단면도이다.5 is a partial cross-sectional view of a sealing member mounted to a vacuum chamber according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

1 : 진공챔버 5 : 기판1: vacuum chamber 5: substrate

10 : 격벽 13 : 관통부10: partition 13: through part

15 : 이송축 17 : 지지대15: feed shaft 17: support

19 : 이송장치 20 : 실링부재19: transfer device 20: sealing member

21 : 본체부 23 : 축수용부21: main body 23: bearing part

25 : 연장부 27 : 이탈방지부25: extension part 27: departure prevention part

본 발명은 실링부재 및 이를 갖는 진공챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 튜브형상으로 구조를 개선한 실링부재 및 이러한 실링부재가 장착된 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a sealing member and a vacuum chamber having the same, and more particularly, to a sealing member having an improved structure in a tube shape and a vacuum chamber equipped with such a sealing member.

일반적으로 진공챔버는 반도체 제조과정에서 웨이퍼(wafer)와 같은 기판 등을 수용하도록 내측에 진공공간을 형성하는 격벽과, 격벽에 마련된 관통부와, 관통부를 통과하는 이송축과, 기판 등을 지지하도록 진공공간 내의 이송축에 결합된 지지대를 포함한다. 이에, 진공챔버는 진공공간 내로 증착용 가스를 주입하여 진공공간에 수용된 기판을 증착시킬 수 있으며, 이송축을 이동시켜 진공공간 내에 수용된 기판을 이동시킬 수 있다.In general, a vacuum chamber is configured to support a partition wall forming a vacuum space therein to accommodate a substrate such as a wafer, a through portion provided in the partition wall, a transfer shaft passing through the through portion, and a substrate in a semiconductor manufacturing process. And a support coupled to the feed shaft in the vacuum space. Accordingly, the vacuum chamber may inject the deposition gas into the vacuum space to deposit the substrate contained in the vacuum space, and move the substrate accommodated in the vacuum space by moving the transfer shaft.

그리고, 진공챔버에는 격벽에 마련된 관통부와 이송축 사이의 틈새로 외부공기가 진공공간으로 유입되는 것을 차단하는 실링부재가 마련된다.The vacuum chamber is provided with a sealing member for blocking external air from entering the vacuum space through a gap between the through part provided in the partition wall and the feed shaft.

이러한 종래의 실링부재는 한국등록실용실안 등록번호 제20-0169697호의 반도체 제조용 진공챔버의 에어실린더 밸브에 개시된 바와 같이, 피스톤로더와 메인밸브 프레임 사이에 마련된 오-링이다. 그리고, 이러한 오-링과 같은 실링부재는 대개 원형단면으로 내부가 충진된 고무 재질의 탄성부재로 마련된다.This conventional sealing member is an O-ring provided between the piston loader and the main valve frame, as disclosed in the air cylinder valve of the vacuum chamber for semiconductor manufacturing of Korean Utility Model Registration No. 20-0169697. And, such a sealing member such as an o-ring is usually provided with an elastic member made of a rubber material filled inside the circular cross section.

그러나, 이러한 종래의 진공챔버에 마련된 실링부재는 오-링과 같은 탄성재질로 마련되어 이송축과 관통부 사이로 외부공기가 유입되는 것을 차단하여 기밀을 유지하도록 이송축 및 관통부에 압착되어야 하며, 이 경우 이송축이 관통부에서 이송축의 축선방향이나 이송축의 축선의 가로방향으로 이동될 때 이송축의 이동방향에 반대방향으로 강한 반발력을 제공하여 이송축의 정밀한 제어가 어려운 문제점이 있다.However, the sealing member provided in the conventional vacuum chamber is made of an elastic material such as an O-ring should be pressed to the feed shaft and the through portion to maintain the airtight to block the inflow of external air between the feed shaft and the through portion, In this case, when the feed shaft is moved in the axial direction of the feed shaft or in the transverse direction of the feed shaft in the penetrating portion, it is difficult to precisely control the feed shaft by providing a strong repulsive force in a direction opposite to the movement direction of the feed shaft.

그리고, 이러한 종래의 진공챔버에 마련된 실링부재는 오-링과 같은 탄성부재로 마련됨으로써, 이송축이 관통부에서 이송축의 축선방향이나 이송축의 축선의 가로방향으로 이동될 때 이송축의 이동방향의 반대측에 마련된 실링부재의 압착력이 약해져 부분적으로 기밀능력이 떨어질 수 있는 문제점이 있다.And, the sealing member provided in the conventional vacuum chamber is provided with an elastic member such as an O-ring, so that when the feed shaft is moved in the axial direction of the feed shaft or the transverse direction of the feed shaft in the penetrating portion, the opposite side to the moving direction of the feed shaft There is a problem in that the pressing force of the sealing member provided in the weak and the airtight ability may be partially lowered.

따라서 본 발명의 목적은, 이송축의 정밀제어가 용이하며, 이송축의 이동시 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지할 수 있는 실링부재 및 이러한 실링부재를 갖는 진공챔버를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a sealing member and a vacuum chamber having such a sealing member, which are easy to precisely control the feed shaft, and which can prevent the compressive force from being partially weakened when the feed shaft is moved.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 격벽에 마련된 관통부와 상기 관통부를 통과하는 이송축 사이에 결합된 실링부재에 있어서, 튜브형상으로 마련되어 상기 관통부에 삽입되며, 그 내측에 기체 및 유체 중 적어도 하나가 수용되어 상기 관통부를 압착하는 본체부를 포함하며, 상기 본체부에는 상기 이송축을 압착가능하게 수용하는 축수용부가 마련된 것을 특징으로 하는 실링부재에 의해 달성된다.According to the present invention, in the sealing member coupled between the through portion provided in the partition wall and the feed shaft passing through the through portion, provided in the shape of a tube and inserted into the through portion, at least of the gas and fluid therein One is accommodated and comprises a main body portion for pressing the through portion, the main body portion is achieved by a sealing member, characterized in that the shaft receiving portion for receiving the feed shaft to be compressed.

여기서, 상기 격벽의 판면에 밀착가능하게 상기 본체부의 양단부 중 적어도 일단부로부터 상기 격벽의 판면방향으로 외향 연장된 연장부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include an extension part which extends outwardly from at least one end of both ends of the main body part in the plate surface direction of the partition wall so as to be in close contact with the plate surface of the partition wall.

상기 연장부의 단부에서 상기 격벽의 판면에 접촉가능하도록 방사방향으로 마련되어 상기 본체부 및 연장부가 상기 관통부로 이탈되는 것을 방지하는 적어도 하나의 이탈방지부를 더 포함할 수 있다.At least one separation preventing portion may be provided in a radial direction to be in contact with the plate surface of the partition wall at the end of the extension to prevent the main body and the extension from being separated into the through portion.

상기 격벽에 상기 이탈방지부의 적어도 일부영역을 수용할 수 있도록 함몰된 적어도 하나의 함몰부를 포함할 수 있다.The partition wall may include at least one recessed portion recessed to accommodate at least a partial region of the separation preventing portion.

또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 내측에 진공공간을 형성하는 격벽과, 상기 격벽에 마련된 관통부를 통과하는 이송축을 구비한 진공챔버에 있어서, 상기 이송축과 상기 관통부 사이를 차단하도록 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 실링부재와; 상기 이송축과 결합되어 상기 실링부재의 반력을 극복하고 상기 이송축을 이송하는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버에 의해 달성될 수도 있다.In addition, the object is, according to the present invention, in the vacuum chamber having a partition for forming a vacuum space on the inside and a feed shaft passing through the through portion provided in the partition wall, so as to block between the feed shaft and the through portion; A sealing member according to any one of claims 1 to 4; It may be achieved by a vacuum chamber, characterized in that coupled to the conveying shaft includes a conveying device for overcoming the reaction force of the sealing member and conveying the conveying shaft.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 하다.Prior to the description, in various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, only the configuration different from the first embodiment will be described. Do.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1실시예First embodiment

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버(1)는 반도체 웨이퍼(wafer)와 같은 기판(5)을 수용하도록 내측에 진공공간(11)을 형성하는 격벽(10)과, 격벽(10)에 마련된 관통부(13)와, 관통부(13)를 통과하는 이송축(15)과, 기판(5)을 지지하도록 진공공간(11) 내에 마련되며 이송축(15)의 상측 과 결합된 지지대(17)와, 지지대(17)를 이동시키도록 이송축(15)의 하측과 결합된 이송장치(19)를 포함한다. 그리고, 본 발명에 따른 진공챔버(1)에는 격벽(10)의 관통부(13)와 이송축(15) 사이의 틈새로 외부공기가 진공공간(11)으로 유입되는 것을 차단하는 실링부재(20)가 마련된다.1 to 3, the vacuum chamber 1 according to the first embodiment of the present invention forms a vacuum space 11 inside to accommodate a substrate 5 such as a semiconductor wafer. It is provided in the vacuum space 11 so as to support the partition 10, the through part 13 provided in the partition 10, the transfer shaft 15 passing through the through part 13, and the substrate 5. It includes a support (17) coupled with the upper side of the shaft (15), and a transfer device (19) coupled with the lower side of the feed shaft (15) to move the support (17). In the vacuum chamber 1 according to the present invention, a sealing member 20 for blocking external air from entering the vacuum space 11 by a gap between the penetrating portion 13 of the partition 10 and the feed shaft 15. ) Is provided.

격벽(10)은 기판(5)을 수용할 수 있는 공간을 형성하도록 원통형이나 사각박스 형상 등 다양한 형상으로 마련될 수 있다. 격벽(10)에는 기판(5)이 출입할 수 있도록 기판출입구(미도시)가 형성될 수 있으며, 격벽(10)의 내부공간을 진공상태로 만들기 위한 진공펌프(미도시)가 장착될 수 있다.The partition wall 10 may be provided in various shapes such as a cylindrical shape or a rectangular box shape to form a space for accommodating the substrate 5. The partition 10 may have a substrate entrance (not shown) to allow the substrate 5 to enter and exit, and a vacuum pump (not shown) may be installed to make the internal space of the partition 10 into a vacuum state. .

관통부(13)는 격벽(10)의 하측에 이송축(15)이 통과할 수 있도록 관통 형성된다. 관통부(13)는 이송축(15)의 수량에 따라 복수개로 마련될 수도 있으며, 이송축(15)의 단면이 형상에 대응하여 원형 혹은 사각형 등 다양한 형태로 관통될 수 있다.The through part 13 is formed to penetrate the feed shaft 15 under the partition 10. The through part 13 may be provided in plural numbers according to the quantity of the feed shaft 15, and the cross section of the feed shaft 15 may be penetrated in various shapes such as a circle or a square to correspond to the shape.

이송축(15)은 상측에 기판(5)을 안착할 수 있는 지지대(17)와 결합하며, 하측에 이송장치(19)와 결합하여 기판(5)을 이송축(15)의 축선방향 및 축선방향의 가로방향 등으로 이송할 수 있다. 이송축(15)은 원형 및 사각 형 등 다양한 형태의 단면으로 가질 수 있다.The transfer shaft 15 is coupled to the support 17 which can seat the substrate 5 on the upper side, and the substrate 5 is coupled to the transfer device 19 on the lower side in the axial direction and the axis of the transfer shaft 15. In the transverse direction and the like. The feed shaft 15 may have a cross section of various shapes such as circular and square.

이송장치(19)는 이송축(15)의 하측과 결합하여 이송축(15)을 축선방향인 상하방향 축선의 가로방향인 좌우방향으로 이동시킬 수 있다. 이에, 이송장치(19)에 의해 이송축(15)을 이동시켜 진공공간(11) 내에 수용된 기판(5)을 이동시킬 수 있다.The conveying device 19 may be coupled to the lower side of the conveying shaft 15 to move the conveying shaft 15 in the horizontal direction of the horizontal direction of the vertical axis in the axial direction. Accordingly, the transfer shaft 15 may be moved by the transfer device 19 to move the substrate 5 accommodated in the vacuum space 11.

실링부재(20)는 튜브형상으로 마련되어 관통부(13)에 삽입되며 그 내측에 기체 및 유체 중 적어도 하나가 수용되어 관통부(13)를 압착하는 본체부(21)를 포함한다. 실링부재(20)는 격벽(10)의 판면에 밀착가능하게 본체부(21)의 양단부 중 적어도 일단부로부터 격벽(10)의 판면방향으로 외향 연장된 연장부(25)를 더 포함할 수 있다. 실링부재(20)는 연장부(25)의 단부에서 격벽(10)의 판면에 접촉가능하도록 외향으로 형성되어 본체부(21) 및 연장부(25)가 관통부(13)로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지부(27)를 더 포함한다.The sealing member 20 includes a main body 21 provided in a tube shape and inserted into the through part 13 to accommodate at least one of gas and fluid therein and compress the through part 13. The sealing member 20 may further include an extension part 25 extending outwardly from at least one end of both ends of the main body portion 21 toward the plate surface of the partition wall 10 in close contact with the plate surface of the partition wall 10. . The sealing member 20 is formed outward so as to be in contact with the plate surface of the partition 10 at the end of the extension portion 25 to prevent the main body portion 21 and the extension portion 25 from being separated into the through portion 13. It further comprises a departure prevention part (27).

본체부(21)는 격벽(10)에 마련된 관통부(13)와 밀착가능하게 고무와 같은 탄성재질로 마련된다. 본체부(21)는 탄성재질의 튜브형상으로 마련되며, 그 내부(22)에는 관통부(13)와 밀착하도록 공기와 같은 기체가 소정의 압력으로 압입될 수 있다. 그러나, 본체부(21)의 내부(22)에는 물이나 오일과 같은 유체가 압입될 수도 있다. 그리고, 본체부(21)의 내부(22)에는 기체와 유체가 혼합되어 압입될 수도 있다. 본체부(21)의 내부(22)에 압입된 기체의 소정의 압력은 관통부(13) 및 이송축(15) 사이로 외부공기가 유입되는 것을 방지할 수 있도록 본체부(21) 및 후술할 축수용부(23)가 관통부(13) 및 이송축(15)을 밀착하는 정도이거나 그 이상일 수 있다. 본체부(21)에는 이송축(15)을 압착가능하게 수용하는 축수용부(23)가 마련된다.The main body portion 21 is made of an elastic material such as rubber to be in close contact with the through portion 13 provided in the partition wall 10. The main body portion 21 is provided in a tubular shape of an elastic material, the inside 22 of the gas such as air may be press-fitted to a predetermined pressure so as to be in close contact with the through portion (13). However, a fluid such as water or oil may be press-fitted into the interior 22 of the body portion 21. In addition, gas and fluid may be mixed and press-fitted into the inside 22 of the body part 21. The predetermined pressure of the gas pressurized into the inside 22 of the body portion 21 may prevent the outside air from flowing between the through portion 13 and the feed shaft 15. Receiving portion 23 may be in close contact with the through portion 13 and the feed shaft 15 or more. The main body portion 21 is provided with an accommodating portion 23 for accommodating the feed shaft 15 in a compressible manner.

축수용부(23)는 이송축(15)을 수용하도록 본체부(21)의 중앙영역에 함몰 형성된다. 축수용부(23)는 본체부(21)의 내부(22)에 압입된 기체에 의해 이송축(15)을 압착하게 된다.The bearing 23 is recessed in the central region of the main body 21 to accommodate the feed shaft 15. The storage unit 23 compresses the feed shaft 15 by the gas pressurized into the inside 22 of the main body 21.

연장부(25)는 본체부(21)의 양단부에서 격벽(10)의 판면에 밀착가능하게 방사방향으로 연장 형성된다. 연장부(25)는 본체부(21)와 같이 튜브형상으로 마련되며, 그 내측에 기체 및 유체 중 적어도 하나가 압입될 수 있다. 이에, 연장부(25)는 관통부(13)와 근접한 격벽(10)에 밀착되어 외부공기가 진공공간(11)으로 유입되지 않도록 기밀을 유지하며, 진공공간(11)의 진공력 및 이송축(15)의 이동 등에 의해 본체부(21)가 관통부(13)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 연장부(25)는 관통부(13)와 근접한 격벽(10)에 밀착가능하게 튜브형상이 아닌 고무와 같은 탄성재질로 마련될 수도 있다.The extension part 25 extends in the radial direction so as to be in close contact with the plate surface of the partition wall 10 at both ends of the main body part 21. The extension part 25 is provided in a tubular shape like the main body part 21, and at least one of a gas and a fluid may be press-fitted therein. Thus, the extension part 25 is in close contact with the partition 10 close to the through part 13 to maintain the airtight so that external air does not flow into the vacuum space 11, the vacuum force and the transfer shaft of the vacuum space 11 The main body portion 21 can be prevented from being separated from the penetrating portion 13 by the movement of the 15 or the like. However, the extension part 25 may be provided with an elastic material such as rubber, not a tubular shape, to be in close contact with the partition 10 adjacent to the through part 13.

이탈방지부(27)는 연장부(25)로부터 격벽(10)의 판면에 접촉가능하게 방사방향으로 돌출 형성된다. 이탈방지부(27)는 연장부(25)와 근접한 격벽(10)에 접촉가능하게 튜브형상이 아닌 고무와 같은 탄성재질로 마련될 수도 있다. 이에, 이탈방지부(27)는 진공공간(11)의 진공력 및 이송축(15)의 이동 등에 의해 본체부(21) 및 연장부(25)가 관통부(13) 및 관통부(13)와 근접한 격벽(10)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 이탈방지부(27)는 격벽(10)의 판면에 밀착가능하게 연장부(25)로부터 방사방향으로 돌출 형성되어 외부공기가 진공공간(11)으로 유입되지 않도록 기밀을 유지하는 기능을 가질 수도 있다.The departure prevention part 27 protrudes from the extension part 25 radially so that a contact with the plate surface of the partition 10 may be possible. The separation prevention part 27 may be provided with an elastic material such as rubber, not a tubular shape, so as to be able to contact the partition 10 adjacent to the extension part 25. Thus, the departure prevention portion 27 is the main body portion 21 and the extension portion 25 through the through portion 13 and the through portion 13 by the vacuum force of the vacuum space 11 and the movement of the feed shaft 15, and the like. It is possible to prevent the departure from the partition 10 in close proximity to the. In addition, the detachment preventing part 27 is formed to protrude radially from the extension part 25 so as to be in close contact with the plate surface of the partition 10 and has a function of maintaining airtightness so that external air does not flow into the vacuum space 11. It may be.

이러한 구성에 의해, 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버(1)에 마련된 실링부재(20)는 튜브형상으로 마련되어 도 1에 도시된 바와 같이, 격벽(10)에 의해 형성된 진공공간(11)의 진공력에 의해 진공공간(11)방향으로 밀리게 된다. 이때, 실링부재(20)의 본체부(21) 및 축수용부(23)는 관통부(13) 및 이송축(15)과 밀착되 어 외부공기가 진공공간(11)으로 유입되는 것을 방지하도록 기밀을 유지할 수 있다. 그리고, 연장부(25)는 외부공기와 접하는 격벽(10)에 밀착되어 기밀능력을 향상시킬 수 있으며, 본체부(21)가 진공공간(11)방향으로 밀려 관통부(13)를 이탈하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이탈방지부(27)는 외부공기와 접하는 격벽(10)에 접촉되어 본체부(21) 및 연장부(25)가 진공공간(11)방향으로 밀려 관통부(13) 및 관통부(13)와 근접한 격벽(10)을 이탈하는 것을 억제할 수 있으며, 외부공기와 접하는 격벽(10)에 밀착되어 더욱 기밀능력을 유지할 수 있다.With this configuration, the sealing member 20 provided in the vacuum chamber 1 according to the first embodiment of the present invention is provided in the shape of a tube, and as shown in FIG. 1, the vacuum space 11 formed by the partition wall 10. It is pushed in the direction of the vacuum space 11 by the vacuum force of). At this time, the main body portion 21 and the bearing portion 23 of the sealing member 20 are in close contact with the penetrating portion 13 and the feed shaft 15 to prevent the external air from entering the vacuum space (11). Confidentiality can be maintained. In addition, the extension part 25 may be in close contact with the partition 10 in contact with the external air to improve the airtight capacity, and the main body part 21 may be pushed toward the vacuum space 11 to leave the through part 13. It can be suppressed. In addition, the departure prevention part 27 is in contact with the partition 10 in contact with the external air so that the main body portion 21 and the extension portion 25 is pushed in the direction of the vacuum space 11, the through portion 13 and the through portion 13 It is possible to suppress the departure from the partition 10 in close proximity to the), and can be in close contact with the partition 10 in contact with the outside air can maintain a more airtight capacity.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버(1)에 마련된 이송축(15)이 이동할 때 실링부재(20)의 상태를 살펴보면 다음과 같다, 우선, 이송장치에 의해 이송축이 이동하게 된다. 일예로 도 3에 도시된 바와 같이, 이송축(15)이 축선의 가로방향으로 이동하게 되면, 이송축(15)은 실링부재(20)의 일측을 가압하며 이동하게 된다. 이때, 실링부재(20)의 본체부(21)는 튜브형상으로 마련되며 기체가 수용된 내부(22)에는 일정한 압력이 작용된다. 이에, 이송축(15)의 이동시에도 본체부(21)의 내부(22)는 일정한 압력을 유지하게 됨으로 이송축(15)의 이동시 반발력을 줄일 수 있어 이동하는 방향에 반대방향으로 강한 반발력을 제공하는 종래의 실링부재에 비해 더욱 용이하게 정밀제어가 가능하다. 그리고, 실링부재(20)의 본체부(21)는 튜브형상으로 마련되며 기체가 수용된 내부(22)에는 일정한 압력이 작용됨으로 이송축(15)이 일측으로 이동하여도 실링부재(20)가 관통부(13) 및 이송축(15)을 압착하는 힘을 거의 일정하게 되어 이송축(15)의 이동시에도 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지할 수 있으며, 이와 같이 이송축(15)의 이동시 실링부재가 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지할 수 있어 일정한 기밀능력을 유지할 수 있다.In addition, the state of the sealing member 20 when the feed shaft 15 provided in the vacuum chamber 1 according to the first embodiment of the present invention moves is as follows. First, the feed shaft is moved by the feed device. do. For example, as shown in FIG. 3, when the feed shaft 15 moves in the horizontal direction of the axis, the feed shaft 15 moves while pressing one side of the sealing member 20. At this time, the body portion 21 of the sealing member 20 is provided in a tubular shape and a constant pressure is applied to the interior 22 in which the gas is accommodated. Therefore, even when the feed shaft 15 moves, the inside 22 of the main body 21 maintains a constant pressure, thereby reducing the repulsive force when the feed shaft 15 moves, thereby providing a strong repulsive force in a direction opposite to the moving direction. Compared to the conventional sealing member can be more easily precise control. In addition, the body part 21 of the sealing member 20 is provided in a tube shape, and the sealing member 20 penetrates even when the transport shaft 15 moves to one side because a constant pressure is applied to the inside 22 in which the gas is accommodated. The force for compressing the portion 13 and the feed shaft 15 is substantially constant, so that the compressive force is partially weakened even when the feed shaft 15 moves, and thus the sealing member when the feed shaft 15 moves. Can partially prevent the pressing force from being weakened and maintain a constant airtight capacity.

이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 진공챔버 및 실링부재는 이송축의 정밀제어가 용이하며, 이송축의 이동시 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지하여 기밀능력을 향상 시킬 수 있다. As described above, the vacuum chamber and the sealing member according to the first embodiment of the present invention can easily control the precision of the feed shaft, and can improve the airtight ability by preventing the compressive force from being partially weakened when the feed shaft is moved.

제2실시예Second embodiment

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 진공챔버(1) 및 실링부재(20a)는 이탈방지부(27a)가 연장부(25)의 단부에서 부분적으로 복수개 돌출된다는 것과, 격벽(10)에 이탈방지부(27a)의 적어도 일부영역을 수용할 수 있도록 함몰된 적어도 하나의 함몰부(14)가 마련된다는 것이 제1실시예와 차이점이다.4 and 5, the vacuum chamber 1 and the sealing member 20a according to the second embodiment of the present invention have a plurality of separation prevention portions 27a partially at the ends of the extension portion 25. The protruding part and the partition 10 are different from the first embodiment in that at least one recess 14 recessed to accommodate at least a partial region of the departure preventing part 27a is provided.

이탈방지부(27a)는 연장부(25)의 단부로부터 복수개로 대칭을 이루면 돌출 형성되는 것이 바람직하나 하나로 돌출 될 수도 있다. 이탈방지부(27a)는 튜브형상이 아닌 고무와 같은 탄성재질로 마련될 수 있다. 그러나, 이탈방지부(27a)는 튜브형상으로 마련될 수 있다. 이탈방지부(27a)는 함몰부(14)에 용이하게 수용되도록 함몰부(14)방향으로 경사지게 마련될 수 있다.The departure prevention part 27a is preferably formed to protrude if a plurality of symmetry is formed from the end of the extension part 25, but may protrude to one. The departure prevention part 27a may be provided with an elastic material such as rubber, not a tube shape. However, the separation preventing portion 27a may be provided in a tube shape. The departure prevention part 27a may be provided to be inclined toward the depression 14 so as to be easily accommodated in the depression 14.

함몰부(14)는 이탈방지부(27a) 수량 및 형상에 대응하여 격벽(10)의 판면에 함몰 형성된다. 함몰부(14)는 이탈방지부(27a)를 수용하여 진공공간(11)의 진공력 및 이송축(15)의 이동 등에 의해 본체부(21) 및 연장부(25)가 관통부(13) 및 관통부(13)와 근접한 격벽(10)으로부터 이탈되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있 다.The depression 14 is formed in the plate surface of the partition wall 10 in correspondence with the quantity and shape of the departure prevention portion 27a. The recessed portion 14 accommodates the separation prevention portion 27a so that the main body portion 21 and the extension portion 25 are penetrated by the vacuum force of the vacuum space 11 and the movement of the feed shaft 15. And it is possible to more effectively prevent the departure from the partition 10 in close proximity to the through portion (13).

이러한 구성에 의해, 본 발명의 제2실시예에 따른 진공챔버 및 실링부재도 역시 이송축의 정밀제어가 용이하며, 이송축의 이동시 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지하여 기밀능력을 향상시킬 수 있다. 그리고, 이탈방지부 및 함몰부에 의해 제1실시예보다 본체부 및 연장부가 관통부 및 관통부와 근접한 격벽으로부터 이탈되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.By such a configuration, the vacuum chamber and the sealing member according to the second embodiment of the present invention can also easily control precision of the feed shaft, and can prevent the compressive force from being weakly partially during movement of the feed shaft, thereby improving the airtight capacity. In addition, it is possible to more effectively prevent the main body part and the extension part from being separated from the partition part closer to the through part and the through part by the departure preventing part and the recessed part than in the first embodiment.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 이송축의 정밀제어가 용이하며, 이송축의 이동시 부분적으로 압착력이 약해지는 것을 방지하여 기밀능력을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, precise control of the feed shaft is easy, and the compressive force can be prevented from being partially weakened during movement of the feed shaft, thereby improving the airtight capacity.

그리고, 연장부를 마련하여 기밀능력을 더욱 향상시킬 수 있으며, 본체부가 관통부를 이탈하는 것을 억제할 수 있다.And by providing an extension part, the airtight ability can be improved further and it can suppress that a main body part leaves a penetration part.

또한, 이탈방지부를 더 마련하여 본체부 및 연장부가 관통부 및 격벽을 이탈하는 것을 억제할 수 있다.In addition, the separation prevention portion may be further provided to prevent the main body portion and the extension portion from being separated from the penetrating portion and the partition wall.

Claims (5)

격벽에 마련된 관통부와 상기 관통부를 통과하는 이송축 사이에 결합된 실링부재에 있어서,In the sealing member coupled between the through portion provided in the partition wall and the feed shaft passing through the through portion, 튜브형상으로 마련되어 상기 관통부에 삽입되어 그 내측에 기체 및 유체 중 적어도 하나가 수용되어 상기 관통부를 압착하며, 상기 이송축을 압착가능하게 수용하는 축수용부를 갖는 본체부와;A main body portion provided in a tubular shape and inserted into the through portion to receive at least one of gas and fluid therein to compress the through portion, and having a shaft accommodating portion for compressively receiving the feed shaft; 상기 격벽의 판면에 밀착가능하게 상기 본체부의 양단부 중 적어도 일단부로부터 상기 격벽의 판면방향으로 외향 연장된 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실링부재.And an extension part extending outwardly from at least one of both ends of the main body portion in an outward direction in the plate surface direction of the partition wall so as to be in close contact with the plate surface of the partition wall. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 연장부의 단부에서 상기 격벽의 판면에 접촉가능하도록 방사방향으로 마련되어 상기 본체부 및 연장부가 상기 관통부로 이탈되는 것을 방지하는 하나 이상의 이탈방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실링부재.Sealing member, characterized in that it further comprises one or more departure preventing portion provided in the radial direction to be in contact with the plate surface of the partition wall at the end of the extension to prevent the main body portion and the extension portion is separated from the through portion. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 격벽에 상기 이탈방지부의 적어도 일부영역을 수용할 수 있도록 함몰된 하나 이상의 함몰부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실링부재.Sealing member, characterized in that it comprises one or more recessed portion recessed to accommodate at least a partial region of the separation prevention portion in the partition wall. 내측에 진공공간을 형성하는 격벽과, 상기 격벽에 마련된 관통부를 통과하는 이송축을 구비한 진공챔버에 있어서,In the vacuum chamber having a partition for forming a vacuum space on the inside and a feed shaft passing through the through portion provided in the partition, 상기 이송축과 상기 관통부 사이를 차단하도록 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 실링부재와;A sealing member according to any one of claims 1 to 4 so as to block between the feed shaft and the through portion; 상기 이송축과 결합되어 상기 실링부재의 반력을 극복하고 상기 이송축을 이송하는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버.And a conveying device coupled to the conveying shaft to overcome the reaction force of the sealing member and conveying the conveying shaft.
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