KR100561306B1 - Power transmitting device for smif pod door - Google Patents

Power transmitting device for smif pod door Download PDF

Info

Publication number
KR100561306B1
KR100561306B1 KR1020040117818A KR20040117818A KR100561306B1 KR 100561306 B1 KR100561306 B1 KR 100561306B1 KR 1020040117818 A KR1020040117818 A KR 1020040117818A KR 20040117818 A KR20040117818 A KR 20040117818A KR 100561306 B1 KR100561306 B1 KR 100561306B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
power
shaft
pin
power transmission
locking device
Prior art date
Application number
KR1020040117818A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김철호
Original Assignee
동부아남반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부아남반도체 주식회사 filed Critical 동부아남반도체 주식회사
Priority to KR1020040117818A priority Critical patent/KR100561306B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100561306B1 publication Critical patent/KR100561306B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)

Abstract

본 발명은 SMIF(Standard Mechanical Interface) 포드 도어(pod door)의 동력 전달 장치에 관한 것으로 전동기와 하부 잠금 장치(bottom lock)와 전동기에 연결된 동력축과 하부 잠금 장치에 연결된 하부 잠금 장치 축을 포함하며, 전동기에 연결된 동력축의 축 조정핀과 하부 잠금 장치 축의 핀 고정 홀(hole)을 서로 연결하고, 축 조정핀에 수직으로 구비된 동력 전달 유도 막대를 하부 잠금 장치 축의 동력핀에 걸어서 동력을 전달하는 구조를 가진다. 본 발명에 의해 SMIF 포드 도어 개폐 장치에서 감지바와 센서 사이의 충돌이 발생하는 경우, 전동기의 동력이 하부 잠금 장치에 전달되는 것을 차단하여, 장치의 파손을 방지하고 공정의 안정성을 현저히 증가시킬 수 있다.The present invention relates to a power transmission device of a Standard Mechanical Interface (SMIF) pod door, and includes a motor, a bottom lock, a power shaft connected to the motor, and a lower lock shaft connected to the bottom lock. The shaft adjusting pin of the power shaft connected to the motor and the pin fixing hole of the lower locking device shaft are connected to each other, and the power transmission guide bar provided perpendicular to the shaft adjusting pin is connected to the power pin of the lower locking device shaft to transmit power. Has When the collision between the sensing bar and the sensor in the SMIF pod door opening and closing device according to the present invention, it is possible to block the transmission of the power of the electric motor to the lower locking device, to prevent damage to the device and to significantly increase the stability of the process. .

SMIF, 포드, 동력핀, 핀 고정홀, 축 조정핀, 동력 전달 유도 막대 SMIF, pods, power pins, pin fixing holes, shaft adjustment pins, power transmission guide bar

Description

ＳＭＩＦ 포드 도어의 동력 전달 장치{Power Transmitting Device for SMIF Pod Door}Power Transmitting Device for SMIF Pod Door

도 1a는 SMIF를 설명하기 위한 개략도.1A is a schematic diagram for explaining an SMIF.

도 1b는 종래 기술에 의한 SMIF 포드 도어 개폐 장치의 동력 전달 부분을 나타내는 개략도.Figure 1b is a schematic diagram showing a power transmission portion of the SMIF pod door opening and closing device according to the prior art.

도 1c는 종래 기술에 의해 발생하는 문제점을 설명하기 위한 개략도.1C is a schematic diagram for explaining a problem caused by the prior art.

도 2a는 본 발명의 구조를 설명하기 위한 개략도.2A is a schematic diagram for explaining the structure of the present invention;

도 2b는 본 발명의 동력축 구조를 설명하기 위한 개략도.Figure 2b is a schematic diagram for explaining the power shaft structure of the present invention.

도 2c 내지 도 2d는 본 발명의 작동 원리를 설명하기 위한 개략도2C-2D are schematic diagrams for explaining the principle of operation of the present invention.

<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>

22: 전동기 24: 전동기에 연결된 동력축22: electric motor 24: power shaft connected to the motor

26: 하부 잠금 장치 축 30: 하부 잠금 장치26: lower locking device axis 30: lower locking device

32: 감지바 34: 축 조정핀32: detection bar 34: axis adjustment pin

36: 동력 전달 유도 막대 38: 동력핀 36: power transmission guide rod 38: power pin

40: 핀 고정 홀40: pin fixing hole

본 발명은 반도체 웨이퍼를 이송하는 데 사용하는 SMIF(Standard Mechanical Interface) 포드 도어(pod door)의 동력 전달 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a power transmission device of a SMIF (Standard Mechanical Interface) pod door for use in transferring semiconductor wafers.

SMIF 장치는 휴렛 패커드 컴퍼니가 제안한 것으로 미국 특허 제 4,532,970호에 개시되어 있으며, 반도체 조립 공정에서 웨이퍼를 저장하고 이송하는 동안 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 미립자의 양을 감소시키는 것을 목적으로 한다.SMIF devices are proposed by Hewlett Packard Company and disclosed in US Pat. No. 4,532,970, which aims to reduce the amount of particulates that build up on semiconductor wafers during storage and transfer of wafers in semiconductor assembly processes.

SMIF 시스템은 웨이퍼의 저장 및 이송에 사용하는 밀폐된 포드와 웨이퍼를 외부에 노출시키지 않고 이송시킬 수 있는 이동 장치 등으로 구성된다.The SMIF system consists of a closed pod used to store and transport the wafer and a moving device that can transfer the wafer without exposing it to the outside.

도 1a을 참조하여 SMIF 시스템을 개략적으로 살펴보면, 웨이퍼(1)를 적재한 SMIF 포드(7)가 웨이퍼를 이송하며, 전동기(motor)(3)에 의해 포드가 열리면 로봇 팔(arm)(5)을 이용하여, 웨이퍼(1)를 필요한 장치로 옮긴다. Referring to FIG. 1A, the SMIF system is schematically illustrated, in which the SMIF pod 7 carrying the wafer 1 transfers the wafer, and the robot arm 5 when the pod is opened by the motor 3. Is used to transfer the wafer 1 to the required device.

도 1b는 포드 도어를 개폐하는 시스템을 좀 더 구체적으로 나타낸 것으로 전동기(3)로부터 동력축(9)을 통해 동력이 전달되면서, 하부 잠금 장치(bottom lock)(15)가 회전하여 포드가 개방되며, 감지바(bar)(13)와 센서(11)가 일직선이 된 것이 센서(11)에 감지되면 하부 잠금 장치(15)의 회전이 멈춘다.. Figure 1b shows a system for opening and closing the pod door in more detail as power is transmitted from the electric motor 3 through the power shaft 9, the bottom lock (15) is rotated to open the pod When the sensor 11 detects that the sensing bar 13 and the sensor 11 are in a straight line, the rotation of the lower locking device 15 stops.

하지만, 실제 반도체 제조 공정에서는 도 1c처럼, 어떤 원인에 의해 감지바(13)와 센서(11)가 서로 충돌하는 경우가 발생한다. 이 때, 센서(11)는 감지바(13)와 일직선 상에 놓이는 것을 감지하지 못하므로, 하부 잠금 장치(15)가 회전하도록 전동기(3)에서 동력이 계속 공급된다. 그 결과 감지바(13)와 센서(11) 사이의 충돌이 지속되고, 동력축(9)과 하부 잠금 장치(15) 사이가 틀어져서 결국 하부 잠금 장치(15)와 전동기(3)까지 파손된다.    However, in the actual semiconductor manufacturing process, as illustrated in FIG. 1C, the sensing bar 13 and the sensor 11 may collide with each other due to some cause. At this time, since the sensor 11 does not sense the alignment with the sensing bar 13, power is continuously supplied from the electric motor 3 so that the lower locking device 15 rotates. As a result, the collision between the sensing bar 13 and the sensor 11 continues, and the power shaft 9 and the lower locking device 15 are twisted and eventually damaged to the lower locking device 15 and the electric motor 3. .

본 발명의 목적은 SMIF 포드 도어 개폐부에서 감지바와 센서의 충돌이 발생하는 경우, 동력이 전달되는 것을 차단하여 전동기에 과부하가 걸리는 것을 방지하는 것이다.An object of the present invention is to prevent the overload of the motor by blocking the transmission of power when the collision between the detection bar and the sensor in the SMIF pod door opening and closing portion occurs.

본 발명의 다른 목적은 SMIF 포드 도어 개폐부에서 문제가 발생한 경우, 하부 잠금 장치로 동력이 전달되는 것을 차단하여 장치의 손상을 막고 공정의 효율을 높임과 함께 비용을 절감하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent power damage to the lower locking device when a problem occurs in the SMIF pod door opening and closing to prevent damage to the device and increase the efficiency of the process and reduce the cost.

본 발명은 SMIF(Standard Mechanical Interface) 포드 도어(pod door) 동력 전달 장치로서, SMIF 포드 도어(pod door)를 개폐하는 동력을 발생시키는 전동기와, 포드와 연결된 하부 잠금 장치(bottom lock)와, 전동기에 연결된 동력축과, 하부 잠금 장치에 연결된 하부 잠금 장치 축을 포함하며, 전동기에 연결된 동력축의 축 조정핀과 하부 잠금 장치 축의 핀 고정 홀(hole)을 서로 연결하고, 축 조정핀에 수직으로 구비된 동력 전달 유도 막대를 하부 잠금 장치 축의 동력핀에 걸어서 동력을 전달하는 구조를 가진다.The present invention relates to a standard mechanical interface (SMIF) pod door power transmission device, comprising: an electric motor for generating power to open and close an SMIF pod door, a bottom lock connected to the pod, and an electric motor. And a lower locking shaft connected to the lower locking device, the shaft adjusting pin of the driving shaft connected to the motor and the pin fixing hole of the lower locking shaft connected to each other, and being vertical to the shaft adjusting pin. It has a structure for transmitting power by walking the power transmission guide rod to the power pin of the lower lock shaft.

본 발명에 의하면, SMIF 포드 도어 개폐부의 감지바와 센서가 충돌하여 전동기에 과부하가 걸리는 경우, 동력 전달 유도 막대가 부러지면서 전동기로부터 하부 잠금 장치로 동력이 전달되는 것을 차단하므로 SMIF 장치의 파손을 방지할 수 있다.According to the present invention, when the sensor bar of the SMIF pod door opening and closing part and the sensor collide with the motor, the power transmission guide bar is broken and the transmission of power from the motor to the lower locking device is prevented, thereby preventing damage to the SMIF device. Can be.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 좀 더 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 의한 SMIF 포드 도어 동력 전달 장치는 도 2a 같이 전동기(22)에서 공급되는 동력을 동력축(28)을 통해 하부 잠금 장치(30)에 전달한다.SMIF pod door power transmission device according to the present invention transmits the power supplied from the electric motor 22 to the lower locking device 30 through the power shaft 28 as shown in FIG.

동력이 전달된 하부 잠금 장치(30)가 회전하면서 포드가 열리고, 감지바(32)가 센서와 정렬하게 되면 하부 잠금 장치의 회전이 멈춘다.The pod opens while the lower locking device 30 is powered, and the rotation of the lower locking device stops when the sensing bar 32 is aligned with the sensor.

본 발명에서 동력축(28)은 도 2a와 같이 하부 잠금 장치(30)에 연결된 하부 잠금 장치 축(26)과 전동기(22)에 연결된 동력축(24)이 결합하는 구조를 가진다.In the present invention, the power shaft 28 has a structure in which the lower locking device shaft 26 connected to the lower locking device 30 and the power shaft 24 connected to the electric motor 22 are coupled as shown in FIG. 2A.

도 2b는 본 발명 동력축의 결합부를 좀 더 자세하게 나타낸 것으로, 전동기에 연결된 동력축(24)의 축 조정핀(34)을 하부 잠금 장치 축(26)의 핀 고정홀(hole)(40)에 고정시키고, 축 조정핀(34)에 부착된 동력 전달 유도 막대(36)를 하부 잠금 장치 축의 동력핀(38)에 걸어서 동력을 전달한다.Figure 2b shows in more detail the coupling portion of the power shaft of the present invention, the shaft adjustment pin 34 of the power shaft 24 connected to the electric motor is fixed to the pin fixing hole (40) of the lower locking device shaft (26) Then, the power transmission guide rod (36) attached to the shaft adjustment pin (34) hangs on the power pin (38) of the lower lock shaft to transmit power.

따라서, 도 2c에서 보듯이 동력축(24)이 회전하면, 동력 전달 유도 막대(36)가 동력핀(38)에 걸리면서 하부 잠금 장치 축(26)이 회전하게 된다. 이 때, 동력 전달의 효율을 높이기 위해서 전동기에 연결된 동력축(24)과 하부 잠금 장치 축(26)의 중심축이 서로 일치하는(coaxial) 것이 바람직하다. 따라서 동력축(24)의 중심축을 따라서 축 조정핀(34)을 배치하고 하부 잠금 장치 축(26)의 중심축을 따라서 핀 고정 홀(40)을 형성한다.Therefore, as shown in FIG. 2C, when the power shaft 24 rotates, the power transmission guide rod 36 is caught by the power pin 38 such that the lower lock shaft 26 rotates. In this case, in order to increase the efficiency of power transmission, it is preferable that the central axes of the power shaft 24 and the lower locking device shaft 26 connected to the electric motor are coaxial with each other. Accordingly, the shaft adjusting pin 34 is disposed along the central axis of the power shaft 24, and the pin fixing hole 40 is formed along the central axis of the lower locking device shaft 26.

이렇게 동력이 전달되는 과정에서, 감지바가 센서와 충돌하여 하부 잠금 장치(30)의 회전이 멈추더라도 센서는 감지바와 일렬로 정렬된 것을 감지하지 못하므로, 전동기에서 동력이 계속 공급된다. 이 때 본 발명에 의하면 동력 전달 유도 막대(36)에 과도한 토크(torque)가 걸리는 경우, 도 2d와 같이 동력 전달 유도 막대(36a)가 부러지게 된다. 본 발명에서 축 조정핀(34)에 부착된 동력 전달 유도 막대(36)는 가해지는 토크를 조절하기 위해서 축 조정핀(34)에 수직으로 부착하는 것이 바람직하다. In this process of transmitting power, even though the sensing bar collides with the sensor and the rotation of the lower locking device 30 stops, the sensor does not detect that the sensor is aligned with the sensing bar, and thus power is continuously supplied from the electric motor. At this time, according to the present invention, when excessive torque is applied to the power transmission guide bar 36, the power transmission guide bar 36a is broken as shown in FIG. 2D. In the present invention, the power transmission induction rod 36 attached to the shaft adjustment pin 34 is preferably attached perpendicularly to the shaft adjustment pin 34 to adjust the torque applied.

동력 전달 유도 막대(36)에 가해지는 토크는 동력핀(38)과 동력 전달 유도 막대(36)의 접점에 가해지는 힘과 축 조정핀(34)와 동력핀(38) 사이 거리의 곱으로 결정된다. 따라서 본 발명에서는 장비에 손상이 생기는 조건을 동력 전달 유도 막대(36)가 견딜 수 있는 한계 토크로 정하고, 이를 동력전달 유도 막대(36)의 재질을 고려하여 축 조절핀(34)과 동력핀(38) 사이의 거리와 전동기의 동력에 의해 수치화할 수 있다.The torque applied to the power transmission guide rod 36 is determined by the product of the force applied to the contact of the power pin 38 and the power transmission guide rod 36 and the distance between the shaft adjustment pin 34 and the power pin 38. do. Therefore, in the present invention, the condition in which damage to the equipment is set as the limit torque that the power transmission induction bar 36 can withstand, and considering the material of the power transmission induction bar 36, the shaft adjustment pin 34 and the power pin ( 38) can be quantified by the distance between them and the power of the motor.

따라서 한계 토크가 동력 전달 유도 막대(36)에 가해지면, 동력 전달 유도 막대(36a)가 부러지면서 하부 장금 장치(30)에 동력이 전달되지 않고 전동기에 연결된 동력축(24)이 겉돌게 된다. 그 결과 감지바와 센서에 무리한 압력이 가해지는 것을 막을 수 있어 SMIF 장치의 추가적인 손상을 방지한다.Therefore, when the limit torque is applied to the power transmission induction rod 36, the power transmission induction rod 36a is broken and the power shaft 24 connected to the electric motor is rotated without power being transmitted to the lower locking device 30. This prevents excessive pressure on the sense bar and sensor, preventing further damage to the SMIF device.

지금까지 도면을 참조로 본 발명의 구체적인 구현 방법을 설명하였지만, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것이고 발명의 기술적 범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 특허청구범위에 기재된 사항에 의하여 정하여지며, 도면을 참조로 한 설명은 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 충분히 변형되거나 수정될 수 있다. Although a specific implementation method of the present invention has been described above with reference to the drawings, it is intended to be easily understood by those skilled in the art and is not intended to limit the technical scope of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention is determined by the matters described in the claims, and the description with reference to the drawings may be sufficiently modified or modified within the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명에 의하면 SMIF 포드 도어 개폐 장치에서 감지바와 센서 사이의 충돌이 발생하는 경우, 전동기의 동력이 하부 잠금 장치에 전달되는 것을 차단하여, 전동기에 과부하가 걸리는 것을 막고, 감지바와 센서의 손상을 줄이며, 동력축과 전동기 및 하부 잠금 장치의 연결 부위가 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 반도체 장비의 유지 관리비를 크게 줄이고 공정의 안정성을 현저히 증가시킬 수 있다.


According to the present invention, if a collision occurs between the sensing bar and the sensor in the SMIF pod door opening and closing device, the power of the motor is blocked from being transmitted to the lower locking device, thereby preventing the motor from being overloaded, and reducing the damage of the sensing bar and the sensor. In addition, the connection between the power shaft, the electric motor and the lower locking device can be prevented from being twisted. As a result, the maintenance cost of the semiconductor equipment can be greatly reduced and the stability of the process can be significantly increased.


Claims (2)

SMIF(Standard Mechanical Interface) 장치로서,As a Standard Mechanical Interface (SMIF) device, SMIF 포드 도어(pod door)를 개폐하는 동력을 발생시키는 전동기와,An electric motor for generating power to open and close the SMIF pod door, 포드와 연결된 하부 잠금 장치(bottom lock)와,Bottom lock connected to the pod, 상기 전동기에 연결된 동력축과,A power shaft connected to the electric motor, 상기 하부 잠금 장치에 연결된 하부 잠금 장치 축을 포함하며, A lower lock shaft connected to the lower lock, 상기 전동기에 연결된 동력축의 축 조정핀과 상기 하부 잠금 장치 축의 핀 고정 홀(hole)을 서로 결합하고,Coupling the shaft adjusting pin of the power shaft connected to the motor and the pin fixing hole of the lower locking device shaft, 상기 축 조정핀에 부착된 동력 전달 유도 막대를 상기 하부 잠금 장치 축의 동력핀에 걸어서 동력을 전달하는 구조를 가지며,It has a structure for transmitting power by walking the power transmission induction rod attached to the shaft adjustment pin to the power pin of the lower locking device shaft, 상기 전동기에 과부하가 걸리는 경우, 상기 동력 전달 유도 막대가 부서지면서 동력 전달이 차단되는 것을 특징으로 하는 SMIF 포드 도어의 동력 전달 장치.When the motor is overloaded, power transmission device of the SMIF pod door, characterized in that the power transmission is cut off as the power transmission guide bar is broken. 제1항에서,In claim 1, 상기 축 조정핀은 상기 전동기에 연결된 동력축의 중심축을 따라 배치되고,The shaft adjustment pin is disposed along the central axis of the power shaft connected to the motor, 상기 핀 고정홀은 상기 하부 잠금 장치의 중심축을 따라서 형성된 것을 특징으로 하는 SMIF 포드 도어의 동력 전달 장치. The pin fixing hole is a power transmission device of the SMIF pod door, characterized in that formed along the central axis of the lower locking device.
KR1020040117818A 2004-12-31 2004-12-31 Power transmitting device for smif pod door KR100561306B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040117818A KR100561306B1 (en) 2004-12-31 2004-12-31 Power transmitting device for smif pod door

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040117818A KR100561306B1 (en) 2004-12-31 2004-12-31 Power transmitting device for smif pod door

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100561306B1 true KR100561306B1 (en) 2006-03-15

Family

ID=37179634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040117818A KR100561306B1 (en) 2004-12-31 2004-12-31 Power transmitting device for smif pod door

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100561306B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100736552B1 (en) 2005-12-28 2007-07-06 동부일렉트로닉스 주식회사 Standard mechanical interface apparatus, and power deliverring axis of the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100736552B1 (en) 2005-12-28 2007-07-06 동부일렉트로닉스 주식회사 Standard mechanical interface apparatus, and power deliverring axis of the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI604552B (en) Access arbitration system for semiconductor fabrication equipment and methods for using and operating the same
JP5386082B2 (en) Low capacity carrier and method of use
US20130020817A1 (en) Locking apparatus having a tumbler for safety doors
US20130066459A1 (en) Tactile wafer lifter and methods for operating the same
WO2002004774A2 (en) Automatic door opener
KR100561306B1 (en) Power transmitting device for smif pod door
US20070231112A1 (en) Pod cramping unit, load port equipped with pod cramping unit and mini-environment system including pod and load port
US20040228712A1 (en) Transfer apparatus and method for unloading semiconductor substrate from container
KR102167259B1 (en) OHT device to prevent foup door opening
KR100629608B1 (en) Power Transmitting Device for SMIF Pod Door
CN111432986A (en) Substrate transport device with individual accessory feed-through
KR101041458B1 (en) Substrate transferring device, substrate manufacturing system having the same and method of transferring substrate
KR200281370Y1 (en) Standdard mechanical interface that have power interception function of motor
KR100686454B1 (en) Power deliverring axis of standard mechanical interface apparatus
US20080019808A1 (en) Apparatus and method for transferring substrate
KR100757144B1 (en) Motor power transmission system of standard mechanical interface equipment
KR100816739B1 (en) Apparatus and method for transferring substrate
KR200217107Y1 (en) Apparatus for detecting a loading error of semiconductor wafer of SMIF system
KR100736552B1 (en) Standard mechanical interface apparatus, and power deliverring axis of the same
CN107644820B (en) Wafer offset detection method and device and semiconductor processing equipment
KR100503817B1 (en) Pod station
KR102247447B1 (en) Object transport apparatus
KR20040011037A (en) cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment
JP2005057078A (en) Manufacturing method of semiconductor device
KR20070025434A (en) Inner door assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee