KR100477526B1 - Semiconductor testing device of pogo pin - Google Patents
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Abstract
본 발명은 포고 핀이 일정한 강도를 가지며 인터페이스 역할을 수행할 수 있는 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 관한 것으로, 테스트 보드의 인터페이스 패드가 블록에 수직 관통한 원형 형상의 포고 핀들에 의해 프로브에 전기적으로 연결되어 특성 검사를 받기 위한 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 있어서, 상기 테스트 보드와 프로브에 각각 접촉되는 상부 접촉 핀과, 하부 접촉 핀, 상기 상하부 접촉 핀이 상하 동작할 때 더 이상 아래로 내려가지 않도록 하는 홈, 상기 상하부 접촉 핀이 테스트 보드에 강하게 접촉되도록 장력을 가하는 용수철, 상기 홈상부에 형성되어 상기 상부 접촉 핀이 아래로 내려왔을 때 접촉되는 금속 도체판, 상기 상하부 접촉 핀이 상하로 움직일 수 있도록 고정시키고, 상기 금속 도체판을 고정시키는 케이스, 상기 상부 접촉 핀이 상기 금속 도체판에 접촉되었을 때 접촉되었음을 알리는 발광체, 상기 금속 도체판에 연결되어 상기 발광체을 동작시키기 위한 전원으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a pogo pin of a semiconductor test apparatus in which the pogo pin has a constant strength and can serve as an interface, and the interface pad of the test board is electrically connected to the probe by circular pogo pins vertically penetrating the block. In the pogo pin of the semiconductor test device for the characteristic test, the upper contact pin, the lower contact pin, and the upper and lower contact pins respectively contacting the test board and the probe so that the upper and lower contact pins do not go down any further when the upper and lower operations A spring, a spring for tensioning the upper and lower contact pins to be in strong contact with the test board, a metal conductor plate formed on the groove and contacting when the upper contact pin descends, and the upper and lower contact pins moving upward and downward A case for fixing the metal conductor plate and the upper contact Pin is connected to the light emitting body, wherein the metal conductive plate, indicating that the contact when the contact with the metal conductive plate and being configured to power for operating the balgwangcheeul.
Description
본 발명은 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 관한 것으로, 특히 포고 핀이 일정한 강도를 가지며 인터페이스 역할을 수행할 수 있는 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a pogo pin of a semiconductor test device, and more particularly to a pogo pin of a semiconductor test device capable of having a certain strength and acting as an interface.
일반적으로 웨이퍼 레벨의 제조 공정이 완료된 웨이퍼 상의 각 칩들은 패키징 공정을 수행하기 전에 EDS(Electrical Die Sorting) 공정에서 테스트 설비에 의해 전기적인 특성 검사를 받게된다. 또한, 패키징 공정이 완료된 패키지들도 테스트 설비에 의해 전기적인 특성 검사를 받게 된다. 이는 상기 웨이퍼의 각 칩들이나 패키지들이 반도체장치로서의 특정 기준에 적합하게 제조되었는지의 여부를 판단하기 위함이다.In general, each chip on the wafer where the wafer-level manufacturing process is completed is subjected to electrical property inspection by a test facility in an electrical die sorting (EDS) process before performing the packaging process. In addition, packages that have completed the packaging process are subjected to electrical characterization by a test facility. This is to determine whether each chip or package of the wafer has been manufactured in accordance with a specific standard as a semiconductor device.
최근 들어 반도체소자의 고집적화가 진행되면서 포고 핀(Pogo Pin)이라는 탐침이 널리 사용되고 있다. 상기 포고 핀을 적용한 블록은 테스터(Device Under Testing)와 더트(Dut) 보드(또는 테스트)를 전기적으로 접속한다.In recent years, as the integration of semiconductor devices has progressed, a probe called a pogo pin has been widely used. The block to which the pogo pin is applied electrically connects a tester (Device Under Testing) and a dirt board (or a test).
즉, 포고 핀은 전기적인 접속을 필요로 하는 패드형태와 상호 효과적으로 접속 분리 할 수 있는 장치이다.In other words, the pogo pin is a device that can be effectively separated from each other and the pad form requiring electrical connection.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a pogo pin of a conventional semiconductor test apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래의 보드간의 인터페이스를 위해 포고 핀을 적용한 경우를 나타낸 구성도이고, 도 2는 종래의 포고 핀을 나타낸 구성도이다.1 is a configuration diagram showing a case where the pogo pin is applied to the interface between the conventional board, Figure 2 is a configuration diagram showing a conventional pogo pin.
도 1에 도시한 바와 같이 블록(10)에 원형 형상의 포고 핀들(20)이 수직 관통한다. 이때, 상기 포고 핀들(20)은 원형 관통 형상의 포고 핀 케이스들이 각각 삽입 고정되고, 상기 포고 핀 케이스들내에 포고 핀(20)이 하나씩 대응하여 삽입 설치된다. 그리고 테스트 보드(30)의 인터페이스 패드(40)가 상기 포고 핀들(20)에 의해 프로브(50)에 전기적으로 연결된다.As shown in FIG. 1, circular pogo pins 20 penetrate vertically to the block 10. At this time, the pogo pins 20 are each inserted and fixed to the pogo pin case of the circular through shape, the pogo pin 20 is inserted into the pogo pin cases one by one correspondingly installed. The interface pad 40 of the test board 30 is electrically connected to the probe 50 by the pogo pins 20.
여기서, 도 2에 도시한 바와 같이 포고 핀(20)은 상측 또는 하측 테스트 보드에 접촉되는 상부 접촉 핀(21)과, 하부 접촉 핀(22) 그리고 상기 상하부 접촉 핀(21)(22)이 상하 동작할 때 더 이상 아래로 내려가지 않도록 하는 홈(23)과 상기 상하부 접촉 핀(21)(22)이 테스트 보드에 강하게 접촉되도록 장력을 가하는 용수철(24)과, 상기 상하부 접촉 핀(21)(22)이 상하로 움직일 수 있도록 고정시키는 케이스(25)로 구성된다.Here, as shown in FIG. 2, the pogo pin 20 has an upper contact pin 21, a lower contact pin 22, and the upper and lower contact pins 21, 22 contacting the upper or lower test board. A spring 24 for tensioning the groove 23 and the upper and lower contact pins 21 and 22 so as to be in strong contact with the test board so as not to move down any further during operation, and the upper and lower contact pins 21 ( It is composed of a case 25 for fixing so that 22) can move up and down.
상기와 같이 구성된 종래의 반도체 테스트 장치의 포고 핀 동작은 다음과 같다.The pogo pin operation of the conventional semiconductor test apparatus configured as described above is as follows.
상부 접촉 핀(21)이 테스트 보드(30)의 인터페이스 패드(40)에 의해 눌리면 용수철(24)의 지지를 받으며 아래로 내려가 접촉이 이루어진다. 이때, 상기 하부 접촉 핀(22)은 프로브(50)에 접촉된다.When the upper contact pin 21 is pressed by the interface pad 40 of the test board 30 is supported by the spring 24 and down to make contact. In this case, the lower contact pin 22 is in contact with the probe 50.
즉, 도면에서는 도시하지 않았지만 접촉 높이 조정은 블래킷(bracket)과 차단형 광센서에 의해 이루어진다.That is, although not shown in the drawing, the contact height adjustment is performed by a bracket and a blocking optical sensor.
그러나 상기와 같은 종래의 반도체 테스트 장치의 포고 핀은 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the pogo pin of the conventional semiconductor test apparatus as described above has the following problems.
테스트 보드와 프로브의 셋업시 테스트 보드의 인터페이스 패드와 포고 핀 블록내의 포고 핀을 정확하게 맞추어야 하는데, 포고 핀이 테스트 보드에 가려져 어느 정도의 강도로 접촉이 되는지 또는 모든 포고 핀들이 동일한 강도로 접촉이 되었는지 알기가 어렵다.When setting up the test board and the probe, the interface pad of the test board and the pogo pins in the pogo pin block must be precisely aligned. Difficult to know
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로 모든 포고 핀들이 일정한 강도로 인터페이스 패드에 접촉할 수 있는 반도체 테스트 장치의 포고 핀을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a pogo pin of the semiconductor test apparatus that can be contacted to the interface pad with a certain strength to all pogo pins to solve the above problems.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 테스트 보드의 인터페이스 패드가 블록에 수직 관통한 원형 형상의 포고 핀들에 의해 프로브에 전기적으로 연결되어 특성 검사를 받기 위한 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 있어서, 본 발명은 상기 테스트 보드와 프로브에 각각 접촉되는 상부 접촉 핀 및 하부 접촉 핀;상하부 접촉 핀 사이에 설치되어 상기 상하부 접촉 핀이 상기 테스트 보드에 강하게 접촉되도록 장력을 가하는 용수철; 상하부 접촉 핀을 애워싸는 케이스; 케이스에 형성되어 상하부 접촉 핀이 상하 동작할 때 더 이상 아래로 내려가지 않도록 하기 위한 홈; 홈 상부에 형성되어 상기 상부 접촉 핀이 아래로 내려왔을 때 접촉되는 금속 도체판; 금속도체판에 연결되어 상기 상부 접촉 핀이 상기 금속 도체판에 접촉되었을 때 접촉되었음을 알리는 발광체;및 금속 도체판과 상기 발광체에 각각 연결되어 상기 발광체을 동작시키기 위한 전원으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 케이스는 부도체인 것이 바람직하다.In order to achieve the above object, the interface pad of the test board is electrically connected to the probe by the circular pogo pins vertically penetrating the block in the pogo pin of the semiconductor test device for the property test, the present invention is An upper contact pin and a lower contact pin contacting the test board and the probe, respectively; a spring installed between upper and lower contact pins to apply tension to the upper and lower contact pins so as to strongly contact the test board; A case surrounding the upper and lower contact pins; A groove formed in the case so that the upper and lower contact pins do not go down any more when the upper and lower contact pins operate; A metal conductor plate formed on an upper portion of the groove and contacted when the upper contact pin descends; A light emitter connected to the metal conductor plate to indicate that the upper contact pin is in contact when the upper contact pin is in contact with the metal conductor plate; and a power source connected to the metal conductor plate and the light emitter to operate the light emitter, respectively. In addition, the case is preferably an insulator.
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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a pogo pin of the semiconductor test apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 테스트 장치의 포고 핀을 나타낸 구성도이다.3 is a block diagram illustrating a pogo pin of a semiconductor test apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3에 도시한 바와 같이 포고 핀(100)은 테스트 보드에 접촉되는 상부 접촉 핀(110)과, 프로브에 접촉되는 하부 접촉 핀(120)과, 상기 상하부 접촉 핀(110)(120)이 상하 동작할 때 더 이상 아래로 내려가지 않도록 하는 홈(130)과, 상기 상하부 접촉 핀(110)(120)이 테스트 보드 및 프로브에 강하게 접촉되도록 장력을 가하는 용수철(140)과, 상기 홈(130)상부에 형성되어 상기 상부 접촉 핀(110)이 아래로 내려왔을 때 접촉되는 금속 도체판(150)과 그리고 상기 상하부 접촉 핀(110)(120)이 상하로 움직일 수 있도록 고정시키고, 상기 금속 도체판(150)을 고정시키는 케이스(160) 및 상기 상부 접촉 핀(110)이 상기 금속 도체판(150)에 접촉되었을 때 접촉되었음을 알리는 발광체(170)와, 상기 금속 도체판(150)에 연결되어 상기 발광체(170)를 동작시키기 위한 전원(180)으로 구성된다.As shown in FIG. 3, the pogo pin 100 includes an upper contact pin 110 in contact with a test board, a lower contact pin 120 in contact with a probe, and upper and lower contact pins 110 and 120. A groove 130 to prevent further down when operating, a spring 140 for tensioning the upper and lower contact pins 110 and 120 to be in strong contact with the test board and the probe, and the groove 130 A metal conductor plate 150 formed at an upper side thereof and contacted when the upper contact pin 110 descends, and fixed to allow the upper and lower contact pins 110 and 120 to move up and down, and the metal conductor plate The case 160 fixing the 150 and the upper contact pin 110 are connected to the metal conductor plate 150 and the light emitter 170 indicating that the contact is made when the upper contact pin 110 is in contact with the metal conductor plate 150. The power source 180 is configured to operate the light emitter 170.
상기와 같이 구성된 본 발명의 반도체 테스트 장치의 포고 핀은 상부 접촉 핀(110)이 테스트 보드의 인터페이스 패드 등에 눌러 졌을 때 아래로 내려가 금속 도체판(150)에 접촉된다. 상기 금속 도체판(150)에는 전원(180) 소오스에서 계속적으로 전원이 인가되고 있어 상기 상부 접촉 핀(110)이 접촉되는 순간 폐루프가 형성되어 상기 발광체(170)에 불이 들어온다.The pogo pin of the semiconductor test apparatus of the present invention configured as described above is brought down to contact the metal conductor plate 150 when the upper contact pin 110 is pressed on the interface pad of the test board. Power is continuously applied to the metal conductor plate 150 from the source 180 source, and a closed loop is formed at the moment when the upper contact pin 110 contacts, and the light emitter 170 is lit.
한편, 상기와 같이 구성된 포고 핀은 도 4에 도시한 바와 같이 블록(200)의 상하좌우에 수직 관통하여 테스트 보드의 인터페이스 패드가 상기 포고 핀들(100)에 의해 프로브에 전기적으로 연결된다. 즉, 본 발명과 같이 구성된 포고 핀(100)이 블록(200)의 상하좌우에 삽입되고, 나머지는 종래와 같은 포고 핀들이 삽입되어 테스트 보드의 인터페이스 패드 등에 눌러 졌을 때 발광체에서 동시에 불이 들어올 때까지 맞춘다.On the other hand, the pogo pin configured as described above is vertically penetrated up, down, left, and right of the block 200 as shown in Figure 4 so that the interface pad of the test board is electrically connected to the probe by the pogo pins (100). That is, when the pogo pin 100 configured as described in the present invention is inserted into the top, bottom, left and right of the block 200, and the rest of the pogo pins are inserted into the conventional pads and pressed in the interface pad of the test board, the light emits at the same time. Adjust until
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 반도체 테스트 장치의 포고 핀에 의하면, 보이지 않는 곳의 포고 핀 접촉도 가증하고, 블록 단위의 포고 핀들을 일정량의 접촉 압력으로 접촉할 수 있다. As described above, according to the pogo pin of the semiconductor test apparatus of the present invention, the pogo pin contact invisible is also increased, and the pogo pins in the block unit can be contacted with a predetermined amount of contact pressure.
따라서, 셋업에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, the time required for setup can be shortened.
도 1은 종래의 보드간의 인터페이스를 위해 포고 핀을 적용한 경우를 나타낸 구성도1 is a configuration diagram illustrating a case where a pogo pin is applied to interface between boards according to the related art.
도 2는 종래의 포고 핀을 나타낸 구성도2 is a configuration diagram showing a conventional pogo pin
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 테스트 장치의 포고 핀을 나타낸 구성도3 is a block diagram illustrating a pogo pin of a semiconductor test apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 포고 핀 블록 평면도4 is a plan view of a pogo pin block according to an embodiment of the present invention
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 포고 핀 110 : 상부 접촉 핀100: pogo pin 110: upper contact pin
120 : 하부 접촉 핀 130 : 홈120: lower contact pin 130: groove
140 : 용수철 150 : 금속 도체판140: spring 150: metal conductor plate
160 : 케이스 170 : 발광체160 case 170 light emitter
180 : 전원 200 : 블록180: power 200: block
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