KR100519791B1 - Motor fixing device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 모터고정장치에 관한 것으로서, 그 중앙부에 모터의 구동축이 관통하도록 제1관통홀이 형성된 제1평판으로 이루어지며, 상기 제1관통홀 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판의 일면으로부터 소정높이를 유지하도록 형성된 걸림돌기를 갖는 제1모터고정부재; 및 그 중앙부에 상기 제1관통홀과 대응하는 제2관통홀이 형성된 제2평판으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기가 소정의 위치에서 걸리도록 상기 걸림돌기가 삽입되는 복수의 삽입부가 마련됨과 아울러 상기 관통홀의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판 일면으로부터 소정의 간격을 두고 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 포함한다.The present invention relates to a motor fixing apparatus, comprising a first flat plate having a first through hole formed to penetrate a driving shaft of a motor at a central portion thereof, the first flat plate being formed at a predetermined interval around the first through hole. A first motor fixing member having a locking protrusion formed to maintain a predetermined height from one surface of the first motor fixing member; And a second flat plate having a second through hole corresponding to the first through hole at a central portion thereof, wherein the stopping protrusion is caught by a predetermined position by rotating the first motor fixing member in a predetermined direction. The second motor fixing member is provided with a plurality of insertion parts to be inserted and formed on the periphery of the through hole, and the locking step is formed at a predetermined distance from one surface of the second flat plate.
상술한 구성에 의하여 모터를 걸림돌기가 형성된 제1모터고정부재와, 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 채용하여 소정의 방향으로 회전 또는 역회전시켜 모터를 분리 또는 결합시키는 구조로 모터를 고정시킴에 따라 체결나사를 통해 체결하는 불필요한 작업을 줄일 수 있는 이점이 있다.Fixing the motor by a structure that separates or couples the motor by rotating or reverse-rotating in a predetermined direction by employing the first motor fixing member in which the locking projection is formed by the above-described configuration and the second motor fixing member in which the locking projection is formed. According to this there is an advantage that can reduce unnecessary work to fasten through the fastening screw.
또한, 체결 및 분리작업을 위해 별도의 도구를 사용하지 않고 사람의 손으로만 작업이 가능한 이점이 있다. In addition, there is an advantage that can be performed only by the human hand without using a separate tool for fastening and detaching work.
또한, 체결나사의 사이즈가 작아 무리한 힘으로 돌릴 경우 체결나사가 파손되거나 분해 후 그 분리된 체결나사를 분실하는 위험성을 해소시키는 이점이 있다.In addition, when the size of the fastening screw is small and turned by excessive force, there is an advantage of eliminating the risk that the fastening screw is broken or lost after being disassembled.
Description
본 발명은 모터 고정장치에 관한 것으로서, 반도체 제조설비 예컨대 노광설비 등의 웨이퍼 반송부 등에 적용되는 소형 모터에 있어 그 모터의 고정구조를 개선하여 손쉽게 고정 및 조립이 가능토록 하는 모터 고정장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a motor fixing device, and more particularly, to a motor fixing device which can be easily fixed and assembled by improving the fixing structure of the motor in a small motor applied to a wafer conveying part such as a semiconductor manufacturing facility such as an exposure facility. .
일반적으로 반도체 제조설비들은 웨이퍼를 이송하거나 설비내의 각종 가동체를 움직이기 위해서 다양한 구동장치들이 설치된다.In general, semiconductor manufacturing facilities are equipped with various driving apparatuses for transferring wafers or moving various movable bodies in the apparatus.
그 구동장치의 일 예로 노광장치의 웨이퍼 공급부 평판 내에 설치되며, 상기 웨이퍼 공급부는 웨이퍼를 직접 지지하며 운반하는 받침대와, 상기 받침대를 구동시키기 위한 구동부분으로 구분될 수 있다. 그 구동부분은 받침대와, 직접 연결되어 받침대의 움직임을 보조해주는 가이드들과, 각 가이드를 움직이는 모터로 구성된다.As an example of the driving device, the wafer supply unit may be installed in a flat plate of the wafer supply unit of the exposure apparatus, and the wafer supply unit may be divided into a pedestal for directly supporting and transporting the wafer and a driving part for driving the pedestal. The drive portion consists of a pedestal, guides directly connected to assist the movement of the pedestal, and a motor for moving each guide.
상기 모터는 웨이퍼공급부 몸체와 같은 내부에 지지블록을 통하여 고정되는 것이 일반적이며 그 구성은 도 1과 같다.The motor is generally fixed through a support block in the same body as the wafer supply unit, the configuration of which is as shown in FIG.
도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼 공급부 몸체(100)의 내부에서 모터(50)는 모터지지용 블록(10)을 통해 고정되어 있으며, 모터의 동력축(52)이 커플링(70)을 통해 가이드(60)와 연결되어 있다.As shown in FIG. 1, the motor 50 is fixed through the motor support block 10 in the wafer supply body 100, and the power shaft 52 of the motor is guided through the coupling 70. It is connected with (60).
모터지지용 블록(10)은 “ㄱ”자 형태의 꺽쇠이며, 일면이 볼트(54)와 같은 결합수단을 통해 웨이퍼 공급부 몸체(100) 내부에 고정되고, 다른 면에 모터 고정홀(18)이 형성되며, 모터고정홀(18)을 통해 모터(50)가 끼워져 모터가 지지된다.The motor support block 10 is a cramp of “a” shape, one side of which is fixed inside the wafer supply body 100 through a coupling means such as a bolt 54, and the other side of the motor fixing hole 18 is provided. The motor 50 is inserted through the motor fixing hole 18 to support the motor.
상기 모터고정홀(18)이 형성된 둘레부에는 체결홀(11)이 형성된 볼트(55)에 의해 모터(50)가 고정된다. The motor 50 is fixed to the circumferential portion where the motor fixing hole 18 is formed by the bolt 55 on which the fastening hole 11 is formed.
상기와 같은 모터는 최근 소형모터가 많이 장착되는데, 그와 같이 소형으로 되다보니 볼트(54,55) 또한 소형으로 제작되어 정비 및 교체 등의 목적으로 볼트(54,55)에 힘을 가해 돌릴 경우 쉽게 파손되거나 드라이버를 삽입하여 회전 시 원활하게 돌지 못하여 그 분해가 어려운 문제점이 발생하였다.The motor as described above is equipped with a lot of small motors recently, and as such, the bolts (54, 55) are also made compact so that when the force applied to the bolts (54, 55) for the purpose of maintenance and replacement, etc. Easily broken or difficult to disassemble because the screwdriver is not rotated smoothly when rotating.
또한, 모터를 분해할 경우 분해된 체결나사가 쉽게 분실되고 그와 같은 상태에서 모터를 고정하니 고정이 허술하게 되어 모터 구동상태에 영향을 끼치는 문제점이 있다.In addition, when disassembling the motor, the disassembled fastening screw is easily lost, and fixing the motor in such a state causes the fixing to be poor, affecting the motor driving state.
또한, 그 분해 및 체결작업을 위해서는 반드시 별도의 추가공구인 드라이버를 사용해야만 하는 불편함이 있다. In addition, for the disassembly and fastening work, there is an inconvenience of having to use a separate additional tool driver.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 모터를 볼트에 의해 고정하는 것을 개선하여 단순히 착탈식으로 구현함에 따라 그 결합 및 분리가 용이하도록 하는 모터고정장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to improve the fixing of the motor by bolts simply provide a motor fixing device to facilitate the coupling and detachment as implemented by detachable. There is.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 그 중앙부에 모터의 구동축이 관통하도록 제1관통홀이 형성된 제1평판으로 이루어지며, 상기 관통홀 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판의 일면으로부터 소정높이를 유지하도록 형성된 걸림돌기를 갖는 제1모터고정부재; 및 그 중앙부에 상기 제1관통홀과 대응하는 제2관통홀이 형성된 제2평판으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기가 소정의 위치에서 걸리도록 상기 걸림돌기가 삽입되는 복수의 삽입부가 마련됨과 아울러 상기 관통홀의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판 일면으로부터 소정의 간격을 두고 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention comprises a first flat plate formed with a first through-hole formed so that the drive shaft of the motor penetrates in the center thereof, and is formed at predetermined intervals around the through-hole, but having one surface of the first flat plate. A first motor fixing member having a locking protrusion formed to maintain a predetermined height from the first motor fixing member; And a second flat plate having a second through hole corresponding to the first through hole at a central portion thereof, wherein the stopping protrusion is caught by a predetermined position by rotating the first motor fixing member in a predetermined direction. And a second motor fixing member which is provided with a plurality of inserts to be inserted and is formed at a circumference of the through hole and has a locking step at a predetermined distance from one surface of the second flat plate.
상기 걸림돌기의 저면에는 볼베어링이 설치되고; 상기 걸림턱의 저면에는 상기 볼베어링이 삽입되는 오목홈이 형성되어 상기 삽입부를 통해 삽입된 걸림돌기가 소정방향 회전되어 소정의 위치에서 고정되도록 구성된다. Ball bearings are installed on the bottom of the locking projections; A concave groove into which the ball bearing is inserted is formed at the bottom of the locking jaw so that the locking projection inserted through the insertion part is rotated in a predetermined direction to be fixed at a predetermined position.
상기 제1모터고정부재는 모터에 고정되고; 상기 제2모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정된다. The first motor fixing member is fixed to the motor; The second motor fixing member is fixed to the other object to which the motor is to be fixed.
상기 제2모터고정부재는 모터에 고정되고; 상기 제1모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정된다.The second motor fixing member is fixed to the motor; The first motor fixing member is fixed to the other object to which the motor is to be fixed.
이하, 첨부된 도면 도 2 내지 도 3을 참조로 하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 구성 및 작용에 대해서 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings 2 to 3 will be described the configuration and operation according to an embodiment of the present invention.
상기 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치(200)는 크게 제1모터고정부재(210)와, 제2모터고정부재(230)가 한 쌍을 이루도록 구성된다.As shown in the drawing, the motor fixing device 200 according to the exemplary embodiment of the present invention is configured such that the first motor fixing member 210 and the second motor fixing member 230 are paired.
상기 제1모터고정부재(210)는 그 중앙부에 모터(201)의 구동축(201a)이 관통하도록 제1관통홀(211)이 형성된 제1평판(212)으로 이루어지며, 상기 제1관통홀(211) 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판(212)의 일면으로부터 소정의 간격(D1)를 유지하여 복수의 걸림돌기(213)가 형성된다.The first motor fixing member 210 is formed of a first flat plate 212 having a first through hole 211 formed therein so that the drive shaft 201a of the motor 201 penetrates at a central portion thereof. 211) a plurality of locking protrusions 213 are formed at predetermined intervals, while maintaining a predetermined distance D 1 from one surface of the first flat plate 212.
다음, 상기 제2모터고정부재(230)는 그 중앙부에 상기 제1관통홀(211)과 대응하는 제2관통홀(231)이 형성된 제2평판(232)으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재(210)를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기(213)가 소정의 위치에서 걸리도록 걸림돌기(213)가 삽입되는 복수의 삽입부(233a)가 마련됨과 아울러 상기 제2관통홀(231)의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판(232)의 일면으로부터 소정의 간격(D2)을 두고 걸림턱(233)이 형성된 것이다.Next, the second motor fixing member 230 is formed of a second flat plate 232 having a second through hole 231 corresponding to the first through hole 211 at the center thereof, and fixing the first motor. As the member 210 is rotated in a predetermined direction, a plurality of inserting portions 233a into which the locking protrusions 213 are inserted are provided such that the locking protrusions 213 are caught at a predetermined position, and the second through hole 231 is provided. It is formed in the periphery of the but the locking step 233 is formed at a predetermined distance (D 2 ) from one surface of the second flat plate 232.
다음, 상기 걸림돌기(213)의 저면에는 볼베어링(215)이 설치되고, 상기 걸림턱(233)의 저면에는 상기 볼베어링(215)이 삽입되는 오목홈(235)이 형성되어 상기 걸림돌기(213)가 걸림턱(233)의 삽입부(233a)를 통해 삽입된 후 소정방향 회전되면, 상기 볼베어링(215)이 상기 오목홈(235)에 삽입되어 걸리도록 하여 상기 제1고정부재(210)를 제2고정부재(230)에 고정시키도록 구성된다. Next, a ball bearing 215 is installed on the bottom of the locking protrusion 213, and a recess 235 is formed on the bottom of the locking jaw 233 so that the ball bearing 215 is inserted into the locking protrusion 213. Is inserted through the insertion portion 233a of the locking jaw 233 and then rotated in a predetermined direction, the ball bearing 215 is inserted into the concave groove 235 so as to catch the first fixing member 210. It is configured to be fixed to the two fixing member (230).
상기 볼베어링(215)을 채용함은 상기 제1고정부재(210)를 회전시킬 때 회전이 자유롭게 하도록 하기 위함이다. The ball bearing 215 is used to freely rotate when the first fixing member 210 is rotated.
도면에서 미설명부호(241)는 모터(201)를 상기 제1모터고정부재(210)의 제1평판(211)에 형성된 체결홀(211a)를 통해 상기 모터(201)를 결합시키는 체결나사를 나타낸다. In the drawing, reference numeral 241 denotes a fastening screw for coupling the motor 201 to the motor 201 through a fastening hole 211a formed in the first flat plate 211 of the first motor fixing member 210. Indicates.
다음 미설명부호(250)는 상기 제2모터고정부재(230)를 고정시키기 위한 타측 대상물(예컨대 웨이퍼 공급 몸체)을 나타내는 것으로서, 체결나사(243)를 매개로 상기 타측대상물(250)에 상기 제2모터고정부재(230)가 결합된다.Next, reference numeral 250 denotes another object (for example, a wafer supply body) for fixing the second motor fixing member 230, and the second object fixing member 230 is attached to the other object 250 through a fastening screw 243. 2 motor fixing member 230 is coupled.
상기 도면에서 모터(201)가 제1모터고정부재(210)에 결합되고, 제2모터고정부재(230)가 타측 대상물에 결합된 것으로 도시하였으나, 그 결합위치를 변경하여 사용할 수 있다.In the drawing, although the motor 201 is coupled to the first motor fixing member 210 and the second motor fixing member 230 is coupled to the other object, the coupling position may be changed.
이때, 상기 모터(210)와 결합되는 평판은 상기 모터(201)의 접촉면과 대응된 형상인 원형으로 제작함이 바람직 할 것이다.In this case, the flat plate coupled to the motor 210 may be manufactured in a circular shape corresponding to the contact surface of the motor 201.
다음은 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치의 결합 및 분리동작에 대해서 자세히 설명한다.Next will be described in detail the coupling and disconnection operation of the motor fixing device according to an embodiment of the present invention configured as described above.
먼저, 모터(201)를 고정하고자 할 경우에는 체결나사(241)를 통해 모터(201)를 제1모터고정부재(210)의 제1평판(212)일면에 결합시킨다.First, when the motor 201 is to be fixed, the motor 201 is coupled to one surface of the first flat plate 212 of the first motor fixing member 210 through the fastening screw 241.
다음, 제2모터고정부재(230)의 제2평판(232) 일면을 타측고정설비(250 : 예컨대 웨이퍼 공급부 몸체)에 접촉시켜 체결나사(243)를 통해 결합한다.Next, one surface of the second flat plate 232 of the second motor fixing member 230 is brought into contact with the other fixing device 250 (for example, the wafer supply unit body) and coupled through the fastening screw 243.
그후, 상기 제1모터고정부재(210)의 걸림돌기(213)를 상기 제2모터고정부재(230)의 삽입부(233a)의 위치에 위치시켜 삽입시킨 후 시계방향 또는 그 반대방향으로 회전시킨다.Thereafter, the locking protrusion 213 of the first motor fixing member 210 is positioned at the position of the insertion portion 233a of the second motor fixing member 230 to be inserted therein, and then rotated in a clockwise or opposite direction. .
이때, 상기 걸림돌기(213)의 저면에 설치된 볼베어링(215)은 상기 걸림턱(233)의 저면과 접촉되어 구름운동을 하다가 상기 걸림턱(233)의 저면에 형성된 오목홈(235)의 위치에 오면 끼워져서 더 이상 회전이 되지 않게 되어 제1모터고정부재(210)를 제2모터고정부재(230)에 결합시켜 모터(201) 결합작업을 완료한다.At this time, the ball bearing 215 installed on the bottom surface of the locking projection 213 is in contact with the bottom surface of the locking jaw 233 to make a cloud movement at the position of the concave groove 235 formed on the bottom of the locking jaw 233 When it is inserted, it is no longer rotated so that the first motor fixing member 210 is coupled to the second motor fixing member 230 to complete the motor 201 coupling operation.
다음, 모터(201)의 수명이 다하여 교체를 하거나, 또는 정비를 요할 경우 상술한 결합 동작의 역순에 의해 제1모터고정부재(210)를 회전시켜 분리하면 된다.Next, when the life of the motor 201 is replaced, or when the maintenance is required, the first motor fixing member 210 may be rotated and separated by the reverse order of the above-described coupling operation.
상술한 바와 같이 모터를 걸림돌기가 형성된 제1모터고정부재와, 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 채용하여 소정의 방향으로 회전 또는 역회전시켜 모터를 분리 또는 결합시키는 구조로 모터를 고정시킴에 따라 체결나사를 통해 체결하는 불필요한 작업을 줄일 수 있는 이점이 있다.As described above, the motor is fixed to a structure that separates or couples the motor by rotating or reversely rotating the motor by employing the first motor fixing member in which the locking protrusion is formed and the second motor fixing member in which the locking jaw is formed. Therefore, there is an advantage that can reduce unnecessary work to fasten through the fastening screw.
또한, 체결 및 분리작업을 위해 별도의 도구를 사용하지 않고 사람의 손으로만 작업이 가능한 이점이 있다. In addition, there is an advantage that can be performed only by the human hand without using a separate tool for fastening and detaching work.
또한, 체결나사의 사이즈가 작아 무리한 힘으로 돌릴 경우 체결나사가 파손되거나 분해 후 그 분리된 체결나사를 분실하는 위험성을 해소시키는 이점이 있다. In addition, when the size of the fastening screw is small and turned by excessive force, there is an advantage of eliminating the risk that the fastening screw is broken or lost after being disassembled.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described. However, various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the claims below and equivalents thereof.
도 1은 종래의 모터고정장치의 구성을 개략적을 도시한 도면,1 is a view schematically showing the configuration of a conventional motor fixing device;
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면, 2 is a view schematically showing the configuration of a motor fixing device according to an embodiment of the present invention;
도 3은 상기 도 2가 결합된 상태의 종단면도이다. 3 is a longitudinal sectional view of the state in which FIG. 2 is coupled;
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
200 : 모터고정장치 201 : 모터200: motor fixing device 201: motor
201a : 구동축 210 : 제1모터고정부재201a: drive shaft 210: first motor fixing member
211 : 제1관통홀 212 : 제1평판211: first through hole 212: first plate
213 : 걸림돌기 215 : 볼베어어링213: jamming protrusion 215: ball bearing
230 : 제2모터고정부재 231 : 제2관통홀230: second motor fixing member 231: second through hole
232 : 제2평판 233 : 걸림턱232: second plate 233: locking jaw
233a : 삽입부 235 : 오목홈233a: insertion portion 235: concave groove
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |