KR100558378B1 - the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck - Google Patents
the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck Download PDFInfo
- Publication number
- KR100558378B1 KR100558378B1 KR1020040112435A KR20040112435A KR100558378B1 KR 100558378 B1 KR100558378 B1 KR 100558378B1 KR 1020040112435 A KR1020040112435 A KR 1020040112435A KR 20040112435 A KR20040112435 A KR 20040112435A KR 100558378 B1 KR100558378 B1 KR 100558378B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wire
- air chuck
- metal nano
- electrode
- transfer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
- B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
- B22F9/14—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes using electric discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
- B82B3/0004—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of nanostructural devices or systems or methods for manufacturing the same
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2202/00—Treatment under specific physical conditions
- B22F2202/13—Use of plasma
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2304/00—Physical aspects of the powder
- B22F2304/05—Submicron size particles
- B22F2304/054—Particle size between 1 and 100 nm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
본 발명은 저항 발열 플라즈마를 이용하여 금속나노증기를 제조하는 장치에 관한 것으로, 공급된 와이어를 이송용 에어척으로 전극부에 이송하면, 이를 전극용에어척의 홀더가 잡은 상태에서, 홀더의 전극부에 대전류를 인가하여 금속나노증기를 연속적으로 제조하는 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing metal nano-steam by using a resistance heating plasma, and when the supplied wire is transferred to the electrode part with a transfer air chuck, the electrode part of the holder is held in a state where the holder of the electrode air chuck is held. By applying a large current to the metal nano-steam continuously.
본 발명은 크게 와이어공급부(10)와 와이어이송부(20) 및 전류인가부(30)로 구성되는 금속나노증기제조장치(40)와, 이를 제어하는 제어부(미도시)로 이루어져 있으며, 이를 대략적으로 설명하면, 와이어공급부(10)는 와이어(1)를 감은 와인더(11)와 이를 잡아주는 지지대(12) 및 구멍이 형성된 탄성체(13b)를 내부가 관통된 케이스(13a)에 다수개 형성한 와이어교정기(13)로 구성되어 있으며, 와이어이송부(20)는 한 쌍의 홀더(23)를 장착한 이송부에어척(22)이 이송실린더(21)에 의해 이동되게 구성되고, 전류인가부(30)는 ‘Y’형상의 몸체(32a)에 전극부(32b)가 고정된 한 쌍의 홀더(32)가 전극용에어척(31)에 장착된 것으로, 이는 와인더(11)에 감긴 와이어(1)가 와이어교정기(13)를 통과하여 공급되고, 이 와이어(1)를 이송용에어척(22)의 홀더(23)가 잡은 상태에서, 이송실린더(21)에 의해 전극부(32b) 사이로 와이어가 놓이도록 이송되어, 전극용에어척(31)의 홀더(32)가 이송된 와이어(1)를 잡고, 각 전극부(32b)에 대전류가 인가되면, 그 저항 발열로 금속나노증기가 제조된다.The present invention consists of a metal nano-vapor production apparatus 40 composed of a wire supply unit 10, a wire transfer unit 20 and a current applying unit 30, and a control unit (not shown) for controlling the same, and roughly this In other words, the wire supply unit 10 is formed of a plurality of winders 11 wound around the wire 1, a support 12 for holding it, and a plurality of elastic bodies 13b having holes formed in the case 13a through which the inside is passed. It is composed of a wire straightener 13, the wire feeder 20 is configured to be moved by the transfer cylinder 21, the chuck 22, the transfer unit equipped with a pair of holders 23, the current applying unit 30 ) Is a pair of holders 32 in which the electrode portions 32b are fixed to the 'Y'-shaped body 32a is mounted to the air chuck 31 for the electrode, which is a wire wound on the winder 11 ( 1) is supplied through the wire straightener 13, and the wire cylinder 1 is held by the holder 23 of the transfer air chuck 22. 21, the wires are transferred between the electrode portions 32b so as to hold the wires 1 to which the holder 32 of the electrode air chuck 31 is transferred, and a large current is applied to each of the electrode portions 32b. The metal nano-vapor is produced by the resistance heating.
이와 같이 본 발명은 상기와 같이 와이어교정기를 통해 직선형태의 와이어를 공급할 수 있으며, 전류인가부에 와이어를 공급하고, 이송용에어척의 홀더가 다시 와이어를 잡는 과정에서도, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 금속나노증기를 제조한 후에 복귀하는 전진형 이송방식으로, 어느 정도의 단면적 및 강성이 확보된 와어어에 적용될 수 있으며, 또한, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 바로 복귀한 다음 금속나노증기를 제조하는 복귀형 이송방식으로, 공급되는 와이어의 단면적 및 강성이 작아도 와이어의 끊어짐이 없으므로 금속나노증기를 연속적으로 제조할 수 있는 특징이 있다.As described above, the present invention can supply a straight wire through the wire straightener as described above, and supply the wire to the current application unit, and transfer the wire to the current application unit even when the holder of the transfer air chuck catches the wire again. In addition, it is a forward-type transfer method that returns after manufacturing metal nano vapor, and can be applied to a wire having a certain cross-sectional area and rigidity, and also transfers a wire to a current applying unit, immediately returns, and then returns to metal nano. In the return type transfer method for producing steam, even if the cross-sectional area and stiffness of the supplied wire is small, there is no breakage of the wire, so the metal nano-vapor can be continuously produced.
금속나노증기, 금속나노분말, 에어척, 홀더, 절연, 저항발열플라즈마, 금속와이어Metal Nano Vapor, Metal Nano Powder, Air Chuck, Holder, Insulation, Resistance Heating Plasma, Metal Wire
Description
도 1은 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 외관 사시도.1 is an external perspective view of a metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 사시도.Figure 2 is a perspective view of a metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 저면 사시도.Figure 3 is a bottom perspective view of the metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 결합 사시도.4 is a combined perspective view of the metal nano-vapor production apparatus according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 와인더의 사시도.5 is a perspective view of a winder according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 와이어교정기의 사시도.6 is a perspective view of a wire straightener according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 측면도.Figure 7 is a side view of the metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 일부 측면도.8 is a side view of a part of the metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 9는 본 발명에 따른 금속나노증기제조장치의 정면도.9 is a front view of the metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 10은 본 발명의 따른 금속나노증기제조장치의 일부 정면도.10 is a partial front view of the metal nano vapor production apparatus according to the present invention.
도 11은 본 발명의 따른 금속나노증기제조장치의 저면도.11 is a bottom view of the metal nano-vapor production apparatus according to the present invention.
도 12는 본 발명의 전진형 이송방식에 따른 작동순서도.12 is a flow chart according to the forward transfer method of the present invention.
도 13은 본 발명의 복귀형 이송방식에 따른 작동순서도.Figure 13 is a flow chart of the operation of the return-type transfer method of the present invention.
[ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ][Description of Code for Major Parts of Drawing]
10 : 와이어이송부 11 : 와인더 12 : 지지대10: wire transfer unit 11: winder 12: support
13 : 와이어교정기 20 : 와이어이송부 21 : 이송실린더13: wire straightener 20: wire feeder 21: transfer cylinder
22 : 이송에어척 23, 32 : 홀더 30 : 전류인가부22:
31 : 전극용에어척 40 : 금속나노증기제조장치31: air chuck for electrode 40: metal nano vapor production apparatus
본 발명은 저항 발열 플라즈마를 이용하여 금속나노증기를 제조하는 장치에 관한 것으로, 공급된 와이어를 이송용에어척으로 전극부에 이송하면, 이를 전극용에어척의 홀더가 잡은 상태에서, 홀더의 전극부에 대전류를 인가하여 금속나노증기를 연속적으로 제조하는 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing metal nano-steam by using a resistive heating plasma, and when the supplied wire is transferred to the electrode unit with a transfer air chuck, the electrode portion of the holder is held in a state where the holder of the electrode air chuck is held. By applying a large current to the metal nano-steam continuously.
일반적으로 나노 기술(Nano Technology)는 1∼100㎚의 물질을 규명·제어 ·창조하는 기술로, 특히 금속나노분말은 입자 크기가 극미세해짐에 따라 일반 분말 재료에서 발현되지 않았던 특이한 기계적·물리적 특성이 나타나고, 그 나노금속분말 입자가 가지는 고유특성에 의해 잠재적인 기능성이 풍부하여 새로운 기능 재료로써, 고온구조재료, 공구재료, 전기전자기재료, 필터 및 센서 등에의 응용이 기대되고, 재료뿐만 아니라 산업전반에 걸쳐 새로운 기술 및 신 산업 수요를 창출 할 것으로 예상되어, 나노분말에 관한 기술개발은 선진 각국에서 치열하게 진행되고 있다. In general, Nano Technology is a technology for identifying, controlling, and creating materials with a thickness of 1 to 100 nm. In particular, metal nano powders have unusual mechanical and physical properties that are not expressed in general powder materials as the particle size becomes very small. The potential characteristics of the nanometal powder particles are abundant, and as a new functional material, it is expected to be applied to high-temperature structural materials, tool materials, electric and electronic materials, filters, sensors, and the like. As it is expected to generate new technology and new industrial demand throughout, the development of technology for nano powder is intensifying in developed countries.
통상 알려진 금속나노분말 제조기술로는, 화학 반응을 이용하여 나노 분말을 합성하는 화학적 방법과 증발응축법(evaporation condensation method), 플라즈마 가열, CO2 레이저법, 기계적합금합법(mechanical alloy), 전기폭발법 등과 같은 물리적 방법으로 나눠진다.Commonly known metal nano powder manufacturing techniques include chemical methods for synthesizing nanopowders using chemical reactions, evaporation condensation methods, plasma heating, CO 2 laser methods, mechanical alloys, and electroexplosion. It is divided into physical methods such as law.
특히, 상기 저항발열플라즈마를 이용하는 전기폭발법(pulsed wire evaporation method, electric explosion of wire)은 펄스파워를 이용하여 커패시터(capacitor)에 충전된 고전압, 대전류를 금속도선에 순간적으로 방전함으로써, 저항 발열에 의해 금속와이어를 증발(기화)·응축시켜 분말을 제조하는 방법으로, Al, Cu, Au, In, Fe, Mo, Ni, Pd, Pt, Ag, Sn, Ti, W, Zr 등과 같이 와이어 제조가 가능한 모든 금속을 나노 분말화 할 수 있으며, 폭발 챔버 안을 산소 또는 질소 분위기로 하여 쉽게 산화물 또는 질화물을 제조 할 수 있고, 합금 도선을 이용하여 조성의 변화가 없는 합금나노분말을 제조할 수 있으며, 분말의 크기를 5∼150㎚ 사이에서 조절 할 수 있고, 시간당 5㎾의 적은 에너지 소비와 제조 분말 외에 부산물이 전혀 없는 친화적이고 고효율의 공정으로 다른 합성법에 비해 응용가능성 측면에서 높은 기술로 인식되고 있다.Particularly, the pulsed wire evaporation method (electric explosion of wire) using the resistance heating plasma discharges a high voltage and a large current charged in a capacitor (capacitor) instantaneously to the metal wire by using pulse power, thereby preventing the resistance heating. Is a method of evaporating (vaporizing) and condensing a metal wire to produce a powder, and wire manufacturing such as Al, Cu, Au, In, Fe, Mo, Ni, Pd, Pt, Ag, Sn, Ti, W, Zr, etc. All possible metals can be nanopowdered, oxides or nitrides can be easily prepared by using oxygen or nitrogen atmosphere in the explosion chamber, and alloy nanopowders with no change in composition can be prepared by using alloy wires. Size can be controlled between 5 ~ 150nm, and it has less energy consumption of 5㎾ / hour and there is no by-product besides manufacturing powder. It is recognized in the functional aspects with high technology.
이와 관련한 국내등록특허공보 제407160호에 개시된 내용을 살펴보면, 이는 상기 전기폭발법에서 금속와이어를 공급하는데 있어서, 금속와이어의 공급부의 모터가 특정 속도로 공급이 되면, 그 모터에 연결되어 있는 한 쌍의 롤러가 회전하면서 휠에 감긴 금속와이어를 공급하고, 이 금속와이어는 강성을 낮춰주는 변형부를 통과하여 전극부로 이송되어 나노금속분말이 제조될 수 있도록 한 것이다.Looking at the contents disclosed in the related Korean Patent Publication No. 407160, it is a supply of metal wire in the electric explosion method, when the motor of the supply portion of the metal wire is supplied at a specific speed, a pair connected to the motor The roller is rotated to supply the metal wire wound on the wheel, and the metal wire is transferred to the electrode part through the deformation part that lowers the rigidity so that the nano metal powder can be manufactured.
그러나, 이는 롤러를 이용하여 금속와이어를 공급함에 따라, 비교적 굵은 와이어(직경 0.3㎜ 이상)를 공급할 경우, 금속와이어의 종류와 그 열처리 특성에 의해 특정 방향으로 휘거나 전극부와의 거리가 일정하게 유지되는 못하여, 제조되는 금속나노분말의 입도 분포가 넓어지고, 더욱이, 전극부와의 임계거리를 초과함으로써 전류가 인가되지 않거나, 또, 장시간 금속나노분말을 제조할 경우 음극(cathode)부에 납땜된 분말이나 금속와이어 조각들이, 금속와이어의 공급 방해를 초래하여 금속와이어가 이탈됨에 따라 제조 공정이 정지하게 되는 문제점이 있었다.However, this is because when supplying a metal wire using a roller, when supplying a relatively thick wire (0.3 mm or more in diameter), it is bent in a specific direction or the distance from the electrode portion is constant due to the type of metal wire and its heat treatment characteristics Since the particle size distribution of the metal nanopowder to be manufactured is not maintained, the particle size distribution of the metal nanopowder to be manufactured is widened. Furthermore, when the current is not applied by exceeding the critical distance from the electrode portion, or when the metal nanopowder is manufactured for a long time, the cathode is soldered. There was a problem that the powder or metal wire pieces cause the supply of metal wires to be interrupted and the manufacturing process is stopped as the metal wires are separated.
또한, 일반적으로 높은 전압(3∼30㎸)과 과도한 에너지(500J 이상)가 요구되므로, 1시간 이상의 장시간 작동 시, 제조된 금속나노분말이 제조장치의 전극, 피딩장치, 노즐 등에 흡착되어 절연이 파괴되고, 과도한 에너지가 챔버 내부에 축적되어 절연부품의 절연 내력이 저하되어 전류가 누설되어 전기부품이 고장나며, 그 상태가 심하면 절연 부품이 녹은 불순물이 금속나노분말의 순도가 급속히 저하되는 문제점이 있었다.In addition, since high voltage (3-30 kV) and excessive energy (500 J or more) are generally required, the metal nanopowder produced is adsorbed to electrodes, feeding devices, nozzles, etc. of the manufacturing apparatus during long hours of operation for more than one hour. Destruction, excessive energy accumulates inside the chamber, and the dielectric strength of the insulating parts is reduced, current leaks, and electrical parts are broken. If the condition is severe, impurities in which the insulating parts are melted rapidly degrade the purity of the metal nanopowder. there was.
그리고 상기 공지된 발명에 비교적 가는 금속와이어(직경 3㎜ 이하)을 롤러를 이용하여 공급할 경우, 롤러 홈을 지나면서 이탈되기도 하고, 금속와이어의 강성으로 특정방향으로 휨으로써 전극부에 도달하지 못하는 문제가 종종 발생하며, 그 굵기가 가늘어, 금속와이어를 밀어내어 꼬아주는 방식의 변형부를 통과하지 못하는 경우가 빈번히 발생하는 문제점이 내포되어 있어, 재현성과 내구성 및 대량 생산이 요구되는 산업용 금속나노분말 제조 장치로는 한계가 있었다.In the case of supplying a relatively thin metal wire (diameter 3 mm or less) by using a roller, the roller may be separated through the roller groove and may not reach the electrode part by bending in a specific direction due to the rigidity of the metal wire. Often occurs, and the thickness thereof is thin, so that the case of often failing to pass through the deformable part of the metal wire is twisted and twisted, so that a problem occurs frequently, and the industrial metal nanopowder manufacturing apparatus requiring reproducibility, durability, and mass production is required. There was a limit.
더욱이, 기존에 제조되는 금속나노분말은, 제조된 후에 그 구조가 활성화되어 있으므로, 금속나노분말의 제조, 보관 운반 및 응용까지 복잡한 경로를 거치면서 발생하는 금속나노분말의 응집 및 순도와 같은 품질의 저하 및 부대비용의 증가되는 문제점이 있었다.Furthermore, since the structure of the metal nanopowders manufactured beforehand is activated after their manufacture, the metal nanopowders of the same quality as the agglomeration and purity of the metal nanopowders generated through the complicated route from the production, the storage transportation and the application of the metal nanopowders are produced. There was a problem of deterioration and increased cost.
따라서 본 발명은 상기의 문제를 해결하고자, 와이어를 감은 와인더와 이를 잡아주는 지지대 및 관통된 구멍이 형성된 디스크 형상의 탄성체를 내부가 관통된 케이스에 다수개 형성한 와이어교정기로 구성되는 와이어공급부와, 한 쌍의 홀더를 장착한 이송부에어척이 이송실린더에 의해 이동되는 와이어이송부와, ‘Y’형상의 몸체에 전극부를 고정한 한 쌍의 홀더가 전극용에어척에 장착된 전류인가부로 구성되는 금속나노증기제조장치 및 이를 제어하는 제어부가 구비되어, 와이어공급부에서 공급된 와이어가 와이어이송부에 의해 전류인가부로 이송되면, 상기 전극부에서 대전류를 인가 받아 금속나노증기를 연속적으로 제조할 수 있으므로, 소형으로 제작되어, 이동성이 용이한 금속나노증기장치 및 제어부를 공급함으로써, 금속나노분말의 제조됨과 동시에 사용할 수 있고, 순도가 높은 고품질의 금속나노분말을 제공하는데 그 목적이 있다.
Therefore, the present invention to solve the above problems, the wire winding unit consisting of a wire winder, a support for holding it and a wire straightener formed with a plurality of disc-shaped elastic body formed in the case through which a penetrating hole is formed; The metal is composed of a wire transfer part in which a chuck is moved by a transfer cylinder to a transfer part equipped with a pair of holders, and a current applying part mounted on the air chuck for electrodes by a pair of holders fixing the electrode part to a 'Y'-shaped body. Nano steam production apparatus and a control unit for controlling the same is provided, when the wire supplied from the wire supply unit is transferred to the current applying unit by the wire transfer unit, a large current is applied from the electrode unit can continuously manufacture the metal nano vapor, small The metal nano powder is manufactured by supplying a metal nano vapor device and a control unit which are easily manufactured. And at the same time it can be used, there is provided a high-quality metal nano powder with high purity.
또한, 와이어교정기를 통해 직선형태의 와이어를 공급할 수 있으며, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 금속나노증기를 제조한 후에 복귀하는 전진형 이송방식으로, 어느 정도의 단면적 및 강성이 확보된 와어어에 적용될 수 있으며, 또, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 바로 복귀한 다음 금속나노증기를 제조하는 복귀형 이송방식으로, 공급되는 와이어의 단면적 및 강성이 작아도 와이어의 끊어짐이 없이, 금속나노증기를 연속적으로 제조할 수 있는데 또 다른 목적이 있다.
In addition, the wire can be supplied in a straight line through a wire straightener, and the wire is transferred to the current applying portion, and the forward transfer method to return after the production of metal nano-vapor, a wire having a certain cross-sectional area and rigidity It can be applied to, and in the return-type transfer method to transfer the wire to the current application unit, and immediately return to manufacture the metal nano-vapor, even if the cross-sectional area and rigidity of the supplied wire is small, without breaking the wire, metal nano-vapor It is another object to prepare continuously.
본 발명은 저항 발열 플라즈마를 이용하여 금속나노증기를 제조하는 시스템에 관한 것으로, 공급된 와이어를 이송용에어척으로 전극부에 이송하면, 이를 전극용에어척의 홀더가 잡은 상태에서, 홀더의 전극부에 대전류를 인가하여 금속나노증기를 연속적으로 제조하는 것이다. The present invention relates to a system for manufacturing metal nano-steam using a resistive heating plasma. When the supplied wire is transferred to an electrode part by a transfer air chuck, the electrode part of the holder is held in a state where the holder of the electrode air chuck is held. By applying a large current to the metal nano-steam continuously.
본 발명은 크게 와이어공급부(10)와 와이어이송부(20) 및 전류인가부(30)로 구성되는 금속나노증기제조장치(40)와, 이를 제어하는 제어부(미도시)로 이루어져 있으며, 이를 대략적으로 설명하면, 와이어공급부(10)는 와이어(1)를 감은 와인더(11)와 이를 잡아주는 지지대(12) 및 구멍이 형성된 탄성체(13b)를 내부가 관통된 케이스(13a)에 다수개 형성한 와이어교정기(13)로 구성되어 있으며, 와이어이송부(20)는 한 쌍의 홀더(23)를 장착한 이송부에어척(22)이 이송실린더(21)에 의해 이동되게 구성되고, 전류인가부(30)는 ‘Y’형상의 몸체(32a)에 전극부(32b)가 고정된 한 쌍의 홀더(32)가 전극용에어척(31)에 장착된 것으로, 이는 와인더(11)에 감긴 와이어(1)가 와이어교정기(13)를 통과하여 공급되고, 이 와이어(1)를 이송용에어척(22)의 홀더(23)가 잡은 상태에서, 이송실린더(21)에 의해 전극부(32b) 사이로 와이어가 놓이도록 이송되어, 전극용에어척(31)의 홀더(32)가 이송된 와이어(1)를 잡고, 각 전극부(32b)에 대전류가 인가되면, 그 저항 발열로 금속나노증기가 제조된다.The present invention consists of a metal nano-
본 발명의 세부적인 구성을 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명하되, 먼저 와이어공급부(10)를 설명하면, 이는 와인더(11)와 지지대(12) 및 와이어교정기(13)로 구성되어 와이어(1)를 공급하는 것으로, 와인더(11)는 내부가 관통된 원통형 형상으로, 도5에 도시된 바와 같이, 와이어(1)가 감긴 측면으로 빠지지 않도록 양단으로는 단턱부(11a)를 형성하고 있으며, 이는 관통된 내부로 구속력 없이 통과하는 축(11b)을 형성하고, 이 축(11b) 양단에 베어링(11c) 및 이를 감싸는 하우징(11d)을 형성하여, 이 하우징(11d)을 와인더(11)를 지지하는 지지대(12)에 고정함으로써, 와이어(1)가 풀어짐에 따라, 와인더(11)가 마찰 없이 회전하도록 하여, 와이어(1)를 풀어내는 힘을 최소화 한다.Detailed configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, the
또한, 와이어교정기(13)는, 도6에 도시된 바와 같이, 케이스(13a) 및 메인노즐(13c)과 다수개의 탄성체(13b) 및 양단커버(13d)로 구성되어 있되, 케이스(13a)는 내부가 관통된 원통형이고, 메인노즐(13c)은 내부가 관통된 원통형으로, 길이 방향을 따라 각가 두 개로 분리되며, 탄성체(13b)는 탄성이 있는 디스크 형상으로, 그 중앙에 와이어의 직경보다 작게 관통된 구멍을 형성하고, 양단커버(13d)는 메인노즐(13c)의 양단에서 탄성체(13b)를 고정하는 것으로, 이는 메인노즐(13c)의 양단에 탄성체를 양단커버(13d)로 고정하고, 이를 상기 케이스(13a)에 끼운 와이어교정기(13)를 구성한다.In addition, as shown in FIG. 6, the
이와 같이 형성한 와이어교정기(13)에 와이어를 통과시키는 방법을 살펴보면, 먼저, 와이어(1)에 탄성체(13b)를 끼우고, 메인노즐(13c)을 펼쳐 그 내부로 와이어를 삽입하며, 이 메인노즐(13c)을 다시 겹치고, 그 양단에 탄성체(13b) 및 양단커버(13d)를 고정하며, 이를 케이스(13a)에 삽입하는 방법으로 와이어교정기(13)에 와이어(1)를 통과시킬 수 있으며, 와이어(1)가 와이어교정기(13)를 연속적으로 통과함에 따라, 와인더(11)에 감겨 변형된 와이어(1)를 바로 잡아 직선 형태로 공 급할 수 있으며, 공급되는 와이어(1)의 강성 및 직경에 따라 탄성체(13b)의 갯수 및 탄성체(13b)의 두께, 탄성체(13b)에 형성된 구멍의 직경 및 크기를 조절하여 변형이 없는 와이어(1)를 공급하도록 한다. Referring to the method of passing the wire through the
한편, 상기 공급되는 와이어(1)는 금(Au), 은(Ag), 리튬(Li), 알루미늄(Al), 티탄(Ti), 바나듐(V), 철(Fe), 니켈(Ni), 구리(Cu), 아연(Zn), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 주석(Sn), 탄탈(Ta), 텅스텐( W), 백금(Pt), 납(Pb) 등과 같이 와이어(1) 제조가 가능한 모든 금속류는 모두 가능하며, 그 공급되는 형태는 그 단면이 원형인 선, 또는 그 단면이 사각형인 박지로 공급할 수 있는데, 그 단면이 원형일 경우에는 그 직경이 0.01㎜ 내지 0.3㎜ 의 범위가 되도록 하며, 그 단면이 사각형일 경우에는 그 단면적이 7.8×10-6 ㎟ 내지 7×10-2 ㎟ 의 범위가 되도록 한다.On the other hand, the supplied
다음으로, 와이어이송부(20)를 살펴보면, 이는 도3에 도시된 바와 같이, 이송실린더(21)와 이송용에어척부(22) 및 한 쌍의 홀더(23)로 이루어져 있으며, 이송실린더(21)는 내부가 빈 원통형에 피스톤(미도시)과 이에 연결된 로드(21a)가 유체를 공급받아 직선 운동을 하는 것이며, 상기 피스톤에는 마그네틱링(미도시)을 장착하고, 이송실린더(21)의 외부에는 마그네틱센서(21b, 오토센서, 리드센서)가 장착되어, 행정 위치를 파악하여 공정 과정을 제어하며, 이송용에어척(22)은 한 쌍의 핑거(22a)가 가이드레일(미도시)을 따라 이동하면서 물체를 잡거나(hold) 놓을(release) 수 있는 것이다.Next, looking at the
또한, 홀더(23)는 몸체(23a)와 다리(23b)로 구성되되, 몸체(23a)는 절연 재료로 형성한 직육면체 형상으로, 각각 한 쌍의 핑거(22a)에 고정되며, 다리(23b)는 길이 방향으로 긴 직육면체 형상으로 형성되어 상기 몸체(23a)에 고정되는데, 이는 내구성 및 내마모성이 좋은 재료를 쓰며, 와이어(1)가 직접 접촉되는 면은 ±10㎛의 평활도를 갖도록 하여, 가늘고 미세한 와이어(1)를 용이하게 잡아 이송할 수 있고, 이와 같이 와이어이송부(20)는 이송용에어척(22)에 의해 홀더(23)가 와이어(1)를 잡게 되면, 이송실린더(21)에 의해 이송에어척(22)을 이동하여 와이어(1)를 이송한다.In addition, the
마지막으로, 전류인가부(30)를 살펴보면, 이는 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 전극용에어척(31)과 각각 한 쌍의 홀더(32)로 이루어져 있으며, 전극용에어척(31)은 한 쌍의 핑거(31a)가 가이드레일(미도시)을 따라 이동하면서 물체를 잡거나(hold) 놓을(release) 수 있는 것이고, 홀더(32)는 몸체(32a)와 전극부(32b)로 구성되되, 몸체(32a)는 절연내력이 큰 재료로 ‘Y’자 형상을 형성한 것이며, 전극부(32b)는 전기 접점 재료 또는 내산화성이 우수한 것으로, 전극부(32b)를 고정한 몸체(32a)가 상기 전극용에어척(31)의 핑거(31a)에 고정되되, 전극부(32b)는 오직 몸체(32a)에만 연결되어 핑거(31a) 및 기타 부분과는 접촉되지 않게 한다.Finally, looking at the current applying
또한, 상기 전극부(32b)는 대전류를 인가 받아 각각 양극(anode)과 음극(cathode)이 형성되는데, 이 사이의 거리는 30 내지 150㎜의 범위 내에서 형성하도도록 하며, 와이어(1)가 직접 접촉되는 전극부(32b)는 그 방향으로 서로 볼록하게 튀어나온 유선형 형성하여 납땜을 방지하며, 이와 같이 형성한 전류인가부(30)는 홀더(32) 내에 와이어(1)가 이송되면, 홀더(32)의 전극부(32b)가 이를 잡고, 대전류를 인가받아 금속나노증기를 제조한다.In addition, the
이와 같이 형성된 와이어공급부(10)와 와이어이송부(20), 전류인가부(30)는 금속나노증기제조장치(40)를 구성하며, 이는 도11에 도시된 바와 같이, 와이어교정기(13)에서 와이어(1)가 방출되는 부분에 이송용에어척(22)의 다리(23b)가 위치되어, 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 다리(23b)가 잡고, 이송실린더(21)에 의해 이송용에어척(22)이 이송됨에 따라 와이어(1)가 이송되며, 전극용에어척(31)의 홀더(32)가 이송된 와이어(1)를 잡고, 전극부(32b)에 대전류를 인가 받아 금속나노증기가 제조되는 대략적인 구성을 가진다. The
한편, 상기 이송용에어척(22) 및 전극용에어척(31)을 설명하면, 이는 실린더가 구성되어, 이에 압축공기가 공급됨에 따라, 내부에 피스톤과 일체로된 로드가 이동하여 ‘L’자 형상의 한 쌍의 레버에 작용력을 전달하고, 레버의 중심이 회전하면서 가이드레일에 연결된 각각 한 쌍의 핑거에 전달되어, 핑거가 가이드레일을 따라 움직임에 따라, 핑거가 서로 좁혀지면서 물체를 잡고(hold), 이들이 서로 멀어지면서 물체를 놓는(release) 것으로, 로드의 출입구 부분 및 핑거의 틈새 부분는 방진고무로 밀봉되어, 제조된 금속나노증기의 유입을 방지한다. On the other hand, when describing the
그리고 상기 각 구성품이 가지는 재료 및 그 특징을 살펴보면, 먼저, 와이어교정기(13)의 내부에 형성되는 탄성체(13b)는 탄성이 있는 실리콘으로 제작하며, 와이어교정기(13)의 케이스(13a)와, 이송용에어척(22)에 부착되는 몸체(23a), 및 전극용에어척(31)에 부착되는 몸체(32a)는 절연성, 내마모성, 내구성이 우수한 합성수지재로 형성되며, 그 예로, 가벼우면서 절연내력(절연내압)이 3㎸ 이상으로 우수하고, 변형 및 비틀림이 적은 베이클라이트(bakelite) 및 테플론(teflon, 불소수지)가 있으며, 또는, 엔지니어링플라스틱의 한 종류로 내구성, 내산화성 내화학성 등이 우수한 피오엠(POM, polyoxymethlene) 등이 있다.And looking at the material and its characteristics of each component, first, the
또한, 상기 이송용에어척(22)에 고정되는 홀더(23)의 다리(23b)는 내마모성이 좋은 소재, 즉, 구조용합금강의 한 종류인 SCM4, 기계구조용합금강의 한 종류인 SM45C, 니켈(Ni 8∼10.5wt%) 및 구리(Cu 18∼20wt%)가 포함된 스테인레스스틸로 뛰어난 내식성을 가지는 STS304 등을 사용하며, 전극용에어척(31)에 고정되는 홀더(32)의 전극부(32b)는, 높은 아크 저항과 우수한 내마모 특성을 가지는 초고압 접점재료인 W-Cu 분말 합금을 사용하여 납땜을 최소화하고, 또는, 내산화성이 우수한 STS304, STS420J1, STS420J1 등을 사용한다.In addition, the
이와 같이 형성한 각 와이어공급부(10), 와이어이송부(20), 전류인가부(30)는 효율적으로 배치한 금속나노증기제조장치(40)를 구성할 수 있는데, 이는 도2 내지 도4에 도시된 바와 같이, 먼저 알루미늄 또는 합성수지재의 베이스(41)를 구성하여, 이 베이스(41)의 상부로는 지지대(12)를 고정하여 와인더(11)를 설치하고, 이송실린더(21)를 일정부분 상부로 띄워 고정하며, 와인더(11)의 하부측에는 와이어교정기(13)를 수용하는 블록(44)을 베이스(41)에 안착·고정하여, 와이어교정기(13)를 블록(44)에 고정한다.Each of the
그리고 이송실린더(21)의 로드(21a)에는 플로팅조인트(21c)를 연결하여, 베이스(41)를 관통하여 이동되게 하며, 베이스(41)의 하부로 판형태의 브라켓(24)을 형성하여, 그 상부에 플로팅조인트(21c) 및 다수개의 가이드봉(25)을 고정하고, 고정된 가이드봉(25)의 위치에 따라 베이스(41)에 리니어부싱(26)을 고정하여, 이송용실린더(21)의 작동으로, 브라켓(24) 및 가이드봉(25)이 리니어부싱(26)을 따라 작은 마찰로 이동되도록 하며, 브라켓(24)의 하부에는 홀더(23)를 장착한 이송용에어척(22)를 안착·고정하고, 베이스(41)의 하부에는 홀더(32)를 장착한 전극용에어척(31)을 적절한 위치에 안착·고정한다.Then, the floating joint 21c is connected to the
또한, 상기와 같이 형성된 베이스(41)는, 도1과 도7 및 도9에 도시된 바와 같이, 그 하부측으로 챔버(42)를 형성하되, 챔버(42)의 가장자리가 밀착되는 베이 스(41)의 둘레로는 패킹(45)을 다수개 설치하여 그 내부가 긴밀히 유지되게 형성하고, 이 베이스(41) 상부로는 커버(43)를 씌우며, 이들 챔버(42) 및 커버(43)에는 적정 위치에 통공한 연결부(42a)를 다수개 형성하여, 제조된 금속나노증기를 수거하거나, 또는, 이에 진공펌프(미도시)를 연결하여 챔버(42) 내부를 진공상태로 형성하여, 고순도의 금속나노증기를 제조할 수 있으며, 또, 송풍기(미도시)를 연결하여 냉각을 위한 송풍이나, 제조된 금속나노증기를 외부로 이송할수 있으며, 이와 같이 형성한 금속나노증기제조장치(40)는 컴팩트한 배치로 소형으로 제작될 수 있고, 각 구성품의 분리가 용이한 특징이 있다.In addition, the base 41 formed as described above, as shown in Figs. 1, 7 and 9, while forming the
한편. 상기 로드(21a)에 연결된 플로팅조인트(21c)는 이송실린더(21)에서 발생하는 무게중심의 변화 및 진동으로 인한 로드(21a)의 편심, 운동축오차 및 평행도의 정도부족을 흡수하며, 이송실린더(21)에 로드(21a) 출입구 및 플로팅조인트(21c)는 방진고무(미도시)가 부착되어, 제조된 금속나노증기의 유입을 방지한다.Meanwhile. The floating joint 21c connected to the
다음으로, 상기 금속나노증기제조장치(40)를 제어하는 제어부(미도시) 살펴보면, 이는 충전회로를 구성하여 충전한 전류를 방전하여 전극부(32b)에 대전류를 인가하고, 다시 일정시간 내로 충전하는 전극제어부(미도시)와, 이송송실린더(21)와 이송용에어척(22) 및 전극용에어척(31)의 제어와 그 외, 진공펌프 및 송풍기 등을 제어하는 공압제어부(미도시)를 따로 분리하고, 각 제어부에 대한 전원 장치를 독립적으로 구성하여, 금속나노증기 제조 시 발생되는 충격전류(shock current)에 의해, 전극제어부에 형성되는 회로기판의 수명 감소 및 고장을 방지한다.Next, looking at the control unit (not shown) for controlling the metal nano-
이와 같이 금속나노증기제조장치(40) 및 이를 제어하는 제어부로 구성되는 금속나노증기 제조 시스템은 작동 순서에 따라 연속 제조가 가능하며, 이는 공급되는 와이어(1)의 강성에 따라 전진형 이송방식과 복귀형 이송 방식이 있으며, 이를 설명하면 다음과 같다.As described above, the metal nano vapor production system including the metal nano
먼저, 도8과 도10 및 도12를 참고하여 전진형 이송 방식을 설명하면, 이는 전극용에어척(31)의 홀더(23)가 벌어지는(release) 전극용에어척 릴리스(G1), 이송용에어척(22)이 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 잡고(hold) 이송실린더(21)에 의해 이송되는 이송용에어척 홀드/이송(G2), 전극용에어척(31)이 이송된 와이어(1)를 잡는 전극용에어척 홀드(G3), 전극부(32b)에 대전류가 인가되어 금속나노증기가 제조되는 전류인가 및 나노증기 제조(G4), 전극용에어척(31)의 홀더(23)가 다시 벌어지는 전극용에어척 릴리스(G5), 이송실린더(21)에 의해 이송용에어척(22)이 복귀하여, 이송용에어척(22)의 홀더(32)가 벌어지는 이송용에어척 복귀/릴리스(G6)의 과정으로 첫번째 사이클이 완성되며, 이는 다시 이송용에어척(22)이 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 잡고 이송하는 이송용에어척 홀드/이송(G2)과정에서부터 상기 과정을 반복하면서 금속나노증기를 연속적으로 제조하게 된다.First, referring to FIGS. 8, 10 and 12, the forward transfer method will be described. This means that the
다음으로 도8과 도10 및 도13를 참고하여 복귀형 이송 방식을 설명하면, 이 는 먼저, 전극용에어척(31)의 홀더(32)가 벌어지는(release) 전극용에어척 릴리스(S1), 이송용에어척(22)이 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 잡고(hold), 이송실린더(21)에 의해 이송되는 이송용에어척 홀드/이송(S2), 이송용에어척(22)의 홀더(32)가 다시 벌어지고, 이송실린더(21)에 의해 다시 복귀되는 이송용에어척 릴리스/복귀(S3), 복귀된 이송용에어척(22)이 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 다시 잡는 이송용에어척 홀드(S4), 전극용에어척(31)의 홀더(23)가 이송된 와이어(1)를 잡는 전극용에어척 홀드(S5), 전극부(32b)에 대전류가 인가되어 금속나노증기가 제조되는 전류인가 및 나노증기 제조(S6), 전극용에어척(31)이 다시 벌어지는 전극용에어척 릴리스(S7)의 과정으로 첫 번째 사이클이 완성되며, 다시 와이어(1)를 잡고 있는 이송용에어척(22)이 이송되는 이송용에어척 이송(S8), 이송실린더(21)에 의해 다시 복귀되는 이송용에어척 릴리스/복귀(S3)과정으로부터, 상기 과정을 반복하면서 금속나노증기를 연속적으로 제조한다.Next, a return transfer method will be described with reference to FIGS. 8, 10, and 13. First, the air chuck release (S1) for an electrode in which the
따라서, 전진형 이송 방식은 와이어(1)의 직경 및 단면적이 다속 크거나 와이어(1)의 강성이 큰 경우에 적용될 수 있으며, 공급되는 와이어(1)의 단면적 및 강성이 작은 경우에 전극부(32b)에 의해 금속나노증기가 제조되기 전에, 미리 이송용에어척(22)이 복귀하여 와이어교정기(13)를 통과한 와이어(1)를 잡고 있어, 와이어(1)의 끊어짐을 방지한 복귀형 이송 방식을 이용하게 되는데, 제공되는 와이어(1)의 강성에 따라 이송 방식을 선택하고, 그에 대한 정보를 제어부에 입력하여 금속나노증기제조장치(40)를 작동하는 금속나노증기 제조 시스템을 구현하여, 연속적 이 금속나노증기를 제조할 수 있다.Therefore, the forward transfer method can be applied to the case where the diameter and cross-sectional area of the
이와 같이 본 발명은 와이어를 감은 와인더와 이를 잡아주는 지지대 및 관통된 구멍이 형성된 디스크 형상의 탄성체를 내부가 관통된 케이스에 다수개 형성한 와이어교정기로 구성되는 와이어공급부와, 한 쌍의 홀더를 장착한 이송부에어척이 이송실린더에 의해 이동되는 와이어이송부와, ‘Y’형상의 몸체에 전극부를 고정한 한 쌍의 홀더가 전극용에어척에 장착된 전류인가부로 구성되는 금속나노증기제조장치 및 이를 제어하는 제어부가 구비되어, 와이어공급부에서 공급된 와이어가 와이어이송부에 의해 전류인가부로 이송되면, 상기 전극부에서 대전류를 인가 받아 금속나노증기를 연속적으로 제조할 수 있으므로, 소형으로 제작되어, 이동성이 용이한 금속나노증기장치 및 제어부를 공급함으로써, 금속나노증기의 제조됨과 동시에 사용할 수 있고, 순도가 높은 고품질의 금속나노증기를 제공할 수 있다.
As described above, the present invention provides a pair of holders and a wire supply unit including a winder wound around a wire, a support holding the wires, and a wire straightener formed with a plurality of disc-shaped elastic bodies formed therein, through which a penetrating hole is formed. Metal nano-vapor production apparatus consisting of a wire transfer unit in which the chuck is moved by the transfer cylinder, and a pair of holders fixing the electrode unit to the 'Y'-shaped body, and a current applying unit mounted on the air chuck for the electrode, and the same. A control unit for controlling is provided, and when the wire supplied from the wire supply unit is transferred to the current applying unit by the wire transfer unit, a large current is applied from the electrode unit so that the metal nano vapor can be continuously manufactured. By supplying an easy metal nano vapor device and a control unit, the metal nano vapor can be manufactured and used at the same time In addition, it is possible to provide a high quality metal nano vapor with high purity.
또한, 와이어교정기를 통해 직선형태의 와이어를 공급할 수 있으며, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 금속나노증기를 제조한 후에 복귀하는 전진형 이송방식으로, 어느 정도의 단면적 및 강성이 확보된 와어어에 적용될 수 있으며, 또, 전류인가부에 와이어를 이송하고, 바로 복귀한 다음 금속나노증기를 제조하는 복귀형 이송 방식으로, 공급되는 와이어의 단면적 및 강성이 작아도 와이어의 끊어짐이 없이, 금속나노증기를 연속적으로 제조할 수 있으므로, 공급되는 와이어의 단면적 및 강성에 구애없이 금속나노증기를 제조할 수 있는 효과가 있다.In addition, the wire can be supplied in a straight line through a wire straightener, and the wire is transferred to the current applying portion, and the forward transfer method to return after the production of metal nano-vapor, a wire having a certain cross-sectional area and rigidity It can be applied to, and in the return-type transfer method for transferring the wire to the current application unit, and immediately return to manufacture the metal nano-vapor, even if the cross-sectional area and rigidity of the supplied wire is small, without breaking the wire, metal nano-vapor Since it can be continuously produced, there is an effect that can be produced metal nano-vapor regardless of the cross-sectional area and rigidity of the wire to be supplied.
Claims (13)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040112435A KR100558378B1 (en) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck |
PCT/KR2005/001655 WO2006068354A1 (en) | 2004-12-24 | 2005-06-02 | System for manufacturing metal nano vapor using air chuck |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040112435A KR100558378B1 (en) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050009969A KR20050009969A (en) | 2005-01-26 |
KR100558378B1 true KR100558378B1 (en) | 2006-03-10 |
Family
ID=36601919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040112435A KR100558378B1 (en) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100558378B1 (en) |
WO (1) | WO2006068354A1 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8735178B2 (en) | 2006-03-27 | 2014-05-27 | University Of Kentucky Research Foundation | Withanolides, probes and binding targets and methods of use thereof |
US9895730B2 (en) | 2007-09-26 | 2018-02-20 | Ethical Solutions, Llc | Method for extraction and surfactant enhanced subsurface contaminant recovery |
WO2009042228A1 (en) | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Verutek Technologies, Inc. | System for soil and water remediation |
CN102202815A (en) | 2008-05-16 | 2011-09-28 | 维鲁泰克技术股份有限公司 | Green synthesis of nanometals using plant extracts and use thereof |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4503013A (en) * | 1983-04-11 | 1985-03-05 | Atlantic Richfield Company | Ultra-high power exploding wire systems |
EP0718061A1 (en) * | 1994-12-23 | 1996-06-26 | Institute of Petroleum Chemistry, Russian Academy of Sciences | Active metal powders |
KR100407160B1 (en) * | 2001-05-12 | 2003-11-28 | 한국원자력연구소 | An apparatus for producing a nanopodwer |
KR100446956B1 (en) * | 2002-04-23 | 2004-09-01 | 한국전기연구원 | A Feeding Apparatus In The Wire Electric Explosion Equipment For Manufacturing Nanopowder |
-
2004
- 2004-12-24 KR KR1020040112435A patent/KR100558378B1/en not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-06-02 WO PCT/KR2005/001655 patent/WO2006068354A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050009969A (en) | 2005-01-26 |
WO2006068354A1 (en) | 2006-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100726713B1 (en) | Method for manufacturing nanostructured powder by wire explosion in liqiud and device for manufacturing the same | |
US7858880B2 (en) | Conductive terminal welding method and conductive terminal structure | |
EP1862565A1 (en) | Droplet removing device and method in plasma generator | |
CN103201816A (en) | Relay | |
KR100558378B1 (en) | the manufacture apparatus of metal nano vapor using air-chuck | |
US5793008A (en) | Vacuum interrupter with arc diffusing contact design | |
CN100386835C (en) | Electric contacts and method of manufacturing thereof, and vacuum interrupter and vacuum circuit breaker using thereof | |
JP4160223B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
US6313417B1 (en) | Conducting liquid tilt switch using weighted ball | |
KR950034339A (en) | Vacuum valve and its manufacturing method, and vacuum circuit breaker with vacuum valve and its manufacturing method | |
US5360958A (en) | Welding apparatus having coaxial welding electrodes | |
US10381174B2 (en) | Contact member, sliding contact, electrical device and method for producing contact member having electrical contact surface layer comprising coated particles | |
KR20140085760A (en) | Stud welding device | |
KR100850338B1 (en) | The manufacture machine of nano colloid using joule heating plasma and the control method thereof | |
CN108988094B (en) | Thermocompression bonding apparatus and method for manufacturing electronic component | |
JP2005174988A (en) | Vacuum capacitor | |
KR20170019172A (en) | Core-shell metal nano powder, method for producing a nano powder and conductive ink containing the same | |
KR100977459B1 (en) | Method and system for mass production of nanopowders by wire explosion in liquid | |
US6323446B1 (en) | Rolling ball switch | |
JP4723848B2 (en) | Ignition device, electric arc evaporator and workpiece processing method | |
KR100446956B1 (en) | A Feeding Apparatus In The Wire Electric Explosion Equipment For Manufacturing Nanopowder | |
CN111586988A (en) | Superfine circuit preparation device and method | |
JP5340848B2 (en) | Plasma processing apparatus and method of manufacturing optical element mold | |
KR0142652B1 (en) | Electromagnetic material for security valve and method | |
CN104795258A (en) | Switch |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120314 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |