KR100595016B1 - Sealing structure of a male and female couplings in an automatic connecting device of a hose for transfering a high purity chemicals - Google Patents

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KR100595016B1 KR1020040087112A KR20040087112A KR100595016B1 KR 100595016 B1 KR100595016 B1 KR 100595016B1 KR 1020040087112 A KR1020040087112 A KR 1020040087112A KR 20040087112 A KR20040087112 A KR 20040087112A KR 100595016 B1 KR100595016 B1 KR 100595016B1
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Abstract

본 발명은 반도체제조 공정에서 사용하는 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 관한 것으로서, 종래에는 암커플링의 밸브체나 수커플링의 수용부의 밀폐를 위하여 오링를 사용하는 방법을 통하여 밀폐를 하였는데 이는 오링이 이탈되는 등의 문제로 인하여 누유등의 문제가 있다.The present invention relates to an automatic connection device for a chemical transfer hose used in a semiconductor manufacturing process, and in the related art, the sealing is performed by using an O-ring for sealing a valve body of a female coupling or a receiving portion of a male coupling. There is a problem such as leakage due to problems such as departure.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 암커플링의 밸브체나 수커플링의 수용부에 다수개의 홈을 원주방향을 따라 형성하는 것에 의하여 구성하는 기밀유지 탄성벽을 원주방향으로 다수개 형성함으로서, 이 기말유지 탄성벽에 의하여 다중으로 밀폐하고자 하는데 그 특징이 있다.In order to solve this problem, the present invention provides a plurality of hermetic resilient walls formed in the circumferential direction by forming a plurality of grooves along the circumferential direction in the valve body of the female coupling or the receiving portion of the male coupling. It is characterized by the fact that it is to be sealed in multiple by the end-retaining elastic wall.

케미컬의 이송, 케미컬의 이송용 커플링, 유체이송용 커플링, 암수 커플링 Chemical transfer, chemical transfer coupling, fluid transfer coupling, male and female coupling

Description

고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암,수커플링의 결합부 밀폐구조{SEALING STRUCTURE OF A MALE AND FEMALE COUPLINGS IN AN AUTOMATIC CONNECTING DEVICE OF A HOSE FOR TRANSFERING A HIGH PURITY CHEMICALS}SEALING STRUCTURE OF A MALE AND FEMALE COUPLINGS IN AN AUTOMATIC CONNECTING DEVICE OF A HOSE FOR TRANSFERING A HIGH PURITY CHEMICALS}

도1은 종래의 암커플링과 수커플링의 결합부의 구조를 보여주는 단면도.1 is a cross-sectional view showing the structure of a coupling portion of a conventional female coupling and male coupling.

도2a, 2b는 본 발명의 암,수커플링의 결합부 구조를 보여주는 단면도.Figure 2a, 2b is a cross-sectional view showing the structure of the coupling portion of the male, male coupling of the present invention.

도3은 도2a의 다른 실시예를 보여주는 단면도.Figure 3 is a sectional view showing another embodiment of Figure 2a.

도4는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.4 is a cross-sectional view showing yet another embodiment of the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

1: 암커플링 3: 결합부1: female coupling 3: coupling part

8: 오링 9: 홈8: O-Ring 9: Home

10: 수커플링 20: 밸브체10: male coupling 20: valve body

21: 경사면 23,33: 기밀유지 탄성벽21: slope 23,33: airtight elastic wall

본 발명은 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밀폐구조에 관한 것으로서, 더욱 상세히 설명하면 암,수커플링에 기밀 유지를 위한 다수의 탄성을 가진 기밀유지 탄성벽을 일체로 형성하여 암,수커플링을 결합시 고순도 케미컬(high purity chemicals)의 누출, 오염 및 오손 등의 결함이 효과적으로 방지되는 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밀폐구조에 관한 것이다.The present invention relates to a hermetic coupling structure of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose, which will be described in more detail. It is formed in the hermetic coupling sealing structure installed in the automatic connection device of high purity chemical conveying hose, which effectively prevents defects such as leakage, contamination and fouling of high purity chemicals when combining female and male couplings. It is about.

일반적으로 반도체 제조공정이나 액정표시장치 제조공정 등에 사용되는 고청정, 고순도의 케미컬은 사용량이 커짐에 따라서 운반용기의 사이즈가 점차로 대형화되고 있고, 케미컬을 이송시키기 위해 테프론 재질로 된 급속연결구(quick coupling)의 호스연결장치를 이용함으로써 용기뚜껑의 개폐회수가 줄어들으므로 케미컬을 취급하는 사용자들의 안전사고가 감소되는 장점이 있다.In general, high-clean and high-purity chemicals used in semiconductor manufacturing processes and liquid crystal display device manufacturing processes are gradually increasing in size as the amount of use increases, and quick couplings made of Teflon are used to transfer chemicals. By using the hose connection device of the), the number of opening and closing of the container lid is reduced, there is an advantage that the safety accidents of users handling the chemical is reduced.

본 출원인은 종래의 퀵커플링의 사용에 따른 제반문제점을 해소시키기 위해 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치를 연구 개발하여 국내특허출원 제94-19828호, 국내실용신안등록출원 제95-8282호와 제95-47786호로 출원 한 바 있으며, 이들 기술은 암수커플러의 세정과 접속, 분리작업이 하나의 장치 내에서 순차적으로 이루어지게 함으로써 고순도 케미컬의 오염을 방지하는 효과를 제공함은 물론 케미컬 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 배제하여 작업성 및 안전성이 향상되게 하였다.The present applicant has researched and developed the automatic connection device of the high purity chemical conveying hose in order to solve all the problems caused by the use of the conventional quick coupling, and the domestic patent application No. 94-19828, the domestic utility model registration application No. 95-8282 And 95-47786, these techniques provide the effect of preventing contamination of high-purity chemicals as well as cleaning and connecting and disconnecting female and female couplers in a single device. The workability and safety are improved by eliminating the risk and inconvenience of the worker.

그러나, 도1에 예시된 바와 같이, 종래의 암커플링(1)은 슬라이드부(2)와, 슬라이드부(2)에 결합된 결합부(3)와, 결합부(3) 내에 스프링(s)으로 탄력적으로 지지되게 결합되어 케미컬의 이송통로를 개폐시키는 밸브체(20)로 구성된다. 또한, 수커플링(10)은 암커플링(1)의 결합부(3)에 결합되는 결합부(13)와, 암커플링(1)의 밸브체(20)에 의해 작동되는 수용부(30)를 포함한다.However, as illustrated in FIG. 1, the conventional female coupling 1 includes a slide portion 2, a coupling portion 3 coupled to the slide portion 2, and a spring s in the coupling portion 3. It is composed of a valve body 20 is coupled to be elastically supported by the) to open and close the transfer path of the chemical. In addition, the male coupling 10 includes a coupling portion 13 coupled to the coupling portion 3 of the female coupling 1, and a receiving portion operated by the valve body 20 of the female coupling 1. 30).

이와 같이 구성된 종래의 암커플링(1)은, 암커플링(1)과 수커플링(10)이 결합된 후, 실린더 블럭(11)의 일측에 위치한 전진 에어유입공(4)으로 유입되는 구동 압축공기에 의해 암커플링(1)의 슬라이드부(2)가 수커플링(10) 측으로 이동되어 즉, 밸브체(20)가 결합부(3)에서 슬라이드부(2) 측으로 이동되어 암커플링(1)의 결합부(3)와 수커플링(10)의 결합부(13)가 결합되면 수커플링(10)의 수용부(30)가 밸브체(20)에 의해 개방되어 케미컬 이송통로가 개방되고, 케미컬의 이송이 완료되면 암커플링(1)의 밸브체(20)가 스프링(s)에 의해 그리고 수커플링의 수용부(30)가 스프링(s)에 의해 각각 후방으로 복귀되게 하여 케미컬 이송 통로를 차단되게 하는 역할을 한다. The conventional female coupling 1 configured as described above, after the female coupling 1 and the male coupling 10 are coupled, flows into the forward air inlet hole 4 located at one side of the cylinder block 11. By the driving compressed air, the slide portion 2 of the female coupling 1 is moved to the male coupling 10 side, that is, the valve body 20 is moved from the coupling portion 3 to the slide portion 2 side. When the coupling part 3 of the coupling 1 and the coupling part 13 of the male coupling 10 are coupled to each other, the receiving part 30 of the male coupling 10 is opened by the valve body 20 so that the chemical When the conveyance passage is opened and the transfer of the chemical is completed, the valve body 20 of the female coupling 1 is moved by the spring s and the receiving portion 30 of the male coupling is moved by the spring s, respectively. It serves to return to the chemical transport passage is blocked.

물론 암커플링(1)과 수커플링(10)이 결합된 후 케미컬 이송통로가 개방되기 전에 사전 작업으로서 케미컬 이송통로의 세정 및 건조작업이 이루어지고, 케미컬의 이송이 완료된 후에도 세정 및 건조 작업이 또한 이루어진다.Of course, after the female coupling 1 and the male coupling 10 are combined and before the chemical transfer passage is opened, the chemical transfer passage is cleaned and dried as a preliminary operation, and the cleaning and drying operations are performed even after the transfer of the chemical is completed. This is also done.

이와 같이 암커플링(1)의 결합부(3)와 밸브체(20)는 케미컬의 이송통로를 밀폐하여 차단시키기 위해 밸브체(20)의 경사면(21)에 오링(O ring)(8) 수용홈(9)이 원주상으로 형성되고, 이 오링 수용홈(9)에 오링(8)을 결합시켜 사용하였다. 이와 마찬가지로, 수커플링(10)의 결합부(13)와 수용부(30)에도 경사면(31)에 오링(O ring)(14) 수용홈(15)이 원주상으로 형성되고, 이 오링 수용홈(15)에 오링(14)을 결합시켜 사용하였다. In this way, the coupling part 3 of the female coupling 1 and the valve body 20 are O-rings 8 on the inclined surface 21 of the valve body 20 to seal and shut off the transfer path of the chemical. Receiving groove (9) is formed in a circumferential shape, was used to combine the O-ring (8) in the O-ring receiving groove (9). Similarly, the O-ring 14 receiving groove 15 is formed in the circumferential shape on the inclined surface 31 in the coupling portion 13 and the receiving portion 30 of the male coupling 10. The O-ring 14 was combined with the groove 15 to be used.

그러나, 암커플링(1) 및 수커플링(10)의 수용홈(9, 15)에 결합된 각각의 오 링(8, 14)은 밸브체(20) 및 수용부(30)의 반복적인 이동에 의해 오링 수용홈(9, 15)으로부터 오링(8, 14)이 이탈되는 문제점이 발생되었다.However, the respective o-rings 8, 14, which are coupled to the receiving grooves 9, 15 of the female coupling 1 and the male coupling 10, are repetitive of the valve body 20 and the receiving portion 30. O-rings 8 and 14 are separated from the o-ring receiving grooves 9 and 15 by the movement.

또한, 밸브체(20) 및 수용부(30)의 반복적인 이동에 의해 결합부(3, 13)에 면접촉되는 오링(8, 14)의 외관 형상이 변형되어 케미컬 이송통로의 밀폐성능이 저하되는 문제점이 발생되었다.In addition, the outer shape of the O-rings 8 and 14 which are in surface contact with the coupling parts 3 and 13 is deformed by the repetitive movement of the valve body 20 and the receiving part 30, thereby reducing the sealing performance of the chemical feed passage. The problem arises.

이와 같이 오링(8, 14)이 수용홈(9, 15)으로부터 이탈되거나 오링(8, 14) 자체의 변형에 의해서 밸브체(20)와 결합부(3) 및 수용부(30)와 결합부(13)의 밀폐가 저하되므로 인해서 고순도 케미컬이 누설되거나 오염되는 문제점이 발생되었다.As such, the O-rings 8 and 14 are separated from the receiving grooves 9 and 15 or the deformation of the O-rings 8 and 14 itself may cause the valve body 20, the coupling part 3, and the accommodation part 30 and the coupling part to be separated. As the sealing of (13) was deteriorated, there was a problem that high purity chemicals were leaked or contaminated.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해소시키고자 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 암커플링의 반복 결합시에 밸브체와 결합부사이의 기밀구조가 저하되지 않는 암커플링의 밀폐결합구조를 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been invented to solve such problems in the related art, and an object of the present invention is to provide a hermetic coupling structure of an arm coupling in which the airtight structure between the valve body and the coupling portion does not deteriorate during repeated coupling of the arm coupling. I would like to.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 암커플링의 밸브체 또는 수커플링의 수용부에 각각 또는 동시에 원주방향으로 다수개의 홈을 형성하는 것에 의하여 다수개의 기밀유지 탄성벽을 원주 방향으로 형성하는 것에 의하여 가능하였다.In order to achieve the above object, in the present invention, a plurality of airtight elastic elastic walls are formed in the circumferential direction by forming a plurality of grooves in the circumferential direction respectively or simultaneously in the receiving portion of the female body or the valve body of the female coupling. It was possible by

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면 도2a 및 도 2b에 의하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, described in detail with reference to Figures 2a and 2b attached to a preferred embodiment of the present invention.

발명의 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 장착되는 암커플링(1)의 결합부(3)와 밸브체(20) 그리고 수커플링(10)의 결합부(13)와 수용부(30)가 폴 리테트라플루오르에틸렌(PTFE)으로 제조되어 구성된 것에 있어서,Coupling portion 3 of the female coupling (1) and the valve body 20 and the coupling portion 13 and the receiving portion 30 of the male coupling 10 mounted on the automatic coupling device of the high purity chemical transfer hose of the invention ) Is made of polytetrafluoroethylene (PTFE),

상기 암커플링(1)의 밸브체(20)의 선단에 원주방향으로 다수개의 홈(22)을 형성하는 것에 의하여 상기 홈(22)과 홈(22)사이에 기밀유지 탄성벽(23)을 가지도록 일체로 형성한다.By forming a plurality of grooves 22 in the circumferential direction at the distal end of the valve body 20 of the female coupling 1, the airtight holding elastic wall 23 is formed between the grooves 22 and the grooves 22. It is formed integrally to have.

다시말해 암커플링(1)의 밸브체(20)의 선단에 원주방향으로 다수개의 홈(22)을 형성하는 것에 의하여 다수개의 원주방향을 따라 마치 링과 같은 형상의 기밀유지 탄성벽(23)을 구성한다.In other words, by forming a plurality of grooves 22 in the circumferential direction at the front end of the valve body 20 of the female coupling 1, the airtight elastic elastic wall 23 having a ring-like shape along the plurality of the circumferential directions Configure

또한 필요에 따라서는 수커플링(10)에도 수커플링(10)의 수용부(30)에 상기한 암커플링(1)의 홈(22)과 같이 다수개의 홈(32)을 원주방향을 따라 다수개 형성하는 것에 의하여 원주방향을 따라 다수개의 기밀유지 탄성벽(33)을 형성한다.If necessary, the male coupling 10 also includes a plurality of grooves 32 in the circumferential direction, such as the grooves 22 of the female coupling 1, in the receiving portion 30 of the male coupling 10. A plurality of airtight holding elastic walls 33 are formed along the circumferential direction by forming a plurality of them.

이때 상기한 암커플링(1)과 수커플링(10)의 각각의 기밀유지 탄성벽(23),( 33)의 높이는 경사면(21),(31)에 형성된 홈(22),(32)들에 의해 상호 상이하게 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the height of each of the hermetic retaining elastic walls 23 and 33 of the female coupling 1 and the male coupling 10 is the grooves 22 and 32 formed on the inclined surfaces 21 and 31. It is preferable to form mutually different by these.

이를 좀더 상세하게 설명하면 도2a 및 도 2b에 예시된 바와 같이, 본 발명의 암커플링(1)의 밸브체(20)에 원주방향을 따라 다수개의 홈(22)이 형성한다.In more detail, as illustrated in FIGS. 2A and 2B, a plurality of grooves 22 are formed along the circumferential direction in the valve body 20 of the arm coupling 1 of the present invention.

이러한 홈(22)의 형성에 의하여 결국 암커플링(1)의 밸브체(20)에는 그 표면상에 형성한 상기의 홈(22)의 형성에 의해 홈(22)과 홈(22)사이에는 결국 다수개의 기밀유지 탄성벽(23)이 원주방향을 따라 형성되게 된다.The groove 22 and the groove 22 are formed by the formation of the groove 22 formed on the surface of the valve body 20 of the female coupling 1 by the formation of the groove 22. As a result, a plurality of airtight elastic walls 23 are formed along the circumferential direction.

이때 상기 암커플링(1)의 밸브체(20)에 형성된 기밀유지 탄성벽(23)은 결합부(3)와의 결합시에 결합하는 이동 방향으로 상기한 기밀유지 탄성벽(23)의 일부분 이 강제로 이동하게 되는데 이러한 강제성은 복귀하려는 반발력을 내포하게 하므로 그 밀착력을 크게 하게 된다.At this time, the airtight holding elastic wall 23 formed in the valve body 20 of the female coupling 1 is a part of the airtight holding elastic wall 23 in the moving direction to be engaged at the time of engagement with the coupling part (3). It is forced to move, and this forcing implies a repulsive force to return, thereby increasing the adhesion.

이러한 밀착력에 의하여 결합부(3)와 밸브체(20)사이에는 기밀유지가 이루어지게 되는데 이때 상기한 바와 같이 기밀유지 탄성벽(23)이 다수개로 구성되어 있기 때문에 그 기밀은 다중으로 밀착되므로 그 기밀이 확실하게 이루어지게 된다.Airtightness is made between the coupling part 3 and the valve body 20 by such an adhesive force, but since the airtight holding elastic wall 23 is comprised of many as mentioned above, since the airtightness is closely adhered in multiple, Confidentiality is ensured.

마찬가지로, 수커플링(10)의 경우에도 결합부(13)내의 수용부(30)에 다수개의 홈(32)을 원주상으로 형성한다.Similarly, in the case of the male coupling 10, a plurality of grooves 32 are formed in the circumferential shape in the receiving portion 30 in the coupling portion 13.

이러한 홈(32)의 형성에 의하여 상기한 바와 같이, 수커플링(10)의 수용부(30)의 표면에는 다수개의 기밀유지 탄성벽(33)이 원주방향을 따라 형성된다.As described above, a plurality of hermetic holding elastic walls 33 are formed along the circumferential direction on the surface of the receiving portion 30 of the male coupling 10 by the formation of the groove 32.

이때 상기 수커플링(10)의 수용부(30)에 형성된 기밀유지 탄성벽(33)은 결합부(13)와의 결합시에 결합하는 이동 방향으로 상기한 기밀유지 탄성벽(33)의 일부분이 강제로 이동하게 되는데 이러한 강제성은 복귀하려는 반발력을 내포하므로 그 밀착력을 크게 하게 된다.At this time, the hermetic holding elastic wall 33 formed in the receiving portion 30 of the male coupling 10 has a portion of the hermetic holding elastic wall 33 in the moving direction to be engaged at the time of engagement with the coupling portion 13. It is forced to move. This forcing implies a repulsive force to return, thereby increasing the adhesion.

이러한 밀착력에 의하여 결합부(13)와 수용부(30)사이에는 밀착력에 의한 기밀유지가 이루어지게 되는데 이때 상기한 바와 같이 기밀유지 탄성벽(33)이 다수개로 구성되어 있기 때문에 그 기밀은 다중으로 밀착되므로 그 기밀이 확실하게 이루어지게 된다.The closet between the coupling portion 13 and the receiving portion 30 by the close contact force is made by the close contact force. At this time, since the airtight elastic wall 33 is composed of a plurality as described above, the airtightness is multiplied. Because it is in close contact, its confidentiality is ensured.

이때 상기한 암커플링(1)의 밸브체(20) 또는 수커플링(10)의 수용부(30)에 형성하는 다수개의 홈(22),(32)은 그 가공 형태에 따라 변형을 행할 수 있는데 첨부한 도면 도 2a 및 도 2b와 같이 사각형태로 형성하는 것에 의하여 사각형상을가 진 마치 링형태의 기밀유지 탄성벽(23),(33)을 구성할 수 있으며, 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 톱니형태로 형성하는 것에 의하여 톱니형의 링형태를 가지는 기밀유지 탄성벽(23),(33)을 형성하여도 상기와 같은 효과를 가질 수 있다.At this time, the plurality of grooves 22 and 32 formed in the valve body 20 of the female coupling 1 or the receiving portion 30 of the male coupling 10 may be deformed according to the processing form. 2A and 2B of the accompanying drawings, it is possible to form a ring-shaped airtight holding elastic walls 23 and 33 having a rectangular shape by forming a rectangular shape, as shown in FIG. As described above, even when the airtight elastic elastic walls 23 and 33 having the sawtooth ring shape are formed by the sawtooth shape, the same effects can be obtained.

또한 본 발명은 첨부한 도면 도 4에서 도시하고 있는 바와 같이, 상기한 암커플링(1)의 밸브체(30)과 수커플링(10)의 수용부(30)에 상기한 바와 같은 홈(22),(32)의 형성없이도 밀폐를 유지할 수 있는데, 이는 상기한 암커플링(1)의 밸브체(20)를 경사진 형태의 경사면(21)을 구성하고, 수커플링(30)의 수용부(30)를 경사지게 한 경사면(31)을 갖도록한다.In addition, the present invention, as shown in Figure 4 of the accompanying drawings, the above-described grooves (not shown) in the valve body 30 of the female coupling 1 and the receiving portion 30 of the male coupling 10 ( 22) and 32, it is possible to maintain the sealing without forming the inclined surface 21 of the inclined shape of the valve body 20 of the female coupling (1), the male coupling 30 It has to have the inclined surface 31 which inclined the accommodating part 30.

이러한 경사면(21),(31)은 경사에 의하여 결합을 하게되면 그 경사면(21),(31)의 결합에 의하여 서로 선접촉에 의한 밀폐결합이 이루어지게 된다.When the inclined surfaces 21 and 31 are coupled by the inclined surface, the inclined surfaces 21 and 31 are sealed by line contact with each other by the combination of the inclined surfaces 21 and 31.

이러한 밀폐는 상기한 바와 같은 홈(22),(32)을 형성하는 것에 의하여 발생한 기밀유지 탄성벽(23),(33)의 결합에 의한 다중 밀폐력은 발생하지 않으나 밀폐력을 단순히 유지하는 기능은 가능하다.Such sealing does not generate multiple sealing forces due to the combination of the airtight holding elastic walls 23 and 33 generated by forming the grooves 22 and 32 as described above, but it is possible to simply maintain the sealing force. Do.

이하 본 발명이 구성하는 장치의 작용에 대하여 살펴보기로 한다.Hereinafter, the operation of the apparatus of the present invention will be described.

상기한 바와 같은 커플링 결합방식으로 암커플링(1)과 수커플링(10)의 결합이 이루어진 후 결합부 사이의 케미컬이송통로의 세정 및 건조 작업이 이루어진다.After the coupling between the female coupling (1) and the male coupling 10 is made by the coupling coupling method as described above, cleaning and drying of the chemical transfer path between the coupling portion is performed.

그 다음 실린더 블럭(11)의 일측에 위치한 전진 에어유입공(4)으로부터 유입되는 구동압축공기에 의해 암커플링(1)의 슬라이드부(2)가 수커플링(10)측으로 이동되어 암커플링(1)의 결합부(3)가 수커플링(10)의 결합부(13)에 결합되면 암커플링(1)의 밸브체(20) 선단이 수커플링(10)의 수용부(30)와 접촉되어 밸브체(20)가 결합부(3) 후방으로(도면에서 좌측으로) 이동됨과 동시에 수커플링(10)의 수용부(30)도 밸브체(20)에 의해 밀려서 후방으로(도면에서 우측으로) 이동된다.Then, the slide portion 2 of the female coupling 1 is moved to the male coupling 10 side by the driving compressed air flowing from the forward air inlet hole 4 located on one side of the cylinder block 11 to the female coupler. When the coupling part 3 of the ring 1 is coupled to the coupling part 13 of the male coupling 10, the tip of the valve body 20 of the female coupling 1 is accommodated in the male coupling 10. In contact with the valve 30, the valve body 20 is moved to the rear of the coupling part 3 (to the left in the drawing) and at the same time the receiving part 30 of the male coupling 10 is pushed back by the valve body 20 to the rear. Is moved (to the right in the drawing).

이때, 밸브체(20)와 수용부(30)를 지지하는 스프링(s)은 압축된다.At this time, the spring s which supports the valve body 20 and the accommodating part 30 is compressed.

이와 같이 밸브체(20)와 수용부(30)가 각각 후방으로 이동되면 케미컬이송통로가 개방된다.Thus, when the valve body 20 and the accommodating part 30 are respectively moved backward, the chemical conveyance path is opened.

케미컬의 이송이 완료되면 이송 완료 신호가 컨트롤 패널(도시되지 않음)에 전달되고, 이후, 전진 에어유입공(4)에 가해졌던 전진용 구동압축공기의 공급이 중단됨과 동시에 타측의 후진 에어유입공(5)을 통하여 후진용 구동 압축공기가 공급되어 암커플링(1)이 위치센서(6)에 감지될 때 까지 수평으로 복귀이동되어 암,수커플링(1),(10)의 결합부(3),(13)의 결합이 해제된다. When the transfer of the chemical is completed, the transfer completion signal is transmitted to the control panel (not shown), and then, the supply of the forward driving compressed air applied to the forward air inlet hole 4 is stopped, and at the same time, the reverse air inlet hole on the other side is stopped. (5) is supplied with driving air for reversing, and the moving part is horizontally returned until the female coupling 1 is detected by the position sensor 6, thereby engaging the female, male couplings 1, 10. The combination of (3) and (13) is released.

이때, 밸브체(20)와 수용부(30)를 지지하는 압축된 스프링(s)은 자체의 압축된 반발력에 의해 밸브체(20)와 수용부(30)를 본래의 상태로 복귀되게 이동시킨다.At this time, the compressed spring s supporting the valve body 20 and the receiving part 30 moves the valve body 20 and the receiving part 30 to their original state by their compressed repulsive force. .

즉, 밸브체(20)와 결합부(3) 및 수용부(30)와 결합부(13)사이에는 상기에서 설명한 기밀유지 탄성벽(23),(33)에 의한 다중의 밀폐 또는 경사면(21),(31)이 결합에 의한 선 접촉을 통한 기밀을 유지하여 케미컬의 이송통로가 완전히 차단된다.That is, between the valve body 20, the engaging portion 3, and the receiving portion 30 and the engaging portion 13, the multiple sealing or inclined surface 21 by the airtight holding elastic walls 23, 33 described above. ), (31) maintains hermeticity through the line contact by the combination is completely blocked the transfer path of the chemical.

그리고, 다시 결합부 내면, 즉 접액부가 세정되고 건조된 후 작업자는 스토퍼(12)를 해제시켜 수커플링(10)을 체결블럭(11)으로부터 이탈시킨다.Then, the inner surface of the coupling part, that is, after the liquid contact part is cleaned and dried, the operator releases the stopper 12 to separate the male coupling 10 from the fastening block 11.

이상에서와 같이 본 발명은 결국 암커플링(1) 또는 수커플링(10)에 다수개의 홈(23),(33)을 각각 형성하는 것에 의하여 발생하는 기밀유지 탄성벽(23),(33)을 통하여 다중의 밀폐구조를 취하고, 또한 경사면(21),(31)을 통한 선접촉 밀폐를 통 하여 기밀을 유지하는 것에 큰 특징이 있는 발명임을 알 수 있다.As described above, according to the present invention, the airtight elastic walls 23 and 33 generated by forming a plurality of grooves 23 and 33 in the female coupling 1 or the male coupling 10 respectively. It can be seen that the invention has a great feature in taking multiple sealing structure through), and also maintaining airtightness through the line contact sealing through the inclined surfaces (21) and (31).

본 발명의 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 결합부와 밸브체 또는 수용부의 결합구조는 탄성벽을 밸브체와 수용체에 일체로 형성하여 다수의 기밀유지 탄성벽에 의해 다중으로 기밀유지를 취할 수 있도록하여 케미컬의 누출 및 오염등을 방지되게 하는 효과를 갖는 유용한 발명이다.The coupling structure of the male and female couplings and the valve body or the accommodating portion mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose of the present invention is formed by integrally forming the elastic wall on the valve body and the container, and by a plurality of airtight elastic walls. It is a useful invention having the effect of preventing the leakage and contamination of the chemical to be taken multiple airtight.

Claims (7)

슬라이드부(2)에 의해 전후진 이동되는 결합부(3)와, 결합부(3)내에 탄성적으로 지지되도록 실링구조를 갖는 밸브체(20)를 포함하는 암커플링(1)과, 암커플링(1)에 결합되며 암커플링(1)의 밸브체(20)에 의해 작동되는 수용부(30)와, 암커플링(1)의 결합부(3)에 상호 결합되는 결합부(13)를 갖는 수커플링(10)을 포함하여 이루어진 고순도 케미컬 이송용 호스의 자동연결장치에 있어서,An arm coupling (1) comprising a coupling portion (3) moved forward and backward by the slide portion (2), a valve body (20) having a sealing structure so as to be elastically supported in the coupling portion (3), and an arm; A coupling portion coupled to the coupling 1 and operated by the valve body 20 of the female coupling 1, and a coupling portion mutually coupled to the coupling portion 3 of the female coupling 1 ( In the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose comprising a male coupling 10 having a 13), 암커플링(1)의 밸브체(20)의 선단에 원주방향으로 다수개의 홈(22)을 형성하는 것에 의하여 다수개의 기밀유지 탄성벽(23)을 구성하여 상기 다수개의 기밀유지 탄성벽(23)이 상기 암커플링(1)의 결합부(3)에 접촉하면서 강제로 가압 밀착하는 것에 의하여 다중의 밀폐가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조조.A plurality of hermetic elastic walls 23 are formed by forming a plurality of grooves 22 in the circumferential direction at the tip of the valve body 20 of the female coupling 1 to form the plurality of hermetic elastic walls 23. Male and female couplings mounted on the automatic coupling device of the high purity chemical transfer hose, characterized in that multiple seals are made by forcibly pressing and contacting the coupling portion 3 of the female coupling 1. Sealing structure of valve body and coupling part 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 수커플링(10)의 수용부(30)내에 원주방향으로 다수개의 홈(32)을 형성하는 것에 의하여 다수개의 기밀유지 탄성벽(33)을 구성하여 상기 다수개의 기밀유지 탄성벽(33)이 상기 수커플링(10)의 결합부(13)에 접촉하면서 강제로 가압 밀착하는 것에 의하여 다중의 밀폐가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.A plurality of hermetic elastic walls 33 are formed by forming a plurality of grooves 32 in the circumferential direction in the receiving portion 30 of the male coupling 10 to form the plurality of hermetic elastic walls 33. Male and female coupling of the male and female couplings of the high purity chemical transfer hose, characterized in that the multiple seals are made by forcibly contacting the coupling portion 13 of the male coupling 10. Seal structure of valve body and coupling part. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 암커플링(1)의 밸브체(20)에 원주방향으로 형성하는 홈(22)이 사각형태로 형성하는 것에 의하여 상기 기밀유지 탄성벽(23)이 원주방향으로 사각형상의 링형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.The airtight holding elastic wall 23 is formed in a rectangular ring shape in the circumferential direction by forming the groove 22 formed in the circumferential direction in the valve body 20 of the female coupling 1 in a quadrangular shape. Sealing structure of the valve body and the coupling portion of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 수커플링(10)의 수용부(30)에 원주방향으로 형성하는 홈(32)이 사각형태로 형성하는 것에 의하여 상기 기밀유지 탄성벽(33)이 원주방향으로 사각형상의 링형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.The airtight-retaining elastic wall 33 is formed in a rectangular ring shape in the circumferential direction by forming the groove 32 formed in the circumferential direction in a rectangular shape in the receiving portion 30 of the male coupling 10. Sealing structure of the valve body and the coupling portion of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose. 청구항3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 암커플링(1)의 밸브체(20)에 원주방향으로 형성하는 홈(22)이 톱니형태로 형성하는 것에 의하여 상기 기밀유지 탄성벽(23)이 원주방향으로 톱니형상의 링형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.The airtight-retaining elastic wall 23 is formed in the form of a tooth-shaped ring in the circumferential direction by forming the groove 22 formed in the circumferential direction in the valve body 20 of the female coupling 1 in the form of a tooth. Sealing structure of the valve body and the coupling portion of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 수커플링(10)의 수용부(30)에 원주방향으로 형성하는 홈(32)이 톱니형 태로 형성하는 것에 의하여 상기 기밀유지 탄성벽(33)이 원주방향으로 톱니형상의 링형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.The airtight-retaining elastic wall 33 is formed in the shape of a tooth-shaped ring in the circumferential direction by forming the groove 32 formed in the circumferential direction in the receiving portion 30 of the male coupling 10 in the form of a tooth. Sealing structure of the valve body and the coupling portion of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose. 청구항 1또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 암커플링(1)의 밸브체(20)와 상기 수커플링(10)의 수용부(30)가 각각 경사면(21),(31)을 형성하여 결합시 상기 경사면(21),(31)에 의하여 선접촉을 이루면서 밀착하는 것을 특징으로 하는 고순도 케미컬 이송 호스의 자동연결장치에 장착되는 암수커플링의 밸브체와 결합부의 밀폐구조.The valve body 20 of the female coupling 1 and the receiving portion 30 of the male coupling 10 form inclined surfaces 21 and 31, respectively, so that the inclined surfaces 21 and 31 are combined. The sealing structure of the valve body and the coupling portion of the male and female couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose, characterized in that the close contact by making a line contact.
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