KR100454292B1 - Unified block heater for heating liquid delivery system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액체운송장치의 배관라인을 가열시키는 블록 히터에 관한 것으로, 발열수단으로서 저항을 내장하고 있으며 상기 내장된 저항의 작용에 따른 내부온도를 측정할 수 있는 써머 커플과, 상기 측정된 내부온도에 따라 액체운송장치의 배관라인이 일정한 온도를 유지할 수 있도록 상기 저항에 전류를 공급하는 전선과, 내 측면에서 바깥쪽을 향해 수직으로 돌출 된 삽입단을 가지는 제1 블록 히터와, 상기 제1 블록 히터와 배관라인을 중심으로 대향하여 상기 제1 블록 히터의 삽입단과 결합도어 배관라인을 감쌀 수 있도록 내 측면에서 안쪽을 향해 수직으로 형성된 삽입홈을 가지는 제2 블록 히터로 이루어진 블록 히터를 제공한다.The present invention relates to a block heater for heating a pipe line of a liquid transport device, and includes a resistance as a heating means and a thermocouple capable of measuring an internal temperature according to the action of the built-in resistance, and the measured internal temperature. A first block heater having an electric wire for supplying current to the resistor so that the pipe line of the liquid transportation device maintains a constant temperature, an insertion end projecting vertically outward from an inner side thereof, and the first block It provides a block heater consisting of a second block heater having an insertion groove formed in the vertical direction from the inner side to cover the insertion end and the coupling door pipe line of the first block heater facing the center with respect to the heater and the pipe line.
본 발명에 의하면 종래 블록 히터에서는 각 블록 히터마다 개별적인 배선 접속이 필요하고 이에 따라 어느 하나의 배선 단락이 있으면 블록 히터 전체가 제 기능을 발휘할 수 없었던 결함을 완전하게 방지할 수 있게 해준다.According to the present invention, in the conventional block heater, individual wiring connection is required for each block heater, and accordingly, any one wire short circuit makes it possible to completely prevent defects in which the entire block heater could not function properly.
Description
본 발명은 블록 히터(block heater)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조에 있어 화학기상증착법(CVD)을 이용하여 웨이퍼(wafer)를 증착시킬 때 공정 챔버(process chamber) 내부로 유입되는 기화된 액체소스물질이 기화온도를 유지할 수 있도록 액체운송장치(liquid delivery system)를 가열시켜 주는 블록 히터에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a block heater, and more particularly, to vaporization introduced into a process chamber when depositing a wafer using chemical vapor deposition (CVD) in semiconductor manufacturing. The present invention relates to a block heater that heats a liquid delivery system so that a liquid source material can maintain a vaporization temperature.
반도체 기술이 점차 발전함에 따라 반도체와 관련된 산업의 비약적인 발전이 뒤따르고 있으며, 이에 따라 급증하는 산업계의 반도체 수요를 충족시키기 위해 대량, 대구경 웨이퍼의 증착에 관한 여러 가지 다양한 방법이 제시되고 있다.As semiconductor technology gradually develops, there is a quantum leap in the semiconductor-related industry. Accordingly, various methods for depositing large-scale and large-diameter wafers have been proposed to meet the rapidly increasing demand for semiconductors.
도 1은 이러한 대량, 대구경 웨이퍼를 증착시키기 위한 방법 중에서 금속-유기 화학기상증착법(MOCVD)에 의한 반도체 제조설비 구성도를 간단하게 보여주고 있는데, 그 작동구성을 살펴보면, 로봇 암(robot arm, 미도시)에 의해 웨이퍼(W)를 공정 챔버(50) 내부의 서셉터(미도시) 상단에 안착시키고, 상기 공정 챔버 내부를 밀폐시킨 후 배기 밸브(62)의 개방 및 배기 펌프(60)의 펌핑을 통해서 공정 챔버(50) 내부를 고 진공 상태로 유지한다.Figure 1 shows a schematic diagram of a semiconductor manufacturing facility by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) among the methods for depositing such a large-diameter, large-diameter wafer, the operation of the robot arm (robot arm) The wafer W is seated on an upper end of a susceptor (not shown) inside the process chamber 50, and the inside of the process chamber is sealed, followed by opening of the exhaust valve 62 and pumping of the exhaust pump 60. Through the process chamber 50 to maintain the inside of a high vacuum.
상기 공정 챔버(50) 내부가 고 진공 상태로 일정하게 유지되면, 액체소스물질을 기화기(20) 내부로 통과시켜 기화시킨 다음에 운반가스에 의해 개방된 흡기 밸브(22)를 통해서 상기 공정 챔버(50) 내부의 노즐(미도시)에 의한 확산으로 서셉터 상단에 안착된 웨이퍼를 증착시키게 된다.When the inside of the process chamber 50 is constantly maintained in a high vacuum state, the liquid source material is passed through the vaporizer 20 to vaporize, and then the process chamber (through the intake valve 22 opened by the carrier gas). 50) The wafer deposited on the top of the susceptor is deposited by diffusion by a nozzle (not shown) inside.
상기와 같이 액체소스물질을 사용하는 반도체 제조설비에서는 상기 액체소스물질을 기화시키기 위한 장치인 기화기가 필수적으로 장착되지만, 액체소스물질이 상기 기화기에 의해서 기화된다고 할 지라도 공정 챔버 내부로 유입 전에 배관라인에서 액화되는 경우도 발생되는데, 이러한 액체소스물질의 액화는 기화기의 막힘 또는 배관라인의 막힘 등을 유발시켜 전면적인 장비 교체 등으로 인한 생산효율을 저하요인으로 작용한다.In the semiconductor manufacturing equipment using the liquid source material as described above, a vaporizer, which is a device for vaporizing the liquid source material, is essentially installed. However, even if the liquid source material is vaporized by the vaporizer, the piping line before entering into the process chamber. In addition, the liquefaction of the liquid source material causes the blockage of the vaporizer or the blockage of the pipe line, thereby reducing the production efficiency due to full equipment replacement.
따라서 이러한 액체소스물질의 액화를 방지하기 위하여 기화기와, 상기 기화기로 유, 출입되는 소스물질의 통로인 배관라인 등 액체운송장치를 감싸서 액체소스물질의 기화온도를 일정하게 유지할 수 있는 블록 히터를 별도로 장착하여 운용하고 있다.Therefore, in order to prevent the liquefaction of the liquid source material, a separate block heater that can maintain the vaporization temperature of the liquid source material by wrapping the liquid transport device such as a vaporizer and a pipe line that is a passage of the source material into and out of the vaporizer. It is installed and operated.
도 2는 이러한 액체운송장치를 감싸는 종래 블록 히터(10)로서의 하나의 예를 보여주고 있는데, 종래 블록 히터(10)는 배관라인과 기화기를 감싸며 상호 대향하는 복수 개의 블록 히터로 이루어진다.Figure 2 shows an example as a conventional block heater 10 surrounding such a liquid transport device, the conventional block heater 10 is composed of a plurality of block heaters facing each other while surrounding the piping line and the vaporizer.
즉, 상기 복수 개의 블록 히터(10)는 유입라인(24)과 흡기 밸브(22)와 배기라인(42)을 감싸며 상호 대향되어 결합되는 제1, 2, 3 블록 히터(11, 12, 13)와, 상기 흡기 밸브(22)와 연결되는 기화기(20) 및 운반가스와 유량조절제어기(30)를 통과한 액체소스물질을 상기 기화기(20)로 유입시키는 관(미도시)을 감싸며 상호 대향되어 결합되는 제4, 5, 6, 7 블록 히터(15, 16, 17, 18/도면 부호 16은 제5 블록 히터로서 도면 부호 15인 제4 블록 히터와 대향되어 결합되는 블록 히터이다)로구성됨을 알 수 있다.That is, the plurality of block heaters 10 surrounds the inlet line 24, the intake valve 22, and the exhaust line 42, and is coupled to the first, second, and third block heaters 11, 12, 13. And, the vaporizer 20 connected to the intake valve 22 and the liquid gas through the carrier gas and the flow control controller 30 wraps around the tube (not shown) for introducing into the vaporizer 20 are opposed to each other The fourth, fifth, sixth, seventh block heaters (15, 16, 17, 18/16 are the fifth block heaters, the block heaters are opposed to and coupled to the fourth block heater of the reference numeral 15). Able to know.
상기 블록 히터 각각에는 발열수단으로서 저항을 내장하고 있으며 상기 내장된 저항의 작용에 따른 내부온도를 측정할 수 있는 써머 커플(thermocouple, 11A, 12A, 13A, 15A, 16A, 17A, 18A/ 각 도면부호 중의 하나의 선을 지칭하는 것으로서 필요한 2개 라인을 도면을 간단하게 하기 위해 하나만 도시하였음)과, 상기 저항에 전류를 흘려 내부온도를 올릴 수 있도록 외부전원을 공급할 수 있는 전선(11A, 12A, 13A, 15A, 16A, 17A, 18A/ 각 도면부호 중 다른 하나의 선을 지칭하는 것으로서 필요한 2개 라인을 도면을 간단하게 하기 위해 하나만 도시하였음)이 별도로 연결되어 있어, 상기 써머 커플에 의해서 각 블록 히터에 내장된 저항의 온도가 소망하는 온도이하로 감지되면 히터 컨트롤러(heater controller, 미도시)의 작동에 의해 상기 전선으로 공급된 외부전원이 각 블록 히터를 가열시킴으로서 액체소스물질의 기화온도를 일정하게 유지할 수 있게 해준다.Each of the block heaters includes a resistor as a heating means, and thermocouples (11A, 12A, 13A, 13A, 15A, 16A, 17A, 18A / reference numerals) capable of measuring an internal temperature according to the action of the built-in resistors. Two lines required to refer to one of the lines, only one is shown to simplify the drawing), and a wire 11A, 12A, 13A capable of supplying an external power source to increase the internal temperature by flowing a current through the resistor. , 15A, 16A, 17A, 18A / two lines required to refer to the other one of the reference numerals are shown separately to simplify the drawing), so that each block heater is connected by the thermal couple When the temperature of the built-in resistor is sensed below the desired temperature, the external power supplied to the wire by the operation of a heater controller (not shown) supplies each block heater. By heating, the vaporization temperature of the liquid source material can be kept constant.
그러나 상기와 같은 구성의 종래 액체운송장치의 블록 히터는 블록 히터가 감싸는 배관라인의 위치에 따라 별도의 온도를 유지하여야 하며, 이에 따라 각 블록 히터마다 다른 용량을 가지는 저항을 내장시키게 되며 이렇게 각각 상이한 용량의 저항을 가열시키기 위한 개별적인 써머 커플과, 히터 컨트롤러를 가지고 있으며, 외부전원의 공급을 위한 전선 역시도 모두 개별적으로 설치되어야 했다.However, the block heater of the conventional liquid transportation device of the above configuration must maintain a separate temperature according to the position of the piping line surrounding the block heater, and thus each block heater has a built-in resistor having a different capacity, so each different They have separate thermal couples to heat the resistance of the capacities, heater controllers, and wires for the supply of external power.
따라서 그 배선구조가 복잡해 질 수밖에 없으며, 이러한 복잡한 배선구조는 그 배선 중 어느 하나라도 단선이 되는 경우에 있어 블록 히터의 유지, 보수면에 있어 심각한 결함으로 작용하게 되었다.Therefore, the wiring structure is inevitably complicated, and such a complicated wiring structure causes serious defects in terms of maintenance and repair of the block heater when any one of the wirings is disconnected.
또한, 이러한 복잡한 배선구조에서는 각각의 블록 히터에 연결되는 접속단자가 충격에 약해 단선이 잦아지고, 이러한 단선에 의한 블록 히터의 작동불량은 기화된 액체소스물질을 다시 액화시키게 되고 이로 인한 액체운송장치의 배관라인의 막힘은 전체적인 반도체 생산의 효율을 저하시키는 중요한 요인이 되어 왔었다.In addition, in such a complicated wiring structure, the connection terminals connected to the respective block heaters are weak to shock, so disconnection occurs frequently, and the malfunction of the block heater due to such disconnection causes the vaporized liquid source material to be liquefied again. Clogging of the pipe line has been an important factor in reducing the efficiency of the overall semiconductor production.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 단일의 배선구성에 의하여 액체운송장치를 일정한 온도로 유지시켜 기화된 소스물질이 기화상태로서 안정되게 유동될 수 있는 일체형 블록 히터를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is designed to solve the problems of the prior art as described above, by maintaining a liquid transport apparatus at a constant temperature by a single wiring configuration, an integrated block heater that can be stably flow as the vaporized source material vaporized state The purpose is to provide.
본 발명의 다른 목적은 단선에 의한 블록 히터의 작동불량을 사전에 방지할 수 있는 블록 히터를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a block heater that can prevent the malfunction of the block heater due to disconnection in advance.
도 1은 종래 반도체 제조설비에 대한 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a conventional semiconductor manufacturing equipment.
도 2는 도 1에 있어서의 블록 히터의 구성을 보여주는 사시도.FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a block heater in FIG. 1. FIG.
도 3은 본 발명에 따른 블록 히터의 구성을 보여주는 사시도.Figure 3 is a perspective view showing the configuration of a block heater according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 블록 히터의 다른 실시예를 보여주는 사시도.4 is a perspective view showing another embodiment of a block heater according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 블록 히터 20 : 기화기10: block heater 20: vaporizer
30 : 유량조절제어기 40 : 보조 펌프30: flow control controller 40: auxiliary pump
50 : 공정 챔버 60 : 배기 펌프50: process chamber 60: exhaust pump
112 : 삽입단 114 : 배선부112: insertion end 114: wiring portion
122 : 삽입홈122: insertion groove
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 각각이 발열수단으로서 저항을 내장하고 있으며 액체운송장치의 배관라인을 감싸며 상호 대향하는 액체운송장치의 블록 히터로서, 내장된 저항의 작용에 따른 내부온도를 측정할 수 있는 써머 커플과, 상기 측정된 내부온도에 따라 상기 배관라인 내의 액체소스물질이 기화될 수 있도록 상기 저항에 전류를 공급하는 전선과, 내 측면에서 외향 수직 돌출 된 삽입단을 가지는 제 1 블록 히터와; 배관라인을 중심으로 상기 제1 블록 히터와 대향하고, 상기 제 1 블록 히터의 삽입단과 결합되어 배관라인을 감쌀 수 있도록 내 측면에서 내향 수직 형성된 삽입홈을 가지며, 상기 제 1 블록 히터에 인가된 전류가 상기 삽입단과 상기 삽입홈을 통해 내장된 저항에 공급되는 제 2 블록 히터를 포함하는 액체운송장치의 블록 히터를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a block heater of the liquid transport apparatus, each of which has a built-in resistance as a heating means and wraps around the piping line of the liquid transport device, the internal temperature according to the action of the built-in resistance And a thermocouple capable of measuring a voltage, a wire for supplying a current to the resistor to vaporize the liquid source material in the pipe line according to the measured internal temperature, and an insertion end protruding outwardly perpendicularly from the inner side thereof. 1 block heater; Opposed to the first block heater around the pipe line, and has an insertion groove formed inwardly perpendicularly from the inner side to be coupled to the insertion end of the first block heater to surround the pipe line, the current applied to the first block heater Provides a block heater of the liquid transportation device comprising a second block heater is supplied to the resistor embedded through the insertion end and the insertion groove.
상기 제1 블록 히터의 삽입단과, 상기 제1 블록 히터의 삽입단과 결합되는 제2 블록 히터의 삽입홈은 복수 개의 쌍으로 이루어지는 것을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.The insertion end of the first block heater and the insertion groove of the second block heater coupled to the insertion end of the first block heater may further include a plurality of pairs.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같은데, 도면상에서 종래 기술의 구성요소와 동일한 것은 도면부호만 달리할 뿐 그 명칭에 있어서는 동일하게 사용하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the same elements as those of the prior art in the drawings may be used in the same name only with different reference numerals.
도 3은 본 발명에 따른 블록 히터의 일 실시예로서 블록 히터가 길이형상의 배관라인을 감싸는 경우를 상정한 사시도이다.3 is a perspective view assuming that the block heater wraps the length of the pipe line as an embodiment of the block heater according to the present invention.
본 발명에 따른 블록 히터는 배관라인을 감싸며 써머 커플 및 전선으로 구성되는 배선부(114)와, 삽입홈(112)을 가지며 저항을 내장하고 있는 제1 블록 히터(110)와, 상기 제1 블록 히터(110)의 삽입단(112)과 결합될 수 있는 삽입홈(122)을 가지며 저항을 내장하고 있는 제2 블록 히터로 이루어진다.The block heater according to the present invention has a wiring unit 114 surrounding the piping line and composed of a thermal couple and an electric wire, a first block heater 110 having an insertion groove 112 and having a built-in resistance, and the first block. It consists of a second block heater having an insertion groove 122 that can be coupled to the insertion end 112 of the heater 110 and has a built-in resistance.
상기 배선부(114)는 상기 제1, 2 블록 히터(110, 120) 중에서 선택된 어느 하나의 블록 히터에 연결되더라도 무방하다.The wiring unit 114 may be connected to any one block heater selected from the first and second block heaters 110 and 120.
상기 제1, 2 블록 히터(110, 120)에 내장되는 저항의 용량은 상호 동일한 용량의 저항이거나 또는 서로 다른 용량일 수 도 있다.The capacitances of the resistors built in the first and second block heaters 110 and 120 may be resistances of the same capacitance or different capacitances.
상기 제1, 2 블록 히터(110, 120)의 결합은 상기 제1 블록 히터의 내 측면에서 상기 제2 블록 히터(120)의 내 측면을 향해서 수직으로 돌출 된 삽입단(112)과, 상기 삽입단(112)과 결합될 수 있도록 상기 제2 블록 히터(120)의 내 측면에서 내부로 형성된 삽입홈(122)의 기계적인 결합방식에 의하게 된다.The coupling of the first and second block heaters 110 and 120 may include an insertion end 112 protruding vertically from the inner side of the first block heater toward the inner side of the second block heater 120, and the insertion. By the mechanical coupling method of the insertion groove 122 formed inward from the inner side of the second block heater 120 to be coupled to the stage 112.
상기 제1 블록 히터(110)의 삽입단(112)과 , 상기 제2 블록 히터(120)의 삽입홈(122)은 항상 쌍으로서 이루어지며, 상기 삽입단(112) 및 삽입홈(122)의 형상은 도 2에 도시된 사각형상에 국한되는 것이 아니라 일반 가정에서 사용되는 플러그와 콘센트와 같이 길쭉한 원통 형상과 원통 홈 형상으로도 가능하며, 또한 필요한 상기 삽입단(112) 및 삽입홈(122) 쌍의 개수는 다양한 액체운송장치의 형상에 따라 변경될 수 있는 것으로서 블록 히터가 감싸는 배관라인이 긴 경우에는 두 쌍 이상으로 구성할 수 있으며, 반대로 짧은 경우에는 한 쌍으로서 구성될 수 있음도 자명하다.The insertion end 112 of the first block heater 110 and the insertion groove 122 of the second block heater 120 are always made as a pair, and the insertion end 112 and the insertion groove 122 of the The shape is not limited to the quadrangle shown in FIG. 2, but may also be an elongated cylindrical shape and a cylindrical groove shape such as a plug and an outlet used in a general home, and the necessary insertion end 112 and the insertion groove 122 may also be used. The number of pairs can be changed according to the shape of various liquid transport apparatuses. If the piping line wrapped by the block heater is long, it can be composed of two or more pairs. On the contrary, the number of pairs can be configured as a pair. .
또한, 상기 삽입단(112) 및 삽입홈(122)을 구성하는 재질은 도전체이기만 하면 무방하여 전기 전도성을 감안한 다양한 재질이 사용될 수 있음은 물론이다.In addition, the material constituting the insertion end 112 and the insertion groove 122 may be any conductor, so that various materials in consideration of electrical conductivity may be used.
이러한 구성의 본 발명에 따른 블록 히터의 작동구성을 살펴보면, 제1 블록 히터 배선부(114)의 써머 커플에 의해서 블록 히터(100)의 내부온도가 소망하는 온도 이하임이 감지되면, 연결된 히터 컨트롤러(미도시)에 의하여 상기 배선부(114)의 전선을 통해 전류가 제1 블록 히터(110)로 인가된다.Looking at the operation configuration of the block heater according to the present invention of this configuration, when the internal temperature of the block heater 100 is detected by the thermal couple of the first block heater wiring unit 114 is below the desired temperature, the connected heater controller ( The current is applied to the first block heater 110 through the wire of the wiring unit 114 by the not shown).
인가된 전류는 제1 블록 히터(110)에 내장된 저항을 발열시키게 되고, 이 열은 상기 제1 블록 히터(110)에 의해서 표면의 반이 감싸진 배관라인에 전달하게 되며, 상기 제1 블록 히터(110)로 인가된 전류는 동시에 삽입단(112)과 결합된 삽입홈(122)에 의하여 제2 블록 히터(120)에 내장된 저항을 발열시켜 이에 따른 열을 나머지 반이 감싸진 배관라인에 전달하여 소스물질의 기화온도를 일정하게 유지시켜 주는 것이다.The applied current generates heat generated in the first block heater 110, and the heat is transferred to the pipe line half of the surface is surrounded by the first block heater 110. The current applied to the heater 110 heats the resistance built into the second block heater 120 by the insertion groove 122 coupled to the insertion end 112 at the same time, and thus heats up the remaining half of the piping line. By passing on to keep the vaporization temperature of the source material constant.
즉, 본 발명에 따른 블록 히터는 그 써머 커플과 전선으로 이루어지는 배선부를 하나의 블록 히터에 결합시켜 단일화하고, 그 이외의 블록 히터는 별도의 배선부가 아닌 블록 히터 상호간을 결합시켜주는 결합수단에 의하여 전류를 공급받도록 하고 있는 것이다.That is, the block heater according to the present invention is unified by coupling the wiring portion consisting of the thermal couple and the wire to one block heater, and other block heaters by coupling means for coupling the block heaters with each other, not separate wiring units. It is to be supplied with current.
상기와 같은 작동구성은 블록 히터가 길이 방향으로 두 쌍 이상 결합되어 있는 경우뿐만 아니라, 각 블록 히터에 내장된 저항의 용량을 각기 상이하게 하여 감싸진 배관라인에 서로 다른 열을 전달하게끔 블록 히터를 구성하는 경우에도 동일하게 적용됨은 당연하다.The operation configuration as described above is not only when the block heater is coupled to two or more pairs in the longitudinal direction, but also the block heater to transfer different heat to the enclosed piping line by varying the capacity of the resistor built in each block heater. Of course, the same applies to the configuration.
도 4는 본 발명에 따른 블록 히터의 다른 실시예로서 도 1에 도시된 액체운송장치와 같이 배관라인이 일부 구획되어 길이 형상이 아닌 굽은 부분이 있는 구성의 배관라인을 감쌀 수 있는 블록 히터를 보여주고 있다.4 is a block heater according to another embodiment of the present invention showing a block heater that can cover a pipe line having a configuration in which a pipe line is partially partitioned and has a bent portion, such as the liquid transport apparatus shown in FIG. 1. Giving.
이 실시예에서 제1 블록 히터(210)는 제2, 3 블록 히터(220, 230)와, 제4 블록 히터(240)는 제5 블록 히터(250, 제4 블록 히터(240)의 뒷면에 위치)와, 제6 블록 히터(260)는 제 7 블록 히터(270)와 각각 결합된 복수 개의 블록 히터로 이루어진다.In this embodiment, the first block heater 210 is the second and third block heaters 220 and 230, and the fourth block heater 240 is disposed on the rear surface of the fifth block heater 250 and the fourth block heater 240. Location) and the sixth block heater 260 includes a plurality of block heaters coupled to the seventh block heater 270, respectively.
상기 각 블록 히터 사이의 결합방식은 도 3에서 상술한 방식과 동일하게 블록 히터 내 측면에서 수직으로 돌출 된 삽입단(미도시)과 다른 블록 히터의 내측면에서 내부로 수직으로 형성된 삽입홈(미도시)의 기계적인 결합에 의하게 된다.The coupling method between the respective block heaters is an insertion end (not shown) protruding vertically from the side of the block heater in the same manner as described above in FIG. 3 and an insertion groove formed vertically inward from the inner surface of the other block heater (not shown). By mechanical coupling.
상기 삽입단과 삽입홈의 한 쌍으로 이루어지는 결합수단의 개수는 한정되는 것이 아니라 액체운송장치 배관라인의 형상에 따라 다양하게 변경될 수 있음은 자명하다.It is apparent that the number of coupling means formed by a pair of the insertion end and the insertion groove is not limited, but may be variously changed according to the shape of the liquid transportation device piping line.
또한, 각 블록 히터에 내장되는 저항 용량의 동일여부는 문제되지 않으며, 내부에 감싸진 액체운송장치 배관라인에의 열 전달을 위한 배선부(214)는 상기 제1 내지 제7 블록 히터 중에서 선택된 어느 하나에 연결되어도 무방하다.In addition, whether the resistance capacity of each block heater is the same is not a problem, and the wiring unit 214 for heat transfer to the liquid transporting pipe line wrapped therein is selected from the first to seventh block heaters. It may be connected to one.
상기 구성에 의한 블록 히터의 작동구성은 전술한 도 3의 실시예와 동일하여 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.The operation configuration of the block heater according to the above configuration is the same as the embodiment of FIG. 3 described above, and a description thereof will be omitted.
상기에서는 본 발명에 따른 블록 히터로서 바람직한 실시예에 한정하여 상술하였으나, 본 발명의 기술적인 사상의 범주를 벗어나지 않는 수정 및 변경은 모두 본 발명의 권리범위에 해당됨은 자명하다 할 것이다.In the above, the block heater according to the present invention has been described above with reference to a preferred embodiment, but modifications and changes without departing from the scope of the technical idea of the present invention will be apparent that all fall within the scope of the present invention.
본 발명에 의하면 액체운송장치를 감싸는 블록 히터 각각에 개별적으로 배선하는 하는 것이 아니라 하나의 블록 히터에만 배선부를 결합시키는 단일화를 이루고, 나머지 블록 히터에는 블록 히터 상호간을 결합시켜주는 결합수단에 의하여 전류를 공급받을 수 있는 보다 간단한 구성의 블록 히터를 제공함으로서 종래 각 블록 히터마다 개별적으로 배선 접속을 하고 이에 따라 어느 하나의 배선 단락이 있으면 블록 히터 전체가 제 성능을 발휘할 수 없었던 결함을 극복할 수 있게 해준다.According to the present invention, rather than individually wired to each of the block heaters surrounding the liquid transport device to achieve a single unit for coupling the wiring to only one block heater, the remaining block heater to the current by the coupling means for coupling the block heaters with each other By providing a block heater with a simpler configuration that can be supplied, it is possible to individually connect the wiring to each block heater, so that any one short circuit can overcome the defect that the entire block heater could not perform properly. .
또한, 본 발명에 따른 블록 히터의 결합수단은 삽입단과 삽입홈과 같이 기계적으로 단순한 방법을 선택함으로서 블록 히터의 유지, 보수에 있어서 더할 수 없는 경제성과 편리성을 가진다고 할 수 있으며, 이러한 유지, 보수에 있어서의 경제성 및 편리성은 전체적인 생산라인의 효율을 증진시킬 수 있게 해준다.In addition, the coupling means of the block heater according to the present invention can be said to have an economical convenience and convenience in the maintenance and repair of the block heater by selecting a mechanically simple method, such as the insertion end and the insertion groove. The economics and convenience in the system make it possible to increase the efficiency of the entire production line.
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