KR100515969B1 - Solenoid valve and vacuum supplying curcuit using it - Google Patents

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KR100515969B1
KR100515969B1 KR10-1999-0012634A KR19990012634A KR100515969B1 KR 100515969 B1 KR100515969 B1 KR 100515969B1 KR 19990012634 A KR19990012634 A KR 19990012634A KR 100515969 B1 KR100515969 B1 KR 100515969B1
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Abstract

본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로가 제공된다.According to the present invention, according to the present invention, there is provided a vacuum chamber having a predetermined volume of internal space, wherein a vacuum is supplied at a first position and a vacuum is released at a second position, a first position and a second position. A second port connected to the vacuum chamber at, a main vacuum supplied by being connected to the first port at a first position, and a vacuum supplied from the vacuum chamber by being connected to the vacuum chamber via the second port at a second position A vacuum supply solenoid valve having a third port supplied with the second port and a fourth port connected to the vacuum chamber at a first position to provide a sub vacuum to the vacuum chamber and to be closed at the second position; Provided is a hydraulic circuit for vacuum supply comprising a; vacuum operation unit for applying a vacuum provided therefrom by being connected to the third port of the solenoid valve.

Description

솔레노이드 밸브 및 그것을 이용한 진공 공급용 유압 회로{Solenoid valve and vacuum supplying curcuit using it}Solenoid valve and vacuum supplying curcuit using it

본 발명은 솔레노이드 밸브와 그를 이용한 진공 공급용 유압 회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부품 실장기나 다이 본딩 장치등에서 사용되는 부품 흡착 및 장착용 유압 회로에 적용될 수 있는 솔레노이드 밸브와 그를 이용한 진공 공급용 유압 회로에 관한 것이다.The present invention relates to a solenoid valve and a hydraulic circuit for vacuum supply using the same, and more particularly, a solenoid valve and a hydraulic pressure for vacuum supply using the same, which can be applied to a component adsorption and mounting hydraulic circuit used in a component mounter or a die bonding apparatus. It is about a circuit.

통상적으로 부품 실장기나 다이 본딩 장치와 같은 장비에서는 진공을 이용하여 부품 흡착용 노즐로 전자 부품을 흡착하고, 흡착된 전자 부품을 회로 기판등의 소정 위치로 이동시켜서 장착하는 작업을 반복한다. 이러한 부품의 흡착 및 장착 작업에서는 속도 및 정확성등이 중요한 인자로서 작용한다. 예를 들면, 흡착용 노즐이 부품을 흡착하여 상승하고 하강하는 속도는 진공이 형성되는 속도 및 해제되는 속도와도 관련되어 있다. 이는 부품을 흡착하는 진공의 형성 및 해제가 빨리 이루어질수록, 부품을 흡착하기 위해 하강하는 시간 및, 부품을 장착한 후에 다시 상승하는 시간을 단축할 수 있기 때문이다. 또한, 진공을 빨리 형성하기 위하여 보다 강력한 진공 펌프를 사용한다면, 그렇게 형성된 진공을 해제하기 위해서는 보다 오랜 시간이 필요할 것이며, 시간을 단축하기 위해서는 별도의 수단이 필요하게 될 것이다.In general, in equipment such as a component mounter or a die bonding apparatus, an electronic component is sucked by a component adsorption nozzle using a vacuum, and the operation of moving the absorbed electronic component to a predetermined position such as a circuit board is repeated. Speed and accuracy are important factors in the adsorption and mounting of these parts. For example, the rate at which the adsorption nozzles raise and descend by adsorbing the part is also related to the rate at which the vacuum is formed and the rate at which it is released. This is because the faster the formation and release of the vacuum for adsorbing the part is made, the shorter the time for descending to adsorb the part and the time for rising again after the part is mounted. In addition, if a more powerful vacuum pump is used to form the vacuum faster, longer time will be required to release the vacuum thus formed, and additional means will be needed to shorten the time.

통상적으로 노즐의 승하강 속도는 7G(G 는 중력 가속도로서 9.8 m/s2 )로서 구현되고 있는데, 이는 노즐이 상승하고 하강하는 동안 흡착 노즐 단부에 진공을 형성하고 해제하는데 필요한 시간을 확보하기 위해서였다. 이보다 빨리 노즐을 승하강시킨다면 작업 속도가 배가될 수 있으나, 실제에 있어서는 진공의 형성 및 해제에 필요한 시간을 더 이상 단축할 수 없으므로 노즐의 승하강 속도를 더 이상 빠르게 할 수 없었다.Typically, the ascending and descending speeds of the nozzles are implemented as 7G (G is 9.8 m / s 2 as the gravitational acceleration), to ensure the time required to build and release vacuum at the adsorption nozzle end while the nozzle is raised and lowered. It was. Raising and lowering the nozzle earlier than this can double the working speed, but in practice it is no longer possible to shorten the raising and lowering speed of the nozzle because the time required for the formation and release of the vacuum can no longer be shortened.

도 1에는 종래 기술에 따른 진공 공급용 유압 회로의 구성도가 개략적으로 도시되어 있다. 1 schematically shows a configuration of a hydraulic circuit for vacuum supply according to the prior art.

도면을 참조하면, 공기 공급원(1)으로부터 주 진공 공급용 배관(14)과 부 진공 공급용 배관(18)이 분기된다. 주 진공 공급용 배관(14)은 제 1 솔레노이드 밸브(11)로부터 진공 발생기(3)와 제 2 솔레노이드 밸브(12)를 통해 부품 흡착용 노즐(15)로 이루어져 있다. 주 진공 공급용 배관(14)은 제 1 솔레노이드 밸브(11)와 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 위치에 따라서 부품 흡착을 위한 진공을 노즐(15)에 제공하거나 해제하는 기능을 가진다. 부 진공 공급용 배관(18)은 부 진공 발생기(19)로부터 스피드 제어부(17) 및, 제 2 솔레노이드 밸브(12)로 이루어지며, 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 위치에 따라서 노즐(15)에 진공을 제공하거나 해제하는 기능을 가진다. 부 진공 발생기(19)에서는 주 진공 발생기(3)보다 낮은 진공도의 진공이 형성된다. Referring to the drawings, the main vacuum supply pipe 14 and the sub vacuum supply pipe 18 branch from the air supply source 1. The main vacuum supply pipe 14 is composed of a component suction nozzle 15 from the first solenoid valve 11 through the vacuum generator 3 and the second solenoid valve 12. The main vacuum supply pipe 14 has a function of providing or releasing the vacuum to the nozzle 15 for component adsorption according to the positions of the first solenoid valve 11 and the second solenoid valve 12. The sub vacuum supply pipe 18 is composed of the speed control unit 17 and the second solenoid valve 12 from the sub vacuum generator 19, and is connected to the nozzle 15 according to the position of the second solenoid valve 12. It has the function of providing or releasing the vacuum. In the sub-vacuum generator 19, a vacuum of a lower degree of vacuum than the main vacuum generator 3 is formed.

도면에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 솔레노이드 밸브(11,12)는 4 포트 2 위치 밸브이다. 제 1 솔레노이드 밸브(11)의 제 1 위치에서, 진공 발생기(3)는 공기 공급원(1)에 연결되지 않는 반면에, 제 2 위치에서는 진공 발생기(3)가 공기 공급원(1)에 연결된다. 한편, 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 제 1 위치에서 주 진공 공급용 배관(14)은 노즐(15)과 연결되는 반면에, 제 2 위치에서는 주 진공 공급용 배관(14)이 부 진공 발생기(19)와 연결되고, 부 진공 공급용 배관(18)이 노즐(15)에 연결되도록 한다. As shown in the figure, the first and second solenoid valves 11 and 12 are four port two position valves. In the first position of the first solenoid valve 11, the vacuum generator 3 is not connected to the air source 1, while in the second position the vacuum generator 3 is connected to the air source 1. Meanwhile, in the first position of the second solenoid valve 12, the main vacuum supply pipe 14 is connected to the nozzle 15, while in the second position, the main vacuum supply pipe 14 is connected to the sub vacuum generator ( 19, the secondary vacuum supply pipe 18 is connected to the nozzle (15).

도 1에 도시된 유압 회로의 작용을 간단히 설명하면 다음과 같다. 우선, 부품의 흡착 및 장착이 이루어지지 아니하는 대기 상태는 제 1 및 제 2 솔레노이드 밸브(11,12)가 제 1 위치에 있는 상태에 해당하며, 이때는 노즐(15)에 주 진공이 제공되지 아니하고, 부 진공 발생기(19)에서 발생한 진공은 피드백된다. 다음에, 부품의 흡착시에 제 1 솔레노이드 밸브(1)는 제 2 위치에 있게됨으로써 주 진공이 노즐(15)에 제공되어 부품을 흡착할 수 있게 되고, 제 2 솔레노이드 밸브(12)는 여전히 제 1 위치에 있게 된다. 부품의 장착시에는 제 2 솔레노이드 밸브(12)가 제 2 위치로 변환됨으로써, 주 진공이 해제되는 반면에 부 진공 발생기(19)에서 발생된 부 진공을 노즐(15)에 제공하게 된다. 위에서 설명한 바와 같이, 부 진공 발생기(19)에서 발생하는 진공은 주 진공 발생기(3)에서 발생하는 진공보다 낮은 상태이므로, 노즐(15)에서 부품을 흡착하는데 적용된 주 진공을 급속하게 해제시킬 수 있다.Briefly explaining the operation of the hydraulic circuit shown in Figure 1 as follows. First, the standby state in which the adsorption and mounting of the parts is not performed corresponds to the state in which the first and second solenoid valves 11 and 12 are in the first position, in which case the main vacuum is not provided to the nozzle 15. The vacuum generated by the sub vacuum generator 19 is fed back. Next, upon adsorption of the part, the first solenoid valve 1 is in the second position such that a main vacuum is provided to the nozzle 15 to adsorb the part, and the second solenoid valve 12 is still in the second position. It will be in position 1. In mounting the part, the second solenoid valve 12 is switched to the second position, whereby the main vacuum is released while providing the sub vacuum generated in the sub vacuum generator 19 to the nozzle 15. As described above, since the vacuum generated in the sub-vacuum generator 19 is lower than the vacuum generated in the main vacuum generator 3, the main vacuum applied to adsorbing the component in the nozzle 15 can be rapidly released. .

위와 같은 진공 공급용 유압 회로는 진공을 형성하고 해제하는데 필요한 시간을 단축시킬 수 있다는 장점에도 불구하고, 2 개의 솔레노이드 밸브를 사용하여야 하는등 유압 회로 자체가 복잡해지는 단점이 있다. 또한, 진공의 형성 및 해제 시간을 단축시킨다 할지라도 한계가 있는데, 이는 2 개의 솔레노이드 밸브를 작동시키는데 따른 시간이 소요되기 때문이다.Despite the advantage that the hydraulic circuit for vacuum supply as described above can shorten the time required to form and release the vacuum, there is a disadvantage that the hydraulic circuit itself is complicated, such as the use of two solenoid valves. There is also a limit to shorten the time of vacuum formation and release, since it takes time to operate the two solenoid valves.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 진공 공급용 유압 회로에서 진공의 형성 및 해제가 신속하게 이루어질 수 있는 솔레노이드 밸브를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a solenoid valve that can be quickly formed and released the vacuum in the hydraulic circuit for vacuum supply.

본 발명의 다른 목적은 진공의 형성 및 해제가 신속하게 이루어질 수 있는 진공 공급용 유압 회로를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a hydraulic circuit for vacuum supply, in which the formation and release of a vacuum can be made quickly.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로가 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a vacuum chamber having a predetermined volume of internal space, wherein a vacuum is supplied at a first position and a vacuum is released at a second position, a first position and a first position. A second port connected to the vacuum chamber at a second position, a main vacuum being supplied by being connected to the first port at a first position, and supplied from the vacuum chamber by being connected to the vacuum chamber through the second port at a second position A vacuum supply solenoid valve having a third port supplied with a vacuum and a fourth port connected to the vacuum chamber at a first position to provide a sub vacuum to the vacuum chamber and to be closed at the second position; Provided is a hydraulic circuit for vacuum supply comprising a; vacuum operation unit for applying a vacuum provided therefrom by being connected to the third port of the solenoid valve.

본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 진공 챔버의 체적은 상기 제 2 포트로부터 상기 진공 작동부까지의 체적에 대해서 1.2 내지 1.3 배이다.According to one feature of the invention, the volume of the vacuum chamber is 1.2 to 1.3 times the volume from the second port to the vacuum actuating portion.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 진공 작동부의 진공 해제시에 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 상기 진공 작동부의 압력이 0 내지 30 PSI 이다.According to another feature of the invention, the pressure of the vacuum actuator is 0 to 30 PSI by the vacuum supplied from the vacuum chamber at the time of vacuum release of the vacuum actuator.

또한 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 부품 흡착용 노즐;을 구비하는 부품 실장기가 제공된다.According to the present invention, there is also provided a vacuum chamber having a predetermined volume of internal space, wherein the vacuum chamber is supplied at a first position and the vacuum is released at a second position, the first and second positions of the vacuum chamber. A second port connected to the first port, wherein the main vacuum is supplied by being connected to the first port at a first position, and the second vacuum port is connected to the vacuum chamber through the second port at a second position to receive a vacuum supplied from the vacuum chamber. A vacuum supply solenoid valve having a three port and a fourth port connected to the vacuum chamber at a first position to provide a sub vacuum to the vacuum chamber and to be closed at the second position; And a component adsorption nozzle for applying a vacuum provided therefrom by being connected to the third port of the solenoid valve.

이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세하게 설명하기로 한다. 도면에 도시된 유압 회로는 부품을 흡착하여 기판에 장착하는 부품 실장기에 사용되는 유압 회로이지만, 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자들은 이와 같은 유압 회로가 다른 것에도 적용될 수 있다는 점을 이해할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to an embodiment shown in the accompanying drawings. Although the hydraulic circuit shown in the drawings is a hydraulic circuit used in a component mounter for absorbing components and mounting them on a substrate, those skilled in the art will understand that such a hydraulic circuit may be applied to other things. .

도 2에는 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도가 도시되어 있다.2 shows a schematic configuration diagram of a hydraulic circuit for vacuum supply according to the present invention.

도면을 참조하면, 진공 공급용 유압 회로는 주 진공 공급구(23)와 부 진공 공급구(25)를 구비한 진공 공급용 매니폴드(21)와; 상기 진공 공급용 매니폴드(21)의 주 진공 공급부(23)로부터 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 연결된 솔레노이드 밸브(28)와; 진공 공급용 배관(32)을 통해 연결된 부품 흡착용 노즐(31);을 구비하고, 또한 상기 진공 공급용 매니폴드(21)의 부 진공 공급구(25)는 상기 솔레노이드 밸브(28)와 부 진공 공급용 배관(27)을 통해 연결된다. 솔레노이드 밸브(28)에는 진공 챔버(29)가 구비되며, 진공 챔버(29)에는 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 진공이 제공될 수 있다. 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 공급되는 진공의 진공도는 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 공급되는 진공의 진공도보다 높거나, 또는 대기압 정도의 낮은 진공도가 제공된다. 실제에 있어서는 주 진공 공급용 배관(26)을 통한 진공이 부 진공 공급용 배관(27)에 영향을 미치므로, 부 진공 공급용 배관(27)내의 진공도가 높아지는 경향이 있다. 따라서 부 진공 공급용 배관(27)의 압력을 낮은 진공도 또는 대기압 정도로 유지하기 위해서는 소정압의 공기를 송풍해야만 한다. Referring to the drawings, the vacuum supply hydraulic circuit includes a vacuum supply manifold 21 having a main vacuum supply port 23 and a sub vacuum supply port 25; A solenoid valve (28) connected from the main vacuum supply part (23) of the vacuum supply manifold (21) through a main vacuum supply pipe (26); A component suction nozzle 31 connected through the vacuum supply pipe 32; and the sub vacuum supply port 25 of the vacuum supply manifold 21 has the solenoid valve 28 and the sub vacuum. It is connected via the supply pipe (27). The solenoid valve 28 is provided with a vacuum chamber 29, the vacuum chamber 29 may be provided with a vacuum through the secondary vacuum supply pipe 27. The degree of vacuum of the vacuum supplied through the main vacuum supply pipe 26 is higher than the vacuum degree of the vacuum supplied through the sub vacuum supply pipe 27, or a vacuum degree lower than atmospheric pressure is provided. In practice, since the vacuum through the main vacuum supply pipe 26 affects the sub vacuum supply pipe 27, the degree of vacuum in the sub vacuum supply pipe 27 tends to increase. Therefore, in order to maintain the pressure of the sub-vacuum supply pipe 27 at a low degree of vacuum or atmospheric pressure, air having a predetermined pressure must be blown.

진공 공급용 매니폴드(21)에는 주 진공 펌프 연결구(22) 및, 송풍용 펌프 연결구(24)가 형성된다. 주 진공 펌프 연결구(22)를 통해서 제공되는 진공은 주 진공 공급구(23)를 통해서 주 진공 공급용 배관(26)으로 제공된다. 반면에, 송풍용 펌프 연결구(24)를 통해서 제공되는 진공은 부 진공 공급구(25)를 통해 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다. The main vacuum pump connector 22 and the blower pump connector 24 are formed in the vacuum supply manifold 21. The vacuum provided through the main vacuum pump connector 22 is provided to the main vacuum supply pipe 26 through the main vacuum supply port 23. On the other hand, the vacuum provided through the blow pump connection 24 is connected to the sub vacuum supply pipe 27 through the sub vacuum supply port 25.

도 3에는 본 발명에 따른 솔레노이드 밸브의 개략적인 구성도가 도시되어 있다. 3 shows a schematic diagram of a solenoid valve according to the present invention.

도면을 참조하면, 솔레노이드 밸브(28)는 4 포트 2 위치 밸브이다. 도면 번호 41 로 표시된 제 1 위치에서, 제 1 포트(A)는 제 3 포트(C)와 연결되고 제 2 포트(B)는 제 4 포트(D)에 연결된다. 한편, 도면 번호 42 로 표시된 제 2 위치에서는 제 1 포트(A')가 폐쇄되고, 제 2 포트(B')는 제 3 포트(C')에 연결된다. Referring to the figure, solenoid valve 28 is a four port two position valve. In the first position indicated by reference numeral 41, the first port A is connected to the third port C and the second port B is connected to the fourth port D. FIG. On the other hand, in the second position indicated by reference numeral 42, the first port A 'is closed, and the second port B' is connected to the third port C '.

제 1 포트(A 또는 A')는 도 2에 도시된 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되고, 제 2 포트(B 또는 B')는 진공 챔버(29)에 연결된다. 제 3 포트(C 또는 C')는 부품 흡착용 노즐(31)에 연결된다. 제 4 포트(D 또는 D')는 도 2 에서 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다. The first port A or A 'is connected to the main vacuum supply pipe 26 shown in FIG. 2, and the second port B or B' is connected to the vacuum chamber 29. The third port C or C 'is connected to the nozzle 31 for component adsorption. The fourth port D or D 'is connected to the secondary vacuum supply pipe 27 in FIG.

진공 챔버(29)는 솔레노이드 밸브(28)의 일측에 설치되는 것으로서, 솔레노이드 밸브(28)의 위치에 따라서 부 진공 공급 배관(27, 도 2)을 통해 진공을 공급받거나 (제 1 위치(41)), 또는 부품 흡착용 노즐(31)에 진공을 제공하는 (제 2 위치(42)) 기능을 가진다. 진공 챔버(29)는 소정 체적의 내부 공간을 가진 부재를 솔레노이드 밸브(28)의 일측에 설치하여 유로를 개폐 가능하게 연결함으로써 사용될 수 있다. 진공 챔버(29)에는 소정압의 진공이 제공된다. 실제에 있어서는 대기압 정도의 낮은 진공도를 가진 진공이 제공되며, 위에 설명된 바와 같이 송풍용 펌프에 의해서 공기를 공급받게 된다. 이렇게 제공된 진공은 부품 장착시에 노즐의 고진공 상태를 급속하게 해제시키는 기능을 하게 된다. 예를 들면, 부품 장착시에 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 노즐의 단부에 형성되는 공기의 압력은 약 0 내지 30 PSI(약 0.2 MPa)이며, 이러한 공기압에 의해 진공이 급속하게 해제됨과 동시에, 노즐의 단부에 흡착된 부품이 날라가지 않고 장착될 수 있다. 도면 번호 30 으로 표시된 것은 진공 센서이며, 진공 배관(32)내에 형성된 진공도를 측정한다.The vacuum chamber 29 is installed at one side of the solenoid valve 28, and is supplied with vacuum through the sub vacuum supply pipe 27 (FIG. 2) according to the position of the solenoid valve 28 (first position 41). ) Or (second position 42) to provide a vacuum to the nozzle 31 for component adsorption. The vacuum chamber 29 may be used by installing a member having an internal space of a predetermined volume on one side of the solenoid valve 28 to connect the flow path so as to be open and close. The vacuum chamber 29 is provided with a vacuum of a predetermined pressure. In practice, a vacuum with a low degree of vacuum, such as atmospheric pressure, is provided and is supplied with air by a blower pump as described above. The vacuum thus provided serves to rapidly release the high vacuum state of the nozzle when the component is mounted. For example, the pressure of the air formed at the end of the nozzle by the vacuum supplied from the vacuum chamber at the time of component mounting is about 0 to 30 PSI (about 0.2 MPa), and at the same time the vacuum is released rapidly, The adsorbed component can be mounted at the end of the nozzle without being blown away. Denoted at 30 is a vacuum sensor, and measures the degree of vacuum formed in the vacuum pipe 32.

이하, 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로의 작동을 간단히 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation of the vacuum supply hydraulic circuit according to the present invention will be briefly described.

제 2 도를 참조하면, 진공 공급용 매니폴드(21)를 통해서 주 진공 펌프 연결구(22)는 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되고, 송풍용 펌프 연결구(24)는 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다. 위에서 언급된 바와 같이, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 공급되는 진공은 부 진공 공급용 배관(27)을 통해 공급되는 진공보다 진공도가 높다.2, the main vacuum pump connector 22 is connected to the main vacuum supply pipe 26 through the vacuum supply manifold 21, and the blower pump connector 24 is connected to the sub vacuum supply pipe. Connected to (27). As mentioned above, the vacuum supplied through the main vacuum supply pipe 26 has a higher degree of vacuum than the vacuum supplied through the sub vacuum supply pipe 27.

흡착용 노즐(31)이 부품을 흡착하는 과정은 초기화 단계, 부품 흡착 단계 및, 부품 장착 단계등으로 구분될 수 있다. 부품 흡착 단계에서는 부품 흡착용 노즐(31)에 주 진공이 제공되어 부품을 흡착하게 되며, 부품 장착 단계에서는 주 진공이 해제됨과 동시에, 부품 흡착용 노즐(31)에 진공 챔버(29)로부터 낮은 진공도 또는 대기압 정도의 압력이 제공되어 부품을 신속하게 장착할 수 있게 한다.The process of adsorbing the component by the adsorption nozzle 31 may be divided into an initialization stage, a component adsorption stage, and a component mounting stage. In the component adsorption step, the main vacuum is provided to the component adsorption nozzle 31 to adsorb the components. In the component mounting step, the main vacuum is released and at the same time, the vacuum degree 29 is lowered from the vacuum chamber 29 to the component adsorption nozzle 31. Alternatively, atmospheric pressure is provided to allow the component to be mounted quickly.

초기화 단계에서 솔레노이드 밸브(28)는 제 2 위치(42)에 있게 된다. 이러한 위치에서, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 제공되는 진공은 해제된 상태이며, 따라서 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되는 제 1 포트(A')는 폐쇄되어 있다. 진공 챔버(29)는 노즐(31)을 통해서 개방되어 있다.In the initialization phase the solenoid valve 28 is in the second position 42. In this position, the vacuum provided through the main vacuum supply pipe 26 is in a released state, so that the first port A 'connected to the main vacuum supply pipe 26 is closed. The vacuum chamber 29 is opened through the nozzle 31.

부품 흡착 단계에서 솔레노이드 밸브(28)는 제 1 위치로 변환된다. 부품 흡착 단계에서는 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 진공이 제공된다. 이때, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 제공된 진공은 제 1 포트(A) 및, 그에 연결된 제 3 포트(C)를 통해서 부품 흡착용 노즐(31)에 공급됨으로써 부품을 흡착하게 된다. 이와 동시에, 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 공급되는 부 진공은 제 4 포트(D) 및, 그에 연결된 제 2 포트(B)를 통해서 진공 챔버(29)에 제공된다. 진공 챔버(29)는 부 진공에 의해서 진공압이 형성되는데, 이것은 주 진공에 의해서 형성되는 진공압보다는 낮은 진공도를 가지며, 실제에 있어서는 대기압 정도를 유지하기 위해서 송풍용 펌프를 이용하여 공기를 송풍하게 된다.In the component adsorption step, the solenoid valve 28 is switched to the first position. In the component adsorption step, a vacuum is provided through the main vacuum supply pipe 26. At this time, the vacuum provided through the main vacuum supply pipe 26 is supplied to the component adsorption nozzle 31 through the first port A and the third port C connected thereto to adsorb the component. At the same time, the sub vacuum supplied through the sub vacuum supply pipe 27 is provided to the vacuum chamber 29 through the fourth port D and the second port B connected thereto. The vacuum chamber 29 has a vacuum pressure formed by the sub-vacuum, which has a lower vacuum degree than the vacuum pressure formed by the main vacuum, and in practice, blows air using a blower pump to maintain the atmospheric pressure. do.

부품 장착 단계로 변환되면 주 진공이 해제되고 솔레노이드 밸브(28)는 다시 제 2 위치(42)로 변환된다. 즉, 진공 챔버(29)와 노즐(31)이 연결된다. 이때 주 진공이 제공되던 부품 흡착용 노즐(31)에는 주 진공보다 진공도가 낮은 진공이 진공 챔버(29)로부터 작용하게 된다. 즉, 부품 흡착 단계에서 부 진공 배관(27)을 통해서 소정의 공기가 송풍됨으로써 낮은 진공도를 유지하던 진공 챔버(29)로부터의 진공이 부품 흡착용 노즐(31)에 공급되는 것이다. 이렇게 되면, 진공 챔버(29)의 진공도가 주 진공의 진공도보다 낮기 때문에, 급속하게 진공이 해소될 수 있으며, 그에 의해서 신속하게 부품을 소정 위치에 장착할 수 있다.Upon conversion to the component mounting phase the main vacuum is released and the solenoid valve 28 is switched back to the second position 42. That is, the vacuum chamber 29 and the nozzle 31 are connected. At this time, a vacuum having a lower degree of vacuum than the main vacuum acts on the vacuum chamber 29 in the component adsorption nozzle 31 provided with the main vacuum. That is, the predetermined air is blown through the sub-vacuum pipe 27 in the component adsorption step, so that the vacuum from the vacuum chamber 29 maintaining the low vacuum degree is supplied to the component adsorption nozzle 31. In this case, since the vacuum degree of the vacuum chamber 29 is lower than the vacuum degree of the main vacuum, a vacuum can be eliminated rapidly and thereby a component can be quickly mounted in a predetermined position.

진공 챔버(29)의 체적은 노즐(31)에 설치된 흡착 노즐의 단부로부터 진공 챔버(29)에 연결되는 제 2 포트(B 또는 B')까지의 배관의 체적을 고려하여 정해지는 것이 바람직스럽다. 예를 들면, 흡착 노즐 단부로부터 제 2 포트(B 또는 B')까지의 배관의 체적보다 진공 챔버(29)의 체적이 1.2 내지 1.3 배인 것이 바람직스럽다. 이러한 체적은 위에서 설명된 바와 같이 부품 장착시에 흡착 노즐 단부의 압력이 약 0 내지 30 PSI(약 0.2 MPa)를 유지하도록 하는 체적이다. 이렇게 되면, 진공 챔버(29)내의 공기가 급속하게 흡착 노즐 단부까지의 공간을 채울수 있으므로 신속한 부품 장착이 이루어질 수 있다.The volume of the vacuum chamber 29 is preferably determined in consideration of the volume of the pipe from the end of the suction nozzle provided in the nozzle 31 to the second port B or B 'connected to the vacuum chamber 29. For example, the volume of the vacuum chamber 29 is preferably 1.2 to 1.3 times the volume of the pipe from the suction nozzle end to the second port B or B '. This volume is such that the pressure at the adsorption nozzle end is maintained at about 0 to 30 PSI (about 0.2 MPa) when mounting the parts as described above. In this case, since the air in the vacuum chamber 29 can fill the space to the end of the adsorption nozzle rapidly, rapid component mounting can be achieved.

본 발명에 따른 솔레노이드 밸브 및, 그것을 이용한 진공 공급용 유압 회로는 진공의 공급 및 해제가 신속하게 이루어진다는 장점이 있다. 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로를 부품 실장기에 적용할 경우, 부품 흡착용 노즐은 최대 9G 의 속도로 승하강할 수 있으므로 부품 실장을 가속화시킬 수 있다. 또한 종래 기술에서 진공 해제시에 공급되는 다른 진공에 의해서 부품이 날아가거나 또는 부품의 실장 위치가 변위되는 현상이 방지될 수 있다는 장점이 있다.The solenoid valve and the hydraulic circuit for vacuum supply using the same according to the present invention have the advantage that the supply and release of the vacuum is made quickly. When the hydraulic circuit for vacuum supply according to the present invention is applied to a component mounter, the component adsorption nozzle can be raised and lowered at a speed of up to 9G, thereby accelerating component mounting. In addition, in the prior art, there is an advantage that the phenomenon that the component is blown or the mounting position of the component is displaced by another vacuum supplied at the time of vacuum release can be prevented.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, it is merely exemplary, and those skilled in the art may realize that various modifications and equivalent other embodiments are possible. I can understand. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined by the appended claims.

도 1은 통상적인 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a conventional hydraulic circuit for vacuum supply.

도 2는 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도.2 is a schematic configuration diagram of a hydraulic circuit for vacuum supply according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 솔레노이드 밸브에 대한 개략적인 구성도.3 is a schematic diagram of a solenoid valve according to the present invention;

< 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명><Brief Description of Major Codes in Drawings>

1. 공기 공급원 11. 제 1 솔레노이드 밸브1.air source 11.first solenoid valve

12. 제 2 솔레노이드 밸브 13. 진공 센서12. Second solenoid valve 13. Vacuum sensor

15. 부품 흡착용 노즐 19. 진공 발생기15. Nozzle for adsorption of parts 19. Vacuum generator

21. 진공 공급용 매니폴드 22. 주 진공 펌프 연결구21. Vacuum supply manifold 22. Main vacuum pump end connection

23. 주 진공 공급구 24. 부 진공 펌프 연결구23. Main vacuum supply port 24. Second vacuum pump connection

26. 주 진공 공급용 배관 28. 솔레노이드 밸브26. Main vacuum supply piping 28. Solenoid valve

29. 진고 챔버 30. 진공 센서 29. Clearing chamber 30. Vacuum sensor

Claims (4)

소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고,A vacuum chamber in which a predetermined volume of internal space is formed, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트,A first port through which vacuum is supplied in a first position and vacuum is released in a second position, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트,A second port connected to the vacuum chamber in a first position and a second position, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및,A third port supplied with a vacuum supplied from the vacuum chamber by being connected to the first port at a first position to supply a main vacuum, and connected to the vacuum chamber through the second port at a second position; 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브;A vacuum supply solenoid valve connected to the vacuum chamber at a first position to provide a sub-vacuum to the vacuum chamber and having a fourth port closed at the second position; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로.And a vacuum operation unit connected to the third port of the solenoid valve to apply a vacuum provided therefrom. 제 1 항에에 있어서, 상기 진공 챔버의 체적은 상기 제 2 포트로부터 상기 진공 작동부까지의 체적에 대해서 1.2 내지 1.3 배인 것을 특징으로 하는 진공 공급용 유압 회로.2. The hydraulic pressure circuit for vacuum supply according to claim 1, wherein the volume of the vacuum chamber is 1.2 to 1.3 times the volume from the second port to the vacuum operation portion. 제 1 항에 있어서, 상기 진공 작동부의 진공 해제시에 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 상기 진공 작동부의 압력이 0 내지 30 PSI 인 것을 특징으로 하는 진공 공급용 유압 회로.2. The hydraulic pressure circuit for vacuum supply according to claim 1, wherein the pressure of the vacuum operation portion is 0 to 30 PSI by the vacuum supplied from the vacuum chamber when the vacuum operation portion is released. 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고,A vacuum chamber in which a predetermined volume of internal space is formed, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트,A first port through which vacuum is supplied in a first position and vacuum is released in a second position, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트,A second port connected to the vacuum chamber in a first position and a second position, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및,A third port supplied with a vacuum supplied from the vacuum chamber by being connected to the first port at a first position to supply a main vacuum, and connected to the vacuum chamber through the second port at a second position; 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브;A vacuum supply solenoid valve connected to the vacuum chamber at a first position to provide a sub-vacuum to the vacuum chamber and having a fourth port closed at the second position; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 부품 흡착용 노즐;을 구비하는 부품 실장기.And a component adsorption nozzle for applying a vacuum provided therefrom by being connected to the third port of the solenoid valve.
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