JPH07280903A - Superconducting magnetometer - Google Patents

Superconducting magnetometer

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Publication number
JPH07280903A
JPH07280903A JP6069799A JP6979994A JPH07280903A JP H07280903 A JPH07280903 A JP H07280903A JP 6069799 A JP6069799 A JP 6069799A JP 6979994 A JP6979994 A JP 6979994A JP H07280903 A JPH07280903 A JP H07280903A
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JP
Japan
Prior art keywords
output
phase
preamplifier
signal
circuit
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Application number
JP6069799A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoyuki Tojo
尚幸 東條
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH07280903A publication Critical patent/JPH07280903A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a superconducting magnetometer which eliminates a phase change and an amplitude change in the output of a preamplifier and which reduces a measuring error by installing a phase comparator, a variable phase shifter, an AGC circuit, a level comparator, a variable bias circuit and an AGC/defect discrimination circuit. CONSTITUTION:A SQUID 1 is immersed in liquid helium, it is cooled, and it is changed into a superconducting state. The interlinkage magnetic flux of the SQUID 1 at the time when an integrator switch 13 has been opened in a magnetic field to be measured, is used as the origin of an output zero, and the change amount of the magnetic flux from there is output as a voltage VH corresponding to the change amount of the magnetic field. The operating point of the SQUID 1 is situated in the position of a point A, and a full-wave-rectification- shaped signal is output. However, when the magnetic field to be measured is increased or decreased and the position is moved to a position B and a position C, a modulation signal OS and sine-wave-shaped signals in a positive phase and an opposite phase are output. Then, the voltage VH corresponding to the change amount of the magnetic field by an FLL circuit which is constituted of a bias circuit 6, of a preamplifier 7, a multiplier 8, a phase shifter 9, an oscillator 10, an integrator 11, a feedback resistor 12 and an AGC circuit 16 is output, it is fed back to a superconducting ring 2 via the resistor 12 and a modulation feedback coil 4, and it is returned to the point A.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は超伝導量子干渉素子
(Superconducting Quantum
Interference Device:以後略して
SQUIDと呼ぶ)を用いた高感度な磁力計の改善に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a superconducting quantum interference device (Superconducting Quantum).
(Interference Device: hereinafter referred to as SQUID for short) relating to improvement of a highly sensitive magnetometer.

【0002】[0002]

【従来の技術】図13は、従来の超伝導磁力計の一実施
例を示すブロック図である。図において、2は超伝導リ
ング、3A,3Bは超伝導リング2中に設けられたジョ
セフソン接合、4は超伝導リング2と磁気的に結合した
変調帰還コイル、1は上記超伝導リング2、ジョセフソ
ン接合3A,3B及び変調帰還コイル4から構成される
SQUID、6はバイアス回路、7はプリアンプ、8は
乗算器、9は位相器、10は発振器、12は帰還抵抗
器、13は積分器スイッチ、14は積分コンデンサ、1
5Aは増幅器、11は上記積分器スイッチ13、積分コ
ンデンサ14及び増幅器15Aから構成される積分器、
5は上記バイアス回路6、プリアンプ7、乗算器8、位
相器9、発振器10、積分器11及び帰還抵抗器12か
ら構成される駆動回路であり、上記SQUID1を駆動
し所望の出力を取り出す役目をする。VP は上記プリア
ンプ7から出力されるSQUID増幅信号、OS は上記
発振器10から出力される変調信号、VH は上記積分器
11から磁界計測信号として出力される電圧である。
尚、上記SQUID1とプリアンプ7の間はケーブルで
接続されている。
2. Description of the Related Art FIG. 13 is a block diagram showing an embodiment of a conventional superconducting magnetometer. In the figure, 2 is a superconducting ring, 3A and 3B are Josephson junctions provided in the superconducting ring 2, 4 is a modulation feedback coil magnetically coupled to the superconducting ring 2, 1 is the superconducting ring 2, SQUID composed of Josephson junctions 3A and 3B and modulation feedback coil 4, 6 bias circuit, 7 preamplifier, 8 multiplier, 9 phaser, 10 oscillator, 12 feedback resistor, 13 integrator Switch, 14 is an integrating capacitor, 1
5A is an amplifier, 11 is an integrator composed of the integrator switch 13, the integrating capacitor 14 and the amplifier 15A,
Reference numeral 5 is a drive circuit composed of the bias circuit 6, the preamplifier 7, the multiplier 8, the phase shifter 9, the oscillator 10, the integrator 11 and the feedback resistor 12, and has a role of driving the SQUID 1 to take out a desired output. To do. V P is SQUID amplification signal outputted from the preamplifier 7, O S modulation signal outputted from the oscillator 10, V H is the voltage output as a magnetic field measurement signal from the integrator 11.
A cable is connected between the SQUID 1 and the preamplifier 7.

【0003】上記駆動回路5は一般にFLL(Flux
Locked Loop)回路と呼ばれる公知のもの
であり、その動作は、例えば、Review of S
cientific Instrument,1984
年、第55巻、第952〜957ページに記載されてい
る。
The drive circuit 5 is generally a FLL (Flux).
This is a known circuit called a Locked Loop circuit, and its operation is, for example, Review of S.
scientific Instrument, 1984
, 55, 952-957.

【0004】次に動作について説明する。図14はSQ
UIDのΦ−V特性を示したものである。図中aは外部
磁界に対するSQUID1の出力波形、b,c,dは正
弦波変調磁束を印加した時のそれぞれ動作点が、A,
B,Cの時のSQUID1の出力波形である。但し、Φ
0 は磁束量子であり、その値は2.07×10-15 Wb
である。SQIUD1を液体ヘリウムに浸すなどして冷
却し超伝導状態に転移させると、SQUIDの出力は自
分自身を鎖交する磁束に対してΦ0 を周期として電圧変
化する。今、SQUID1の動作点が図中のA点のよう
に設定されているものとし、発振器10から出力される
数100KHzの変調信号OS を基に変調帰還コイル4
を介して、例えば、数100KHzの正弦波変調磁束を
印加すると、SQUID1の出力は上記変調信号Os
2倍の周波数の全波整流された波形になる。
Next, the operation will be described. Figure 14 is SQ
9 shows a Φ-V characteristic of a UID. In the figure, a is the output waveform of SQUID1 with respect to an external magnetic field, and b, c, and d are operating points when a sinusoidal modulation magnetic flux is applied,
It is an output waveform of SQUID1 for B and C. However, Φ
0 is magnetic flux quantum, and its value is 2.07 × 10 −15 Wb
Is. When SQIUD1 is cooled by immersing it in liquid helium and transitions to a superconducting state, the output of SQUID changes in voltage with respect to the magnetic flux linking itself with Φ 0 as the cycle. Now, assuming that the operating point of SQUID1 is set as the point A in the figure, the modulation feedback coil 4 is generated based on the modulation signal O S of several 100 KHz output from the oscillator 10.
For example, when a sinusoidal modulation magnetic flux of several 100 KHz is applied, the output of SQUID1 has a full-wave rectified waveform having a frequency twice that of the modulation signal O s .

【0005】ここで外部磁界が増大して動作点が図中の
B点にずれた場合にはSQUID1からは変調信号OS
と同相の信号が出力され、逆に外部磁界が減少して動作
点がC点にずれた場合には変調信号OS と逆相の信号が
出力される。これら外部磁界の増減に対応して変化する
信号をプリアンプ7で所望の大きさに増幅した後、乗算
器8、位相器9、発振器10により位相検波して、さら
に、積分器11で積分することによって磁界変化量をD
C電圧に変換し、この変化量を帰還抵抗器12を経由し
て変調帰還コイル4によって超伝導リング2に帰還させ
ると、この帰還電流が帰還抵抗器12を流れることによ
って発生する電圧は外部磁界の変化量を示すので、この
電圧を取り出すことにより電界変化量を計測することが
できる。
Here, when the external magnetic field increases and the operating point shifts to point B in the figure, the modulation signal O S from SQUID1.
An output phase signal of the operating point external magnetic field is reduced on the contrary in the case of displaced point C is the output signal of the modulating signal O S opposite phase. The preamplifier 7 amplifies a signal that changes in response to an increase or decrease in the external magnetic field to a desired magnitude, then phase-detects it with the multiplier 8, the phaser 9, and the oscillator 10, and further integrates it with the integrator 11. The magnetic field change amount by D
When converted into C voltage and the amount of change is fed back to the superconducting ring 2 by the modulation feedback coil 4 via the feedback resistor 12, the voltage generated by the feedback current flowing through the feedback resistor 12 is the external magnetic field. The amount of change in the electric field can be measured by extracting this voltage.

【0006】すなわち、最初閉じている積分器スイッチ
13を開くことにより、積分コンデンサ14及び増幅器
15が積分器として動作し、積分器スイッチ13を開く
時点で最も近い、例えばA点、D点のような極小、極大
の位置に動作点をロックし、この状態から、外部磁界の
増減に対応して超伝導リング2内の磁束Φが増減しよう
とすると上記SQUID1の出力信号を基に上記乗算器
8、位相器9、発振器10及び積分器11によって外部
磁界の増減に対応するDC電圧が生成され、このDC電
圧が帰還抵抗器12、変調帰還コイル4を介して上記超
伝導リング2の磁束を打ち消して常に同じ位置に固定す
るように制御する。
That is, when the integrator switch 13 which is initially closed is opened, the integrating capacitor 14 and the amplifier 15 operate as an integrator, and when the integrator switch 13 is opened, the closest points, such as points A and D, are generated. When the operating point is locked at the minimum and maximum positions and the magnetic flux Φ in the superconducting ring 2 is attempted to increase or decrease in this state in response to the increase or decrease of the external magnetic field, the multiplier 8 is output based on the output signal of the SQUID 1. , The phase shifter 9, the oscillator 10, and the integrator 11 generate a DC voltage corresponding to the increase or decrease of the external magnetic field, and this DC voltage cancels the magnetic flux of the superconducting ring 2 via the feedback resistor 12 and the modulation feedback coil 4. Control so that it is always fixed in the same position.

【0007】このような制御・計測行う回路系を一般に
FLL(Flux LockedLoop)回路と呼
び、磁束ロックした状態からの外部磁界の変化量を上記
帰還電流が帰還抵抗器12を流れることによって発生す
る電圧VH を磁界計測値として取り出すことができる。
A circuit system for performing such control / measurement is generally called a FLL (Flux Locked Loop) circuit, and the change amount of the external magnetic field from the state where the magnetic flux is locked is a voltage generated by the feedback current flowing through the feedback resistor 12. V H can be taken out as a magnetic field measurement value.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従来の超伝導磁力計は
ケーブル、プリアンプを介してSQUIDの出力が上記
乗算器に送り込まれるため温度変化、機体振動等による
ケーブルの形状変化、又は、温度、電源変動等によって
上記プリアンプ出力の位相変動、振幅変動が生じると、
これら変動分に比例して位相検波の出力が変動し最終的
に上記積分器の出力が変動するため磁界計測誤差になる
などの問題点があった。
In the conventional superconducting magnetometer, since the output of the SQUID is sent to the multiplier through the cable and the preamplifier, the temperature changes, the shape of the cable changes due to the vibration of the body, or the temperature and the power supply change. When phase fluctuations and amplitude fluctuations of the preamplifier output occur due to fluctuations, etc.,
The output of the phase detection fluctuates in proportion to these fluctuations, and finally the output of the integrator fluctuates, resulting in a magnetic field measurement error.

【0009】この発明は上記問題点を解決するためにな
されたものであり、温度変化、機体振動等によるケーブ
ルの形状変化、温度、電源変動等による上記プリアンプ
出力の位相変動、振幅変動を位相比較器と可変位相器、
AGC回路、レベル比較器と可変バイアス回路、AGC
/不良判別回路を設けることによって減少させて計測誤
差の少ない超伝導磁力計を得ることを目的としている。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and compares the phase variation and amplitude variation of the preamplifier output due to temperature variation, cable shape variation due to machine vibration, temperature variation and power source variation. And variable phase shifter,
AGC circuit, level comparator and variable bias circuit, AGC
/ The purpose is to obtain a superconducting magnetometer with less measurement error by providing a defect determination circuit.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この発明の超伝導磁力計
においては、上記プリアンプから出力される信号を基に
この信号の振幅を一定値に制御するAGC回路を上記プ
リアンプの出力段に設けたものである。
In the superconducting magnetometer of the present invention, an AGC circuit for controlling the amplitude of a signal output from the preamplifier to a constant value is provided at the output stage of the preamplifier. It is a thing.

【0011】またこの発明は、上記プリアンプの出力と
上記変調信号を入力してこの両者の位相ずれを検出する
位相比較器と、上記位相比較器の出力を基に上記変調信
号の位相を調整して上記プリアンプの出力信号と位相を
合わせる可変位相器とを設けたものである。
Further, according to the present invention, a phase comparator for inputting the output of the preamplifier and the modulation signal to detect a phase shift between them, and adjusting the phase of the modulation signal based on the output of the phase comparator. And a variable phase shifter that matches the phase with the output signal of the preamplifier.

【0012】この発明は、上記プリアンプの出力を基に
バイアス電流の変動を検出して電流制御信号を発生する
レベル比較器と上記電流制御信号を入力して上記SQU
IDに適正なバイアス電流を供給する可変バイアス回路
とを設けたものである。
According to the present invention, a level comparator for detecting a change in bias current based on the output of the preamplifier to generate a current control signal and the SQU by inputting the current control signal.
A variable bias circuit for supplying an appropriate bias current to the ID is provided.

【0013】またこの発明は、上記プリアンプの出力と
変調信号を入力してこの両者の位相ずれを検出する位相
比較器と上記位相比較器の出力を基に上記変調信号の位
相を調整して上記プリアンプの出力信号と位相を合わせ
る可変位相器に加えて、さらに、上記プリアンプの出力
を基にバイアス電流の変動を検出して電流制御信号を発
生するレベル比較器と上記電流制御信号を入力して上記
SQUIDに適正なバイアス電流を供給する可変バイア
ス回路とを設けたものである。
According to the present invention, the phase of the modulation signal is adjusted based on the output of the phase comparator for detecting the phase shift between the output of the preamplifier and the modulation signal and the phase difference between the two. In addition to the variable phase shifter that matches the phase with the output signal of the preamplifier, input the level comparator that detects the fluctuation of the bias current based on the output of the preamplifier and generate the current control signal and the current control signal. A variable bias circuit for supplying an appropriate bias current to the SQUID is provided.

【0014】この発明は、上記プリアンプから出力され
る信号を基にこの信号の振幅を一定値に制御し、かつ、
上記プリアンプの出力がある一定の範囲を越えた場合に
異常を知らせる異常信号を発生するAGC/良否判別回
路を上記プリアンプの出力段に設けたものである。
The present invention controls the amplitude of this signal to a constant value based on the signal output from the preamplifier, and
The output stage of the preamplifier is provided with an AGC / pass / fail judgment circuit that generates an abnormal signal that indicates an abnormality when the output of the preamplifier exceeds a certain range.

【0015】[0015]

【作用】この発明は、上記プリアンプから出力される信
号を基にAGC回路で上記プリアンプの出力信号の振幅
を一定値に制御して計測誤差を防止する。
According to the present invention, the AGC circuit controls the amplitude of the output signal of the preamplifier to a constant value based on the signal output from the preamplifier to prevent measurement errors.

【0016】また、この発明は、位相比較器によりプリ
アンプの出力と発振器から出力される変調信号との位相
差を検出し、この位相比較器の出力を基に可変位相器に
より上記変調信号の位相を調整し両者の位相差を零にす
ることにより計測誤差を防止する。
According to the present invention, the phase comparator detects the phase difference between the output of the preamplifier and the modulation signal output from the oscillator, and based on the output of the phase comparator, the phase of the modulation signal is changed by the variable phase shifter. Is adjusted to make the phase difference between them zero, thereby preventing a measurement error.

【0017】この発明は、レベル比較器により上記プリ
アンプの出力を基にバイアス電流の変動を検出して電流
制御信号として出力し、この電流制御信号を基に上記可
変バイアス回路により上記SQUIDに適正なバイアス
電流を供給することにより計測誤差を防止する。
According to the present invention, the level comparator detects the variation of the bias current based on the output of the preamplifier and outputs it as a current control signal, and based on this current control signal, the variable bias circuit appropriately controls the SQUID. The measurement error is prevented by supplying the bias current.

【0018】また、この発明は、位相比較器によりプリ
アンプの出力と発振器から出力される変調信号との位相
差を検出し、この位相比較器の出力を基に可変位相器に
より上記変調信号の位相を調整し両者の位相差を零に
し、かつ、レベル比較器により上記プリアンプの出力を
基にバイアス電流の変動を検出して電流制御信号として
出力し、この電流制御信号を基に上記可変バイアス回路
により上記SQUIDに適正なバイアス電流を供給する
ことにより計測誤差を防止する。
Further, according to the present invention, the phase difference between the output of the preamplifier and the modulation signal output from the oscillator is detected by the phase comparator, and the phase of the modulation signal is changed by the variable phase shifter based on the output of the phase comparator. Is adjusted to make the phase difference between the two zero, and the level comparator detects variation in the bias current based on the output of the preamplifier and outputs it as a current control signal. Based on this current control signal, the variable bias circuit Therefore, a measurement error is prevented by supplying an appropriate bias current to the SQUID.

【0019】この発明は、AGC/良否判決回路がプリ
アンプから出力される信号を基に上記プリアンプの出力
信号の振幅を一定値に制御して計測誤差を防止すると共
に、上記プリアンプの出力信号の振幅がある一定の範囲
を越えた時には異常であることを知らせる異常信号を出
力する。
According to the present invention, the AGC / defective judgment circuit controls the amplitude of the output signal of the preamplifier to a constant value on the basis of the signal output from the preamplifier to prevent a measurement error, and the amplitude of the output signal of the preamplifier. When a certain range is exceeded, an abnormal signal is output to notify that there is an abnormality.

【0020】[0020]

【実施例】【Example】

実施例1.図1はこの発明の1実施例を示す構成図であ
る。図中、1〜4、6〜15Aは従来と同一のもの、1
6は上記プリアンプ7の出力を一定値に制御するAGC
回路、VP はSQUID増幅信号、OS は変調信号、V
H は上記積分器11から磁界計測信号として出力される
電圧である。
Example 1. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1 to 4 and 6 to 15A are the same as the conventional one, 1
6 is an AGC for controlling the output of the preamplifier 7 to a constant value
Circuit, V P is a SQUID amplified signal, O S is a modulated signal, V
H is a voltage output from the integrator 11 as a magnetic field measurement signal.

【0021】図2は上記AGC回路16の構成の一例を
示すブロック図である。図中、15Bは15Aと同一の
増幅器、17は電圧分圧用抵抗器、18AはFET(F
ield Efect Transister)、D,
S,Gはそれぞれ上記FET18Aのドレイン、ソー
ス、ゲート、19Aは全波整流用のブリッジ整流回路、
20は平滑用抵抗器、21A,21Bは平滑用コンデン
サ、22Aは差動増幅器、VP はSQUID増幅信号で
ある。
FIG. 2 is a block diagram showing an example of the configuration of the AGC circuit 16. In the figure, 15B is the same amplifier as 15A, 17 is a voltage dividing resistor, and 18A is FET (F
field effect transistor), D,
S and G are the drain, source, and gate of the FET 18A, and 19A is a bridge rectifier circuit for full-wave rectification.
Reference numeral 20 is a smoothing resistor, 21A and 21B are smoothing capacitors, 22A is a differential amplifier, and V P is a SQUID amplified signal.

【0022】次にこの発明の実施例1による超伝導磁力
計の動作について説明する。先ず、SQUID1を液体
ヘリウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被
測定磁界中で積分器スイッチ13を開いた時刻に於ける
SQUID鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖
交磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧VH として
出力する。
Next, the operation of the superconducting magnetometer according to the first embodiment of the present invention will be described. First, SQUID 1 is cooled by immersing it in liquid helium to be transformed into a superconducting state, and the SQUID interlinkage magnetic flux at the time when the integrator switch 13 is opened in the magnetic field to be measured is set as the origin of output zero, and from that point. The change amount of the interlinkage magnetic flux is output as a voltage V H corresponding to the change amount of the magnetic field.

【0023】つまり、SQUID1の動作点は通常図1
4のA点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、
被測定磁界が増減して例えば図14のB、Cの位置に移
動すると、変調信号OS と正相、逆相の正弦波状の信号
を出力し、次にバイアス回路6、プリアンプ7、乗算器
8、位相器9、発振器10、積分器11、帰還抵抗器1
2及びAGC回路16で構成されるFLL回路によって
磁界変化量に相当する電圧VH を出力すると共にこの電
圧VH を帰還抵抗器12、変調帰還コイル4を介して超
伝導リング2に帰還させ瞬時にA点の位置に戻す。
That is, the operating point of SQUID1 is normally shown in FIG.
There is a full-wave rectified signal at the position of point A of 4, but
B of the measured magnetic field is increased or decreased for example FIG. 14, when moving to the position and C, the modulation signal O S and positive phase, and outputs a sinusoidal signal of opposite phase, then the bias circuit 6, a preamplifier 7, a multiplier 8, phaser 9, oscillator 10, integrator 11, feedback resistor 1
The FLL circuit composed of 2 and the AGC circuit 16 outputs a voltage V H corresponding to the amount of change in the magnetic field, and this voltage V H is fed back to the superconducting ring 2 via the feedback resistor 12 and the modulation feedback coil 4 for an instant. Return to the position of point A.

【0024】この時SQUIDの出力はケーブル、プリ
アンプを経由しているため、温度、電源等の変動によ
り、プリアンプ7から出力されるSQUID増幅信号V
P の振幅が変動し、計測誤差を生じようとするが、上記
AGC回路16がこのSQUID増幅信号VP の振幅を
一定値に保って計測誤差を防止する。
At this time, since the output of the SQUID passes through the cable and the preamplifier, the SQUID amplified signal V output from the preamplifier 7 due to changes in temperature, power supply, etc.
Although the amplitude of P fluctuates and tends to cause a measurement error, the AGC circuit 16 keeps the amplitude of the SQUID amplified signal V P at a constant value to prevent the measurement error.

【0025】具体的には、プリアンプ7から出力される
SQUID増幅信号VP を上記増幅器15B、ブリッジ
整流回路19Aで増幅・全波整流し、さらに、平滑用抵
抗器20、平滑用コンデンサ21A,21Bによって平
滑する。
Specifically, the SQUID amplified signal V P output from the preamplifier 7 is amplified and full-wave rectified by the amplifier 15B and the bridge rectifier circuit 19A, and further, the smoothing resistor 20 and the smoothing capacitors 21A and 21B. Smooth by.

【0026】次に差動増幅器22Aで増幅した後、これ
を上記FET18AのゲートGに帰還することによりこ
の電圧に逆比例して上記FET18AのドレインD−ソ
ースS間の動作抵抗RDSが変化するように制御し、この
動作抵抗RDSと上記電圧分圧用抵抗器17の抵抗値RB
により次式に示す分圧比Kに分圧して、上記SQUID
増幅信号VP の増減を打ち消し、上記SQUID増幅信
号VP の振幅を一定値に保つ。
After being amplified by the differential amplifier 22A, it is fed back to the gate G of the FET 18A to change the operating resistance R DS between the drain D and the source S of the FET 18A in inverse proportion to this voltage. And the resistance value R B of the voltage dividing resistor 17 and the operating resistance R DS.
Is divided into the partial pressure ratio K shown in the following equation by
The increase / decrease of the amplified signal V P is canceled and the amplitude of the SQUID amplified signal V P is maintained at a constant value.

【0027】 RDS ∝ 1/VP ・・・・・・ (1) K = RDS/(RDS+RB ) ・・・・・・ (2)R DS ∝ 1 / V P ··· (1) K = R DS / (R DS + R B ) ··· (2)

【0028】尚、上記実施例では、SQUID1は超伝
導リング中に1つのジョセフソン接合を含み交流バイア
ス電流で駆動するRF−SQUIDを用いることもでき
る。
In the above embodiment, the SQUID 1 may be an RF-SQUID which includes one Josephson junction in the superconducting ring and is driven by an AC bias current.

【0029】実施例2.図3はこの発明の実施例2を示
すブロック図である。図中、1〜4、6〜8、10〜1
5Aは従来と同一のもの、23は位相比較器、24は可
変移相器、VPはSQUID増幅信号、OS は変調信
号、VPS,VPO,VD はそれぞれ上記位相比較器23か
ら出力される位相進み信号、位相遅れ信号、位相判別信
号、VH は上記積分器11から磁界計測信号として出力
される電圧である。
Example 2. FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention. In the figure, 1-4, 6-8, 10-1
5A is the same as the conventional one, 23 is a phase comparator, 24 is a variable phase shifter, V P is a SQUID amplified signal, O S is a modulation signal, and V PS , V PO and V D are from the phase comparator 23, respectively. The phase lead signal, the phase delay signal, the phase discrimination signal, and V H output are the voltages output from the integrator 11 as the magnetic field measurement signal.

【0030】図4は上記位相比較器23の構成の一例を
示すブロック図である。図中、25は分周器、26A,
26Bはコンパレータ、27は位相検出器、28A,2
8Bは積分コンデンサ、15C,15Dは増幅器15A
と同一の増幅器、29Aは上記積分コンデンサ28A及
び増幅器15Cで構成される積分回路、29Bは上記積
分コンデンサ28B及び増幅器15Dで構成される積分
回路、30は位相進み制御信号発生回路、31は位相遅
れ制御信号発生回路、32は位相判別回路、S,Qはそ
れぞれ上記位相検出器27の位相進み出力端子、位相遅
れ出力端子、VP はSQUID増幅信号、OS は変調信
号、DVP は上記コンパレータ26Aから出力されるデ
ィジタル分周信号、DVO は上記コンパレータ26Bか
ら出力されるディジタル変調信号、VS は上記位相検出
器27の位相進み出力端子Sから出力される位相進みパ
ルス信号、VO は上記位相検出器27の位相遅れ出力端
子Qから出力される位相遅れパルス信号、VSAは上記積
分回路29Aから出力されるアナログ位相進み信号、V
OAは上記積分回路29Bから出力されるアナログ位相遅
れ信号、VPSは上記位相進み制御信号発生回路30から
出力される位相進み制御信号、VPOは上記位相遅れ制御
信号発生回路31から出力される位相遅れ制御信号、V
D は上記位相判別回路32から出力される位相判別信号
である。
FIG. 4 is a block diagram showing an example of the configuration of the phase comparator 23. In the figure, 25 is a frequency divider, 26A,
26B is a comparator, 27 is a phase detector, 28A, 2
8B is an integrating capacitor, 15C and 15D are amplifiers 15A
29A is an integrating circuit composed of the integrating capacitor 28A and the amplifier 15C, 29B is an integrating circuit composed of the integrating capacitor 28B and the amplifier 15D, 30 is a phase advance control signal generating circuit, and 31 is a phase delay. control signal generating circuit, 32 is a phase discriminating circuit, phase advance output terminal of the S, Q each said phase detector 27, phase delay output terminal, V P is SQUID amplified signal, O S modulation signal, DV P is the comparator 26A is a digital divided signal, DV O is a digital modulation signal output from the comparator 26B, V S is a phase advance pulse signal output from the phase advance output terminal S of the phase detector 27, and V O is phase delay pulse signal outputted from the phase delay output terminal Q of the phase detector 27, V SA is output from the integrating circuit 29A Analog phase advance signal, V
OA is an analog phase delay signal output from the integration circuit 29B, V PS is a phase advance control signal output from the phase advance control signal generation circuit 30, and V PO is output from the phase delay control signal generation circuit 31. Phase delay control signal, V
D is a phase discrimination signal output from the phase discrimination circuit 32.

【0031】図5は上記可変位相器24の構成の一例を
示すブロック図である。図中、33A,33Bは信号の
切替えを行う切替えスイッチ、18B,18CはFET
18Aと同一のFET、34は位相進み用コンデンサ、
35は位相遅れ用コンデンサ、a,b,cは上記切替え
スイッチ33A,33Bの接点、OS は変調信号、VPS
は位相進み制御信号、VPOは位相遅れ制御信号、VD
位相判別信号である。
FIG. 5 is a block diagram showing an example of the configuration of the variable phase shifter 24. In the figure, 33A and 33B are selector switches for switching signals, and 18B and 18C are FETs.
The same FET as 18A, 34 is a phase advance capacitor,
35 phase lag capacitor, a, b, c are the changeover switch 33A, 33B of the contact, O S modulation signal, V PS
Is a phase lead control signal, V PO is a phase delay control signal, and V D is a phase determination signal.

【0032】次にこの発明の実施例2による超伝導磁力
計の動作について説明する。先ず、SQUID1を液体
ヘリウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被
測定磁界中で積分器スイッチ13を開いた時刻に於ける
SQUID鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖
交磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧VH として
出力する。
Next, the operation of the superconducting magnetometer according to the second embodiment of the present invention will be described. First, SQUID 1 is cooled by immersing it in liquid helium to be transformed into a superconducting state, and the SQUID interlinkage magnetic flux at the time when the integrator switch 13 is opened in the magnetic field to be measured is set as the origin of output zero, and from that point. The change amount of the interlinkage magnetic flux is output as a voltage V H corresponding to the change amount of the magnetic field.

【0033】つまり、SQUID1の動作点は通常図1
4のA点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、
被測定磁界が増減して例えば図14のB,Cの位置に移
動すると、変調信号OS と正相、逆相の正弦波状の信号
を出力し、次にバイアス回路6、プリアンプ7、乗算器
8、発振器10、積分器11、帰還抵抗器12、位相比
較器23、及び可変位相器24で構成されるFLL回路
によって磁界変化量に相当する電圧VH を出力すると共
にこの電圧VH を帰還抵抗器12、変調帰還コイル4を
介して超伝導リング2に帰還させ瞬時にA点の位置に戻
す。
That is, the operating point of SQUID1 is normally shown in FIG.
There is a full-wave rectified signal at the position of point A of 4, but
B of the measured magnetic field is increased or decreased for example FIG. 14, when moving to the position and C, the modulation signal O S and positive phase, and outputs a sinusoidal signal of opposite phase, then the bias circuit 6, a preamplifier 7, a multiplier 8, an oscillator 10, integrator 11, a feedback of the voltage V H and outputs a voltage V H corresponding to the magnetic field variation by composed FLL circuit feedback resistor 12, a phase comparator 23 and the variable phase shifter 24, It is fed back to the superconducting ring 2 via the resistor 12 and the modulation feedback coil 4 and instantly returned to the position of point A.

【0034】一方上記分周器25が通常観測される全波
整流状の波形即ち上記変調信号OSの2倍の周波数を有
するSQUID増幅信号VP を1/2に分周して上記変
調信号OS と同じ周波数の正弦波状の信号に変換し、さ
らに、この信号を上記コンパレータ26Aで零以上をH
iレベル、それ以下をLowレベルの方形波状のディジ
タル分周信号DVP に変換する。同様に上記コンパレー
タ26Bが上記変調信号OS をこれと同一周期のディジ
タル変調信号DVO に変換する。
On the other hand the divider 25 is normally observed are full-wave rectified like waveform i.e. the modulated signal O SQUID amplification signal V P 1/2 frequency-divided to the modulation signal having a frequency twice that of the S It converted to O S same frequency sinusoidal signals with further, H zero or the signal at the comparator 26A
The i level and below are converted into a low-level square wave digital frequency division signal DV P. Similarly the comparator 26B is converted into a digital modulation signal DV O of the same period and which the modulated signal O S.

【0035】次に位相検出器27が上記ディジタル分周
信号DVP とディジタル変調信号DVO を入力して、こ
れら両者の位相を比較し、前者が後者より位相が進んで
いるか、遅れているかによって、それぞれ、上記位相検
出器27の位相進み出力端子S、位相遅れ出力端子Qか
ら位相差に対応したパルス幅の位相進みパルス信号V
S 、又は、位相遅れパルス信号VO を出力し、さらに、
積分回路29A,29Bによって平滑されて位相差に対
応したDC電圧のアナログ位相進み信号VSA、又は、ア
ナログ位相遅れ信号VOAが生成される。
Next, the phase detector 27 inputs the digital frequency-divided signal DV P and the digital modulation signal DV O and compares the phases of these signals, depending on whether the former leads or lags the latter. , A phase lead output signal S from the phase lead output terminal S and a phase lead output terminal Q of the phase detector 27, respectively, with a pulse width corresponding to the phase difference.
S or outputs a phase delay pulse signal V O , and further,
An analog phase lead signal V SA or an analog phase delay signal V OA of a DC voltage which is smoothed by the integrating circuits 29A and 29B and corresponds to the phase difference is generated.

【0036】つまり、上記SQUID増幅信号VP が変
調信号OS より位相が進んでいる場合、即ち、上記ディ
ジタル分周信号DVP がディジタル変調信号DVO より
位相が進んでいる場合は上記ディジタル分周信号DV
P 、ディジタル変調信号DVO、位相進みパルス信号VS
、アナログ位相進み信号VSAとの関係は図6の(a)
〜(d)のようになり、上記SQUID増幅信号VP
変調信号OS より位相が遅れている場合、即ち、上記デ
ィジタル分周信号DVP がディジタル変調信号DVO
り位相が遅れている場合は上記ディジタル分周信号DV
P 、ディジタル変調信号DVO 、位相遅れパルス信号V
O 、アナログ位相遅れ信号VOAとの関係は図6の(e)
〜(h)のようになる。
That is, when the phase of the SQUID amplified signal V P is ahead of the modulation signal O S , that is, when the digital divided signal DV P is ahead of the digital modulation signal DV O in phase, the digital component is divided. Circular signal DV
P , digital modulation signal DV O , phase advance pulse signal V S
, The relationship with the analog phase lead signal V SA is shown in FIG.
~ Is as (d), the case where SQUID amplified signal V P is phase delayed from the modulation signal O S, i.e., when the digital division signal DV P is a digital modulation signal DV O than the phase is delayed Is the digital divided signal DV
P , digital modulation signal DV O , phase delay pulse signal V
The relationship between O and the analog phase delay signal V OA is shown in FIG.
~ (H).

【0037】さらに、上記アナログ位相進み信号VSA
アナログ位相遅れ信号VOAを基に上記位相進み制御信号
発生回路30、位相遅れ制御信号発生回路31が、それ
ぞれ、位相差に対応した位相進み制御信号VPS、位相遅
れ制御信号VPOを発生するとともに、上記位相判別回路
32が位相進み、位相遅れに応じて、それぞれ、Hiレ
ベル、Lowレベルになる位相判別信号VD を生成し
て、上記可変位相器24に送り込む。
Further, the analog phase lead signal V SA ,
Based on the analog phase delay signal V OA , the phase advance control signal generation circuit 30 and the phase delay control signal generation circuit 31 generate a phase advance control signal V PS and a phase delay control signal V PO corresponding to the phase difference, respectively. At the same time, the phase discriminating circuit 32 generates a phase discriminating signal V D which becomes Hi level and Low level, respectively, in accordance with the phase advance and the phase delay, and sends it to the variable phase shifter 24.

【0038】次に上記可変移相器24の切替えスイッチ
33A,33Bが上記位相判別信号VD を入力して、こ
れがHiレベルの時、即ち、SQUID増幅信号VP
変調信号OS より位相が進んでいる場合には接点aとc
とを接続して上記位相進み用コンデンサ34とFFT1
8Bで構成される位相進み回路に切替えると同時に、上
記FET18Bが位相進み制御信号VPSを基にFET1
8Bの動作抵抗RDSは変化させて上記変調信号OS の位
相をずれた分だけ変化させて上記SQUID増幅信号V
P と変調信号OS の位相を合わせ、位相変動による計測
誤差を防止する。
Next, when the changeover switches 33A and 33B of the variable phase shifter 24 input the phase discrimination signal V D and this is at the Hi level, that is, the SQUID amplified signal V P is out of phase with the modulation signal O S. Contact points a and c when moving forward
Are connected to connect the phase lead capacitor 34 and the FFT1.
At the same time as switching to the phase advance circuit composed of 8B, the above FET 18B causes FET1 to operate based on the phase advance control signal V PS.
The operating resistance R DS of 8B is changed to change the phase of the modulation signal O S by a phase shift amount, and the SQUID amplified signal V
P and in phase with the modulation signal O S, to prevent measurement errors due to phase fluctuation.

【0039】また、上記位相判別信号VD がLowレベ
ルの時、即ち、SQUID増幅信号VP が変調信号OS
より位相が遅れている場合には接点aとbとを接続して
上記位相遅れ用コンデンサ35とFET18Cで構成さ
れる位相遅れ回路に切替えると同時に、上記FET18
Cが位相遅れ制御信号VPOを基にFET18Cの動作抵
抗RDSを変化させて上記変調信号OS の位相をずれた分
だけ変化させて上記SQUID増幅信号VP と変調信号
S の位相を合せ、位相変動による計測誤差を防止す
る。
When the phase discrimination signal V D is at low level, that is, the SQUID amplified signal V P is the modulation signal O S.
When the phase is more delayed, the contacts a and b are connected to switch to the phase delay circuit composed of the phase delay capacitor 35 and the FET 18C, and at the same time, the FET 18 is switched.
C changes the operating resistance R DS of the FET 18C on the basis of the phase delay control signal V PO to change the phase of the modulation signal O S by a deviated amount, thereby changing the phases of the SQUID amplified signal V P and the modulation signal O S. In addition, measurement error due to phase fluctuation is prevented.

【0040】実施例3.図7はこの発明の実施例3を示
すブロック図である。図中、1〜4、7〜15Aは従来
と同一のもの、36はレベル比較器、37は可変バイア
ス回路、VP はSQUID増幅信号、OS は変調信号、
H は上記積分器11から磁界計測信号として出力され
る電圧である。
Example 3. FIG. 7 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention. In the figure, 1~4,7~15A is the same as the prior art, 36 the level comparator 37 is variable bias circuit, V P is SQUID amplified signal, O S modulation signal,
V H is a voltage output from the integrator 11 as a magnetic field measurement signal.

【0041】図8は上記レベル比較器36の構成の一例
を示すブロック図である。図中、15Eは増幅器15A
と同一の増幅器、19Bはブリッジ整流回路19Aと同
一のブリッジ整流回路、22B,22Cは差動増幅器2
2Aと同一の差動増幅器、38は平滑用抵抗器、39
A,39Bは平滑用コンデンサ、40はピークホールド
回路、VP はSQUID増幅信号である。
FIG. 8 is a block diagram showing an example of the configuration of the level comparator 36. In the figure, 15E is an amplifier 15A
The same amplifier, 19B is the same bridge rectifier circuit as the bridge rectifier circuit 19A, and 22B and 22C are the differential amplifier 2
2A same differential amplifier, 38 smoothing resistor, 39
A and 39B are smoothing capacitors, 40 is a peak hold circuit, and V P is a SQUID amplified signal.

【0042】次にこの発明の実施例3による超伝導磁力
計の動作について説明する。先ず、SQUID1を液体
ヘリウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被
測定磁界中で積分器スイッチ13を開いた時刻に於ける
SQUID鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖
交磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧VH として
出力する。
Next, the operation of the superconducting magnetometer according to the third embodiment of the present invention will be described. First, SQUID 1 is cooled by immersing it in liquid helium to be transformed into a superconducting state, and the SQUID interlinkage magnetic flux at the time when the integrator switch 13 is opened in the magnetic field to be measured is set as the origin of output zero, and from that point. The change amount of the interlinkage magnetic flux is output as a voltage V H corresponding to the change amount of the magnetic field.

【0043】つまり、SQUID1の動作点は通常図1
4のA点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、
被測定磁界が増減して例えば図14のB,Cの位置に移
動すると、変調信号OS と正相、逆相の正弦波状の信号
を出力し、次にプリアンプ7、乗算器8、位相器9、発
振器10、積分器11、帰還抵抗器12、レベル比較器
36及び可変バイアス回路器37で構成されるFLL回
路によって磁界変化量に相当する電圧VH を出力すると
共にこの電圧VH を帰還抵抗器12、変調帰還コイル4
を介して超伝導リング2に帰還させ瞬時にA点の位置に
戻す。
That is, the operating point of SQUID1 is normally shown in FIG.
There is a full-wave rectified signal at the position of point A of 4, but
B of the measured magnetic field is increased or decreased for example FIG. 14, when moving to the position and C, the modulation signal O S and positive phase, and outputs a sinusoidal signal of opposite phase, then the preamplifier 7, the multiplier 8, the phaser 9. The FLL circuit including the oscillator 10, the integrator 11, the feedback resistor 12, the level comparator 36, and the variable bias circuit 37 outputs a voltage V H corresponding to the amount of change in the magnetic field and feeds back the voltage V H. Resistor 12, modulation feedback coil 4
It returns to the superconducting ring 2 via and is instantly returned to the position of point A.

【0044】この時SQUID1のバイアス電流が、大
きめ、適正、少なめの時SQUID1が自分自身を鎖交
する磁束に対してΦO を周期として変化する電圧の様子
は図9の(a)〜(c)のように表される。図9の
(a),(c)のようにバイアス電流が適正値からずれ
ると、Φo を周期とする周期的な電圧の振幅は減少し、
発振器10、変調コイル4によって印加される数100
KHzの正弦波変調磁束に対応して出力されるSQUI
D増幅信号VP の振幅が減少し、それに伴って位相検波
の出力と積分器の出力が減少して、最終的に計測誤差に
なるが、レベル比較器36が上記バイアス電流の変動を
上記SQUID増幅信号VP の振幅変動として検出し、
さらに、上記可変バイアス回路37がこの振幅変動を基
に上記バイアス電流を適正値に保ち続ける。
At this time, when the bias current of SQUID1 is large, proper, and small, the voltage changes in the cycle of Φ O with respect to the magnetic flux that links SQUID1 with itself. ) Is represented. When the bias current deviates from the proper value as shown in (a) and (c) of FIG. 9, the amplitude of the periodic voltage having a cycle of Φ o decreases,
Number 100 applied by oscillator 10 and modulation coil 4
SQUI output corresponding to KHz sinusoidal modulation magnetic flux
Although the amplitude of the D amplified signal V P decreases, the output of the phase detection and the output of the integrator decrease accordingly, and finally a measurement error occurs, but the level comparator 36 causes the fluctuation of the bias current to the SQUID. Detected as the amplitude fluctuation of the amplified signal V P ,
Further, the variable bias circuit 37 keeps the bias current at an appropriate value based on the amplitude fluctuation.

【0045】具体的には、次のとおりである。先ず、上
記増幅器15E、ブリッジ整流回路19Bで増幅・全波
整流し、さらに、平滑用抵抗器38と平滑用コンデンサ
39A,39Bで平滑した後、さらに、差動増幅器22
Bで増幅して、振幅変動信号として出力する。即ち、S
QUID1のバイアス電流が最適値の時には上記SQU
ID増幅信号VP の振幅も最大となり、それ故、整流・
平滑した電圧も最大となり、これを上記ピークホールド
回路40が記憶しておき、最適値からずれると上記SQ
UID増幅信号VP の振幅も減少し、これに伴って、上
記整流・平滑した電圧が減少するが、上記差動増幅器2
2Cが上記差相増幅器22Bから出力される整流・平滑
した電圧と上記ピークホールド回路40の出力電圧とを
比較してその差を振幅変動信号として出力する。尚、磁
界計測する前に予め上記可変バイアス回路37のバイア
ス電流を増減させて上記ピークホールド回路40に最大
値を記憶させておく。
Specifically, it is as follows. First, the amplifier 15E and the bridge rectifier circuit 19B perform amplification and full-wave rectification, and further smoothing is performed by the smoothing resistor 38 and the smoothing capacitors 39A and 39B, and then the differential amplifier 22.
It is amplified by B and output as an amplitude fluctuation signal. That is, S
When the bias current of QUID1 is the optimum value, the above SQUI
The amplitude of the ID amplified signal V P also becomes maximum, and therefore the rectification /
The smoothed voltage also becomes the maximum, which is stored in the peak hold circuit 40, and when it deviates from the optimum value, the SQ
The amplitude of the UID amplified signal V P also decreases, and the rectified and smoothed voltage decreases accordingly. However, the differential amplifier 2
2C compares the rectified and smoothed voltage output from the differential phase amplifier 22B with the output voltage of the peak hold circuit 40, and outputs the difference as an amplitude fluctuation signal. Before measuring the magnetic field, the bias current of the variable bias circuit 37 is increased or decreased and the maximum value is stored in the peak hold circuit 40 in advance.

【0046】次に上記可変バイアス回路37が上記振幅
変動信号を入力してこの電圧が零になるまでバイアス電
流を増加、又は、減少させてバイアス電流を最適値に保
ち続け、バイアス電流の変動による計測誤差を防止す
る。
Next, the variable bias circuit 37 inputs the amplitude fluctuation signal and increases or decreases the bias current until the voltage becomes zero to keep the bias current at an optimum value. Prevent measurement error.

【0047】実施例4.図10はこの発明の実施例4を
示すブロック図である。図中、1〜4,7〜8,10〜
15Aは従来と同一のもの、23,24は実施例2と同
一のもの、36,37は実施例3と同一のもの、VP
SQUID増幅信号、OS は変調信号、VPS,VPO,V
D はそれぞれ上記位相比較器23から出力される位相進
み信号、位相遅れ信号、位相判別信号、VH は上記積分
器11から磁界計測信号として出力される電圧である。
Example 4. FIG. 10 is a block diagram showing a fourth embodiment of the present invention. In the figure, 1-4, 7-8, 10
15A is the same as the conventional one, 23 and 24 are the same as those in the second embodiment, 36 and 37 are the same as those in the third embodiment, V P is a SQUID amplified signal, O S is a modulation signal, and V PS and V PO. , V
D is a phase lead signal, a phase delay signal, a phase discrimination signal output from the phase comparator 23, and V H is a voltage output from the integrator 11 as a magnetic field measurement signal.

【0048】次にこの発明の実施例4による超伝導磁力
計の動作について説明する。先ず、SQUID1を液体
ヘリウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被
測定磁界中で積分器スイッチ13を開いた時刻に於ける
SQUID鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖
交磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧VH として
出力する。
Next, the operation of the superconducting magnetometer according to the fourth embodiment of the present invention will be described. First, SQUID 1 is cooled by immersing it in liquid helium to be transformed into a superconducting state, and the SQUID interlinkage magnetic flux at the time when the integrator switch 13 is opened in the magnetic field to be measured is set as the origin of output zero, and from that point. The change amount of the interlinkage magnetic flux is output as a voltage V H corresponding to the change amount of the magnetic field.

【0049】つまり、SQUID1の動作点は通常図1
4のA点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、
被測定磁界が増減して例えば図3のB,Cの位置に移動
すると、変調信号OS と正相、逆相の正弦波状の信号を
出力し、次にプリアンプ7、乗算器8、発振器10、積
分器11、帰還抵抗器12、位相比較器23、可変位相
器24、レベル比較器36及び可変バイアス回路器37
で構成されるFLL回路によって磁界変化量に相当する
電圧VH を出力すると共にこの電圧VH を帰還抵抗器1
2、変調帰還コイル4を介して超伝導リング2に帰還さ
せ瞬時にA点の位置に戻す。
That is, the operating point of SQUID1 is normally shown in FIG.
There is a full-wave rectified signal at the position of point A of 4, but
Of the measured magnetic field is increased or decreased for example, FIG. 3 B, when moving to the position and C, and outputs a modulation signal O S positive phase, the sinusoidal signals of opposite phase, then the preamplifier 7, the multiplier 8, the oscillator 10 , Integrator 11, feedback resistor 12, phase comparator 23, variable phase detector 24, level comparator 36, and variable bias circuit 37.
The voltage V H feedback resistor and outputs a voltage V H corresponding to the magnetic field variation by configured FLL circuit in 1
2. Return to the superconducting ring 2 via the modulation feedback coil 4 and instantly return to the position of point A.

【0050】この時ケーブルの形状変動、温度・電源変
動の起因するバイアス変動等によりSQUID増幅信号
P は位相変動、振幅変動を起こそうとするが、先ず上
記位相比較器23と可変位相器24が実施例2に示した
のと同じ動作により上記号SQUID増幅信号VP と、
変調信号OS との位相を合わせ、さらに、レベル比較器
36と可変バイアス回路37が実施例3に示したのと同
じ動作により上記SQUID増幅信号VP の振幅が増
大、即ち、SQUID1のバイアス電流を最適の状態に
保ち続けることにより、上記ケーブルの形状変動、温度
・電源変動に起因するバイアス変動等によるSQUID
増幅信号VP の位相変動、振幅変動が生じないようにし
て計測誤差を防止する。
At this time, the SQUID amplified signal V P tends to cause phase fluctuation and amplitude fluctuation due to cable shape fluctuations, bias fluctuations caused by temperature / power supply fluctuations, etc. First, the phase comparator 23 and the variable phase shifter 24 are used. By the same operation as shown in the second embodiment, the above-mentioned SQUID amplified signal V P ,
The combined phases of the modulated signal O S, further, increase the amplitude of the SQUID amplification signal V P is the same operation as the level comparator 36 and the variable bias circuit 37 is shown in Example 3, i.e., SQUID 1 of the bias current By keeping the cable in the optimum state, SQUID due to the shape variation of the above cable, bias variation due to temperature / power supply variation, etc.
A measurement error is prevented by preventing a phase variation and an amplitude variation of the amplified signal V P.

【0051】実施例5.図11はこの発明の実施例5を
示すブロック図である。図中、1〜4、6〜15Aは従
来と同一のもの、41はAGC/良否判別回路、VP
QUID増幅信号、OS は変調信号、VH は上記積分器
11から磁界計測信号として出力される電圧、VF は上
記AGC/良否判別回路41から出力される良否判別信
号であり、正常の時はHiレベル、異常の時はLowレ
ベルを出力する。
Example 5. FIG. 11 is a block diagram showing a fifth embodiment of the present invention. In the figure, 1~4,6~15A is the same as the prior art, the AGC / quality decision circuit 41, V P S
A QUID amplified signal, O S is a modulation signal, V H is a voltage output as a magnetic field measurement signal from the integrator 11, and V F is a pass / fail determination signal output from the AGC / pass / fail determination circuit 41. Outputs Hi level, and when abnormal, outputs Low level.

【0052】図12は上記AGC/良否判別回路41の
構成の一例を示すブロック図である。図中、15B、1
7〜22Aは実施例1と同一のもの、42はSQUID
とFLL回路の良否を判別する良否判別回路、VF は上
記良否判別回路42から出力される良否判別信号であ
る。
FIG. 12 is a block diagram showing an example of the configuration of the AGC / good / bad determination circuit 41. In the figure, 15B, 1
7 to 22A are the same as those in the first embodiment, and 42 is a SQUID
Is a pass / fail determination circuit for determining pass / fail of the FLL circuit, and V F is a pass / fail determination signal output from the pass / fail determination circuit 42.

【0053】次にこの発明の実施例5による超伝導磁力
計の動作について説明する。先ず、SQUID1を液体
ヘリウムに浸す等して冷却し超伝導状態に転移させ、被
測定磁界中で積分器スイッチ13を開いた時刻に於ける
SQUID鎖交磁束を出力零の原点とし、そこからの鎖
交磁束の変化量を磁界変化量に相当する電圧VH として
出力する。
Next, the operation of the superconducting magnetometer according to the fifth embodiment of the present invention will be described. First, SQUID 1 is cooled by immersing it in liquid helium to be transformed into a superconducting state, and the SQUID interlinkage magnetic flux at the time when the integrator switch 13 is opened in the magnetic field to be measured is set as the origin of output zero, and from that point. The change amount of the interlinkage magnetic flux is output as a voltage V H corresponding to the change amount of the magnetic field.

【0054】つまり、SQUID1の動作点は通常図1
4のA点の位置にあり全波整流状の信号を出力するが、
被測定磁界が増減して例えば図14のB,Cの位置に移
動すると、変調信号OS と正相、逆相の正弦波状の信号
を出力し、次にバイアス回路6、プリアンプ7、乗算器
8、位相器9、発振器10、積分器11、帰還抵抗器1
2及びAGC/良否判別回路41で構成されるFLL回
路によって磁界変化量に相当する電圧VH を出力すると
共にこの電圧VH を帰還抵抗器12、変調帰還コイル4
を介して超伝導リング2に帰還させ瞬時にA点の位置に
戻す。
That is, the operating point of SQUID1 is normally shown in FIG.
There is a full-wave rectified signal at the position of point A of 4, but
B of the measured magnetic field is increased or decreased for example FIG. 14, when moving to the position and C, the modulation signal O S and positive phase, and outputs a sinusoidal signal of opposite phase, then the bias circuit 6, a preamplifier 7, a multiplier 8, phaser 9, oscillator 10, integrator 11, feedback resistor 1
The FLL circuit composed of 2 and the AGC / goodness judgment circuit 41 outputs a voltage V H corresponding to the amount of change in the magnetic field, and this voltage V H is fed back to the feedback resistor 12 and the modulation feedback coil 4.
It returns to the superconducting ring 2 via and is instantly returned to the position of point A.

【0055】この時、温度・電源変動等により、プリア
ンプから出力されるSQUID増幅信号VP の振幅が変
動し、計測誤差を生じようとするが、上記AGC/良否
判別回路41の増幅器15B、ブリッジ整流回路19A
がプリアンプ7から出力されるSQUID増幅信号VP
を増幅・全波整流し、さらに、平滑用抵抗器20、平滑
用コンデンサ21A、21Bによって平滑して、次に差
動増幅器22Aで増幅し、これを上記FET18Aのゲ
ートGに帰還する。この電圧に比例して上記FET18
AのドレインD−ソースS間の動作抵抗RDSが大きくな
るように制御し、この動作抵抗RDSと上記電圧分圧用抵
抗器17の抵抗値をRB により式(1),(2)に示す
分圧比に分圧して上記SQUID増幅信号VP の増減を
打ち消し、上記SQUID増幅信号VP の振幅を一定値
に保って計測誤差を防止すると共に上記良否判別回路4
2が差動増幅器22Aの出力電圧がある一定の範囲内に
入っているのか否か判別し、範囲外の時には良否判別信
号VF をLowレベルにしてSQUID増幅信号VP
生成するSQUID、駆動回路に異常があることを報知
する。
At this time, the amplitude of the SQUID amplified signal V P output from the preamplifier fluctuates due to temperature / power supply fluctuations and the like, which tends to cause a measurement error. However, the amplifier 15B of the AGC / pass / fail judgment circuit 41, the bridge Rectifier circuit 19A
Is the SQUID amplified signal V P output from the preamplifier 7.
Is amplified and full-wave rectified, further smoothed by the smoothing resistor 20 and the smoothing capacitors 21A and 21B, and then amplified by the differential amplifier 22A, which is fed back to the gate G of the FET 18A. The FET 18 is proportional to this voltage.
Controlled to operate resistance R DS between the drain D- source S of A is increased, the resistance value of the operating resistance R DS and the voltage voltage-dividing resistors 17 wherein the R B (1), (2) The SQUID amplified signal V P is divided into the voltage division ratios shown to cancel the increase / decrease of the SQUID amplified signal V P , and the amplitude of the SQUID amplified signal V P is maintained at a constant value to prevent a measurement error and the pass / fail judgment circuit 4
2 determines whether or not the output voltage of the differential amplifier 22A is within a certain range, and when it is out of the range, the quality determination signal V F is set to the Low level to generate the SQUID amplified signal V P SQUID, driving Informs that there is an abnormality in the circuit.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、以下に
記載されるような効果を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0057】この発明は、プリアンプから出力される信
号を基にこの信号の振幅を一定値に制御するAGC回路
を上記プリアンプの出力段に追加することにより、温
度、電源変動等によるプリアンプの出力変動が生じない
ようにしたので計測誤差の少ない超伝導磁力計を得るこ
とができる。
The present invention adds an AGC circuit for controlling the amplitude of this signal to a constant value on the basis of the signal output from the preamplifier to the output stage of the preamplifier, so that the output fluctuation of the preamplifier due to temperature, power supply fluctuation, etc. Since it does not occur, a superconducting magnetometer with less measurement error can be obtained.

【0058】またこの発明は、上記プリアンプの出力と
上記変調信号を入力してこの両者の位相ずれを検出する
位相比較器と上記位相器の代わりに上記位相比較器の出
力を基に上記変調信号の位相を調整して上記プリアンプ
の出力信号と位相を合わせる可変位相器とを設けること
により、ケーブルの形状変化等による上記プリアンプの
出力信号と上記変調信号との位相ずれが生じないように
したので計測誤差の少ない超伝導磁力計を得ることがで
きる。
Further, according to the present invention, the modulation signal is input based on the output of the phase comparator instead of the phase comparator for detecting the phase shift between the output of the preamplifier and the modulation signal and detecting the phase difference between them. By providing a variable phase shifter that adjusts the phase of the output signal of the preamplifier to match the phase of the output signal of the preamplifier, it is possible to prevent a phase shift between the output signal of the preamplifier and the modulation signal due to a change in the shape of the cable. A superconducting magnetometer with less measurement error can be obtained.

【0059】この発明は、上記プリアンプの出力を基に
バイアス電流の変動を検出して電流制御信号を発生する
レベル比較器と上記電流制御信号を入力して上記SQU
IDに適正なバイアス電流を供給する可変バイアス回路
とを設けることにより、SQUIDバイアス電流の変動
によるプリアンプの出力変動が生じないようにしたので
計測誤差の少ない超伝導磁力計を得ることができる。
According to the present invention, based on the output of the preamplifier, a level comparator for detecting a change in bias current and generating a current control signal, and the current control signal are input to the SQU.
By providing a variable bias circuit for supplying a proper bias current to the ID, the output fluctuation of the preamplifier due to the fluctuation of the SQUID bias current does not occur, so that the superconducting magnetometer with less measurement error can be obtained.

【0060】またこの発明は、上記プリアンプの出力と
上記変調信号を入力してこの両者の位相ずれを検出する
位相比較器と上記位相比較器の出力を基に上記変調信号
の位相を調整して上記プリアンプの出力信号と位相を合
わせる可変位相器に加えて、さらに、上記プリアンプの
出力を基にバイアス電流の変動を検出して電流制御信号
を発生するレベル比較器と上記電流制御信号を入力して
上記SQUIDに適正なバイアス電流を供給する可変バ
イアス回路とを設けることにより、ケーブルの形状変化
等による上記プリアンプの出力信号と上記変調信号との
位相ずれが生じないようにし、かつ、SQUIDバイア
ス電流の変動によるプリアンプの出力変動が生じないよ
うにしたので計測誤差の少ない超伝導磁力計を得ること
ができる。
Further, according to the present invention, the phase of the modulation signal is adjusted based on the output of the phase comparator which receives the output of the preamplifier and the modulation signal and detects the phase shift between the two. In addition to the variable phase shifter that matches the phase of the output signal of the preamplifier, the level comparator that detects the fluctuation of the bias current based on the output of the preamplifier and generates the current control signal and the current control signal are input. By providing a variable bias circuit for supplying an appropriate bias current to the SQUID, it is possible to prevent a phase shift between the output signal of the preamplifier and the modulation signal due to a change in the shape of the cable and the SQUID bias current. The output of the preamplifier is prevented from fluctuating due to fluctuations in the above, so that a superconducting magnetometer with less measurement error can be obtained.

【0061】この発明は、上記プリアンプから出力され
る信号を基にこの信号の振幅を一定値に制御し、かつ、
上記プリアンプの出力がある一定の範囲を越えた場合に
異常を知らせる異常信号を発生するAGC/判別回路を
上記プリアンプの出力段に追加することにより、温度、
電源変動等によるプリアンプの出力変動が生じないよう
にし、かつ、上記プリアンプの出力がある一定の範囲を
越えた場合に異常を知らせるようにしたので計算誤差の
少ない超伝導磁力計を得るとともに電子回路の良否判別
が自動的にできる。
The present invention controls the amplitude of this signal to a constant value based on the signal output from the preamplifier, and
By adding an AGC / discrimination circuit to the output stage of the preamplifier, which generates an abnormal signal that indicates an abnormality when the output of the preamplifier exceeds a certain range,
The output of the preamplifier does not fluctuate due to power supply fluctuations, etc., and an abnormality is reported when the output of the preamplifier exceeds a certain range, so that a superconducting magnetometer with few calculation errors can be obtained and an electronic circuit can be obtained. The quality can be automatically determined.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】AGC回路16の構成の一例を示すブロック図
である。
FIG. 2 is a block diagram showing an example of a configuration of an AGC circuit 16.

【図3】この発明の実施例2を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】位相比較器23の構成の一例を示すブロック図
である。
FIG. 4 is a block diagram showing an example of a configuration of a phase comparator 23.

【図5】可変位相器24の構成の一例を示すブロック図
である。
5 is a block diagram showing an example of a configuration of a variable phase shifter 24. FIG.

【図6】ディジタル分周信号、ディジタル変調信号、位
相進みパルス信号、アナログ位相進み信号、位相遅れパ
ルス信号、アナログ位相遅れ信号との関係を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship with a digital frequency division signal, a digital modulation signal, a phase advance pulse signal, an analog phase advance signal, a phase delay pulse signal, and an analog phase delay signal.

【図7】この発明の実施例3を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図8】レベル比較器36の構成の一例を示すブロック
図である。
8 is a block diagram showing an example of a configuration of a level comparator 36. FIG.

【図9】SQUIDのバイアス電流とΦO を周期として
変化する電圧との関係を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between a bias current of SQUID and a voltage that changes in a cycle of Φ O.

【図10】この発明の実施例4を示すブロック図であ
る。
FIG. 10 is a block diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図11】この発明の実施例5を示すブロック図であ
る。
FIG. 11 is a block diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図12】AGC/良否判別回路41の構成の一例を示
すブロック図である。
FIG. 12 is a block diagram showing an example of a configuration of an AGC / good / bad determination circuit 41.

【図13】従来の超伝導磁力計の一実施例を示すブロッ
ク図である。
FIG. 13 is a block diagram showing an example of a conventional superconducting magnetometer.

【図14】DC−SQUIDが外部磁界を計測する原理
を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing the principle by which a DC-SQUID measures an external magnetic field.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 SQUID 2 超伝導リング 3A,3B ジョセフソン接合 4 変調帰還コイル 5 駆動回路 6 バイアス回路 7 プリアンプ 8 乗算器 9 位相器 10 発振器 11 積分器 12 帰還抵抗器 13 積分器スイッチ 14 積分コンデンサ 15A,15B,15C,15D,15E 増幅器 16 AGC回路 17 電圧分圧用抵抗器 18A,18B,18C FET 19A,19B ブリッジ整流回路 20 平滑用抵抗器 21A,21B 平滑用コンデンサ 22A,22B,22C 差動増幅器 23 位相比較器 24 可変位相器 25 分周器 26A,26B コンパレータ 27 位相検出器 28A,28B 積分コンデンサ 29A,29B 積分回路 30 位相進み制御信号発生回路 31 位相遅れ制御信号発生回路 32 位相判別回路 33A,33B 切替えスイッチ 34 位相進み用コンデンサ 35 位相遅れ用コンデンサ 36 レベル比較器 37 可変バイアス回路 38 平滑用抵抗器 39A,39B 平滑用コンデンサ 40 ピークホールド回路 41 AGC/良否判別回路 42 良否判別回路 1 SQUID 2 Superconducting ring 3A, 3B Josephson junction 4 Modulation feedback coil 5 Drive circuit 6 Bias circuit 7 Preamplifier 8 Multiplier 9 Phaser 10 Oscillator 11 Integrator 12 Feedback resistor 13 Integrator switch 14 Integrating capacitor 15A, 15B, 15C, 15D, 15E amplifier 16 AGC circuit 17 voltage dividing resistor 18A, 18B, 18C FET 19A, 19B bridge rectifier circuit 20 smoothing resistor 21A, 21B smoothing capacitor 22A, 22B, 22C differential amplifier 23 phase comparator 24 variable phase shifter 25 frequency divider 26A, 26B comparator 27 phase detector 28A, 28B integrating capacitor 29A, 29B integrating circuit 30 phase lead control signal generating circuit 31 phase delay control signal generating circuit 32 phase discriminating circuit 33A, 33B switching Switch 34 phase lead capacitor 35 a phase delay capacitor 36 level comparator 37 variable bias circuit 38 smoothing resistors 39A, 39B smoothing capacitor 40 peak hold circuit 41 AGC / quality decision circuit 42 quality decision circuit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子にバイアス電流を供給するバイアス回路と、上
記超伝導量子干渉素子の出力を増幅するプリアンプと、
このプリアンプの出力を一定値に制御するAGC回路
と、正弦波を発生する発振器と、上記発振器から出力さ
れる正弦波の位相を調整する位相器と、上記位相器の出
力とAGC回路の出力を乗算する乗算器と、上記乗算器
の出力を積分する積分器と、上記積分器から出力される
電圧を超伝導量子干渉素子に帰還する帰還抵抗器とを備
えたことを特徴とする超伝導磁力計。
1. A superconducting quantum interference device, a bias circuit for supplying a bias current to the superconducting quantum interference device, and a preamplifier for amplifying the output of the superconducting quantum interference device.
An AGC circuit that controls the output of the preamplifier to a constant value, an oscillator that generates a sine wave, a phase shifter that adjusts the phase of the sine wave output from the oscillator, an output of the phase shifter, and an output of the AGC circuit. A superconducting magnetic force, comprising: a multiplier for multiplying, an integrator for integrating the output of the multiplier, and a feedback resistor for returning the voltage output from the integrator to the superconducting quantum interference device. Total.
【請求項2】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子にバイアス電流を供給するバイアス回路と、上
記超伝導量子干渉素子の出力を増幅するプリアンプと、
正弦波を発生する発振器と、このプリアンプの出力と上
記発振器の出力を基にこの両者の位相ずれを検出する位
相比較器と、上記位相比較器の出力を基に上記発振器か
ら出力される正弦波の位相を調整する可変位相器と、上
記プリアンプの出力と可変位相器の出力を乗算する乗算
器と、上記乗算器の出力を積分する積分器と、上記積分
器から出力される電圧を超伝導量子干渉素子に帰還する
帰還抵抗器とを備えたことを特徴とする超伝導磁力計。
2. A superconducting quantum interference device, a bias circuit for supplying a bias current to the superconducting quantum interference device, and a preamplifier for amplifying the output of the superconducting quantum interference device.
An oscillator that generates a sine wave, a phase comparator that detects the phase shift between the output of this preamplifier and the output of the oscillator, and a sine wave output from the oscillator based on the output of the phase comparator. , A multiplier for multiplying the output of the preamplifier and the output of the variable phaser, an integrator for integrating the output of the multiplier, and a superconducting voltage output from the integrator. A superconducting magnetometer, comprising: a feedback resistor that returns to a quantum interference device.
【請求項3】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子の出力を増幅するプリアンプと、上記プリアン
プの出力を基にバイアス電流の変動を検出して電流制御
信号を発生するレベル比較器と、上記電流制御信号を入
力して上記超伝導量子干渉素子に適正なバイアス電流を
供給する可変バイアス回路と、正弦波を発生する発振器
と、上記発振器から出力される正弦波の位相を調整する
位相器と、上記プリアンプの出力と位相器の出力を乗算
する乗算器と、上記乗算器の出力を積分する積分器と、
上記積分器から出力される電圧を超伝導量子干渉素子に
帰還する帰還抵抗器とを備えたことを特徴とする超伝導
磁力計。
3. A superconducting quantum interference device, a preamplifier for amplifying the output of the superconducting quantum interference device, and a level comparator for detecting a change in bias current based on the output of the preamplifier and generating a current control signal. And a variable bias circuit that inputs the current control signal to supply an appropriate bias current to the superconducting quantum interference device, an oscillator that generates a sine wave, and a phase of the sine wave that is output from the oscillator. A phaser, a multiplier that multiplies the output of the preamplifier and the output of the phaser, and an integrator that integrates the output of the multiplier,
A superconducting magnetometer, comprising: a feedback resistor for returning the voltage output from the integrator to the superconducting quantum interference device.
【請求項4】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子の出力を増幅するプリアンプと、上記プリアン
プの出力を基にバイアス電流の変動を検出して電流制御
信号を発生するレベル比較器と、上記電流制御信号を入
力して上記超伝導量子干渉素子に適正なバイアス電流を
供給する可変バイアス回路と、正弦波を発生する発振器
と、上記プリアンプの出力と上記発振器の出力を基にこ
の両者の位相ずれを検出する位相比較器と、上記位相比
較器の出力を基に上記発振器から出力される正弦波の位
相を調整する可変位相器と、上記プリアンプの出力と可
変位相器の出力を乗算する乗算器と、上記乗算器の出力
を積分する積分器と、上記積分器から出力される電圧を
超伝導量子干渉素子に帰還する帰還抵抗器とを備えたこ
とを特徴とする超伝導磁力計。
4. A superconducting quantum interference device, a preamplifier for amplifying the output of the superconducting quantum interference device, and a level comparator for detecting a change in bias current based on the output of the preamplifier to generate a current control signal. A variable bias circuit for inputting the current control signal to supply an appropriate bias current to the superconducting quantum interference device, an oscillator for generating a sine wave, and an output of the preamplifier and an output of the oscillator. A phase comparator that detects the phase shift between the two, a variable phaser that adjusts the phase of the sine wave output from the oscillator based on the output of the phase comparator, and an output of the preamplifier and an output of the variable phaser. A superconducting device comprising: a multiplier for multiplying, an integrator for integrating the output of the multiplier, and a feedback resistor for returning the voltage output from the integrator to the superconducting quantum interference device. Magnetometer.
【請求項5】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量子
干渉素子にバイアス電流を供給するバイアス回路と、上
記超伝導量子干渉素子の出力を増幅するプリアンプと、
このプリアンプの出力を一定値に制御し、かつ、上記プ
リアンプの出力がある一定の範囲を越えた場合に異常を
知らせる異常信号を発生するAGC/良否判別回路と、
正弦波を発生する発振器と、上記発振器から出力される
正弦波の位相を調整する位相器と、上記位相器の出力と
AGC/良否判別回路の出力を乗算する乗算器と、上記
乗算器の出力を積分する積分器と、上記積分器から出力
される電圧を超伝導量子干渉素子に帰還する帰還抵抗器
とを備えたことを特徴とする超伝導磁力計。
5. A superconducting quantum interference device, a bias circuit for supplying a bias current to the superconducting quantum interference device, and a preamplifier for amplifying the output of the superconducting quantum interference device.
An AGC / good / bad determination circuit for controlling the output of the preamplifier to a constant value and for generating an abnormal signal notifying an abnormality when the output of the preamplifier exceeds a certain range.
An oscillator that generates a sine wave, a phaser that adjusts the phase of the sine wave that is output from the oscillator, a multiplier that multiplies the output of the phaser and the output of the AGC / good / bad determination circuit, and the output of the multiplier. A superconducting magnetometer, comprising: an integrator for integrating and a feedback resistor for returning the voltage output from the integrator to the superconducting quantum interference device.
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