KR100544384B1 - The operating method of wire saw machine - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가동 중 일시 정지된 와이어 쏘우 장치의 가동시 쏘우 와이어의 잔량이나 권취경 등을 입력하지 않고 댄서를 중앙 위치로 옮기는 작업만을 실시한 후 곧 바로 와이어 쏘우 장치를 정상 작업시의 고속 주행 속도로 가동할 수 있도록 한 와이어 쏘우 장치의 가동 방법에 관한 것이다.The present invention performs only the operation of moving the dancer to the center position without inputting the remaining amount of the saw wire or the winding diameter when the wire saw device is paused during operation, and immediately moves the wire saw device to the high speed at the time of normal work. It relates to a method of operating a wire saw device that can be moved.

본 발명 와이어 쏘우 장치의 가동 방법은, 릴의 회전에 의해 하한 위치의 댄서를 중앙 위치로 이동시키고, 댄서의 이동에 따라 고정값인 댄서의 회전 반경와 회전 각도 및 측정값인 릴의 회전 각도를 이용하여 릴에 장착된 보빈의 실제 권취경을 계산함에 기술적 특징이 있으며, 댄서의 단순 이동만으로 실제 권취경이 즉시 계산됨으로써 댄서를 중앙에 위치시키기만 하면 릴을 곧 바로 정상적인 작업 속도로 구동 제어할 수 있게 된다.In the method of operating the wire saw device of the present invention, the dancer of the lower limit position is moved to the center position by the rotation of the reel, and according to the movement of the dancer, the rotation radius and the rotation angle of the dancer, which are fixed values, and the rotation angle of the reel, which are measured values, are used. There is a technical feature to calculate the actual winding diameter of bobbins mounted on the reel, and the actual winding diameter is calculated immediately by simply moving the dancer so that the reel can be driven and controlled at the normal working speed as soon as the dancer is located at the center. do.

본 발명 와이어 쏘우 장치의 가동 방법은, 와이어 쏘우 장치의 가동시 곧바로 정상적인 고속 작업이 가능하여 생산성이 향상되며, 저속 작업 시간의 감축에 따라 피절단물의 품질이 향상되고, 권취경의 오입력이나 편차 과다에 의한 탈선이나 단선 등이 방지되는 이점이 있다.In the method of operating the wire saw device of the present invention, normal high speed work can be performed immediately when the wire saw device is started, productivity is improved, and the quality of the cutting object is improved according to the reduction of the low speed working time, and the wrong input or deviation of the winding diameter is excessive. There is an advantage that the derailment, disconnection or the like caused by this is prevented.

와이어 쏘우 장치, 쏘우 와이어, 트래버싱, 댄서, 웨이퍼 절단Wire Saw Device, Saw Wire, Traversing, Dancer, Wafer Cutting

Description

와이어 쏘우 장치의 가동 방법{The operating method of wire saw machine} The operating method of wire saw machine             

도 1은 와이어 쏘우 장치의 개략 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a wire saw device;

도 2는 댄서와 릴의 상호 작동 상태를 보인 와이어 쏘우 장치의 부분 구성도.2 is a partial configuration diagram of a wire saw device showing the interaction state of the dancer and the reel.

도 3은 본 발명 일실시예 방법의 제어 신호 흐름도.3 is a control signal flow diagram of an embodiment method of the present invention.

((도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명))           ((Explanation of symbols for main part of drawing))

11. 공급릴 12,18. 트래버싱 장치          11. Supply reel 12,18. Traversing Device

13,16. 가이드 롤러 14,17,21. 댄서          13,16. Guide rollers 14,17,21. Dancer

15. 메인 롤러 19. 권취릴          15. Main roller 19. Winding reel

22. 스톱바          22. Stop Bar

A. 댄서암 B. 보빈          A. Dancer Arm B. Bobbin

I. 피절단물 RF. 전방 가이드롤 I. Cutting object R F. Front guide roll

RR. 후방 가이드롤 S. 쏘우 와이어R R. Rear Guide Roll S. Saw Wire

s. 근접센서          s. Proximity sensor

본 발명은 와이어 쏘우 장치의 가동 방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 반도체 재료나 자성 재료 등을 쏘우 와이어로 절단하는 와이어 쏘우 장치에서 쏘우 와이어가 권취된 공급 보빈 또는 사용된 쏘우 와이어가 감긴 권취 보빈을 교체 직후 공급 보빈의 쏘우 와이어 잔량이나 권취 보빈의 권취경 등을 입력하지 않고 댄서를 중앙 위치로 옮기는 작업만을 실시하여 곧 바로 와이어 쏘우 장치가 정상 작업시의 주행 속도로 가동할 수 있도록 함으로써, 보빈 교체 후 가동시 정상 속도로 작업될 때까지의 시간을 단축시켜 와이어 쏘우 장치의 생산성을 최대화할 수 있도록 한 와이어 쏘우 장치의 가동 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of operating a wire saw device, and more particularly, to replace a supply bobbin on which a saw wire is wound or a wound bobbin wound on a used saw wire in a wire saw device for cutting a semiconductor material or a magnetic material into a saw wire. Immediately after the bobbin is replaced, only the movement of the dancer to the center position is performed without inputting the remaining amount of the saw wire of the supply bobbin or the winding diameter of the wound bobbin. This invention relates to a method of operating a wire saw device, which maximizes the productivity of the wire saw device by shortening the time to work at a normal speed during operation.

일반적으로 와이어 쏘우 장치는 반도체 웨이퍼용 잉고트나 세라믹을 비롯한 초경합금 등의 절단시 평탄한 절단면을 갖도록 하면서 여러 매를 동시에 절단할 수 있는 장치로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 공급릴(11)에 장착된 보빈(B)으로 부터 해권되어 공급되는 쏘우 와이어(S)는, 입측 트래버싱 장치(12), 그 사이에 댄서(14)가 설치된 다수의 입측 가이드 롤러(13), 세 개의 롤러가 단면 역삼각형의 꼭지점을 이루도록 서로 평행하게 설치된 메인 롤러(15), 그 사이에 댄서(17)가 설치된 다수의 출측 가이드 롤러(16), 출측 트래버싱 장치(18)를 거쳐 권취릴(19)에 장착된 보빈(B)에 재권취 되며, 상기 메인 롤러(15), 공급릴(11), 권취릴(19)에는 각각 정역 가능한 구동 모터가 연결되고, 이들 모터는 함께 연동됨으로써 쏘우 와 이어(S)의 장력이 조절된다.In general, a wire saw device is a device capable of simultaneously cutting a plurality of sheets while having a flat cutting surface when cutting ingots for semiconductor wafers, cemented carbides including ceramics, etc., as shown in FIG. 1, mounted on a supply reel 11. Saw wire (S) is supplied from the bobbin (B), which is unsealed, the entrance traversing device (12), a plurality of entrance guide rollers (13) provided with a dancer 14 therebetween, The main roller 15 installed in parallel with each other so as to form a vertex of a triangle, a plurality of exit guide rollers 16 provided with a dancer 17 therebetween, and an exit traversing device 18 mounted on the winding reel 19. Rewinding to the bobbin (B), the main roller 15, the supply reel 11, the take-up reel 19 is connected to the drive motor capable of reverse and reverse, these motors are interlocked together so that the saw wire (S) The tension is adjusted.

그리고, 상기 세 메인 롤러(15)의 각 외주면에는 다수의 원호상 홈이 일정한 간격으로 형성되어 쏘우 와이어(S)가 그 홈을 따라 세 메인 롤러 사이를 평행하게 다수 회 왕복하면서 통과하게 되며, 피절단물 장착 장치 상부 두 메인 롤러 사이에 위치하게 된다.In addition, a plurality of circular arc-shaped grooves are formed at regular intervals on each outer circumferential surface of the three main rollers 15 so that the saw wire S passes through the main rollers reciprocating a plurality of times in parallel. It is located between the two main rollers on the upper part of the cutting apparatus.

상기와 같은 구조로 이루어진 와이어 쏘우 장치를 이용한 반도체 잉고트 등의 피절단물(2)의 절단 과정은, 각 구동모터를 구동시켜 메인 롤러(15)와 가이드 롤러(13)(16) 사이에 감긴 쏘우 와이어(S)에 적정한 장력이 유지되도록 하면서 공급릴(11)로부터 권취릴(19)측으로 쏘우 와이어(S)가 이송되도록 한 후, 상부 두 메인 롤러 중앙 직상에 위치한 피절단물(2)을 하강시켜 이동하는 쏘우 와이어(S)에 밀착시키면 피절단물(2)이 여러 장으로 절단된다.Cutting process of the cutting object 2, such as a semiconductor ingot, using the wire saw device which consists of a structure as mentioned above, the saw | wound which is wound between the main roller 15 and the guide rollers 13 and 16 by driving each drive motor. After the saw wire S is transferred from the supply reel 11 to the take-up reel 19 while maintaining the proper tension on the wire S, the cutting object 2 located directly above the center of the two main rollers is lowered. The cutting object 2 is cut into several sheets by bringing it into close contact with the saw wire S.

상기와 같은 와이어 쏘우 장치는 일반적으로 컴퓨터로 구성된 제어부에 연결되어 제어되며, 절단 작업전 쏘우 와이어의 이송 속도, 피절단물의 사양 등 각종 절단 작업 조건에 대한 자료를 입력하게 되어 있고, 이 초기 입력 자료와 각 구동 모터 등으로 부터 입력되는 피드 백 자료를 연산하여 최적의 절단 작업이 수행되도록 제어된다.The wire saw device as described above is generally connected and controlled by a computer-configured control unit, and inputs data on various cutting work conditions such as the feed speed of the saw wire before cutting and the specification of the cutting object. And it is controlled to perform the optimal cutting operation by calculating the feed back data input from each drive motor.

상기와 같은 와이어 쏘우 장치의 작업 중, 공급 릴에 장착된 공급 보빈에 권취된 소우 와이어를 전량 사용하거나, 권취 릴에 장착된 권취 보빈에 대한 사용된 쏘우 와이어의 권취가 완료되거나, 쏘우 와이어의 단선 또는 이탈되는 경우, 보빈을 교체하거나 단선된 쏘우 와이어를 연결하거나 이탈된 쏘우 와이어를 재장착하기 위하여 와이어 쏘우 장치를 일시적으로 정지시켜야 한다.During the operation of the wire saw device as described above, the entire use of the saw wire wound on the supply bobbin mounted on the supply reel, or the winding of the used saw wire to the winding bobbin mounted on the winding reel is completed, or the saw wire is disconnected. Or if so, the wire saw device must be temporarily stopped to replace the bobbin, to connect the broken saw wire or to refit the broken saw wire.

상기와 같이 정지된 와이어 쏘우 장치를 다시 가동시에는 각 보빈에 권취되어 있는 쏘우 와이어의 권취경이나 잔량을 입력한 후 이를 기초로 하여 릴을 회전시켜 댄서가 움직이는 허용 범위 내의 중앙에 댄서를 위치시킨 상태에서 쏘우 와이어에 적절한 장력을 부여하고, 쏘우 와이어를 서서히 진행시켜 가동전 입력된 권취경에 대한 적절한 보정이 이루어지도록 한 다음 정상적인 고속 작업을 수행하게 된다.When the stationary wire saw device is restarted as described above, the winding diameter or the remaining amount of the saw wire wound around each bobbin is input, and the reel is rotated based on this to position the dancer in the center within the allowable range. In this state, a proper tension is applied to the saw wire, and the saw wire is slowly advanced so that proper correction of the winding diameter input before operation is performed, and then normal high speed operation is performed.

상기와 같이 보빈 교체 직후 가동시 곧 바로 정상 작업에 진입하지 못하는 이유는 다음과 같다.The reason for not immediately entering the normal operation immediately after the bobbin replacement as described above is as follows.

와이어 쏘우 장치에서의 절단 작업 중에는 쏘우 와이어에 일정한 장력이 유지되어야 정밀한 절단 작업이 이루어지고, 이와 같이 쏘우 와이어에 일정한 장력이 유지된 상태에서 절단 작업과 쏘우 와이어의 해권 및 권취가 이루어지기 위해서 각 릴의 회전 속도가 적절히 제어되어야 하며, 이를 제어하기 위하여 각 릴에 장착된 보빈의 권취경이 쏘우 와이어를 제어하는 제어부의 제어 로직에 의해 실시간으로 계산된다.During the cutting operation in the wire saw device, precise cutting is performed only when the tension of the saw wire is maintained.In this way, in order to cut and wind the winding of the saw wire and winding the saw wire while maintaining the tension of the saw wire, The rotational speed of the control unit should be properly controlled, and in order to control the winding speed of the bobbin mounted on each reel, the control logic of the control unit controlling the saw wire is calculated in real time.

즉, 입력된 권취경으로 제어되는 장력과 실제 장력 사이의 편차를 감소시키기 위하여 입력된 권취경에 대한 보정이 가동 초기에 자동적으로 이루어지게 되고, 이와 같은 권취경의 보정이 이루어진 후에 정상 속도로 절단 작업이 가능하게 되는 바, 와이어 쏘우 장치의 가동시 입력된 권취경이나 잔량에 대한 보정에 시간이 필요로 되기 때문에 와이어 쏘우 장치의 가동 직후에는 어느 정도의 시간 만큼 감속 작업이 불가피하게 된다.That is, in order to reduce the deviation between the tension controlled by the input winding diameter and the actual tension, the correction of the input winding diameter is automatically performed at the beginning of the operation, and after such correction of the winding diameter, the cutting operation is performed at a normal speed. Since the time required for the correction of the winding-up diameter and the remaining amount input during the operation of the wire saw apparatus, the deceleration work is inevitable by a certain time immediately after the operation of the wire saw apparatus.

그에 따라, 와이어 쏘우 장치의 생산성이 떨어지게 되고, 쏘우 와이어의 권취경이나 잔량 등이 잘못 입력되는 경우에는 쏘우 와이어의 단선, 탈선 등의 사고가 발생되기도 한다.As a result, the productivity of the wire saw device is lowered, and an accident such as disconnection or derailment of the saw wire may occur when the winding diameter and the remaining amount of the saw wire are incorrectly input.

그리고, 상기와 달리 보빈 교체 후 쏘우 와이어의 권취경이나 잔량을 입력하지 않는 와이어 쏘우 장치가 개발되기도 하였는 바, 이러한 장치에서는 댄서를 중앙 위치에서 상·하로 수 차례 움직이면서 적절한 권취경을 찾아낸 후 정상 가동이 시작된다.Unlike the above, after the bobbin replacement, a wire saw device has been developed that does not input the winding diameter or the remaining amount of the saw wire. In such a device, the dancer moves up and down several times from the center position to find an appropriate winding diameter, and then operates normally. It begins.

그러나, 상기와 같은 경우에도 권취경을 찾아내기 위하여 댄서를 움직이기 위한 조절 시간이 필요로 되며, 권취경을 알지 못하는 상태에서 댄서를 상·하로 움직여 주어야 하기 때문에 쏘우 와이어의 탈선 발생율이 상승하게 되는 문제가 있다.However, even in the above case, it is necessary to adjust the movement time of the dancer in order to find the windshield, and the incidence rate of the saw wire increases because the dancer must be moved up and down without knowing the windshield. there is a problem.

본 발명은 종래 와이어 쏘우 장치에서 쏘우 와이어가 권취된 보빈을 교체하거나 단선 및 탈선 등의 사고 처리 후 와이어 쏘우 장치의 가동시 쏘우 와이어의 권취량이나 잔량 등을 입력하지 않도록 하여 작업자의 노동 부하를 감소시키고, 정상 고속 작업전 권취경을 보정하기 위한 와이어 쏘우 장치의 저속 운전 시간을 단축함으로써, 생산성 향상은 물론 쏘우 와이어의 단선이나 탈선 발생율을 현저히 감소시켜 피절단물의 품질도 향상시킬 수 있는 와이어 쏘우 장치의 가동 방법을 제공 함에 본 발명의 목적이 있다.
The present invention reduces the labor load of the worker by replacing the bobbin wound the saw wire in the conventional wire saw device or by inputting the winding amount or the remaining amount of the saw wire during operation of the wire saw device after accident processing such as disconnection and derailment. By shortening the low-speed operation time of the wire saw device for correcting the winding diameter before normal high-speed operation, the wire saw device can not only improve productivity but also significantly reduce the occurrence of disconnection or derailment of the saw wire, thereby improving the quality of the cutting object. It is an object of the present invention to provide a method of operation.

본 발명의 상기 목적은 댄서의 하한 위치에서 중앙 위치까지의 댄서 이동 거리로부터 보빈의 권취경을 직접 연산할 수 있도록 함으로써 달성된다.The above object of the present invention is achieved by making it possible to directly calculate the winding diameter of the bobbin from the dancer movement distance from the lower limit position of the dancer to the center position.

즉, 본 발명 와이어 쏘우 장치의 가동 방법은, 와이어 쏘우 장치가 정지하여 댄서의 위치가 하한 위치에 있는 상태에서 와이어 쏘우 장치를 가동시키기 위하여 상기 댄서를 중앙 위치까지 움직인 거리로부터 보빈에 권취된 쏘우 와이어의 권취경을 계산함에 본 발명의 기술적 특징이 있으며, 이때 계산된 권취경은 실제 권취경과 일치하기 때문에 댄서를 중앙 위치로 움직인 직후 곧 바로 정상적인 고속 작업이 가능하게 된다.That is, in the method of operating the wire saw device according to the present invention, a saw wound around the bobbin from a distance at which the dancer is moved to the center position in order to operate the wire saw device while the wire saw device is stopped and the dancer position is at the lower limit position. There is a technical feature of the present invention in calculating the winding diameter of the wire, and since the calculated winding diameter is consistent with the actual winding diameter, normal high-speed work is possible immediately after moving the dancer to the center position.

그리고, 상기와 같이 댄서의 이동 거리로부터 보빈의 권취경을 정확히 계산하기 위해서는 댄서암에 결합된 댄서의 하한 위치가 고정되어야 하고, 중앙 위치에는 댄서를 감지할 수 있는 근접 센서와 같은 센서가 구비되어야 하며, 쏘우 와이어를 매개로 하여 상기 댄서를 움직여 주는 릴과 댄서의 회전 각도를 감지할 수 있는 엔코더와 같은 수단이 필요하게 된다.In addition, in order to accurately calculate the winding diameter of the bobbin from the moving distance of the dancer as described above, the lower limit position of the dancer coupled to the dancer arm should be fixed, and a sensor such as a proximity sensor capable of detecting the dancer should be provided at the center position. In addition, a means such as a reel for moving the dancer through a saw wire and an encoder for detecting a rotational angle of the dancer is required.

본 발명의 가동 방법은 댄서의 이동 거리로부터 보빈의 권취경을 정확히 계산해 내는 방법이 중요한 바, 설명의 편의상 일측의 댄서와 릴의 부분 구성도를 도시한 도 2에 의거하여 이를 살펴보면 다음과 같다.The operation method of the present invention is a method of accurately calculating the bobbin winding diameter from the moving distance of the dancer is important. For convenience of explanation, a partial configuration diagram of the dancer and the reel of one side is as follows.

바 형상을 하는 댄서암(A)의 일측 단부에 회전가능하게 결합되며, 댄서암(A) 의 타측 단부를 중심으로 원호상으로 상·하 왕복 이동 가능한 댄서(21) 앞의 전방 가이드롤(RF)은 정지 상태이며, 댄서(21) 다음의 후방 가이드롤(RR)은 회전 가능한 상태에서, 보빈(B)이 장착된 릴을 회전시켜 스톱바(22)에 걸려 하한 위치에 정지하였던 댄서(21)를 근접 센서(s)가 있는 중앙 위치로 상향 이동시켰을 때 댄서(21)와 보빈(B) 권취면의 이동 거리는 다음 식과 같다.A front guide roll R in front of the dancer 21 rotatably coupled to one end of the dancer arm A having a bar shape and movable up and down reciprocally in an arc shape around the other end of the dancer arm A. F ) is in the stopped state, the rear guide roll (R R ) next to the dancer 21 is rotatable state, the dancer who rotated the reel equipped with the bobbin (B) is caught on the stop bar 22 and stopped at the lower limit position. When (21) is moved upward to the center position where the proximity sensor (s) is located, the moving distance between the dancer (21) and the bobbin (B) winding surface is as follows.

Figure 112003032863425-pat00001
Figure 112003032863425-pat00001

Figure 112003032863425-pat00002
Figure 112003032863425-pat00002

상기 식에서, l : 댄서가 움직인 이동 거리, r : 댄서의 회전 반경,Where l is the distance traveled by the dancer, r is the radius of rotation of the dancer,

α : 댄서의 회전 각도, L : 보빈 권취면의 이동 거리,             α: rotation angle of dancer, L: moving distance of bobbin winding surface,

R : 보빈의 권취 반경, θ : 보빈(또는 릴)의 회전 각도.             R: winding radius of bobbin, θ: rotation angle of bobbin (or reel).

이때, 전방 가이드롤(RF)은 정지 상태이기 때문에 상기 전방 가이드롤(RF)과 보빈(B) 사이에 위치한 쏘우 와이어가 릴 측으로 당겨져 댄서가 상승하면서 보빈(B)에 권취되는 바, 전방 가이드롤(RF)과 후방 가이드롤(RR) 사이에 드리워진 쏘우 와이어의 길이가 감소하게 된다.At this time, since the front guide roll (R F ) is in a stationary state, the saw wire located between the front guide roll (R F ) and the bobbin (B) is pulled toward the reel, and the dancer is wound up on the bobbin (B) while the dancer is raised. The length of the saw wire dropped between the guide roll R F and the rear guide roll R R is reduced.

즉, 댄서가 하한 위치 및 중앙 위치에 있을 때 전방 가이드롤(RF)과 후방 가이드롤(RR) 사이에 드리워진 쏘우 와이어의 길이를 각각 l1, l2 라 하면, 릴의 회전에 따라 보빈(B)에 감겨지는 쏘우 와이어의 길이는 다음 식으로 표현된다.That is, the length of the saw wire dropped between the front guide roll (R F ) and the rear guide roll (R R ) when the dancer is at the lower limit position and the center position is l 1 , l 2 , respectively. The length of the saw wire wound on the bobbin B is expressed by the following equation.

Figure 112003032863425-pat00003
Figure 112003032863425-pat00003

Figure 112003032863425-pat00004
Figure 112003032863425-pat00004

따라서, 상기 수학식 2로부터 보빈(B)의 권취 반경(R) 및 권취경(D)은 다음 식과 같이 나타낼 수 있게 된다.Therefore, the winding radius R and the winding diameter D of the bobbin B can be expressed from the following equation.

Figure 112003032863425-pat00005
Figure 112003032863425-pat00006
,
Figure 112003032863425-pat00005
Figure 112003032863425-pat00006
,

Figure 112003032863425-pat00007
Figure 112003032863425-pat00007

상기 수학식 3에서 d, α는 고정된 값이며, θ는 측정값이므로 가동시 정상적인 고속 작업에 필요로 되는 보빈의 정확한 권취경 D를 간단히 계산할 수 있게 되는 바, 상기와 같이 권취경(D)이 계산 제어되는 단계를 도 3에 도시된 블록도에 의거 살펴 보면 다음과 같다.In Equation 3, d and α are fixed values, and θ is a measured value, so that an accurate winding diameter D of bobbins required for normal high speed operation during operation can be easily calculated. This calculation controlled step will be described based on the block diagram shown in FIG. 3.

릴을 회전시켜 쏘우 와이어를 잡아당겨 권취함으로써 하한 위치에 있던 댄서(21)를 중앙 위치측으로 이동시켜 댄서암(A)(또는 댄서)과 보빈(B)(또는 릴)의 위치 신호가 입력되는 단계와;Rotating the reel and pulling and pulling the saw wire to move the dancer 21 in the lower position toward the center position and inputting the position signals of the dancer arms A (or dancers) and the bobbin B (or reels). Wow;

상기 댄서(21)가 중앙 위치에 도달되어 근접 센서(s)의 신호가 입력되는 단계와;The step (21) of reaching the center position to input the signal of the proximity sensor (s);

보빈(B)이 장착된 릴이 정지하는 동시에, 근접 센서(s)의 신호 입력시 함께 입력되는 댄서(21)와 보빈(B)의 위치 신호가 램(RAM)에 저장되는 단계와;At the same time as the reel equipped with the bobbin B is stopped, and the position signals of the dancer 21 and the bobbin B, which are input together when the signal of the proximity sensor s is inputted, are stored in the RAM;

상기 램(31)에 저장된 댄서(21)와 보빈(B)의 위치 신호 및 롬(ROM)에 저장된 상기 수학식 1 내지 3을 이용하여 마이크로 프로세서에서 권취경을 연산하는 단계와;Calculating a winding diameter in a microprocessor using the position signals of the dancer (21) and bobbin (B) stored in the RAM (31) and the equations (1) to (3) stored in a ROM;

연산된 권취경을 모니터 상에 표시하는 동시에 릴 서보 모터 구동 드라이브를 제어하는 단계를 통하여 와이어 쏘우 장치의 가동이 이루어지게 된다.The operation of the wire saw device is performed by displaying the calculated winding diameter on the monitor and controlling the reel servo motor drive drive.

즉, 상기와 같은 일련의 연속된 과정을 통하여 수학식 3에 의해 보빈에 감겨진 쏘우 와이어의 정확한 권취경 D가 계산되며, 상기와 같은 과정은 권취릴과 공급릴 양 측릴에서 이루어져 와이어 쏘우 장치의 가동에 필요한 시작 권취경과 시작 공급경을 동시에 알 수 있게 되나, 가동 상황에 따라 어느 일측 릴과 댄서에서만 이루어질 수도 있다.That is, the correct winding diameter D of the saw wire wound on the bobbin is calculated by Equation 3 through a series of continuous processes as described above, and the above process is performed on both the reel and the supply reel of the wire saw device. The starting winding and starting supply required for operation can be known at the same time, but depending on the operating situation, it can only be made on either side reel and dancer.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명 와이어 쏘우 장치의 릴 제어 방법은 댄서를 단순히 중앙 위치로 이동시킴에 따라 실제의 권취경이 계산되어 곧바로 정상적인 고속 작업이 가능하기 때문에 생산성이 향상되며, 가동에 따른 저속 작업 시간이 감축되어 피절단물의 품질이 향상될 뿐 아니라, 가동시 권취경이나 잔량을 입력할 필요가 없어 작업자의 노동 부하를 감소시킬 수 있고, 오입력 또는 입력 편차 과다에 의한 탈선이나 단선 등이 방지되는 이점이 있다.As described above, in the reel control method of the wire saw device of the present invention, the productivity is improved since the actual winding diameter is calculated by immediately moving the dancer to the center position, so that the normal high speed work can be performed immediately. This reduces the time and improves the quality of the cutting object. It also eliminates the need to enter the winding diameter or remaining amount during operation, which reduces the labor load of the operator and prevents derailment or disconnection due to incorrect input or excessive input deviation. There is an advantage.

Claims (1)

와이어 쏘우가 권취된 보빈이 각각 장착된 한 쌍의 릴 중 일측 릴의 보빈으로부터 타측 릴의 보빈으로 진행하는 와이어 쏘우에 의해 피절단물이 절단되도록 하는 와이어 쏘우 장치를 가동 중 와이어 쏘우 장치를 일시 정지시킨 상태에서 다시 가동시키는 방법에 있어서,Pauses the wire saw device during the operation of a wire saw device that allows cutting of the cutting object by a wire saw running from the bobbin of one reel to the bobbin of the other reel among the pair of reels each of which is equipped with a bobbin wound with a wire saw. In the method of operating again in the 각 릴을 회전시켜 하한 위치에 있던 동일측 댄서(21)를 중앙 위치측으로 이동시켜 각 댄서와 보빈(B)의 위치 신호가 입력되는 단계와;Rotating the reels to move the same dancer 21 at the lower limit to the center position to input position signals of each dancer and the bobbin B; 상기 각 댄서(21)가 중앙 위치에 도달되어 근접 센서(s)의 신호가 입력되는 단계와;The step of reaching each of the dancers (21) to a center position and inputting a signal of the proximity sensor (s); 보빈(B)이 장착된 각 릴이 정지하는 동시에, 근접 센서(s)의 신호 입력시 함께 입력되는 각 댄서(21)와 보빈(B)의 위치 신호가 램(RAM)에 저장되는 단계와;Stopping each reel equipped with the bobbin B and simultaneously storing the position signals of each dancer 21 and the bobbin B, which are input together when the signal of the proximity sensor s is input, into the RAM; 상기 램(31)에 저장된 각 댄서(21)와 보빈(B)의 위치 신호 및 롬(ROM)에 저장된 다음의 수학식을 이용하여 마이크로 프로세서에서 권취경을 연산하는 단계와;Calculating a winding diameter in a microprocessor using position signals of each dancer 21 and bobbin B stored in the RAM 31 and the following equation stored in a ROM; 연산된 권취경을 모니터 상에 표시하는 동시에 각 릴 서보 모터 구동 드라이브를 제어하는 단계를 통하여 가동이 이루어짐을 특징으로 하는 와이어 쏘우 장치의 가동 방법.A method of operating a wire saw device, characterized in that operation is performed by displaying the calculated winding diameter on a monitor and controlling each reel servo motor drive drive. 수학식Equation
Figure 112005070405443-pat00008
,
Figure 112005070405443-pat00009
Figure 112005070405443-pat00008
,
Figure 112005070405443-pat00009
상기 식에서, r : 댄서의 회전 반경, α : 댄서의 회전 각도,Where r is the radius of rotation of the dancer, and α is the angle of rotation of the dancer, R: 보빈의 권취 반경, D: 보빈의 권취경,             R: winding radius of bobbin, D: winding diameter of bobbin, θ : 보빈의 회전 각도             θ: rotation angle of bobbin
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