KR100576817B1 - Program up-date method of process management system for semiconductor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조라인 내에서 반도체 공정 진행을 제어하고, 모니터링하는 클라이언트 서버(client server)에서 운영되는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램을 정기적으로 버전 체크하여 업-데이트하는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a program up-update method of a semiconductor process management system, and more particularly, a program of a semiconductor process management system operated in a client server for controlling and monitoring the progress of a semiconductor process in a semiconductor manufacturing line. The method of the present invention relates to a program up-update method of a semiconductor process management system which periodically updates and updates the data.

이와 같은 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법에 의해 클라이언트 서버는 작업자에 의한 시스템의 다운 없이 신규 프로그램을 다운로드 받으며, 작업자가 업-데이트 작업을 하지 않으므로 작업자의 수동 업무가 줄어드는 효과가 있다. 그리고, 모든 클라이언트 서버가 동일한 시간에 업데이트가 이루어지므로 항상 전체 반도체 라인의 클라이언트 서버들은 모두 동일한 버전의 프로그램에 의해 운영되므로 호스트 서버가 컨트롤 하는 것도 원활해진다. By the program update-update method of the semiconductor process management system, the client server downloads a new program without the system down by the operator, and the operator does not perform the update operation, thereby reducing the manual work of the operator. And since all client servers are updated at the same time, the client servers of the entire semiconductor line are always operated by the same version of the program, so that the host server can smoothly control them.

호스트 서버, 클라이언트 서버Host server, client server

Description

반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법{Program up-date method of process management system for semiconductor} Program up-date method of process management system for semiconductor

도 1은 본 발명에 의한 실시예를 나타내는 블럭도.1 is a block diagram showing an embodiment according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법의 실시예를 나타내는 순서도.2 is a flowchart showing an embodiment of a program up-update method of a semiconductor process management system according to the present invention.

본 발명은 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조라인 내에서 반도체 공정 진행을 제어하고, 모니터링하는 클라이언트 서버(client server)의 프로그램을 정기적으로 버전 체크하여 업-데이트(up-date)하는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a program up-update method of a semiconductor process management system. More specifically, the program of a client server for controlling and monitoring the progress of a semiconductor process in a semiconductor manufacturing line is regularly updated. And a program up-date method for up-date semiconductor process management systems.

일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 포토 설비, 스퍼터링 설비, 식각설비, 측정설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다.A general semiconductor device requires a high degree of precision, and accordingly, in a typical semiconductor production line, a predetermined facility capable of precision processing, for example, a photo facility, a sputtering facility, an etching facility, a measurement facility, and the like, is disposed of most manufacturing processes. I'm doing it.

이때, 각각의 설비에는 소정의 클라이언트 서버가 구비되며, 작업자는 이러 한 클라이언트 서버를 통해 각 설비의 동작상황을 적절히 제어함으로써, 설비관리의 효율성을 향상시키고 있다.At this time, each facility is provided with a predetermined client server, and the worker improves the efficiency of facility management by appropriately controlling the operation status of each facility through such a client server.

이때, 개별 작업자는 각 클라이언트 서버에 소정의 전산작업을 수행하여, 로봇등의 자동 반송 시스템을 작동시키고 이에 의해 로트(Lot)는 설비에 구비된 포트에 로딩되어 소정의 공정을 거치게 된다.At this time, the individual worker performs a predetermined computer operation on each client server, and operates an automatic transfer system such as a robot, whereby a lot is loaded into a port provided in the facility and undergoes a predetermined process.

한편, 각각의 설비 및 클라이언트 서버는 자료수집기능과 자료제공기능을 갖는 호스트 서버와 네트워크 연결된다.On the other hand, each facility and client server is networked with a host server having a data collection function and a data providing function.

이에 따라, 각각 설비와 관련된 여러 가지 데이터는 호스트 서버에 입력·저장되며, 작업자는 각각의 개별 클라이언트 서버에서 호스트 서버로 로그인 또는 컨택(contact)하여 자신이 원하는 소정의 전산작업을 수행할 수 있다.Accordingly, various data related to each facility are input and stored in the host server, and the operator can log in or contact the host server from each individual client server to perform a predetermined computer operation desired by the user.

이들중 각각의 설비와 클라이언트 서버는 소정 프로토콜에 의하여 커뮤니케이션되고, 클라이언트 서버와 호스트 서버는 잘 알려진 TCP/IP에 의하여 커뮤니케이션된다.Each of these facilities and client server are communicated by a predetermined protocol, and the client server and host server are communicated by well-known TCP / IP.

이러한 클라이언트 서버는 호스트 서버에서 다운로드 받은 메인 프로그램으로 운영되며 호스트 서버에는 수시로 입력된 신규 프로그램으로의 업-데이트가 이루어진다.The client server is operated as a main program downloaded from the host server, and the host server is updated with new programs input from time to time.

클라이언트 서버는 이렇게 버전업된 신규 프로그램을 호스트 서버로부터 다운로드 받아야 하는데, 종래의 다운로드 방법은 아래와 같다.The client server must download the upgraded new program from the host server. The conventional download method is as follows.

작업자가 현재 진행하던 공정 진행 프로그램을 종료시키고 호스트 서버에서 업데이트된 신규 프로그램을 네트워크를 통해 클라이언트 서버에 다운로드 받아서 각각의 클라이언트 서버에 저장시키고, 클라이언트 서버는 업데이트된 신규 프로그램을 기존의 프로그램에 오버라이트(overwrite)하는 순서로 클라이언트 서버의 업-데이트가 진행되었다.The operator terminates the current process progress program, downloads the updated new program from the host server to the client server through the network, and stores it in each client server. The client server overwrites the updated new program with the existing program. Updating of the client server proceeded in the order of overwriting.

위와 같은 방식으로 업-데이트를 실시하면 위의 모든 과정을 작업자가 직접 조작해야 하므로 작업자의 업무량이 과다해지고, 작업자들이 동일한 시간에 각각의 클라이언트 서버를 업-데이트하지 않음으로써 라인내의 클라이언트 서버의 프로그램 버전이 각각 상이한 경우가 발생하여, 전체 라인을 통합적으로 관리하는 호스트 서버의 컨트롤이 원활하게 이루어지지 않는다.Updating in the above manner requires the operator to operate all of the above steps, which increases the workload of the worker and the programs of the client server in the line by not updating the client servers at the same time. Different versions occur, and the host server that manages the entire line is not smoothly controlled.

본 발명의 목적은 반도체 라인에서 사용되는 클라이언트 서버를 작업자의 수동 업-데이트 작업없이 자동으로 신규 버전의 프로그램으로 업-데이트하는 데 있다.An object of the present invention is to automatically update a client server used in a semiconductor line to a new version of the program without manual manual update by the operator.

본 발명의 다른 목적은 클라이언트 서버의 업-데이트 동작을 정해진 시간에 동시에 이행되도록 하여 전체 클라이언트 서버의 프로그램 버전이 항상 동일한 버전으로 유지되도록 하는 데 있다. Another object of the present invention is to perform the update operation of the client server at the same time at the same time so that the program version of the entire client server is always kept the same version.

본 발명의 목적은 다음의 도면과 설명에 의해 더욱 상세히 설명될것이다.The object of the present invention will be explained in more detail by the following figures and description.

본 발명에 의한 시스템은 호스트 서버와 다수 개의 클라이언트 서버가 네트워크에 의해 연결되고, 호스트 서버상의 데이터 버전이 업-데이트 될때마다 호스트 서버에는 실시간으로 신규 버전이 등록되는데, 이때 클라이언트 서버는 일정한 시 간이 되면 호스트 서버상에 신규로 등록된 버전이 있는가를 확인하는 버전 체크기능을 이행하고, 클라이언트 서버와 호스트 서버의 버전이 서로 상이한 경우에 클라이언트 서버는 다운 로드기능, 레지스트 등록 기능을 이행하는 단계를 가짐을 그 특징으로 한다.In the system according to the present invention, a host server and a plurality of client servers are connected by a network, and whenever a data version on the host server is updated, a new version is registered in real time with the host server. A version check function is executed to check whether a newly registered version is present on the host server. If the versions of the client server and the host server are different from each other, the client server has a step of implementing a download function and a registration function. It features.

본 발명의 구성과 작용은 다음의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다.The construction and operation of the present invention will become more apparent by the following description.

도 1은 본 발명에 의한 실시예를 나타내는 블럭도이다.1 is a block diagram showing an embodiment according to the present invention.

본 발명에 의한 실시예는 호스트 서버(10)와 복수 개의 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)가 네트워크에 의해 연결된다.(N은 임의의 자연수이다.)In the embodiment according to the present invention, the host server 10 and the plurality of client servers 101, 102, 103 ,, and N are connected by a network. (N is any natural number.)

호스트 서버(10)는 본 발명에 의한 실시예에 제공되는 데이터를 저장, 관리하는 데이터 베이스가 구성되고(미도시), 네트워크를 통해 복수 개의 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)와 연결되어 데이터의 버전이 업데이트 될때마다 호스트 서버(10)에는 실시간으로 신규 버전이 등록된다.The host server 10 is configured with a database for storing and managing data provided in an embodiment of the present invention (not shown), and the plurality of client servers 101, 102, 103,, N through a network. Whenever a version of the data is updated in connection with the host server 10, a new version is registered in real time.

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 네트워크상에 병렬로 복수 개가 설치가능하고, 모든 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 병렬로 연결된 네트워크를 통해 호스트 서버(10)에 연결된다.A plurality of client servers 101, 102, 103, and N can be installed in parallel on a network, and all the client servers 101, 102, 103, and N are connected to a host server 10 through a network connected in parallel. )

그리고, 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 버전 체킹 시간이 되면 그 시간을 인식하여, 호스트 서버(10)상에 신규로 등록된 버전이 있는가를 확인하는 버전 체킹 기능을 가지며, 버전 체크 결과 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)와 컨트롤 서버(10)의 버전이 서로 동일한 경우에는 업-데이트의 필요성이 없으므로 현재의 버전으로 계속 공정을 진행한다.And, the client server (101, 102, 103 ,,, N) has a version checking function to recognize whether there is a version newly registered on the host server 10 by recognizing the time when the version checking time, the version As a result of the check, if the versions of the client server (101, 102, 103 ,,, N) and the control server 10 are the same, there is no need for an update, the process continues to the current version.

또한, 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)와 호스트 서버(10)의 버전이 동일하지 않은 경우에 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 다운로드 기능을 수행하며,다운로드 받은 파일중에 시스템파일이 존재하면 레지스트 등록 기능을 수행한다.In addition, when the versions of the client server 101, 102, 103,, N and the host server 10 are not the same, the client server 101, 102, 103,, N performs a download function. If the system file exists in the received file, the register registration function is executed.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법의 실시예를 나타내는 순서도로서, 도 2를 이용하여 도 1의 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)가 버전체크 기능, 다운로드 기능, 레지스트 등록 기능을 수행하는 과정을 설명한다.FIG. 2 is a flow chart showing an embodiment of a program up-update method of a semiconductor process management system according to the present invention, in which the client servers 101, 102, 103, and N of FIG. The process of performing the download function, the register registration function.

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 버전 체킹 타임인지를 수시로 체크한다.(S10)The client server (101, 102, 103 ,,, N) checks frequently whether it is a version checking time (S10).

버전 체킹 타임은 미리 정해진 시간에 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)상의 프로그램의 버전과 호스트 서버(10)상의 프로그램 버전을 비교, 체크하기 위한 동작을 수행하도록 미리 지정해 놓은 시간이다.The version checking time is a time designated in advance to perform an operation for comparing and checking the program version on the client server 101, 102, 103,, N and the program version on the host server 10 at a predetermined time.

단계 S10에서 버전 체킹 타임이 아니면 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 소정의 대기 시간을 대기(S12)한 후에 버전 체킹 타임의 확인과정을 계속 반복하고, 버전 체킹 타임이면 각각의 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 자신의 프로그램의 버전을 체크한다.(S20)If it is not the version checking time in step S10, the client server (101, 102, 103 ,,, N) repeats the checking process of the version checking time after waiting a predetermined waiting time (S12), and if the version checking time, The client server (101, 102, 103 ,,, N) checks the version of its program (S20).

단계 S20에서 버전 체크한 결과를 호스트 서버(10)상의 프로그램 버전과 비교하여 동일한 버전인가를 확인한다.(S30)The result of the version check in step S20 is compared with the program version on the host server 10 to confirm whether it is the same version (S30).

단계 S30에서 비교한 결과가 동일한 버전이라고 확인되면 다운로드 과정이 불필요하므로 종료한다.If the result of comparison in step S30 is found to be the same version, the downloading process is unnecessary, so the process ends.

하지만, 단계 S30의 버전 체크의 결과가 동일하지 않은 버전임이 확인되면 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 호스트 서버(10)로부터 신규 버젼의 프로그램을 다운로드 받기 위해 단계 S40이하의 일련의 순서를 진행한다.However, if it is confirmed that the result of the version check in step S30 is not the same version, the client server (101, 102, 103 ,,, N) is a series of steps below S40 to download a new version of the program from the host server (10) Proceed with the sequence of.

즉, 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 먼저 현재 진행중이던 공정 프로그램을 종료한다.(S40)That is, the client servers 101, 102, 103 ,, and N first terminate the process program currently in progress (S40).

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 호스트 서버(10)로부터 신규 버전의 프로그램을 다운로드 받기 위해 다운로드 프로그램을 호출한다.(S50)The client server (101, 102, 103 ,,, N) calls the download program to download a new version of the program from the host server (10) (S50).

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 호출한 다운로드 프로그램으로 호스트 서버(10)에 저장된 신규 버전의 프로그램을 다운로드 받아 저장한다.(S60)The client servers 101, 102, 103 ,, and N download and store a new version of the program stored in the host server 10 as the called download program.

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)에서 호출된 다운로드 프로그램은 호스트 서버(10)에 등록된 신규 버전의 프로그램 명칭과 프로그램의 위치정보를 받고 나서, 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)에서 해당되는 프로그램의 명칭과 위치정보를 확인한 후에 해당되는 위치에 해당하는 프로그램을 다운로드한다.The download program called from the client servers 101, 102, 103,, N receives the program name and location information of the new version registered in the host server 10, and then the client server 101, 102, 103, After confirming the name and location information of the corresponding program in ,, N), the program corresponding to the corresponding position is downloaded.

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 다운로드 받은 프로그램을 구성하는 파일중에 시스템 파일이 존재하는지를 판단한다.(S70)The client server (101, 102, 103 ,,, N) determines whether a system file exists among the files constituting the downloaded program (S70).

만일, 단계 S70에서 다운로드 받은 프로그램을 구성하는 파일중에 시스템 파일이 존재하는 것으로 판단되면 다운로드 받은 프로그램을 시작시키는 파일은 시작프로그램에 추가된다.(S80) If it is determined in step S70 that a system file exists among the files constituting the downloaded program, a file for starting the downloaded program is added to the startup program (S80).

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)의 시스템이 재시작된다.(S90)The system of the client servers 101, 102, 103, ,, N is restarted (S90).

클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)의 시스템이 재시작(S90)되면 다운로드 받은 프로그램을 시작시키는 파일이 실행되어 업-데이트된 시스템 파일이 레지스터에 자동으로 등록된다.(S100)When the system of the client server (101, 102, 103 ,,, N) is restarted (S90), a file for starting the downloaded program is executed and the updated system file is automatically registered in the register (S100).

시스템 파일이 레지스터에 등록(S100)되면 다운로드 받은 프로그램을 시작시키는 파일을 시작프로그램에서 제거된다.(S110)When the system file is registered in the register (S100), the file that starts the downloaded program is removed from the startup program (S110).

다운로드 받은 프로그램이 실행된다.(S120)The downloaded program is executed (S120).

그리고, 위의 단계 S70에서 다운로드 받은 프로그램을 구성하는 파일중에 시스템 파일이 존재하지 않으면 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)는 다운로드 받은 프로그램을 실행한다.(S120)If the system file does not exist among the files constituting the program downloaded in step S70, the client server 101, 102, 103 ,, N executes the downloaded program.

다운로드 받은 프로그램이 성공적으로 실행(S120)되면 위의 과정은 종료된다.If the downloaded program is successfully executed (S120), the above process is terminated.

위와 같은 순서로 진행되는 업-데이트의 과정은 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)가 정해진 시간이 되면 자동으로 실행되는 자동 동작에 의해 이루어지므로, 작업자의 수동 작업이 불필요하고, 작업자의 수동 업-데이트 작업의 누락에 의한 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)들의 버전 불일치가 발생하지 않으며, 동일한 시간에 모든 클라이언트 서버(101, 102, 103,,,N)가 업-데이트되므로, 호스트 서버(10)가 전체 라인을 컨트롤 하는것이 원활해진다. Since the update process proceeds in the same order as described above, the client server 101, 102, 103,, N is performed by an automatic operation that is automatically executed when the client server 101, 102, 103,, N reaches a predetermined time. Version mismatch of client servers (101, 102, 103 ,,, N) does not occur due to the missing of manual update operation of all client servers (101, 102, 103 ,,, N) at the same time. -As it is updated, it becomes smooth for the host server 10 to control the entire line.

위의 설명은 반도체 제조라인 내의 클라이언트 서버와 호스트 서버의 업-데이트방법을 설명한 것이지만, 반도체 제조라인 뿐만 아니라 클라이언트 서버와 호스트 서버를 사용하는 모든 분야에서도 본 발명에 의한 방법은 적용이 가능하다. Although the above description describes the update method of the client server and the host server in the semiconductor manufacturing line, the method according to the present invention can be applied to all fields using the client server and the host server as well as the semiconductor manufacturing line.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시할 수 있음을 알 수 있을 것이다.As described in detail above, it will be appreciated that those skilled in the art can carry out various modifications or changes of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention. There will be.

본 발명에 의한 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법을 종래의 업-데이트방법과 비교하면, 본 발명에 의한 업-데이트 방법은 업데이트 시간이 되면 클라이언트 서버가 자동으로 버전 체크, 다운로드, 레지스트 등록을 하므로, 작업자는 클라이언트 서버의 업-데이트과정을 이행하지 않아도 되므로, 작업자의 수동 업무가 줄어드는 효과가 있다.Comparing the program update method of the semiconductor process management system according to the present invention with the conventional update method, the update method according to the present invention automatically checks the version, downloads, and registers the client server when the update time comes. Since the worker does not have to perform the update process of the client server, there is an effect that the manual work of the worker is reduced.

그리고, 모든 클라이언트 서버가 동일한 시간에 업데이트가 이루어지므로 항상 전체 라인의 클라이언트 서버들은 모두 동일한 버전의 데이터를 가지게 되므로써 전체 작업 영역을 통합적으로 관리하는 호스트 서버의 컨트롤이 원활하게 이루어 진다.






And since all client servers are updated at the same time, all client servers in the entire line always have the same version of data, so that the control of the host server that manages the whole work area is seamlessly performed.






Claims (3)

메인 프로그램이 저장된 호스트 서버에 네트워크를 통해 연결된 복수 개의 클라이언트 서버가 미리 정해진 버전 체킹 타임이면 버전 체킹 프로그램을 구동하여 상기 클라이언트 서버의 버전과 상기 호스트 서버의 버전 정보를 확인하는 제 1단계;A first step of checking a version of the client server and version information of the host server by running a version checking program when a plurality of client servers connected to the host server on which the main program is stored is connected through a network at a predetermined version checking time; 상기 클라이언트 서버의 버전과 호스트 서버의 버전이 상이하면 상기 복수 개의 클라이언트 서버에서 실행중인 프로그램을 종료하고, 상기 호스트 서버에 존재하는 업-데이트된 프로그램을 상기 복수 개의 클라이언트 서버에 다운로드 받아 저장하는 제 2단계;If the version of the client server is different from that of the host server, terminating a program running in the plurality of client servers, and downloading and storing the updated program existing in the host server in the plurality of client servers. step; 상기 다운로드가 완료되면 다운로드 받은 프로그램을 시작시키는 파일을 시작프로그램에 추가하여 시스템을 재시작하는 제 3단계;A third step of restarting the system by adding a file for starting the downloaded program to a startup program when the download is completed; 상기 시스템을 재시작하여 시스템 파일을 레지스터에 등록하는 제 4단계; 및Restarting the system to register a system file in a register; And 상기 다운로드 받은 프로그램을 시작시키는 파일을 상기 시작 프로그램에서 제거한후 상기 다운로드 받은 프로그램을 실행하는 제 5단계;A fifth step of removing the file for starting the downloaded program from the startup program and then executing the downloaded program; 를 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트방법. Program update-update method of the semiconductor process management system comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 복수 개의 클라이언트 서버는 모두 동일한 버전 체킹 타임을 가짐을 그 특징으로 하는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법. 2. The method of claim 1, wherein the plurality of client servers all have the same version checking time. 제 1항에 있어서, 상기 제 2단계에서 다운로드되어 저장되는 프로그램이 시스템 파일을 포함하지 않는 것이면 바로 다운로드 받은 프로그램을 실행하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정 관리 시스템의 프로그램 업-데이트 방법. The method of claim 1, further comprising executing the downloaded program if the program downloaded and stored in the second step does not include a system file. .
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