KR100545170B1 - Vacuum cleaning apparatus and method for cleaning using the same - Google Patents

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    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Abstract

본 발명은 클린룸 내부에 존재하는 오염물을 제거하는 진공 클리닝장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 진공 클리닝장치는, 클린룸 내부로 에어를 분사하는 에어 분사부와, 상기 에어 분사부에서 분사된 에어에 의해 부유된 미립자를 흡입하는 집진부를 구비하는 분사 및 집진부재와; 에어 라인을 통해 상기 에어 분사부에 연결되는 에어 공급기와; 진공 라인을 통해 상기 집진부에 연결되는 진공 발생기;를 포함하며, 상기 에어 분사부는 집진부의 내측, 외측, 또는 내측 및 외측에 구비된다.The present invention relates to a vacuum cleaning device and method for removing contaminants present in a clean room, and the vacuum cleaning device of the present invention includes an air jet unit for injecting air into the clean room, and A spraying and dust collecting member having a dust collecting portion for sucking the fine particles suspended by air; An air supply connected to the air injector through an air line; And a vacuum generator connected to the dust collecting unit through a vacuum line, wherein the air injection unit is provided at an inner side, an outer side, or an inner side and an outer side of the dust collecting unit.

클린룸, 진공, 에어, purge, 세정,Clean room, vacuum, air, purge, clean,

Description

진공 클리닝장치 및 이 장치를 이용한 클리닝 방법{VACUUM CLEANING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING USING THE SAME}Vacuum cleaning device and cleaning method using this device {VACUUM CLEANING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 클리닝장치의 개략적인 구성도이고,1 is a schematic configuration diagram of a vacuum cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 2a 및 2b는 도 1의 분사 및 집진부재의 개략적인 구성을 나타내는 단면도 및 정면도이며,2a and 2b is a sectional view and a front view showing a schematic configuration of the injection and dust collecting member of Figure 1,

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분사 및 집진부재의 개략적인 구성을 나타내는 정면도이고,Figure 3 is a front view showing a schematic configuration of the injection and dust collecting member according to another embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 분사 및 집진부재의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a jet and dust collecting member according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 진공 클리닝장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸 내부에 존재하는 오염물을 제거하는 진공 클리닝장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum cleaning apparatus, and more particularly, to a vacuum cleaning apparatus for removing contaminants present in a clean room.

일반적으로, 청정도 및 정밀도를 요구하는 제조 공정 라인, 예를 들어, 반도체 제조 공정 라인에서는 미립자(particle)에 의한 오염을 방지하기 위하여 클린룸 즉, 밀폐된 공간에 설비 장비와 작업자가 함께 위치하여 공정을 진행하는 방법을 사용하고 있다. 즉, 제조 공정 라인은 하나의 밀폐된 클린룸으로 되어 있고, 클린룸 내부의 청정도는 진공 클리닝장치 등을 통해 이루어진다.In general, in a manufacturing process line requiring cleanliness and precision, for example, a semiconductor manufacturing process line, equipment equipment and an operator are located together in a clean room, that is, an enclosed space, in order to prevent contamination by particles. The method of advancing a process is used. That is, the manufacturing process line is a closed clean room, and the cleanliness of the clean room is made through a vacuum cleaning device or the like.

클린룸의 청정도를 유지하기 위한 종래의 진공 클리닝장치는 크게 에어 퍼지(air purge) 수단과 진공(vacuum) 수단으로 구분된다.Conventional vacuum cleaning apparatus for maintaining the cleanliness of the clean room is largely divided into air purge means and vacuum means.

상기 에어 퍼지 수단은 에어 공급기와, 클린룸 내부로 에어를 분사하는 에어 건(air gun)이 단부에 마련되며 상기 에어 공급기에 연결되는 에어 라인을 포함하며, 진공 수단은 진공 펌프 등의 진공 발생기와, 클린룸 내부의 미립자를 흡입하는 집진기가 단부에 마련되며 상기 진공 발생기에 연결되는 진공 라인을 포함한다.The air purging means includes an air supply unit and an air line for discharging air into the clean room, and an air line connected to the air supply unit, and the vacuum means includes a vacuum generator such as a vacuum pump and the like. A dust collector for sucking the particulates in the clean room is provided at an end thereof and includes a vacuum line connected to the vacuum generator.

이와 같이, 종래의 진공 클리닝장치는 에어 건과 집진기가 별도로 구비되어 있으므로, 상기한 진공 클리닝장치를 이용하여 클린룸 내부를 세정할 때, 에어 건을 통해 에어를 분사하면 클린룸 내부의 미립자가 상기 에어로 인해 부유되어 클린룸 내부를 떠돌아다니게 된다. 따라서, 미립자를 집진하는데 일정한 작업 시간이 필요하며, 부유된 미립자 중에서 일부는 집진기를 통해 집진되지 못하고 클린룸 내부의 다른 곳, 예를 들어 에어 분사 범위를 벗어난 위치에 다시 안착되어, 집진 효율이 만족스럽지 못한 문제점이 있다.As such, since the conventional vacuum cleaning apparatus is provided with an air gun and a dust collector separately, when cleaning the inside of the clean room using the vacuum cleaning device, when the air is injected through the air gun, the fine particles in the clean room are discharged. The air floats and wanders inside the clean room. Therefore, a certain working time is required to collect the particulates, and some of the suspended particulates are not collected by the dust collector and are settled again elsewhere in the clean room, for example, outside the air blowing range, so that the dust collecting efficiency is satisfied. There is an unproblematic problem.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 클린룸 내부에서 분사된 에어에 의해 부유된 미립자를 효율적으로 집진할 수 있는 진공 클리닝장치 및 이 장치를 이용한 클리닝 방법을 제공함에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum cleaning apparatus capable of efficiently collecting fine particles suspended by air injected in a clean room, and a cleaning method using the apparatus.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,The present invention to achieve the above object,

클린룸 내부의 미립자를 제거하기 위한 진공 클리닝장치로서,A vacuum cleaning device for removing particulates in a clean room,

클린룸 내부로 에어를 분사하는 에어 분사부와, 상기 에어 분사부에서 분사된 에어에 의해 부유된 미립자를 흡입하는 집진부를 구비하는 분사 및 집진부재와;An injection and dust collecting member including an air injection unit for injecting air into the clean room, and a dust collection unit for sucking the fine particles suspended by the air injected from the air injection unit;

에어 라인을 통해 상기 에어 분사부에 연결되는 에어 공급기와;An air supply connected to the air injector through an air line;

진공 라인을 통해 상기 집진부에 연결되는 진공 발생기;A vacuum generator connected to the dust collector through a vacuum line;

를 포함하는 진공 클리닝장치를 제공한다.It provides a vacuum cleaning device comprising a.

본 발명의 바람직한 일실시예에 의하면, 상기 분사 및 집진부재는 에어 분사부를 형성하는 통형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸는 통형상으로 이루어지며 집진부를 형성하는 외부 몸체를 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the injection and dust collecting member includes a cylindrical inner body forming an air jetting portion, and an outer body formed in a cylindrical shape surrounding the inner body and forming a dust collecting portion.

본 발명의 바람직한 다른 실시예에 의하면, 상기 분사 및 집진부재는 에어 분사부를 형성하는 고리형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸는 통형상으로 이루어지며 고리형상의 내부 몸체 내측과 외측에 집진부를 형성하는 외부 몸체를 포함한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the injection and dust collection member is formed of a ring-shaped inner body and the cylindrical shape surrounding the inner body forming an air jetting portion and the dust collection portion inside and outside the ring-shaped inner body It includes an outer body to form.

본 발명의 바람직한 또다른 실시예에 의하면, 상기 분사 및 집진부재는 집진부를 형성하는 통형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸는 통형상으로 이루어지며 에어 분사부를 형성하는 외부 몸체를 포함한다.According to still another preferred embodiment of the present invention, the jetting and collecting member includes a cylindrical inner body forming a dust collecting part, and an outer body formed in a cylindrical shape surrounding the inner body and forming an air jetting part.

그리고, 본 발명은 상기한 클리닝 장치를 이용한 클리닝 방법으로서,And, the present invention is a cleaning method using the cleaning device described above,

에어 라인을 통해 유입된 에어를 에어 분사부에서 분사함과 동시에, 상기 에어에 의해 부유된 미립자를 상기 에어 분사부와 일체로 마련된 집진부를 통해 집진 하는 클리닝 방법을 제공한다.Provided is a cleaning method for injecting air introduced through an air line from an air jet unit, and collecting particulates suspended by the air through a dust collector provided integrally with the air jet unit.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 클리닝장치의 개략 구성도를 도시한 것이고, 도 2a 및 2b는 도 1의 분사 및 집진부재의 구성을 나타내는 단면도 및 정면도를 도시한 것이다.Figure 1 shows a schematic configuration diagram of a vacuum cleaning apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figures 2a and 2b shows a cross-sectional view and a front view showing the configuration of the injection and dust collecting member of FIG.

본 실시예의 진공 클리닝장치는 에어 분사부 및 집진부를 모두 구비하는 분사 및 집진부재(10)를 포함한다.The vacuum cleaning apparatus of this embodiment includes a spraying and dust collecting member 10 having both an air ejecting portion and a dust collecting portion.

도 2를 참조하면, 상기 분사 및 집진부재(10)는 에어 분사부(12a)를 형성하는 통형상의 내부 몸체(12)와, 상기 내부 몸체(12)를 둘러싸며 집진부(14a)를 형성하는 통형상의 외부 몸체(14)를 구비한다.Referring to FIG. 2, the jetting and dust collecting member 10 forms a cylindrical inner body 12 forming an air jetting portion 12a and a dust collecting portion 14a surrounding the inner body 12. A cylindrical outer body 14 is provided.

그리고, 외부 몸체(14)의 단부에는 진공 펌프 등의 진공 발생기(20)에 연결된 진공 라인(22)의 단부가 연결되고, 내부 몸체(12)에는 에어 공급기(30)에 연결된 에어 라인(32)의 단부가 연결된다.An end of the vacuum line 22 connected to the vacuum generator 20, such as a vacuum pump, is connected to an end of the outer body 14, and an air line 32 connected to the air supply 30 is connected to the inner body 12. The ends of are connected.

상기 도 2a 및 2b에서, 미설명 도면부호 14b는 집진 효율을 향상시키기 위한 외부 몸체의 확대된 개구부를 나타내며, 도면부호 16은 내부 몸체를 외부 몸체에 일체로 연결하는 연결체를 나타낸다.2A and 2B, reference numeral 14b, which is not described, denotes an enlarged opening of the outer body for improving dust collection efficiency, and reference numeral 16 denotes a connecting body integrally connecting the inner body to the outer body.

이러한 구성의 진공 클리닝장치에 의하면, 진공 발생기(20)를 구동한 후 에어 공급기(30)를 구동할 때, 에어 분사부(12a)를 통해 분사된 에어에 의해 미립자가 부유되면서 집진부(14a)를 통해 곧바로 집진된다.According to the vacuum cleaning device having such a configuration, when driving the air supplier 30 after driving the vacuum generator 20, the dust collecting unit 14a is suspended while the fine particles are suspended by the air injected through the air injection unit 12a. It is collected immediately through.

따라서, 클린룸 내부에서 집진부(14a)에 집진되지 못하고 부유되는 미립자의 양을 획기적으로 감소시킬 수 있으며, 집진 작업에 소요되는 시간도 단축할 수 있다.Therefore, the amount of fine particles suspended in the dust collector 14a and not suspended in the clean room can be drastically reduced, and the time required for the dust collection operation can be shortened.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분사 및 집진부재의 구성을 나타내는 정면도를 도시한 것으로, 본 실시예의 분사 및 집진부재(10')는 에어 분사부(12'a)를 형성하는 고리형상의 내부 몸체(12')와, 상기 내부 몸체(12')를 둘러싸며 내부 몸체(12')의 내측과 외측에 집진부(14'a)를 각각 형성하는 외부 몸체(14')를 포함한다. 상기 도 3에서, 미설명 도면부호 14'b는 외부 몸체(14')의 확대된 개구부를 나타내며, 도면부호 16'는 내부 몸체(12')를 외부 몸체(14')에 고정하는 연결체를 나타낸다.3 is a front view showing the configuration of the jet and dust collecting member according to another embodiment of the present invention, the jet and dust collecting member 10 'of the present embodiment has an annular shape forming an air jetting portion 12'a It includes an inner body 12 'and an outer body 14' surrounding the inner body 12 'and forming dust collectors 14'a on the inner and outer sides of the inner body 12', respectively. In FIG. 3, reference numeral 14'b denotes an enlarged opening of the outer body 14 ', and reference numeral 16' denotes a connecting body for fixing the inner body 12 'to the outer body 14'. Indicates.

도시하지는 않았지만, 상기 외부 몸체(14')의 단부에는 도 2a 및 2b의 실시예에서와 마찬가지로 진공 라인의 단부가 연결되고, 내부 몸체에는 에어 라인의 단부가 연결된다.Although not shown, the end of the outer body 14 ′ is connected to the end of the vacuum line as in the embodiment of FIGS. 2A and 2B, and the end of the air line is connected to the inner body.

이러한 구성의 본 실시예는 전술한 도 2a 및 도 2b의 실시예에 비해 집진부(14'a)의 면적이 확대되므로, 집진 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.In this embodiment of such a configuration, the area of the dust collecting part 14'a is enlarged as compared with the above-described embodiments of FIGS. 2A and 2B, and thus, dust collecting efficiency can be further improved.

그리고, 도 4는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 분사 및 집진부재의 구성을 나타내는 단면도를 도시한 것으로, 본 실시예의 분사 및 집진부재(10")는 전술한 도 3의 실시예와 반대의 구성을 갖는다.And, Figure 4 shows a cross-sectional view showing the configuration of the injection and dust collecting member according to another embodiment of the present invention, the injection and dust collecting member 10 "of the present embodiment is opposite to the embodiment of FIG. Has a configuration.

즉, 본 실시예의 분사 및 집진부재(10")는 통형상의 내부 몸체(12")가 집진부(12"a)를 형성하며, 내부 몸체(12")를 둘러싸는 통형상의 외부 몸체(14")가 에어 분사부(14"a)를 형성한다. 이 실시예의 경우에는 외부 몸체(14")의 단부에 에어 라인(32")이 연결되고, 내부 몸체(12")에는 진공 라인(22")의 단부가 연결되는 것은 자명하다.That is, the jetting and dust collecting member 10 "of this embodiment has a cylindrical inner body 12" which forms the dust collecting part 12 "a, and the cylindrical outer body 14 which surrounds the inner body 12". &Quot; " forms the air injection section 14 " a. In this embodiment, it is obvious that the air line 32 "is connected to the end of the outer body 14" and the end of the vacuum line 22 "is connected to the inner body 12".

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하였지만 본원 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. In addition, it is natural that it belongs to the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 에어 분사부와 집진부가 일체로 구비되어 있으므로, 클린룸 내부의 미립자를 부유시킨 후, 부유되는 미립자를 집진부에서 곧바로 집진할 수 있다. 따라서, 집진 효율을 향상시킬 수 있고, 집진 작업에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 등의 효과가 있다.According to the present invention as described above, since the air jetting unit and the dust collecting unit are integrally provided, the fine particles suspended in the clean room can be collected immediately from the dust collecting unit. Therefore, the dust collecting efficiency can be improved, and the time required for the dust collecting operation can be shortened.

Claims (8)

클린룸 내부로 에어를 분사하는 분사관을 구비하는 에어 분사부와,An air injection unit including an injection pipe for injecting air into the clean room; 상기 에어 분사부에서 분사된 에어에 의해 부유된 미립자를 흡입하는 집진관을 구비하는 집진부와,A dust collecting unit including a dust collecting tube for sucking fine particles suspended by air injected from the air spraying unit; 에어 라인을 통해 상기 에어 분사부에 연결되는 에어 공급기와, 그리고An air supply connected to the air injector through an air line, and 진공 라인을 통해 상기 집진부에 연결되는 진공 발생기를 포함하며, A vacuum generator connected to the dust collector through a vacuum line, 상기 분사부의 분사관과 상기 집진부의 집진관의 종단은 분사 및 집진부재에 함께 배치되는 진공 클리닝장치.An end of the injection pipe of the injection unit and the dust collecting tube of the dust collecting unit is disposed in the injection and dust collecting member together. 제 1항에 있어서, 상기 분사 및 집진부재는 에어 분사부를 형성하는 통형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸며 집진부를 형성하는 통형상의 외부 몸체를 포함하는 진공 클리닝장치.The vacuum cleaning apparatus of claim 1, wherein the jetting and collecting member comprises a cylindrical inner body forming an air jetting unit, and a cylindrical outer body surrounding the inner body and forming a dust collecting unit. 제 1항에 있어서, 상기 분사 및 집진부재는 에어 분사부를 형성하는 고리형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸며 고리형상의 내부 몸체 내측과 외측에 집진부를 형성하는 통형상의 외부 몸체를 포함하는 진공 클리닝장치.According to claim 1, wherein the injection and dust collecting member includes an annular inner body for forming an air jet, and a cylindrical outer body surrounding the inner body and forming a dust collecting portion inside and outside the annular inner body; Vacuum cleaning equipment. 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 외부 몸체의 단부에는 진공 라인이 연결되고, 상기 내부 몸체에는 상기 에어 라인이 연결되는 진공 클리닝장치.The vacuum cleaning apparatus according to claim 2 or 3, wherein a vacuum line is connected to an end of the outer body, and the air line is connected to the inner body. 제 4항에 있어서, 상기 외부 몸체는 확대된 개구부를 갖는 진공 클리닝장치.5. The vacuum cleaning apparatus according to claim 4, wherein said outer body has an enlarged opening. 제 1항에 있어서, 상기 분사 및 집진부재는 집진부를 형성하는 통형상의 내부 몸체와, 상기 내부 몸체를 둘러싸며 에어 분사부를 형성하는 통형상의 외부 몸체를 포함하는 진공 클리닝장치.The vacuum cleaning apparatus according to claim 1, wherein the jetting and collecting member comprises a cylindrical inner body defining a dust collecting part, and a cylindrical outer body surrounding the inner body and forming an air jetting part. 제 6항에 있어서, 상기 외부 몸체의 단부에는 에어 라인이 연결되고, 상기 내부 몸체에는 상기 진공 라인이 연결되는 진공 클리닝장치.The vacuum cleaning apparatus of claim 6, wherein an air line is connected to an end of the outer body, and the vacuum line is connected to the inner body. 클린룸 내부로 에어를 분사하는 에어 분사부와, 상기 에어 분사부에서 분사된 에어에 의해 부유된 미립자를 흡입하는 집진부를 구비하는 분사 및 집진부재를 이용한 클리닝 방법으로서,A cleaning method using an injection and dust collecting member having an air injection unit for injecting air into a clean room, and a dust collection unit for sucking fine particles suspended by air injected from the air injection unit, 에어 라인을 통해 유입된 에어를 상기 에어 분사부에서 분사함과 동시에, 상기 에어에 의해 부유된 미립자를 상기 에어 분사부와 일체로 마련된 집진부를 통해 집진하는 클리닝 방법.And an air injecting air introduced through an air line in the air ejecting unit, and collecting particulates suspended by the air through a dust collecting unit provided integrally with the air ejecting unit.
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