KR100449455B1 - 진동자를 내장한 초음파 에너지 공동현상을 방지하는 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 초음파 발생용 압전체와 초음파 변환자를 진동시키는 진동자를 초음파 변환자에 동시에 장착하여 초음파변환자의 위치를 변경시켜 초음파 에너지의 집중을 방지함으로써 초음파 에너지 공동현상으로 인하여 발생하는 매질의 손상을 방지하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다. 보다 구체적으로 연속파 발진기를 구비하고 초음파 신호를 발생하는 초음파 변환자와 초음파에너지의 집중을 방지하기 위하여 진동자 구동회로에 의하여 초음파 변환자 전체에 진동을 주기 위하여 편심 모타를 구비하고 이를 작동시킴에 의하여 초음파 변환자의 위치가 진동자(편심모타)의 진동에 따라 변함으로써 두 물체에 의하여 발생하는 반사파와 진행파간에 위상이 변화하게 되어 공동현상이 발생하지 않게 하는데 특징이 있다. 또한 필요에 따라 사용자가 편심 모타에서 발생하는 진동주파수를 용이하게 조절할 수 있게 함으로써 사용자가 느끼기에 편한 주파수로 고정하여 사용할 수 있는 특징이 있다.

Description

진동자를 내장한 초음파 에너지 공동현상을 방지하는 장치 및 방법{Device and method of removing the cabity effect for an ultra-sonic energy with a vibrator}

본 발명은 전기적 연속파를 초음파로 변환, 발생시키는 과정에서 초음파 에너지 공동현상으로 인하여 발생하는 매질의 손상을 유발시키지 않고 초음파를 효과적으로 전달하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

종래에는 초음파 변환자에서 발생하는 초음파가가 초음파 매질 내부로 진행하는 진행파와 되풀이되는 반사파와 서로 동위상으로 발생되는 초음파 공동현상으로 인한 에너지 집중을 막을 수 없었으며, 상기 초음파 변환자에서 인간의 오감으로 인지할 수 없는 초음파를 발생시킴으로 초음파 변환자가 인간의 신체의 일부에 접촉되어 동작하더라도 이를 인지할 수 없었다는 문제점이 있었다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 상기와 같은 종래의 문제점을 인식하고 공동현상의 발생을 제거하기 위하여 연속파 발진기를 구비하고 초음파 신호를 발생하는 초음파 변환자와 초음파에너지의 집중을 방지하기 위하여 초음파 변환자 전체에 진동을 줄 수 있는 편심 모타를 구비하고 이를 작동시킴에 의하여 초음파 변환자의 위치가 진동자(편심모타 또는 솔레노이드를 이용한 진동자)의 진동에 따라 변함으로써 두 물체에 의하여 발생하는 반사파와 진행파의 위상을 변화시켜 공동현상을 방지하는데 그 특징이 있다.

또한 진동자에 의하여 발생되는 저주파 진동이 인간이 느끼기에 편한 주파수로 사용자가 용이하게 조절할 수 있고 조절 후에는 항상 일정한 주파수를 유지할 수 있도록 구성함으로써 사용자가 느끼기에 편한 주파수를 항상 유지시켜 줄 수 있게 구현하는데 그 특징이 있다.

도 1은 초음파 변환자와 연속파 발진기에 의한 초음파 발생 구성도.

도 2는 편심모타를 이용한 진동자를 초음파 변환자에 내장한 초음파 변환자와 연속파 발진기의 구성도.

도 3은 초음파 변환자를 연속파 발진기로 구동하여 초음파 매질에서의 초음파가 진행되는 예시도.

도 4는 초음파 발생기에서 전기적 연속파가 연속적 초음파로 변화되어 발생하는 과정도.

도 5는 도 3의 일반적인 초음파 변환자 사용에 있어서의 "가", "나" 두 지점에서의 초음파 신호를 전기적으로 변환한 신호 형태.

도 6은 초음파 공동 현상이 발생하는 매질과 초음파 진행 예시도.

도 7은 초음파 발생기에서 공동현상을 일으키며 초음파를 발생시키는 과정도.

도 8은 도 6과 같이 초음파 매질내에서 초음파 공동현상이 발생할 경우의 "가", "나" 두 지점에서의 초음파 신호를 전기적으로 변환한 신호 형태.

도 9는 진동자를 내장한 초음파 변환자와 연속파 발진기 및 편심 모타 구동회로로 구성된 초음파 발생기에서 초음파가 진행되는 예시도.

도 10은 편심 모타 구동회로로 초음파 변환자를 진동시켜 공동현상이 생기지 않고 초음파를 발생시키는 과정도.

도 11은 도 9의 구조에서의 "가", "나" 두 지점에서의 초음파 신호의 전기적으로 변환한 신호 형태.

도 12는 편심을 구비한 직류모타의 구조.

도 13은 솔레노이드를 이용한 진동자의 구조.

도 14는 솔레노이드를 이용한 진동자를 구동하기 위한 전기 신호형태.

도 15는 솔레노이드를 이용한 진동자를 구동하기 위한 전기 신호를 발생하기 위한 신호 발생 흐름도.

본 발명에 따른 구성 및 작용효과를 살펴보기 전에 종래에 사용된 초음파 변환자의 구성을 살펴보면, 도 1은 일반적으로 사용하는 원형판(Disk)형의 초음파 압전체와 이를 구동하기 위하여 전기적 신호를 발생하는 연속파 발진기로 구성된 초음파 변환자의 단면 구조이다. 도 1의 초음파 변환자는 연속파 발진기에서 발생되는 전기신호를 초음파로 변환하는 원형판 초음파 압전체(107)와 초음파 압전체에서 발생하는 초음파를 매질로 연결하는 금속성 물질로 접속하여 사용하는 압전체 고정판(109)과 초음파 압전체에 전기적 신호를 가하기 위한 단자(105)로 구성되어 있다.

도 1에서와 같이 연속파 발진기에서 발생된 전기적 신호는 초음파 압전체(107)로 전송되고, 전송된 전기적 신호는 초음파 압전체를 진동시킴으로서 초음파를 발생시켜 압전체 고정판(109)을 통하여 도 3과 같이 초음파 매질 내부로 연속적으로 초음파를 내보낸다(309). 도 5는 도 3에서의 "가"(305), "나"(307) 점에서의 연속적으로 발생하는 초음파를 전기신호로 변환하여 기록한 것으로 깊이에 따라 초음파 신호는 매질의 감쇄에 의하여 "가"(505) 지점보다 "나"(507) 지점이 적게 됨을 알 수 있다. 도 6에서는 초음파 매질 내에 초음파 반사계수가 큰 매질 "A"(615), "B"(617)가 있을 경우, "A"(615)매질은 초음파 변환자로부터 발생되는 초음파의 일부는 통과시키고, 일부는 반사시키게 된다. 이와 같은 원리는 "B"(617)매질로부터 반사된 신호역시 반사시키게 됨으로 "나"(607) 점에서는 초음파 변환자(603)로부터 연속적으로 발생되는 초음파 신호와 "A"(615), "B"(617) 매질에서 계속 축적되어 반사가 되풀이되는 초음파에 의하여 도 8과 같이 "나"(807) 지점의 초음파 신호가 "가"(805) 지점의 초음파 신호보다 더 크게 된다. 이러한 현상을 초음파 공동(Cavity)현상(715)이라 한다. 이 경우 "나"(605) 지점의 초음파 신호가 의도하지 않은 크기 이상으로 커져 "나"(605) 지점의 매질에 보다 많은 초음파 에너지가 집중되게 되어 매질의 손상을 가져오는 문제점이 있다. 이와 같은 공동현상은 초음파 임피던스가 "A"(615), "B"(617)와 같이 초음파 매질의 임피던스의 차이가 많이 나는 매질로 구성되는 경우에 초음파 변환자(603)로부터 발생하는 연속 초음파의 위상과 "B"(617) 매질에서 반사되는 초음파 신호의 위상 및 "B"(617)에서 반사되어 "A"(615)에서 다시 반사되는 신호의 위상이 동일할 경우에 3가지 초음파 신호가 동 위상으로 더해진다. 또한 시간이 증가할수록 "A"(615)와 "B"(617) 매질 사이에서 반사되는 초음파 성분이 증가함으로써 공동 현상이 발생한다. 본 발명은 상기와 같은 종래 초음파 변환자의 문제점을 해결하기 위하여 초음파 발생용 압전체와 초음파 변환자를 진동시키는 진동자를 초음파 변환자에 동시에 장착하여 초음파 변환자의 위치를 변경하여 초음파 에너지의 집중을 방지함으로써 초음파 에너지 공동현상으로 인하여 발생하는 매질의 손상을 방지하는 장치 및 방법을 제공하는데 있다. 본 발명에 따른 구성 수단들을 구체적으로 살펴보면, 초음파 압전체 고정판에 초음파 압전체를 부착하고 초음파 압전체의 구동회로를 부착하여 초음파를 발생시키는 초음파 변환자와, 상기 초음파 변환자의 내부에 위치하여 또 다른 진동파를 발생시키기 위한 편심모타 구동회로를 내장한 진동자(편심모타)로 구성되어 있다. 본 발명에 따른 진동자의 실시 예로 사용하는 편심 모타는 도 12와 같이 직류 모타(1202)의 모타축(1203)에 무게가 일부분이 크게 구성된 편심부(1206)를 갖는 편심축(1204)을 모타축(1203)에 부착한 것을 특징으로 하고 있다. 이와 같은 편심 모타를 직류 모타(1201)로 구성할 경우 직류모타(1201)의 전원 입력 단자(1202)에 직류 전압을 공급하여 직류 모타를 회전시켜서 편심으로 구성된 축(1204)을 회전시킴으로 편심 모타는 일정한 진동 주파수를 발생하게 되며, 상기 편심 모타는 고정쇠(1207)에 의하여 초음파 변환기의 일측에 고정되어 진동하게 된다. 상기 편심 모타가 교류용 편심 모타일 경우에는 교류를 공급하게 되며, 이 경우에 모타의 구조 및 공급되는 교류 전원의 주파수에 의하여 진동주파수가 결정되며, 직류 모타의 경우에는 직류 모타에 공급되는 전압에 의하여 직류 모타의 회전수가 결정된다. 따라서 편심 모타에 의하여 발생하는 진동 주파수를 일정하게 유지하기 위해서는 직류 모타의 경우에는 공급전압을 일정하게 유지시켜주는 수단이 필요하다. 본 발명에서는 사용자가 편심 모타의 회전수를 원하는 위치에 고정하면, 그때의 전압을 기준으로 항상 일정한 전압이 공급될 수 있게 하는 정전압 공급 수단을 구비하고 항상 일정한 진동 주파수를 유지시켜 준다. 도 2는 초음파 변환자(203)에 부가적으로 초음파 변환자의 본체를 진동시키는 진동자(223)를 부착하여, 진동자를 구동시키는 동시에 연속파 신호 발생기에 의하여 초음파 변환자(203)를 구동하여 초음파를 발생시키는 진동자가 내장된 초음파 변환자를 도시한 것이다. 즉, 도 1의 초음파 변환자(903)는 연속파 발진기에서 발생된 전기적 신호가 초음파 압전체의 구동단자를 통해서 초음파 압전체(107)로 전송되고, 전송된 전기적 연속파는 초음파로 변환되어 압전체 고정판(109)을 통하여 도 3과 같이 초음파 매질 내부에 연속적으로 초음파 신호를 내보내고, 이와 동시에 초음파 변환자(903) 내부의 일측에 부착된 진동자가 진동자 구동회로에 의하여 초음파 변환자 본체(전체)를 진동시키게 된다. 도 2에서 진동자로 사용되는 편심모타(223)의 경우 분당 최대 회전수는 10,000회 미만으로, 초당 166.7Hz 정도의 주기로 편심 회전하여 진동하는 동작을 하게 되며, 이는 가청 주파수 신호인 16Hz∼20,000Hz 보다 큰 초음파 신호보다 매질의 위치의 변화를 매우 느리게 하여 줌으로써 매질의 대상이 인체의 피부일 경우에는 이를 느낄 수 있게 하여 준다. 편심 모타(223)를 초음파 변환자 내부에 장착할 경우에, 초음파 변환자(203)는 초음파 구동회로에 의하여 진동자(223)의 회전방향으로 진동하게 된다. 이와 같은 구조에서 초음파 변환자(203)는 연속파 발진기(201)와 진동자(223)를 동시에 구동하게 되고, 도 9에서와 같이 "A"(915), "B"(917)두 물체 사이에 서로 반사되는 신호는 존재하지만 초음파 변환자(903)로부터 발생되는 초음파 신호는 반사되는 신호와 위상이 다르게 된다. 이 경우 초음파 신호는 서로 상쇄되어, 도 8과 같이 "나"(807) 지점의 초음파 신호가 "가"(805) 지점의 초음파 신호보다 더 커지지 않고, 도 11과 같이 "나"(1107) 지점의 초음파 신호가 "가"(1105) 지점의 초음파 신호보다 더 커지는 것을 방지할 수 있다. 도 9에서 초음파 변환자(903)의 위치가 진동자의 진동에 따라 변화함으로써 "A"(915), "B"(917) 두 물체에 의하여 발생하는 반사파와 진행파간에 위상이 변화하게 되어 공동현상(Cavity)이 발생하지 않음과 동시에 인체에 닿은 부분에서 초음파 변환자에서 초음파가 발생하고 있음을 느낄 수 있다. 또한 본 발명에 따른 진동자의 진동주파수는 직류모타에 공급되는 전압의 양을 조절함에 의하여 변경이 가능하며, 이는 사용자가 용이하게 가변할 수 있게 구성되어 있어 사용자가 느끼는 최적의 진동 주파수에 고정하여 사용할 수 있다. 사용자가 느끼는 최적의 주파수가 결정되면, 전압의 변동에 의한 진동자의 진동주파수의 변화를 방지하기 위하여 정전압을 공급할 수 있는 피드백 회로가 작동하여 진동자가 항상 일정한 진동주파수를 유지할 수 있게 한다.

상기 초음파 변환자의 본체를 진동시키기 위하여 사용한 진동자로 편심 모타 대신에 코일의 자화를 이용한 솔레노이드를 이용하여 진동자를 구성하고 이를 진동시킴으로서 초음파 변환자에 진동을 줄 수 있다. 솔레노이드를 이용한 진동자의 구조는 도 13과 같이 환형으로 감겨진 솔레노이드 코일(1301)이 있고, 이 솔레노이드코일의 전원 단자(1302)에 전압을 인가하면 솔레노이드 코일의 내부에 자속이 흐르고 철과 같은 자성체인 자화봉(1303)을 하부로 끌어당기게 되며, 이 자화봉(1303)에 연결된 충격판(1307)이 진동 솔레노이드 하부(1308)에 충격을 줌으로 써 솔레노이드 전체가 진동하게 된다. 도 13의 솔레노이드 코일은 솔레노이드 고정판(1306)을 통하여 솔레노이드 외관부(1305)에 고정되어 있으며, 솔레노이드 외관부는 진동 솔레노이드 하부(1308)와 고정되어 솔레노이드 코일 전원단자(1302)에 전압이 가해지면 충격판이 진동 솔레노이드 하부를 충격함에 의하여 진동이 발생한다. 이 진동은 고정볼트(1309)로 고정되는 피 물체에 진동을 주게 된다. 이상과 같은 도 13의 구조를 구비한 솔레노이드를 초음파 변환자(303)의 일측에 내장시켜 고정할 경우에 초음파 변환자가 진동하게 된다. 솔레노이드 코일의 전원 입력단자(1302)에 인가된 전압을 제거하면 스프링(1304)에 의하여 자화봉(1303)은 위로 올라간다. 이는 자화봉에 고정된 스프링 고정링(1310)에 의하여 스프링에 압력이 가해지고 솔레노이드 코일에 전류가 흐르지 않으면 스프링의 압력에 대한 복원력에 의하여 자화봉이 위로 원 위치된다. 솔레노이드에 의한 진동자는 도 13에서 솔레노이드에 진동을 주기 위하여 도 14와 같은 단속적인 전압을 공급하여 진동 주기를 조절할 수 있다. 솔레노이드 코일의 전원단자(1302)에 "H" 구동전압(1401)을 인가하면 도 13의 자화봉(1303)이 밑으로 내려오면서 충격판(1307)이 진동솔레노이드 하부(1308)와 맞닿으면서 진동이 발생하고, 도 14의 "0"구동 전압이 인가되면 자화봉(1303)이 스프링(1304)에 의하여 위로 원 위치 됨으로써 시간에 따른 일정 주기의 진동을 만든다. 도 15는 도 14의 구동전압을 공급하기 위한 전원 공급 장치이며, 솔레노이드 코일에 항상 일정한 직류 전원을 공급할 수 있게 설계된 정전압 전원조정장치이다. 전원조정장치(1501)에 발생된 전압은 전원 스위칭 장치(1503)로 공급되고, 도 14와 같은 형태의 전원 단락/단선 조정선(1502)로 전원을 스위칭하는 전원 스위칭 장치(1503)는 전원조정장치(1501)로 공급되는 전원을 공급 및 차단을 행하며, 이 전원은 솔레노이드 코일 단자용 전원 출력(1504) 단자를 통하여 도 13의 솔레노이드코일의 전원 입력단자(1302)에 공급하여 진동을 만들 수 있다. 1분당 진동의 수는 1분당 "H"구동전압(1401)의 개수로 결정된다. 여기서 진동자와 진동자 구동회로로 구성된 부분을 진동부라 한다. 또한 초음파 변환자 내부에 진동자를 내장하고 초음파 에너지의 집중을 방지하고 초음파를 발생하는 방법은 상기 장치 발명에서 신호를 발생시키는 순서에 따라 구성수단을 단계별로 기재함으로서 발명을 이룰 수 있으며, 구체적으로는 초음파를 발생시키는 압전체를 구동하기 위하여 전기적으로 연속파 발생하는 단계와, 상기 전기적인 연속파 발진회로에서 발생된 연속파를 초음파로 변환하여 초음파를 발생시키는 단계와, 진동자를 구동하기 위한 전기적 신호를 공급하는 단계와, 상기 전기적 신호에 의하여 초음파 변환자 내부에 장착된 초음파 변환자를 진동시키는 단계를 거치면서 저주파 형태의 진동을 발생시키는 진동자를 내장시켜 초음파 에너지의 집중을 방지하는 방법을 달성할 수 있다. 상기 진동자 구동을 위하여 사용되는 정전압원은 저항성분을 제어하여 필요에 따라 정전류원으로 변경하여 사용할 수도 있다.

[실시예]

본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 들면, 초음파 압전체의 고정판에 초음파 압전체를 부착하고 초음파 압전체의 구동회로를 부착하여 초음파를 발생시키는 초음파 변환자와, 편심 모타는 도 12와 같이 직류 모타(1202)의 모타축(1203)에 무게가 일부분이 크게 구성된 편심부(1206)를 갖는 편심축(1204)을 모타축(1203)에 부착한 것을 특징으로 하고 있다. 이와 같은 편심 모타를 직류 모타(1201)로 구성할 경우 직류모타(1201)의 전원 입력 단자(1202)에 직류 전압을 공급하여 직류 모타를 회전시켜서 편심으로 구성된 축(1204)을 회전시킴으로 편심 모타는 일정한 진동 주파수를 발생하게 되며 상기 모타는 고정쇠(1207)에 의하여 초음파 변환자의 일측에 고정되어 진동하게 된다. 직류 모타의 경우에는 직류 모타에 공급되는 전압에 의하여 직류 모타의 회전수가 변하게 된다. 따라서 편심 모타에 의하여 발생하는 진동 주파수를 일정하게 유지하기 위해서는 직류 모타의 경우에는 공급전압을 일정하게 유지시켜주는 수단이 필요하다. 본 발명에서는 사용자가 편심 모타의 회전수를 원하는 위치에 고정하면, 그때의 전압을 기준으로 항상 일정한 전압이 공급될 수 있게 하는 정전압 공급 수단을 구비하고 항상 일정한 진동 주파수를 유지하여 준다. 도 1의 초음파 변환자(903)는 연속파 발진기에서 발생된 전기적 신호가 초음파 압전체의 구동단자를 통해서 초음파 압전체(107)로 전송되고, 전송된 전기적 연속파는 초음파로 변환되어 압전체 고정판(109)을 통하여 도 3과 같이 초음파 매질 내부에 연속적으로 초음파 신호를 내보내고, 이와 동시에 초음파 변환자(903) 내부의 일측에 부착된 진동자가 진동자 구동회로에 의하여 초음파 변환자 본체(전체)를 진동시키게 된다. 진동자로 사용되는 직류 편심모타(223)의 경우 분당 최대 회전수는 10,000회 미만으로, 초당 166.7Hz 정도의 주기로 편심 회전하여 진동시키는 동작을 하게 되며, 이는 가청 주파수 신호인 16Hz∼20,000Hz 보다 큰 초음파 신호보다 매질의 위치의 변화를 매우 느리게 하여 줌으로써 매질의 대상이 인체의 피부일 경우에는 이를 느낄 수 있게 하여 준다. 또한 상기 진동자의 진동주파수에 따라 사용자가 느끼는 느낌도 다르게 나타나게 되는 점을 감안하여 진동주파수를 사용자가 조절할 수 있는 구성수단을 두어 사용자가 느끼는 최적의 진동주파수를 조절할 수 있다. 상기 직류 편심 모타 대신에 교류 편심모타를 사용하여 구성할 수 있으며, 이 경우에는 교류 전원의 주파수의 변화를 이용하여 진동 주파수를 조절하여 사용하면 된다. 상기 진동자는 직류 편심모타 또는 교류 편심모타 대신에 상기 솔레노이드를 이용한 진동자를 사용하여 구성할 수 있다. 또한 초음파 변환자 내부에 진동자를 내장하고 초음파 에너지의 집중을 방지하고 초음파를 발생하는 방법은 상기 장치 발명에서 신호를 발생시키는 순서에 따라 구성수단을 단계별로 기재함으로서 발명을 이룰 수 있으며, 구체적으로는 초음파를 발생시키는 압전체를 구동하기 위하여 전기적으로 연속파를 발생하는 단계와, 상기 전기적인 연속파 발진회로에서 발생된 연속파를 초음파로 변환하여 초음파를 발생시키는 단계와, 진동자를 구동하기 위한 전기적 신호를 공급하는 단계와, 상기 전기적 신호에 의하여 초음파 변환자 내부에 장착된 초음파 변환자를 진동시키는 단계를 거치면서 저주파 형태의 진동을 발생시키는 진동자를 내장시켜 초음파 에너지의 집중을 방지하는 방법을 달성할 수 있다. 상기 진동자 구동을 위하여 사용되는 정전압원은 필요에 따라 저항성분을 제어하여 정전류원으로 변경하여 사용할 수도 있다.

본 발명은 초음파 변환자에 전기 및 기계식의 진동자를 부착하여 초음파 변환자의 위치를 변경시킴으로써, 초음파 매질에서 진행파와 되풀이되는 반사파들의 동위상으로 발생되는 초음파 공동현상으로 인한 에너지 집중을 막을 수 있으며 인간의 오감으로 인지할 수 없는 초음파를 진동자와 동시에 동작시켜 초음파 변환자에서 초음파가 발생되는 것을 진동으로 느낄 수 있게 하는 작용효과가 있다. 또한 본 발명은 초음파 매질에서의 공동현상으로 인한 에너지 집중으로 매질의 특정부위에 많은 초음파 에너지가 발생함으로써 생기는 매질의 손상을 막을 수 있는 작용효과가 있다. 또한 본 발명에 따른 초음파 변환자는 사용자가 느끼는 최적의 진동 주파수에 선택하여 사용할 수 있고, 전압 또는 전류의 변동에 의한 진동자의 진동주파수의 변화를 방지하기 위하여 정전압 또는 정전류를 공급할 수 있는 정전압 또는 정전류 회로가 부착되어 진동자가 항상 일정한 진동주파수를 발생할 수 있게 하므로 사용자에게 항상 쾌적한 느낌을 주는 작용효과가 있다.

Claims (6)

1. 초음파 변환자 내부에 진동자를 내장하고 초음파 에너지의 집중을 방지하고 초음파를 발생하는 장치에 있어서,

   초음파를 발생시키는 압전체를 구동하기 위하여 전기적으로 연속파를 발생하는 연속파 발진부와;

   상기 전기적인 연속파 발진회로에서 발생된 연속파를 초음파로 변환하여 발생시키는 초음파 압전체와;

   초음파 변환자 내부에 장착되며 편심 모타 또는 솔레노이드를 이용하여 초음파 변환자를 진동시키는 진동부와,

   상기 진동부내의 편심 모타 또는 솔레노이드로 구성되는 진동자가 일정한 주파수로 진동할 수 있게 정전압 또는 정전류를 공급하는 구동 회로를 구비한 저주파 형태의 진동을 발생시키는 진동자를 내장한 초음파 에너지 공동현상을 방지하는 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 초음파 변환자 내부에 진동자를 내장하고 초음파 에너지의 집중을 방지하고 초음파를 발생하는 방법에 있어서,

   초음파를 발생시키는 압전체를 구동하기 위하여 전기적으로 연속파를 발생하는 단계와;

   상기 전기적인 연속파 발진회로에서 발생된 연속파를 초음파로 변환하여 초음파를 발생시키는 단계와;

   편심 모타 또는 솔레노이드로 구성된 진동자를 일정한 주파수로 진동시키기 위하여 정전압원 또는 정전류원으로 전기적 신호를 공급하는 단계와;

   상기 진동자에 공급되는 정전압원 또는 정전류원으로 초음파 변환자 내부에 장착된 진동자를 일정한 주파수로 진동시키는 단계를 구비한 저주파 형태의 진동을 발생시키는 진동자를 내장시켜 초음파 에너지의 집중을 방지하는 방법.
5. 삭제
6. 삭제