KR100480877B1 - thermal plate with thermoelectric modules - Google Patents

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KR100480877B1
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    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/02Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating changes of state or changes of phase; by investigating sintering

Abstract

본 발명은 열전 항온판에 관한 것으로서, 각종 전자부품의 특성시험 장비에 있어 시험 대상 부품의 재치대 역할을 하는 상기 열전 항온판 내부에 다수의 열전소자를 구비하고, 이들 열전소자를 중심으로 한 각각의 구획별로 독립적인 온도제어 단위를 구성함으로써, 관련 시험장비의 소형 경량화에 따른 제작비 절감은 물론, 온도 제어의 정밀도 및 이용상의 범용성 확보 효과를 얻을 수 있는 발명이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermoelectric constant temperature plate, and includes a plurality of thermoelectric elements inside the thermoelectric constant temperature plate that serves as a mounting table for the component to be tested in the characteristic test equipment of various electronic components, each of which focuses on these thermoelectric elements. By constructing an independent temperature control unit for each section of the invention, it is possible to reduce the manufacturing cost according to the small size and light weight of the relevant test equipment, as well as to obtain the effect of securing the precision of the temperature control and the general purpose of use.

Description

열전소자를 구비한 열전 항온판 {thermal plate with thermoelectric modules}Thermoelectric thermoelectric plate with thermoelectric element

본 발명은 열전 항온판, 더욱 상세하게는, 각종 전자부품의 성능 시험장비에 있어 시험 대상 부품의 재치대 역할을 하는 상기 열전 항온판 내부에 다수의 열전소자를 구비하고, 이들 열전소자를 중심으로 한 각각의 구획별로 독립적인 온도제어 단위를 구성함으로써, 관련 시험장비의 소형 경량화에 따른 제작비 절감은 물론, 온도 제어의 정밀도 및 이용상의 범용성(汎用性) 확보 효과를 얻을 수 있는 열전 항온판에 관한 것이다. The present invention includes a plurality of thermoelectric elements inside a thermoelectric thermo plate, more specifically, the thermoelectric thermo plate which serves as a mounting table for a component under test in performance test equipment of various electronic components, and focuses on these thermoelectric elements. By constructing an independent temperature control unit for each compartment, it is possible to reduce the manufacturing cost due to the compact and light weight of the relevant test equipment, and to provide a thermoelectric thermostat that can obtain the effect of securing the accuracy and general versatility of temperature control. will be.

전자 산업이 비약적으로 발전한 결과, 오늘날에는 무수히 많은 종류의 전자 제품이 개발되어 일상 생활에 쓰이고 있는 실정이다.As a result of the rapid development of the electronics industry, a myriad of electronic products have been developed and used in daily life.

이들 전자제품을 구성하는 각각의 부품들은 그 특성별로 적정 시험과정을 거치게 됨은 물론이다. Each of the components that make up these electronics goes through appropriate testing by their characteristics.

한편, 전자 제품을 구성하는 부품들 가운데 광 다이오드(diode) 또는 래이저 다이오드(laser diode) 등의 경우, 온도에 따른 출력 레벨(level)이나 파장 변화가 큰 관계로, 당해 부품들의 성능을 시험함에 있어서는 온도별 성능을 파악하는 것이 대단히 중요하다. On the other hand, among the components constituting the electronic product, such as a photodiode or a laser diode, a large change in the output level or wavelength depending on the temperature, the test of the performance of the components It is very important to know the performance of each temperature.

그런데, 상기 광 다이오드 또는 래이저 다이오드의 경우 그 사용 온도가 -40 ℃ 내지 +85 ℃에 이르는 상당히 넓은 범위를 갖기 때문에, 이들을 시험하기 위해서는 특수 시험장비를 필요로 하게 된다. By the way, since the use temperature of the photodiode or laser diode has a considerably wide range from -40 ° C to + 85 ° C, special test equipment is required to test them.

상기 시험장비로서 갖추어야 할 조건 가운데 가장 대표적인 것은, 앞서 언급한 넓은 범위의 온도 상태를 형성할 수 있어야 하며, 또한 특정의 온도 상태하에서 시험이진행되는 동안 계속 그 온도를 유지할 수 있어야 하는 점이다. The most representative of the conditions to be equipped as the test equipment is to be able to form a wide range of temperature conditions mentioned above, and to be able to maintain the temperature continuously during the test under a specific temperature condition.

종래의 챔버(chamber)식 시험 장비를 개략적으로 나타낸 도 1에서 알 수 있듯이, 서로 다른 온도 상태를 이룬 수 개의 쳄버(C1, C2, C3) 내로 시험 대상 부품들(S1, S2, S3)을 옮겨 가면서 시험하는 관계로, 각각의 챔버별로 특정 온도 상태를 조성하는 과정, 한 쳄버(C1) 내에서의 시험 완료 후 다른 챔버(C2)로 부품들(S1, S2, S3)을 옮기는 과정, 또한 새로운 챔버(C2) 내 열전 항온판 (300)상의 시험 기기(301)에다 상기 부품들(S1, S2, S3)을 시험 가능 상태로 설치하는 과정 등, 실질적 시험에 소요되는 시간 보다도 그 준비 과정 및 중간 과정에 더 많은 시간이 소요되는 불합리가 있었다. As can be seen in FIG. 1, which schematically shows a conventional chamber test equipment, the parts to be tested S1, S2, and S3 are moved into several chambers C1, C2, and C3 at different temperature states. In the course of the test, the process of creating a specific temperature state for each chamber, the completion of the test in one chamber (C1) after moving the components (S1, S2, S3) to another chamber (C2), and also new The preparation process and the intermediate process of the test device 301 on the thermoelectric thermostat plate 300 in the chamber C2 in a state capable of testing the components S1, S2, and S3 in a testable state. There was an absurdity that took more time to process.

상기의 불합리한 점 이외에도, 다수의 챔버(C1, C2, C3) 내부를 각기 다른 온도 상태로 유지함에 있어서는, 영하(零下)의 저온 형성을 위한 냉동 장치 및 영상(零上)의 고온 형성을 위한 가열 장치와, 상기 열전 항온판(300)의 표면 온도 및 전체 시험 과정을 제어하기 위한 총괄 제어장치(400) 등의 대형 장비를 필요로 하기 때문에, 전체적 시험 장비 제작에 과다한 비용이 투입되는 문제가 있었다.In addition to the above unreasonable points, in maintaining the inside of the plurality of chambers C1, C2, and C3 at different temperature states, a refrigerating device for forming a low temperature below zero and a heating for forming a high temperature of an image. Since there is a need for a large equipment such as a general control device 400 for controlling the surface temperature and the entire test process of the thermoelectric thermostat plate 300, there is a problem that excessive costs are put into the production of the overall test equipment. .

또한, 많은 제작비를 들여 제작된 상기 시험 장비은 특정의 전자부품 시험용으로만 이용할 수 있어 그 범용성이 크게 부족한 실정이었다. In addition, the test equipment manufactured at a high production cost can be used only for testing a specific electronic component, and thus its generality is insufficient.

게다가, 상기 시험 대상 부품을 올려놓는 재치대로서의 기능을 가지는 한편, 그 내부 공간에 상기 총괄 제어장치(400)로부터의 액체 또는 기체를 공급받음으로써 특정의 온도 상태를 유지하도록 된 상기 열전 항온판(300)의 표면 온도가 전체적으로 균일하지 못하여, 이를 근거로 한 온도 제어가 그다지 정확하지 못함은 물론 이를 바탕으로 한 시험의 신뢰도가 떨어지는 근원적 문제를 안고 있었다.In addition, the thermoelectric constant temperature plate which has a function as a mounting table on which the component to be tested is placed, and maintains a specific temperature state by receiving liquid or gas from the overall control device 400 in the internal space thereof ( The surface temperature of 300) was not uniform throughout, so the temperature control based on this was not very accurate, and there was a fundamental problem that the reliability of the test based on this was inferior.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 시험 대상 전자부품의 재치대 역할을 하는 상기 열전 항온판에 있어서, 관련 시험장비의 소형 경량화 및 그에 따른 제작비 절감은 물론, 온도 제어의 정밀도 및 이용상의 범용성 향상 효과를 얻을 수 있는 열전 항온판을 제공하는 데 본 발명의 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and in the thermoelectric thermostatic plate serving as a mounting table for the electronic component to be tested, it is possible to reduce the size and weight of the related test equipment and thereby reduce manufacturing costs, as well as the accuracy of temperature control and SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a thermoelectric constant temperature plate which can obtain a general purpose improvement effect on use.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열전 항온판은, 그 내부에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자를 삽설하고, 이들 열전소자를 중심으로 한 각각의 구획별로 외부 제어장치와 연결된 독립적 온도제어 단위를 구성한 특징이 있다. In order to achieve the above object, the thermoelectric thermostat plate of the present invention inserts a plurality of thermoelectric elements arranged at regular intervals therein, and is an independent temperature control unit connected to an external control device for each section centered on these thermoelectric elements. There are features that make up.

이하, 첨부도면을 근거로 하여, 본 발명 실시예의 열전 항온판을 상세히 설명한다. Hereinafter, on the basis of the accompanying drawings, the thermoelectric constant temperature plate of the embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 열전 항온판의 전체적 구성 및 작동 원리를 설명하기에 앞서, 근래 특수 목적용 소재로서 그 중요성을 인정 받고 있는 상기 열전소자 특유의 성질과 본 발명에 있어서의 그 역할에 관하여 살펴본다. Prior to describing the overall configuration and operating principle of the thermoelectric thermostat of the present invention, the characteristics of the thermoelectric element and its role in the present invention, which are recently recognized for its importance as a special purpose material, will be described.

상기 열전소자는, 기본적으로, 종류가 다른 두 금속으로 구성된 하나의 소자로서, 직류 전원이 인가되면 양쪽 표면 사이에 열적 기울기가 형성 즉, 한 쪽 표면은 고온, 다른 쪽 표면은 저온을 띠게 되는 특성(펠티어 효과(Peltier effect))을 갖고 있다. The thermoelectric element is basically a single element composed of two different metals, and when a DC power is applied, a thermal gradient is formed between both surfaces, that is, one surface has a high temperature and the other surface has a low temperature. It has (Peltier effect).

그 결과, 인가되는 전류의 방향을 변경함으로써, 상기 열전소자의 한 쪽 표면으로 열을 공급할 수 있는 반면, 당해 표면으로부터 열을 배출시킬 수도 있는 것이다. As a result, by changing the direction of the applied current, heat can be supplied to one surface of the thermoelectric element while exhausting heat from the surface.

본 발명에 있어서는, 열전 항온판 내에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자별로 구성된 독립적 온도제어 단위를 통하여, 각 열전소자에 대한 전류의 방향성을 개별적으로 제어, 즉 상기 열전 항온판의 표면 온도를 각 부위별로 가열 또는 냉각시킴으로써 그 표면 온도를 전체적으로 균일하게 유지할 수 있다. In the present invention, through the independent temperature control unit composed of a plurality of thermoelectric elements arranged at regular intervals in the thermoelectric thermostat, the direction of the current for each thermoelectric element is individually controlled, that is, the surface temperature of the thermoelectric thermostat By heating or cooling for each part, the surface temperature can be kept uniform overall.

즉, 본 발명의 열전 항온판에 있어 상기 열전소자는 열전 항온판에 대한 부위별 온도 조절자 역할을 수행하는 것이다. That is, in the thermoelectric thermostat of the present invention, the thermoelectric element serves as a temperature controller for each part of the thermoelectric thermostat.

제 1 실시예First embodiment

본 발명 제 1 실시예의 열전 항온판의 일부 절개 평면도인 도 2 및 그 A-A선 단면도인 도 3에 따르면, 본 발명의 열전 항온판(100)은, 금속판재인 하판(11)상에 양호한 열전도성의 금속재인 항온 블록(12)을 올려놓고, 그 위에 다수의 열전소자(13)를 배치한 다음, 역시 양호한 열전도성을 갖는 금속판재인 상판(14)으로 이들 열전소자(13)를 덮고 상기 하판(11)에 대하여 나사 체결한 구조로 되어 있다. According to FIG. 2 which is a partially cutaway plan view of the thermoelectric thermostat plate of the first embodiment of the present invention, and FIG. The phosphorus constant temperature block 12 is placed, and a plurality of thermoelectric elements 13 are placed thereon, and then the upper plate 14 is covered with the upper plate 14, which is also a metal plate having good thermal conductivity, and the lower plate 11 It has a structure screwed against.

각각의 열전소자(13) 양측단에는 전류 인입용 리드선이 연결되는 한편, 그 상단면에는 온도 센서(sensor)(15)가 부착된다. On both ends of each thermoelectric element 13, a current input lead wire is connected, while a temperature sensor 15 is attached to an upper end surface thereof.

전류 인입용 리드선들은 열전 항온판 전면의 전원 커넥터(connector)(도시하지 않음)로 연결되는 반면, 상기 각각의 온도 센서(15)에 연결된 리드선들은 상기 전원 커넥터 측방의 온도 컨트롤러(controller) 커넥터(도시하지 않음)로 집결되어 있다. The current lead wires are connected to a power connector (not shown) on the front of the thermoelectric thermostat plate, while the lead wires connected to the respective temperature sensors 15 are connected to a temperature controller connector (shown on the side of the power connector). Not collected).

한편, 상기 항온 블록(12) 상부 표면상에는 다수의 구획재(18)와 막음재(19)를 삽설하기 위한 홈들이 형성되어 있어서, 그에 상응하는 구획재(18) 또는 막음재(19)를 찾아 삽입하기만 하면 전체적 내부 배치가 이루어지게 된다. Meanwhile, grooves for inserting the plurality of partition members 18 and the blocking material 19 are formed on the upper surface of the constant temperature block 12, so that the corresponding partition 18 or the blocking material 19 is found. Simply insert it into the overall interior layout.

상기 구획재(18)는 본 발명의 열전 항온판을 적정 수의 구획으로 구분짓는 역할을 하며, 막음재(19)는 상기 상판(14)과 하판(11) 사이의 구성부품들을 보호하는 기능을 갖는다. The partition member 18 serves to divide the thermoelectric thermostat plate of the present invention into an appropriate number of compartments, and the blocking member 19 serves to protect components between the upper plate 14 and the lower plate 11. Have

이들 구획재(18) 또는 막음재(19) 역시 열전도성이 양호한 금속재로 구성하는 것이 바람직하다. These partitions 18 or the blocking material 19 are also preferably composed of a metal material having good thermal conductivity.

본 발명에 있어 상기 양호한 열전도성 금속재로서는 알루미늄(Al)이 무난하며, 양호한 열전도성 및 방청성을 가지는 기타의 재질이라도 무방하다. In the present invention, the above-mentioned good thermally conductive metal material may be aluminum (Al), and may be any other material having good thermal conductivity and rust resistance.

상기 열전소자(13)의 상하 표면에는 그리이스(grease)를 도포함으로써, 상기 항온 블록(12) 및 상판(14)과의 상호 접촉부에 기공 등이 형성되는 것을 방지하는 것이 바람직하다. It is preferable to apply grease to the upper and lower surfaces of the thermoelectric element 13 to prevent the formation of pores and the like at mutual contact portions between the thermostatic block 12 and the upper plate 14.

이는, 이들 구성요소 사이의 접촉이 긴밀하여야만, 정확한 온도 측정 및 그 제어가 가능하기 때문이다.This is because accurate temperature measurement and control are possible only if the contact between these components is intimate.

상기 상판(14)의 일측단에는, 그 위의 시험 대상 부품의 탈락을 방지하기 위한 가이드 브라켓(20)이 부착되어 있다. At one end of the upper plate 14, a guide bracket 20 is attached to prevent falling of the test target component thereon.

도면상으로는 상기 가이드 브라켓(20)을 열전 항온판 후단부 2 개소에 부착하는 것으로 나타나 있으나, 그 위치 또는 개수는 특별히 한정하지 않는다. Although shown in the drawing, the guide bracket 20 is attached to two rear ends of the thermoelectric constant temperature plate, but the position or number thereof is not particularly limited.

본 발명 제 1 실시예의 열전 항온판(100)을 이용한 시험장비의 개략도인 도 4와 상기 도 3에 따르면, 열전 항온판(100)은 기본적으로, 열전도성이 양호한 금속판재로 구성된 하판(11)과, 하판(11) 상에 올려진 금속재로서 그 상부 표면상에 열전소자 배치용 홈이 형성된 항온 블록(12)과, 항온 블록(12)상에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자(13)와, 역시 양호한 열전도성을 갖는 금속판재로서 상기 열전소자(13) 위에 올려져 상기 하판(11)과 나사 체결된 상판(14)과, 각각의 열전소자(13)와 상판(14) 사이에 배치된 다수의 온도 센서(15)와, 상기 각각의 열전소자(13)에 연결된 리드선들이 집결되는 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부 전원으로부터의 전력을 상기 다수의 열전소자(13)로 공급하는 전원 커넥터(16)와, 상기 각각의 온도 센서(15)에 연결된 리드선들이 집결되는 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부의 온도 컨트롤러와 연결되는 온도 컨트롤러 커넥터(17)를 포함하여 구성된다. 4 and 3, which are schematic views of test equipment using the thermoelectric thermostat plate 100 according to the first embodiment of the present invention, the thermoelectric thermostat plate 100 is basically a lower plate 11 composed of a metal plate having good thermal conductivity. And a constant temperature block 12 having a metal material placed on the lower plate 11 and having a groove for placing thermoelectric elements on the upper surface thereof, and a plurality of thermoelectric elements 13 arranged at regular intervals on the constant temperature block 12. And an upper plate 14 mounted on the thermoelectric element 13 and screwed to the lower plate 11 as a metal plate material having good thermal conductivity, and disposed between each of the thermoelectric elements 13 and the upper plate 14. A plurality of temperature sensors 15 and lead wires connected to the respective thermoelectric elements 13 are collected, and are coupled on the lower plate 11 to supply power from an external power source to the plurality of thermoelectric elements 13. And a lead wire connected to each of the temperature sensors 15 and the power supply connector 16 As where the gathered, is coupled on the lower plate 11 is configured to include a temperature controller connector 17 connected to an external temperature controller.

그에 덧붙여, 앞서 언급한 바의 구획재(18) 및 막음재(19) 등을 추가함으로써 조립 및 기능 향상을 기하고 있는 구조이다. In addition, by adding the partition material 18, the blocking material 19, etc. which were mentioned above, it is a structure which improves assembly and a function.

한편, 필요 여하에 따라서는 상기 하판(11)과 항온 블록(12)을 하나의 동일한 몸체로 구성할 수도 있음은 물론이다. On the other hand, if necessary, the lower plate 11 and the constant temperature block 12 may be configured as one same body, of course.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명 제 1 실시예의 열전 항온판(100)은, 전원 공급 및 온도 제어 기능을 갖는 별도의 외부 제어장치에 연결할 경우, 상기 각각의 열전소자(13)마다 독립적 온도제어 단위가 형성됨으로써, 열전소자(13)를 중심으로 한 다수의 구획별로 개별적 온도 제어가 가능하여, 열전 항온판(100) 표면의 온도를 전 범위에 걸쳐 균일하게 유지할 수 있음은 물론, 매우 높은 수준의 제어 정밀도를 확보할 수 있다. The thermoelectric thermostat plate 100 according to the first embodiment of the present invention having the configuration as described above is an independent temperature control unit for each thermoelectric element 13 when connected to a separate external control device having a power supply and a temperature control function. By forming a, it is possible to individually control the temperature in a plurality of compartments around the thermoelectric element 13, it is possible to maintain the temperature of the surface of the thermoelectric constant temperature plate 100 uniformly over the entire range, of course, Control precision can be secured.

즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, SMPS(switching mode power supply) 장치(30-a)와 멀티-체널 온도 컨트롤러(multi-channel temperature controller)(30-b)를 포함하는 별도의 외부 제어장치(30)에 연결된 커넥터, 즉 전원 공급용 커넥터(16') 및 온도 제어용 커넥터(17')를 상기 열전 항온판(100)상의 전원 커넥터(16) 및 온도 컨트롤러 커넥터(17)와 각각 연결함으로써 하나의 전자부품 시험장비가 완성된다. That is, as shown in FIG. 4, a separate external control device 30 including a switching mode power supply (SMPS) device 30-a and a multi-channel temperature controller 30-b. A connector connected to the power supply connector 16 'and the temperature control connector 17' with the power connector 16 and the temperature controller connector 17 on the thermoelectric thermostat 100, respectively, Part test equipment is completed.

이어서, 상기 외부 제어장치(30)상의 조작 버튼(도시하지 않음)으로 열전 항온판 표면 온도를 설정하고 전원을 인가하면, 상기 열전소자(13)로 인가되는 전류의 방향이 외부 제어장치(30)에 의해 개별적, 독립적으로 제어됨으로써, 각각의 구획별로 설정 온도를 정확히 유지하게 되며, 나아가서는, 열전 항온판(100) 전체가 시험 조건에 맞는 온도 상태를 쉽게 확보할 수 있다. Subsequently, when the thermoelectric thermostat surface temperature is set with an operation button (not shown) on the external control device 30 and power is applied, the direction of the current applied to the thermoelectric element 13 is changed to the external control device 30. By being individually and independently controlled by, the set temperature is maintained precisely for each section, and further, the thermoelectric constant temperature plate 100 can easily secure a temperature state suitable for the test conditions.

특정 온도 상태하의 시험 완료 후, 상기 설정 온도만 변경하면, 종래와 같은 시험 환경의 재설정 및 대상 부품의 이동 등으로 인한 불편 없이 다른 온도 상태하의 시험을 즉시 수행할 수 있다. After completion of the test under a specific temperature state, if only the set temperature is changed, the test under another temperature state can be immediately performed without inconvenience due to the resetting of the test environment and the movement of the target component as in the prior art.

제 2 실시예Second embodiment

본 발명 제 2 실시예의 열전 항온판의 일부 절개 평면도인 도 5 및 그 B-B선 단면도인 도 6에 따르면, 열전 항온판(200)은 판 부분(200-a)과 유체유입 부분(200-b)으로 구분되는데, 제 1 실시예의 열전 항온판(100)과 동일한 구성을 갖는 판 부분(200-a) 아래에 유체유입 부분(200-b)을 결합한 특징이 있다. According to FIG. 5, which is a partially cutaway plan view of the thermoelectric thermostat according to the second embodiment of the present invention, and a cross-sectional view taken along line BB thereof, the thermoelectric thermostat 200 includes a plate portion 200-a and a fluid inflow portion 200-b. The fluid inlet portion 200-b is coupled under the plate portion 200-a having the same configuration as the thermoelectric constant temperature plate 100 of the first embodiment.

판 부분(200-a)의 구성은 앞서 설명한 제 1 실시예에 있어서의 열전 항온판(100)과 동일하므로, 그에 대한 중복 설명은 생략한다. Since the structure of the plate part 200-a is the same as that of the thermoelectric thermostat plate 100 in 1st Embodiment mentioned above, the overlapping description is abbreviate | omitted.

유체유입 부분(200-b)은, 열전도성이 양호한 금속재 몸체의 양단부에 적정 깊이의 긴 띠 형상으로 형성된 혼합실(21-a, 21-b)과, 이들 혼합실(21-a, 21-b)을 상호 연결하는 형태로 관통된 다수의 평행 연통로(21-c)와, 혼합실(21-a, 21-b)에 있어 상기 연통로(21-c) 반대측 개구부에 결합된 차폐판(21-d)과, 이들 차폐판(21-d) 중 전방 차폐판에 형성된, 도 7에 나타낸 바의 급수공(IN) 및 출수공(OUT)에 각각 결합된 니플(21-e, 21-f)을 포함하는 구성으로 되어 있다. The fluid inflow portion 200-b includes mixing chambers 21-a and 21-b formed in long bands at appropriate depths at both ends of the metal body having good thermal conductivity, and these mixing chambers 21-a and 21-. b) a plurality of parallel communication paths 21-c penetrated in the form of interconnection with each other, and shielding plates coupled to the openings opposite the communication paths 21-c in the mixing chambers 21-a and 21-b. (21-d) and nipples (21-e, 21) coupled to the water supply hole (IN) and the water outlet hole (OUT) as shown in FIG. 7, respectively, formed in the front shielding plate of these shielding plates (21-d). -f).

한편, 상기 판 부분(200-a)과 유체유입 부분(200-b)을 상호 결합함에 있어서는, 판 부분(200-a)을 구성하는 하판(11)의 전후 돌출단에 "ㄱ"자 형상의 결합판(22)을 걸고 상기 유체유입 부분(200-b)에 대하여 나사 체결하는 구조로 되어 있다. On the other hand, in the coupling between the plate portion 200-a and the fluid inlet portion 200-b, the "a" shape is formed at the front and rear protrusions of the lower plate 11 constituting the plate portion 200-a. The coupling plate 22 is fastened and screwed with respect to the fluid inflow portion 200-b.

제 2 실시예의 열전 항온판(200)에 있어 별도의 유체유입 부분(200-b)을 추가한 것은, 이 유체유입 부분(200-b)으로 적정 고온 또는 저온의 유체를 공급함으로써, 그 상방의 판 부분(200-a)을 더욱 신속히 가열 또는 냉각시키기 위함이다. In the thermoelectric constant temperature plate 200 of the second embodiment, the additional fluid inflow portion 200-b is added to the fluid inflow portion 200-b by supplying an appropriate high temperature or low temperature fluid. This is to heat or cool the plate portion 200-a more quickly.

상기 고온 또는 저온 유체로서는 물이 바람직하며, 도 8에 나타낸 바와 같이, 적정 온도의 고온수 또는 저온수를 생성하기 위한 가열장치(40-a) 및 냉각장치(40-b)를 구비한 별도의 외부 제어장치(40)를 거쳐 상기 급수공(IN)측 니플(21-e)로 공급된다. As the high temperature or low temperature fluid, water is preferable, and as shown in FIG. 8, a separate device having a heating device 40-a and a cooling device 40-b for generating hot water or low temperature water at an appropriate temperature is provided. The water supply hole IN is supplied to the nipple 21-e via an external control device 40.

도면상의 출수공(OUT)측 니플(21-f)로부터는 상기 유체유입 부분(200-b) 내의 고온수 또는 저온수가 흘러나와 가열장치(40-a) 또는 냉각장치(40-b)로 복귀하게 된다. The hot or cold water in the fluid inlet portion 200-b flows out of the nipple 21-f on the OUT side of the drawing and returns to the heating device 40-a or the cooling device 40-b. Done.

즉, 본 발명 제 2 실시예의 열전 항온판(200)을 이용한 전자부품 시험장비를 구성함에 있어서는, 상기 도 4의 온도 제어용 외부 제어장치(30)에 덧붙여, 도 8에 나타낸 바의 유체 공급 제어용 외부 제어장치(40)를 포함하는 의미의 다기능성 제어장치를 필요로 한다. That is, in the configuration of the electronic component test equipment using the thermoelectric constant temperature plate 200 of the second embodiment of the present invention, in addition to the temperature control external control device 30 of FIG. 4, the fluid supply control external as shown in FIG. 8 is shown. There is a need for a multifunctional control device in the sense of including the control device 40.

도시된 바의 체크 밸브(check valve)(V1, V2, V3, V4)를 선택적으로 개폐시켜 유체유입 부분(200-b)을 가열장치(40-a) 또는 냉각장치(40-b) 중 어느 일방과 연결시키는 동작 또한 상기 다기능성 제어장치가 수행하게 된다. Selectively opening and closing the check valves V1, V2, V3, and V4 as shown to open the fluid inlet portion 200-b either of the heating device 40-a or the cooling device 40-b. The operation of connecting with one side is also performed by the multifunction control device.

제 2 실시예의 경우, 판 부분(200-a)을 구성하는 상판(14)에 대한 가열 또는 냉각 주체는 외부 제어장치로부터의 유체인 반면, 열전소자(13)는 설정 온도를 중심으로 한 소폭의 온도 조정자 역할만을 한다고 할 수 있으며, 바로 이 점에 있어서, 열전소자가 상판에 대한 가열 또는 냉각 주체로서의 역할 및 온도 조정자 역할을 함께 수행했던 상기 제 1 실시예의 구조와는 다르다. In the second embodiment, the heating or cooling main body for the upper plate 14 constituting the plate portion 200-a is a fluid from an external control device, while the thermoelectric element 13 has a small width around the set temperature. It can be said that only the role of the temperature regulator, and in this respect, the thermoelectric element is different from the structure of the first embodiment in which the thermoelectric element serves as a heating or cooling main body and the temperature regulator for the top plate together.

결과적으로, 본 발명 제 2 실시예의 열전 항온판(200)에 따르면, 더욱 신속히 설정 온도에 이르는 한편, 온도 제어의 정밀도 또한 향상되는 특징이 있다. As a result, according to the thermoelectric constant temperature plate 200 of the second embodiment of the present invention, it is possible to reach the set temperature more quickly, while also improving the accuracy of the temperature control.

한편, 상기 판 부분(200-a)상에 구비된 전원 커넥터(16) 및 온도 컨트롤러 커넥터(17)를 별도의 외부 제어장치측 커넥터(16', 17')와 각각 연결함으로써 하나의 전자부품 시험장비를 완성하는 점은 상기 제 1 실시예의 경우와 동일하다. Meanwhile, one electronic component test is performed by connecting the power connector 16 and the temperature controller connector 17 provided on the plate portion 200-a with the separate external controller side connectors 16 ′ and 17 ′, respectively. The point of completing the equipment is the same as that of the first embodiment.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 열전 항온판에 따르면, 그 내부에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자를 삽설하고, 이들 열전소자를 중심으로 한 구획별 독립적 온도제어 단위을 구성하여, 하나의 열전 항온판의 표면 온도를 구획별로 제어함으로써, 그 표면 온도가 전체적으로 매우 균일함은 물론 정밀한 온도 제어를 이룰 수 있다. As described above, according to the thermoelectric constant temperature plate of the present invention, a plurality of thermoelectric elements arranged at regular intervals are inserted therein, and an independent temperature control unit for each section centered around these thermoelectric elements is configured to form one thermoelectric constant temperature. By controlling the surface temperature of the plate section by section, the surface temperature is very uniform as a whole and precise temperature control can be achieved.

또한, 종래와 같은 대형 시험 장비를 필요로 하지 않음은 물론, 다양한 온도 상태하의 시험 과정이 하나의 열전 항온판상에서 이루어지기 때문에, 시험 장비 제작비 절감 및 생산성 향상 효과를 함께 얻을 수 있다. In addition, the large-scale test equipment as described above is not required, and since the test process under various temperature conditions is performed on one thermoelectric thermostat, it is possible to reduce the production cost and increase the productivity of the test equipment.

아울러, 본 발명의 열전 항온판은 그 형상 또는 치수 변경이 용이하여 상기 전자부품 시험용 이외 다양한 용도로의 이용 가능성, 즉 범용성을 확보할 있다. In addition, the thermoelectric constant temperature plate of the present invention can be easily changed in shape or dimensions, thereby ensuring the usability, that is, versatility, for various uses other than the electronic component test.

도 1은 종래의 전자부품 특성시험 장비의 일예를 나타낸 개략도, 1 is a schematic diagram showing an example of a conventional electronic component characteristic testing equipment,

도 2는 본 발명 제 1 실시예의 열전 항온판을 나타낸 일부 절개 평면도, 2 is a partially cutaway plan view showing a thermoelectric thermostat plate according to a first embodiment of the present invention;

도 3은 상기 제 1 실시예의 열전 항온판의 A-A선 단면도, 3 is a cross-sectional view taken along line A-A of the thermoelectric thermostat plate of the first embodiment;

도 4는 제 1 실시예의 열전 항온판을 이용하는 시험장비를 나타낸 개략도, Figure 4 is a schematic diagram showing the test equipment using the thermoelectric thermostat of the first embodiment,

도 5는 본 발명의 제 2 실시예의 열전 항온판을 나타낸 일부 절개 평면도, 5 is a partially cutaway plan view showing a thermoelectric thermostat plate according to a second embodiment of the present invention;

도 6은 상기 제 2 실시예의 열전 항온판의 B-B선 단면도, 6 is a cross-sectional view taken along line B-B of the thermoelectric thermostat plate according to the second embodiment;

도 7은 제 2 실시예의 열전 항온판을 나타낸 정면도, 7 is a front view showing the thermoelectric thermostat plate of the second embodiment,

도 8은 제 2 실시예의 열전 항온판을 이용하는 시험장비를 나타낸 개략도이다. 8 is a schematic diagram showing test equipment using the thermoelectric thermostat plate of the second embodiment.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

11 : 하판 12 : 항온 블록                  11: bottom plate 12: constant temperature block

13 : 열전소자 14 : 상판         13: thermoelectric element 14: top plate

15 : 온도 센서 16 : 전원 커넥터        15 temperature sensor 16 power connector

17 : 온도 컨트롤러 커넥터 18 : 구획재         17: temperature controller connector 18: compartment

19 : 막음재 100, 200 : 열전 항온판 200-a : 판 부분 200-b : 유체유입 부분         19: blocking material 100, 200: thermoelectric constant temperature plate 200-a: plate portion 200-b: fluid inlet portion

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Claims (6)

열전도성이 양호한 금속판재로 구성된 하판(11)과; 하판(11) 상에 올려지며 그 상부 표면에 열전소자 정렬을 위한 다수의 홈이 형성된 항온 블록(12)과; 항온 블록(12)상에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자(13)와; 역시 양호한 열전도성을 갖는 금속판재로서 열전소자(13) 위에 올려져 상기 하판(11)과 나사 체결된 상판(14)과; 각각의 열전소자(13)와 상판(14) 사이에 배치된 다수의 온도 센서(15)와; 상기 각각의 열전소자(13)에 연결된 리드선들이 집결된 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부 전원으로부터의 전류를 상기 각각의 열전소자(13)로 공급하는 전원 커넥터(16)와; 상기 각각의 온도 센서(15)에 연결된 리드선들이 집결된 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부의 온도 컨틀롤러와 연결되는 온도 컨트롤러 커넥터(17)를 포함하며, 열전소자(13)를 중심으로 한 다수의 독립적 온도제어 단위이 구성된 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(100).A lower plate 11 made of a metal plate having good thermal conductivity; A constant temperature block 12 mounted on the lower plate 11 and having a plurality of grooves formed on the upper surface thereof to align the thermoelectric elements; A plurality of thermoelectric elements 13 arranged on the constant temperature block 12 at regular intervals; An upper plate 14 mounted on the thermoelectric element 13 and screwed to the lower plate 11 as a metal plate material having good thermal conductivity; A plurality of temperature sensors 15 disposed between each thermoelectric element 13 and the top plate 14; A power connector 16 where the lead wires connected to the respective thermoelectric elements 13 are collected and coupled to the lower plate 11 to supply current from an external power source to the respective thermoelectric elements 13; The lead wires connected to the respective temperature sensors 15 are collected, and include a temperature controller connector 17 coupled to the lower plate 11 and connected to an external temperature controller. A thermoelectric constant temperature plate (100) having a thermoelectric element, characterized in that a plurality of independent temperature control units are configured as a center. 열전도성이 양호한 금속판재로 구성된 하판(11)과; 하판(11) 상에 올려지며 그 상부 표면에 열전소자 정렬을 위한 다수의 홈이 형성된 항온 블록(12)과; 항온 블록(12)상에 일정 간격으로 배열된 다수의 열전소자(13)와; 역시 양호한 열전도성을 갖는 금속판재로서 열전소자(13) 위에 올려져 상기 하판(11)과 나사 체결된 상판(14)과; 각각의 열전소자(13)와 상판(14) 사이에 배치된 다수의 온도 센서(15)와; 상기 각각의 열전소자(13)에 연결된 리드선들이 집결된 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부 전원으로부터의 전류를 상기 각각의 열전소자(13)로 공급하는 전원 커넥터(16)와; 상기 각각의 온도 센서(15)에 연결된 리드선들이 집결된 곳으로서, 상기 하판(11)상에 결합되어 외부의 온도 컨틀롤러와 연결되는 온도 컨트롤러 커넥터(17)를 포함하며, 열전소자(13)를 중심으로 한 다수의 독립적 온도제어 단위이 구성된 판 부분(200-a)과; 판 부분(200-a) 하단면에 결합되며, 급수구(IN) 및 출수구(OUT)를 갖는 유체유입 부분(200-b)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(200).A lower plate 11 made of a metal plate having good thermal conductivity; A constant temperature block 12 mounted on the lower plate 11 and having a plurality of grooves formed on the upper surface thereof to align the thermoelectric elements; A plurality of thermoelectric elements 13 arranged on the constant temperature block 12 at regular intervals; An upper plate 14 mounted on the thermoelectric element 13 and screwed to the lower plate 11 as a metal plate material having good thermal conductivity; A plurality of temperature sensors 15 disposed between each thermoelectric element 13 and the top plate 14; A power connector 16 where the lead wires connected to the respective thermoelectric elements 13 are collected and coupled to the lower plate 11 to supply current from an external power source to the respective thermoelectric elements 13; The lead wires connected to the respective temperature sensors 15 are collected, and include a temperature controller connector 17 coupled to the lower plate 11 and connected to an external temperature controller. A plate portion 200-a composed of a plurality of independent temperature control units centered thereon; Coupled to the bottom surface of the plate portion 200-a, characterized in that it comprises a fluid inlet portion 200-b having a water inlet (IN) and outlet (OUT), thermoelectric constant temperature plate with a thermoelectric element (200). 제 2항에 있어서, 상기 유체유입 부분(200-b)은, 열전도성이 양호한 금속재 몸체의 양단부에 적정 깊이의 긴 띠 형상으로 형성된 혼합실(21-a, 21-b)과, 이들 혼합실(21-a, 21-b) 사이에 연통된 다수의 평행 연통로(21-c)와, 혼합실(21-a, 21-b)에 있어 연통로(21-c) 반대측 개구부에 결합된 차폐판(21-d)과, 이들 차폐판(21-d) 중 일방에 형성된 급수공(IN) 및 출수공(OUT)에 각각 결합된 니플(21-e, 21-f)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(200). The mixing chamber (21-a, 21-b) according to claim 2, wherein the fluid inflow portion (200-b) includes a mixing chamber (21-a, 21-b) formed in an elongated band shape at an appropriate depth at both ends of the metal body having good thermal conductivity. A plurality of parallel communication paths 21-c communicated between (21-a, 21-b) and coupled to openings opposite the communication paths 21-c in the mixing chambers 21-a, 21-b. The shield plate 21-d and nipples 21-e and 21-f coupled to the water supply hole IN and the water outlet hole formed in one of these shield plates 21-d, respectively, Characterized in that the thermoelectric constant temperature plate 200 having a thermoelectric element. 제 2항에 있어서, 상기 판 부분(200-a)을 구성하는 하판(11)의 전후 돌출단에 "ㄱ"자 형상의 결합판(22)을 걸고 상기 유체유입 부분(200-b)에 나사 체결한 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(200). According to claim 2, the engaging plate 22 of the "b" shaped on the front and rear protrusions of the lower plate 11 constituting the plate portion 200-a and the screw in the fluid inlet portion 200-b The thermoelectric constant temperature plate 200 provided with the thermoelectric element characterized by the fastening. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 상판(14)의 일측단에 결합되어 측정대상 부품의 탈락을 방지하는 가이드 브라켓(20)이 부착된 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(100, 200).The thermoelectric constant temperature plate having a thermoelectric element according to claim 1 or 2, wherein a guide bracket 20 is attached to one side end of the upper plate 14 to prevent falling of the component to be measured. (100, 200). 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 하판(11)과 상판(14)은 하나의 몸체로 구성된 것을 특징으로 하는, 열전소자를 구비한 열전 항온판(100, 200).The thermoelectric constant temperature plate according to claim 1 or 2, wherein the lower plate (11) and the upper plate (14) are composed of one body.
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