KR100459536B1

KR100459536B1 - Mosaic chuck

Info

Publication number: KR100459536B1
Application number: KR10-2002-0063226A
Authority: KR
Inventors: 곽창수; 임율균; 정해빈; 김대용
Original assignee: 한국전자통신연구원
Priority date: 2002-10-16
Filing date: 2002-10-16
Publication date: 2004-12-03
Also published as: KR20040033934A

Abstract

모자이크식 척을 제공한다. 본 발명은 일정간 간격을 두고 설치된 복수개의 부분척들과, 상기 부분척들의 하부에 위치하면서 상기 부분척들을 지지 및 고정해주고 전체를 하나로 결합해주는 베이스판과, 상기 베이스판에서 상기 부분척들 방향의 상측으로 상기 베이스판에 설치되고, 서로 동일한 높이를 가져 최상단점이나 최상단면이 상기 부분척들의 조립시 기준면이 되는 복수개의 높이조정핀들과, 상기 베이스판에서 상기 부분척들 방향의 상측으로 설치되어 상기 부분척들을 상기 베이스판에 고정시켜주는 역할을 함과 동시에 상기 부분척들의 높이 및 각도를 조정할 수 있게 하는 복수개의 부분척 높이조정기구들을 포함하여 이루어진다. 본 발명의 모자이크식 척은 원하는 평면도를 가지면서도 대형으로 가볍게 제조할 수 있다.Provide a mosaic chuck. The present invention provides a plurality of sub-chucks installed at regular intervals, a base plate which is located below the sub-chucks to support and fix the sub-chucks and combines the whole into one, the direction of the sub-chucks in the base plate A plurality of height adjusting pins installed on the base plate at an upper side thereof and having the same height as each other, and having a top end point or a top end face as a reference plane when assembling the partial chucks, and an upper side of the base chucks in the direction of the partial chucks; And a plurality of partial chuck height adjusting mechanisms which serve to fix the partial chucks to the base plate and at the same time adjust the height and angle of the partial chucks. The mosaic chuck of the present invention can be manufactured lightly in large size with a desired plan view.

Description

Mosaic chuck

본 발명은 척에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모자이크식 척에 관한 것이다.The present invention relates to a chuck, and more particularly to a mosaic chuck.

일반적으로, PDP(plasma display panel)이나 LCD(liquid crystal display)와 같은 대형 디스플레이 패널을 제조할 때 대형의 척이 사용된다. 대형의 척은 PDP이나 LCD와 같은 대형 디스플레이 패널에 사용되는 기판 상에 임의의 막질을 리소그래피 방법에 의해서 패터닝을 하거나, 대형 디스플레이 패널의 검사 및 가공 등의 공정을 수행할 때 평평하게 잡아주는 역할을 한다.In general, large chucks are used when manufacturing large display panels such as plasma display panels (PDPs) or liquid crystal displays (LCDs). Large chucks serve to hold any film quality on a substrate used for large display panels such as PDPs or LCDs by lithography or to flatten them when performing processes such as inspection and processing of large display panels. do.

특히, 리소그래피 방법에 의한 패터닝 작업을 수행할 경우 기판의 평면도를 매우 정밀하게 유지해야 한다. 그런데, 상기 대형 디스플레이 패널에 사용되는 기판은 그 크기에 비해서 두께가 매우 얇기 때문에 기판을 잡아주는 척의 평면도가 나빠지면 기판의 평면도도 같이 나빠지게 되어 원하는 패턴을 얻을 수 없게 된다.In particular, when performing the patterning operation by the lithography method, the plan view of the substrate must be maintained very precisely. However, since the substrate used in the large display panel is very thin in comparison with its size, if the planar view of the chuck holding the substrate is deteriorated, the planar view of the substrate is also deteriorated so that a desired pattern cannot be obtained.

종래의 방법에 따라 척을 만드는 방법을 살펴보면, 우선 밀링 머신 등의 가공장비를 사용하여 척 내에 진공 흡착기를 설치할 공간 등을 가공한 다음, 척면을 대략적으로 평평하게 가공한다. 그 다음 연삭기를 사용하여 그 척면을 연삭해 줌으로써 평면도를 높여주는 방법을 사용하고 있다. 이 경우 가공할 수 있는 면의 크기는 전적으로 가공에 사용되는 가공장비의 가공 용량에 의존하게 되어 기존의 장비가 가공할 수 있는 크기보다 큰 척은 가공할 수 없게 된다. 또한 평면도도 가공장비의 정밀도에 의존하게 되는데 가공하고자 하는 척의 크기가 커지면 가공물의 변형에 의해 원하는 평면도를 얻지 못하고 이를 피하기 위해서는 척의 두께가 두꺼워져야 한다.Looking at the method of making the chuck according to the conventional method, first, by using a processing equipment such as a milling machine to process the space for installing the vacuum adsorber in the chuck, and then roughly flat chuck surface. Then he uses a grinding machine to grind the chuck surface to improve the floor plan. In this case, the size of the surface that can be machined depends entirely on the processing capacity of the processing equipment used for the machining, so that chucks larger than the size of existing equipment can be machined. In addition, the plan view also depends on the precision of the processing equipment. If the size of the chuck to be processed increases, the desired plan view cannot be obtained due to the deformation of the workpiece, and the thickness of the chuck must be thickened to avoid this.

또 다른 방법으로는 가공된 면의 평면도를 일일이 확인해 가면서 수작업에 의해서 면을 고르는 방법으로 이 방법을 사용한 경우 앞의 방법에 비해서 좋은 평면도를 얻을 수 있지만 수작업에 의존하기 때문에 많은 시간이 소요되고 그만큼 가격이 비싸진다는 단점이 있다.Another method is to check the flatness of the machined face by hand, and select the face by hand. If you use this method, you can get a good flatness compared to the previous method, but it is time-consuming and expensive because it depends on manual labor. This has the disadvantage of being expensive.

결과적으로, 종래의 방법에 따라 척을 제조하는 경우에는 그 크기에 제한이있으며, 대면적을 일정 평면도로 가공하기 위해서는 가공장비의 정밀도가 매우 높아야 하고, 가공된 척의 변형을 방지하기 위해서는 척의 두께가 두꺼워져야 하는 단점이 있다.As a result, when the chuck is manufactured according to the conventional method, the size thereof is limited, and the precision of the processing equipment must be very high in order to process a large area in a certain plan view, and in order to prevent deformation of the processed chuck, There is a drawback to thickening.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 크기에 제한을 받지 않고 종래와 같이 변형 방지를 위해 수반되는 무게의 증가를 감소시키면서도 평면도도 높고 가볍고 저렴하게 제작할 수 있는 모자이크식 척을 제공하는 데 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a mosaic type chuck that can be manufactured without being limited in size and reducing the increase in weight involved in the deformation as in the prior art, but also a high plan view, light and inexpensive.

도 1은 본 발명에 의한 모자이크식 척의 평면도이다.1 is a plan view of a mosaic chuck according to the present invention.

도 2는 도 1의 II-II에 따른 단면도이다.2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 의한 모자이크식 척의 높이조정핀의 끝부분들이 동일한 기준면을 갖게 하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.3A and 3B are views for explaining a method of allowing the ends of the height adjustment pins of the mosaic type chuck according to the present invention to have the same reference plane.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 의한 모자이크식 척에 높이조정핀을 베이스 기판 전면에 설치해 가는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.4a to 4c are views for explaining a process of installing the height adjustment pin on the front surface of the base substrate in the mosaic-type chuck according to the present invention.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 모자이크식 척의 높이조정핀의 설치 및 조정이 끝난 후 부분척의 높이를 조정하는 방법을 설명하기 위하여 도시한 도면들이다.5a to 5c are views illustrating a method of adjusting the height of the partial chuck after the installation and adjustment of the height adjustment pin of the mosaic type chuck of the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 모자이크식 척은 일정간 간격을 두고 설치된 복수개의 부분척들과, 상기 부분척들의 하부에 위치하면서 상기 부분척들을 지지 및 고정해주고 전체를 하나로 결합해주는 베이스판과, 상기 베이스판에서 상기 부분척들 방향의 상측으로 상기 베이스판에 설치되고, 서로 동일한 높이를 가져 최상단점이나 최상단면이 상기 부분척들의 조립시 기준면이 되는 복수개의 높이조정핀들과, 상기 베이스판에서 상기 부분척들 상향의 상측으로 설치되어 상기 부분척들을 상기 베이스판에 고정시켜주는 역할을 함과 동시에 상기 부분척들의 높이 및 각도를 조정할 수 있게 하는 복수개의 부분척 높이조정기구들을 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above technical problem, the mosaic chuck of the present invention is a plurality of partial chucks installed at regular intervals, the base which is located below the partial chuck to support and fix the partial chuck and combine the whole as one A plate, a plurality of height adjusting pins installed on the base plate in the direction of the partial chucks from the base plate, and having the same height as each other so that the uppermost end point or the uppermost end face becomes a reference plane when the partial chucks are assembled; A plurality of partial chuck height adjustment mechanisms installed above the partial chucks on a base plate to fix the partial chucks to the base plate and to adjust the height and angle of the partial chucks; It is done by

상기 높이조정핀이 부분척들 사이에 위치할 수 있다. 상기 높이조정핀은 높이 조정 수단으로 나사, 슬라이더 또는 트랜스레이터를 이용할 수 있다.The height adjusting pin may be located between the partial chucks. The height adjusting pin may use a screw, a slider or a translator as the height adjusting means.

상기 높이조정핀의 끝은 둥글게 또는 뾰족하게 할 수 있다. 상기 높이조정핀의 끝은 높이 방향에 수직한 평면으로 가공해 줄 수 있다.The tip of the height adjustment pin may be rounded or pointed. The tip of the height adjustment pin can be processed into a plane perpendicular to the height direction.

이상과 같은 본 발명의 모자이크식 척은 크기에 제한을 받지 않고 대형으로 제조할 수 있으며 평면도도 높고 가볍고 저렴하게 제작할 수 있다.The mosaic type chuck of the present invention as described above can be manufactured in a large size without being limited in size and can also be manufactured in a high plane, light and inexpensive.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention; However, embodiments of the present invention illustrated below may be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art.

도 1은 본 발명에 의한 모자이크식 척의 평면도이고, 도 2는 도 1의 II-II에 따른 단면도이다.1 is a plan view of a mosaic chuck according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view according to II-II of FIG.

도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 모자이크식 척은 일정간 간격을 두고 설치된 복수개의 부분척들(1), 상기 부분척들(1)의 하부에 위치하면서 상기 부분척들(1)을 지지 및 고정해주고 전체를 하나로 결합해주는 베이스판(3)을 포함한다.상기 베이스판(3)에서 상기 부분척들(1) 방향의 상측으로 상기 베이스판(3)에 설치되고, 서로 동일한 높이를 가져 최상단점이나 최상단면이 상기 부분척들(1)의 조립시 기준면이 되는 복수개의 높이조정핀들(5)를 포함한다. 다시 말해, 상기 높이조정핀들(5)은 상기 베이스판(3)에 조립되고 상기 베이스판(3)에 설치된 나사구멍에 위치하면서 동일한 높이를 갖도록 조정된다.상기 베이스판(3)에서 상기 부분척들(1) 방향의 상측으로 설치되어 상기 부분척들(1)을 상기 베이스판(3)에 고정시켜주는 역할을 함과 동시에 상기 부분척들(1)의 높이 및 각도를 조정할 수 있게 하는 복수개의 부분척 높이조정기구들(7)로 구성된다.Referring to FIG. 1, a mosaic chuck according to the present invention supports a plurality of partial chucks 1 installed at a predetermined interval and positioned below the partial chucks 1. And a base plate 3 which fixes and couples the whole together. The base plate 3 is installed on the base plate 3 in an upper side of the partial chucks 1 in the base plate 3 and has the same height as each other. The uppermost end or the uppermost end surface includes a plurality of height adjustment pins 5 which serve as reference planes when the partial chucks 1 are assembled. In other words, the height adjusting pins 5 are assembled to the base plate 3 and positioned to have the same height while being located in a screw hole installed in the base plate 3. Is installed in the upper direction of the direction (1) is a plurality of to serve to fix the partial chucks (1) to the base plate 3 and to adjust the height and angle of the partial chucks (1) Two chuck height adjustment mechanisms 7.

보다 상세하게, 상기 베이스판(3)은 높은 정밀도를 요하지 않고 쉽게 변형되지 않은 물질로 구성한다. 상기 베이스판(3)은 적절한 위치에 나사 구멍이 형성되어 있고, 상기 나사구멍에는 숫나사를 채용하여 높이조정핀(5)이 설치되어 있다. 즉, 상기 높이조정핀(5)은 높이조정수단으로 숫나사를 채용하여 상기 베이스판(3)으로부터 각 높이조정핀(5)의 끝부분까지의 높이를 조정하고, 이에 따라 상기 높이조정핀(5)들의 끝부분이 모두 포함되는 기준면을 형성시킬 수 있다. 본 실시예에서는 높이조정핀은 나사(숫나사)를 이용하여 높이를 조절하였으나, 높이 조정 수단으로 슬라이더 또는 트랜스레이터를 이용할 수 도 있다.More specifically, the base plate 3 is made of a material that does not require high precision and is not easily deformed. The base plate 3 is formed with a screw hole at an appropriate position, and the height adjustment pin 5 is provided by adopting a male screw in the screw hole. That is, the height adjustment pin (5) adopts a male screw as the height adjustment means to adjust the height from the base plate (3) to the end of each height adjustment pin (5), accordingly the height adjustment pin (5) It is possible to form a reference plane that includes all the ends of the). In this embodiment, the height adjusting pin is adjusted by using a screw (male screw), but a slider or a translator may be used as the height adjusting means.

상기 복수개의 부분척(1)은 일정한 간격을 두고 설치되어 있고, 상기 부분척(1)들 사이에 높이조정핀(5)이 설치된다. 상기 높이조정핀(5)의 갯수와 배치 형태는 부분척(1)의 형상과 크기, 높이조정핀(5)의 높이를 서로 맞추는데 사용되는 평행평판(도 3 및 도 4의 참조번호 11, 11')의 크기 등에 따라 달라질 수 있다. 상기 높이조정핀(5)의 끝부분은 둥글게 하거나, 아주 뾰족하게 할 수 있다. 상기 높이조정핀(5)은 베이스판(3)에 조립하였을 때 베이스판(3)과 높이조정핀(5)의 끝부분의 가공면이 평행하도록 가공할 수도 있다. 즉, 상기 높이조정핀(5)의 끝은 높이 방향에 수직한 평면으로 가공할 수 도 있다. 따라서, 상기 높이조정핀(5)의 최상단점 또는 최상단면이 상기 부분척(1)의 조립시에 기준면이 되도록 한다The plurality of partial chucks 1 are provided at regular intervals, and the height adjustment pins 5 are installed between the partial chucks 1. The number and arrangement of the height adjustment pins 5 are parallel plates used to match the shape and size of the partial chuck 1 and the height of the height adjustment pins 5 (reference numerals 11 and 11 of FIGS. 3 and 4). ') May vary depending on the size. The tip of the height adjustment pin 5 may be rounded or very pointed. When the height adjustment pin 5 is assembled to the base plate 3, it may be processed so that the processing surface of the end of the base plate 3 and the height adjustment pin 5 is parallel. That is, the end of the height adjustment pin 5 may be processed into a plane perpendicular to the height direction. Therefore, the uppermost end point or the uppermost end face of the height adjusting pin 5 becomes a reference plane when the partial chuck 1 is assembled.

상기 부분척(1)에는 상기 부분척(1)을 베이스판(3)에 고정하고, 상기 베이스판(3)과 부분척(1) 사이의 간격을 조절하거나 상기 부분척(1)의 베이스판(3)에 대한 각도를 조절할 수 있게 하는 부분척 높이조정기구(7)가 장착된다. 상기 부분척 높이조정기구(7)의 갯수와 배치 형태는 도 1과 같이 배치할 수 있으나, 경우에 따라 달라질 수 있다. 상기 부분척(1)은 척을 조립 완성하였을 때 요구되는 평면도보다 좋은 평면도를 갖도록 한다. 상기 부분척(1)의 형상은 도 1과 같이 직사각형으로 제작될 수도 있으며 경우에 따라 다른 형상을 가질 수 있다. 상기 부분척(1)의갯수와 배치는 도 1과 같은 타일 형식으로 배치될 수도 있고, 부분척(1)의 형상이나 조립된 전체 모자이크식 척의 형상에 따라 다르게 배치될 수도 있다.The partial chuck 1 is fixed to the base chuck 3 on the partial chuck 1, and the distance between the base plate 3 and the partial chuck 1 is adjusted or the base plate of the partial chuck 1 is fixed. A partial chuck height adjustment mechanism 7 is mounted, which makes it possible to adjust the angle with respect to (3). The number and arrangement of the partial chuck height adjustment mechanism 7 may be arranged as shown in FIG. 1, but may vary depending on the case. The partial chuck 1 has a plan view better than the plan view required when the chuck is assembled. The shape of the partial chuck 1 may be manufactured in a rectangular shape as shown in FIG. 1 and may have a different shape in some cases. The number and arrangement of the partial chucks 1 may be arranged in the form of a tile as shown in FIG. 1, or may be arranged differently according to the shape of the partial chuck 1 or the shape of the assembled whole mosaic chuck.

이하에서는, 도 3a 및 도 3b, 도 4a 내지 도 4c를 이용하여 본 발명에 의한 모자이크식 척의 높이조정핀을 베이스 기판 위에 어떻게 설치하는가를 설명한다.Hereinafter, how to install the height adjustment pin of the mosaic-type chuck according to the present invention on the base substrate using Figs. 3a and 3b, 4a to 4c.

구체적으로, 높이조정핀(5) 3개를 베이스판(도 1의 3) 위에 설치하고, 대략적으로 3개의 높이조정핀(5)들의 높이가 같아지도록 조정해준다. 이때, 높이 조절 수단으로 수준기 등을 사용하여도 무방하다.Specifically, three height adjustment pins (5) is installed on the base plate (3 in Figure 1), and adjusts to approximately the same height of the three height adjustment pins (5). At this time, a level or the like may be used as the height adjusting means.

이어서, 높이조정핀(5) 위에 평행평판(11)을 기준물로서 올려놓고, 이 평행평판(11)에 수직하게 오토콜리메이터(도 4a 내지 도 4c의 참조번호 12)의 광(13')이 오도록 오토콜리메이터(12)를 설치한다. 이때 오토콜리메이터(12)에서 나온 광(13')이 평행평판(11)의 가장자리에 오도록 하고, 오토콜리메이터의 광축(도 4a 내지 도 4c의 13)이 평행평판(11)과 수직하게 한다. 평행평판(11)과 오토콜리메이터(12)의 광축(13')이 서로 수직하다는 것은 평행평판(11)에서 반사되어 되돌아오는 빛에 의해서 형성되는 상이 오토콜리메이터(12)의 중앙에 맺히는 것을 확인하여 알 수 있다. 상기 오토콜리메이터(12) 대신 헬륨-네온 레이저 등을 사용하여 평행평판(11)의 면과 광축이 수직인 것을 판단할 수도 있다. 즉, 레이저 광선을 평행평판(11)에 비추어 반사되어 되돌아오는 빛이 레이저로 되돌아오게 하면 평행평판(11)이 레이저 광에 대해서 수직이라고 할 수 있다. 레이저를 사용하는 경우에 비해 오토콜리메이터(12)를 사용하는 경우에 더 측정 정밀도가 좋다.Subsequently, the parallel plate 11 is placed on the height adjusting pin 5 as a reference object, and the light 13 'of the auto collimator (reference numeral 12 in FIGS. 4A to 4C) is perpendicular to the parallel plate 11. Install the auto collimator (12). At this time, the light 13 ′ from the auto collimator 12 comes to the edge of the parallel plate 11, and the optical axis of the auto collimator (13 in FIGS. 4A to 4C) is perpendicular to the parallel plate 11. When the optical axis 13 'of the parallel plate 11 and the auto collimator 12 are perpendicular to each other, it is confirmed that the image formed by the light reflected from the parallel plate 11 is formed at the center of the auto collimator 12. Able to know. A helium-neon laser or the like may be used instead of the auto collimator 12 to determine that the plane and the optical axis of the parallel plate 11 are perpendicular to each other. That is, when the laser beam is reflected on the parallel plate 11 and the reflected light is returned to the laser, the parallel plate 11 can be said to be perpendicular to the laser light. Compared with the case of using a laser, the measurement accuracy is better when the autocollimator 12 is used.

이제 조정의 다음 단계로서, 이미 설치된 세 개의 높이조정핀(5) 이외에 다른 높이조정핀(5')을 설치한다. 높이조정핀(5)들이 대략적으로 정삼각형을 형성하면서 배치되도록 하는 것이 상대적으로 작은 수의 높이조정핀(5)을 사용하여 전체 면적을 커버할 수 있다는 점에서 유리하다. 계속하여, 도 3a를 참조하여 높이조정핀(5')을 추가해 가는 과정을 살펴보면, 이미 설치하여 기준 높이를 정하는데 사용한 두 개의 높이조정핀(5)과 새로 설치한 높이조정핀(5') 한 개를 사용하여 이들 세 개의 높이조정핀(5, 5')이 같은 높이에 있도록 새로 설치된 높이조정핀(5')만을 조정하여 평행평판(11')의 각도가 전 단계에서 결정된 각도를 유지되도록 한다. 즉, 전 단계에서 평행평판(11)과 수직이 되도록 설치되어 있는 오토콜리메이터(12)의 광축과 평행평판(11)이 수직이 될 때까지 새로이 설치된 높이조정핀(5')의 높이를 조정한다. 이와 같은 과정이 끝나면 이미 설치된 세 개의 높이조정핀(5)과 새로 조정이 끝난 높이조정핀(5')의 끝부분이 동일한 평면을 형성하게 된다.Now, as a next step of adjustment, install another height adjustment pin 5 'in addition to the three height adjustment pins 5 already installed. It is advantageous in that the height adjusting pins 5 are arranged while forming an approximately equilateral triangle, so that a relatively small number of height adjusting pins 5 can be used to cover the entire area. Subsequently, referring to the process of adding the height adjustment pin 5 'with reference to Figure 3a, two height adjustment pins (5) and the newly installed height adjustment pins 5' that have already been installed and used to determine the reference height Using only one, adjust only the newly installed height adjusting pins 5 'so that these three height adjusting pins 5 and 5' are at the same height so that the angle of the parallel flat plate 11 'is maintained at the angle determined in the previous step. Be sure to That is, the height of the newly installed height adjusting pin 5 'is adjusted until the optical axis of the auto collimator 12, which is installed to be perpendicular to the parallel flat plate 11, and the parallel flat plate 11 are vertical. . After this process, three height adjustment pins 5 already installed and the ends of the newly adjusted height adjustment pins 5 'form the same plane.

이제 평행평판(11')을 그대로 둔 채 오토콜리메이터(12)를 이동하여 조정이 끝난 새로운 세트의 세 점에 대해서 그 광축이 평행평판(11)과 수직을 이루도록 오토콜리메이터(12)를 설치하고 조정한다. 이때 이 작업이 끝난 후에 새로이 설치하게 될 높이조정핀(5')의 위치를 염두에 두면서 평행평판(11)의 가장자리에 광축이 오도록 한다. 이와 같이 오토콜리메이터(12)의 설치와 조정이 끝나면 이 삼각형을 구성하는 높이조정핀(5, 5') 두 개와 새로운 높이조정핀(5'') 한 개를 사용하여 앞에서와 같은 과정을 반복하여 새로운 높이조정핀(5'')의 높이를 조정해준다.Now move the autocollimator 12 with the parallel plate 11 'intact and install and adjust the auto collimator 12 so that its optical axis is perpendicular to the parallel plate 11 with respect to the new set of three adjusted points. do. At this time, the optical axis comes to the edge of the parallel flat plate 11 while keeping in mind the position of the height adjustment pin 5 'to be newly installed after the end of this work. After the installation and adjustment of the auto collimator 12 is completed, the same process as described above is repeated by using two height adjusting pins (5, 5 ') and one new height adjusting pin (5' ') constituting the triangle. Adjust the height of the new height adjustment pin (5``).

구체적으로, 도 4a에 도시한 바와 같이 기준이 되는 세 개의 높이조정핀(5)에 평행평판(11)을 올려놓고 오토콜리메이터(12)의 광축(13)이 평행평판(11)과 수직이 되도록 조정한다. 이어서, 도 4b에 도시한 바와 같이 오토콜리메이터(12)를 그대로 둔 채로 새로운 높이조정핀(5')을 설치하고 평행평판(11)을 그 위로 이동한 다음 새로운 높이조정핀(5')의 높이를 조정한다. 다음으로 도 4c에 도시한 바와 같이 오토콜리메이터(12)만을 이동하고 평행평판(11)과 광축(13)이 수직이 되도록 조정하여 새로운 높이조정핀(5')을 설치한다. 이와 같은 과정을 반복하여 높이조정핀(5)이 모자이크식 척의 베이스 기판 전면에 모두 설치될 때까지 반복하여 실시한다. 이러한 과정이 끝나면 모든 높이조정핀(5,5')들의 끝부분은 모두 허용된 오차 내에서 동일한 평면 내에 있게 된다.Specifically, as shown in FIG. 4A, the parallel plate 11 is placed on the three height adjusting pins 5 as reference, and the optical axis 13 of the auto collimator 12 is perpendicular to the parallel plate 11. Adjust Subsequently, with the auto collimator 12 in place, as shown in FIG. 4B, a new height adjustment pin 5 'is installed, the parallel plate 11 is moved above it, and the height of the new height adjustment pin 5' is increased. Adjust it. Next, as shown in FIG. 4C, only the auto collimator 12 is moved, and the parallel flat plate 11 and the optical axis 13 are adjusted to be vertical to install a new height adjusting pin 5 '. Repeat this process until the height adjustment pins 5 are all installed on the front surface of the base substrate of the mosaic type chuck. At the end of this process, the ends of all height adjusting pins 5, 5 'are all in the same plane within the allowable error.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 모자이크식 척의 높이조정핀의 설치 및 조정이 끝난 후 부분척의 높이를 조정하는 방법을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.5A and 5B are views for explaining a method of adjusting the height of the partial chuck after installation and adjustment of the height adjustment pin of the mosaic type chuck of the present invention.

구체적으로, 앞서와 같은 조정 과정을 통해서 척의 전면적에 걸쳐서 높이조정핀(5)의 설치가 완료된 후에 부분척(1)을 베이스판(3) 위에 설치한다. 이때, 도 5a에 도시한 바와 같이 그 윗면의 높이를 높이조정핀(5)의 끝보다 다소 낮게 설치한다. 상기 부분척(1)에서 높이조정핀(5)의 위치에 해당하는 부분에는 충분한 크기의 구멍을 뚫어 부분척(1)이 높이조정핀(5)의 간섭을 받지 않고 높이조정핀(5)보다 낮게 설치할 수 있도록 한다.Specifically, the partial chuck 1 is installed on the base plate 3 after the installation of the height adjusting pin 5 is completed over the entire surface of the chuck through the adjustment process as described above. At this time, as shown in Figure 5a to install the height of the upper surface somewhat lower than the end of the height adjustment pin (5). In the portion corresponding to the position of the height adjustment pin 5 in the partial chuck 1, a hole of sufficient size is drilled so that the partial chuck 1 is less than the height adjustment pin 5 without being interfered with by the height adjustment pin 5. Allow for low installation.

다음에, 높이조정핀(5) 위에 평행평판(11)을 놓고 이 면에 수직하게 오토콜리메이터(12)의 광축(13)이 오도록 설치한다. 설치가 끝나면 부분척 높이조정기구(7)를 이용하여 부분척(1)의 높이를 조금씩 높여 나간다. 이와 같이 부분척(1)의 높이를 높여 나가다 보면 어느 순간 부분척(1)의 한 부분이 평행평판(11)에 닿게 되고, 이어서 도 5b에 도시한 바와 같이 부분척이 평행평판(11)을 밀어 올리게 되므로 오토콜리메이터(12)를 통해서 부분척(1)에 해당 부분이 기준면보다 위로 올라왔음을 감지할 수 있게 된다. 즉, 부분척(1)의 한 부분이 평행평판(11)에 닿아서 평행평판(11)을 밀어 올리게 되면 오토콜리메이터(12) 상에서 십자선의 위치가 바뀌게 되어 높이가 바뀌고 있음을 쉽게 알 수 있다. 이런 경우 부분척 높이조정기구(7)를 써서 조심스럽게 부분척(1)의 높이를 낮춰준다.Next, the parallel flat plate 11 is placed on the height adjusting pin 5 so that the optical axis 13 of the auto collimator 12 is perpendicular to this plane. After installation, the height of the partial chuck 1 is gradually increased by using the partial chuck height adjusting mechanism 7. As the height of the partial chuck 1 is raised in this manner, a portion of the partial chuck 1 comes into contact with the parallel plate 11 at some point, and as shown in FIG. 5B, the partial chuck moves the parallel plate 11. As it is pushed up, the auto collimator 12 detects that the corresponding part is raised above the reference plane on the partial chuck 1. That is, when one part of the partial chuck 1 touches the parallel flat plate 11 and pushes up the parallel flat plate 11, it is easy to see that the position of the crosshairs on the auto collimator 12 is changed to change the height. In this case, use a partial chuck height adjustment mechanism (7) to carefully lower the height of the partial chuck (1).

그 다음 해당 부분척(1)의 다른 방향에 있는 부분척 높이조정기구(7)를 이용하여 해당 부분의 높이를 높여 나가다 부분척(1)의 해당 부분의 높이가 기준면의 높이를 초과하지 않는 곳에서 멈춘다. 이러한 과정을 반복하면 도 5c에 도시한 바와 같이 충분한 허용오차 범위 내에서 부분척(1)들의 높이를 맞출 수 있다.Then, using the partial chuck height adjustment mechanism (7) in the other direction of the partial chuck (1) to raise the height of the portion where the height of the corresponding portion of the partial chuck (1) does not exceed the height of the reference plane Stops at By repeating this process, the heights of the subchucks 1 can be adjusted within a sufficient tolerance range as shown in FIG. 5C.

본 발명에 의한 모자이크식 척은 부분척들을 조립하여 원하는 평면도를 갖게 제조할 수 있으므로 가공기계의 크기에 제한을 거의 받지 않고, 얼마든지 큰 크기의 척을 만들 수 있다. 다시 말해, 본 발명에 의한 모자이크식 척은 전체 척을 구성하는 부분척의 수를 늘림으로써 원하는 크기의 척을 만들 수 있다.The mosaic chuck according to the present invention can be manufactured to have a desired plan view by assembling the partial chucks, so that the chuck of any size can be made without any limitation in the size of the processing machine. In other words, the mosaic chuck according to the present invention can make a chuck of a desired size by increasing the number of partial chucks constituting the entire chuck.

또한 본 발명에 의한 모자이크식 척은 부분척들이 얇으면서 평면도가 좋게 만들 수 있으므로 척을 조립하였을 때 전체 척의 무게는 하나의 척으로 만들었을 때보다 가볍게 할 수 있다.In addition, since the mosaic chuck according to the present invention can make the flat chuck while the partial chucks are thin, the weight of the entire chuck when the chuck is assembled can be made lighter than when it is made of one chuck.

Claims

A plurality of subchucks installed at regular intervals;

A base plate positioned below the partial chucks to support and fix the partial chucks and to combine the whole into one;

A plurality of height adjusting pins installed on the base plate in the direction of the partial chucks from the base plate, and having the same height as each other so that the uppermost end point or the uppermost end face becomes a reference plane when the partial chucks are assembled; And

A plurality of partial chuck height adjustment mechanisms installed upwardly in the direction of the partial chucks from the base plate to fix the partial chucks to the base plate and to adjust the height and angle of the partial chucks; Mosaic-type chuck characterized in that it comprises.

The mosaic chuck of claim 1, wherein the height adjustment pin is located between the partial chucks.

The mosaic chuck of claim 1, wherein the height adjusting pin uses a screw, a slider, or a translator as the height adjusting means.

The mosaic chuck of claim 1, wherein the end of the height adjusting pin is rounded or pointed.

The mosaic type chuck of claim 1, wherein the end of the height adjusting pin is processed in a plane perpendicular to the height direction.