KR100558460B1 - A Method for Producing the Barium Titanate Based Powder by Oxalate Process - Google Patents

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Abstract

본 발명은 강유전체, 압전체 등 여러 분야에 사용되는 티탄산바륨계 분말(barium titanate based powder) 및 이를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 그 목적은 균일한 입도를 갖고 그리고 그 입도가 초미립인 티탄산바륨계 분말을 제공하고자 하는데 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to barium titanate based powders used in various fields, such as ferroelectrics and piezoelectrics, and a method for producing the same, and the object thereof is a barium titanate powder having a uniform particle size and having an ultrafine particle size. It is intended to provide.

본 발명은 하기 구조식을 갖는 초미립 티탄산바륨계 분말 및 그 제조방법을 그 요지로 한다.This invention makes the summary the ultrafine barium titanate powder which has the following structural formula, and its manufacturing method.

[구조식][constitutional formula]

ABO3 ABO 3

[여기서, O는 산소를 나타내고, A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, B는 Ti 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, 그리고 A/B의 몰비(mole ratio)>1 임][Wherein O represents oxygen, A is one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, B is one or two or more of the additives that may be substituted with Ti and Ti, and A / Mole ratio of B> 1]

본 발명에 의하면, 초미립이고 유전특성이 우수하여 고용량 초박층 MLCC 등의 유전재료로 유용하게 사용될 수 있는 페로브스카이트 티탄산바륨계 분말이 제공될 수 있다. According to the present invention, a perovskite barium titanate-based powder can be provided that can be usefully used as a dielectric material such as MLCC and the like due to its ultrafine and excellent dielectric properties.

초미립, 티탄산바륨, 옥살레이트, 첨가제, Ultra fine, barium titanate, oxalate, additives,

Description

옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법{A Method for Producing the Barium Titanate Based Powder by Oxalate Process} A method for producing the barium titanate based powder by oxalate process

도 1은 종래의 티탄산바륨 분말의 제조 공정도1 is a manufacturing process of the conventional barium titanate powder

도 2는 본 발명에 의한 티탄산바륨계 분말의 제조 공정도2 is a manufacturing process diagram of the barium titanate-based powder according to the present invention

도 3은 본 발명에 의해 제조된 티탄산바륨계 분말의 하소후 SEM 조직사진.3 is a barium titanate system prepared according to the present invention SEM histogram after calcination of the powder.

도 4는 본 발명에 의해 제조된 다른 티탄산바륨계 분말의 하소후 SEM 조직사진Figure 4 is a SEM histological picture after calcination of the other barium titanate-based powder prepared by the present invention

본 발명은 강유전체, 압전체 등 여러 분야에 사용되는 티탄산바륨계 분말(barium titanate based powder) 및 이를 옥살레이트 공정에 의해 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초미립 티탄산바륨계 분말(barium titanate based powder) 및 이를 옥살레이트 공정에 의해 제조하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a barium titanate based powder used in various fields such as ferroelectrics and piezoelectrics, and to a method of manufacturing the same by a oxalate process, and more particularly, to barium titanate based ultrafine particles. powder) and a method for producing the same by an oxalate process.

일반적으로 티탄산바륨계 분말은 강유전체로서 페라이트(ferrite)와 함께 전 자 세라믹스의 중요한 구성재료이다. In general, barium titanate-based powder is an important component of electronic ceramics with ferrite as a ferroelectric material.

예를들면, 티탄산바륨계 분말은 적층 세라믹 커패시터(multilayer ceramic chip capacitor; MLCC), 정특성 써미스터(positive temperature coefficient of thermistor) 및 압전체 등의 원료로서 광범위하게 사용되고 있다.For example, barium titanate-based powders are widely used as raw materials for multilayer ceramic chip capacitors (MLCCs), positive temperature coefficients of thermistors, and piezoelectric materials.

종래에는 이러한 티탄산바륨계 분말들은 구성원료 분말들을 혼합하여 이 혼합물을 고온에서 가열하여 고상 반응을 유도하는 건식 공정에 의해 제조되었다. Conventionally, such barium titanate-based powders have been prepared by a dry process of mixing component powders and heating the mixture at a high temperature to induce a solid phase reaction.

이렇게 얻어진 분말들은 불규칙한 형상을 갖는 응집체를 이루어 원하는 특성을 달성하기 위해 보통 고온 소성이 필요하다. The powders thus obtained usually require high temperature firing to form agglomerates with irregular shapes to achieve the desired properties.

MLCC 등과 같은 전자 부품들에 점차 소형이면서 큰 용량이 요구됨에 따라 균일하고 미세하면서 입도 분포가 좁은 분말 제조가 매우 중요하게 된다. As electronic components such as MLCCs increasingly require smaller and larger capacities, the production of powders with uniform, fine and narrow particle size distribution becomes very important.

따라서, 지금은 티탄산 바륨계 분말들은 수열합성법, 공침법(옥살레이트법), 알콕사이드법(졸-겔법) 등과 같은 습식 공정에 의해 제조되고 있다. Therefore, barium titanate-based powders are now produced by wet processes such as hydrothermal synthesis, coprecipitation (oxalate method), alkoxide method (sol-gel method) and the like.

수열합성법은 분체의 특성이 양호하다는 장점에도 불구하고 합성공정이 복잡하고, 오토클레이브(autoclave)를 사용하므로 생산성이 좋지 않으며, 제조된 분말 가격이 비싸다. The hydrothermal synthesis method, despite the advantages that the properties of the powder is good, the synthesis process is complex, the productivity is not good because of the use of the autoclave (autoclave), the price of the powder produced is expensive.

또한, 알콕사이드법(alkoxide method) 역시 출발물질의 취급이 어렵고, 가격이 비싸다. In addition, the alkoxide method is also difficult to handle the starting material and expensive.

이러한 이유로 현재 티탄산 바륨계 분말들은 주로 옥살레이트법으로 제조되고 있다. For this reason, barium titanate-based powders are mainly produced by the oxalate method.

옥살레이트법은 제조된 분말은 건식 공정이나 다른 습식 공정에 의해 제조된 분말에 비하여 순도가 높고, 재현성이 뛰어나다는 장점을 갖고 있다.The oxalate method has the advantages of high purity and excellent reproducibility compared to the powder produced by a dry process or another wet process.

상기 옥살레이트법은 Clabaugh에 의해 개발된 이래["Preparation of Barium Titanyl Oxalate Tetrahydrate for Conversion to Barium Titanate of High Purity", Journal of Research of the National Bureau of Standards, vol. 56, No. 5, pp. 289-291, 1956], 현재 티탄산바륨 분말 제조의 상업화에 이용되어지고 있다. The oxalate method has been developed by Clabaugh ["Preparation of Barium Titanyl Oxalate Tetrahydrate for Conversion to Barium Titanate of High Purity", Journal of Research of the National Bureau of Standards, vol. 56, No. 5, pp. 289-291, 1956, which is currently used for commercialization of barium titanate powder production.

도 1에는 상기 옥살레이트법에 의한 제조공정을 개략적으로 나타내고 있다. 도1에 도시된 바와 같이, 옥살레이트법은 Ba과 Ti이온이 함유된 혼합용액을 옥살산(oxalic acid)에 첨가하여 바륨티탄산옥살레이트(barium titanyl oxalate; [ BaTiO(C2O4)2·4H2O]; 이하, 단지 `BTO') 화합물로 침전시킨 후 이것을 건조, 열분해하여 티탄산바륨분말을 제조하는 방법이다. 1, the manufacturing process by the said oxalate method is shown schematically. As shown in Fig. 1, the oxalate method is obtained by adding a mixed solution containing Ba and Ti ions to oxalic acid to form barium titanyl oxalate ([BaTiO (C 2 O 4 ) 2 .4H). 2 O]; Hereafter, only 'BTO') is precipitated, followed by drying and pyrolysis to prepare barium titanate powder.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 염화바륨과 염화티탄 수용액을 Ba:Ti비가 1:1이 되도록 혼합하고, 이를 옥살산에 첨가하면 BTO가 침전되는데, 이를 잘 세척한 후 여과, 건조하여 약 800℃에서 열분해하여 티탄산바륨 분말을 얻는다. That is, as shown in Figure 1, the barium chloride and titanium chloride aqueous solution is mixed so that the Ba: Ti ratio is 1: 1, and when added to oxalic acid, BTO precipitates, which is washed well, filtered and dried to about 800 Pyrolysis at 占 폚 gives barium titanate powder.

그러나, 이러한 옥살레이트법은 공정이 단순하고 원료비와 설비투자비가 싸다는 장점이 있어 가장 먼저 상용화되었으나, 입도제어가 어렵고 열분해시 입자간에 강한 응결체(aggregate)를 형성하여 분쇄한 후 입자가 파쇄상으로 되는 단점이 있다. However, the oxalate method has been commercialized first because of its simple process and low cost of raw materials and equipment investment, but it is difficult to control the particle size and forms a strong aggregate between particles during pyrolysis. There is a disadvantage of being.

또한, 미분입자가 많이 생성되어 혼합, 성형시 분산성이 좋지 않을 뿐만 아 니라 소결시 소결성이 좋지 않고 비정상결정립이 발생하여 초박층 MLCC에 적용하기에는 적합하지 않다는 문제점이 있다. In addition, there is a problem that a lot of fine particles are generated, not only good dispersibility during mixing and molding, but also poor sinterability during sintering and abnormal grains are not suitable for application to ultra-thin MLCC.

이러한 문제점을 극복하기 위한 다른 방법으로서, Hennings 등은 미국특허 제5,009,876호에서 새로운 티탄산바륨 분말을 제조하는 방법을 제안하였다. As another method for overcoming this problem, Hennings et al. Proposed a method for preparing new barium titanate powder in US Pat. No. 5,009,876.

이 방법은 Clabaugh가 제안한 방법에서 혼합 순서를 바꾸어 옥살산 수용액과 TiOCl2 수용액을 먼저 혼합한 다음, 여기에 염화바륨 수용액을 가하고, 반응온도를 약 55℃ 정도로 유지시켜 0.2~ 0.5㎛ 크기의 1차입자를 갖고 3~ 30㎛ 크기의 응결된 티탄산바륨을 얻는 방법이다. In this method, the mixing order is changed in the method proposed by Clabaugh, and the aqueous oxalic acid solution and TiOCl 2 solution are mixed first, and then the aqueous barium chloride solution is added thereto, and the reaction temperature is maintained at about 55 ° C. And a condensed barium titanate having a size of 3 to 30 µm.

상기 Hennings 등의 방법과 유사한 다른 예로서, Wilson 등은 미국 특허 제5,783,165호에서 Ba의 원료(source)를 염화바륨 수용액에서 탄산바륨으로 바꾸어 티탄산바륨 분말을 제조하는 새로운 개선된 방법을 제안하였다.As another example similar to the method of Hennings et al., Wilson et al. Proposed a new improved method for producing barium titanate powder by converting a source of Ba from aqueous barium chloride solution to barium carbonate in US Pat. No. 5,783,165.

이외에도 Yamamura 등은 Clabaugh 등의 방법에서 옥살산을 물대신에 에탄올에 용해시켜 미립의 침전물을 얻기도 하였으며["Preparation of Barium Titanate by Oxalate Method in Ethanol Solution", Ceramic International, vol. 11, No. 1, pp. 17-22, 1985], Cho 등은 미립의 티탄산바륨을 얻고자 Clabaugh 방법에서 침전물 용액의 에이징(aging) 용매와 시간을 변화시키기도 하였다["Particle Size Control of Barium Titanate Prepared from Barium Titanyl Oxalate", Journal of the American Ceramic Society, vol. 80, No. 6, pp. 1599-1604, 1997]. In addition, Yamamura et al. Dissolve oxalic acid in ethanol instead of water to obtain particulate precipitate by Clabaugh et al. ["Preparation of Barium Titanate by Oxalate Method in Ethanol Solution", Ceramic International, vol. 11, No. 1, pp. 17-22, 1985, Cho et al., Also changed the aging solvent and time of sediment solution in the Clabaugh method to obtain particulate barium titanate ["Particle Size Control of Barium Titanate Prepared from Barium Titanyl Oxalate", Journal of the American Ceramic Society, vol. 80, no. 6, pp. 1599-1604, 1997.

그러나, 이들 방법들은 모두 티탄산바륨의 제조과정에서 분말이 심하게 응결(aggregation)된다는 문제를 근본적으로 해결하기에는 아직 미흡하여 입자간의 강한 응결로 인하여 입자를 크게 키울수 없으며 결정성도 나빠 X7R특성이나 Y5V특성을 갖는 MLCC용으로는 적합하지 않다. However, these methods are not enough to fundamentally solve the problem that the powder is agglomerated severely during the manufacturing process of barium titanate. Therefore, due to the strong coagulation between the particles, the particles cannot be greatly increased, and the crystallinity is also poor, resulting in poor X7R or Y5V characteristics. Not suitable for MLCC.

특히, 상기 공정조건들을 조절하여 입자 크기를 줄이는 것은 더 많은 공정변수를 갖게 되고, 그 재현성에도 문제가 발생할 수 있다. In particular, reducing the particle size by adjusting the process conditions has more process variables, which may cause problems in reproducibility.

상기한 문제점들을 개선하기 위한 기술이 대한민국 특허출원 제 2001-0035131호에 제시되어 있다.Techniques for improving the above problems are presented in Korean Patent Application No. 2001-0035131.

즉, 대한민국 특허출원 제2001-0035131호에는 열분해 처리전에 BTO를 분쇄한 후 열분해처리를 하거나 Ba 또는 Ti 자리에 치환되는 첨가제를 혼합으로써 입도 제어 및 균일한 입자형상을 가진 티탄산바륨 분말을 제조하는 방법이 제시되어 있으며, 첨가제의 혼합은 Ba(Ti1-ZZrZ)O3, (Ba1-XCaX)(Ti 1-ZZrZ)O3의 형태로 ABO3구조에서 A/B(mole ratio)=1을 유지하면서 A(Ba site) 또는 B(Ti site)에 첨가제를 첨가하는 방식으로 이루어진다.That is, Korean Patent Application No. 2001-0035131 discloses a method for producing barium titanate powder having a particle size control and uniform particle shape by pulverizing BTO prior to pyrolysis and then performing pyrolysis or mixing an additive substituted in place of Ba or Ti. in this has been proposed, ABO 3 structure a mixture of the additive is in the form of Ba (Ti 1-Z Zr Z ) O 3, (Ba 1-X Ca X) (Ti 1-Z Zr Z) O 3 a / B ( The additive is added to A (Ba site) or B (Ti site) while maintaining mole ratio) = 1.

그러나, 상기한 방법으로는 열처리전 단순한 분쇄공정이나 또는 상기한 첨가제 혼합방법으로는 균일한 입도제어가 어렵고 초박층 MLCC에 대응할만한 0.3㎛이하의 초미립 티탄산바륨 분말을 제조하는 데에는 한계가 있다는 문제점이 있다.However, the above method has a limitation in producing ultrafine barium titanate powder of 0.3 μm or less, which is difficult to control uniform particle size by the simple pulverization process before the heat treatment or the above-mentioned additive mixing method and corresponds to the ultra thin layer MLCC. There is this.

본 발명자들은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 연구 및 실험을 행하 고, 그 결과에 근거하여 본 발명을 제안하게 된 것으로서, 본 발명은 균일한 입도 를 갖고 초미립인 티탄산바륨계 분말을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있는 것이다.
The present inventors conducted research and experiments to solve the above problems of the prior art, and based on the results, the present invention proposes the present invention, which provides a uniform particle size and ultrafine barium titanate-based powder. The purpose is to do that.

이하, 본 발명에 대하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated.

본 발명은 하기 구조식을 갖는 초미립 티탄산바륨계 분말에 관한 것이다.The present invention relates to an ultrafine barium titanate powder having the following structural formula.

[구조식][constitutional formula]

ABO3 [여기서, O는 산소를 나타내고, A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, B는 Ti 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, 그리고 A/B의 몰비(mole ratio)>1 임]ABO 3 [wherein O represents oxygen, A is one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, B is one or two or more of the additives that may be substituted with Ti and Ti, and Mole ratio of A / B> 1]

또한, 본 발명은 BTO가 침전되도록 염화바륨과 염화티탄의 혼합수용액을 옥살산 수용액에 첨가하는 단계;In addition, the present invention comprises the steps of adding a mixed aqueous solution of barium chloride and titanium chloride to the aqueous solution of oxalic acid to precipitate BTO;

침전된 BTO를 분리하는 단계;Separating the precipitated BTO;

상기에서 분리된 BTO가 열분해 공정후에 응집되는 것을 방지하기 위하여 상기 BTO를 분쇄하는 단계;Pulverizing the BTO to prevent the separated BTO from agglomerating after the pyrolysis process;

상기 BTO의 분쇄중 또는 분쇄후에 ABO3 [여기서, O는 산소를 나타내고, A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, B는 Ti 및 Ti와 치환 될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, 그리고 A/B의 몰비(mole ratio)>1 임]의 구조식를 갖는 티탄산바륨계 분말이 얻어지도록 Ba와 치환될 수 있는 첨가제 그룹 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제 그룹중 1종 또는 2종이상을 첨가하는 단계;ABO 3 during or after the pulverization of BTO, wherein O represents oxygen, A is one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, and B is one of the additives that may be substituted with Ti and Ti. 1 or 2 or more of an additive group which may be substituted with Ba, and an additive group which may be substituted with Ti, to obtain a barium titanate-based powder having a structural formula of A / B mole ratio> 1. Adding species or two or more;

티탄산바륨계 분말이 형성되도록 상기와 같이 첨가제가 첨가된 BTO를 열분해하는 단계; 및 Pyrolyzing the BTO to which the additive is added as described above to form a barium titanate-based powder; And

상기에서 형성된 티탄산바륨계 분말을 분쇄하는 단계를 포함하여 구성되는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산 바륨계 분말의 제조방법에 관한 것이다.It relates to a method for producing ultra-fine barium titanate-based powder by the oxalate process comprising the step of pulverizing the barium titanate-based powder formed above.

이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail.

본 발명의 초미립 티탄산바륨계 분말은 하기와 같은 복합 페로브스카이트 구조식을 갖고, 초미립, 바람직하게는 0.3㎛이하의 입도를 갖는다.The ultrafine barium titanate-based powder of the present invention has a composite perovskite structural formula as follows, and has an ultrafine grain, preferably a particle size of 0.3 m or less.

[구조식][constitutional formula]

ABO3 ABO 3

상기 구조식에서 O는 산소를 나타내고, 그리고 A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상을 나타내는 것으로서, Ba와 치환될 수 있는 바람직한 첨가제로는 Mg, Ca, Sr,및 Pb등을 들수 있다.In the above structural formula, O represents oxygen, and A represents one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, and preferred additives that may be substituted with Ba include Mg, Ca, Sr, and Pb. And the like.

또한, 상기 구조식에서 B는 Ti 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상을 나타내는 것으로서, Ti와 치환될 수 있는 바람직한 첨가제로는 Zr, Hf, 및 Sn등을 들수 있다.In the above structural formula, B represents one or two or more of the additives that may be substituted with Ti and Ti, and preferred additives that may be substituted with Ti include Zr, Hf, and Sn.

상기 Ba와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 15mol%이하로 설정하는 것이 바람직하고, 그리고 Ti와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 30mol%이하로 설정하는 것이 바람직하다.The addition amount of the additive which may be substituted with Ba is preferably set to 15 mol% or less, and the addition amount of the additive which may be substituted with Ti is preferably set to 30 mol% or less.

또한, 상기 구조식에서 A/B의 몰비(mole ratio)는 A/B의 몰비(mole ratio)>1 를 만족하여야 한다.In addition, the mole ratio of A / B in the above structural formula should satisfy the mole ratio of A / B> 1.

본 발명의 초미립 티탄산바륨계 분말로는 (BaCaX)TiO3, (Ba1-XCaX )1+Z(Ti1-YZrY)O3, (Ba1-X-CCaXSrC)1+Z(Ti1-YZrY)O3 , (BaCaX)1+Z(Ti1-YZrY)O3[ 0< x ≤15몰%, 0≤y≤50몰%, 0<z≤15몰%, 0≤c≤15몰%] 등과 같은 복합 페로브스카이트 구조를 갖는 티탄산바륨계 분말을 들수 있다.The ultrafine barium titanate-based powder of the present invention includes (BaCa X ) TiO 3 , (Ba 1-X Ca X ) 1 + Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 , (Ba 1-XC Ca X Sr C ) 1 + Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 , (BaCa X ) 1 + Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 [0 <x ≤15 mol%, 0≤y≤50 mol%, 0 < z ≦ 15 mol%, 0 ≦ c ≦ 15 mol%] and the like, and barium titanate-based powder having a composite perovskite structure.

본 발명에 부합되는 복합 페로브스카이트 티탄산바륨계 분말은 X5R, X7R(A,B 특성) 및 Y5V(F 특성) 을 만족하는 MLCC의 유전체 재료로 매우 적합하다. The composite perovskite barium titanate-based powder according to the present invention is very suitable as a dielectric material of MLCC satisfying X5R, X7R (A, B characteristics) and Y5V (F characteristics).

이하, 본 발명에 따라 초미립 티탄산바륨계 분말을 제조하는 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method for producing ultrafine barium titanate-based powder according to the present invention will be described.

본 발명에 의한 제조공정이 도 2에 나타나 있다. The manufacturing process according to the invention is shown in FIG.

도2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 티탄산바륨 분말의 제조공정은 먼저, 염화바륨 수용액과 염화티탄 수용액을 옥살산 수용액에 첨가하여 BTO를 침전시킨다. 이때, 염화바륨 수용액과 염화티탄 수용액은 염화바륨 : 염화티탄의 몰비가 약 1:1∼1:1.5가 되도록 잘 혼합함이 바람직하다. As shown in FIG. 2, in the manufacturing process of the barium titanate powder of the present invention, first, an aqueous barium chloride solution and an aqueous titanium chloride solution are added to an aqueous oxalic acid solution to precipitate BTO. At this time, it is preferable that the barium chloride aqueous solution and the titanium chloride aqueous solution are mixed well so that the molar ratio of barium chloride to titanium chloride is about 1: 1 to 1: 1.5.

구체적 예로서, 염화바륨 수용액은 보통 BaCl2·2H2O를 물에 녹여 사용하는 데, 바람직한 농도범위는 약 0.2-2.0mol/ℓ이다. As a specific example, an aqueous barium chloride solution is usually used by dissolving BaCl 2 · 2H 2 O in water, with a preferred concentration range of about 0.2-2.0 mol / l.

또한, 염화티탄 수용액은 보통 TiCl4용액을 희석하여 사용하는데, 바람직한 농도범위는 약 0.2-2.0mol/ℓ이다. In addition, the aqueous titanium chloride solution is usually diluted with a TiCl 4 solution, the preferred concentration range is about 0.2-2.0 mol / L.

옥살산 수용액은 약 0.2-5.0mol/ℓ의 농도를 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하며, 또한 그 온도가 약 20-100℃인 것을 사용하는 것이 바람직하다. It is preferable to use the oxalic acid aqueous solution which has a density | concentration of about 0.2-5.0 mol / L, and also the thing whose temperature is about 20-100 degreeC.

그리고, 혼합된 염화바륨 수용액과 염화티탄의 수용액은 옥살산 수용액에 첨가할 때 그 첨가속도는 뷔렛(burret)으로 적하할 경우는 약 1-20㎖/min, 그리고 노즐 형태일 경우에는 약 10~500㎖/min임이 바람직하다. In addition, when the mixed barium chloride solution and titanium chloride solution are added to the oxalic acid solution, the addition rate is about 1-20 ml / min when dropped into a burette, and about 10 to 500 when in the form of a nozzle. It is preferably ml / min.

그 다음, 상기 침전된 BTO는 분리하여 BTO를 얻는다. The precipitated BTO is then separated to obtain BTO.

이때, 분리는 에이징을 행한 후, 물로 세척하고 여과하여 BTO를 얻을 수 있다. 상기 에이징은 약 1-100시간 정도 행하는 것이 바람직하다. At this time, the separation may be performed after aging, washed with water and filtered to obtain BTO. It is preferable to perform the said aging about 1-100 hours.

다음으로, 본 발명에서는 상기 BTO가 열분해 공정에서 응집되는 것을 방지하기 위하여 상기 BTO를 분쇄한다. Next, in the present invention, the BTO is pulverized in order to prevent aggregation of the BTO in the pyrolysis process.

상기 BTO의 분쇄는 열분해 이전에 행하는 것이 중요하다. It is important to grind the BTO before pyrolysis.

상기 BTO의 분쇄중 또는 분쇄후에 ABO3 [여기서, O는 산소를 나타내고, A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, B는 Ti 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, 그리고 A/B의 몰비(mole ratio)>1 임]의 구조식를 갖는 티탄산바륨계 분말이 얻어지도록 Ba와 치환될 수 있는 첨가제 그룹 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제 그룹중 1종 또는 2종이상을 첨가한다.ABO 3 during or after the pulverization of BTO, wherein O represents oxygen, A is one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, and B is one of the additives that may be substituted with Ti and Ti. 1 or 2 or more of an additive group which may be substituted with Ba, and an additive group which may be substituted with Ti, to obtain a barium titanate-based powder having a structural formula of A / B mole ratio> 1. Add species or two or more.

상기 구조식에서 Ba와 치환될 수 있는 바람직한 첨가제로는 Mg, Ca, Sr,및 Pb등을 들수 있고, 또한, Ti와 치환될 수 있는 바람직한 첨가제로는 Zr, Hf, 및 Sn등을 들수 있다.Preferred additives that may be substituted with Ba in the above structural formula include Mg, Ca, Sr, and Pb, and preferred additives that may be substituted with Ti include Zr, Hf, and Sn.

상기 Ba와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 15mol%이하로 설정하는 것이 바람직하고, 그리고 Ti와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 30mol%이하로 설정하는 것이 바람직하다.The addition amount of the additive which may be substituted with Ba is preferably set to 15 mol% or less, and the addition amount of the additive which may be substituted with Ti is preferably set to 30 mol% or less.

상기 원소들은 산화물, 탄산화물, 질화물 및 염화물의 형태로 상술한 BTO의 분쇄 과정 또는 분쇄후에 투입한다.The elements are introduced after or during the grinding of the above-mentioned BTO in the form of oxides, carbonates, nitrides and chlorides.

본 발명에서 열분해 이전의 분쇄는 어떠한 종류의 분쇄를 행하여도 무방하다. In the present invention, the pulverization before pyrolysis may be performed by any kind of pulverization.

즉, 분쇄기로는 플래너터리 밀(planetary mill), 어트리션 밀(attrition mill),볼밀(ball mill), 비드 밀(beads mill), 다이노 밀(dyno mill), 나노 밀(nano mill) 등과 같은 습식분쇄 중 하나일 수도 있고, 오토마이저(atomizer), 제트 밀(jet mill) 등과 같은 건식 분쇄 중 하나일 수도 있다. That is, the pulverizer may include a planetary mill, an attribution mill, a ball mill, a bead mill, a dyno mill, a nano mill, or the like. It may be one of wet grinding or may be one of dry grinding such as an atomizer, a jet mill, or the like.

중요한 것은 분쇄이후 BTO의 평균입경을 5㎛이하, 바람직하게는 0.1~ 3㎛의 범위가 되도록 하는 것이다.It is important to make the average particle diameter of BTO after grinding | pulverization into 5 micrometers or less, Preferably it is the range of 0.1-3 micrometers.

상기 열분해전의 분쇄는 습식분쇄에 의하여 행하는 것이 바람직하다. It is preferable to perform grinding before the thermal decomposition by wet grinding.

상기 습식분쇄는 상기 BTO의 평균입경을 약 5㎛ 이하가 되도록 하는데 가장 적합하다. The wet grinding is most suitable for bringing the average particle diameter of the BTO to about 5 μm or less.

이를 위해서는 상기 습식분쇄는 침전물에 대하여 중량비로 물을 적어도 2배 이상 첨가하여 행하는 것이 바람직하다. To this end, the wet grinding is preferably performed by adding water at least twice or more by weight to the precipitate.

BTO의 침전물이 보다 용이하게 물에 분산되도록 약간의 분산제를 투입할 수도 있는데, 이 경우에는 물의 양을 줄여도 좋다.A small amount of dispersant may be added so that the precipitate of BTO is more easily dispersed in water, in which case the amount of water may be reduced.

상기와 같이 습식 분쇄하는 경우에는 습식 분쇄된 BTO 슬러리(slurry)를 건조하는데, 건조 방법은 특별히 한정되는 것은 아니며, 통상 사용되는 방법이면 어느 방법이나 사용될 수 있다.In the case of wet grinding as described above, the wet-pulverized BTO slurry is dried, and the drying method is not particularly limited, and any method may be used as long as it is a commonly used method.

바람직한 건조방법은 스프레이 건조(spray dry)방법이다.The preferred drying method is the spray dry method.

상기 스프레이 건조방법은 통상 스프레이 건조기(spray dryer)에서 침전된 BTO 슬러리를 고속회전하는 디스크(disc)에 적하시키면서 열풍 건조하는 방식이다. The spray drying method is a method of hot air drying while dropping the BTO slurry precipitated in a spray dryer onto a disk that rotates at high speed.

상기 디스크의 바람직한 회전 속도는 약 5,000~ 20,000rpm이다.The preferred rotational speed of the disk is about 5,000-20,000 rpm.

또한, 상기 열풍 건조시 건조온도는 적어도 100℃ 이상, 바람직하게는 약 100~ 450℃로 설정하는 것이다.In addition, the drying temperature during the hot air drying is set to at least 100 ℃ or more, preferably about 100 ~ 450 ℃.

다음에, 상기와 같이 첨가제가 첨가되고 건조처리된 BTO를 하소, 즉 열분해하여 티탄산바륨계 분말을 제조한다.Next, the barium titanate-based powder is prepared by calcining, that is, thermally decomposing BTO, to which additives are added and dried as described above.

이때, 열분해시 그 가열속도를 약 0.5-10℃/min정도로 하여 약 700-1200℃정도의 온도에서 유지하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable to maintain the heating rate at a temperature of about 700-1200 ° C. at about 0.5-10 ° C./min during pyrolysis.

다음에, 열분해된 티탄산바륨계 분말을 통상의 방법으로 분쇄하여 0.3㎛이하의 초미립 티탄산바륨계 분말을 제조한다.Next, the pyrolyzed barium titanate-based powder is pulverized by a conventional method to produce ultrafine barium titanate-based powder having 0.3 µm or less.

상기 초미립 티탄산바륨계 분말로는 (BaCaX)TiO3, (Ba1-XCaX) 1+Z(Ti1-YZrY)O3, (Ba1-X-CCaXSrC)1+Z(Ti1-YZrY)O3 , (BaCaX)1+Z(Ti1-YZrY)O3[ 0< x ≤15몰%, 0≤y≤50몰%, 0<z≤15몰%, 0≤c≤15몰%] 등과 같은 복합 페로브스카이트 구조를 갖는 티탄산바륨계 분말을 들수 있다.The ultrafine barium titanate-based powder includes (BaCa X ) TiO 3 , (Ba 1-X Ca X ) 1 + Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 , (Ba 1-XC Ca X Sr C ) 1+ Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 , (BaCa X ) 1 + Z (Ti 1-Y Zr Y ) O 3 [0 <x ≤15 mol%, 0≤y≤50 mol%, 0 <z≤ 15 mol%, 0 ≦ c ≦ 15 mol%] and the like, and barium titanate-based powder having a composite perovskite structure.

이와 같이 얻어진 티탄산바륨 분말은 그 입도가 0.3㎛이하로 초미분이고, 입도가 매우 균일하고 형상(morphology)이 구형에 가깝고, 또한 분말내에 염소 이온의 내포가 적어 유전특성이 매우 양호한 특성을 나타내게 되며, 따라서, X5R, X7R(A,B 특성) 및 Y5V(F 특성) 을 만족하는 MLCC의 유전체 재료로 매우 적합하다. The barium titanate powder thus obtained has ultrafine powder with a particle size of 0.3 μm or less, a very uniform particle size, a morphology close to a spherical shape, and a low content of chlorine ions in the powder. Therefore, it is very suitable as a dielectric material of MLCC which satisfies X5R, X7R (A and B characteristics) and Y5V (F characteristics).

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.

그러나, 본 발명의 영역은 이에 한정되지 아니함은 물론이다. However, of course, the scope of the present invention is not limited thereto.

예를들어, 티탄산바륨의 첨가되는 첨가제의 종류는 얻고자 하는 유전체의 종류에 따라 간단히 변화될 수 있는 것이다.For example, the type of additive added to barium titanate may be simply changed depending on the type of dielectric to be obtained.

(실시예1)Example 1

0.5mol/ℓ농도의 TiCl4 수용액 1.6리터와 1mol/ℓ농도의 BaCl2 수용액 0.84리터와를 잘 섞어서 혼합용액을 만든후, 이를 0.5mol/ℓ농도의 옥살산 5.0리터에 옥살산 용액을 교반하면서 적하하여 첨가하였다. 1.6 liters of 0.5 mol / l TiCl 4 aqueous solution and 0.84 liters of 1 mol / l BaCl 2 aqueous solution are mixed well to make a mixed solution, and it is added dropwise to 5.0 liters of 0.5 mol / l concentration of oxalic acid with stirring. Added.

이때, 옥살산 용액의 온도는 70∼80℃이었으며, 1∼10ml/min으로 속도로 조절하여 첨가하였다. At this time, the temperature of the oxalic acid solution was 70 ~ 80 ℃, was added to adjust the rate at 1 ~ 10ml / min.

그 다음, 약 30∼60분간 반응을 유지시킨 후, 교반을 멈추고 공냉시켜 BTO 침전물을 얻은 다음, 이 BTO 침전물을 약 5시간 동안 에이징처리하였다. Then, after maintaining the reaction for about 30 to 60 minutes, stirring was stopped and air cooled to obtain a BTO precipitate, which was then aged for about 5 hours.

다음으로, 상기에서 얻어진 BTO 침전용액을 물로 세척하고 여과하여 BTO 침전물을 얻었다.Next, the BTO precipitate solution obtained above was washed with water and filtered to obtain a BTO precipitate.

상기와 같이 얻은 BTO 침전물을 그 평균입경이 0.5㎛이하가 되도록 침전물에 물을 약 5배 정도 가한 슬러리 상태에서 비드밀(beads mill)로 분쇄하고 열풍건조하였다.The BTO precipitate obtained as described above was pulverized with a bead mill in a slurry state in which about 5 times of water was added to the precipitate so that the average particle diameter thereof was 0.5 μm or less, and dried by hot air.

분쇄된 BTO분말에 CaCO3 첨가제 및 1.5배의 물을 첨가한 후, 플래너터리 밀 (planetary mill)을 이용해 혼합한 후, 건조처리한 다음, 하기 표 1과 같이 950~1050℃에서 열분해(하소) 및 분쇄처리하여 (BaCaX)TiO3 [x=1,2,5 mol% Ca]분말을 제조하였다.CaCO 3 additive and 1.5 times of water were added to the pulverized BTO powder, mixed using a planetary mill, dried, and then thermally decomposed at 950 to 1050 ° C. as shown in Table 1 below. And (BaCa X ) TiO 3 [x = 1,2,5 mol% Ca] powder was prepared by milling.

이와 같이 제조된 각각의 복합 페로브스카이트 분말의 평균입자크기를 측정하고, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다. The average particle size of each composite perovskite powder thus prepared was measured, and the results are shown in Table 1 below.

또한, 하기 표 1의 분말중 1050℃에서 하소한 분말에 대하여 SEM조직사진을 관찰하고, 그 결과를 도 3에 나타내었다.In addition, SEM micrographs of the powder calcined at 1050 ° C. in the powder of Table 1 were observed, and the results are shown in FIG. 3.

구분division 분말 조성Powder composition A/B 몰비A / B molar ratio 하소온도(℃)Calcination Temperature (℃) 평균입자사이즈(㎛)Average particle size (㎛) 종래예Conventional example BaTiO3 BaTiO 3 1.001.00 950950 0.2870.287 10001000 0.2860.286 10501050 0.3630.363 발명예 1Inventive Example 1 (BaCa0.01)TiO3 (BaCa 0.01 ) TiO 3 1.011.01 950950 0.1680.168 10001000 0.2380.238 10501050 0.2420.242 발명예 2Inventive Example 2 (BaCa0.02)TiO3 (BaCa 0.02 ) TiO 3 1.021.02 950950 0.1620.162 10001000 0.1570.157 10501050 0.2120.212 발명예 3Inventive Example 3 (BaCa0.05)TiO3 (BaCa 0.05 ) TiO 3 1.051.05 950950 0.1640.164 10001000 0.1260.126 10501050 0.2120.212

상기 표 1에 나타난 바와 같이. Ba와 치환될 수 있는 첨가제의 함량이 증가할수록 하소후 분말의 평균입자 사이즈가 감소함을 알 수 있다. As shown in Table 1 above. It can be seen that the average particle size of the powder decreases after calcination as the content of the additive which may be substituted with Ba increases.

또한, 도 3에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 제조된 분말은 그 입도분포가 균일한 초미립 분말임을 알 수 있다. In addition, as shown in Figure 3, the powder produced according to the present invention can be seen that the particle size distribution is uniform ultrafine powder.

(실시예 2)(Example 2)

분쇄된 BTO분말에 BaCO3 및 ZrO2 첨가제 및 BTO분말대비 1.5배의 물을 첨가한 후, 플래너터리 밀 (planetary mill)을 이용해 혼합한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 과정을 거쳐 Bax(Ti1-yZry)O3 [x,y=1,2,5 mol%]분말을 제조하였다.Via BaCO 3 and ZrO 2 additive, and the same procedure as in Example 1 except that a mixture with a, planetary mill (planetary mill) followed by the addition of 1.5 times the water BTO powder preparation for pulverized BTO powder Ba x ( Ti 1-y Zr y ) O 3 [x, y = 1,2,5 mol%] powder was prepared.

이와 같이 제조된 각각의 복합 페로브스카이트 분말의 평균 입자크기를 측정하고, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다. The average particle size of each composite perovskite powder thus prepared was measured, and the results are shown in Table 2 below.

또한, 하기 표 1의 분말중 1050℃에서 하소한 분말에 대하여 SEM조직사진을 관찰하고, 그 결과를 도 4에 나타내었다.In addition, SEM micrographs of the powder calcined at 1050 ° C. in the powder of Table 1 were observed, and the results are shown in FIG. 4.

구분division 분말조성  Powder composition A/B 몰비A / B molar ratio 하소온도(℃)Calcination Temperature (℃) 평균입자사이즈(㎛)Average particle size (㎛) 발명예 4Inventive Example 4 Ba1.01(Ti0.99Zr0.01)O3 Ba 1.01 (Ti 0.99 Zr 0.01 ) O 3 1.011.01 950950 0.2560.256 10001000 0.2650.265 10501050 0.3240.324 발명예 5Inventive Example 5 Ba1.02(Ti0.98Zr0.02)O3 Ba 1.02 (Ti 0.98 Zr 0.02 ) O 3 1.021.02 950950 0.2830.283 10001000 0.2130.213 10501050 0.2590.259 발명예 6Inventive Example 6 Ba1.05(Ti0.95Zr0.05)O3 Ba 1.05 (Ti 0.95 Zr 0.05 ) O 3 1.051.05 950950 0.2610.261 10001000 0.2330.233 10501050 0.2190.219

상기 표 2에 나타난 바와 같이. Ti와 치환될 수 있는 첨가제의 함량이 증가할수록 하소후 분말의 평균입자사이즈가 감소함을 알 수 있다. As shown in Table 2 above. As the content of the additive that can be substituted with Ti increases, the average particle size of the powder decreases after calcination.

또한, 도 4에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 제조된 분말은 그 입도분포가 균일한 초미립분말임을 알 수 있다. In addition, as shown in Figure 4, the powder produced in accordance with the present invention can be seen that the particle size distribution is a uniform ultra fine powder.

(실시예 3)(Example 3)

상기 실시예 1에서 제조된 각각의 1050℃ 하소 분말에 X5R 조성 첨가제를 혼합후 K2를 제작한 후, 이에 대한 제반 유전특성을 측정하고, 그 결과를 하기 표3에 나타내었다.After mixing the X5R composition additive in each 1050 ℃ calcined powder prepared in Example 1 to prepare K2, and then measured the overall dielectric properties, and the results are shown in Table 3 below.

구분division 분말조성  Powder composition A/B 몰비A / B molar ratio 유전율permittivity 유전손실(%)Dielectric loss (%) 절연저항(1012Ω)Insulation resistance (10 12 Ω) TCC(%)(85℃에서)TCC (%) (at 85 ° C) 종래예Conventional example BaTiO3 BaTiO 3 1.001.00 24202420 0.950.95 6.786.78 -9.87-9.87 발명예 1Inventive Example 1 (BaCa0.01)TiO3 (BaCa 0.01 ) TiO 3 1.011.01 23182318 0.940.94 7.597.59 -8.55-8.55 발명예 2Inventive Example 2 (BaCa0.02)TiO3 (BaCa 0.02 ) TiO 3 1.021.02 21162116 0.940.94 7.427.42 -6.44-6.44 발명예 3Inventive Example 3 (BaCa0.05)TiO3 (BaCa 0.05 ) TiO 3 1.051.05 21512151 0.930.93 7.117.11 -6.13-6.13

상기 표 3에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 A/B>1이 되도록 첨가제를 BTO에 첨가하여 제조된 분말을 사용하는 경우[발명예(1),(2) 및(3)]에는 MLCC X5R 특성이 잘 만족됨을 알 수 있다.As shown in Table 3 above, in the case of using a powder prepared by adding an additive to BTO such that A / B> 1 according to the present invention [Invention Examples (1), (2) and (3)], MLCC X5R It can be seen that the characteristics are well satisfied.

(실시예 4)(Example 4)

상기 실시예 2에서 제조된 각각의 1050℃ 하소 분말에 X5R 조성 첨가제를 혼합후 K2를 제작한 후, 이에 대한 제반 유전특성을 측정하고, 그 결과를 하기 표4에 나타내었다.After mixing the X5R composition additive in each 1050 ℃ calcined powder prepared in Example 2 to prepare K2, and then measured the overall dielectric properties, and the results are shown in Table 4 below.

구분division 분말조성   Powder composition A/B 몰비A / B molar ratio 유전율permittivity 유전손실(%)Dielectric loss (%) 절연저항(1012Ω)Insulation resistance (1012Ω) TCC(%)(85℃에서)TCC (%) (at 85 ° C) 발명예 4Inventive Example 4 Ba1.01(Ti0.99Zr0.01)O3 Ba 1.01 (Ti 0.99 Zr 0.01 ) O 3 1.011.01 24552455 0.970.97 6.546.54 -10.12-10.12 발명예 5Inventive Example 5 Ba1.02(Ti0.98Zr0.02)O3 Ba 1.02 (Ti 0.98 Zr 0.02 ) O 3 1.021.02 23242324 0.970.97 6.716.71 -10.55-10.55 발명예 6Inventive Example 6 Ba1.05(Ti0.95Zr0.05)O3 Ba 1.05 (Ti 0.95 Zr 0.05 ) O 3 1.051.05 21962196 0.950.95 6.136.13 -9.88-9.88

상기 표 4에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 A/B>1이 되도록 첨가제를 BTO에 첨가하여 제조된 분말을 사용하는 경우에는 MLCC X5R 특성이 잘 만족됨을 알 수 있다.As shown in Table 4, when using the powder prepared by adding the additive to the BTO to A / B> 1 according to the present invention it can be seen that the MLCC X5R properties are well satisfied.

상술한 바와 같이, 본 발명은 종래의 BTO 분쇄후 첨가제를 혼합하는 방법에 있어서 A/B몰비>1이 되도록 첨가제를 첨가함으로써 0.3㎛이하의 초미립이고 유전특성이 우수하여 고용량 초박층 MLCC 등의 유전재료로 매우 유용하게 사용될 수 있는 페로브스카이트 티탄산바륨계 분말을 제공할 수 있는 효과가 있는 것이다.  As described above, in the present invention, in the conventional method of mixing the additive after crushing BTO, the additive is added so that the A / B molar ratio is> 1. It is effective to provide perovskite barium titanate-based powder which can be very usefully used as a dielectric material.

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete BTO가 침전되도록 염화바륨과 염화티탄의 혼합수용액을 옥살산 수용액에 첨가하는 단계;Adding a mixed aqueous solution of barium chloride and titanium chloride to an aqueous oxalic acid solution so that BTO precipitates; 침전된 BTO를 분리하는 단계;Separating the precipitated BTO; 상기에서 분리된 BTO가 열분해 공정후에 응집되는 것을 방지하기 위하여 상기 BTO를 분쇄하는 단계;Pulverizing the BTO to prevent the separated BTO from agglomerating after the pyrolysis process; 상기 BTO의 분쇄중 또는 분쇄후에 ABO3 [여기서, O는 산소를 나타내고, A는 Ba 및 Ba와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, B는 Ti 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제중 1종 또는 2종이상이고, 그리고 A/B의 몰비(mole ratio)>1 임]의 구조식를 갖는 티탄산바륨계 분말이 얻어지도록 Ba와 치환될 수 있는 첨가제 그룹 및 Ti와 치환될 수 있는 첨가제 그룹중 1종 또는 2종이상을 첨가하는 단계;ABO 3 during or after the pulverization of BTO, wherein O represents oxygen, A is one or two or more of the additives that may be substituted with Ba and Ba, and B is one of the additives that may be substituted with Ti and Ti. 1 or 2 or more of an additive group which may be substituted with Ba, and an additive group which may be substituted with Ti, to obtain a barium titanate-based powder having a structural formula of A / B mole ratio> 1. Adding species or two or more; 티탄산바륨계 분말이 형성되도록 상기와 같이 첨가제가 첨가된 BTO를 열분해하는 단계; 및 Pyrolyzing the BTO to which the additive is added as described above to form a barium titanate-based powder; And 상기에서 형성된 티탄산바륨계 분말을 분쇄하는 단계를 포함하여 구성되는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법Method for producing ultrafine barium titanate-based powder by oxalate process comprising the step of pulverizing the barium titanate-based powder formed above 제4항에 있어서, Ba와 치환될 수 있는 첨가제는 Mg, Ca, Sr, 및 Pb로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종이상이고, 그리고 Ti와 치환될 수 있는 첨가제는 Zr, Hf, 및 Sn으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종이상인 것을 특징으로 하는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법The additive according to claim 4, wherein the additive which may be substituted with Ba is one or two or more selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, and Pb, and the additive which may be substituted with Ti is Zr, Hf, and Sn. Method for producing ultrafine barium titanate-based powder by oxalate process, characterized in that at least one selected from the group consisting of 제5항에 있어서, Ba와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 15mol%이하이고, 그리고 Ti와 치환될 수 있는 첨가제의 첨가량은 30mol%이하인 것을 특징으로 하는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법The ultrafine barium titanate-based powder obtained by the oxalate process according to claim 5, wherein the amount of the additive which may be substituted with Ba is 15 mol% or less, and the amount of the additive which may be substituted with Ti is 30 mol% or less. Manufacturing Method 제4항에서 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 침전된 BTO의 분리는 침전된 바륨티탄산옥살레이트를 에이징하고, 세척 및 여과하여 행하는 것을 특징으로 하는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법The ultrafine barium titanate system according to any one of claims 4 to 6, wherein the separation of the precipitated BTO is performed by aging, washing, and filtering the precipitated barium titanate oxalate. Preparation method of powder 제4항에서 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 열분해 전에 행하는 침전물의 분쇄는 습식 분쇄에 의하여 행하는 것을 특징으로 하는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법The method for producing ultrafine barium titanate-based powder according to any one of claims 4 to 6, wherein pulverization of the precipitate before the pyrolysis is performed by wet pulverization. 제4항에서 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 열분해 이전의 침전된 바륨티탄산옥살레이트는 그 평균입경이 0.1∼5㎛ 가 되도록 분쇄되는 것을 특징으로 하는 옥살레이트 공정에 의한 초미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법The ultrafine barium titanate according to any one of claims 4 to 6, wherein the precipitated barium titanate oxalate prior to pyrolysis is pulverized to have an average particle diameter of 0.1 to 5 탆. Manufacturing method of system powder
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