KR100527675B1 - PCB function test apparatus of semiconductor fabrication facility - Google Patents
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Abstract
본 발명은 하나의 장치, 즉 하나의 장치와 이를 선택적으로 운영하기 위한 프로그램에 의해 반도체 제조설비에서 분리된 인쇄회로기판을 자기 진단할 수 있도록 하는 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치에 관한 것으로, 이는 피측정용 인쇄회로기판과 입/출력 보드를 연결하여 주는 케이블과, 피측정용 인쇄회로기판에서 출력되는 센싱신호를 인터페이싱하여 제어 및 처리수단에 공급하게 되는 입/출력 보드와, 외부 입력으로 선택된 알리고즘에 의해 입/출력 보드를 통한 센싱신호를 분석하여 피측정용 인쇄회로기판을 진단하고 그 결과를 출력하는 제어 및 처리수단과, 이 피측정용 인쇄회로기판의 진단결과를 표시하게 되는 표시수단을 구비하는 것으로서, 반도체 제조설비에서 분리된 인쇄회로기판의 자기 진단을 정확하게 수행함과 아울러 진단시간을 단축할 수 있는 것이다. The present invention relates to a device for testing a printed circuit board function of a semiconductor manufacturing facility which enables self-diagnosis of a printed circuit board separated from the semiconductor manufacturing facility by one device, that is, one device and a program for selectively operating the device. It includes a cable connecting the printed circuit board to be measured and the input / output board, an input / output board for interfacing the sensing signal output from the printed circuit board to be supplied to the control and processing means, and an external input. Control and processing means for diagnosing the printed circuit board under measurement by analyzing the sensing signal through the input / output board by the selected algorithm and displaying the result of the diagnosis, and displaying the diagnosis result of the printed circuit board under measurement. It is provided with a display means, which accurately performs the self-diagnosis of the printed circuit board separated from the semiconductor manufacturing equipment The diagnostic time can be shortened.
Description
본 발명은 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 하나의 장치, 즉 하나의 장치와 이를 선택적으로 운영하기 위한 프로그램에 의해 반도체 제조설비에서 분리된 인쇄회로기판을 자기 진단할 수 있도록 하는 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치(PCB function test apparatus of semiconductor fabrication facility)에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting printed circuit board functions of semiconductor manufacturing equipment. More particularly, the present invention relates to one apparatus, that is, one apparatus and a printed circuit board separated from the semiconductor manufacturing equipment by a program for selectively operating the apparatus. The present invention relates to a printed circuit board functional test apparatus (PCB function test apparatus of semiconductor fabrication facility) for the diagnosis.
반도체 제조과정에는 많은 종류의 설비가 사용되고, 이들 설비들에는 각종 제어 기능들이 있어 작업을 수행하거나, 트러블(trouble)이 발생치 않도록 사전에 점검한다. 그럼에도 불구하고 이런 작업을 제어하는 인쇄회로기판(printed circuit board)에 이상이 발생할 경우에는 설비가 정지될 뿐만아니라, 인쇄회로기판의 이상유무가 확인되지 않는다.Many types of equipment are used in the semiconductor manufacturing process, and these equipments have various control functions to perform work or check in advance to prevent troubles. Nevertheless, if an abnormality occurs in the printed circuit board which controls this operation, the equipment is not only stopped, and no abnormality of the printed circuit board is confirmed.
이에 작업자는 설비에서 분리된 인쇄회로기판이나 이에 설치되는 각종 부품, 다시 말하면 디지털신호 선택칩, 캐리어(carrier) 내의 웨이퍼 매수를 계수하는 기판, 디지털 입/출력 아이솔레이션(isolation) 기판, 건식 에칭설비에서 사용되는 스텝모터 제어기판, 전반적인 설비의 발광 다이오드 불량 유/무를 체크하는 기판 등을 진단하기 위해서 별도의 지그(jig)를 만들어 사용한다.Therefore, the operator may use a printed circuit board separated from the equipment or various components installed therein, that is, a digital signal selection chip, a substrate that counts the number of wafers in a carrier, a digital input / output isolation substrate, and a dry etching equipment. In order to diagnose the step motor control board used and the board for checking the presence / absence of light emitting diode defects of the overall equipment, a separate jig is made and used.
이는 설비에서 불량 인쇄회로기판을 분해한 후 이에 맞는 테스트 지그를 설치하고, 신호 전달용 케이블에 의해 인쇄회로기판과 지그 사이를 연결하여 사용하는 데, 이 지그에는 부품 및 인터페이스 불량유무를 확인할 수 있도록 빛을 발하는 발광 다이오드와 이들의각 기능들의 불량유무를 체크하게 되는 스위치 등이 구성되어 있다.This is to disassemble the defective printed circuit board in the facility and install the test jig suitable for this, and connect the printed circuit board and the jig by using the signal transmission cable. A light emitting diode emitting light and a switch for checking whether each of these functions are defective are configured.
그러나, 위와 같은 지그를 이용하여 인쇄회로기판을 체크하게 되면, 각 설비의 종류에 따라 지그를 별도로 만들어 테스트(test)해야 하기 때문에 지그제작에 따른 손실을 가져오는 한편, 추가비용이 발생되는 결점이 있다.However, if the printed circuit board is checked using the jig as described above, the jig must be made separately and tested according to the type of equipment, resulting in the loss of the jig and the additional cost. have.
위에서 말하고 있는 결점을 없애기 위해서 제안된 본 발명의 목적은 각 설비에서 분해된 인쇄회로기판의 자기 진단을 위한 장치를 구비한 후 이의 동작이 프로그램에 의해 선택적으로 이루어지도록 하여 다수개의 지그를 제작해야 하는 번거로움을 줄이고, 다수개의 지그 제작에 따른 비용손실을 줄일 수 있도록 하는 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치를 제공함에 있다.The object of the present invention proposed to eliminate the above-mentioned drawbacks is to provide a device for self-diagnosis of disassembled printed circuit boards in each facility, and then to make a plurality of jigs by selectively operating the program. It is to provide a printed circuit board function inspection apparatus of a semiconductor manufacturing facility that can reduce the hassle, and to reduce the cost loss of the production of a plurality of jigs.
즉, 본 발명의 목적은 퍼스널 컴퓨터를 이용하여 반도체 제조설비에서 분리된 인쇄회로기판을 자기진단할 수 있도록 하여 정확한 자기진단과 진단시간을 단축할 수 있도록 하는 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치를 제공함에 있다.That is, an object of the present invention is to provide a diagnostic function of the printed circuit board function of the semiconductor manufacturing equipment to enable the self-diagnosis of the printed circuit board separated from the semiconductor manufacturing equipment using a personal computer to shorten the accurate self-diagnosis and diagnosis In providing.
이 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 인쇄 회로기판 기능 검사장치는 피측정용 인쇄회로기판과 입/출력 보드를 연결하며, 상기 인쇄회로기판과의 분리/결합이 용이하도록 콘넥터를 갖는 케이블과, 피측정용 인쇄회로기판에서 출력되는 센싱신호를 인터페이싱하여 제어 및 처리수단에 공급하게 되는 입/출력 보드와, 외부 입력으로 선택된 알리고즘에 의해 입/출력 보드를 통한 센싱신호를 분석하여 피측정용 인쇄회로기판을 진단하고 그 결과를 출력하는 퍼스널 컴퓨터와,이 피측정용 인쇄회로기판의 진단결과를 표시하게 되는 표시수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The printed circuit board function inspection apparatus of the semiconductor manufacturing equipment of the present invention for achieving this object is connected to the printed circuit board and the input / output board to be measured, and has a connector to facilitate the separation / coupling with the printed circuit board Analyzing the sensing signal through the input / output board by an input / output board for interfacing the cable, the sensing signal output from the printed circuit board to be measured and supplying it to the control and processing means, and an algorithm selected as an external input. And a personal computer for diagnosing the printed circuit board for measurement and outputting the result, and display means for displaying the diagnostic result of the printed circuit board for measurement.
이 표시수단은 피측정용 인쇄회로기판의 상태를 표시하는 표시소자와, 피측정용 인쇄회로기판의 불량부분을 표시하는 메시지 표시소자 중 하나 이상으로 구성되는 것이 바람직하며, 이 때 표시소자는 발광소자나 경보음을 출력하는 소자 중 하나 이상으로 구성되며, 이 메시지 표시소자로서는 퍼스널 컴퓨터에 연결되는 모니터를 사용하는 것이 적절하다.Preferably, the display means comprises at least one of a display element for displaying the state of the printed circuit board under measurement and a message display element for displaying a defective portion of the printed circuit board under measurement, wherein the display element emits light. It is suitable to use a monitor connected to a personal computer, which is composed of one or more of the devices and the devices for outputting an alarm sound.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1을 참조하면, 입/출력 보드(2)에 접속된 케이블(3)의 단부에는 피측정용 인쇄회로기판(1)과 분리/결합되는 콘넥터가 접속되어 있고, 이 입/출력 보드(2)는 피측정용 인쇄회로기판(1)과 제어 및 처리부(4:퍼스널 컴퓨터)를 인터페이싱하는 역할을 한다.Referring to Fig. 1, at the end of the cable 3 connected to the input / output board 2, a connector which is separated / combined with the printed circuit board 1 to be measured is connected, and this input / output board 2 ) Serves to interface the printed circuit board 1 to be measured with the control and processing unit 4: a personal computer.
이 제어 및 처리부(4)에는 입력부(6)와 표시부(5), 즉 키보드와 모니터가 접속되어 있으며, 이 제어 및 처리부(4)와 표시부(5) 및 입력부(6)의 동작을 도2에 의해 보다 구체적으로 설명한다. The control and processing unit 4 is connected with an input unit 6 and a display unit 5, i.e., a keyboard and a monitor. The operation of the control and processing unit 4, the display unit 5 and the input unit 6 is shown in FIG. It demonstrates more concretely by the.
먼저, 설비 내에서 이상이 발생된 피측정용 인쇄회로기판(1)을 분리하여 케이블(3)의 단부에 접속된 콘넥터를 연결(S21)한다. 이로서, 피측정용 인쇄회로기판(1)은 케이블(3)을 통해 유입되는 전원과 제어신호에 의해 단독적으로 구동되고, 그 결과에 따른 센싱신호를 케이블(3)을 통해 입/출력 보드(2)로 전송할 수 있게 된다.First, the printed circuit board 1 to be measured having an abnormality generated in the facility is disconnected and the connector connected to the end of the cable 3 is connected (S21). As a result, the printed circuit board 1 to be measured is driven independently by the power and control signals flowing through the cable 3, and the sensing signal according to the result is input / output board 2 through the cable 3. ) Can be sent.
입/출력 보드(2)에 피측정용 인쇄회로기판(1)을 연결한 후 입력부(6)를 조작하여 제어 및 처리부(4)를 구동(S22)시키고, 이어서 작업자는 입력부(6)를 통해 기능 검사하고자 하는 피측정용 인쇄회로기판(1)에 대응하는 프로그램을 선택(S23)한다.After connecting the printed circuit board 1 to be measured to the input / output board 2, the input unit 6 is operated to drive the control and processing unit 4 (S22), and then the operator uses the input unit 6. A program corresponding to the printed circuit board 1 to be tested is selected (S23).
그 다음에 테스트 로직, 즉 피측정용 인쇄회로기판(1)의 어떠한 기능을 측정할 것인지를 선택하면, 이 제어 및 처리부(4)는 해당 피측정용 인쇄회로기판(4)의 소정기능을 측정할 수 있도록 이에 해당하는 제어신호와 전원을 생성하여 입/출력 보드(2)를 통해 피측정용 인쇄회로기판(1)으로 전송한다.Then, the test logic, i.e., which function of the printed circuit board 1 to measure is selected, the control and processing section 4 measures the predetermined function of the printed circuit board 4 to be measured. The control signal and power corresponding thereto are generated so as to be transmitted to the printed circuit board 1 to be measured through the input / output board 2.
그리하면, 피측정용 인쇄회로기판(1)은 제어 및 처리부(4)로부터 입력되는 전원으로 구동되고, 다시 구동에 따른 센싱신호를 입/출력 보드(2)를 통해 제어 및 처리부(4)로 전송한다.Then, the printed circuit board 1 to be measured is driven by the power input from the control and processing unit 4, and the sensing signal according to the driving is sent to the control and processing unit 4 through the input / output board 2 again. send.
센싱신호를 전송받은 제어 및 처리부(4)는 이 센싱신호를 분석하여 피측정용 인쇄회로기판(1)의 정상동작여부를 판정(S25)한다.The control and processing unit 4 receiving the sensing signal analyzes the sensing signal to determine whether the printed circuit board 1 to be measured is in normal operation (S25).
그리고, 피측정용 인쇄회로기판(1)의 소정기능이 정상적으로 이루어지면, 제어 및 처리부(4)는 표시부(5)를 통해 이를 알리는 메시지를 출력함과 아울러 테스트과정이 종료되었는지를 확인(S28)하고, 피측정용 인쇄회로기판(1)의 새로운 기능을 테스트하기 위한 모드가 설정되면 위 단계(S23)(S24) (S25)(S26) 등을 반복해서 수행한다. 물론, 피측정용 인쇄회로기판(1)의 테스트과정이 완전히 종료되면, 제어 및 처리부(4)는 모든 동작을 종료한다(S29).When the predetermined function of the printed circuit board 1 to be measured is normally performed, the control and processing unit 4 outputs a message indicating this through the display unit 5 and confirms whether the test process is completed (S28). When the mode for testing a new function of the printed circuit board 1 to be measured is set, steps S23, S24, S25, S26 and the like are repeatedly performed. Of course, when the test process of the printed circuit board 1 to be measured is completely finished, the control and processing unit 4 ends all operations (S29).
하지만, 위 단계(S26)의 결과 피측정용 인쇄회로기판(1)의 소정기능이 불량으로 판정되는 경우, 제어 및 처리부(4)는 표시부(5)를 통해 이를 알리는 경고신호나 메시지를 출력(S27)한다. 이 때 표시부(5)에는 피측정용 인쇄회로기판(4)의 기능 중 불량인 기능과, 불량이 발생된 부분이 함께 출력된다.However, if the predetermined function of the printed circuit board 1 to be measured is determined to be defective as a result of the step S26, the control and processing unit 4 outputs a warning signal or a message informing of this via the display unit 5 ( S27). At this time, the display unit 5 outputs the defective function and the portion in which the defect occurs among the functions of the printed circuit board 4 to be measured.
이에 따라, 작업자는 표시부(5)에 출력되는 메시지를 보고 피측정용 인쇄회로기판(1)에서 불량이 발생된 부분을 정확하게 찾아 짧은 시간 내에 수리할 수 있는 것이다.Accordingly, the operator can see the message output to the display unit 5 to accurately find the defective portion in the printed circuit board 1 to be measured and repair it within a short time.
따라서, 본 발명에 의하면 설비에서 분해된 인쇄회로기판의 자기 진단을 위한 장치를 구비한 후 이의 동작이 프로그램에 의해 선택적으로 이루어지도록 하여 다수개의 지그를 제작해야 하는 번거로움을 줄이는 한편, 다수개의 지그 제작에 따른 비용손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, a device for self-diagnosis of a printed circuit board disassembled in a facility is provided, and the operation thereof is selectively performed by a program, thereby reducing the trouble of manufacturing a plurality of jigs, and a plurality of jigs. There is an effect that can reduce the cost loss due to manufacturing.
더 나아가서는 퍼스널 컴퓨터를 이용하여 반도체 제조설비에서 분리된 인쇄회로기판을 자기 진단함으로써, 정확한 자기진단과 진단시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.Furthermore, by using the personal computer to self-diagnose the printed circuit board separated from the semiconductor manufacturing equipment, there is an effect that can reduce the accurate self-diagnosis and diagnostic time.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a printed circuit board function inspection apparatus of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 인쇄회로기판 기능 검사장치의 동작상태를 보인 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating an operating state of a printed circuit board function test apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※
1 : 피측정용 인쇄회로기판 2 : 입/출력 보드1: printed circuit board for measurement 2: input / output board
3 : 케이블 4 : 제어 및 처리부 3: cable 4: control and processing unit
5 : 표시부 6 : 입력부5: display unit 6: input unit
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