KR100437785B1 - detecting apparatus of resonance signal using Superconducting Quantum Interference Device - Google Patents

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KR100437785B1 KR10-2001-0069529A KR20010069529A KR100437785B1 KR 100437785 B1 KR100437785 B1 KR 100437785B1 KR 20010069529 A KR20010069529 A KR 20010069529A KR 100437785 B1 KR100437785 B1 KR 100437785B1
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Abstract

본 발명은 고주파의 신호와 저주파의 자기장 신호를 원천적으로 분리하여 이상발진과 같은 불안성을 제거하고 저주파 자기장과 무관하게 검출신호의 잡음 수준을 유지하며, 별도의 신호분석기가 없이도 신호를 분석할 수 있도록 하기 위한 것으로서, SQUID, 앰프, 적분기 및 되먹임 코일로 구성되어 자속 고정루프(Flux Locked Loop: FLL)를 이루는 기준 자장센서와, 외부의 고주파 신호와 앰프에서 출력되는 출력값을 믹싱하여 정의된 기준 레벨이상의 고주파 신호만을 출력하는 변조 신호부와, 외부의 고주파 신호를 분할한 신호와 상기 변조 신호부의 출력신호를 이용하여 가변된 변조신호를 출력하는 가변 게인 증폭기(variable gain amplifier)와, 상기 가변 게인 증폭기에서 출력되는 가변 변조신호를 입력으로 상기 SQUID에 걸리는 자기장을 일정 수준으로 유지시키는 변조코일을 포함하여 구성되는데 있다.The present invention separates high frequency signals and low frequency magnetic field signals to remove anxiety such as abnormal oscillation, maintains the noise level of the detected signal irrespective of the low frequency magnetic field, and analyzes signals without a separate signal analyzer Reference level defined by mixing SQUID, amplifier, integrator and feedback coil to form flux locked loop (FLL), external high frequency signal and output value from amplifier. A modulated signal unit for outputting only the high frequency signal as described above, a variable gain amplifier for outputting a modulated signal using a signal obtained by dividing an external high frequency signal and an output signal of the modulated signal unit, and the variable gain amplifier When the magnetic field applied to the SQUID is maintained at a constant level by inputting a variable modulation signal output from the May consists, including the modulation coil.

Description

초전도 양자간섭소자(SQUID)를 이용한 공진신호 검출장치{detecting apparatus of resonance signal using Superconducting Quantum Interference Device}Detection apparatus of resonance signal using Superconducting Quantum Interference Device}

본 발명은 SQUID 소자에 관한 것으로, 특히 고주파의 검출 방법을 최종 출력 자기신호로부터 검출하지 않고 SQUID를 이용한 변조 레벨의 변화로 검출하는 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a SQUID element, and more particularly, to an apparatus for detecting a high frequency detection method by changing a modulation level using SQUID without detecting from a final output magnetic signal.

초전도 양자간섭소자(Superconducting Quantum Interference Device : SQUID)는 매우 정밀한 자기센서로서 자속 되먹임회로(Flux Locked Loop :FLL)라고 하는 되먹임 방식에 의해 구동되어 사용되는데, 현재는 주로 수 MHz 이하의 신호 검출에 사용되고 있다.Superconducting Quantum Interference Device (SQUID) is a very precise magnetic sensor that is driven and used by a feedback method called Flux Locked Loop (FLL), which is mainly used for detecting signals below several MHz. have.

특히, 회로 상에서 발생하는 잡음의 영향을 최소화하기 위해 자속변조라는 방법을 사용한다.In particular, a method called flux modulation is used to minimize the influence of noise generated on a circuit.

자속변조를 하는 경우에는 FLL회로가 SQUID에 가해지는 총 자속의 양이 도 2의 B점 또는 A점 내에서 유지되도록 외부 자기장을 상쇄하는 자기장을 만드는 전류를 출력한다.In the case of magnetic flux modulation, the FLL circuit outputs a current that produces a magnetic field that cancels the external magnetic field so that the total amount of magnetic flux applied to the SQUID is maintained within point B or point A of FIG.

이를 위해 SQUID에의 피크-피크(peak-peak)값을 갖는 변조 자속을 가하는데, 자속이 A나 B점에 있으면 SQUID의 전압출력은 변조 자속의 주파수에 2배가되는 신호를 출력한다.For this purpose A modulated magnetic flux with a peak-peak value is applied. If the magnetic flux is at point A or B, the voltage output of SQUID outputs a signal that is twice the frequency of the modulated magnetic flux.

이때 SQUID의 출력 신호를 변조 주파수로 복조하면 제로(zero) 값을 얻게 된다.At this time, if the output signal of the SQUID is demodulated at a modulation frequency, a zero value is obtained.

반면에 외부 자기장이 변하여 A나 B점에서 벗어나면 SQUID 양단에 그에 따른 변조 주파수의 신호가 발생하고, 이를 복조하면 제로가 아닌 다른 결과를 얻게 된다.On the other hand, when the external magnetic field changes and deviates from the A or B point, a signal having a modulation frequency corresponding to the SQUID is generated at both ends of the SQUID, and demodulating this results in a non-zero result.

이와 같이 이상에서 설명한 종래 기술에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용한 공진신호 검출장치는 다음과 같은 문제점이 있다.As described above, the resonance signal detecting apparatus using the superconducting quantum interference device according to the related art has the following problems.

첫째, FLL을 이용한 수 MHz신호의 검출회로는 SQUID에 고주파의 되먹임 자기장이 가해지기 때문에 검출하고자 하는 주변 물체에 간섭 신호를 발생시켜 원래신호의 복원이 까다롭게 된다.First, the detection circuit of the several MHz signal using the FLL is subjected to a high frequency feedback magnetic field applied to the SQUID, so that interference signals are generated on the surrounding objects to be detected, which makes it difficult to recover the original signal.

둘째, 금속 물체에 대해서는 되먹임 자기장이 위상차를 갖는 에디(eddy) 전류를 발생하는데 이것이 다시 SQUID가 검출하는 회로에 위상차를 가지는 신호를 발생시켜 고주파 발진의 가능성이 발생된다.Second, for a metal object, the feedback magnetic field generates an eddy current having a phase difference, which in turn generates a signal having a phase difference in a circuit detected by SQUID, thereby generating a possibility of high frequency oscillation.

셋째, FLL은 저잡음의 반도체 IC로 구성되는데 이들은 제로 신호 레벨에서는 좋은 직선성과 저잡음의 성능을 가지지만, 지구자기장이나 전원에서 발생하는 저주파의 주변 자기장 신호에 의해 FLL의 출력이 제로 레벨을 벗어난 영역에서는 제로 레벨 출력에서 얻을 수 있는 직선성(linearity)과 저잡음(low noise)을 충분히 구현할 수 없다.Third, the FLL consists of low noise semiconductor ICs, which have good linearity and low noise performance at the zero signal level, but in the region where the output of the FLL is out of zero level due to the low-frequency ambient magnetic field signal generated from the earth's magnetic field or power supply. The linearity and low noise achievable at zero-level outputs cannot be achieved.

넷째, 고주파의 신호를 분석하기 위해서는 별도로 고가의 신호분석기(spectrum analyzer)가 필요하다.Fourth, an expensive signal analyzer is required to analyze high frequency signals.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 고주파의 신호와 저주파의 자기장 신호를 원천적으로 분리하여 이상발진과 같은 불안성을 제거하고 저주파 자기장과 무관하게 검출신호의 잡음 수준을 유지하며, 별도의 신호분석기가 없이도 신호를 분석할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, by separating the high-frequency signal and low-frequency magnetic field signal to remove anxiety such as abnormal oscillation and maintain the noise level of the detection signal irrespective of the low-frequency magnetic field In addition, the purpose is to be able to analyze the signal without a separate signal analyzer.

도 1 은 종래 기술에 따른 SQUID의 전류 대 전압 곡선을 나타낸 그래프1 is a graph showing the current versus voltage curve of the SQUID according to the prior art

도 2 는 종래 기술에 따른 바이어스 전류를 가했을 때 외부 자기장에 대한 SQUID 양단의 전압 그래프2 is a voltage graph across the SQUID for an external magnetic field when a bias current is applied according to the prior art.

도 3 은 본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용하여 공진신호를 검출하기 위한 전체 개략도의 제 1 실시예3 is a first embodiment of an overall schematic diagram for detecting a resonance signal using a superconducting quantum interference device according to the present invention;

도 4 는 본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용하여 공진신호를 검출하기 위한 전체 개략도의 제 2 실시예4 is a second embodiment of an overall schematic diagram for detecting a resonance signal using a superconducting quantum interference device according to the present invention;

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : SQUID 20 : 프리앰프10: SQUID 20: Preamplifier

30, 82 : 믹서 40 : 적분기30, 82: mixer 40: integrator

50 : 되먹임 코일 60, 60' : 위상 변조기50: feedback coil 60, 60 ': phase modulator

70 : 변조코일 80 : 변조신호부70: modulation coil 80: modulation signal part

81 : 비교부 90 : 주파수 디바이더81: comparison unit 90: frequency divider

100 : 가변 게인 증폭기100: variable gain amplifier

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용한 공진신호 검출장치의 특징은 SQUID, 앰프, 적분기 및 되먹임 코일로 구성되어 자속 고정루프(Flux Locked Loop: FLL)를 이루는 기준 자장센서와, 외부의 고주파 신호와 앰프에서 출력되는 출력값을 믹싱하여 정의된 기준 레벨이상의 고주파 신호만을 출력하는 변조 신호부와, 외부의 고주파 신호를 분할한 신호와 상기 변조 신호부의 출력신호를 이용하여 가변된 변조신호를 출력하는 가변 게인 증폭기(variable gain amplifier)와, 상기 가변 게인 증폭기에서 출력되는 가변 변조신호를 입력으로 상기 SQUID에 걸리는 자기장을 일정 수준으로 유지시키는 변조코일을 포함하여 구성되는데 있다.Resonance signal detection device using a superconducting quantum interference device according to the present invention for achieving the above object is composed of a SQUID, an amplifier, an integrator and a feedback coil to form a reference magnetic field to form a flux locked loop (FLL) Modulation using a sensor, a modulation signal unit for mixing only the high frequency signal and the output value output from the amplifier and outputting only a high frequency signal above a defined reference level, a signal obtained by dividing an external high frequency signal, and an output signal of the modulation signal unit A variable gain amplifier for outputting the modulated signal, and a modulation coil for maintaining the magnetic field applied to the SQUID at a constant level by inputting the variable modulation signal output from the variable gain amplifier.

이때, 상기 변조 신호부는 외부에서 인가되는 고주파 신호와 상기 앰프를 통해 출력되는 신호를 변조코일에 인가되는 변조신호보다 큰 주파수로 복조하고 변조코일에 되먹임하는데 다른 특징이 있다.In this case, the modulation signal unit has another feature of demodulating a high frequency signal applied from the outside and a signal output through the amplifier to a frequency larger than that of the modulation signal applied to the modulation coil and feeding back the modulation coil.

본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings.

본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용한 공진신호 검출장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A preferred embodiment of a resonance signal detection apparatus using a superconducting quantum interference device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4 는 본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자를 이용하여 공진신호를 검출하기 위한 전체 개략도를 나타낸 도면이다.FIG. 4 is a schematic diagram for detecting a resonance signal using a superconducting quantum interference device according to the present invention.

도 4를 보면, SQUID(10), 프리앰프(20), 적분기(40) 및 되먹임 코일(50)로 구성되어 자속 고정루프(Flux Locked Loop: FLL)를 이루는 자장센서와, 외부의 고주파 신호와 상기 프리앰프(20)에서 출력되는 출력값을 믹서(82)를 통해 믹싱하여 정의된 기준 레벨이상의 고주파 신호만을 출력하는 변조 신호부(80)와, 외부의 고주파 신호를 분할한 신호와 상기 변조 신호부의 출력신호를 이용하여 가변된 변조신호를 출력하는 가변 게인 증폭기(variable gain amplifier)(100)와, 상기 가변 게인 증폭기(100)에서 출력되는 가변 변조신호를 입력으로 상기 SQUID(10)에 걸리는 자기장을 일정 수준으로 유지시키는 변조코일(70)을 포함하여 구성한다.Referring to FIG. 4, a magnetic field sensor composed of a SQUID 10, a preamplifier 20, an integrator 40, and a feedback coil 50 forms a flux locked loop (FLL), and an external high frequency signal. A modulating signal unit 80 for mixing only output values output from the preamplifier 20 through a mixer 82 and outputting only a high frequency signal having a defined reference level or higher, a signal obtained by dividing an external high frequency signal, and the modulating signal unit The magnetic field applied to the SQUID 10 is input to a variable gain amplifier 100 that outputs a variable modulation signal using an output signal, and a variable modulation signal output from the variable gain amplifier 100. It comprises a modulation coil 70 to maintain a constant level.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 초전도 양자간섭소자(SQUID)를 이용한 공진신호 검출 방법의 동작을 첨부한 도 4를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the resonance signal detection method using the superconducting quantum interference device (SQUID) according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to FIG. 4.

먼저, 자장센서의 SQUID(10)에 의해 전압형태로 변환된 자속은 프리앰프(20)에 의해 증폭되고 믹서부(30)를 통해 소정 주파수와 믹싱되어 출력된다.First, the magnetic flux converted into a voltage form by the SQUID 10 of the magnetic field sensor is amplified by the preamplifier 20 and mixed with a predetermined frequency through the mixer unit 30 and output.

그리고 적분기(40)는 상기 믹싱된 신호를 되먹임 코일(50)에 인가할 수 있도록 분배하여 되먹임 코일(50)에서 발생되는 자기장에 따라 SQUID(10) 주변 자기장을 상쇄시킨다.The integrator 40 distributes the mixed signal to the feedback coil 50 to cancel the magnetic field around the SQUID 10 in accordance with the magnetic field generated by the feedback coil 50.

예를 들어, 일정레벨의 바이어스 전류(bias current)를 자장센서에 인가하면 그에 따른 자장센서의 출력이 프리앰프(20), 믹서부(30), 적분기(40)를 경유하여되먹임 코일(50)에 인가되므로 이 되먹임 코일에는 상쇄 자장을 발생한다.For example, when a bias current of a predetermined level is applied to the magnetic field sensor, the output of the magnetic field sensor is fed back via the preamplifier 20, the mixer unit 30, and the integrator 40. This feedback coil generates an offset magnetic field because it is applied to.

이와 같은 FLL을 이용한 수 MHz 신호의 검출회로는 되먹임 코일(50)을 통해 SQUID(10)에 고주파의 되먹임 자기장을 가하여 주변 자기장을 일정한 값으로 유지시키게 된다.The detection circuit of the several MHz signal using the FLL applies a high frequency feedback magnetic field to the SQUID 10 through the feedback coil 50 to maintain the surrounding magnetic field at a constant value.

그러나 SQUID(10)에서 발생되는 출력신호는 도 2에서 보는 바와 주변자기장에 대해 주기함수적인 출력을 갖고 있으므로, 주변 자기장을 일정한 값으로 유지시키기 위해서는 되먹임 코일(50)을 통한 고주파 자기장을 SQUID(10)의 출력신호에 상응하게 빠르게 변화시켜야 하는 어려움이 따른다.However, since the output signal generated from the SQUID 10 has a periodic function with respect to the surrounding magnetic field as shown in FIG. 2, in order to maintain the surrounding magnetic field at a constant value, the high frequency magnetic field through the feedback coil 50 is converted into the SQUID 10. It is difficult to change the output signal corresponding to the

이때 발생되는 고주파 자기장 때문에 검출하고자 하는 주변 물체에 간섭신호를 발생시켜 원래 신호의 복원이 까다롭게 된다.At this time, due to the high frequency magnetic field generated, interference signals are generated on the surrounding objects to be detected, which makes it difficult to recover the original signals.

이를 해결하기 위해 도 3과 같이 변조코일(70)을 SQUID(10) 주변에 형성한다.In order to solve this problem, a modulation coil 70 is formed around the SQUID 10 as shown in FIG. 3.

이 변조코일(70)은 SQUID(10)의 출력신호가 프리앰프(20)를 거쳐서 증폭된 가변 고주파 신호 또는 외부의 고주파 신호 중 하나를 입력으로 상기 SQUID(10)가 주변자기장에 대해 주기함수적으로 변하는 출력을 일정 수준으로 유지시키고 있다.The modulating coil 70 receives the output signal of the SQUID 10 through one of a variable high frequency signal amplified through the preamplifier 20 or an external high frequency signal, and the SQUID 10 is a periodic function for the surrounding magnetic field. Keeps the output constant at a certain level.

이와 같이 변조코일(70)에 인가되는 고주파의 검출을 기존의 FLL과 달리 최종 출력 자기신호로부터 검출하지 않고 SQUID(10) 변조 레벨의 변화에 따라 검출한다.As described above, the detection of the high frequency applied to the modulation coil 70 is detected according to the change of the SQUID 10 modulation level without detecting from the final output magnetic signal unlike the existing FLL.

이때, 상기 변조코일(70) 내로 금속이 접근하면 에디 전류(eddy current)에 의해 SQUID(10)에 다른 변조량이 가해지게 되는데, 이에 따라 SQUID(10)에 걸리는자기장은 일정한 값을 유지하기 힘들게 된다.At this time, when the metal approaches the modulation coil 70, a different modulation amount is applied to the SQUID 10 by the eddy current, so that the magnetic field applied to the SQUID 10 becomes difficult to maintain a constant value. .

따라서 도 4와 같이, 변조신호 2 배의 주파수로 프리앰프(20) 출력을 복조(demodulation)하여 고주파의 신호와 저주파인 자기장 신호를 원천적으로 분리한 후, 이때 복원된 고주파 신호를 이용하여 SQUID(10)에 걸리는 자기장의 크기가 일정한 값을 유지하도록 되먹임한다.Therefore, as shown in FIG. 4, the output of the preamplifier 20 is demodulated at twice the frequency of the modulated signal, and the high frequency signal and the low frequency magnetic field signal are separated from each other. 10) Feedback is made so that the magnitude of the magnetic field applied to it is kept constant.

이에 따라 SQUID는 저주파 자기장과 무관하게 고주파 검출 신호의 S/N비를 유지할 수 있다.As a result, the SQUID can maintain the S / N ratio of the high frequency detection signal regardless of the low frequency magnetic field.

가령 넓은 원 안에 금속이 들어오면 에디 전류(eddy current)에 의해 SQUID(10)에 다른 변조량이 가해지고 회로는 이를 원상복귀하기 위해 더 많은(+) 또는 더 작은(-)변조를 하도록 변조신호부(80)로 되먹임이 발생하고 이 발생한 양을 입력으로 복원된 고주파 신호를 출력한다.For example, when metal enters a large circle, an eddy current causes a different modulation amount to be applied to the SQUID 10 and the circuit modulates the signal to make more (+) or less (-) modulation to restore it. The feedback occurs at 80 and outputs the high frequency signal restored to the input as the generated amount.

더불어 변조 주파수를 바꾸어 가면서 회로를 동작하면 일반적인 에디 전류(eddy current)에 의한 반응인지 물체내부의 공진에 의한 반응인지를 쉽게 알 수 있다.In addition, if the circuit is operated while changing the modulation frequency, it is easy to know whether the reaction is caused by general eddy current or internal resonance.

즉, 에디 전류인 경우는 주파수에 대해서 크게 변화하지 않는 부드러운 변화를 가지고 오는 반면에 물체내부의 공진에 의한 반응은 주파수에 대해서 샤프하게 반응을 한다. 따라서 폭약과 같은 특정 물질탐지의 목적에 사용할 수 있다.That is, in the case of eddy current, a smooth change does not change greatly with respect to frequency, whereas a reaction caused by resonance inside an object reacts sharply with respect to frequency. Therefore, it can be used for the purpose of detecting specific substances such as explosives.

이와 같이 SQUID의 변조코일(70)에 인가되는 값을 크게 함으로써, 탐지하고자 하는 물체를 변조코일 내부 혹은 가까이에 두고 탐지할 수 있게 된다.In this way, by increasing the value applied to the modulation coil 70 of the SQUID, it is possible to detect the object to be detected in or near the modulation coil.

한편 FLL은 최적의 동작점에서 운영되어 SQUID(10)에 인가된 저주파의 자기장 신호를 상쇄시켜 별도로 자기물질을 탐지할 수도 있다.On the other hand, the FLL may be operated at an optimum operating point to cancel the low frequency magnetic field signal applied to the SQUID 10 to separately detect the magnetic material.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 SQUID를 이용한 공진신호 검출 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The resonance signal detection apparatus using the SQUID according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 변조신호 2 배의 주파수로 프리앰프 출력을 복조(demodulation)하여 SQUID에 걸리는 자기장의 크기가 일정한 값을 유지하도록 함으로써, 고주파 자기신호에 대한 물체의 응답을 정밀하게 얻을 수 있다.First, by demodulating the preamplifier output at twice the frequency of the modulated signal to maintain a constant value of the magnetic field applied to the SQUID, the response of the object to the high frequency magnetic signal can be precisely obtained.

둘째, 고주파의 되먹임을 구성하지 않기 때문에 SQUID 동작회로를 안정할 수 있다.Second, the SQUID operation circuit can be stabilized because it does not constitute a high frequency feedback.

셋째, 쉽게 주파수에 대한 관계를 구할 수 있어 금속과 비금속의 반응을 구분할 수 있다.Third, the relationship between frequencies can be easily obtained to distinguish between metal and nonmetal reactions.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims.

Claims (2)

SQUID, 앰프, 적분기 및 되먹임 코일로 구성되어 자속 고정루프(Flux Locked Loop: FLL)를 이루는 기준 자장센서와,A reference magnetic field sensor consisting of a SQUID, amplifier, integrator and feedback coil to form a flux locked loop (FLL), 외부의 고주파 신호와 앰프에서 출력되는 출력값을 믹싱하여 정의된 기준 레벨이상의 고주파 신호만을 출력하는 변조 신호부와,A modulation signal unit for mixing only an external high frequency signal and an output value output from an amplifier and outputting only a high frequency signal above a defined reference level; 외부의 고주파 신호를 분할한 신호와 상기 변조 신호부의 출력신호를 이용하여 가변된 변조신호를 출력하는 가변 게인 증폭기(variable gain amplifier)와,A variable gain amplifier for outputting a modulated signal using a signal obtained by dividing an external high frequency signal and an output signal of the modulated signal part; 상기 가변 게인 증폭기에서 출력되는 가변 변조 고주파 신호가 입력되어 상기 SQUID에 걸리는 자기장을 일정 수준으로 유지시키는 변조코일을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초전도 양자간섭소자를 이용한 공진신호 검출 장치.And a modulation coil for inputting a variable modulated high frequency signal output from the variable gain amplifier to maintain a magnetic field applied to the SQUID at a predetermined level. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 변조 신호부는 외부에서 인가되는 고주파 신호와 상기 앰프를 통해 출력되는 신호를 변조코일에 인가되는 변조신호보다 큰 주파수로 복조하고 변조코일에 되먹임하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자간섭소자를 이용한 공진신호 검출 장치.The modulation signal unit demodulates a high frequency signal applied from the outside and a signal output through the amplifier at a frequency greater than that of the modulation signal applied to the modulation coil and feeds back the modulation coil to detect a resonance signal using a superconducting quantum interference device. Device.
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