KR100471135B1

KR100471135B1 - Power supply apparatus

Info

Publication number: KR100471135B1
Application number: KR1019970025199A
Authority: KR
Inventors: 정기훈
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-06-17
Filing date: 1997-06-17
Publication date: 2005-07-05
Also published as: KR19990001761A

Abstract

본 발명은 소자 측정 장치에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 전력 공급 장치에 관한 것으로서, n 개의 전력 공급 라인들과; 전력 공급 라인들을 통해 전력을 공급받아 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하는 작업 보드와; 상기 작업 보드에 병렬 연결되어 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위한 전력을 공급하는 n 개의 전력 공급 수단들과; 전력 공급을 제어하기 위한 제어 신호를 출력하는 레지스터와; 한 쌍의 전력 공급 라인 사이에 접속되고, 상기 제어 신호에 응답하여 전력 공급 수단의 전력 용량을 제어하는 n-1 개의 스위치들을 포함하는 전력 공급 제어 수단을 포함한다. 이와 같은 장치에 의해서 전력 공급 용량을 쉽게 증가시킬 수 있다. The present invention relates to a device measuring device, and more particularly to a power supply device, n power supply lines; A work board receiving electric power through power supply lines to measure electrical characteristics of the semiconductor device; N power supply means connected in parallel to the work board and supplying power for measuring electrical characteristics of the semiconductor device; A register for outputting a control signal for controlling the power supply; And a power supply control means connected between the pair of power supply lines and including n-1 switches for controlling the power capacity of the power supply means in response to the control signal. Such a device can easily increase the power supply capacity.

Description

Power supply apparatus.

본 발명은 소자 측정 장치에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 전력 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device measuring device, and more particularly to a power supply device.

반도체 기술이 날로 발전함에 따라 고집적화, 다기능화, 고속화에 관련된 기술에 따른 관심이 다른 분야에 비해 집중되고 있다. 그 결과 고속화에 의해서는 대기 전류의 손실이 커졌으며, 고집적화, 다기능의 추구에 의해서는 반도체 제품의 핀 수가 늘어가고 있다. 특히 컴퓨터의 두뇌라 할 수 있는 마이크로 프로세서(microprocessor)와 같은 반도체 제품은 기능 향상을 위해 핀의 수가 최근 급격히 늘어나고 있으며, 클럭의 고속화로 전류의 소모도 증가하고 있는 추세이다. 이는 고집적화, 다기능화, 고속화에 의해 필연적으로 발생되는 문제들이다. 상기와 같이 전류의 소모가 큰 반도체 제품이나 소자의 전기적 특성을 검사할 경우에는 그에 비례하여 큰 적용 범위를 갖는 전력 공급 장치(power supply)가 필요하다.As semiconductor technology advances, interests related to technologies related to high integration, multifunction, and high speed have been focused more than other fields. As a result, the loss of standby current has increased due to high speed, and the pin count of semiconductor products has increased due to high integration and pursuit of multifunction. In particular, semiconductor products such as microprocessors, which are the brains of computers, are rapidly increasing in number of pins to improve their functions, and current consumption is also increasing due to the high speed of the clock. This is a problem inevitably caused by high integration, multifunction, and high speed. When inspecting the electrical characteristics of a semiconductor product or device with a large current consumption as described above, a power supply having a large application range is required in proportion thereto.

도 1은 전력 공급 장치의 구성을 보여주는 블록도이다.1 is a block diagram showing the configuration of a power supply device.

소장의 전기적 특성을 검사하기 위해서 개별적으로 분리되는 전력 공급부들(1, 2,‥‥, n)과, 작업 보드(performance board, 10)가 필요하다.In order to examine the electrical characteristics of the small intestine, separate power supplies (1, 2, ..., n) and a performance board (10) are required.

그러나 상술한 바와 같이, 소자 측정 장치에서는 서로 분리된 전력 공급부들이 존재하고, 반도체 소자들이나 제품에서 소비되는 전류량이 단일 전력 공급부의 용량을 초과할 경우 상기 소자를 검사할 수 없게 된다. 그리고 상기 소자를 검사하기 위하여 수작업으로 전력 공급부들을 작업 보드에 병렬로 연결한다. 이렇게 수작업으로 와이어 본딩과 납땜을 하게 되면 전력 공급부의 출력이 신호선이나 접지로 연결되면 치명적인 손상을 일으키게 된다. 상기와 같이, 어플리케이션 보드(application board)에서의 수작업을 통해 전력 공급부들을 병렬로 연결하여 사용할 수가 있는데 이는 수작업으로 와이어 본딩을 하다 보면 보드가 손상되는 문제점들이 발생하게 된다.However, as described above, in the device measuring apparatus, power supplies separated from each other exist, and when the amount of current consumed by the semiconductor devices or products exceeds the capacity of the single power supply, the device cannot be inspected. The power supplies are then manually connected in parallel to the work board to inspect the device. Manual wire bonding and soldering can cause catastrophic damage if the output of the power supply is connected to a signal line or ground. As described above, the power supply units may be connected in parallel through a manual operation on an application board, which causes problems in that the board is damaged during manual wire bonding.

따라서 본 발명의 목적은 측정 소자의 소비 전류량이 단일 전력 공급부의 용량보다 크더라도 전력 공급부들을 여러개 연결하여 소자를 안정적을 측정하기 위함이다.Therefore, an object of the present invention is to measure the stability of the device by connecting multiple power supplies even if the current consumption of the measuring device is greater than the capacity of a single power supply.

(구성)(Configuration)

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 일 특징에 의하면, n 개의 전력 공급 라인들과; 전력 공급 라인들을 통해 전력을 공급받아 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하는 작업 보드와; 상기 작업 보드에 병렬 연결되어 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위한 전력을 공급하는 n 개의 전력 공급 수단들과; 전력 공급을 제어하기 위한 제어 신호를 출력하는 레지스터와; 한 쌍의 전력 공급 라인 사이에 접속되고, 상기 제어 신호에 응답하여 전력 공급 수단의 전력 용량을 제어하는 n-1 개의 스위치들을 포함하는 전력 공급 제어 수단을 포함한다.According to one feature for achieving the object as described above, n power supply lines; A work board receiving electric power through power supply lines to measure electrical characteristics of the semiconductor device; N power supply means connected in parallel to the work board and supplying power for measuring electrical characteristics of the semiconductor device; A register for outputting a control signal for controlling the power supply; And a power supply control means connected between the pair of power supply lines and including n-1 switches for controlling the power capacity of the power supply means in response to the control signal.

이와 같은 장치의 실시예에 있어서, 상기 전력 제어 수단은 상기 제어 신호가 활성화될 때, 스위치가 온되어 이에 해당되는 전력 공급 라인들을 연결시켜 주는 것을 특징으로 한다.In an embodiment of such an apparatus, the power control means is characterized in that the switch is turned on when the control signal is activated to connect the corresponding power supply lines.

이와 같은 장치의 실시예에 있어서, 상기 전력 제어 수단은 전력 공급 수단의 공급 전력 용량이 측정 반도체 소자의 소비 전류보다 클 때, 상기 제어 신호는 비활성화되어 스위치가 오프되는 것을 특징으로 한다.In an embodiment of such an apparatus, the power control means is characterized in that when the supply power capacity of the power supply means is greater than the current consumption of the measurement semiconductor element, the control signal is deactivated and the switch is turned off.

이와 같은 장치의 실시예에 있어서, 상기 전력 제어 수단은 n 개의 전력 공급 수단들 사이에 접속되는 것을 특징으로 한다.In an embodiment of such an apparatus, the power control means is connected between n power supply means.

이와 같은 장치에 의해서 측정 소자의 소비 전류가 크더라도 외부에서 전력 공급부의 용량을 증가시켜 소자를 측정할 수 있다.With such a device, even if the current consumption of the measuring device is large, the device can be measured by increasing the capacity of the power supply unit from the outside.

(실시예)(Example)

이하 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 참고도면 도 2에 의거하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a reference drawing according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 2에는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 측정 장치의 구성을 보여주는 블록도가 도시되어 있다.2 is a block diagram showing the configuration of a semiconductor measuring device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참고하면, 반도체 측정 장치는 작업 보드(100), 전력 공급부들(PS1, PS2,‥‥ , PSn), 레지스터(register, 200), 그리고 전력 공급 제어부들(PSC1, PSC2,‥‥, PSC(n-1))을 구비하고 있다. 전력 공급부들(PS1, PS2,‥‥, PSn)은 전력 공급 라인들을 통해 작업 보드(100)와 병렬 연결되어 있으며, 전력 공급 제어부들{PS1, PS2, ,‥‥, PS(n-1)}은 각 전력 공급 라인과 접지 사이(GND)에 접속되는 스위치들을 구비하고 있다.Referring to FIG. 2, the semiconductor measuring apparatus includes a work board 100, power supplies PS1, PS2, PSn, a register 200, and power supply controllers PSC1, PSC2,. PSC (n-1)). The power supplies PS1, PS2, PSn are connected in parallel with the work board 100 through the power supply lines, and the power supply controllers PS1, PS2, PS, PS (n-1). Has switches connected between each power supply line and ground (GND).

상술한 바와 같은 구성을 갖는 반도체 측정 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the semiconductor measuring device having the configuration as described above is as follows.

도 2를 참고하면, 각각의 전력 공급 라인들간에 전력 공급 제어부를 연결하여 전력 공급부의 용량을 제어하는 것이다. 상기 전력 공급 제어부들(PS1, PS2, PS(n-1))은 일정 메모리를 지닌 레지스터로부터 인가되는 제어 신호들{PS LINK BIT0,‥‥, PS LINK BIT(n-1)}에 응답하여 온오프되는 스위치들로서, 그에 따라 소자 측정의 전력 공급 용량이 증가된다. 상기 전력 공급 제어부들(PS1, PS2, PS(n-1))에 인가되는 제어 신호들(PS LINK BIT0,‥‥, PS LINK BIT(n-1))은 레지스터(200)외에도 외부의 작업 보드에 단자를 만들어 파워단에 연결하여도 가능한 일이다. 그러나 외부 작업 보드에 별로의 제어 단자를 만든다는 것은 작업상에 번거로움을 유발시키므로 측정 설비 내의 메모리가 따로 설정된 레지스터를 사용하면 제어 단자를 따로 만들 필요가 없어진다. 상기 레지스터는 전력 공급 제어부들에 각각 대응되는 제어 신호들을 출력한다.Referring to FIG. 2, the power supply control unit is connected between the respective power supply lines to control the capacity of the power supply unit. The power supply control units PS1, PS2, and PS (n-1) are turned on in response to control signals {PS LINK BIT0, ..., PS LINK BIT (n-1)} applied from a register having a predetermined memory. As the switches are turned off, the power supply capacity of the device measurement is thus increased. The control signals PS LINK BIT0,..., PS LINK BIT (n-1) applied to the power supply controllers PS1, PS2, and PS (n-1) may have an external working board in addition to the register 200. It is also possible to connect a terminal to the power stage. However, creating a separate control terminal on the external work board can be cumbersome for work, and using a register with a separate memory in the measurement equipment eliminates the need for a separate control terminal. The register outputs control signals corresponding to the power supply controllers, respectively.

만일에 전력 공급부 하나만으로 특정 소자를 측정하고자 한다면 전력 공급부들의 스위치들을 오프시키도록 한다. 반대로 측정 소자의 소비 전류가 하나의 전력 공급부만으로는 측정할 수 없을 때에는 활성화되는 제어 신호를 인가하여 그에 해당되는 전력 공급부들을 연결시킨다. 예를 들어 제 1 전력 공급 제어부(PSC1)는 활성화된 제 1 제어 신호에 응답하여 제 1 전력 공급 라인과 제 2 전력 공급 라인을 연결한다. 그러므로 제 1 전력 공급부(PS1)와 제 2 전력 공급부(PS2)가 합쳐지게 되어 전체 전력 공급 용량이 증가하게 된다.If you want to measure a specific device with only one power supply, switch off the power supplies. On the contrary, when the current consumption of the measuring device cannot be measured by only one power supply unit, an active control signal is applied to connect the corresponding power supply units. For example, the first power supply controller PSC1 connects the first power supply line and the second power supply line in response to the activated first control signal. Therefore, the first power supply unit PS1 and the second power supply unit PS2 are combined to increase the total power supply capacity.

그리고 전력 공급 제어부들의 각 스위치 온오프 동작에 따라 전력 공급 용량이 결정되므로, 큰 용량이 필요한 경우 각각의 전력 공급부들을 일일이 수작업으로 본딩을 하지 않아도 된다. 이는 본딩 작업시 발생될 수 있는 신호 출력선이나 접지와의 접촉을 막을 수 있으며, 소자의 소비 전류가 아무리 크다 하더라도 필요한 만큼의 제어 공급 제어부들을 활성화시킴으로써 전력 공급 용량을 증가시킬 수 있다.In addition, since the power supply capacity is determined according to each switch on / off operation of the power supply controllers, when a large capacity is required, the power supply units do not have to be manually bonded by hand. This can prevent contact with signal output lines or ground that may occur during the bonding operation, and increase the power supply capacity by activating as many control supply controls as necessary, no matter how large the current consumption of the device is.

상술한 바와 같이, 전력 공급 라인들간의 전력 공급 제어부들을 연결함으로써, 전력 공급부의 능력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, by connecting the power supply control units between the power supply lines, there is an effect that can improve the capability of the power supply unit.

도 1은 종래에 따른 전력 공급 장치의 구성을 보여주는 블록도;1 is a block diagram showing a configuration of a power supply apparatus according to the related art;

도 2는 본 발명에 따른 전력 공급 장치의 구성을 보여주는 블록도;2 is a block diagram showing a configuration of a power supply device according to the present invention;

*도면의 주요부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

Claims

n power supply lines;

A work board receiving electric power through power supply lines to measure electrical characteristics of the semiconductor device;

N power supply means connected in parallel to the work board and supplying power for measuring electrical characteristics of the semiconductor device;

A register for outputting a control signal for controlling the power supply;

A power supply control means connected between a pair of power supply lines, the power supply control means including n-1 switches for controlling the power capacity of the power supply means in response to a control signal.

The method of claim 1,

The power control means

And when the control signal is activated, the switch is turned on to interconnect corresponding power supply lines.

The method of claim 1,

The power control means

And when the supply power capacity of the power supply means is greater than the current consumption of the measurement semiconductor element, the control signal is deactivated so that the switch is turned off.

The method of claim 1,

The power control means

power supply characterized in that it is connected between the n power supply means.