KR100467709B1 - Heap Pump Circuit using Single Phase Clock and High Voltage Generator using the same - Google Patents

Heap Pump Circuit using Single Phase Clock and High Voltage Generator using the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 비휘발성 메모리 등에서 낮은 공급 전압으로부터 고전압을 생성시키기 위한 힙펌프(Heap Pump) 회로 및 그를 이용한 고전압 발생기에 관한 것이다.The present invention relates to a heap pump circuit for generating a high voltage from a low supply voltage in a nonvolatile memory or the like and a high voltage generator using the same.

본 발명에 이용되는 힙펌프 회로는 하나 이상의 유닛 단계와, 유닛 단계와 출력 회로에 구동 신호를 인가하기 위한 하나의 단일 위상 펌핑 클럭(CLK)을 포함하며, 각각의 유닛 단계는 입력 노드(Vi); 출력 노드(Vo); 입력 노드로부터 출력 노드까지 직렬로 순차 연결되어 있는 제 3 스위치(S3), 펌핑 커패시터(CP); 상기 펌핑 커패시터와 출력 노드 사이에 있는 제 1 연결노드(N1) 및 공급 전압(VDD) 사이에 배치되는 제 1 스위치(S1); 상기 제 3 스위치와 펌핑 커패시터 사이에 위치하는 제 2 연결노드(N2) 및 접지(GND) 사이에 연결되어 있는 제 2 스위치를 포함한다.The heap pump circuit used in the present invention comprises one or more unit stages and one single phase pumping clock CLK for applying drive signals to the unit stages and output circuits, each unit stage having an input node Vi. ; An output node Vo; A third switch S3 and a pumping capacitor CP sequentially connected in series from an input node to an output node; A first switch S1 disposed between a first connection node N1 and a supply voltage V DD between the pumping capacitor and an output node; And a second switch connected between the second connection node N2 and the ground GND positioned between the third switch and the pumping capacitor.

본 발명에 의한 힙펌프 회로를 이용하면, 문턱 전압(Threshold Voltage) 강하가 없는 효율이 우수한 양의 고전압 발생기용 힙펌프 회로를 제공할 수 있을 뿐 아니라, 단일 위상 클럭을 이용함으로써 추가적인 펄스 재형상(Reshaping) 회로가 필요 없고, 클럭 구동부를 소형으로 간단하게 구현할 수 있다.By using the hip pump circuit according to the present invention, it is possible not only to provide a high efficiency heap pump circuit having a high efficiency without a threshold voltage drop, but also to use an additional pulse reshaping by using a single phase clock. No reshaping circuit is required, and the clock driver can be easily and compactly implemented.

Description

단일 위상 클럭을 이용한 힙펌프 회로 및 고전압 발생기 {Heap Pump Circuit using Single Phase Clock and High Voltage Generator using the same}Heap Pump Circuit using Single Phase Clock and High Voltage Generator using the same}

본 발명은 단일 위상 클럭의 힙펌프(Heap Pump) 회로 및 그를 이용한 고전압 발생기, 더 상세하게는 단일 위상의 클럭을 이용한 문턱 전압 강하가 없는 전하 펌프 회로(Charge Pump Circuit)인 간단한 구조의 힙펌프 회로 및 그를 이용한 고전압 발생기에 관한 것이다.The present invention relates to a simple pump heap pump circuit, a high voltage generator using the same, and more particularly a heap pump circuit having a threshold voltage drop without using a single phase clock. And a high voltage generator using the same.

일정한 공급 전압으로부터 그보다 높은 고전압을 생성하도록 전하를 펌핑하는 회로를 전하 펌프 회로라 한다. 이러한 전하 펌프 회로는 저전압에서 구동되어야 하는 EPROM 또는 플래쉬 메모리와 같은 비휘발성 메모리에서 프로그래밍 또는 데이터의 라이트(Write)를 위한 고전압을 발생시키기 위하여 이용된다. 또한, 아날로그 스위치를 구동하기 위해 고전압이 필요한 저전압 스위치 커패시터 회로나, 정전 액튜에이터(Electrostatic Actuator)를 구동하는 데에도 이용될 수 있다.A circuit that pumps charge to produce higher voltages from a constant supply voltage is called a charge pump circuit. Such charge pump circuits are used to generate high voltages for programming or writing of data in non-volatile memories such as EPROMs or flash memories that must be driven at low voltages. It can also be used to drive low voltage switch capacitor circuits that require high voltage to drive analog switches, or electrostatic actuators.

이러한 전하 펌프 회로에는 가장 오래되고 널리 이용된 딕슨(Dickson) 타입이 있는데, 딕슨 타입의 전하 펌프 회로는 두 개의 비중첩 클럭과 다이오드에 연결된 커패시터를 이용한다. 그러나, 딕슨 타입의 전하 펌프 회로는 실제 구현에 있어서 다이오드 대신 NMOS가 주로 이용된다.This charge pump circuit is the oldest and most widely used Dickson type, which uses two non-overlapping clocks and a capacitor connected to a diode. However, Dixon type charge pump circuits use NMOS instead of diodes in practical implementations.

도 1은 NMOS를 이용한 딕슨 전하 펌프 회로의 구성을 도시하는 것으로, 총 5단계(Stage)로 이루어져 있다.FIG. 1 shows the configuration of a Dickson charge pump circuit using an NMOS, and has a total of five stages.

두 개의 펌핑 클럭 φ1과 φ2가 다른 위상으로 동작하며, Vφ의 전압 진폭을 가진다. Vφ는 주로 공급 전압인 VDD와 동일하게 정해지며, 커플링 커패시터 C1내지 C4를 통하면서, 두 개의 클럭이 트랜지스터를 통하여 전하 전압을 상승시키게 된다. 경계효과(Boundary Effect)를 무시하면, 각 펌핑 노드에서의 전압 변동 ΔV는 아래의 수학식 1과 같이 될 것이다.The two pumping clocks φ1 and φ2 operate in different phases and have a voltage amplitude of Vφ. Vφ is determined to be the same as VDD, which is mainly a supply voltage, and the two clocks raise the charge voltage through the transistor through the coupling capacitors C 1 to C 4 . Ignoring the boundary effect, the voltage variation ΔV at each pumping node will be expressed by Equation 1 below.

여기서 C는 C1내지 C4의 커패시턴스이고, CS는 각 펌핑 노드와 관련된 기생 커패시턴스이며, f는 펌핑 클럭의 주파수, I0는 출력 전류이다.Where C is the capacitance of C 1 to C 4 , C S is the parasitic capacitance associated with each pumping node, f is the frequency of the pumping clock and I 0 is the output current.

φ1이 낮은 곳에서 높은 곳으로 이동하고 φ2가 높다가 낮아지는 시점에서는, 노드 1에서의 전압은 V1+ΔV로 안정되고, 노드 2에서의 전압은 V2로 안정된다. 여기서 V1과 V2는 각각 노드 1과 노드 2에서의 정상상태 저전압으로 정의한다.When φ 1 moves from low to high, φ 2 goes high and then low, the voltage at node 1 is stabilized at V 1 + ΔV, and the voltage at node 2 is stabilized at V 2 . Where V 1 and V 2 are defined as steady state low voltages at node 1 and node 2, respectively.

MD1 및 MD3는 역으로 바이어스되어 있고, 따라서 전하는 MD2를 통하여 노드 1에서 노드 2로 푸쉬되며, 최종적으로 노드 1과 노드 2의 전압차이는 MD2의 문턱 전압(Threshold Voltage)과 같이 된다. 그러므로, 전하 펌핑이 작동하기 위한 기본 조건은 ΔV가 MOSFET의 문턱 전압 Vtn보다 커야 한다는 것이다.MD1 and MD3 are reverse biased, so charge is pushed from node 1 to node 2 through MD2, and finally the voltage difference between node 1 and node 2 becomes equal to the threshold voltage of MD2. Therefore, the basic condition for charge pumping to work is that ΔV must be greater than the threshold voltage V tn of the MOSFET.

두 번째 펌핑 단계 GV2에서의 전압 펌핑 이득(Gain)은 V2와 V1의 전압차이로 정의되며, 아래의 수학식 2와 같이 표현될 수 있다.The voltage pumping gain (Gain) in the second pumping step G V2 is defined as a voltage difference between V 2 and V 1 , and may be expressed as Equation 2 below.

여기서 Vtn(V2)는 소스 전압 V2에 기인하는 몸통 효과(Body Effect)에 의하여 변경된 MD2의 문턱 전압이다.Here, V tn (V 2 ) is the threshold voltage of MD2 changed by the body effect due to the source voltage V 2 .

따라서, 전하 펌핑 회로 각 단계에서 문턱 전압만큼의 출력의 강하가 발생하므로, 전체적인 이득이 떨어지게 되며, 필요한 고전압을 발생시키기 위하여 너무 많은 단계가 필요하였다. 또한, 역 전하 공유 현상(Reverse Charge-Sharing Phenomenon)이 발생하며, 고전압 발생시 몸통 효과로 인하여 문턱 전압이 상승하므로 펌핑 효율이 급격하게 떨어진다.Therefore, since the output drop by the threshold voltage occurs at each step of the charge pumping circuit, the overall gain is lowered, and too many steps are required to generate the required high voltage. In addition, a reverse charge-sharing phenomenon occurs, and the pumping efficiency drops drastically because the threshold voltage increases due to the trunk effect when a high voltage is generated.

도 2는 이러한 단점을 보완하기 위하여, 최근에 제안된 NCP-2라 불리우는 전하 펌프 회로의 구성에 대한 일예를 도시한다.FIG. 2 shows an example of the construction of a charge pump circuit called NCP-2, which has recently been proposed to compensate for this disadvantage.

이러한 NCP-2 전하 펌프 회로는 전하 전이 스위치(CTS; MSi 트랜지스터)를 이용하고 있으며, 각각의 MSi 트랜지스터는 통과 트랜지스터 MPi에 의하여 제어된다. 이러한 방식을 이용함으로써 필요한 경우 역전하 흐름을 방지하기 위하여 전하 전이 스위치를 완전하게 끄거나, 다음 단계에서 고전압 발생 시 더 효율적으로 켜져서 동작하게 할 수 있다.This NCP-2 charge pump circuit utilizes a charge transition switch (CTS; MSi transistor), each MSi transistor being controlled by a pass transistor MPi. This approach allows the charge transfer switch to be turned off completely to prevent reverse charge flow if necessary, or to turn on and operate more efficiently in the event of a high voltage in the next step.

즉, 스위치를 원하는 클럭 위상 동안 켜거나 꺼지도록 제어함으로써 전하가한 방향으로만 펌핑될 수 있도록 할 수 있다는 것이다. 각각의 펌핑 단계에서는 입력단의 높은 전압 수준이 출력단의 낮은 전압 단계와 동일하게 된다. 따라서, 단계마다의 전압 펌핑 게인은 아래의 수학식 3과 같이 표현된다.That is, by controlling the switch to turn on or off during the desired clock phase, the charge can only be pumped in one direction. In each pumping step, the high voltage level at the input is equal to the low voltage level at the output. Therefore, the voltage pumping gain for each step is expressed by Equation 3 below.

또한, 장윙웨이 등이 2001년 발표한 논문 "전압 더블러를 이용한 DC-DC 전하 펌프"(IEEE Transaction on Circuit and System; Vol 48, No. 3, 2001 3월)에서는 전압 더블러(Voltage Doubler)를 이용하는 전하 펌프 회로를 개시하고 있다. 이 전하 펌프 회로를 이용하면, n 단계에서 최고 2n배의 전압 증가효과를 달성할 수 있다고 기재되어 있다.In addition, Jang Wingway et al. Published in 2001, "DC-DC charge pump using voltage doubler" (IEEE Transaction on Circuit and System; Vol 48, No. 3, March 2001) Voltage Doubler A charge pump circuit using is disclosed. Using this charge pump circuit, it is described that a voltage increase effect of up to 2 n times can be achieved in n steps.

이와 같이 문턱 전압 강하가 없는 전하 펌프 회로를 소위 "힙펌프(Heap Pump)"라고 한다. 그러나, 이러한 힙펌프 회로를 이용하면, 각 펌핑 단계에서 문턱 전압이 강하하는 현상을 방지함으로써 전압 이득을 향상시킬 수는 있으나, 최소한 2개의 다른 위상을 가진 클럭을 이용하여야 한다는 단점이 여전히 존재한다.Such a charge pump circuit without threshold voltage drop is called a "heap pump". However, using such a heap pump circuit can improve the voltage gain by preventing the threshold voltage from dropping in each pumping step, but there is still a disadvantage in that a clock having at least two different phases must be used.

본 발명은 이러한 단점에 착안한 것으로서, 단일 클럭을 이용하고 간단하면서도 출력 이득이 충분한 힙펌프 회로 및 그를 이용한 고전압 발생기를 개발하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention addresses these shortcomings and aims to develop a heap pump circuit using a single clock and having sufficient output gain and a high voltage generator using the same.

이상의 설명을 대략적으로 요약하면 다음과 같다.A summary of the above description is as follows.

플래쉬 메모리 등의 소자(Device)의 크기가 작아짐에 따라, 플로팅 게이트소자를 이용한 비휘발성 메모리의 공급전압(VDD)을 1.5V 이하로 감소시킬 수 있게 되었다. 데이터 저장을 위하여 얇은 산화물(Thin Oxide)을 통한 전자 터널링이 필요하기 때문에, 프로그래밍 및 삭제 동작을 위한 터널링 전압은 VDD만큼 감소될 수는 없다.As the size of a device such as a flash memory is reduced, the supply voltage V DD of the nonvolatile memory using the floating gate device can be reduced to 1.5 V or less. Because electron tunneling through thin oxide is required for data storage, the tunneling voltage for programming and erasing operations cannot be reduced by V DD .

따라서, 1.5V 부근에서의 고전압 생성기는 저전압 플래시 메모리의 개발을 위하여 아주 중요한 기술이다. 종래의 전하 펌핑 회로의 기본적인 한계는 문턱 전압(Vth)의 강하로 인한 펌핑 게인-로스(Gain-Loss)와 통과 트랜지스터의 몸통효과(Body Effect) 등을 들 수 있다.Therefore, the high voltage generator around 1.5V is a very important technology for the development of low voltage flash memory. Basic limitations of the conventional charge pumping circuit include pumping gain-loss due to the drop in threshold voltage V th and the body effect of the pass transistor.

최근, 문턱 전압 강하가 발생하지 않는 소위 힙펌프(Heap-Pump)라 불리우는 새로운 형태의 전하 펌프회로가 음전압 생성기(Negative Voltage Generator)에 도입되고 있다. 양의 힙펌프 회로의 개념도 워드 라인 부스팅(Word Line Boosting) 회로를 위해 사용되고 있다. 그러나, 양의 고전압 생성기를 위한 힙펌프는 아직 제안된 바 없다.Recently, a new type of charge pump circuit called heap-pump that does not generate a threshold voltage drop has been introduced into a negative voltage generator. The concept of positive hip pump circuits is also being used for word line boosting circuits. However, heap pumps for positive high voltage generators have not been proposed yet.

본 발명은 단일 위상 클럭을 가지는 양의 고전압 생성기용 힙펌프 회로를 제시하기 위한 것이다.The present invention is directed to a heap pump circuit for positive high voltage generators having a single phase clock.

본 발명의 목적은 플래쉬 메모리 등에 이용되는 간단한 구조의 전하 펌프 회로 및 그를 이용한 고전압 발생기를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a charge pump circuit having a simple structure for use in a flash memory and the like and a high voltage generator using the same.

본 발명의 다른 목적은 높은 이득을 양의 고전압 생성기용 힙펌프 회로 및그를 이용한 양의 고전압 생성기를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a high gain positive hip pump circuit and a positive high voltage generator using the same.

본 발명의 또다른 목적은 단일 위상 클럭만으로도 문턱 전압의 강하가 발생하지 않는 힙펌프 회로 및 그를 이용한 양의 고전압 발생기를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a heap pump circuit in which a threshold voltage drop does not occur even with a single phase clock and a positive high voltage generator using the same.

도 1은 NMOS를 이용한 종래의 딕슨 전하 펌프 회로의 구성을 도시하는 것이다.Fig. 1 shows the configuration of a conventional Dickson charge pump circuit using an NMOS.

도 2는 NCP-2 전하 펌프 회로의 구성에 대한 일 예를 도시한다.2 shows an example of the configuration of the NCP-2 charge pump circuit.

도 3은 본 발명에 의한 힙펌프의 각 단계(Stage)를 구성하는 유닛 단계(Unit Stage)의 회로도를 도시하는 것으로, 도 3a는 유닛 단계의 세부 회로도이고, 도 3b는 도 3a의 등가(Equivalent) 스위치 회로도를 도시한다.3 is a circuit diagram of a unit stage constituting each stage of the hip pump according to the present invention. FIG. 3A is a detailed circuit diagram of the unit stage, and FIG. 3B is equivalent to FIG. 3A. ) Shows a switch circuit diagram.

도 4는 4개의 유닛 단계로 이루어진 본 발명에 의한 힙펌프 회로의 구성을 예시적으로 도시한다.4 exemplarily shows a configuration of a hip pump circuit according to the present invention having four unit steps.

도 5는 도 4에 의한 힙펌프 회로의 시뮬레이션 결과를 도시하는 그래프로서, 마지막 유닛 단계의 출력값(Vo4)과 최종 출력 노드의 출력값(Vpp)을 시간(클럭)별로 도시한다.FIG. 5 is a graph showing a simulation result of the hip pump circuit according to FIG. 4, and shows the output value Vo4 of the last unit stage and the output value Vpp of the final output node by time (clock).

도 6은 본 발명에 의한 힙펌프 회로의 시뮬레이션을 위하여 도입된 펌핑 커패시터의 구조를 도시한다.6 shows the structure of a pumping capacitor introduced for the simulation of a hip pump circuit according to the present invention.

도 7 및 도 8은 각각 펌핑 커패시터 CP가 10pF 및 5pF인 경우 4단계 힙펌프의 출력 전압에 대한 시뮬레이션 결과를 도시한다.7 and 8 show simulation results for the output voltage of the four-stage hip pump when the pumping capacitors CP are 10pF and 5pF, respectively.

도 9는 10V 이상의 최종 출력 전압을 얻기 위하여 필요한 유닛 단계의 수를 공급 전압별로 나타낸 것이다.9 shows, by supply voltage, the number of unit steps needed to obtain a final output voltage of 10V or more.

이상과 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 힙펌프 회로는 하나 이상의 유닛 단계와, 유닛 단계와 출력 회로에 구동 신호를 인가하기 위한 하나의 단일 위상 펌핑 클럭(CLK)을 포함하며,In order to achieve the above object, the hip pump circuit according to the present invention includes one or more unit stages, and one single phase pumping clock (CLK) for applying a drive signal to the unit stage and the output circuit,

상기 각각의 유닛 단계는 입력 노드(Vi); 출력 노드(Vo); 입력 노드로부터 출력 노드까지 직렬로 순차 연결되어 있는 제 3 스위치(S3), 펌핑 커패시터(CP); 상기 펌핑 커패시터와 출력 노드 사이에 있는 제 1 연결노드(N1) 및 공급 전압(VDD) 사이에 배치되는 제 1 스위치(S1); 상기 제 3 스위치와 펌핑 커패시터 사이에 위치하는 제 2 연결노드(N2) 및 접지(GND) 사이에 연결되어 있는 제 2 스위치를 포함한다.Each unit step comprises an input node Vi; An output node Vo; A third switch S3 and a pumping capacitor CP sequentially connected in series from an input node to an output node; A first switch S1 disposed between a first connection node N1 and a supply voltage V DD between the pumping capacitor and an output node; And a second switch connected between the second connection node N2 and the ground GND positioned between the third switch and the pumping capacitor.

또한, 상기 힙펌프 회로는 전술한 펌핑 클럭에 의하여 구동되어, 마지막 유닛 단계의 출력 전압을 입력으로 하여 안정된 최종 출력 전압(Vpp)을 출력하기 위한 출력 회로를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the hip pump circuit may be further driven by the pumping clock described above, and may further include an output circuit for outputting a stable final output voltage (Vpp) by using the output voltage of the last unit stage as an input.

상기 제 1 스위치(S1)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN1) 및 두 개의 p-타입 MOSFET(MP1, MP2)로 구성되고, 제 2 스위치(S2)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN2)로 구성되며, 제 3 스위치(S3)는 하나의 p-타입 MOSFET(MP3)로 구성될 수 있다.The first switch S1 is composed of one n-type MOSFET MN1 and two p-type MOSFETs MP1 and MP2, and the second switch S2 is one n-type MOSFET MN2. The third switch S3 may be configured of one p-type MOSFET MP3.

펌핑 클럭(CLK)은 MN1, MN2, MP1 및 MP3의 게이트에 인가될 수 있다.The pumping clock CLK may be applied to the gates of MN1, MN2, MP1, and MP3.

제 1 스위치(S1)를 구성하는 MN1, MP1, MP2는 공급 전압(VDD)으로부터 접지까지 MP2, MP1 및 MN1의 순서로 연결되어 있으며, 상기 제 1 연결 노드(N1)는 MP2의 드레인(Drain)과 MP1의 소스(Source)가 연결된 부분에 해당된다.MN1, MP1, and MP2 constituting the first switch S1 are connected in the order of MP2, MP1, and MN1 from a supply voltage V DD to ground, and the first connection node N1 is a drain of MP2. ) And the source of MP1 are connected.

본 발명에 의한 고전압 발생기는 전술한 구성의 힙펌프를 포함하여 구성되는 것으로, 비휘발성 메모리의 프로그래밍 , 데이터 저장 등의 기능을 수행할 때 필요한 고전압을 발생시키는데 이용된다.The high voltage generator according to the present invention includes a hip pump having the above-described configuration, and is used to generate a high voltage required when performing a function of programming a nonvolatile memory, storing data, and the like.

이하에서는 첨부되는 도면을 참고로 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 힙펌프의 각 단계(Stage)를 구성하는 유닛 단계(Unit Stage)의 회로도를 도시하는 것으로, 도 3a는 유닛 단계의 세부 회로도이고, 도 3b는 도 3a의 등가(Equivalent) 스위치 회로도를 도시한다.3 is a circuit diagram of a unit stage constituting each stage of the hip pump according to the present invention. FIG. 3A is a detailed circuit diagram of the unit stage, and FIG. 3B is equivalent to FIG. 3A. ) Shows a switch circuit diagram.

도 3b에서와 같이, 본 발명에 의한 힙펌프의 각 단계를 이루는 유닛 단계는 크게 입력 노드(Vi)와, 출력 노드(Vo)와, 입력 노드로부터 출력 노드 사이에 배치된 펌핑 커패시터(CP)와, 펌핑 커패시터와 입력노드 사이에 연결된 제 1 스위치(S1)와, 펌핑 커패시터와 출력 노드 사이에 있는 제 1 연결노드(N1)와 공급 전압(VDD) 사이에 배치되는 제 1 스위치(S1)와, 제 3 스위치와 펌핑 커패시터 사이에 위치하는 제 2 연결노드(N2)와 접지(GND) 사이에 연결되어 있는 제 2 스위치를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3B, the unit steps constituting each step of the hip pump according to the present invention are largely divided into an input node Vi, an output node Vo, and a pumping capacitor CP disposed between the input node and the output node. And a first switch S1 connected between the pumping capacitor and the input node, a first switch S1 disposed between the first connection node N1 and the supply voltage V DD between the pumping capacitor and the output node. And a second switch connected between the second connection node N2 positioned between the third switch and the pumping capacitor and the ground GND.

도 3b의 각 스위치는 하나 이상의 MOSFET로 이루어지는 것이 바람직하며, 도3a에서와 같이, 제 1 스위치(S1)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN1) 및 두 개의 p-타입 MOSFET(MP1, MP2)로, 제 2 스위치(S2)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN2)로, 제 3 스위치(S3)는 하나의 p-타입 MOSFET(MP3)로 구성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Each switch of FIG. 3B preferably comprises one or more MOSFETs. As shown in FIG. 3A, the first switch S1 is composed of one n-type MOSFET MN1 and two p-type MOSFETs MP1 and MP2. The second switch S2 may be configured as one n-type MOSFET MN2 and the third switch S3 may be configured as one p-type MOSFET MP3, but is not limited thereto.

MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)는 금속의 게이트, 산화막 및 반도체를 수직 적층하여 형성되는 MOS 커패시터에 소스(Source)와 드레인(Drain)을 확산시켜 제조되는 트랜지스터로서 널리 이용되는 것이므로 상세한 설명은 생략한다.Since MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) is widely used as a transistor manufactured by diffusing a source and a drain into a MOS capacitor formed by vertically stacking a metal gate, an oxide film, and a semiconductor, a detailed description thereof is omitted. do.

펌핑 클럭(CLK)은 MN1, MN2, MP1 및 MP3의 게이트에 인가되는 데, 이러한 펌핑 클럭은 필요한 속도에 따라 수십 Hz 이상의 주파수를 가지는 펄스일 수 있다. 또한, 전압 상승의 원인이 되는 클럭의 진폭(Amplitude) 또한 필요에 따라 임의로 조정될 수 있으나, 통상 공급 전압(VDD)과 동일한 전압을 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 사용되는 펌핑 클럭은 종래의 힙펌프와 달리 하나의 위상만을 가지는 단일 클럭이다.The pumping clock CLK is applied to the gates of MN1, MN2, MP1, and MP3. The pumping clock CLK may be a pulse having a frequency of several tens of Hz or more according to a required speed. In addition, although the amplitude of the clock causing the voltage rise can be arbitrarily adjusted as necessary, it is generally preferable to use the same voltage as the supply voltage V DD . The pumping clock used in the present invention is a single clock having only one phase, unlike a conventional hip pump.

제 1 스위치(S1)를 구성하는 MN1, MP1, MP2는 공급 전압(VDD)으로부터 접지까지 MP2, MP1 및 MN1의 순서로 연결되어 있으며, 상기 제 1 연결 노드(N1)는 MP2의 드레인(Drain)과 MP1의 소스(Source)가 연결된 부분에 해당된다.MN1, MP1, and MP2 constituting the first switch S1 are connected in the order of MP2, MP1, and MN1 from a supply voltage V DD to ground, and the first connection node N1 is a drain of MP2. ) And the source of MP1 are connected.

CP는 펌핑 커패시터로서 커패시턴스는 수 pF 이상인 것이 바람직하나, 그에 한정되는 것은 아니며 필요에 따라 임의로 조정될 수 있다.CP is a pumping capacitor, the capacitance is preferably a few pF or more, but is not limited thereto, and may be arbitrarily adjusted as necessary.

필요로 하는 출력 고전압은 다수의 유닛 단계(Unit Stage)를 직렬로 연결함으로써 얻을 수 있다.The required output high voltage can be obtained by connecting multiple Unit Stages in series.

도 4는 4개의 유닛 단계로 이루어진 힙펌프 회로의 구성을 예시적으로 도시한다.4 exemplarily shows a configuration of a heap pump circuit composed of four unit stages.

4개의 유닛 단계(제 1 유닛 단계 내지 제 4 유닛 단계)가 직렬로 연결되어 있고, 제 1 유닛 단계의 입력 노드로는 공급 전압이 인가되어 있으며, 제 1 내지 제 3 유닛 단계의 출력 노드는 다음 유닛 단계의 입력 노드에 연결되어 있다.Four unit stages (first unit stage to fourth unit stage) are connected in series, supply voltage is applied to the input node of the first unit stage, and output nodes of the first to third unit stages are It is connected to the input node of the unit level.

또한, 제 4 유닛 단계의 출력 노드(Vo4)의 전압을 최종 출력 전압(Vpp)으로 출력하기 위한 출력 회로가 마지막 단계에 구비되어 있다.In addition, an output circuit for outputting the voltage of the output node Vo4 of the fourth unit stage as the final output voltage Vpp is provided in the last stage.

하나의 펌핑 클럭이 제 1 내지 제 4 유닛 단계 및 출력 회로에 동시에 인가되어 펌핑의 동작 제어 신호를 제공하게 된다.One pumping clock is simultaneously applied to the first to fourth unit stages and the output circuit to provide an operation control signal for pumping.

이하에서는 이러한 힙펌프 회로의 동작 상태를 간략하게 설명한다.Hereinafter, an operation state of the hip pump circuit will be briefly described.

도 4와 같은 힙펌프 회로는 두 가지 동작 상태를 나타내는데, 하나는 셋업(Set-up) 상태이고 다른 하나는 펌프업(Pump-up)상태이다.The heap pump circuit as shown in FIG. 4 shows two operating states, one of which is a set-up state and the other of which is a pump-up state.

펌핑 클럭(CLK)이 높은 경우에는 MN1과 MN2가 켜지고 MP3와 MP1이 꺼지게 되며, 따라서 힙펌프는 셋업상태로 된다. 셋업 상태에서는 MP2의 게이트전압이 0이므로 펌핑 커패시터(CP)는 문턱 전압 강하 없이 공급 전압(VDD)으로 미리 충전된다.If the pumping clock CLK is high, MN1 and MN2 are turned on and MP3 and MP1 are turned off, so the heap pump is in the setup state. In the setup state, since the gate voltage of MP2 is zero, the pumping capacitor CP is precharged to the supply voltage V DD without a threshold voltage drop.

반대로, 펌핑 클럭(CLK)이 낮은 경우에는, MN1과 MN2가 꺼지고 MP3와 MP1이 켜지기 때문에 힙펌프는 펌프업 상태가 된다. 펌프업 상태 동안에는 MP2의 게이트 전압이 각 단계의 출력 노드 전압과 동일하게 되고, 각 단계에서의 MP3의 게이트전압은 0이 된다. 따라서, 힙펌프는 직렬 스위칭 트랜지스터의 문턱 전압 크기의 전압 강하를 겪지 않게 된다.On the contrary, when the pumping clock CLK is low, the heap pump is pumped up because MN1 and MN2 are turned off and MP3 and MP1 are turned on. During the pump-up state, the gate voltage of MP2 becomes equal to the output node voltage of each stage, and the gate voltage of MP3 in each stage becomes zero. Thus, the hip pump does not experience a voltage drop of the threshold voltage magnitude of the series switching transistor.

제 1 유닛 단계의 출력값에 제 2 유닛 단계의 출력값이 쌓이게 되고, 제 2 유닛 단계의 출력값에 제 3 유닛 단계의 출력값이 쌓이게 되는 일련의 과정을 통하여 마지막 단계의 출력 노드에서 고전압이 얻어지게 된다.The output value of the second unit stage is accumulated on the output value of the first unit stage, and the high voltage is obtained at the output node of the last stage through a series of processes in which the output value of the third unit stage is accumulated on the output value of the second unit stage.

마지막 단계(제 4 유닛 단계)의 출력 노드(Vo4)로부터 최종 출력 전압(Vpp)을 얻기 위하여, 마지막 단계의 출력 노드(Vo4)와 최종 출력 노드(Vpp) 사이에 하나의 출력 회로가 필요하게 된다. 즉, 펌핑 클럭의 동작에 의하여, 마지막 단계에서의 출력 전압 또한 고전압과 0V 사이를 클럭 주기마다 토글하는 펄스 형태를 가지게 된다. 이러한 펄스 형태의 고전압을 안정된 출력 전압으로 변환하기 위하여 출력 회로가 필요한 것이다.In order to obtain the final output voltage Vpp from the output node Vo4 of the last stage (fourth unit stage), one output circuit is needed between the output node Vo4 of the last stage and the final output node Vpp. . That is, due to the operation of the pumping clock, the output voltage in the last stage also has a pulse form that toggles between the high voltage and 0V for each clock period. An output circuit is needed to convert such pulsed high voltage into a stable output voltage.

이러한 출력 회로(Output Circuit)는 도 4의 점선 사각형으로 도시된 바와 같이, 4개의 p-타입 MOSFET(MPo1 내지 MPo4)와 하나의 커패시터(Cg)를 포함하여 구성된다.The output circuit includes four p-type MOSFETs MPo1 to MPo4 and one capacitor Cg, as shown by a dotted line rectangle in FIG. 4.

셋업 상태에서 MPo3의 게이트 전압은 MPo4를 통하여 최종 출력전압(Vpp) 레벨까지 충전되고, 그 다음의 펌프업 상태에서는 MPo3의 게이트 전압이 Vpp-VDD레벨 근처까지 이동하므로 MPo4는 꺼지고 MPo3는 켜지게 된다. 따라서, 노드 Vo4의 전압이 최종 출력 노드로 전달된다.In the setup state, the gate voltage of MPo3 is charged through MPo4 to the final output voltage (Vpp) level, and in the next pump-up state, the gate voltage of MPo3 moves to near the Vpp-V DD level so that MPo4 is turned off and MPo3 is turned on. do. Thus, the voltage at node Vo4 is delivered to the final output node.

출력 회로에서의 pMOSFET 의 엔웰(nwell) 전압이 교차 연결된 트랜지스터 MPo1 및 MPo2에 의하여 회로 내에서 가장 높은 포텐셜을 가지게 된다.The nwell voltage of the pMOSFET in the output circuit has the highest potential in the circuit by the cross-connected transistors MPo1 and MPo2.

도 5는 도 4에 의한 힙펌프 회로의 시뮬레이션 결과를 도시하는 그래프로서, 마지막 유닛 단계의 출력값(Vo4)과 최종 출력 노드의 출력값(Vpp)을 시간(클럭)별로 도시한다.FIG. 5 is a graph showing a simulation result of the hip pump circuit according to FIG. 4, and shows the output value Vo4 of the last unit stage and the output value Vpp of the final output node by time (clock).

도시된 바와 같이, 약 10클럭 주기가 경과한 후, 최종 출력 전압(Vpp)이 약 11V의 정상 상태가 되는 것을 알 수 있다.As shown, it can be seen that after about 10 clock cycles have elapsed, the final output voltage Vpp is brought to a steady state of about 11V.

도 6은 본 발명에 의한 힙펌프 회로의 시뮬레이션을 위하여 도입된 펌핑 커패시터의 구조를 도시한다.6 shows the structure of a pumping capacitor introduced for the simulation of a hip pump circuit according to the present invention.

도시된 바와 같이, 펌핑 커패시터(Cp)는 4000Å의 필드 산화물 상의 PIP 구조로 형성되었다. 엔웰(nwell) 접합의 커패시턴스는 Cj가 0.10fF/ μm2로, Cjsw가 0.97fF/ μm2로 각각 주어졌다. 이러한 커패시터는 기생 커패시터(Parasitic Capacitor)를 감소시킬 수 있는 플로팅 엔웰(Floating Nwell) 구조를 이용하고 있다.As shown, the pumping capacitor Cp was formed in a PIP structure on a field oxide of 4000 kV. The capacitance of the nwell junction was given by Cj of 0.10fF / μm 2 and Cjsw of 0.97fF / μm 2 , respectively. These capacitors use a floating Nwell structure that can reduce parasitic capacitors.

또한, 본 실시예에 의한 힙펌프 회로는 0.6μm 하이닉스 MPW로 디자인 되었다.In addition, the hip pump circuit according to the present embodiment is designed as 0.6μm Hynix MPW.

도 7 및 도 8은 각각 펌핑 커패시터 CP가 10pF 및 5pF인 경우 4단계 힙펌프의 출력 전압에 대한 시뮬레이션 결과를 도시한다.7 and 8 show simulation results for the output voltage of the four-stage hip pump when the pumping capacitors CP are 10pF and 5pF, respectively.

시뮬레이션을 위하여, NMOS의 경우에는 0.74V의 문턱 전압(Vth)을, PMOS의 경우에는 -0.86V의 문턱 전압(Vth)을 가지는 0.6μm CMOS 기술의 트랜지스터 모델이 사용되었으며, 클럭 주파수는 10MHz로 하였다. 시뮬레이션 결과, 기생 필드산화물(Parasitic Field Oxide; Fox) 커패시턴스를 고려하지 않은 상태에서 힙펌프의 최종 출력값(Vpp)은 이상적인 게인값인 (N+1)×VDD의 약 85%가 되는 것으로 나타났다. 여기서 N은 단계의 수이다.For the simulation, in the case of the NMOS, the threshold voltage (V th) of 0.74V, for a PMOS transistor, the model of a 0.6μm CMOS technology having a threshold voltage (V th) of -0.86V was used, the clock frequency is 10MHz It was set as. The simulation results show that the final output (Vpp) of the hip pump is about 85% of the ideal gain of (N + 1) × V DD without considering the parasitic field oxide (FOX) capacitance. Where N is the number of steps.

기생 필드 산화물(Fox) 커패시턴스를 고려하면, 플로팅 엔웰(nwell) 구조를 구비한 경우와 구비하지 않은 경우의 펌핑 효율은 각각 이상 게인값의 73% 및 63%이었다.Considering the parasitic field oxide (Fox) capacitance, the pumping efficiencies with and without the floating nwell structure were 73% and 63% of the ideal gain values, respectively.

기생 필드 산화물(Fox) 커패시턴스가 없는 경우, 펌프 효율이 이상치와 다른 가장 주된 요인은 유닛 단계에 있는 MP1, MP2, MP3의 엔웰 접합 커패시턴스와 출력 단계에서의 전압 손실일 것으로 고려된다.In the absence of parasitic field oxide (Fox) capacitance, the main factor in which pump efficiency is outlier and the main factor is considered to be the Enwell junction capacitance of MP1, MP2, and MP3 at the unit stage and the voltage loss at the output stage.

그래프에서 "□"는 이상적인 PIP 구조인 경우, "■"는 기생 필드 산화물(Fox) 상태 하에서의 플로팅 엔웰(Floating Nwell) 구조인 경우, "○"는 플로팅 엔웰이 없는 경우의 시뮬레이션 결과를 나타낸다.In the graph, "□" is an ideal PIP structure, "■" is a floating Nwell structure under a parasitic field oxide (Fox) state, and "○" represents a simulation result when there is no floating enwell.

도 5의 파형에서 알 수 있듯이, 최종 출력 전압(Vpp)과 마지막 단계의 출력 전압(Vo4) 사이에는 약 1V 정도의 차이를 보인다. 엔웰이 회로 내에서 가장 높은 포텐셜로 편향되기 때문에, 켜져 있는 동안의 MPo3의 문턱 전압은 약 4V가 된다.As can be seen from the waveform of FIG. 5, there is a difference of about 1V between the final output voltage Vpp and the output voltage Vo4 of the last stage. Since Enwell is deflected to the highest potential in the circuit, the threshold voltage of MPo3 while on is about 4V.

본 실시예의 소자는 펌프에 가장 적합하도록 최적화 되지 않았기 때문에, MPo3에 의한 전압 손실이 상당히 크게 나타났다. 따라서, 소자 변수를 최적화하는 경우에는 출력 단계에서의 전압 손실을 더 개선시킬 수 있을 것이다. 출력 회로를 거친 출력 전압(Vpp) 대신 마지막 유닛 단계(Vo4)의 전압 게인을 고려하면, 이상적인 PIP 이상치의 약 90%가 된다. 이상치와 10% 정도 차이가 발생하는 것은 MP1,MP2, MP3의 엔웰 접합 커패시턴스에만 기인하는 것으로 생각된다. 필드 산화물 하에서의 플로팅 엔웰 접합은 플로팅 웰(well)이 없는 구조와 비교하여 펌핑 효율을 약 10%정도 향상시킬 수 있다.Since the device of this example was not optimized to best fit the pump, the voltage loss due to MPo3 was quite large. Thus, optimizing device parameters could further improve voltage losses at the output stage. Considering the voltage gain of the last unit stage Vo4 instead of the output voltage Vpp through the output circuit, it is about 90% of the ideal PIP outlier. The difference between the outliers and about 10% is thought to be due only to the Enwell junction capacitances of MP1, MP2, and MP3. Floating enwell junctions under field oxide can improve pumping efficiency by about 10% compared to structures without floating wells.

도 9는 10V 이상의 최종 출력 전압을 얻기 위하여 필요한 유닛 단계의 수를 공급 전압별로 나타낸 것이다.9 shows, by supply voltage, the number of unit steps needed to obtain a final output voltage of 10V or more.

도 9에서 알 수 있는 바와 같이, 10V보다 높은 최종 출력 전압(Vpp)을 생성하기 위한 단계의 수는 1.5V 이하에서는 공급 전압에 일정하게 반비례 하지는 않는다. 시뮬레이션 결과, 1.5V 이하의 동작에서는, MOSFET의 작동(On) 커패시턴스가 너무 작기 때문에 100nsec의 셋업 상태 동안 CP가 VDD까지 완전히 충전될 수 없기 때문인 것으로 판단된다.As can be seen in FIG. 9, the number of steps for producing a final output voltage Vpp higher than 10V is not constantly inversely proportional to the supply voltage below 1.5V. The simulation results indicate that in operation below 1.5V, the CP cannot be fully charged to V DD during the setup state of 100 nsec because the On capacitance of the MOSFET is too small.

이상과 같이, 본 발명에 의한 힙펌프 회로를 이용하면, 회로 소자의 최적화가 이루어지지 않은 상태에서도 이상적인 게인값의 약 90%에 육박하여 효율이 우수한 것으로 나타났다.As described above, when the hip pump circuit according to the present invention is used, it is shown that the efficiency is close to about 90% of the ideal gain value even when the circuit element is not optimized.

또한, 단일 위상의 한 개의 클럭만을 이용하므로 구현과 제어가 용이하다는 효과도 함께 가진다. 즉, 2-위상 또는 4-위상 제어 클럭을 가지는 종래의 회로에서 반드시 필요했던 펄스 재형상(Reshaping) 회로가 필요하지 않으며, 클럭 구동부를 종래보다 소형으로 구현할 수 있다.In addition, since only one clock of a single phase is used, it is easy to implement and control. That is, the pulse reshaping circuit, which is necessary in the conventional circuit having the two-phase or four-phase control clock, is not necessary, and the clock driver can be made smaller than the conventional one.

이상과 같이, 본 발명에서는 문턱 전압 강하가 없는 양의 고전압 발생기용 힙펌프 회로를 제공한다.As described above, the present invention provides a positive high voltage generator hip pump circuit without a threshold voltage drop.

본 발명에 의한 힙펌프는 단일 위상의 회로이므로, 2-위상 또는 4-위상 제어 클럭을 가지는 종래의 회로에서 반드시 필요했던 입력 펄스 사이의 타이밍 차이(Margin)를 위한 추가적인 펄스 재형상(Reshaping) 회로가 필요하지 않다. 또한, 펄스 CLK가 펌핑 커패시터를 구동하지 않으므로, 클럭 구동부가 종래보다 작아질 수 있다.Since the hip pump according to the present invention is a single phase circuit, an additional pulse reshaping circuit for timing difference between input pulses, which is necessary in the conventional circuit having a two-phase or four-phase control clock. Is not necessary. In addition, since the pulse CLK does not drive the pumping capacitor, the clock driver may be smaller than before.

그러면서도, 전압 펌핑 게인을 이상치의 90%에 육박하는 우수한 효율을 가진 힙펌프 회로를 제공할 수 있다.At the same time, it is possible to provide a hip pump circuit with a good efficiency of approaching the voltage pumping gain to 90% of the outlier.

Claims (12)

하나 이상의 유닛 단계와, 각 유닛 단계에 구동 신호를 인가하기 위한 하나의 단일 위상 펌핑 클럭(CLK)을 포함하며,One or more unit steps and one single phase pumping clock (CLK) for applying a drive signal to each unit step, 상기 각각의 유닛 단계는,Each unit step, (a) 입력 노드(Vi)(a) Input node (Vi) (b) 출력 노드(Vo)(b) output node (Vo) (c) 입력 노드로부터 출력 노드까지 직렬로 순차 연결되어 있는 제 3 스위치(S3)와 펌핑 커패시터(CP)(c) a third switch (S3) and a pumping capacitor (CP) connected in series from the input node to the output node. (d) 상기 펌핑 커패시터와 출력 노드 사이에 있는 제 1 연결노드(N1) 및 공급 전압(VDD) 사이에 배치되는 제 1 스위치(S1)(d) a first switch S1 disposed between a first connection node N1 and a supply voltage V DD between the pumping capacitor and an output node; (e) 상기 제 3 스위치와 펌핑 커패시터사이에 위치하는 제 2 연결노드(N2) 및 접지(GND) 사이에 연결되어 있는 제 2 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생용 힙펌프 회로.(e) a high voltage generation heap using a single phase clock, characterized in that it comprises a second switch connected between the second connection node (N2) and ground (GND) located between the third switch and the pumping capacitor. Pump circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 펌핑 클럭에 의하여 구동되어, 상기 마지막 유닛 단계의 출력 전압을 입력으로 하여 안정된 최종 출력 전압(Vpp)을 출력하기 위한 출력 회로를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생용 힙펌프 회로.And an output circuit driven by the pumping clock to output a stable final output voltage Vpp by using the output voltage of the last unit stage as an input. Pump circuit. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제 1 스위치(S1)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN1) 및 두 개의 p-타입 MOSFET(MP1, MP2)로 구성되고,The first switch S1 is composed of one n-type MOSFET MN1 and two p-type MOSFETs MP1 and MP2. 제 2 스위치(S2)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN2)로 구성되며,The second switch S2 is composed of one n-type MOSFET MN2. 제 3 스위치(S3)는 하나의 p-타입 MOSFET(MP3)로 구성되는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생용 힙펌프 회로.The third switch (S3) is a high voltage generation heap pump circuit using a single phase clock, characterized in that consisting of one p-type MOSFET (MP3). 삭제delete 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 펌핑 클럭은 MN1, MN2, MP1 및 MP3의 게이트에 인가되는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생용 힙펌프 회로.And the pumping clock is applied to gates of MN1, MN2, MP1, and MP3. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 스위치(S1)를 구성하는 MN1, MP1, MP2는 공급 전압(VDD)으로부터 접지까지 MP2, MP1 및 MN1의 순서로 연결되어 있으며,MN1, MP1, and MP2 constituting the first switch S1 are connected in the order of MP2, MP1, and MN1 from a supply voltage V DD to ground. 상기 제 1 연결 노드(N1)는 MP2의 드레인(Drain)과 MP1의 소스(Source)가 연결된 부분에 위치하는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생용 힙펌프 회로.The first connection node (N1) is a high voltage generation heap pump circuit using a single phase clock, characterized in that located in the portion where the drain (Drain) of MP2 and the source (Source) of MP1. 낮은 공급 전압(VDD)으로부터 고전압을 발생시키기 위한 것으로,To generate a high voltage from a low supply voltage (V DD ), (1) (a) 입력 노드(Vi)와, (b) 출력 노드(Vo)와, (c) 입력 노드로부터 출력 노드까지 직렬로 순차 연결되어 있는 제 3 스위치(S3)와 펌핑 커패시터(CP)와, (d) 상기 펌핑 커패시터와 출력 노드 사이에 있는 제 1 연결노드(N1) 및 공급 전압(VDD) 사이에 배치되는 제 1 스위치(S1)와, (e) 상기 제 3 스위치와 펌핑 커패시터 사이에 위치하는 제 2 연결노드(N2) 및 접지(GND) 사이에 연결되어 있는 제 2 스위치를 포함하는 하나 이상의 유닛 단계와,(1) (a) input node (Vi), (b) output node (Vo), and (c) third switch (S3) and pumping capacitor (CP) sequentially connected in series from input node to output node. And (d) a first switch S1 disposed between the first connection node N1 and the supply voltage V DD between the pumping capacitor and the output node, and (e) the third switch and the pumping capacitor. At least one unit step comprising a second switch connected between a second connection node (N2) and a ground (GND) interposed therebetween, (2) 각 유닛 단계에 구동 신호를 인가하기 위한 하나의 단일 위상 펌핑 클럭(CLK)을 포함하는 힙펌프 회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생기.(2) a high voltage generator using a single phase clock, characterized in that it comprises a hip pump circuit comprising one single phase pumping clock (CLK) for applying a drive signal to each unit step. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 펌핑 클럭에 의하여 구동되어, 상기 마지막 유닛 단계의 출력 전압을 입력으로 하여 안정된 최종 출력 전압(Vpp)을 출력하기 위한 출력 회로를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생기.And an output circuit driven by the pumping clock to output a stable final output voltage (Vpp) by using the output voltage of the last unit stage as an input. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 제 1 스위치(S1)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN1) 및 두 개의 p-타입 MOSFET(MP1, MP2)로 구성되고,The first switch S1 is composed of one n-type MOSFET MN1 and two p-type MOSFETs MP1 and MP2. 제 2 스위치(S2)는 하나의 n-타입 MOSFET(MN2)로 구성되며,The second switch S2 is composed of one n-type MOSFET MN2. 제 3 스위치(S3)는 하나의 p-타입 MOSFET(MP3)로 구성되는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생기.High voltage generator using a single phase clock, characterized in that the third switch (S3) is composed of one p-type MOSFET (MP3). 삭제delete 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 펌핑 클럭은 MN1, MN2, MP1 및 MP3의 게이트에 인가되는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생기.The pumping clock is a high voltage generator using a single phase clock, characterized in that applied to the gate of MN1, MN2, MP1 and MP3. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1 스위치(S1)를 구성하는 MN1, MP1, MP2는 공급 전압(VDD)으로부터 접지까지 MP2, MP1 및 MN1의 순서로 연결되어 있으며,MN1, MP1, and MP2 constituting the first switch S1 are connected in the order of MP2, MP1, and MN1 from a supply voltage V DD to ground. 상기 제 1 연결 노드(N1)는 MP2의 드레인(Drain)과 MP1의 소스(Source)가 연결된 부분에 위치하는 것을 특징으로 하는 단일 위상 클럭을 이용한 고전압 발생기.The first connection node (N1) is a high voltage generator using a single phase clock, characterized in that located in the portion connected to the drain (Drain) and the source of the MP1 (MP1).
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