KR100523508B1 - Clamping device with air booster and constant pressure regulator for control of tiny pressure - Google Patents

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KR100523508B1 KR10-2004-0001366A KR20040001366A KR100523508B1 KR 100523508 B1 KR100523508 B1 KR 100523508B1 KR 20040001366 A KR20040001366 A KR 20040001366A KR 100523508 B1 KR100523508 B1 KR 100523508B1
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 및 저항 등의 금형을 위하여 외부에서 가해야 하는 미세 압력을 에어로 일정하게 조절해 주는 기능을 구비하고 다소 강한 압력에 금형이 부서지는 것을 방지할 수 있는 릴리프 기능을 구비하고 미세 압력으로 클램핑할 수 있는 반도체 소자 및 저항 등의 금형에 이용되는 클램핑 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 에어부스터 기능을 구비한 에어 펌프와, 에어 펌프의 내부에 설치되어 내압을 제거하는 내압제거기와, 압력이 떨어지면 에어를 실린더 내부로 주입하는 솔레노이드 밸브(도 4와 도 5참조)와, 에어를 일정한 압력을 유지할 수 있는 정압 레귤레이터를 구비하고 있으며, 이차 측에는 부하 측에 연결되는 클램핑 부분, 부하 측에서 일정한 압력 이상으로 압력 또는 힘을 가해올 경우에 이를 일시적으로 흡수하여 금형 대상물의 파손을 방지하기 위하여 실린더 내부의 기름을 탱크 내부로 내보내는 릴리프 밸브와, 2차 측의 유압을 나타내는 게이지로 구비하고 미세한 압력을 일정하게 유지시켜주는 특징을 가지고 있다. The present invention has a function to constantly adjust the fine pressure to be applied from the outside for the mold, such as semiconductor devices and resistors with air, and has a relief function to prevent the mold from being broken at a somewhat strong pressure and fine pressure The present invention relates to a clamping device used for a mold such as a semiconductor element and a resistor that can be clamped. More specifically, the present invention provides an air pump having an air booster function, an internal pressure remover installed inside the air pump to remove internal pressure, and a solenoid valve for injecting air into the cylinder when the pressure drops (see FIGS. 4 and 5). ), And a constant pressure regulator capable of maintaining a constant pressure of air, and on the secondary side, a clamping part connected to the load side, and temporarily absorbs it when a pressure or a force is applied at a load higher than a certain pressure on the load side. In order to prevent the breakage of the oil is provided with a relief valve for discharging the oil in the cylinder into the tank, and a gauge indicating the hydraulic pressure of the secondary side and has a feature that keeps the minute pressure constant.

Description

에어부스터와 미세 압력 조절용 정압 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치{Clamping device with air booster and constant pressure regulator for control of tiny pressure}Clamping device with air booster and constant pressure regulator for control of tiny pressure}

본 발명은 반도체 소자 및 저항 등을 금형을 위하여 외부에서 가하는 미세 압력을 에어로 일정하게 조절해 주는 기능을 구비하고 다소 강한 압력에 금형이 부서지는 것을 방지할 수 있는 미세 압력으로 반도체 소자 및 저항 등의 금형에 이용되는 클램핑 장치에 관한 것이다. The present invention has a function of constantly adjusting the micro pressure applied to the outside of the semiconductor element and the resistance for the mold with air, and the semiconductor element and the resistance to a minute pressure that can prevent the mold from being broken at a somewhat strong pressure It is related with the clamping apparatus used for a metal mold | die.

종래에는 반도체소자, 저항 및 커패시터 등의 외부 금형을 위하여 사용된 클램핑 장치가 그 압력이 비교적 높고, 순간적으로 변화하는 압력에 적절히 대처하지 못하거나 일정한 압력을 유지하는데 어려움이 있어서 금형이 깨어지거나 금형이 고르게 형성되지 못하여 불량률이 비교적 많았다는 문제점이 있었다. Conventionally, clamping devices used for external molds such as semiconductor devices, resistors, and capacitors have relatively high pressures, fail to adequately cope with instantaneous pressure changes, or have difficulty maintaining a constant pressure, so that molds are broken or molds are broken. There was a problem that the defect rate was relatively large because it was not evenly formed.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 인식하고, 에어부스터 기능을 구비한 에어 펌프와, 에어 펌프의 내부에 설치되어 내압을 제거하는 내압제거기(공간)와, 압력이 떨어지면 에어를 실린더 내부로 주입하는 솔레노이드 밸브와, 에어가 항상 일정한 압력을 유지할 수 있도록 주입하는 정압 레귤레이터를 구비하고 있으며, 이 차 측에는 부하 측에 연결되는 클램핑 부분과, 부하 측에서 순간적으로 일정한 압력 이상으로 압력(힘)을 가해올 경우에 이를 흡수하여 금형 대상물의 파손을 방지할 수 있는 릴리프 밸브와, 릴리프 밸브에 의하여 빠져나간 유량에 의하여 낮아진 압력을 높이기 위하여 기름을 흡입하는 흡입구(Suction line)와, 2차 측의 유압을 나타내는 게이지로 구비하고 미세한 압력을 항상 균일하게 유지시켜주는 클램핑 장치를 구현하는데 그 목적이 있다. The technical problem to be achieved by the present invention is to recognize the problems of the prior art as described above, an air pump having an air booster function, a pressure-resistant eliminator (space) installed inside the air pump to remove the internal pressure, if the pressure drops It has a solenoid valve for injecting air into the cylinder, a static pressure regulator for injecting air to maintain a constant pressure at all times, and the secondary side has a clamping portion connected to the load side and a momentarily higher than a constant pressure at the load side. A relief valve that absorbs pressure when a pressure is applied and prevents damage to the mold object, a suction line that sucks oil in order to increase the pressure lowered by the flow rate discharged by the relief valve, It is equipped with the gauge which shows the hydraulic pressure of the secondary side, and keeps minute pressure uniformly The main purpose is to implement a clamping device.

본 발명은 반도체 소자 및 저항 등을 금형을 위하여 외부에서 가하는 미세 압력을 에어로 일정하게 조절해 주는 기능을 구비하고 다소 강한 압력에 금형이 부서지는 것을 방지할 수 있는 미세 압력으로 반도체 소자 및 저항 등을 금형에 이용되는 클램핑 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 구성 수단을 보다 구체적으로 살펴보면, 본 발명에 따른 에어부스터는 에어 펌프에 의하여 에어가 에어부스터 내부의 실린더로 주입되면 실린더 내부의 피스톤은 위로 올라가게 되고, 위로 밀려 올라간 피스톤으로 피스톤의 위부분의 공기를 압축하게 되며 압축된 공기는 좁은 관을 통과하면서 압력을 높이는 역할을 한다. 이 때 피스톤을 위로 밀어 올리는 힘(F)은 The present invention has a function of constantly adjusting the micro pressure applied to the outside of the semiconductor element and the resistance for the mold by air, and the semiconductor element and the resistance at a fine pressure that can prevent the mold from being broken at a somewhat strong pressure. It is related with the clamping apparatus used for a metal mold | die. Looking at the construction means according to the present invention in more detail, the air booster according to the present invention, when the air is injected into the cylinder inside the air booster by the air pump is the piston inside the cylinder is raised up, the piston pushed upwards of the piston The upper part of the air is compressed, and the compressed air passes through a narrow tube to increase pressure. At this time, the force (F) to push up the piston

F = A × P (1)F = A × P (1)

(여기서 A 는 실린더 단면적, P 는 피스톤을 미는 공기의 압력)(Where A is the cylinder cross-sectional area and P is the pressure of the air pushing the piston)

로 표시할 수 있다.Can be displayed as

본 발명에 따른 에어부스터의 압력 비는 1 : 2내지 5이고 단면적의 비는 2내지 5 : 1로 설계되어 승압은 상기 수식에 의하여 2내지 5배가 된다. 상기 에어부스터를 이용하여 일정한 압력을 가지는 정압 레귤레이터를 설계/제작한다. 피스톤 내부의 공기압은 압력 측정에 많이 사용되는 브로돈 관에 의하여 측정되고 측정된 압력은 압력게이지에 나타난다. 본 발명에 따른 정압레귤레이터는 압력게이지로 확인하면서 원하는 압력을 입력하여 설정하면, 게이지에 나타난 압력을 유지하기 위하여 입력되는 에어에 의하여 피스톤 내부의 압력이 게이지에 나타난 설정치와 일치하면 솔레노이드 밸브가 닫혀서 에어의 주입을 중단하고 압력이 떨어지면 솔레노이드 밸브를 열어서 에어를 주입하여 압력을 설정치까지 높인다.The pressure ratio of the air booster according to the present invention is 1: 2 to 5 and the ratio of the cross-sectional area is designed to 2 to 5: 1 so that the boosting pressure is 2 to 5 times by the above formula. The air booster is used to design / produce a constant pressure regulator having a constant pressure. The air pressure inside the piston is measured by a brodon tube, which is often used for pressure measurement, and the measured pressure appears in the pressure gauge. When the pressure regulator according to the present invention checks the pressure gauge and inputs and sets the desired pressure, the solenoid valve closes the air when the pressure inside the piston matches the set value indicated on the gauge by the input air to maintain the pressure indicated on the gauge. If the pressure stops and the pressure drops, open the solenoid valve to inject air to increase the pressure to the set point.

도 2에 기초하여 본 발명에 따른 에어부스터와 에어에 의한 정압 레귤레이터의 구성을 구체적으로 살펴보면, 직경이 넓은 실린더에 위치한 일차 측 피스톤(24)의 아래쪽은 에어부스터 내부의 에어 압력을 제어할 수 있게 에어펌프와 에어펌프에서 주입되는 에어가 유입되는 유입구와 유입구를 열고 닫을 수 있는 솔레노이드 밸브(도 4와 도 5참조)를 구비하고 있다. 에어부스터의 일차 측 실린더 내부의 피스톤 위쪽은 2차 측 실린더 피스톤(22)의 아래쪽에 직접 체결되어 있고, 일차측 실린더의 피스톤과 직경이 작고 좁은 이차측 실린더 입구사이에 탄성을 가진 스프링(23)이 부착되어 있어서 에어 펌프를 작동시켜 유입구로 에어를 주입하여 압력을 증가시키면 일차측 실린더 내부(26)의 피스톤을 위쪽으로 밀어 스프링이 수축됨과 동시에 2차측 피스톤 위측의 유압을 증가시킨다. 일차측 에어의 압력이 줄어들면 스프링의 탄성에 의하여 피스톤이 실린더의 아래 측으로 밀려서 내려오게 되고 피스톤이 어느 정도 내려오면, 일차 측 실린더 내벽에 좁고 길게 형성된 홈(25)을 만나게 된다. 피스톤이 스프링의 탄성력으로 계속 내려와 홈의 중간 정도에 위치하면 피스톤의 위 측과 아래 측의 에어가 상기 형성된 홈(25)을 통해서 서로 유통하게 된다. 이때 피스톤에 존재하는 구멍(27)이 열리면서 피스톤의 아래 측과 위 측의 에어 압력이 평형 상태를 이루게 되고 이때 일차측 피스톤과 이차측 피스톤사이에 존재하는 에어(28)는 압력이 없는 상태를 유지하게 된다. 상기 일차측 피스톤과 이차측 피스톤사이에 존재하여 내압을 제거하는 내압흡수기(29)가 설치된다. 이렇게 하여 실린더 내부의 압력이 일정치(설정치)이하로 떨어졌음을 압력 센서(브로돈 관)에 의하여 감지된 압력에 기초하여 레귤레이터는 다시 솔레노이드 밸브를 열고 에어펌프를 가동하여 에어부스터의 일차측 압력을 높여 설정치를 유지시켜줌으로써 항상 실린더의 내부에 존재하는 압력을 일정하게 유지한다. 상기 피스톤의 아래 측 실린더 내부의 적당한 곳에 두개의 공간을 마련하여 소리를 줄이는 역할을 하도록 소음기를 설치한다. 상기 에어부스터에 의하여 증가된 압력은 2차 측 실린더 내부의 피스톤을 위측으로 밀어 올려 이 차측 피스톤 위 측에 존재하는 유압을 증가시키고 증가된 유압은 부하 측 클램프에 전달된다. 2차 측은 부하 측과 직접 연결되어 있어서 부하 측에서 압력을 증가시키면 부하와 직접 연결되어 있는 이차 측의 유압이 순간적으로 증가하게 되므로 이를 완화시켜 부하에 무리가 가지 않게 릴리프 밸브를 설치하여 순간적으로 증가한 유압을 감소시키기 위하여 이차 측 실린더(21) 내부의 기름을 기름 탱크로 내보낸다. 부하를 클램핑하고 있는 힘을 해제하고자 할 경우에는 shut off 밸브와 드레인 밸브를 열어서 실린더 내부의 기름을 기름 탱크로 내보내 실린더 내부의 압력을 줄여서 클램핑을 풀어준다. Looking specifically at the configuration of the air booster and the constant pressure regulator by the air based on the present invention based on Figure 2, the lower side of the primary side piston 24 located in the wide cylinder to control the air pressure inside the air booster It is provided with an air pump and a solenoid valve (see FIGS. 4 and 5) for opening and closing the inlet and the inlet through which the air injected from the air pump flows. The upper part of the piston inside the primary cylinder of the air booster is directly fastened to the lower part of the secondary cylinder piston 22, and has an elastic spring 23 between the piston of the primary cylinder and the small and narrow secondary cylinder inlet. In this case, when the air pump is operated to inject air into the inlet to increase the pressure, the piston in the primary cylinder 26 is pushed upward to contract the spring and increase the hydraulic pressure above the secondary piston. When the pressure of the primary air decreases, the piston is pushed down by the elasticity of the spring, and when the piston is lowered to some extent, a narrow and long groove 25 is formed on the inner wall of the primary cylinder. When the piston is continuously lowered by the elastic force of the spring and positioned in the middle of the groove, the air on the upper side and the lower side of the piston flows through each of the formed grooves 25. At this time, the hole 27 existing in the piston is opened, and the air pressure of the lower side and the upper side of the piston is in equilibrium, and the air 28 existing between the primary piston and the secondary piston maintains no pressure. Done. A pressure absorber 29 is installed between the primary side piston and the secondary side piston to remove internal pressure. In this way, based on the pressure sensed by the pressure sensor (brodon tube) that the pressure inside the cylinder has dropped below a certain value (set point), the regulator opens the solenoid valve again and starts the air pump to restore the primary pressure of the air booster. It maintains the set value by increasing the pressure to keep the pressure inside the cylinder constant. The silencer is installed so as to reduce the sound by providing two spaces in a proper place inside the lower cylinder of the piston. The increased pressure by the air booster pushes the piston inside the secondary cylinder upwards to increase the oil pressure present above the secondary piston and the increased oil pressure is transmitted to the load side clamp. The secondary side is directly connected to the load side, so increasing the pressure at the load side causes an increase in the hydraulic pressure on the secondary side directly connected to the load. In order to reduce the hydraulic pressure, the oil inside the secondary side cylinder 21 is discharged to the oil tank. To release the clamping force of the load, open the shut off valve and drain valve to release the oil in the cylinder to the oil tank to release the clamping by reducing the pressure in the cylinder.

[ 실시 예 ] EXAMPLES

반도체 소자, 저항 및 커패시터의 외형을 성형하기 위하여 사용되는 클램핑 장치를 가지고 본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 도 1에 기초하여 살펴보면, Looking at a specific embodiment according to the present invention with a clamping device used to shape the appearance of semiconductor devices, resistors and capacitors based on FIG.

a) 에어부스터의 일차 측 실린더의 직경은 45㎜로 하고 2차측 실린더의 직경을 22㎜로 하여 구성하여 단면적의 비를 4:1 로 구성하여도 실제로 일차 측에서 가하는 압력의 약 2.5 배가 증가된 압력이 이차 측에 전달하게 되는데 이와 같이 압력이 단면적에 비례하여 증가하지 않은 것은 일차측 및 이차측의 피스톤과 실린더간의 마찰력과 전달과정에서 발생하는 압력 손실 등에 기인한다. a) The diameter of the primary cylinder of the air booster is 45 mm and the diameter of the secondary cylinder is 22 mm. Even though the ratio of the cross-sectional area is 4: 1, the pressure applied from the primary side is actually increased by about 2.5 times. The pressure is transmitted to the secondary side. The pressure does not increase in proportion to the cross-sectional area due to the frictional force between the piston and the cylinder on the primary side and the secondary side and the pressure loss generated during the transfer process.

b) 도 3에서 알 수 있듯이, 부하 측에 클래핑 압력을 10㎏/㎠을 가해야 할 경우에 입력되는 일차측 실린더의 에어입력은 4.5㎏/㎠ 로 입력되면 가능하고 이를 유지하기 위하여 레귤레이터의 설정치를 입력한다.b) As can be seen in Figure 3, the air input of the primary cylinder input when the clapping pressure to the load side should be applied to 10kg / ㎠ is possible if input to 4.5㎏ / ㎠ and to maintain the Enter the setpoint.

c) 에어펌프로 일차 측 실린더 내부(26)로 에어를 주입하여 피스톤의 압력을 증가시킨다. c) Inject air into the inner cylinder 26 with an air pump to increase the pressure of the piston.

d) 상기 설정한 설정치 압력에 도달하면 에어 펌프의 가압을 멈추기 위하여 솔레노이드의 밸브를 닫는다. d) When the set pressure is reached, the solenoid valve is closed to stop pressurization of the air pump.

e) 가압에 의하여 증가된 실린더 내부의 에어 압력이 떨어지면 일차 측 실린더 내부의 피스톤이 아래로 내려오게 되고 피스톤이 실린더 내부에 형성시킨 좁고 긴 홈(25)의 중간까지 내려오면, 일차측 실린더 내부의 피스톤의 위 측과 아래 측 에어들이 서로 유통이 됨과 동시에 일차 측 피스톤(24)에 뚫린 구멍이 열리면서 일차측 실린더 내부의 피스톤의 위 측과 아래 측 에어 압력이 평형상태로 가면서 에어의 압력이 설정치 이하로 떨어짐을 감지한 압력 센서가 솔래노이드 밸브를 열고 에어펌프를 동작시켜 일차측 실린더 내부의 피스톤에 가하는 에어의 압력을 증가시킨다. e) When the air pressure inside the cylinder increased by pressurization drops, the piston inside the primary cylinder descends, and when the piston descends to the middle of the narrow and long groove 25 formed inside the cylinder, As the upper and lower air of the piston flows to each other and the hole opened in the primary piston 24 opens, the upper and lower air pressures of the piston inside the primary cylinder go to equilibrium, and the air pressure is lower than the set value. The pressure sensor, which senses a drop, opens the solenoid valve and starts the air pump to increase the pressure of the air applied to the piston inside the primary cylinder.

f) 상기와 같이 하여 이차 측에 전달된 일정한 압력은 이차 측 피스톤에 전달되고 이차 측 피스톤에 의하여 이차 측 실린더 내부의 기름의 압력을 제어하여 부하 측에 전달한다.f) As described above, the constant pressure transmitted to the secondary side is transmitted to the secondary side piston and is controlled by the secondary side piston to control the pressure of oil inside the secondary side cylinder to the load side.

g) 전달된 압력은 성형 대상물의 외부 구조물을 클램핑하는데 전달된다.g) the delivered pressure is transmitted to clamp the external structure of the molding object.

h) 어떠한 외부 원인에 의하여 외부 구조물에 가해지는 순간 압력이 증가하면 릴리프 밸브에 의하여 실린더 내부의 기름을 기름 탱크로 흘러 보내어 클램핑을 위한 압력을 줄여 성형 대상물에 과다한 압력이 가해지는 것을 방지한다.h) When the pressure increases to the external structure due to any external cause, the oil inside the cylinder is flowed into the oil tank by the relief valve to reduce the pressure for clamping to prevent excessive pressure on the molding object.

i) 클램핑을 해제하기 위하여서는 shut off 밸브와 드레인 라인을 통해서 기름을 기름 탱크로 내보냄으로 이루어진다. i) Release the clamp by sending oil to the oil tank through shut off valve and drain line.

본 발명은 일차 측에는 에어부스터 기능을 구비한 에어 펌프와, 에어 펌프의 내부에 부착되어 내압을 제거하는 내압제거기와, 압력이 떨어지면 에어를 실린더 내부로 주입하는 솔레노이드 밸브와, 에어 압력을 일정하게 유지할 수 있는 레귤레이터를 구비하고 있으며, 이 차 측에는 부하 측에 연결되는 클램핑 부분, 부하 측에서 순간적으로 일정한 압력 이상으로 압력을 가해올 경우에 이를 흡수하여 금형 대상물의 파손을 방지할 수 있는 릴리프 밸브와, 릴리프 밸브에 의하여 빠져나간 유량에 의하여 낮아진 압력을 높이기 위하여 기름을 흡입하는 흡입구(Suction line)와, 2차 측의 유압을 나타내는 게이지하고 구비하고 있으므로 미세한 압력을 항상 일정하게 유지시켜주는 작용효과가 있다.According to the present invention, an air pump having an air booster function on the primary side, an internal pressure remover attached to the inside of the air pump to remove internal pressure, a solenoid valve for injecting air into the cylinder when the pressure drops, and a constant air pressure are maintained. It is equipped with a regulator, and the secondary side has a clamping part connected to the load side, a relief valve that can absorb the pressure when the pressure is applied at a constant pressure or more at the load side to prevent the damage of the mold object, In order to increase the pressure lowered by the flow rate released by the relief valve, it is equipped with a suction line for sucking oil and a gauge indicating the hydraulic pressure of the secondary side, which has an effect of maintaining a constant pressure at all times. .

도 1은 본 발명에 따른 전체 장치의 구성도. 1 is a block diagram of an entire apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 일/이차 실린더 구조2 is a primary / secondary cylinder structure according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 에어부스터의 실험결과 입력 대 출력의 압력3 is the pressure of the experimental results input to output pressure of the air booster according to the present invention

도 4와 도 5는 본 발명에 따른 클램핑 장치도. 4 and 5 show a clamping device according to the invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

21: 2차측 실린더(기름임) 22: 2차측 피스톤21: secondary cylinder (oil) 22: secondary piston

23: 스프링 24: 2차측 피스톤23: spring 24: secondary side piston

25: 실린더 내부의 홈 26: 1차 측 실린더(에어)25: groove inside the cylinder 26: primary cylinder (air)

27: 1차 측 피스톤에 뚫린 구멍 28: 압력이 존재하지 않는 에어 공간27: Hole punched in the piston on the primary side 28: Air space without pressure

29: 내압제거기29: Pressure Relief

Claims (6)

미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치에 있어서, In the clamping device having a regulator for maintaining a constant minute pressure, 실린더의 단면적을 이용하여 에어의 압력을 증폭시켜 이차 측에 전달하는 에어부스터와,An air booster that amplifies the pressure of air using the cross-sectional area of the cylinder and delivers it to the secondary side; 클램프에 필요한 압력을 입력하는 설정치 입력 수단과,Set value input means for inputting a pressure required for the clamp; 상기 설정치 압력을 유지하기 위하여 실린더 내부의 공기압을 감지하는 수단과, Means for sensing the air pressure inside the cylinder to maintain the set pressure; 상기 감지 수단과 연동하여 에어의 압력이 상기 설정치보다 떨어지면 솔레노이드 밸브를 열어서 실린더 내부로 에어를 주입하는 에어 펌프와, An air pump for injecting air into the cylinder by opening the solenoid valve when the pressure of the air in conjunction with the sensing means falls below the set value; 상기 에어부스터에 의하여 증폭된 에어 압력을 전달 받은 단면적이 좁은 실린더 내부의 피스톤에 의하여 제어되는 유압제어부와,A hydraulic control unit controlled by a piston in a cylinder having a narrow cross-sectional area receiving the air pressure amplified by the air booster; 상기 유압제어부에서 나온 기름의 압력을 클램핑을 위한 구조물에 전달하는 수단을 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치. And a means for transmitting the pressure of the oil from the hydraulic control unit to the structure for clamping. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 에어부스트는 미세한 압력을 용이하게 제어하기 위하여 일차측 실린더 내부에 형성시킨 좁고 긴 홈과,The air boost is narrow and long grooves formed in the primary cylinder in order to easily control the minute pressure, 상기 일차측 실린더 피스톤이 상기 홈 사이(중간부분)에 위치하면 피스톤 상에 형성된 구멍을 열어주는 수단과,Means for opening a hole formed on the piston when the primary cylinder piston is located between the grooves (middle portion); 일차측 실린더 압력에 따라서 피스톤을 움직이게 하는 탄성을 가진 스프링을 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치.A clamping device with a regulator for maintaining a constant minute pressure, characterized in that it has an elastic spring for moving the piston in accordance with the primary cylinder pressure. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 에어부스트는 실린더 내부의 압력을 제거하는 내압제어기를 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치.The air boost has a pressure controller for removing the pressure in the cylinder, characterized in that the clamping device having a regulator for maintaining a constant minute pressure. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 유압제어부는 부하 측에서 순간적으로 압력이 증가하면 이를 흡수할 수 있는 릴리프 밸브를 더 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치.The hydraulic control unit is a clamping device having a regulator for maintaining a constant minute pressure, characterized in that it further comprises a relief valve that can absorb the instantaneous increase in pressure on the load side. 청구항 4에 있어서, The method according to claim 4, 상기 유압제어부는 클램핑의 해제를 신속하게 하기 위하여 드레인 라인과 셧 오프(shut off) 밸브를 더 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치.And the hydraulic control unit further comprises a drain line and a shut off valve for quickly releasing the clamping. 청구항 5에 있어서, The method according to claim 5, 상기 유압제어부는 클램핑을 위한 미세 압력을 항상 관측할 수 있는 압력게이지를 더 구비함을 특징으로 하는 미세한 압력을 일정하게 유지하기 위한 레귤레이터를 구비한 클램핑 장치.The hydraulic control unit is a clamping device having a regulator for maintaining a constant minute pressure, characterized in that further comprising a pressure gauge that can always observe the minute pressure for clamping.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101332472B1 (en) * 2011-03-07 2013-11-25 송윤섭 Air pressure supplying device

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