KR100585019B1 - 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한스핀코팅 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법에 관한 것으로, 레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께를 측정하고, 측정된 두께측정 데이터를 피드백(feedback)하여 두께편차를 자동 조절하는 컨트롤러(40)를 포함하며, 상기 컨트롤러(40)는 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)과 결합되어 초기값으로 설정된 코팅프로필(coating profile)에 따라 스핀 제어 신호 및 분사 제어 신호에 의해 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)을 제어하여 스핀코팅(spin coating)을 실시한 후 스핀코팅된 디스크(D)의 두께를 측정하고, 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 측정된 두께측정 데이터가 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하며, 판별 결과에 따라 상기 코팅프로필을 재설정한 후 레진 토출과 스핀코팅을 다시 실시하여 UV 경화 후 두께 측정한 결과에 따라 정확한 두께의 디스크를 완성하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 디스크의 커버 레이어(cover layer) 제조시, 레진(resin)의 토출압, 스핀코터의 회전수, 속도 등을 자동 조절하여 두께 편차를 최소화하고 생산수율을 향상시키게 된다.
스핀코터, 스핀코팅, 피드백, 두께편차, 디스크

Description

자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법{SPIN COATER WITH AUTO CONTROL FUNCTION OF THICKNESS DEVIATION AND SPIN COATING METHOD USING IT}
도 1은 종래 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법을 나타낸 흐름도.
도 2는 도 1에 의해 제조된 디스크의 도포상태를 도시한 상태도.
도 3은 본 발명에 따른 스핀코터의 구성도.
도 4는 도 3의 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법을 나타낸 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 회전축 20: 스핀척
30: 노즐 40: 컨트롤러
40a: 측정부 40b: 주제어부
40c: 회전축 인터페이스 40d: 노즐 인터페이스
본 발명은 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스크의 커버 레이어(cover layer) 제조시, 레진(resin)의 토출압, 스핀코터의 회전수, 회전속도 등을 자동 조절하여 두께 편차를 최소화하고 생산수율을 향상시킬 수 있도록 하는 컨트롤러가 구비된 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법에 관한 것이다.
일반적으로, CD(Compact Disc), DVD(Digital Versatile Disk), 블루레이 디스크(Blu-Ray Disc) 등 디스크의 커버 레이어(cover layer)를 제조하기 위하여, 수㎛ 정도의 두께를 가지는 박막(thin film) 형태의 코팅막을 디스크 기판 상에 도포하여 제작하는 방식이 사용되는데, 도포 방식으로는 통상 스프레이코팅(spray coating), 롤코팅, 스핀코팅(spin coating) 등이 일반적이다.
스프레이 코팅의 경우, 코팅막의 균일성과 막 두께 조정에서 고정밀도용으로는 적합하지 않아 고정밀 패턴 형성용으로는 통상 스핀코팅이 사용된다. 스핀코팅은 비교적 코팅막의 두께가 두꺼운 경우에 사용되며, 스핀코팅에는 소정의 전용 스핀코팅 장치인 스핀코터(spin coater)가 이용된다. 스핀코터는 주로 디스크, 반도체 및 액정표시장치 제조시 박막(thin film)을 만들기 위하여 사용되는 장치로, 디스크 기판(disk substrate) 위에 코팅할 용액을 뿌려주고 고속 회전을 통해서 디스크 기판 전 표면에 고르게 코팅하는 장치를 의미한다.
도 1은 종래 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 종래 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법은 스핀코터에 디스크 기판을 적재하는 단계(S10)와, 적재된 디스크 기판 상면에 레진(resin)을 토출하는 단계와(S20), 고속회전을 통해 스핀코팅(spin coating)을 수행하여 레진(resin)이 디스크 기판의 전 표면에 퍼져 코팅되도록 하는 단계(S30)와, 디스크(D) 표면에 코팅된 레진(resin)에 UV(자외선)을 조사하여 경화시키는 UV 경화(curing)를 수행하여(S40), 디스크(D) 제작을 완료하는 단계(S60)로 이루어진다.
도 2는 도 1에 의해 제조된 디스크의 도포상태를 도시한 상태도이다.
27GB 크기의 블루레이 디스크를 가정하면, 디스크(D)는 두께 1.1mm 정도의 디스크 기판 상부에 약 0.1mm 두께로 형성되는 커버 레이어(cover layer)가 구성되고, 커버 레이어(cover layer) 상에 형성된 스퍼터링 층(sputtering layer)을 따라 0.32㎛의 트랙피치를 갖도록 레진(resin)이 도포된다. 27GB 크기의 블루레이 디스크의 경우, 최소기록마크는 0.14㎛ 크기를 가진다.
종래 스핀코터를 이용한 스핀코팅 공정을 통해 디스크(D)를 제조하는 경우, 도 2와 같이 디스크 기판 상에 레진(resin)이 불균일하게 도포되어 일정한 두께를 갖는 디스크 생산이 어렵고, 일정한 두께를 갖는 디스크 생산을 위한 정확한 레진(resin) 토출량 및 스핀속도의 제어가 어려울 뿐 아니라, 불균일하게 형성되는 두께편차 조절을 위한 피드백(feedback) 수단이 구성되지 않은 오픈 루프(open loop) 방식으로 인해 생산되는 제품간의 품질편차가 크고, 측정에 따른 정확한 조정이 이루어지지 않음에 따라 불량 발생률이 높아져 전체 생산수율이 낮아진다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 디스크의 커버 레이어(cover layer) 제조시, 레진(resin)의 토출압, 스핀코터의 회전수, 회전속도 등을 자동 조절하여 두께 편차를 최소화하고 생산수율을 향상시킬 수 있도록 하는 컨트롤러가 구비된 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 균일한 두께를 갖는 디스크 생산을 위하여 정확한 레진(resin) 토출량 및 스핀속도 등을 제어할 수 있고, 불균일한 두께로 형성되는 디스크의 두께편차 조절을 위한 피드백 수단이 구성된 클로즈 루프(close loop) 방식이 도입되어 생산되는 디스크 제품간의 품질편차를 최소화할 수 있는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터는, 본체 상에 세워진 회전축(10)과, 상기 회전축(10)에 연결되어 코팅타겟(coating target)이 되는 디스크(D)를 파지한 상태로 회전되는 스핀척(20)과, 상기 스핀척(20)에 안착되어 파지된 디스크(D)의 표면에 코팅용액이 되는 레진(resin)을 분사하는 노즐(30)이 구성된 스핀코터(spin coater)에 있어서, 레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께를 측정하고, 측정된 두께측정 데이터를 피드백(feedback)하여 두께편차를 자동 조절하는 컨트롤러(40)를 포함하며, 상기 컨트롤러(40)는 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)과 결합되어 초기값으로 설정된 코팅프로필(coating profile)에 따라 스핀 제어 신호 및 분사 제어 신호에 의해 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)을 제어하여 스핀코팅(spin coating)을 실시한 후 스핀코팅된 디스크(D)의 두께를 측정하고, 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 측정된 두께측정 데이터가 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하며, 판별 결과에 따라 상기 코팅프로필을 재설정하고, 다시 레진 토출과 스핀코팅을 실시하여 UV 경화 후 두께 측정을 통해 정확한 두께의 디스크를 완성하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 코팅프로필은, 상기 노즐(30)에서 디스크(D) 표면으로 분사되는 레진(resin)의 토출압 내지 토출량, 상기 회전축(10)의 회전수, 회전속도 및 회전에 의한 스핀코팅 시간 중 적어도 어느 하나이다.
바람직하게는, 상기 조건함수는, 디스크(D)의 기준두께 및 허용오차범위를 미리 지정하고, 디스크(D) 전 표면에 걸쳐 규칙적으로 또는 랜덤(random)하게 위치좌표를 선정하여 산출된 표준두께와 미리 지정된 기준두께를 비교하여 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하기 위한 함수이다.
바람직하게는, 상기 컨트롤러(40)는, 상기 스핀척(20) 상면에 안착된 디스크(D)의 두께를 측정하여 두께측정 데이터를 주제어부(40b)로 전송하는 측정부(40a), 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 상기 측정부(40a)로부터 수신된 두께측정 데이터가 오차범위 이내인지 여부를 판별하고, 판별 결과에 따른 제어신호 전송 명령을 회전축 인터페이스(40c), 노즐 인터페이스(40d)로 전송하는 주제어부(40b), 상기 회전축(10)에 결합되고, 상기 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 스핀 제어신호를 상기 회전축(10) 측에 전송하여 상기 회전축(10)의 회전수 또는 회전속도를 제어하는 회전축 인터페이스(40c), 상기 노즐(30)에 결합되고, 상기 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 분사 제어신호를 상기 노즐(30) 측에 전송하여 레진(resin) 토출압 내지 토출량을 제어하는 노즐 인터페이스(40d)를 포함하여 구성된다.
또한, 본 발명에 따른 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법은, 디스크(D)를 스핀코터의 스핀척 상에 적재하는 디스크 기판 적재 단계(S10); 노즐로부터 디스크(D)의 상부 표면에 코팅용액인 레진(resin)을 분사하는 레진(resin) 토출 단계(S20); 디스크(D)를 고속 회전시켜 토출된 레진(resin)이 디스크(D)의 전 표면에 얇게 퍼져나가서 고르게 코팅되도록 하는 스핀 코팅 단계(S30); 디스크(D) 표면에 코팅된 레진(resin)에 UV(자외선)을 조사하여 경화시키는 UV 경화 단계(S40); 레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께를 측정하고, 측정된 두께측정 데이터를 컨트롤러로 피드백(feedback)하여 두께편차를 자동 조절하는 두께 편차 최소화 단계(S50); 및 상기 두께 편차 최소화 단계 후, 다시 레진 토출 단계, 스핀 코팅 단계, UV 경화 단계를 통해 디스크의 두께를 측정하여 정확한 두께의 디스크를 완성하는 디스크(D) 완성 단계(S60)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 두께 편차 최소화 단계(S50)는, 측정부에 의해 디스크(D)의 두께를 측정하는 두께 측정 단계(S50a); 상기 측정부로부터 측정된 두께 측정 결과를 피드백하여 주제어부로 전송하는 두께측정 데이터 피드백(feedback) 단계(S50b); 상기 주제어부에 의해 디스크(D)의 기준 두께 및 허용 오차 범위를 포함하는 미리 저장되어진 조건함수를 이용해 피드백된 두께측정 데이터의 적정성 여부를 판별하는 조건함수 계산 단계(S50c) 및 판별 결과에 따라 레진(resin) 토출압 내지 토출량, 스핀코팅 시간, 회전수, 회전속도 중 적어도 어느 하나 이상인 코팅프로필을 재설정하는 단계 코팅프로필 재설정 단계(S50d)를 포함하여 이루어진다.
이하에서 상기한 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략하도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 스핀코터의 구성도이다.
도시된 바에 따르면, 스핀코터 본체에는 스핀코터를 구성하는 각종 부품이 구비된다. 본체 상에 세워진 회전축(10)은 스핀척(20)에 연결되고, 스핀척(20)은 그 상면에 코팅타겟(coating target)이 되는 디스크(D)를 파지한 상태로 회전한다. 스핀척(20)이 디스크(D)를 파지하는 구성에는 일반적으로 진공수단을 추가한다. 스핀코터 내에 스핀척(20)의 회전에 따른 공기유동이 발생되어 레진(resin)이 불균일하게 도포되는 것을 방지하기 위하여 내부를 진공상태로 유지하는 것이다.
한편, 본체에는, 도면에 도시하지는 않았지만, 회전축(10)에 연결되어 레진(resin)이 분사된 이후 회전축(10) 및 스핀척(20)을 소정의 회전수로 회전시키기 위한 모터, 디스크(D)를 스핀척(20)에 안착시키고, 코팅막이 형성된 디스크(D)를 스핀척(20)에서 들어내기 위한 구성 등이 구비된다.
노즐(30)은 코팅용액이 되는 레진(resin)을 디스크(D)의 표면에 분사하는 것으로, 본체 일측에 세워지는 중심축 및 중심축에서 수평으로 뻗어나와 중심축을 기준으로 회동 가능하도록 형성된 분사암(도시되지 않음)으로부터 디스크(D) 쪽 하부로 돌출되는 형태 등으로 구성될 수 있다.
이러한 스핀코터에서는, 별도의 기구에 의해 스핀척(20)에 디스크(D)가 안착되어 파지되고, 노즐(30)이 대기위치에서 스핀척(20)에 안착된 디스크(D)의 상부로 이동하여 스핀척(20)에 파지되어 회전하는 디스크(D)의 표면에 코팅용액인 레진(resin)을 도포하게 된다. 스핀척(20)에 의해 디스크(D)가 회전되므로, 디스크(D)의 표면에 도포된 레진(resin)은 원심력에 의해 디스크(D)의 표면에 균일하게 퍼져 코팅막을 형성하게 된다.
또한, 본 발명에 따른 스핀코터 본체 상에는 제어신호를 전달하여 회전축(10) 및 노즐(30)의 동작을 제어하는 컨트롤러(40)가 구비된다. 컨트롤러(40)는 레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께 측정을 실시하고, 이 두께측정 데이터를 피드백(feedback)함으로써 이후 생산되는 디스크(D)의 커버 레이어(cover layer)에 사용될 코팅프로필(coating profile)을 자동으로 조정하고, 이러한 방식을 통해 디스크(D)의 두께 편차를 자동 조절하는 기능을 갖게 된다. 이때, 코팅프로필은 노즐(30)에서 디스크(D) 표면으로 분사되는 레진(resin)의 토출압 내지 토출량, 회전축(10)의 회전수, 회전속도 및 회전에 의한 스핀코팅 시간 등의 데이터를 의미한다.
기본적으로, 스핀코터에 구비되는 본 발명의 컨트롤러(40)는 초기값으로 세팅되어져 있는 코팅프로필의 기본 조건에 따라 스핀코팅을 실시한 후 디스크(D)의 두께에 대한 데이터를 측정한다.
디스크(D) 두께에 대한 데이터 측정 후, 컨트롤러(40)에 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 측정된 두께측정 데이터의 적정성을 판별하고, 판별 결과에 따라 레진(resin)의 토출압 내지 토출량, 회전수 및 회전속도, 스핀코팅 시간 등의 코팅프로필을 적절한 수준으로 조절한다. 조검함수는 디스크(D)의 기준두께 및 허용오차범위를 미리 지정하고, 디스크(D) 전 표면에 걸쳐 규칙적으로 또는 랜덤(random)하게 위치좌표를 선정하여 산출된 표준두께와 미리 지정된 기준두께를 비교하여 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하기 위한 함수의 형태로 구성 가능하다. 예를 들어, 디스크(D)의 기준두께를 10㎛, 허용오차를 2% 내외로 지정한 후, 측정범위가 2% 이상이 되었을시 토출압은 낮게, 회전수를 높게 조정하고, 2% 이하일시 토출압은 높게, 회전수를 낮게 조정하는 등의 방식으로 구성할 수 있다.
컨트롤러(40)는, 스핀척(20) 상면에 안착된 디스크(D)의 두께를 측정하여 두께측정 데이터를 주제어부(40b)로 전송하는 측정부(40a), 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 측정부(40a)로부터 수신된 두께측정 데이터가 오차범위 이내인지 여부를 판별하고, 판별 결과에 따른 제어신호 전송 명령을 회전축 인터페이스(40c), 노즐 인터페이스(40d)로 전송하는 주제어부(40b), 회전축(10)에 결합되고 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 스핀 제어신호를 회전축(10) 측에 전송하여 상기 회전축(10)의 회전수 또는 회전속도를 제어하는 회전축 인터페이스(40c), 노즐(30)에 결합되고 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 분사 제어신호를 상기 노즐(30) 측에 전송하여 레진(resin) 토출압 내지 토출량을 제어하는 노즐 인터페이스(40d) 등으로 구성할 수 있다.
도 4는 도 3의 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 종래 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법은 디스크 기판 적재 단계(S10)와, 레진(resin) 토출 단계와(S20), 스핀코팅(spin coating) 단계(S30)와, UV 경화(curing) 단계(S40)와, 두께 편차 최소화 단계(S50)와, 디스크 완성 단계(S60)를 포함하여 이루어진다.
디스크 기판 적재 단계(S10)는 디스크(D)를 스핀척(20) 상면에 적재하여 디스크(D)가 스핀척(20) 상면에 파지되어 회전 가능한 상태가 되도록 하는 단계이다. 레진(resin) 토출 단계(S20)는 노즐(30)이 대기위치에서 스핀척(20)에 안착된 디스크(D)의 상부로 이동하여 디스크(D)의 상부 표면에 코팅용액인 레진(resin)을 분사하는 단계이다. 스핀코팅 단계(S30)는 스핀척(20) 상면에 파지된 디스크(D)를 고속 회전시켜 토출된 레진(resin)이 디스크(D) 전 표면에 얇게 퍼져나가서 고르게 코팅되도록 하는 단계이다. UV 경화 단계(S40)는 디스크(D) 표면에 코팅된 레진(resin) 에 UV(자외선)을 조사하여 경화시키는 단계이다. 레진(resin)은 UV에 감응하는 특수한 성분들을 포함하는 고분자 블랜드(blend)로서, UV를 조사하기 전에는 성형하기 적당한 점도를 갖고 있는데, UV를 조사하면 포함되어 있던 광개시제(Photoinitiator)에 의한 광개시가 시작되어, 고분자 및 다른 단량체(monomer)들이 중합되면서 더 큰 고분자 사슬을 형성하여 딱딱하게 굳게 되는 경화(curing)가 일어난다. 통상, UV 개시에 효과적으로 경화되는 것들은 아크릴과 같은 비닐(vinyl; 이중결합 화합물) 말단을 가지고 있다.
두께 편차 최소화 단계(S50)는 레진(resin)이 도포된 디스크(D)의 두께를 측정하여 적정성 여부를 판별하고, 판별 결과에 따라 이후 디스크(D)의 커버 레이어 제조에 사용될 코팅프로필을 변경하는 단계이다. 일례로, 두께 편차 최소화 단계(S50)는 상기 측정부(40a)에 의해 디스크(D)의 두께를 측정하는 두께 측정 단계(S50a)와, 상기 측정부(40a)로부터 측정된 두께 측정 결과를 피드백하여 상기 주제어부(40b)로 전송하는 두께측정 데이터 피드백(feedback) 단계(S50b)와, 상기 주제어부(40b)에 의해 디스크(D)의 기준 두께 및 허용 오차 범위를 포함하는 미리 저장되어진 조건함수를 이용해 피드백된 두께측정 데이터의 적정성 여부를 판별하는 조건함수 계산 단계(S50c)와, 판별 결과에 따라 레진(resin) 토출압 내지 토출량, 스핀코팅 시간, 회전수, 회전속도 등 코팅프로필을 재설정하는 단계 코팅프로필 재설정 단계(S50d) 등으로 구성될 수 있다.
상기 본 발명은 당업자의 요구에 따라 기본 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 디스크의 커버 레이어(cover layer) 제조시, 레진(resin)의 토출압, 스핀코터의 회전수, 속도 등을 자동 조절하여 두께 편차를 최소화하고 생산수율을 향상시킬 수 있는 컨트롤러가 구비된 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법이 제공되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 균일한 두께를 갖는 디스크 생산을 위하여 정확한 레진(resin) 토출량 및 스핀속도 등을 제어할 수 있고, 불균일한 두께로 형성되는 디스크의 두께편차 조절을 위한 피드백 수단이 구성된 클로즈 루프(close loop) 방식이 도입되어 생산되는 디스크 제품간의 품질편차를 최소화할 수 있는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터 및 그를 이용한 스핀코팅 방법이 제공되는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 본체 상에 세워진 회전축(10)과, 상기 회전축(10)에 연결되어 코팅타겟(coating target)이 되는 디스크(D)를 파지한 상태로 회전되는 스핀척(20)과, 상기 스핀척(20)에 안착되어 파지된 디스크(D)의 표면에 코팅용액이 되는 레진(resin)을 분사하는 노즐(30)이 구성된 스핀코터(spin coater)에 있어서,
    레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께를 측정하고, 측정된 두께측정 데이터를 피드백(feedback)하여 두께편차를 자동 조절하는 컨트롤러(40)를 포함하며, 상기 컨트롤러(40)는 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)과 결합되어 초기값으로 설정된 코팅프로필(coating profile)에 따라 스핀 제어 신호 및 분사 제어 신호에 의해 상기 회전축(10) 및 상기 노즐(30)을 제어하여 스핀코팅(spin coating)을 실시한 후 스핀코팅된 디스크(D)의 두께를 측정하고, 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 측정된 두께측정 데이터가 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하며, 판별 결과에 따라 상기 코팅프로필을 재설정하고 다시 레진 토출과 스핀 코팅을 실시하여 UV 경화 후 두께 측정을 통해 정확한 두께의 디스크를 완성하는 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 코팅프로필은, 상기 노즐(30)에서 디스크(D) 표면으로 분사되는 레진(resin)의 토출압 내지 토출량, 상기 회전축(10)의 회전수, 회전속도 및 회전 에 의한 스핀코팅 시간 중 적어도 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 조건함수는,
    디스크(D)의 기준두께 및 허용오차범위를 미리 지정하고, 디스크(D) 전 표면에 걸쳐 규칙적으로 또는 랜덤(random)하게 위치좌표를 선정하여 산출된 표준두께와 미리 지정된 기준두께를 비교하여 두께편차범위 이내인지 여부를 판별하기 위한 함수인 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 컨트롤러(40)는,
    상기 스핀척(20) 상면에 안착된 디스크(D)의 두께를 측정하여 두께측정 데이터를 주제어부(40b)로 전송하는 측정부(40a), 미리 저장되어진 조건함수를 이용하여 상기 측정부(40a)로부터 수신된 두께측정 데이터가 오차범위 이내인지 여부를 판별하고, 판별 결과에 따른 제어신호 전송 명령을 회전축 인터페이스(40c), 노즐 인터페이스(40d)로 전송하는 주제어부(40b), 상기 회전축(10)에 결합되고, 상기 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 스핀 제어신호를 상기 회전 축(10) 측에 전송하여 상기 회전축(10)의 회전수 또는 회전속도를 제어하는 회전축 인터페이스(40c), 상기 노즐(30)에 결합되고, 상기 주제어부(40b)로부터 수신된 제어신호 전송 명령에 따라 분사 제어신호를 상기 노즐(30) 측에 전송하여 레진(resin) 토출압 내지 토출량을 제어하는 노즐 인터페이스(40d)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터.
  5. 디스크(D)를 스핀코터의 스핀척 상에 적재하는 디스크 기판 적재 단계(S10);
    노즐로부터 디스크(D)의 상부 표면에 코팅용액인 레진(resin)을 분사하는 레진(resin) 토출 단계(S20);
    디스크(D)를 고속 회전시켜 토출된 레진(resin)이 디스크(D)의 전 표면에 얇게 퍼져나가서 고르게 코팅되도록 하는 스핀 코팅 단계(S30);
    디스크(D) 표면에 코팅된 레진(resin)에 UV(자외선)을 조사하여 경화시키는 UV 경화 단계(S40);
    레진(resin)이 도포되어 코팅막을 형성한 디스크(D)의 두께를 측정하고, 측정된 두께측정 데이터를 컨트롤러로 피드백(feedback)하여 두께편차를 자동 조절하는 두께 편차 최소화 단계(S50); 및
    상기 두께 편차 최소화 단계 후, 다시 레진 토출 단계, 스핀 코팅 단계, UV 경화 단계를 통해 디스크의 두께를 측정하여 정확한 두께의 디스크를 완성하는 디스크(D) 완성 단계(S60);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 두께 편차 최소화 단계(S50)는,
    측정부에 의해 디스크(D)의 두께를 측정하는 두께 측정 단계(S50a);
    상기 측정부로부터 측정된 두께 측정 결과를 피드백하여 주제어부로 전송하는 두께측정 데이터 피드백(feedback) 단계(S50b);
    상기 주제어부에 의해 디스크(D)의 기준 두께 및 허용 오차 범위를 포함하는 미리 저장되어진 조건함수를 이용해 피드백된 두께측정 데이터의 적정성 여부를 판별하는 조건함수 계산 단계(S50c); 및 판별 결과에 따라 레진(resin) 토출압 내지 토출량, 스핀코팅 시간, 회전수, 회전속도 중 적어도 어느 하나 이상인 코팅프로필을 재설정하는 단계 코팅프로필 재설정 단계(S50d);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동 두께편차 조절기능을 갖는 스핀코터를 이용한 스핀코팅 방법.
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