KR100559594B1 - 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체에 관한 것으로, 히터, 히터의 온도를 감지하기 위한 센서, 히터에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급원, 히터에 형성되며 냉각수가 순환되는 냉각수 유로, 냉각수 공급원과 냉각수 유로 사이에 마련되어, 냉각수 공급원으로부터 냉각수를 냉각수 유로로 선택적으로 공급하기 위한 개폐 밸브, 센서에 의해 검출된 온도에 근거하여 개폐 밸브를 선택적으로 개폐시키는 컨트롤러를 포함한다. 따라서 본 발명은 냉각수의 선택적 공급에 의해 히터가 소정 온도 이하로 유지되므로, 온도에 의한 가이드 핀의 파손 및 가이드 핀의 조립 상태를 악화시키는 경우를 줄일 수 있다. 또한, 스틸 재질의 삽입 부재를 통해 가이드 핀이 히터에 설치되므로, 가스 및 열에 의한 악영항을 감소시킬 수 있다.

WCVD 히터 조립체, 가이드 핀

Description

박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체{HEATER ASSEMBLY FOR USE IN A THIN FILM TUNGSTEN EQUIPMENT}

도 1은 종래의 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체의 사시도이고,

도 2는 본 발명에 따른 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체의 사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

20: 히터 21: 구멍

22: 가이드 핀 24: 삽입부재

26: 열전쌍 28: 냉각수 공급원

30: 냉각수 유로 32: 냉각수 공급 파이프

34: 냉각수 배출 파이프 36, 38: 개폐 밸브

40: 컨트롤러

본 발명은 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체(이하, WCVD 히터 조립체라 함)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 냉각수가 선택적으로 순환시킬 수 있는 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체에 관한 것이다.

도 1에 종래의 WCVD 히터 조립체를 개략적으로 도시한다.

도시된 바와 같이, 히터 조립체는 히터(11), 웨이퍼(미도시)를 정확한 위치에 정렬시키기 위해 히터(11)에 마련된 복수개의 가이드 핀(1개만 도시; 13)을 포함한다. 이 가이드 핀(13)은 히터(11)에 형성된 스크류 홀(15)에 스크류(S)를 통해서 결합된다.

이러한 구성을 갖는 히터 조립체는 박막 형성 공정이 실행되는 경우, 챔버(미도시)의 내부 온도를 소망하는 온도로 상승시키는 역할을 한다.

그러나 이러한 히터에 있어서, 스크류에 의해 가이드 핀이 히터에 고정되는 스크류 홀이 알루미늄으로 이루어져 있을 뿐만 아니라 헬리코일(helicoil)로 형성되어 있다. 따라서, 히터의 높은 열과 외부적인 독가스의 영향으로 스크류 홀이 변형되어 프로세스중에 가이드 핀이 빠지는 경우가 있어 웨이퍼의 위치가 소망하는 위치로 부터 이탈될 수 있다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 가이드 핀이 안정적으로 고정될 수 있는 히터를 제공하는 것이다.

이와 같은 목적을 실현하기 위해, 본 발명은 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체에 있어서, 히터, 히터의 온도를 감지하기 위한 센서, 히터에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급원, 히터에 형성되며 냉각수가 순환되는 냉각수 유로, 냉각수 공급원과 냉각수 유로 사이에 마련되어, 냉각수 공급원으로부터 냉각수를 냉각 수 유로로 선택적으로 공급하기 위한 개폐 밸브, 센서에 의해 검출된 온도에 근거하여 개폐 밸브를 선택적으로 개폐시키는 컨트롤러를 포함한다.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 2에 본 발명에 따른 WCVD 히터 조립체를 개략적으로 도시한다.

본 발명에 따른 히터 조립체는 히터(20), 웨이퍼를 소망하는 위치에 정확히 정렬시키기 위한 복수개, 예를 들어 6개의 가이드 핀(22) 및 가이드 핀(22)을 히터(20)에 고정시키기 위한 삽입 부재(24)를 포함한다. 삽입 부재(24)에는 나사산이 형성되며 스틸 재질로 이루어진다. 히터(20)에는 삽입 부재(24)가 삽입되는 구멍(21)이 형성된다. 이러한 구성에 의해, 삽입 부재(24)를 구멍(21)에 삽입시킨 후, 스크류(S)를 가이드 핀(22)을 거쳐 구멍에 체결하는 것에 의해 가이드 핀(22)은 히터(20)에 고정, 체결된다.

또한, 본 발명의 히터 조립체는 히터(20)의 온도를 검출하기 위한 열전쌍(26), 히터(20)에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급원(28), 히터(20)의 내부 바깥 부분에, 즉 가이드 핀(22)이 체결된 부분에 형성되어 냉각수를 순환시키는 냉각수 유로(30), 냉각수 공급원(28)과 냉각수 유로를 연통시키는 냉각수 공급 파이프(32)와 냉각수 배출 파이프(34), 냉각수 공급 파이프(32) 및 냉각수 배출 파이프(34)에 각각 설치된 한 쌍의 개폐 밸브(36, 38), 열전쌍(26)에 의해 검출된 온도에 따라 선택적으로 개폐 밸브(36, 38)를 작동시키기 위한 컨트롤러(40)를 더 포함한다.

이러한 구성에 의해, 히터(20)가 소정 온도, 예를 들어 200℃ 이상 상승한 것을 열전쌍(26)을 통해 컨트롤러(40)가 감지하면, 컨트롤러(40)는 개폐 밸브(36, 38)를 오픈시켜 냉각수 공급원(28)으로부터 냉각수를 히터(20)의 냉각수 유로(30)로 공급한다. 이러한 냉각수 순환에 의해 히터(20)는 소정 온도 이하로 하강된다. 그후, 히터(20)의 온도가 소정 온도 이하로 하강하면, 컨트롤러(40)는 오픈된 개폐 밸브(36, 38)를 폐쇄시킨다.

상술한 기재에 있어서, 개폐 밸브(36, 38)가 2개 마련된 것으로 설명하였지만, 개폐 밸브는 냉각수 공급 파이프(32) 상에 1개만 마련될 수도 있다.

이러한 공정에 의해, 히터(20)의 온도를 소망하는 온도 이하로 유지할 수 있다.

본 발명에 따르면, 냉각수의 선택적 공급에 의해 히터가 소정 온도 이하로 유지되므로, 온도에 의한 가이드 핀의 파손 및 가이드 핀의 조립 상태를 악화시키는 경우를 줄일 수 있다. 또한, 스틸 재질의 삽입 부재를 통해 가이드 핀이 히터에 설치되므로, 가스 및 열에 의한 악영항을 감소시킬 수 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 WCVD 장비의 히터 조립체는 하나의 실시예에 불과한 것으로, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (4)

1. 히터와, 상기 히터의 외주면에 체결된 복수개의 웨이퍼 정렬용 가이드 핀을 포함하여 박막증착시 챔버내부의 온도를 상승시키도록 박막 텅스텐 장비에 사용되는 히터 조립체에 있어서,

   상기 히터에서 상기 가이드 핀이 체결된 부분에 냉각수를 순환시키도록 상기 히터내에 형성된 냉각수 유로와,

   상기 히터의 온도를 감지하기 위한 센서와,

   상기 냉각수 유로에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급원과,

   상기 냉각수 공급원과 상기 냉각수 유로 사이에 마련되어, 상기 냉각수 공급원으로부터 냉각수를 냉각수 유로로 선택적으로 공급하기 위한 개폐 밸브,

   상기 센서에 의해 검출된 상기 히터의 온도에 근거하여 상기 개폐 밸브를 선택적으로 개폐시켜서 상기 히터를 설정 온도이하로 유지하는 컨트롤러를 포함하되,

   상기 복수개의 웨이퍼 정렬용 가이드 핀은 내부에 나사산이 형성된 삽입부재를 개재해서 상기 히터에 체결되는 것을 특징으로 하는 히터 조립체.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 센서는 열전쌍인 것을 특징으로 하는 히터 조립체.
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