KR100498275B1 - 미세 절제 시스템용 수집함 홀더 및 이를 채용한 미세절제 시스템용 스테이지 장치 - Google Patents
미세 절제 시스템용 수집함 홀더 및 이를 채용한 미세절제 시스템용 스테이지 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 수집함의 본체를 플레이트 일 측면에 나란하게 설치할 수 있도록 상기 플레이트의 측면에 마련된 본체 설치부;상기 플레이트의 일 측면으로부터 그 폭 방향으로 소정 길이 인입 형성된 인입부; 및상기 수집함의 캡이 설치될 수 있도록 상기 인입부와 연결되게 상기 플레이트에 형성된 삽입부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 수집함 홀더.
- 복수의 수집함의 본체를 플레이트 양 측면에 각각 나란하고 서로 교호되게 설치할 수 있도록 상기 플레이트의 양 측면에 소정 간격으로 교호되게 마련된 적어도 2 이상의 본체 설치부;상기 플레이트의 측면으로부터 그 폭 방향으로 서로 교호되게 각각 소정 길이 인입 형성된 적어도 2 이상의 인입부; 및각각의 수집함의 캡이 설치될 수 있도록 상기 인입부와 연결되게 상기 플레이트에 형성된 적어도 2 이상의 삽입부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 수집함 홀더.
- Z축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 프레임에 설치되고 광축이 통과될 수 있는 제1 구멍이 형성된 베이스;Y축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 상기 베이스에 설치되고 광축이 통과될 수 있는 제2 구멍이 형성된 Y 스테이지;X축 방향으로 왕복 이동 가능하도록 상기 Y 스테이지에 설치되고 광축이 통과될 수 있으며 슬라이드 기판이 설치될 수 있는 제3 구멍이 형성된 X 스테이지; 및본체가 길이 방향의 측면에 배치되고 캡이 삽입공에 삽입된 수집함 홀더를 상기 X,Y 스테이지의 접촉면 사이에 형성된 홀더 삽입부 사이에서 왕복 이동시킬 수 있는 수집함 스테이지를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 홀더 삽입부는 상기 X 스테이지의 표면과 상기 Y 스테이지의 표면 중 적어도 어느 하나에 소정 폭 및 소정 높이로 형성된 공간인 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 X 스테이지는:상기 Y 스테이지에 설치된 X 스테핑 모터에 의해 작동되는 X 볼스크류에 결합되고, 상기 X, Y 스테이지의 접촉면의 양측에 형성된 X 가이드 레일 및 X 가이드 홈에 의해 가이드 되면서 수평으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 Y 스테이지는:상기 베이스에 설치된 Y 스테핑 모터에 의해 작동되는 Y 볼스크류에 결합되고, 상기 Y 스테이지와 상기 베이스의 접촉면의 양측에 형성된 Y 가이드 레일 및 Y 가이드 홈에 의해 가이드 되면서 수평으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 수집함 스테이지는:상기 베이스에 설치된 수집함 스테핑 모터에 의해 작동되는 피니언과 결합되는 랙을 구비하고, 상기 베이스와 상기 수집함 스테이지에 형성된 수집함 가이드 레일 및 수집함 가이드 홈에 의해 가이드 되면서 수평으로 움직이는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 수집함 홀더는:복수의 수집함의 본체를 플레이트 양 측면에 각각 나란하고 서로 교호되게 설치할 수 있도록 상기 플레이트의 양 측면에 소정 간격으로 교호되게 마련된 적어도 2 이상의 본체 설치부;상기 플레이트의 측면으로부터 그 폭 방향으로 서로 교호되게 각각 소정 길이 인입 형성된 적어도 2 이상의 인입부;각각의 수집함의 캡이 설치될 수 있도록 상기 인입부와 연결되게 상기 플레이트에 형성된 적어도 2 이상의 삽입부; 및상기 수집함 스테이지의 일단에 결합 가능한 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서,상기 X 스테이지는:상기 슬라이드 기판의 일단이 삽입 수납될 수 있는 수납홈; 및상기 슬라이드 기판의 타단에 접촉되어 상기 슬라이드 기판의 위치를 고정시키는 슬라이드 리테이너를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 절제 시스템용 스테이지 장치.
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