KR100551032B1 - Glass baking apparatus for plasma display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 향하여 분사되는 공기의 유동속도 분포를 균일하게 하여 소성로 내의 가스 배출을 극대화하고 이로 인하여 소성로 내의 유기물을 효과적으로 제거하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치를 제공하는 것이다.The present invention is to provide a substrate baking apparatus for a plasma display panel to uniformly distribute the flow rate of the air injected toward the substrate to maximize the gas discharge in the kiln, thereby effectively removing the organic matter in the kiln.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치는, 이송장치 및 이에 의하여 소성공정 진행 방향으로 이송되는 기판의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 소성로 내의 가스 및 유기물을 배출시키도록 소성로에 소정의 간격으로 배치되는 다수의 공기분사/가스배출 플리넘 조립체를 포함하며, 상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는, 소성공정 진행 방향에 대하여 직각으로 배치되고 기판의 대향측에 배출구를 구비하여 부압으로 소성로 내의 가스를 배출시키는 플리넘 챔버, 및 상기 플리넘 챔버의 일측에 나란히 배치되고, 플리넘 챔버의 내측에 구비되는 공기 공급라인에 넥크부로 연결되며 소성공정 진행 방향으로 향하는 분사노즐을 다수로 구비하는 분기관을 포함하며, 상기 분기관은 한 쌍의 제1, 제2 분기관으로 형성된다.Plasma display panel substrate firing apparatus according to the present invention, the gas in the firing furnace generated in the firing process by injecting air from the upper side of the substrate conveyed in the direction of the firing process and thereby the gas discharged from the other side and A plurality of air injection / gas discharge plenum assemblies disposed in the kiln at predetermined intervals to discharge organic matter, wherein the air injection / gas discharge plenum assembly is disposed at right angles to the firing process progress direction and A plenum chamber for discharging gas in the kiln at negative pressure with an outlet on the opposite side, and arranged side by side on one side of the plenum chamber, connected to the air supply line provided inside the plenum chamber by a neck portion, and undergoing a sintering process. A branch pipe having a plurality of injection nozzles directed in a direction, the branch It is formed of a pair of first and second branch pipes.

플리넘 챔버, 소성로, 분기관, 넥크부, 잔류가스Plenum chamber, kiln, branch pipe, neck part, residual gas

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치{GLASS BAKING APPARATUS FOR PLASMA DISPLAY PANEL}Substrate firing apparatus for plasma display panel {GLASS BAKING APPARATUS FOR PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치를 개략적으로 도시한 부분 측면도이다.1 is a partial side view schematically showing a substrate baking apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 2는 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘(plenum) 조립체의 부분 사시도이다.2 is a partial perspective view of an air jet / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention.

도 3은 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체에서 시뮬레이션 한 공기 유동속도 프로파일이다.Figure 3 is a simulated air flow rate profile in the air injection / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention.

도 4는 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체의 공기 유동속도 분포도이다.4 is an air flow rate distribution diagram of an air injection / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에서 시뮬레이션 한 잔류 가스량 분포도이다.5 is a residual gas amount distribution diagram simulated in the substrate firing apparatus for plasma display panel according to the present invention.

도 6은 종래기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체의 부분 사시도이다.6 is a partial perspective view of an air injection / gas discharge plenum assembly applied to a substrate firing apparatus for a plasma display panel according to the prior art.

도 7은 종래기술의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체에서 시뮬레이션 한 공기 유동속도 프로파일이다.7 is a simulated air flow rate profile in an air injection / gas discharge plenum assembly applied to a substrate firing apparatus of the prior art.

도 8은 종래기술의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조 립체의 공기 유동속도 분포도이다.8 is an air flow rate distribution diagram of an air injection / gas discharge plenum assembly applied to a substrate firing apparatus of the prior art.

도 9는 종래기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에서 시뮬레이션 한 잔류 가스량 분포도이다.9 is a residual gas amount distribution diagram simulated in the substrate firing apparatus for a plasma display panel according to the prior art.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; 이하 PDP라 한다)용 기판 소성장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 향하여 분사되는 공기의 유동속도 분포를 균일하게 하여 소성로 내의 가스 배출을 극대화하고 아울러 소성로 내의 유기물을 효과적으로 제거하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate firing apparatus for a plasma display panel (hereinafter referred to as a PDP), and more particularly, to uniformly distribute the flow rate of air injected toward the substrate to maximize gas discharge in the kiln. The present invention relates to a substrate calcination apparatus for a plasma display panel that effectively removes organic substances in a calcination furnace.

통상적으로 PDP는 가스방전현상을 이용하여 화상을 표시하기 위한 것으로서, 표시용량, 휘도, 콘트라스트, 잔상, 및 시야각 등의 각종 표시능력이 우수하여, CRT를 대체할 수 있는 장치로 각광을 받고 있다.In general, PDP is used to display an image using a gas discharge phenomenon, and is excellent in various display capacities such as display capacity, brightness, contrast, afterimage, and viewing angle, and thus, has been spotlighted as a device that can replace CRT.

한편, PDP의 제조공정에는 많은 개별 공정들이 존재한다. 즉 이 PDP 제조공정은 일측 기판에 전극을 형성하고 유전체를 인쇄하며, 다른 일측 기판에 격벽을 형성하고 형광체를 형성하는 등 여러 공정으로 이루어지며, 이 공정들은 이송장치에 의하여 연속공정으로 진행된다.On the other hand, there are many individual processes in the PDP manufacturing process. In other words, the PDP manufacturing process consists of several processes, such as forming electrodes on one substrate, printing a dielectric, forming partitions on the other substrate, and forming phosphors. These processes are performed in a continuous process by a transfer device.

이 공정들은 각 공정의 특성상 소성공정을 거치는 경우가 있다. 이 소성공정은 소성로가 포함된 소성장치에서 진행된다. 도 6은 종래기술에 따른 플라즈마 디 스플레이 패널용 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체의 부분 사시도이다.These processes may go through a firing process due to the nature of each process. This firing process is carried out in a firing apparatus including a firing furnace. 6 is a partial perspective view of an air injection / gas discharge plenum assembly applied to a substrate firing apparatus for a plasma display panel according to the prior art.

도면을 참조하면, 이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는 소성로(도시하지 않음) 내부에서 소성공정 진행 방향(a)으로 이송되는 2매의 기판(61)에 일측으로 공기를 분사하고 다른 일측으로 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 가스 및 유기물을 배출시키도록 구성된다. 이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는 소성로에 소정의 간격으로 다수 배치된다.Referring to the drawings, the air injection / gas discharge plenum assembly injects air to one side to two substrates 61 conveyed in a firing process (a) in a firing furnace (not shown) and to the other side. It is configured to discharge the gas to discharge the gas and organic matter generated in the firing process. This air injection / gas discharge plenum assembly is arranged in a plurality of firing furnaces at predetermined intervals.

이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는 2매의 기판(61)이 배치되는 소성로의 폭 방향(z축 방향)으로 배치되는 플리넘 챔버(63)와 이 플리넘 챔버(63)의 일측에 이와 나란하게 배치되는 3개의 분기관(65)으로 구성된다. 플리넘 챔버(63)의 하측에는 등간격으로 배치된 배출구(67)가 형성되고, 3개의 분기관(65)에는 등간격으로 배치된 분사노즐(69)이 형성된다. 각 분기관(65)은 플리넘 챔버(63) 내부에 배치되는 공기 공급라인(70)에 넥크부(71)로 연결된다.The air injection / gas discharge plenum assembly has a plenum chamber 63 arranged in the width direction (z-axis direction) of a kiln in which two substrates 61 are disposed, and on one side of the plenum chamber 63. It consists of three branch pipes 65 arranged side by side. Discharge ports 67 disposed at equal intervals are formed below the plenum chamber 63, and three branch pipes 65 are formed with injection nozzles 69 disposed at equal intervals. Each branch pipe 65 is connected to the neck portion 71 to an air supply line 70 disposed inside the plenum chamber 63.

이와 같이 구성된 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는 소성공정 중에 공기 공급라인(70) 및 넥크부(71)로 공급되는 공기를 분기관(65)의 분사노즐(69)을 통하여 기판(61)의 상부로 분사하여, 소성공정 중에 발생된 가스 및 유기물을 기판(61)의 표면으로부터 이동시키고 이렇게 이동된 가스 및 유기물을 플리넘 챔버(63)에 형성된 배출구(67)를 통하여 배출시킨다.The air injection / gas discharge plenum assembly configured as described above is configured to supply air supplied to the air supply line 70 and the neck portion 71 during the firing process to the substrate 61 through the injection nozzle 69 of the branch pipe 65. By spraying upward, the gas and organic matter generated during the firing process are moved from the surface of the substrate 61 and the gas and organic matter thus moved are discharged through the discharge port 67 formed in the plenum chamber 63.

도 7은 종래기술의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체에서 시뮬레이션 한 공기 유동속도 프로파일이고, 도 8은 종래기술의 기판 소 성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체의 공기 유동속도 분포도이다.FIG. 7 is an air flow rate profile simulated in an air jet / gas discharge plenum assembly applied to a substrate firing apparatus of the prior art, and FIG. 8 is an air jet / gas discharge plenum assembly applied to a substrate small growth value of the prior art. Is an air flow velocity distribution of.

일측 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅰ)에서 분사되는 공기 유동속도 분포는 소성공정 진행 방향(a)으로 인접한 다음 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅱ)에서 분사되는 공기 유동속도 분포에 영향을 미침므로 균일한 분포가 요구됨에도 불구하고, 도면에서와 같이, 일측 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅰ)에서 공급되는 공기 유동속도 분포는 불균일하게 형성된다. 즉, 분기관(65)의 양단 및 이웃하는 분기관(65) 사이에서는 공기 유동속도가 점점 높아지고, 분기관(65)의 중심측에서는 공기 유동속도가 점점 낮아진다.The distribution of air flow rate injected from one side air injection / gas discharge plenum assembly (ⅰ) affects the distribution of air flow rate injected from the next air injection / gas discharge plenum assembly (ii) adjacent in the firing process direction (a). Although uniform distribution is required as shown in the drawing, as shown in the drawing, the air flow rate distribution supplied from the one-side air injection / gas discharge plenum assembly is formed non-uniformly. In other words, the air flow rate is gradually increased between both ends of the branch pipe 65 and the neighboring branch pipes 65, and the air flow speed is gradually decreased at the center side of the branch pipes 65.

이와 같이 일측 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅰ)에서 분사되는 공기의 유동속도 분포는 불균일하게 형성되고, 이 불균일한 유동속도 분포는 다음 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅱ)에 나쁜 영향을 미치며, 소성 기판(61)의 전체 면적에 대하여 가스 및 유기물을 균일하게 배출시키지 못하는 문제점을 가진다. 이때 기판(61) 위의 배출 가스량은 소성 전후의 기판(61) 무게를 측정하여 실제로 소성 기간동안 타서 없어진 유기물의 양을 측정함으로서 알 수 있다.As such, the flow rate distribution of the air injected from the one-side air injection / gas discharge plenum assembly is unevenly formed, and this non-uniform flow rate distribution adversely affects the next air injection / gas discharge plenum assembly (ii). In addition, there is a problem in that the gas and organic matter are not uniformly discharged with respect to the entire area of the fired substrate 61. At this time, the amount of exhaust gas on the substrate 61 can be known by measuring the weight of the substrate 61 before and after firing and measuring the amount of organic material burned and lost during the firing period.

도 9는 종래기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에서 시뮬레이션 한 잔류 가스량 분포도이다. 시뮬레이션 결과, 이 잔류 가스량 분포도는 기판(61) 위 5mm 상공 평단면에 나타나는 잔류 가스(g)의 분포를 나타낸다. 이 잔류 가스량의 분포도는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(ⅰ)에서 분사되는 공기의 유동속도 분포가 불균일하게 형성되므로 중앙부에 잔류 가스량(g)이 많은 것을 알 수 있다.9 is a residual gas amount distribution diagram simulated in the substrate firing apparatus for a plasma display panel according to the prior art. As a result of the simulation, this residual gas amount distribution chart shows the distribution of the residual gas g appearing on the planar cross section 5 mm above the substrate 61. The distribution diagram of the residual gas amount shows that the flow rate distribution of the air injected from the air injection / gas discharge plenum assembly is unevenly formed, so that the residual gas amount g is large in the center portion.

상기 실험 결과인 배출 가스량과 시뮬레이션 결과인 잔류 가스량(g)을 비교할 때, 배출 가스량은 잔류 가스량(g)과 같이 좌우 대칭은 아니지만 전체적으로 기판(61)이 이송되는 중앙부에서 가스 배출이 원활하지 않은 반면, 그 외 부분에서는 고른 분포를 보이고 있다. 따라서 실험과 시뮬레이션은 기판(61)의 중앙부에서 잔류 가스량(g)이 많은 비슷한 결과를 가진다.When comparing the discharge gas amount as the experimental result and the residual gas amount g as the simulation result, the exhaust gas amount is not symmetrical like the residual gas amount g, but the gas is not smoothly discharged at the central part where the substrate 61 is transferred. In other parts, the distribution is even. Thus, experiments and simulations have similar results with a large amount of residual gas (g) at the center of the substrate 61.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 그 목적은 기판을 향하여 분사되는 공기의 유동속도 분포를 균일하게 하여 소성로 내의 가스 배출을 극대화하고 이로 인하여 소성로 내의 유기물을 효과적으로 제거하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치를 제공하는 것이다.The present invention was devised to solve the problems as described above, and its object is to maximize the gas discharge in the kiln by uniformizing the flow rate distribution of air injected toward the substrate, thereby effectively removing the organic matter in the kiln. It is to provide a substrate baking apparatus for a display panel.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치는,In order to achieve the above object, the plasma display panel substrate firing apparatus according to the present invention,

이송장치 및 이에 의하여 소성공정 진행 방향으로 이송되는 기판의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 소성로 내의 가스 및 유기물을 배출시키도록 소성로에 소정의 간격으로 배치되는 다수의 공기분사/가스배출 플리넘 조립체를 포함하며,It is disposed at predetermined intervals in the kiln to discharge the gas and organic matter in the kiln generated in the firing process by injecting air from one side of the substrate and thereby discharging the gas from the other side of the substrate transported in the direction of the firing process. A plurality of air injection / gas discharge plenum assemblies,

상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는,The air injection / gas discharge plenum assembly,

소성공정 진행 방향에 대하여 직각으로 배치되고 기판의 대향측에 배출구를 구비하여 부압으로 소성로 내의 가스를 배출시키는 플리넘 챔버, 및A plenum chamber disposed at right angles to the firing process direction and having a discharge port on an opposite side of the substrate to discharge gas in the firing furnace at a negative pressure;

상기 플리넘 챔버의 일측에 나란히 배치되고, 플리넘 챔버의 내측에 구비되는 공기 공급라인에 넥크부로 연결되며 소성공정 진행 방향으로 향하는 분사노즐을 다수로 구비하는 분기관을 포함하며,It is arranged side by side on the plenum chamber, connected to the air supply line provided inside the plenum chamber by a neck portion and includes a branch pipe having a plurality of injection nozzles in the direction of the firing process,

상기 분기관은 한 쌍의 제1, 제2 분기관으로 형성된다.The branch pipe is formed of a pair of first and second branch pipes.

상기 분사노즐은 넥크부의 수직 하방을 제외한 제1, 제2 분기관에 형성되어 있다.The injection nozzles are formed in the first and second branch pipes except the vertical portion of the neck portion.

상기 넥크부는 제1, 제2 분기관의 중앙에서 외측으로 치우친 위치에 연결되는 것이 바람직하다.Preferably, the neck portion is connected to a position biased outward from the center of the first and second branch pipes.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플에이 패널용 기판 소성장치는,In addition, the substrate baking apparatus for a plasma display panel which concerns on this invention,

이송장치 및 이에 의하여 소성공정 진행 방향으로 이송되는 기판의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 소성로 내의 가스 및 유기물을 배출시키도록 소성로에 소정의 간격으로 배치되는 다수의 공기분사/가스배출 플리넘 조립체를 포함하며,It is disposed at predetermined intervals in the kiln to discharge the gas and organic matter in the kiln generated in the firing process by injecting air from one side of the substrate and thereby discharging the gas from the other side of the substrate transported in the direction of the firing process. A plurality of air injection / gas discharge plenum assemblies,

상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는,The air injection / gas discharge plenum assembly,

소성공정 진행 방향에 대하여 직각으로 배치되고 기판의 대향측에 배출구를 구비하여 부압으로 소성로 내의 가스를 배출시키는 플리넘 챔버, 및A plenum chamber disposed at right angles to the firing process direction and having a discharge port on an opposite side of the substrate to discharge gas in the firing furnace at a negative pressure;

상기 플리넘 챔버의 일측에 나란히 배치되고, 플리넘 챔버의 내측에 구비되는 공기 공급라인에 넥크부로 연결되며 소성공정 진행 방향으로 향하는 분사노즐을 다수로 구비하는 분기관을 포함하며,It is arranged side by side on the plenum chamber, connected to the air supply line provided inside the plenum chamber by a neck portion and includes a branch pipe having a plurality of injection nozzles in the direction of the firing process,

상기 분기관은 병렬적으로 배치 이송되는 기판과 동일 개수로 구비되고, 넥 크부를 기준으로 한 분사노즐의 분포가 서로 대칭인 한 쌍의 제1, 제2 분기관으로 형성된다.The branch pipes are provided in the same number as the substrates arranged in parallel, and are formed of a pair of first and second branch pipes having symmetrical distributions of the injection nozzles based on the neck.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치를 개략적으로 도시한 부분 측면도이고, 도 2는 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘(plenum) 조립체의 부분 사시도이다.1 is a partial side view schematically showing a substrate firing apparatus for a plasma display panel according to the present invention, and FIG. 2 is a partial perspective view of an air injection / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention. .

도면을 참조하면, 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치는 소성공정이 진행되는 소성로(1), 이 소성로(1) 내에서 기판(3)을 이송시키는 이송장치(도시하지 않음), 및 이송되는 기판(3)의 표면에 공기를 분사하고 소성로(1) 내의 가스를 배출시키는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(5)를 구비하고 있다. PDP 패널용 기판(3)은 이송장치에 의하여 소성로(1) 내에서 소성공정 방향(A)으로 진행된다. 이 소성공정이 연속적으로 진행됨으로서 이 소성공정 및 다른 공정을 포함하는 PDP 제조 공정은 연속 공정으로 가능하게 된다.Referring to the drawings, the substrate baking apparatus for a plasma display panel includes a firing furnace 1 in which a firing process proceeds, a conveying apparatus (not shown) for transferring the substrate 3 in the firing furnace 1, and a substrate to be conveyed ( An air injection / gas discharge plenum assembly 5 for injecting air to the surface of 3) and discharging the gas in the kiln 1 is provided. The substrate 3 for PDP panels proceeds in the firing process direction A in the firing furnace 1 by a transfer device. Since this firing process is continuously performed, the PDP manufacturing process including this firing process and another process is made possible by a continuous process.

상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(5)는 소성공정이 진행되는 기판(3)의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출시킴으로서 기판(3) 위에 기류(B)를 형성하여 소성공정 중에 발생되는 가스 및 유기물을 기판(3) 위에서 일측으로 이동시켜 배출 가스와 함께 배출시키도록 구성된다. 이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(5)는 소성로(1)에 소정의 간격을 유지하면서 소성공정 방향(A)에 대하여 다수로 배치된다.The air injection / gas discharge plenum assembly 5 forms the air flow B on the substrate 3 by injecting air from one side of the substrate 3 where the firing process is performed, and discharging gas from the other side. The gas and organic matter generated during the process are moved to one side on the substrate 3 to be discharged together with the exhaust gas. The air injection / gas discharge plenum assembly 5 is arranged in plurality in the firing process direction A while maintaining a predetermined interval in the firing furnace 1.

이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(5)는 소성공정의 진행 방향(A)에 대하여 소성로(1)에 직각으로 배치되는 플리넘 챔버(7)와 이에 나란하게 배치되는 분기관(9)을 포함한다.The air injection / gas discharge plenum assembly 5 includes a plenum chamber 7 arranged at right angles to the firing furnace 1 with respect to the advancing direction A of the firing process, and a branch pipe 9 arranged parallel thereto. Include.

상기 플리넘 챔버(7)는 소성로(1) 내의 가스를 배출시켜 소성공정에서 발생된 가스를 배출시킴으로서 이 배출 가스와 함께 유기물을 배출시키고, 분기관(9)은 소성로(1) 내의 기판(3)을 향하여 공기를 분사하여 기판(3) 위에 잔류하는 가스 및 유기물을 일측으로 이동시키므로 소성로(1) 내의 기판(3) 상에 상기한 바와 같은 기류(B)가 형성된다.The plenum chamber 7 discharges the gas in the kiln 1 to discharge the gas generated in the firing process, thereby discharging the organic material together with the discharge gas, and the branch pipe 9 is a substrate 3 in the kiln 1. The air flow B as described above is formed on the substrate 3 in the firing furnace 1 because the gas and organic matter remaining on the substrate 3 are moved to one side by injecting air toward the.

이와 같은 기류(B)가 형성되도록 플리넘 챔버(9)의 하방, 즉 기판(3)의 상면 대향측에는 다수의 배출구(11)가 구비된다. 이 배출구(11)는 플리넘 챔버(9)의 설치 방향(Z)에 대하여 플리넘 챔버(9)에 부압이 균일하게 작용하도록 소정의 등간격으로 형성되는 것이 바람직하다. 이 배출구(11)에는 플리넘 챔버(9)를 통하여 부압이 작용한다.A plurality of outlets 11 are provided below the plenum chamber 9, that is, on the opposite side of the upper surface of the substrate 3 so that such air stream B is formed. The outlet 11 is preferably formed at predetermined equal intervals so that the negative pressure acts uniformly on the plenum chamber 9 with respect to the installation direction Z of the plenum chamber 9. Negative pressure acts on the outlet 11 through the plenum chamber 9.

이 플리넘 챔버(7)에 작용하는 부압에 의하여 소성로(1) 내의 가스를 보다 원활히 배출시키도록 분기관(9)은 공기를 분사한다. 이 분기관(9)에서 분사되는 공기 흐름은 기판(3) 위의 가스 및 유기물을 소성공정 진행 방향(A)에 대하여 전방에 위치하는 플리넘 챔버(7)의 배출구(11) 측으로 이동시킨다. 이를 위하여 분기관(9)은 플리넘 챔버(7)의 일측에 나란히 배치되며, 공기 공급라인(13) 및 넥크부(15)에 연결된다.The branch pipe 9 injects air so that the gas in the kiln 1 is discharged more smoothly by the negative pressure acting on the plenum chamber 7. The air flow injected from the branch pipe 9 moves the gas and organic matter on the substrate 3 to the outlet 11 side of the plenum chamber 7 located forward with respect to the firing process progress direction A. FIG. To this end, the branch pipe 9 is disposed side by side on the plenum chamber 7 and is connected to the air supply line 13 and the neck portion 15.

공기 공급라인(13)은 플리넘 챔버(7)의 내측에 수직 방향으로 구비되고 그 하단에 넥크부(15)가 구비되며, 이 넥크부(15)는 분기관(9)에 연결된다. 이 분기관(9)은 소성공정의 진행 방향(A)을 향하여 공기를 분사하도록 이 분기관(9)에는 다수의 분사노즐(17)이 구비되어 있다.The air supply line 13 is provided in the vertical direction inside the plenum chamber 7 and the neck part 15 is provided at the lower end thereof, and the neck part 15 is connected to the branch pipe 9. The branch pipe 9 is provided with a plurality of injection nozzles 17 in the branch pipe 9 so as to inject air toward the traveling direction A of the firing step.

도 3은 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체에서 시뮬레이션 한 공기 유동속도 프로파일이고, 도 4는 본 발명의 기판 소성장치에 적용되는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체의 공기 유동속도 분포도이며, 도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에서 시뮬레이션 한 잔류 가스량 분포도이다.3 is an air flow rate profile simulated in the air jet / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention, and FIG. 4 is a view of the air jet / gas discharge plenum assembly applied to the substrate firing apparatus of the present invention. 5 is an air flow velocity distribution diagram, and FIG. 5 is a residual gas amount distribution diagram simulated in the substrate baking apparatus for plasma display panel according to the present invention.

특히, 분기관(9)은 도 3과 같이, 병렬적으로 배치 이송되는 기판(3)과 동일 개수로 구비되는 것이 바람직하므로 한 쌍의 제1, 제2 분기관(9a, 9b)으로 형성된다. 이 제1, 제2 분기관(9a, 9b)은 기판(3) 위에 형성되는 공기 유동속도 프로파일을 도 3에 도시된 바와 같이 형성하여, 도 4에 도시된 바와 같은 이상적인 상황에 근접하는 공기 유동속도 분포도를 얻어, 도 5에 도시된 바와 같이 중앙부분의 잔류 가스량(G) 분포를 적게 한다.In particular, since the branch pipes 9 are preferably provided in the same number as the substrates 3 which are arranged and transferred in parallel as shown in FIG. 3, the branch pipes 9 are formed of a pair of first and second branch pipes 9a and 9b. . These first and second branch pipes 9a and 9b form an air flow velocity profile formed on the substrate 3 as shown in FIG. 3, so that the air flow is close to an ideal situation as shown in FIG. 4. A velocity distribution chart is obtained to reduce the distribution of residual gas amount G in the central portion as shown in FIG.

제1, 제2 분기관(9a, 9b)은 플리넘 챔버(7)의 일측에 한 쌍으로 구비되어 도 3에 도시된 바와 같은 공기 유동속도 프로파일을 형성한다. 즉 제1, 제2 분기관(9a, 9b)의 각 양단 및 이웃하는 제1, 제2 분기관(9a, 9b) 사이에서는 공기 유동속도가 점점 높아지고, 제1, 제2 분기관(9a, 9b) 각각의 중심측에서는 공기 유동속도가 점점 낮아진다. 이와 같은 제1, 제2 분기관(9a, 9b)은 도 4에 도시된 바와 같이 전체적인 공기 유동속도 분포도를 형성하게 된다.The first and second branch pipes 9a and 9b are provided in pairs on one side of the plenum chamber 7 to form an air flow velocity profile as shown in FIG. 3. That is, the air flow velocity is gradually increased between each end of the first and second branch pipes 9a and 9b and the neighboring first and second branch pipes 9a and 9b, and the first and second branch pipes 9a, 9b) At each center side, the air flow rate is lowered gradually. The first and second branch pipes 9a and 9b form an overall air flow rate distribution diagram as shown in FIG. 4.

이 공기 유동속도 분포도는 제1, 제2 분기관(9a, 9b)을 한 쌍으로 구비함으로서, 유동속도가 점점 낮아지는 구간을 종래기술에서 분기관을 3개로 구비한 것에 비하여 2곳으로 줄여준다. 시뮬레이션 결과 동일한 조건에서 본 발명의 제1, 제2 분기관(9a, 9b)의 구성은 종래기술에 비하여 잔류 가스를 약3% 저감시키는 효과가 있다.This air flow rate distribution diagram has a pair of first and second branch pipes 9a and 9b, thereby reducing the section where the flow rate is gradually lowered to two points compared to having three branch pipes in the prior art. . Simulation Results The structure of the first and second branch pipes 9a and 9b of the present invention under the same conditions has an effect of reducing the residual gas by about 3% compared with the prior art.

또한, 이 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 공기를 각각 공급하는 각 넥크부(15)는 제1, 제2 분기관(9a, 9b)의 중앙에서 외측으로 치우친 위치에 연결되어 있다. 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에서 이 넥크부(15)가 연결되는 부분에서 공기 흐름 속도가 가장 떨어진다. 따라서 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 대한 넥크부(15)의 연결 위치에 따라 공기 흐름 속도가 가장 떨어지는 부분이 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(5)의 중앙부분에서 외측으로 이동되며, 이 부분의 최적 설정으로 소성로(1) 내에서 가스 및 유기물을 최대로 배출시켜 잔류 가스 분포도가 최적화된다.Further, the neck portions 15 for supplying air to the first and second branch pipes 9a and 9b, respectively, are connected to the position biased outward from the center of the first and second branch pipes 9a and 9b. have. In the first and second branch pipes 9a and 9b, the air flow rate is lowest at the portion where the neck portion 15 is connected. Therefore, according to the connection position of the neck portion 15 to the first and second branch pipes 9a and 9b, the portion where the air flow rate is lowest is outward from the center portion of the air injection / gas discharge plenum assembly 5. It is moved, and the optimum setting of this part maximizes the discharge of gas and organic matter in the kiln 1, thereby optimizing the residual gas distribution.

이 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 형성되는 분사노즐(17)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 소정의 등간격으로 형성되는 데, 넥크부(15)의 수직 하방에는 형성되지 않는(17a) 것이 바람직하다. 또한 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 형성되는 분사노즐(17)의 분포는 넥크부(15)를 기준으로 서로 대칭을 이룬다. 이와 같이 분사노즐(17) 분포가 크게는 대칭을 이루면서 넥크부(15)의 수직 하방에 분사노즐(17a)이 형성되지 않으므로 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에서 분사되는 공기 흐름 중 넥크부(15) 측에서 기판(3)을 향하여 특별히 아래로 처지는 것을 방지한다.The injection nozzles 17 formed in the first and second branch pipes 9a and 9b are formed at predetermined equal intervals in the first and second branch pipes 9a and 9b, as shown in FIG. It is preferable that the neck portion 15 is not formed below the vertical portion 17a. In addition, the distribution of the injection nozzles 17 formed in the first and second branch pipes 9a and 9b is symmetrical with respect to the neck part 15. In this way, since the distribution of the injection nozzles 17 is substantially symmetrical, the injection nozzles 17a are not formed below the neck portion 15 in the vertical direction, and thus the air flows injected from the first and second branch pipes 9a and 9b. The sagging of the neck 15 is prevented from sagging particularly toward the substrate 3.

이 제1, 제2 분기관(9a, 9b)에 의하여 형성되는 공기 유동속도 분포도는 도 4에 도시된 바와 같이, 전체적으로 중앙부분의 공기 유동속도가 높은 상태로 형성되고 외측 부분이 다소 낮게 형성된다.As shown in FIG. 4, the air flow rate distribution chart formed by the first and second branch pipes 9a and 9b is formed in a state where the air flow rate of the central portion is high and the outer portion is somewhat lower. .

또한, 제1, 제2 분기관(9a, 9b)은 종래기술에서 분기관을 3개로 구비한 것에 비하여, 동일한 소성로(1)의 폭(Z축) 방향으로 길게 형성되어 분사노즐(17)로 분사되는 공기의 속도가 낮아지기 때문에 유동 저항을 받아 실제로 분사되는 공기량이 적어지므로 이를 보상할 필요가 있다. 이를 위하여 제1, 제2 분기관(9a, 9b)으로 공급되는 공기는 종래기술의 분기관으로 공급되는 공기량보다 많은 량으로 설정되는 것이 바람직하다.Further, the first and second branch pipes 9a and 9b are formed long in the width (Z-axis) direction of the same firing furnace 1 as compared to the three branch pipes in the related art, and thus are provided to the injection nozzle 17. Since the velocity of the injected air is lowered, the amount of air actually injected due to the flow resistance decreases, so it is necessary to compensate for this. To this end, the air supplied to the first and second branch pipes 9a and 9b is preferably set to an amount larger than the amount of air supplied to the branch pipe of the prior art.

이 일측 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(Ⅰ)에서 분사되는 공기의 유동속도 분포는 중앙부분이 외측에 비하여 다소 높지만 중앙부분과 외측이 대체로 유사하고 중앙부분은 거의 균일하게 형성된다. 이 균일한 유동속도 분포는 다음 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(Ⅱ)까지 균일하게 성장하여 다음 공기분사/가스배출 플리넘 조립체(Ⅱ)에 나쁘게 작용하지 않으므로 소성로(1) 내의 기판(3) 전체 면적에 대하여 가스 및 유기물을 균일하게 배출시킨다.The flow velocity distribution of the air injected from this one-side air injection / gas discharge plenum assembly (I) is somewhat higher than that of the center part, but the center part and the outside part are generally similar, and the center part is formed almost uniformly. This uniform flow rate distribution grows uniformly to the next air jet / gas outlet plenum assembly (II) and does not adversely affect the next air jet / gas outlet plenum assembly (II), so that the substrate 3 in the kiln 1 The gas and organics are discharged uniformly over the entire area.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the scope of the invention.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치에 의하면, 플리넘 챔버의 일측에 한 쌍의 제1, 제2 분기관을 구비하고, 이 제1, 제2 분기관에 공기를 공급하는 넥크부를 각각 제1, 제2 분기관의 중심에서 외측으로 치우치게 구비하여, 일측 공기분사/가스배출 플리넘 조립체 인접하는 공기분사/가스배출 플리넘 조립체로 분사되는 공기 유동속도 분포를 균일하게 하여 소성로 내의 가스 배출을 극대화하고 이로 인하여 소성로 내의 유기물을 효과적으로 제거하는 효과가 있다. As described above, according to the substrate baking apparatus for plasma display panel according to the present invention, a pair of first and second branch pipes is provided on one side of the plenum chamber, and air is supplied to the first and second branch pipes. The neck portion is biased outwardly from the center of the first and second branch pipes, respectively, to uniformly distribute the air flow rate to be injected to the air spray / gas discharge plenum assembly adjacent to the air spray / gas discharge plenum assembly on one side. Maximizing the discharge of gas in the kiln, thereby effectively removing the organic matter in the kiln.

Claims (5)

이송장치 및 이에 의하여 소성공정 진행 방향으로 이송되는 기판의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 소성로 내의 가스 및 유기물을 배출시키도록 소성로에 소정의 간격으로 배치되는 다수의 공기분사/가스배출 플리넘 조립체를 포함하며,It is disposed at predetermined intervals in the kiln to discharge the gas and organic matter in the kiln generated in the firing process by injecting air from one side of the substrate and thereby discharging the gas from the other side of the substrate transported in the direction of the firing process. A plurality of air injection / gas discharge plenum assemblies, 상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는,The air injection / gas discharge plenum assembly, 소성공정 진행 방향에 대하여 직각으로 배치되고 기판의 대향측에 배출구를 구비하여 부압으로 소성로 내의 가스를 배출시키는 플리넘 챔버, 및A plenum chamber disposed at right angles to the firing process direction and having a discharge port on an opposite side of the substrate to discharge gas in the firing furnace at a negative pressure; 상기 플리넘 챔버의 일측에 나란히 배치되고, 플리넘 챔버의 내측에 구비되는 공기 공급라인에 넥크부로 연결되며 소성공정 진행 방향으로 향하는 분사노즐을 다수로 구비하는 분기관을 포함하며,It is arranged side by side on the plenum chamber, connected to the air supply line provided inside the plenum chamber by a neck portion and includes a branch pipe having a plurality of injection nozzles in the direction of the firing process, 상기 분기관은 한 쌍의 제1, 제2 분기관으로 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치.And said branch pipe is formed of a pair of first and second branch pipes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사노즐은 넥크부의 수직 하방을 제외한 제1, 제2 분기관에 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치.The injection nozzle is a plasma display panel substrate firing apparatus is formed in the first, second branch pipe except the vertical downward. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 넥크부는 제1, 제2 분기관의 중앙에서 외측으로 치우친 위치에 연결되는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치.And the neck portion is connected to a position biased outward from a center of the first and second branch pipes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사노즐은 넥크부를 기준으로 제1, 제2 분기관에서 내측이 외측보다 많은 개수로 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치.The injection nozzle is a plasma display panel substrate firing apparatus is formed in the number of the inner side than the outer side in the first, the second branch pipe based on the neck portion. 이송장치 및 이에 의하여 소성공정 진행 방향으로 이송되는 기판의 상방 일측에서 공기를 분사하고 다른 일측에서 가스를 배출하여 소성공정에서 발생되는 소성로 내의 가스 및 유기물을 배출시키도록 소성로에 소정의 간격으로 배치되는 다수의 공기분사/가스배출 플리넘 조립체를 포함하며,It is disposed at predetermined intervals in the kiln to discharge the gas and organic matter in the kiln generated in the firing process by injecting air from one side of the substrate and thereby discharging the gas from the other side of the substrate transported in the direction of the firing process. A plurality of air injection / gas discharge plenum assemblies, 상기 공기분사/가스배출 플리넘 조립체는,The air injection / gas discharge plenum assembly, 소성공정 진행 방향에 대하여 직각으로 배치되고 기판의 대향측에 배출구를 구비하여 부압으로 소성로 내의 가스를 배출시키는 플리넘 챔버, 및A plenum chamber disposed at right angles to the firing process direction and having a discharge port on an opposite side of the substrate to discharge gas in the firing furnace at a negative pressure; 상기 플리넘 챔버의 일측에 나란히 배치되고, 플리넘 챔버의 내측에 구비되는 공기 공급라인에 넥크부로 연결되며 소성공정 진행 방향으로 향하는 분사노즐을 다수로 구비하는 분기관을 포함하며,It is arranged side by side on the plenum chamber, connected to the air supply line provided inside the plenum chamber by a neck portion and includes a branch pipe having a plurality of injection nozzles in the direction of the firing process, 상기 분기관은 병렬적으로 배치 이송되는 기판과 동일 개수로 구비되고, 넥크부를 기준으로 한 분사노즐의 분포가 서로 대칭인 한 쌍의 제1, 제2 분기관으로 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 소성장치.The branch pipes are provided in the same number as the substrates arranged in parallel, and the firing of the substrate for plasma display panel is formed by a pair of first and second branch pipes in which the distribution of the injection nozzles based on the neck is symmetric with each other. Device.
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