KR100562961B1

KR100562961B1 - High precision alignment device for neutron guide tube

Info

Publication number: KR100562961B1
Application number: KR1020040051692A
Authority: KR
Inventors: 조상진; 이창희; 김영진; 최병훈; 김규남
Original assignee: 한국원자력연구소; 한국수력원자력 주식회사
Priority date: 2004-07-02
Filing date: 2004-07-02
Publication date: 2006-03-22
Anticipated expiration: 2024-07-02
Also published as: KR20060002588A

Abstract

본 발명은 냉중성자를 일정거리 떨어진 장치의 내부로 손실없이 이동시키기 위한 중성자 유도관을 고정밀도로 정렬시키기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for highly precisely aligning a neutron guide tube for losslessly moving cold neutrons into a device spaced a certain distance apart.

본 발명은, 일정크기의 프레임의 내측으로는 초거울 기판들이 위치되며, 상기 초거울 기판들의 사방 외측에서 그 길이방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 프레임을 관통하는 다수의 외면 조임 나사들을 구비한 적어도 하나의 외측 지그; 상기 초거울 기판의 내측에 위치되는 보디를 갖추고, 상기 보디로 부터 길이조절이가능하도록 돌출하여 초거울 기판의 사방 내면들을 지지하는 다수의 내면 조임봉들을 구비한 내측 지그; 및 상기 외측및 내측 지그들의 전방측에 위치되어 상기 초거울 기판의 사방 모서리들을 촬영하는 다수의 화상 카메라들과, 상기 화상 카메라들에 의해서 획득된 영상을 각각 출력하는 모니터들을 구비하여 상기 초거울 기판들이 사전에 설정된 규격범위내에 위치하는 지를 외부로 나타내는 판정부;들을 포함한다.According to the present invention, at least one of the plurality of outer fastening screws penetrates the frame in a direction orthogonal to the longitudinal direction of outer surfaces of the super mirror substrates, and is positioned inside the frame of a predetermined size. One outer jig; An inner jig having a body located inside the super mirror substrate, the inner jig having a plurality of inner surface fastening rods protruding from the body to support length adjustment and supporting all four inner surfaces of the super mirror substrate; And a plurality of image cameras positioned at the front sides of the outer and inner jigs to photograph the four corners of the super mirror substrate, and monitors respectively outputting images obtained by the image cameras. And determining units which externally indicate whether they are located within a preset standard range.

본 발명에 의하면, 신속하고 정밀하게 중성자 유도관의 조립오차를 측정하고 조립함으로써 조립 정밀도의 향상은 물론, 조립작업성을 개선하여 염가로 고품질의 중성자 유도관을 제작할 수 있는 효과가 얻어진다.According to the present invention, by measuring and assembling the assembly error of the neutron induction tube quickly and precisely, the effect of not only improving the assembly accuracy but also improving the assembly workability can be produced at a high quality neutron induction tube at low cost.

초거울 기판, 중성자 유도관, 지그(Jig), 화상 카메라, 중성자 유도관 정렬장치Ultra-mirror substrate, neutron guide tube, jig, image camera, neutron guide tube aligning device

Description

High precision alignment device for neutron guide tube {APPARATUS FOR ALIGNING NEUTRON GUIDES PRECISELY}

제 1도는 본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치를 전체적으로 도시한 외관 사시도;1 is a perspective view showing an overall high precision alignment device for neutron guide tubes according to the present invention;

제 2도는 본 발명에 따른 고정밀 정렬장치에 중성자 유도관이 장착된 상태를 도시한 사시도;2 is a perspective view showing a state in which the neutron guide tube is mounted on the high precision alignment device according to the present invention;

제 3도는 본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치에 구비된 내측 지그의 상세도로서,3 is a detailed view of the inner jig provided in the high precision alignment device for neutron guide tube according to the present invention,

a)도는 외관 사시도, b)도는 내부구조를 도시한 단면도; a) a perspective view showing the appearance, b) a sectional view showing the internal structure;

제 4도는 본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치에 구비된 화상 카메라들의 구성도로서,4 is a configuration diagram of the image cameras provided in the high-precision alignment device for neutron guide tube according to the present invention,

a)도는 정면도, b)도는 측면도; a) is a front view, b) is a side view;

제 5도는 본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치에 구비된 모니터들의 구성도로서,5 is a configuration diagram of the monitors provided in the high precision alignment device for neutron guide tube according to the present invention,

a)도는 중성자 유도관의 사방 모서리부분을 촬영한 상태, a) is a picture of the four corners of the neutron guide tube,

b)도는 레이저 콜리메이터를 이용하여 직각도 측정 오차를 검출하는 상태; b) a state of detecting a squareness measurement error using a laser collimator;

제 6도는 본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치에 구비된 화상 카메라 들에 거울 장착구가 구비되어 보다 작은 폭의 유도관 측정이 가능한 구성도; 6 is a configuration diagram in which mirror mounting holes are provided in the image cameras provided in the high-precision alignment device for the neutron guide tube according to the present invention, so that a guide tube having a smaller width can be measured;

제 7도는 본 발명이 적용되어지는 중성자 유도관의 외관 구조를 도시한 설명도;7 is an explanatory view showing the external structure of the neutron induction tube to which the present invention is applied;

제 8도는 본 발명이 적용되어지는 중성자 유도관의 각각의 유닛들을 도시한 외관 사시도이다.8 is an external perspective view showing the respective units of the neutron guide tube to which the present invention is applied.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1..... 본 발명의 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치1 ..... High precision alignment device for neutron guide tube of the present invention

10.... 외측 지그 12.... 사각 프레임10 .... outer jig 12 .... square frame

15.... 외면 조임 나사 17.... 베이스15 .... Outer captive screw 17 .... Base

50.... 내측 지그 52.... 보디50 .... inner jig 52 .... bodybuilder

55.... 내면 조임봉 57.... 조절나사55 .... inner diaphragm 57 .... adjusting screw

59.... 직경 확대부 62.... 경사면59 ... diameter expansion 62 ... slope

64.... 공간 70.... 코일 스프링64 .... space 70 .... coil spring

80.... 판정부 82.... 화상 카메라80 .... judging unit 82 ....

84.... 지지대 87.... 베이스84 .... Support 87 .. Base

90,120.... 모니터 92.... 정렬 기준선90,120 .... Monitor 92 .... Alignment baseline

100.... 레이저 콜리메이터 110.... 센서100 .... laser collimator 110 .... sensor

122.... 정렬 기준선 125.... 기준점122 .... Alignment baseline 125 .... Base point

130.... 거울 장착구 135.... 반사경130 .... Mirror mount 135 .... Reflector

200.... 중성자 유도관 210.... 유도관 유닛200 .... Neutron Induction Tube 210 .... Induction Tube Unit

212.... 초거울 기판 212 .... Super Mirror Substrate

본 발명은 냉중성자원으로 부터 발생된 냉중성자를 일정거리 떨어진 장치의 내부로 손실없이 이동시키기 위한 중성자 유도관을 고정밀도로 정렬시키기 위한 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는 중성자 유도관의 사방 모서리를 촬영하는 다수개의 화상 카메라를 이용하여 신속하고 정밀하게 중성자 유도관의 조립오차를 측정하고 조립함으로써 조립 정밀도의 향상은 물론, 조립작업성을 개선하여 염가로 고품질의 중성자 유도관을 제작할 수 있는 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for precisely aligning a neutron guide tube for moving cold neutrons generated from cold neutral resources to a device at a certain distance without loss, and more specifically, to photograph all four corners of the neutron guide tube. By measuring and assembling the assembly error of neutron induction tube quickly and precisely by using a plurality of image cameras, the neutron induction tube which can manufacture high quality neutron induction tube at low cost by improving assembly accuracy and improving assembly workability It relates to a high precision alignment device.

일반적으로, 중성자 유도관(Neutron Guides)는 냉중성자원으로 부터 발생된 냉중성자를 진공상태에서 일정거리 떨어진 장치의 내부로 손실없이 이동시키기 위한 초거울(Super Mirrors)들로 이루어진 안내관이다. 이러한 중성자 유도관(200)은 도 7에 도시된 바와 같이, 대략 40∼100m의 전체 길이를 갖추고, 각각 다수개의 유도관 유닛(210)들을 직렬로 연결하여 원하는 길이를 형성한다.In general, neutron guides are guide tubes made of super mirrors for freely moving cold neutrons generated from cold neutral resources into a device at a certain distance away from a vacuum. As shown in FIG. 7, the neutron guide tube 200 has an overall length of approximately 40 to 100 m, and each of the plurality of guide tube units 210 is connected in series to form a desired length.

이러한 중성자 유도관(200)을 구성하는 유도관 유닛(210)은 각각 대략 1m의 길이를 갖는 반사율이 매우 우수한 초거울 기판(212)들이 사각 단면의 박스형상으로 다수개가 조립되어 도 8에 도시된 바와 같이 조립된 것이다.In the induction pipe unit 210 constituting the neutron induction pipe 200, a plurality of ultra-mirror substrates 212, each having a very high reflectance having a length of about 1 m, are assembled in a box shape having a rectangular cross section, as shown in FIG. As assembled.

따라서, 이러한 유도관 유닛(210)들은 각각 박막증착된 초거울들로 인하여 그 내측에서 중성자가 임계각도내에서 전반사하는 것이다. Therefore, each of these guide tube units 210 is a total reflection of the neutron inside the critical angle due to the thin film-deposited super mirrors.

한편, 상기 유도관 유닛(210)들은 그 전,후방측의 유닛(210)들에 정밀하게 연결되기 위해서 각각의 전,후 입출구의 크기 오차가 10㎛ 이내로 유지될 것이 요구된다. 그 이유는 각각의 유도관 유닛(210)들이 전,후로 연결되는 부분에서 중성자 이송중에 그 손실을 최소화하기 위해서이다.On the other hand, the induction pipe unit 210 is required to maintain the size error of each front and rear entrance and exit within 10㎛ in order to be precisely connected to the unit 210 of the front, rear side. The reason for this is to minimize the loss during neutron transfer at the portion where each of the guide tube units 210 are connected before and after.

따라서, 이러한 중성자 유도관 유닛(210)은 초거울 기판(212)들이 직각형(또는 박스형) 경통으로 정밀하게 조립되어야 하기 때문에, 종래에는 숙련된 기술자들에 의한 장시간의 조립작업이 필요한 것이었다. Therefore, since the neutron induction tube unit 210 has to be assembled precisely with the super mirror substrate 212 in a rectangular (or box) barrel, it has conventionally required a long time assembly work by skilled technicians.

이러한 과정에서 종래의 방식은 숙련된 기술자들이 그들 고유의 경험을 이용하여 정렬 지그(미도시)들을 조정함으로써 원하는 정밀도를 얻는 것이었다.In this process, the conventional approach has been for skilled technicians to use their own experience to adjust the alignment jig (not shown) to achieve the desired precision.

따라서, 이와 같은 종래의 방식은 고도로 숙련된 기술자들을 이용하고, 그들의 경험을 통하여 조립이 이루어지는 것이기 때문에, 이러한 유도관 유닛(210)으로 조립하는 공정은 매우 까다롭고 고가의 공정이며, 장시간이 소요된다.Therefore, since such a conventional method uses highly skilled technicians and their assembly is made through their experience, the process of assembling with the guide tube unit 210 is very difficult and expensive, and takes a long time. .

뿐만 아니라, 모든 것을 수작업에 의존하는 종래의 조립 방식은 아무리 숙련공이라 하더라도 조립 오차를 발생시키는 것이고, 그에 따라서 필연적으로 조립 불량의 유도관 유닛(210)을 생산하는 것이다.In addition, the conventional assembly method, which all depends on the manual work is to produce an assembly error, no matter how skilled workers, and accordingly to produce the induction pipe unit 210 of the assembly failure.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 그 목적은 다수개의 초거울 기판들을 이용하여 중성자 유도관 유닛을 제작하되, 신속하고 정밀하게 유도관 유닛의 조립오차를 측정하고 올바르게 정렬시킴으로써 조립 정밀도의 향상은 물론, 조립 작업성을 개선하여 염가로 고품질의 조립오차가 최소화된 중 성자 유도관을 제작할 수 있는 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치를 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object is to produce a neutron guide tube unit using a plurality of ultra-mirror substrate, by measuring the assembly error of the guide tube unit quickly and accurately and correctly aligned The present invention provides a high precision alignment device for neutron guide tubes that can manufacture neutron guide tubes with high quality and minimized assembly errors at a low cost by improving assembly precision.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수개의 초거울 기판들을 정렬하여 중성자 유도관 유닛을 제작하기 위한 장치에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention, in the device for manufacturing a neutron guide tube unit by aligning a plurality of ultra-mirror substrate,

일정크기의 프레임의 내측으로는 초거울 기판들이 위치되며, 상기 초거울 기판들의 사방 외측에서 그 길이방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 프레임을 관통하는 다수의 외면 조임 나사들을 구비한 적어도 하나의 외측 지그;At least one outer jig having a plurality of outer fastening screws penetrating the frame in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the outer surface of the ultra-mirror substrates are located inside the predetermined size of the frame. ;

상기 초거울 기판의 내측에 위치되는 보디를 갖추고, 상기 보디로 부터 길이조절이가능하도록 돌출하여 초거울 기판의 사방 내면들을 지지하는 다수의 내면 조임봉들을 구비한 내측 지그; 및An inner jig having a body located inside the super mirror substrate, the inner jig having a plurality of inner surface fastening rods protruding from the body to support length adjustment and supporting all four inner surfaces of the super mirror substrate; And

상기 외측및 내측 지그들의 전방측에 위치되어 상기 초거울 기판의 사방 모서리들을 촬영하는 다수의 화상 카메라들과, 상기 화상 카메라들에 의해서 획득된 영상을 각각 출력하는 모니터들을 구비하여 상기 초거울 기판들이 사전에 설정된 규격범위내에 위치하는 지를 외부로 나타내는 판정부;들을 포함하여 중성자 유도관 유닛의 입,출구를 정해진 규격으로 정렬 고정시키는 것을 특징으로 하는 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치를 제공함에 의한다.The ultra-mirror substrates are provided with a plurality of image cameras positioned at the front sides of the outer and inner jig and photographing the four corners of the super mirror substrate, and monitors respectively outputting images obtained by the image cameras. It is determined by the outside to determine whether it is located within a predetermined standard range; including the high-precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that the inlet and outlet of the neutron guide tube unit aligned and fixed to a predetermined standard.

이하, 본 발명을 도면에 따라서 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치(1)는 도 1및 도 2에 도시된 바와 같이, 다수개의 초거울 기판(212)들을 정렬하여 중성자 유도관 유닛(210)을 제작하기 위한 장치이다.As shown in FIGS. 1 and 2, the high precision alignment device 1 for neutron guide tube according to the present invention is a device for manufacturing a neutron guide tube unit 210 by aligning a plurality of super mirror substrates 212.

본 발명은 상기 초거울 기판(212)의 외측에서 그 외면 사방을 지지하는 적어도 하나의 외측 지그(10)를 갖는다. 상기 외측 지그(10)는 상기 초거울 기판(212)의 길이방향으로 일정 간격을 유지하면서 다수개 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 외측 지그(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 조립하고자 하는 중성자 유도관 유닛(210)의 입구측과 출구측에 각각 하나씩 배치되고, 그 중간 부분에 하나가 위치될 수 있다.The present invention has at least one outer jig 10 supporting the outer surface of the outer surface of the ultra-mirror substrate 212. The outer jig 10 may be mounted in plurality while maintaining a predetermined distance in the longitudinal direction of the ultra-mirror substrate 212. For example, as shown in FIG. 2, the outer jig 10 is disposed at each of the inlet side and the outlet side of the neutron guide tube unit 210 to be assembled, and one may be positioned at the middle portion thereof. .

상기 각각의 외측 지그(10)는 도 2에 상세히 도시된 바와 같이, 문형 프레임(Gantry Frame), 즉 사각 프레임(12)의 구조를 갖추고, 상기 프레임(12)의 내측으로는 초거울 기판(212)들이 위치되며, 상기 초거울 기판(212)들의 사방 외측에서 그 길이방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 프레임(12)을 관통하는 다수의 외면 조임 나사(15)들을 구비한 구조를 갖는다.Each of the outer jig 10 has a structure of a Gantry Frame, that is, a square frame 12, as shown in detail in FIG. 2, and an ultra-mirror substrate 212 inside the frame 12. ) Is positioned, and has a structure with a plurality of outer tightening screws 15 penetrating the frame 12 in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the outer side of the super mirror substrate 212.

상기 외측 지그(10)는 이를 위하여 상기 외면 조임 나사(15)들이 상기 프레임(12)들을 나사결합으로 관통하며, 예를 들면 상기 프레임(12)에는 각각 그 측방에 4개씩 나사결합될 수 있는 구조이다. 이들 외측 지그(10)는 상기 외면 조임 나사(15)들이 각각 독립적으로 회전가능함으로써 상기 프레임(12)으로 부터 그 내측으로 돌출하는 길이가 조절될 수 있다.The outer jig 10 has a structure in which the outer tightening screws 15 penetrate the frame 12 by screwing, for example, the frame 12 can be screwed on the side of each of the four. to be. These outer jig 10 can be adjusted by the length of the outer tightening screws 15 protruding from the frame 12 to the inside by each independently rotatable.

그리고, 이러한 상기 외측 지그(10)들은 그 하단에 베이스(17)를 형성하여 스스로 직립으로 유지될 수 있다.In addition, the outer jig 10 may form a base 17 at a lower end thereof to be maintained in an upright position.

그리고, 본 발명은 상기 초거울 기판(212)의 내측에 위치되어 그 사방 내면들을 지지하는 내측 지그(50)를 구비한다. 상기 내측 지그(50)는 초거울 기판(212)의 내부에 위치가능한 일정크기의 보디(52)를 갖추고, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 보 디(52)로 부터 길이조절이 가능하도록 돌출하여 초거울 기판(212)의 사방 내면들을 지지하는 다수의 내면 조임봉(55)들을 구비한 구조이다.In addition, the present invention includes an inner jig 50 positioned inside the super mirror substrate 212 and supporting the four inner surfaces thereof. The inner jig 50 is provided with a body 52 of a predetermined size that can be positioned inside the ultra-mirror substrate 212, and as shown in Figure 3, protrudes from the body 52 to adjust the length Therefore, the structure is provided with a plurality of inner surface tightening rods 55 for supporting all four inner surfaces of the ultra-mirror substrate 212.

이러한 내측 지그(50)는 상기 보디(52)가 각각 2분할 구조로 이루어지고, 이들은 고정볼트(52a)들에 의해서 서로 결합되며, 그 내측으로는 다수개의 내면 조임봉(55)들을 구비한 구조이다.The inner jig 50 has a structure in which the body 52 is divided into two, each of which is coupled to each other by fixing bolts 52a, and the inner jig 50 has a plurality of inner surface tightening rods 55. to be.

따라서, 상기 내측 지그(50)는 상기 보디(52)의 각각의 사방 측면으로 부터 다수개의 내면 조임봉(55)들이 돌출하게 되며, 상기 내면 조임봉(55)들은 각각 조절나사(57)들에 의해서 그 돌출길이가 조절되는 구조이다. 이러한 내면 조임봉(55)들은 상기 외면 조임 나사(15)들이 상기 프레임(12)을 각각 나사결합으로 관통하는 구조와는 달리, 상기 조절나사(57)를 통하여 그 돌출길이가 조절되는 것이다.Accordingly, the inner jig 50 has a plurality of inner tightening rods 55 protrude from each side of the body 52, the inner tightening rods 55 are respectively provided to the adjustment screw (57) The protrusion length is controlled by. Unlike the structure in which the inner tightening rods 55 penetrate the outer surface tightening screws 15 through the frame 12, respectively, the protruding length is adjusted through the adjusting screw 57.

상기 내면 조임봉(55)은 그 하단에 직경 확대부(59)를 형성하고, 상기 직경 확대부(59)의 하면에는 경사면(62)을 형성한다. 그리고, 이러한 직경 확대부(59)와 경사면(62)은 상기 보디(52)의 내측에 마련된 공간(64)내에 위치되며, 상기 경사면(62)에는 상기 조절나사(57)의 선단부가 접촉한다.The inner surface tightening rod 55 forms a diameter expanding portion 59 at a lower end thereof, and an inclined surface 62 is formed on a lower surface of the diameter expanding portion 59. The diameter expanding portion 59 and the inclined surface 62 are located in the space 64 provided inside the body 52, and the inclined surface 62 is in contact with the tip of the adjusting screw 57.

그리고, 상기 내면 조임봉(55)은 상기 직경 확대부(59)의 상부측으로 그 외면에 끼워지는 코일 스프링(70)을 구비하며, 상기 코일 스프링(70)은 그 하단이 직경 확대부(59)의 상단(59a)에 지지되고, 그 상단은 상기 공간(64)을 형성하는 보디(52)의 내측 단턱(72)에 지지되어 상기 내면 조임봉(55)을 항상 하부측으로 밀어 주도록 된다.In addition, the inner surface tightening rod 55 has a coil spring 70 that is fitted to the outer surface toward the upper side of the diameter expanding portion 59, and the coil spring 70 has a diameter expanding portion 59 at its lower end. Is supported by the upper end (59a) of the upper end is supported by the inner step (72) of the body 52 forming the space 64 so as to always push the inner tightening rod (55) to the lower side.

한편, 상기 조절나사(57)는 내면 조임봉(55)에 직교하는 방향으로 상기 보디(52)를 나사결합하는 것으로서, 상기 보디(52)내에 삽입되어지는 깊이에 따라서, 상기 경사면(62)을 통하여 내면 조임봉(55)을 밀어 올리는 높이를 다르게 한다. On the other hand, the adjustment screw 57 is to screw the body 52 in the direction orthogonal to the inner surface tightening rod 55, and according to the depth to be inserted into the body 52, the inclined surface 62 The height of the inner rod tightening rods (55) through different.

즉, 상기 내면 조임봉(55)은 스프링(70)에 의해서 항상 보디(52)의 내측으로 밀려지는 상태이고, 그 경사면(62)을 상기 조절나사(57)가 받치는 상태이므로, 상기 조절나사(57)가 진입하면 내면 조임봉(55)은 상승하면서 코일 스프링(70)을 압축시키게 된다. 그리고, 상기 조절나사(57)가 후진하면 코일 스프링(70)에 의해서 상기 내면 조임봉(55)은 보디(52)의 내측으로 진입되는 것이다.That is, the inner tightening rod 55 is always pushed into the body 52 by the spring 70, and the adjusting screw 57 supports the inclined surface 62, so that the adjusting screw ( As the 57 enters, the inner tightening rod 55 rises to compress the coil spring 70. When the adjusting screw 57 moves backward, the inner tightening rod 55 enters the inside of the body 52 by the coil spring 70.

이와 같이 상기 내측 지그(50)는 각각의 내면 조임봉(55)들이 각각의 조절나사(57)들에 의해서 조절되는 것이고, 이들 조절나사(57)들은 상기 보디(52)의 전면으로 향해서 배치되어 있다. 이와 같이 보디(52)의 전면으로 배치되어짐으로써 작업자는 상기 내측 지그(50)의 전면에서 쉽게 조절나사(57)를 회전시키고, 내면 조임봉(55)들의 돌출 길이를 조절할 수 있는 것이다.In this way, the inner jig 50 is that the respective inner tightening rods 55 are adjusted by the respective adjustment screw 57, these adjustment screws 57 are disposed toward the front of the body 52 have. In this way, by being disposed in the front of the body 52, the operator can easily rotate the adjustment screw 57 in the front of the inner jig 50, and adjust the protruding length of the inner tightening rods 55.

그리고, 본 발명은 상기 외측및 내측 지그(10)(50)들에 의해서 지지되어지는 초거울 기판(212)들이 사전에 설정된 규격범위내에 위치하는 지를 검출하여 외부로 출력시키는 판정부(80)를 구비한다. 즉, 상기 판정부(80)는 상기 외측및 내측 지그(10)(50)들의 전방측에 위치되어 상기 초거울 기판(212)의 사방 모서리들을 촬영하는 다수의 화상 카메라(82)들과, 상기 화상 카메라(82)들에 의해서 획득된 영상을 외부로 각각 출력하는 모니터(90)들을 갖는다.In addition, the present invention detects whether the ultra-mirror substrates 212 supported by the outer and inner jig 10, 50 is located within a predetermined standard range and outputs the determination unit 80 to the outside. Equipped. That is, the determination unit 80 is located on the front side of the outer and inner jig 10, 50 and a plurality of image cameras 82 for photographing the four corners of the ultra-mirror substrate 212, and The monitors 90 respectively output images obtained by the image cameras 82 to the outside.

상기 판정부(80)의 카메라(82)들은 도 4에 도시된 바와 같이, 사전에 설정된 규격으로 지지대(84)상에 다수개가 고정 배치되는 바, 이들 카메라(82)들은 초거울 기판(212)의 사방 모서리마다 하나씩 총 4개가 상기 지지대(84)상에 고정 배치된다.As shown in FIG. 4, a plurality of cameras 82 of the determination unit 80 are fixedly arranged on the support 84 according to a predetermined standard, and these cameras 82 are ultra-mirror substrates 212. A total of four are fixedly placed on the support 84, one at every corner of the edge.

그리고, 이러한 상기 카메라(82)와 지지대(84)는 도 1에 도시된 바와 같이 외측및 내측 지그(10)(50)들의 전방측에 위치되며, 상기 지지대(84)는 그 하단에 베이스(87)가 마련되어 스스로 직립상태로 유지 가능한 구조이다.And, the camera 82 and the support 84 is located on the front side of the outer and inner jig 10, 50 as shown in Figure 1, the support 84 is the base 87 at the bottom ) Is a structure that can keep itself upright.

상기 카메라(82)들은 각각 근접촬영 또는 접사 촬영이 가능한 고성능및 고해상도의 카메라이다.The cameras 82 are high performance and high resolution cameras capable of close-up or macro shooting, respectively.

그리고, 상기 카메라(82)는 촬영한 초거울 기판(212)의 사방 모서리 영상을 모니터(90)로 출력시키기 위하여 상기 모니터(90)에 전기적으로 연결되는 구조이다.In addition, the camera 82 is a structure electrically connected to the monitor 90 in order to output the photographed corner image of the super mirror substrate 212 to the monitor 90.

그리고, 상기 판정부(80)는 도 5a)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(82)에 의해서 획득된 영상을 외부로 출력시키는 모니터(90)들을 구비한다. 상기 모니터(90)는 상기 카메라(82)들에 각각 대응하여 그 영상을 나타내는 것으로서, 그 모니터(90)상에는 초거울 기판(212)의 사방 모서리들을 위한 정렬 기준선(92)들이 예를 들면 도 5a)에서 실선으로 도시된 바와 같이, 각각┎, ┑,┕, ┚의 형태로 사전에 표시되어 있다. 또한, 상기 정렬 기준선(92)들에 중첩하여 현재 카메라(82)가 촬영한 영상(94)이 예를 들면 도 5에서 점선의 형태로 표시된다. And, as shown in Figure 5a), the determination unit 80 is provided with a monitor 90 for outputting the image obtained by the camera 82 to the outside. The monitor 90 represents an image corresponding to the cameras 82, respectively, on which the alignment reference lines 92 for the four corners of the ultra-mirror substrate 212 are for example shown in FIG. 5A. As shown by the solid line in), it is indicated in advance in the form of ┎, ┑, ┕, ┎, respectively. In addition, the image 94 captured by the current camera 82 overlapping the alignment reference lines 92 is displayed in the form of a dotted line in FIG. 5, for example.

즉, 상기 미리 정해진 정렬 기준선(92)에 현재 정렬 작업중인 초거울 기판(212)의 사방 모서리 영상(94)들이 중첩하여 표시됨으로써, 작업자들은 그 정 렬 기준선(92)에 각각 정렬되는 지를 판별할 수 있는 것이다. That is, since the four corner image 94 of the ultra-mirror substrate 212 currently being aligned is superimposed on the predetermined alignment reference line 92, workers can determine whether they are aligned with the alignment reference line 92. It can be.

상기와 같이 구성된 본 발명의 중성자 유도관용 고정밀 정렬장치(1)는 초거울 기판(212)들을 이용하여 중성자 유도관 유닛(210)을 제작하고자 하는 경우, 외측및 내측 지그(10)(50)들을 이용하여 이들을 사각 단면의 경통형상으로 조립하게 된다. 이는 도 2에 도시된 바와 같이, 예를 들면 3개의 외측 지그(10)들을 이용하여 유도관 유닛(210)의 입,출구측에 각각 배치하고, 그 중간에 배치한 다음, 상기 입,출구측에 배치된 외측 지그(10)들에는 상기 유도관 유닛(210)의 내부에 내측 지그(50)들을 각각 배치한다. 이와 같은 경우, 상기 중간에 위치한 외측 지그(10)에는 내측 지그(50)를 위치시킬 필요가 없다.High precision aligning device 1 for the neutron guide tube of the present invention configured as described above is to manufacture the neutron guide tube unit 210 using the mirror substrate 212, the outer and inner jig (10) (50) They are assembled into a barrel shape having a rectangular cross section. As shown in FIG. 2, for example, three outer jigs 10 are disposed at the inlet and outlet sides of the induction pipe unit 210, and are disposed in the middle thereof, and then the inlet and outlet sides are arranged. The inner jig 50 is disposed in the outer jig 10 disposed in the induction pipe unit 210, respectively. In this case, it is not necessary to position the inner jig 50 in the outer jig 10 located in the middle.

이와 같이, 상기 유도관 유닛(210)의 입,출구측에 각각 위치한 외측 지그(10)와 내측 지그(50)들을 이용하여 유도관 유닛(210)의 내부 규격을 정렬하게 된다. 이러한 중성자 유도관 유닛(210)의 조립 접합에서 중요한 점은 그 입,출구의 크기 오차이고, 이는 그 오차범위가 10㎛ 이내로 반드시 유지되어야 한다.As such, the inner dimensions of the induction pipe unit 210 are aligned using the outer jig 10 and the inner jig 50 positioned at the inlet and outlet sides of the induction pipe unit 210. The important point in the assembly junction of the neutron guide tube unit 210 is the size error of the inlet, outlet, which must be maintained within 10㎛.

이와 같이 외측및 내측 지그(10)(50)들이 위치된 상태에서 상기 판정부(80)의 화상 카메라(82)들을 상기 유도관 유닛(210)의 입,출구 측에 각각 배치한다. 이러한 화상 카메라(82)들은 지지대(84)상에서 사전에 설정된 위치에 고정되어 있고, 그 위치 고정된 상태에서 상기 유도관 유닛(210)의 내부 크기(규격)에 해당하는 정렬 기준선(92)들이 각각┎, ┑,┕, ┚의 형태로 모니터(90)상에 표시되어 있는 것이다.In this way, the image cameras 82 of the determination unit 80 are disposed at the inlet and outlet sides of the induction pipe unit 210 in the state where the outer and inner jigs 10 and 50 are positioned. These image cameras 82 are fixed at a predetermined position on the support 84, and the alignment reference lines 92 corresponding to the internal size (standard) of the guide tube unit 210 in the fixed position are respectively. It is displayed on the monitor 90 in the form of ┎, ┑, ┕, ┚.

따라서, 이러한 판정부(80)의 화상 카메라(82)들을 이용하여 유도관 유닛(210)의 입,출구측을 촬영하게 되면, 화상 카메라(82)들을 통하여 현재의 유도관 유닛(210)의 입,출구부분이 모니터(90)상에 비춰지게 되고, 예를 들면 도 5에서 점선으로 도시된 바와 같이 실제 영상(94)이 비춰지게 된다.Therefore, when the entrance and exit sides of the induction pipe unit 210 are photographed using the image cameras 82 of the determination unit 80, the entrance of the current induction pipe unit 210 through the image cameras 82 is obtained. The exit portion is illuminated on the monitor 90, and the actual image 94 is illuminated, for example, as shown by the dotted line in FIG.

또한, 상기 모니터(90)상에는 상기 ┎, ┑,┕, ┚ 형태의 정렬 기준선(92)들을 따라서 대략 0.1㎛의 오차범위를 갖는 정밀자들을 이용하여 25㎛의 눈금(96)을 각각 표시하여 둘 수 있다.In addition, on the monitor 90, the scale 96 of 25 μm is displayed on the monitor 90 using precision rulers having an error range of approximately 0.1 μm along the alignment reference lines 92 in the shape of V, V, V, V. Can be.

이와 같은 모니터(90)상에서 상기 화상 카메라(82)에 의해서 촬영된 실제 화상과 모니터(90)의 정렬 기준선(92)이 일치하는 지를 판별하고, 작업자는 눈금(96)을 통하여 그 오차를 확인한 다음, 각각 외측 지그(10)와 내측 지그(50)의 외면 조임 나사(15)들과 내면 조임봉(55)들을 위치조정하는 것이다. 이와 같은 조정작업에서 외측 지그(10)의 외면 조임 나사(15)들은 그 자체를 회전시키게 되면 프레임(12)에 나사결합된 상태이기 때문에 그 선단이 전후진하게 된다.On this monitor 90, it is determined whether the actual image captured by the image camera 82 and the alignment reference line 92 of the monitor 90 coincide, and the operator checks the error through the scale 96. , Respectively, to position the outer tightening screws 15 and the inner tightening rods 55 of the outer jig 10 and the inner jig 50. In this adjusting operation, the outer tightening screws 15 of the outer jig 10 are screwed to the frame 12 when the outer tightening screws 15 rotate themselves, so that the front end is advanced forward and backward.

그와 동시에 상기 내측 지그(50)의 조절나사(57)를 회전시킴으로써 상기 내면 조임봉(55)들의 돌출길이가 조정되어 4개의 초거울 기판(212)들은 각각 그 위치가 조정되고, 모니터(90)의 정렬 기준선(92)상에 일치하도록 정렬되는 것이다. At the same time, by rotating the adjustment screw 57 of the inner jig 50, the protruding length of the inner tightening rods 55 is adjusted so that the four super mirror substrates 212 are respectively adjusted in position and the monitor 90 ) To be aligned on the alignment reference line 92.

이러한 작업과정에서 작업자는 모니터(90)를 통하여 현재의 조정작업이 정확하게 이루어지는 지를 판별하여 신속하고 빠르게 조작이 이루어질 수 있다.In this work process, the operator can determine whether the current adjustment operation is accurately made through the monitor 90 can be performed quickly and quickly.

이러한 과정은 유도관 유닛(210)의 입,출구측에 각각 화상 카메라(82)들을 위치시키고, 동시적으로 입,출구의 크기를 정렬시킬 수 있으며, 이러한 경우에는 판정부(80)의 화상 카메라(82)들과 모니터(90)들이 상기 입,출구측에 각각 별도로 마련되어야 함은 물론이다.In this process, the image cameras 82 may be positioned at the inlet and outlet sides of the induction pipe unit 210, and the sizes of the inlet and outlet may be aligned at the same time. In this case, the image camera of the determination unit 80 may be used. Of course, the 82 and the monitor 90 should be provided separately at the inlet and outlet sides.

그리고, 상기와 같이 입,출구측의 조립작업이 완료되면, 작업자는 중간에 위치한 외측 지그(10)를 이용하여 이들 초거울 기판(212)들의 위치변동을 추가적으로 고정하게 되고, 이와 같이 정렬이 정확하게 위치된 상태에서는 상기 초거울 기판(212)들 사이의 접촉면(P)에 고방사능에 견디는 특수 접착제(Glue)(미도시)를 도포하여 이와 같이 정렬된 상태로 초거울 기판(212)들을 접합시키고, 접착제를 경화시켜 중성자 유도관 유닛(210)을 제작하는 것이다.Then, when the assembling work on the inlet and outlet side is completed as described above, the worker additionally fixes the positional variation of these super mirror substrates 212 using the outer jig 10 located in the middle, and thus the alignment is precisely performed. In the positioned state by applying a special adhesive (Glue) (not shown) that withstands high radioactivity to the contact surface (P) between the ultra-mirror substrate 212 to bond the ultra-mirror substrate 212 in such an aligned state To harden the adhesive to produce a neutron guide tube unit 210.

이와 같이, 조립하면 작업진행 사항이 즉각적으로 모니터(90)상에서 반영되므로, 초거울 기판(212)들의 정렬작업이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있다.As such, when the assembly process is immediately reflected on the monitor 90, the alignment of the ultra-mirror substrate 212 can be made quickly and accurately.

한편, 본 발명은 상기와 같은 작업과정에서 도4및 도 5에 도시된 바와 같이, 부가적으로 유도관 유닛(210)을 이루는 초거울 기판(212)들의 직각도를 측정하는 레이저 콜리메이터(Laser Collimator)(100)를 구비하여 유도관 유닛(210)의 입,출구 크기의 정확도를 부가적으로 향상시킬 수 있다.On the other hand, the present invention is a laser collimator (Laser Collimator) to measure the orthogonality of the ultra-mirror substrate 212 constituting the guide tube unit 210, as shown in Figure 4 and 5 in the above operation process ) 100 may additionally improve the accuracy of the inlet and outlet sizes of the induction pipe unit 210.

상기 레이저 콜리메이터(100)는 판정부(80)의 4개의 화상 카메라(82)들이 위치되는 지지대(84)의 중앙에 고정되는 것이고, 그 레이저 콜리메이터(100)는 도 4에 도시된 바와 같이,수직 상방향과, 수평방향으로 각각 레이저 광선을 발사하고, 이를 수신하는 센서(110)들을 그 선단에 각각 구비한다.The laser collimator 100 is fixed at the center of the support 84 where the four image cameras 82 of the determination unit 80 are located, and the laser collimator 100 is vertical as shown in FIG. 4. The sensor 110 emits a laser beam in an upward direction and a horizontal direction, respectively, and is provided at its distal end.

이와 같은 레이저 콜리메이터(100)는 상기와 같이 외측 지그(10)와 내측 지그(50)들을 이용하여 유도관 유닛(210)의 입,출구 정렬이 완료된 상태에서, 초거울 기판(212)들의 접합면(P)에 접착제를 도포하기 전에, 내측 지그(50)측으로 레이저 콜리메이터(100)를 전진이동시켜 그 센서(110)들이 초거울 기판(212)의 내면측에서 레이저 광선을 발사하도록 하고, 상기 초거울 기판(212)의 내면에서 반사되는 레이저 광선을 수신하여 신호처리하도록 한다.The laser collimator 100 is a bonding surface of the ultra-mirror substrates 212 in the state in which the inlet and outlet alignment of the induction pipe unit 210 is completed by using the outer jig 10 and the inner jig 50 as described above. Before applying the adhesive to (P), the laser collimator 100 is moved forward toward the inner jig 50 so that the sensors 110 emit laser beams from the inner surface side of the ultra-mirror substrate 212, and the second The laser beam reflected from the inner surface of the mirror substrate 212 is received and signal processed.

이러한 과정에서 상기 내측 지그(50)는 유도관 유닛(210)의 입,출구에서 다소 내측으로 위치된 상태에서 상기 유도관 유닛(210)의 입,출구 정렬이 이루어지므로 레이저 콜리메이터(100)가 진입할 수 있는 충분한 공간이 이루어지는 상태이다.In this process, the inner jig 50 is aligned with the inlet and the outlet of the induction pipe unit 210 in a state in which the inlet and the outlet of the induction pipe unit 210 are positioned inward, so that the laser collimator 100 enters. There is enough space to do that.

이와 같은 레이저 콜리메이터(100)는 도 5의 b)에 도시된 바와 같이, 상기 레이저 송,수신 센서(110)들을 이용하여 모니터(120)상에서 상기 초거울 기판(212)들의 수직및 수평 직각도를 판별할 수 있다. As shown in b) of FIG. 5, the laser collimator 100 uses the laser transmission and reception sensors 110 to measure the vertical and horizontal perpendicularity of the super mirror substrates 212 on the monitor 120. Can be determined.

즉, 별도의 모니터(120)상에 상기 유도관 유닛(210)의 입,출구 크기에 해당하는 정렬 기준선(122)과 그 중앙의 기준점(125)을 표시해 놓고, 상기 수직및 수평으로 배치된 레이저 센서(110)들이 수신한 값을 전기적 신호로 변환하여 상기 별도의 모니터(120)상에서 점(127)등으로 표시되도록 한다. That is, the alignment reference line 122 and the center reference point 125 corresponding to the size of the inlet and outlet of the induction pipe unit 210 and the center reference point 125 are displayed on a separate monitor 120, and the lasers arranged vertically and horizontally. The values received by the sensors 110 are converted into electrical signals to be displayed as dots 127 on the separate monitor 120.

이러한 경우, 상기 초거울 기판(212)들이 수직및 수평방향에서 직각을 정확하게 유지하지 못하면, 상기 레이저 센서(110)의 투광부(미도시)에서 발사된 레이저 광선은 정확하게 레이저 센서(110)의 수광부(미도시)측으로 반사되지 못하고 벗어나게 됨으로써, 상기 수광부측으로는 아무런 신호도 입력되지 못하거나, 약한 신호가 입력된다.In this case, when the ultra-mirror substrates 212 do not maintain right angles in the vertical and horizontal directions, the laser beam emitted from the light transmitting part (not shown) of the laser sensor 110 is accurately received by the light receiving part of the laser sensor 110. By not being reflected to (not shown) side, no signal is input to the light receiving unit side, or a weak signal is input.

따라서, 상기 별도의 모니터(120)상에는 상기 레이저 광의 반사신호의 수신 여부와 그 세기에 따라서 점(127)이 형성되거나 혹은 중앙의 기준점(125)과는 다른 형태의 점이 주변에 형성되어진다. 이러한 측정 결과를 통하여 작업자는 비록 상기에서 외측 지그(10)와 내측 지그(50)들을 이용하여 원하는 내부 크기로의 유도관 유닛(210)의 정렬을 1차로 하였지만, 레이저 콜리메이터(100)를 통하여 그 직각도를 검출한 결과 오차가 있음을 발견하고, 상기 외측 지그(10)와 내측 지그(50)들을 통한 2차적인 정렬을 이루도록 하는 것이다. Therefore, on the separate monitor 120, a point 127 is formed according to whether or not the reflection signal of the laser light is received and the intensity thereof, or a point having a shape different from that of the central reference point 125 is formed around the monitor 120. Through this measurement result, the operator first made the alignment of the guide tube unit 210 to the desired inner size by using the outer jig 10 and the inner jig 50 as above, but through the laser collimator 100. As a result of detecting the squareness, it is found that there is an error, and to achieve a secondary alignment through the outer jig 10 and the inner jig 50.

그리고, 본 발명은 도 6에 도시된 바와 같은 부가적인 거울 장착구(130)들을 구비할 수 있다. 상기 거울 장착구(130)는 상기 화상 카메라(82)에 탈착식으로 고정되는 부속 부품(Accessories)의 형태를 갖는 것으로서, 이는 유도관 유닛(210)의 내부 크기(높이X폭)가 작은 경우에 그것을 확대하여 화상 카메라(82)가 촬영할 수 있도록 하기 위함이다. In addition, the present invention may have additional mirror mounts 130 as shown in FIG. 6. The mirror mount 130 is in the form of accessories detachably fixed to the image camera 82, which is used when the internal size (height X width) of the guide tube unit 210 is small. This is to enlarge the image camera 82 so that the image can be taken.

즉, 판정부(80)에 구비된 화상 카메라(82)들의 직경이 각각 20mm의 크기를 갖는 것들이라면, 4개의 카메라(82)들이 촬영할 수 있는 유도관 유닛(210)의 내부 크기는 40mm X 40mm 이다. 그렇지만, 상당히 많은 중성자 유도관(200)의 내부 크기의 최소 폭은 20mm ∼ 40mm도 있기 때문에, 그 사방 모서리들을 촬영하기 위해서는 상기 거울 장착구(130)가 필요한 것이다.That is, if the diameters of the image cameras 82 provided in the determination unit 80 are each one having a size of 20 mm, the internal size of the guide tube unit 210 that can be photographed by the four cameras 82 is 40 mm × 40 mm. to be. However, since the minimum width of the internal size of a considerable number of neutron guide tubes 200 is also 20 mm to 40 mm, the mirror mounting holes 130 are necessary to photograph the four corners.

이러한 거울 장착구(130)는 각각 상기 화상 카메라(82)의 전방에 카트리지식(Cartridge type)으로 탈착가능한 구조이고, 이는 내부에 각각 서로 대향하여 경사진 한쌍의 반사경(135)들을 구비하고 있다. 이러한 거울 장착구(130)는 마치 잠망경과 같은 원리를 이용하여 입사측의 영상을 굴절시켜 출사측으로 내보내는 것이며, 도 6에 도시된 바와 같이 장착되는 경우라면, 중성자 유도관 유닛(210) 의 내측 폭을 대략 10mm 까지도 촬영할 수 있는 것이다.Each of the mirror mounting holes 130 is a cartridge type detachable structure in front of the image camera 82, and has a pair of reflecting mirrors 135 inclined to face each other. Such a mirror mounting hole 130 is to refract the image of the incident side to the exit side by using the same principle as the periscope, and if mounted as shown in Figure 6, the inner width of the neutron guide tube unit 210 You can shoot up to approximately 10mm.

또한, 이같은 원리를 적용하여 상기 거울 장착구(130)를 90°회전시켜 각각 화상 카메라(82)에 장착하면, 중성자 유도관 유닛(210)의 내측 높이가 작은 것도 촬영할 수 있는 것이다.In addition, if the mirror mounting holes 130 are rotated by 90 ° and mounted on the image cameras 82 by applying the same principle, the inner height of the neutron guide tube unit 210 may also be photographed.

상기와 같이 본 발명에 의하면, 다수개의 초거울 기판(212)들을 이용하여 중성자 유도관 유닛(210)을 제작하는 경우, 작업자는 모니터(90)를 통하여 현재 정렬하고 있는 상태가 정확한 지를 파악하면서 정렬작업을 이룰 수 있기 때문에, 항상 신속하고 정밀하게 유도관 유닛(210)의 조립오차를 측정하고 올바르게 정렬시킬 수 있다.According to the present invention as described above, when manufacturing the neutron guide tube unit 210 using a plurality of ultra-mirror substrate 212, the operator aligns while grasping whether the current alignment state is correct through the monitor 90 Since the work can be accomplished, the assembly error of the guide tube unit 210 can be measured and aligned correctly at all times quickly and accurately.

뿐만 아니라, 화상 카메라(82)를 이용하여 유도관 유닛(210)의 입,출구를 확대시키고 이를 모니터(90)상에서 일치시켜 조립함으로써 조립 정밀도의 향상은 물론, 조립작업의 속도와 생산성을 크게 개선하여 염가로 고품질의 중성자 유도관및 유도관 유닛들을 제작할 수 있는 것이다.In addition, by expanding the inlet and outlet of the induction pipe unit 210 using the image camera 82 and matching them on the monitor 90, the assembly accuracy is improved, as well as the speed and productivity of the assembly work are greatly improved. It is possible to manufacture high quality neutron guide tube and guide tube units at a low cost.

그리고, 거울 장착구(130)등을 이용하면 육안으로는 그 조립 오차를 판별할 수 없는 작은 높이와 폭의 유도관 유닛(210)을 정밀하게 조립할 수도 있는 것이다. In addition, if the mirror mounting holes 130 and the like are used, the induction pipe unit 210 having a small height and width that cannot be visually determined assembling error can be precisely assembled.

Claims

In the apparatus for manufacturing a neutron guide tube unit 210 by aligning a plurality of super mirror substrates 212,

Ultra-mirror substrates 212 are positioned inside the frame 12 of a predetermined size, and the plurality of penetrating the frame 12 in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the outer surface of the ultra-mirror substrates 212. At least one outer jig 10 having outer tightening screws 15 therein;

A plurality of inner surface tightening rods having a body 52 positioned inside the super mirror substrate 212 and protruding from the body 52 so as to be adjustable in length to support all four inner surfaces of the super mirror substrate 212. An inner jig 50 with 55; And

A plurality of image cameras 82 positioned at the front side of the outer and inner jig 10, 50 to photograph all four corners of the ultra-mirror substrate 212 and obtained by the image cameras 82. Determination unit 80 to the outside indicating whether the super-mirror substrate 212 is located within a preset standard range having a monitor (90) for outputting the respective images; including the neutron induction tube unit 210 High precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that the inlet and outlet to align and fix to a predetermined standard.

According to claim 1, The outer jig 10 is the outer tightening screws 15 are each rotatable independently so that the length of each projecting from the frame 12 toward the inner side can be adjusted, the outer Jig 10 is a high-precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that the base 17 is formed at the bottom of the jig 10 to be maintained by itself.

According to claim 1, wherein the outer jig 10 is arranged in the inlet side and the outlet side of the neutron guide tube unit 210 one by one, the high precision alignment for the neutron guide tube, characterized in that one is located in the middle portion Device.

According to claim 1, wherein the body 52 is made of a two-split structure, respectively, they are coupled to each other by the fixing bolts 52a, the inner side of the plurality of inner tightening rods 55 so as to move forward and backward High precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that configured.

According to claim 1, wherein the inner jig 50 is provided with an adjustment screw 57 for adjusting the protruding length of the inner tightening rods 55, the inner tightening rod 55 is inclined surface 62 at its lower end And the inclined surface 62 is supported at the depth of the adjustment screw 57 inserted into the body 52 by being supported by the tip of the adjustment screw 57 screwed to the body 52. Therefore, the high precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that the rising height of the inner surface tightening rod 55 is formed differently.

According to claim 5, The inner surface of the tightening rod (55) forms a diameter expanding portion (59) at its lower end, the bottom surface of the diameter expanding portion 59 forms an inclined surface (62), the diameter expanding portion ( 59 is provided with a coil spring 70 fitted to an outer surface thereof, the lower end of which is supported by the upper end 59a of the diameter expanding portion 59, and the upper end of the coil spring 70. A high precision alignment device for neutron induction tube, characterized in that it is supported by the inner step (72) of the body (52) forming the (64) always push the inner tightening rod (55) to the inside of the body (52).

7. The adjustment screw (57) according to claim 5 or 6, wherein the adjustment screws (57) are arranged to face the front of the body (52) so that the adjustment screw (57) is easily rotated at the front of the inner jig (50). High precision alignment device for neutron guide tube characterized in that.

The method of claim 1, wherein the cameras 82 are a predetermined position and fixed on the support (84), a total of four, one for each corner of the four sides of the ultra-mirror substrate 212 is previously fixed High precision alignment device for neutron induction pipe.

The display device of claim 8, wherein the monitors 90 are provided to correspond to the cameras 82, and each of the monitors 90 has the image cameras 82 fixed on the support 84. Alignment reference line (92) corresponding to the internal size (standard) of the guide tube unit 210 is a high-precision alignment device for neutron induction pipe, characterized in that is represented in the form of ┎, ┑, ┕, ┎ respectively.

10. The high precision alignment device for neutron guide tubes according to claim 1 or 9, wherein a scale (96) is displayed on the monitor (90) along the alignment reference lines (92).

The mouth of the guide tube unit 210 further comprises a laser collimator 100 for measuring the squareness of the super mirror substrates 212 constituting the guide tube unit 210. A high precision alignment device for neutron guide tubes, characterized in that the secondary size of the accuracy of the exit size detection.

12. The laser collimator 100 is fixed to the center of the support 84 where the four image cameras 82 of the determination unit 80 are positioned. A high precision alignment device for neutron guide tubes, characterized in that provided with a sensor that emits a laser beam, the sensor 110 at its tip.

The laser collimator 100 of claim 12 marks the alignment reference line 122 corresponding to the inlet and outlet size of the guide tube unit 210 and the reference point 125 in the center thereof. High precision alignment device for neutron induction tube, characterized in that the laser sensor is disposed is electrically connected to a separate monitor 120 to convert the received value into an electrical signal to be displayed.

The mirror mounting apparatus according to claim 1, wherein the mirror mounting hole is detachably fixed to the image camera 82, and enlarges it when the internal size of the induction pipe unit 210 is small so that the image camera 82 can photograph. High precision alignment device for neutron guide tube, characterized in that it further comprises 130).

15. The high precision neutron guide tube according to claim 14, wherein the mirror mounting holes (130) are provided with a pair of reflecting mirrors (135) inclined to face each other in the interior thereof to deflect an image of the incident side and exit the image to the exit side. Alignment device.