KR100435847B1 - An apparatus for collecting and storing the waste liquid - Google Patents
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Abstract
본 발명은 폐액 수거 및 저장 장치에 관한 것으로, 폐액발생처로부터 배출되는 폐액(폐산, 폐알칼리, 폐유기용제 등)을 신속하고 안전하게 수거함과 동시에 배관 내에 폐액이 잔류하지 않도록 함으로써 폐액 수거 및 저장시 발생할 수 있는 안전사고의 요인을 미연에 예방하며, 장치의 내구성을 현저하게 증진시킨 폐액 수거 및 저장 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention relates to a waste liquid collection and storage device, and to collect waste liquid (waste acid, waste alkali, waste organic solvent, etc.) discharged from the waste generation source quickly and safely, and to prevent waste liquid from remaining in the pipe, and thus, it may occur during waste liquid collection and storage. Its purpose is to provide a waste liquid collection and storage device that prevents possible safety accidents and increases the durability of the device.
본 발명에서는, 내부의 진공상태로 인한 흡인력에 의하여 폐액발생처로부터 폐액을 강제 흡입하여 수거하고 저장하는 폐액 저장조와, 상기 폐액 저장조 내부에 진공을 형성하기 위한 진공형성장치와, 상기 폐액에 의하여 발생된 폐가스를 수집하여 정화한 후 외기로 배출하는 폐가스 정화장치를 포함하는 장치가 제공된다.According to the present invention, a waste liquid storage tank for forcibly collecting and storing waste liquid from a waste liquid generating source by suction force due to an internal vacuum state, a vacuum forming apparatus for forming a vacuum in the waste liquid storage tank, and generated by the waste liquid. An apparatus is provided that includes a waste gas purification device that collects and purifies waste gas and discharges it to the outside.
Description
본 발명은 폐액 수거 및 저장 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조용 크린룸, 화학실험실 등의 폐액발생처로부터 배출되는 폐액(폐산, 폐알칼리, 폐유기용제 등)을 신속하고 안전하게 별도의 저장설비에 수거 및 저장하기 위한 폐액 수거 및 저장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a waste liquid collection and storage device, and more particularly, to waste liquid (waste acid, waste alkali, waste organic solvent, etc.) discharged from waste liquid sources such as a clean room and a chemical laboratory for semiconductor manufacturing in a separate storage facility. A waste liquid collection and storage device for collection and storage.
일반적으로 크린룸, 화학실험실 등의 폐액발생처로부터 배출되는 산성 또는 알칼리성 폐액, 할로겐족 또는 비할로겐족 유기용제 등의 폐액들이 제대로 수거되어 처리되지 아니할 경우 환경을 오염시키고 인체에 유해하다는 것은 주지된 사실이다. 근래에는 전세계적으로 환경문제에 대해 매우 민감한 추세에 있기 때문에 산성 또는 알칼리성 폐액, 폐유기용제 등의 폐액이 배출되는 모든 폐액발생처에서는 이러한 폐액을 전부 안전하게 수거하여 저장하고 이를 처리할 수 있도록 별도의 폐액 수거 및 저장 장치를 갖출 필요성이 있다.In general, it is well known that waste liquids such as acidic or alkaline waste liquids, halogen or non-halogen organic solvents discharged from waste liquid sources such as clean rooms and chemical laboratories are polluted to the environment and harmful to humans if not properly collected and disposed of. In recent years, since the world is very sensitive to environmental problems, all waste liquid sources where acidic or alkaline waste liquids, waste organic solvents, and other waste liquids are discharged are collected and stored separately so that they can be safely collected and stored. There is a need to have collection and storage devices.
폐액의 수거 및 저장을 위하여 종래에는 자연유하이송 방식의 폐액 수거 및 저장 장치와, 가압이송 방식의 폐액 수거 및 저장 장치가 이용되었다.In order to collect and store the waste liquid, the waste liquid collection and storage apparatus of the natural flow transfer method and the waste liquid collection and storage apparatus of the pressurized transfer system have been conventionally used.
자연유하이송식 폐액 수거 및 저장 장치는 크린룸 등의 각 폐액발생처에 연결된 배관을 통해 폐액의 자중을 이용하여 자연유하 방식으로 폐액을 수거하여 저장설비에 저장한다. 이러한, 자연유하이송식 폐액 수거 및 저장 장치는 설치시 부대설비가 필요 없어 설치비용면에서 다소 유리하고 별도의 기기류를 설치할 필요가 없어 유지관리가 편리한 반면, 폐액이 배관을 따라 저장설비까지 이송되는 동안 배관의 막힘이 발생하거나 이송경로 중의 구배에 의해 배관 내에서 폐액이 정체하게 되는 현상으로 인해 배관 내에서 폐액의 역류 및 폐가스의 발생 등과 같은 문제점이 발생한다.Natural oil transfer waste liquid collection and storage device collects the waste liquid by natural flow method and stores it in the storage facility by using the self-weight of waste liquid through the pipe connected to each waste liquid source such as clean room. Such a natural oil waste type waste liquid collection and storage device does not require any additional equipment for installation, which is somewhat advantageous in terms of installation cost, and does not require installation of additional equipment, which is convenient for maintenance, while waste liquid is transported along the pipe to the storage facility. Problems such as backflow of waste liquid and generation of waste gas occur in the pipe due to the phenomenon that the waste liquid is stagnated in the pipe due to the blockage of the pipe or the gradient in the transfer path.
이러한 문제점을 해결하기 위해서는 배관이 상대적으로 커져야 하는데, 그에 따라 설비의 설치비용이 증대되고 많은 공간을 차지하게 될 뿐만 아니라 배관이 커지더라도 위와 같은 문제점이 완전히 해결되지 않으며 공정상 통제가 어렵다는 한계가 존재한다.In order to solve this problem, piping must be relatively large, which increases the installation cost of the facility and takes up a lot of space, and there is a limit that the above problems are not completely solved even if the piping is large, and process control is difficult. do.
가압이송식 폐액 수거 및 저장 장치는 각 폐액발생처에 펌프 등의 가압이송장치를 설치하고 배관을 통해 폐액을 수거하여 저장하도록 하는 방식으로서, 가압이송장치의 작동이 중단되는 경우 배관 내부에는 항상 폐액이 잔류하게 되어 배관의 부식 또는 손상을 초래하게 될 가능성이 있으며, 장기간 사용시에는 가압이송장치에서 폐액이 누설되거나 배관 내에서 폐액이 반응하여 반응열 또는 가스를 발생시켜 설비를 손상시킬 우려가 높은 문제점이 있다.The pressurized waste liquid collection and storage device installs a pressurized transfer device such as a pump at each waste liquid generating point and collects and stores the waste liquid through the pipe. There is a possibility that it may cause corrosion or damage to the pipes, and in the case of long-term use, there is a high possibility that the waste fluid may leak from the pressurized transfer device or the waste fluid may react in the pipe to cause reaction heat or gas to damage the equipment. .
또한, 가압이송식 폐액 수거 및 저장 장치는 부대설비가 많아 초기투자 비용과 운영비가 많이 소요되어 비경제적일 뿐 아니라, 기기류가 많고 설치개소도 많아 유지관리 및 공정통제가 불편한 문제점이 있었다. 특히, 펌프 등의 가압이송장치가 폐액에 직접 노출되므로써 가압이송장치가 쉽게 부식되고 손상되어 기능을 상실하게 되는 문제점이 있다.In addition, the pressurized waste liquid collection and storage device has a lot of additional equipment, it takes a lot of initial investment and operating costs, which is uneconomical, there are a lot of equipment and installation places, there is a problem in the maintenance and process control is inconvenient. In particular, since the pressure transfer device such as a pump is directly exposed to the waste liquid, there is a problem that the pressure transfer device is easily corroded and damaged to lose its function.
본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 폐액발생처로부터 배출되는 폐액(폐산, 폐알칼리, 폐유기용제 등)을 신속하고 안전하게 수거함과 동시에 배관 내에 폐액이 잔류하지 않도록 함으로써 폐액 수거 및 저장시 발생할 수 있는 안전사고의 요인을 미연에 예방하며, 장치의 내구성을 현저하게 증진시킨 폐액 수거 및 저장 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, by quickly and safely collecting the waste liquid (waste acid, waste alkali, waste organic solvent, etc.) discharged from the waste liquid source and at the same time so that the waste liquid does not remain in the pipe It is an object of the present invention to provide a waste liquid collection and storage device that prevents the safety accidents that may occur during the waste liquid collection and storage, and significantly improves the durability of the apparatus.
도 1은 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 일례를 도시한 계통도로서, 산성 또는 알칼리성 폐액의 수거 및 저장에 적합한 장치에 관한 것이고,Figure 1 is a schematic diagram showing an example of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, relates to a device suitable for the collection and storage of acidic or alkaline waste liquid,
도 2는 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 다른 일례를 도시한 계통도로서, 유기용제 폐액의 수거 및 저장에 적합한 장치에 관한 것이고,Figure 2 is a schematic diagram showing another example of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, relates to a device suitable for the collection and storage of organic solvent waste liquid,
도 3은 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 또다른 일례를 도시한 계통도로서, 도 1 및 도 2에 도시된 장치가 일체의 시스템으로 결합된 장치에 관한 것이다.3 is a schematic diagram showing another example of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, and relates to a device in which the apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is combined into an integrated system.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100, 200 : 폐액 수거 및 저장 장치 110,120,210,220 : 폐액 저장조100, 200: waste liquid collection and storage device 110,120,210,220: waste liquid storage tank
130 : 순환수 저장조 132 : 순환펌프130: circulating water storage tank 132: circulating pump
133 : 이젝터 111,121,211,221 : 수위계133: ejector 111,121,211,221: water gauge
112,122,212,222 : 진공계 113,123,136,137 : 온/오프 자동밸브112,122,212,222: Vacuum gauge 113,123,136,137: On / off automatic valve
114,124,213,223 : 드레인부 107 : 배기팬114,124,213,223: Drain section 107: exhaust fan
140,250 : 폐가스 정화장치 230 : 진공펌프140,250: waste gas purification device 230: vacuum pump
240 : 씰링워터 저장조240: sealing water reservoir
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는, 내부의 진공상태로 인한 흡인력에 의하여 폐액발생처로부터 폐액을 강제 흡입하여 수거하고 저장하는 폐액 저장조와, 상기 폐액 저장조 내부에 진공을 형성하기 위한 진공형성장치와, 상기 폐액에 의하여 발생된 폐가스를 수집하여 정화한 후 외기로 배출하는 폐가스 정화장치를 포함하는 장치가 제공된다.In order to achieve the above object, in the present invention, a waste liquid reservoir for forcibly collecting and storing waste liquid from a waste liquid source by a suction force due to an internal vacuum state, and a vacuum forming apparatus for forming a vacuum in the waste liquid reservoir And, there is provided a device comprising a waste gas purification device for collecting and purifying the waste gas generated by the waste liquid and discharged to the outside.
상기 진공형성장치는 수거되는 폐액의 종류에 따라 그 구성이 달라지는데, 수거되는 폐액이 산성 또는 알칼리성 폐액인 경우에는 폐액 저장조 내부를 진공상태로 형성되는 과정에서 진공형성장치가 폐액 또는 폐액으로부터 발생한 폐가스와 접촉하여 부식되는 것을 방지하기 위하여, 상기 진공형성장치는 순환수가 저장되는순환수 저장조와, 상기 순환수 저장조 내의 순환수를 가압하여 압송하므로써 순환시키는 순환펌프와, 상기 순환펌프에 의해 가압되어 압송된 순환수가 통과되면서 벤츄리 원리에 따라 압력차에 의한 흡인력을 발생시켜 상기 폐액 저장조 내부의 기체를 흡입하여 상기 폐액 저장조 내부를 진공상태로 유지시키는 벤츄리관 구조의 이젝터를 포함하여 구성된다.The configuration of the vacuum forming apparatus varies according to the type of waste liquid to be collected. When the waste liquid to be collected is an acidic or alkaline waste liquid, the vacuum forming apparatus is formed from the waste liquid or the waste gas in the process of forming the inside of the waste liquid reservoir in a vacuum state. In order to prevent corrosion by contact, the vacuum forming apparatus includes a circulating water storage tank for storing circulating water, a circulating pump for circulating by pressurizing and circulating the circulating water in the circulating water storage tank, and a pressurized and pressurized by the circulating pump As the circulating water passes, it generates a suction force due to the pressure difference according to the Venturi principle, and includes an ejector having a venturi tube structure to suck the gas inside the waste liquid reservoir to maintain the inside of the waste liquid reservoir in a vacuum state.
이 경우, 상기 폐가스 정화장치는 상기 순환수 저장조와 연통되어 순환수의 순환과정에서 상기 폐액 저장조로부터 상기 순환펌프와 이젝터를 거쳐 순환수 저장조로 포집된 폐가스를 정화하여 외기로 배출하게 된다.In this case, the waste gas purification device is in communication with the circulating water storage tank to purify the waste gas collected from the waste liquid storage tank through the circulating pump and the ejector to the circulating water storage tank in the circulation of the circulating water and discharge it to the outside air.
위와 같은 산성 또는 알칼리성 폐액의 수거 및 저장 장치의 경우, 상기 폐액 저장조를 산성 폐액을 수거 및 저장하는 산성 폐액 저장조와, 알칼리성 폐액을 수거 및 저장하는 알칼리성 폐액 저장조로 구분하여 구성할 수도 있으며, 필요에 따라서는 산성 폐액 저장조 또는 알칼리성 폐액 저장조 중 어느 하나만을 구비하도록 구성할 수도 있다.In the case of the collection and storage of the acidic or alkaline waste liquid as described above, the waste liquid storage tank may be divided into an acidic waste liquid storage tank for collecting and storing the acidic waste liquid and an alkaline waste liquid storage tank for collecting and storing the alkaline waste liquid, Therefore, it can also be comprised so that only either acidic waste liquid storage tank or alkaline waste liquid storage tank may be provided.
한편, 수거되는 폐액이 유기용제 폐액인 경우, 상기 진공형성장치는 진공펌프와, 상기 진공펌프와 연동하여 순환하는 씰링워터가 저장된 씰링워터 저장조를 포함하여 구성된다.On the other hand, when the waste liquid collected is an organic solvent waste liquid, the vacuum forming apparatus comprises a vacuum pump and a sealing water storage tank for storing the sealing water circulating in conjunction with the vacuum pump.
이 경우, 상기 폐가스 정화장치는 상기 씰링워터 저장조와 연통되어 씰링워터의 순환과정에서 상기 유기용제 폐액 저장조로부터 진공펌프를 거쳐 상기 씰링워터 저장조로 포집된 폐가스를 정화하여 외기로 배출하게 된다.In this case, the waste gas purification device is in communication with the sealing water reservoir to purify the waste gas collected in the sealing water reservoir through the vacuum pump from the organic solvent waste liquid reservoir during the circulation of the sealing water to discharge to the outside.
위와 같은 유기용제 폐액의 수거 및 저장 장치의 경우, 상기 폐액 저장조를할로겐족 폐액을 수거 및 저장하는 저장조와, 비할로겐족 폐액을 수거 및 저장하는 저장조로 구분하여 구성할 수도 있으며, 필요에 따라서는 그 중 어느 하나만을 구비하도록 구성할 수도 있다.In the case of the collection and storage device of the organic solvent waste liquid as described above, the waste liquid storage tank may be divided into a storage tank for collecting and storing halogen group waste liquid and a storage tank for collecting and storing non-halogen group waste liquid. It can also be comprised so that only one may be provided.
또한, 본 발명에서는 어떠한 종류의 폐액도 모두 수거하여 저장할 수 있도록, 상기 산성 또는 알칼리성 폐액 수거 및 저장 장치와 상기 유기용제 폐액 수거 및 저장 장치가 하나의 시스템으로 결합된 장치가 제공된다.In addition, the present invention provides a device in which the acid or alkaline waste liquid collection and storage device and the organic solvent waste liquid collection and storage device are combined into one system so that any kind of waste liquid can be collected and stored.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 살펴보므로써 본 발명의 구성을 설명한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described by referring to preferred embodiments of the present invention in detail with reference to the accompanying drawings.
우선, 첨부된 예시도면 도 1은 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 일례를 도시한 계통도로서, 산성 또는 알칼리성 폐액을 수거하고 저장하기에 적합한 장치의 구성이 개시되어 있다.First, the accompanying exemplary drawings Figure 1 is a schematic diagram showing an example of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, a configuration of a device suitable for collecting and storing acidic or alkaline waste liquid is disclosed.
도면에 도시된 바와 같이, 폐액 수거 및 저장 장치(100)는, 산성 폐액을 수거하여 저장하는 산성 폐액 저장조(110) 및 알칼리성 폐액을 수거하여 저장하는 알칼리성 폐액 저장조(120)와, 상기 각각의 폐액 저장조(110)(120)내에 진공을 형성하는 진공형성장치와, 상기 폐액에 의해 발생한 폐가스를 수집하여 정화한 후 외기로 배출시키는 폐가스 정화장치(140)를 구비한다.As shown in the drawing, the waste liquid collection and storage device 100 includes an acidic waste liquid storage tank 110 for collecting and storing acidic waste liquid and an alkaline waste liquid storage tank 120 for collecting and storing alkaline waste liquid, and the respective waste liquids. And a vacuum forming apparatus for forming a vacuum in the storage tanks 110 and 120, and a waste gas purifier 140 for collecting and purifying the waste gas generated by the waste liquid and then discharging it to the outside.
각각 수집된 산성 폐액 및 알칼리성 폐액을 저장하는 상기 폐액 저장조(110)(120)에는 폐액발생처(도시되지 않음)와 연통된 폐액 수집관(101)(102)이 연결되어 있는데, 폐액발생처를 통하여 배출되는 산성 폐액 및/또는 알칼리성폐액은 상기 폐액 저장조(110)(120) 내의 진공 상태에 의한 흡입력에 의하여 빨아들여져 각각 상기 폐액 수집관(101)(102)을 통하여 신속하게 이송되어 각각의 폐액 저장조(110)(120)로 수집된다.The waste liquid storage tanks 110 and 120 which store the collected acid waste liquid and alkaline waste liquid, respectively, are connected to waste liquid collection pipes 101 and 102 connected to a waste liquid generator (not shown), and discharged through the waste liquid generator. Acidic waste liquid and / or alkaline waste liquid are sucked by suction force by the vacuum state in the waste liquid storage tanks 110 and 120, and are quickly transferred through the waste liquid collection pipes 101 and 102, respectively. 110) 120 is collected.
상기 각각의 폐액 저장조(110)(120)에는 폐액의 수위를 측정하는 수위계(111)(121)와, 상기 폐액 저장조(110)(120) 내부의 진공도를 감지하는 진공계(112)(122)와, 상기 진공계(112)(122)에 의해 감지된 진공도에 따라 제어되어 폐액 저장조(110)(120)의 내부에 있는 기체를 배출하기 위하여 진공배관(103)을 개폐하는 진공배관 개폐밸브(113)(123)와, 상기 각각 폐액 저장조(110)(120)내에 저장된 폐액을 배출하기 위한 드레인부(114)(124)가 각각 구비된다.Each of the waste liquid reservoirs 110 and 120 includes a water gauge 111 and 121 for measuring the level of the waste liquid, and a vacuum gauge 112 and 122 for detecting the degree of vacuum inside the waste liquid reservoir 110 and 120. The vacuum pipe opening / closing valve 113 is controlled according to the degree of vacuum sensed by the vacuum gauges 112 and 122 to open and close the vacuum pipe 103 to discharge the gas in the waste liquid storage tank 110 and 120. 123 and drain portions 114 and 124 for discharging the waste liquid stored in the waste liquid reservoirs 110 and 120, respectively.
구체적으로 상기 수위계(111)(121)로는 초음파식 수위계를 사용하는 것이 바람직하며, 상기 수위계(111)(121)에 의하여 측정된 폐액의 수위는 별도의 제어 패널에 표시되도록 하는 것이 바람직하다.Specifically, it is preferable to use an ultrasonic level gauge as the water level gauges 111 and 121, and the level of the waste liquid measured by the level gauges 111 and 121 is preferably displayed on a separate control panel.
폐액 저장조(110)(120)에 수집된 폐액의 수위를 측정하는 상기 수위계(111)(121)는 폐액의 수위가 사전에 설정된 수위에 이르게 되면 경보장치(도시되지 않음)를 작동시켜 그 사실을 사용자에게 알려주게 된다. 폐액의 수위가 소정 정도에 이르게 되면 드레인부(114)(124)를 통하여 저장되어 있던 폐액을 배출시켜 적절한 폐액 처리시설로 이송한 후 처리하게 된다.The water level gauges 111 and 121 which measure the level of the waste liquid collected in the waste liquid storage tank 110 and 120 operate an alarm device (not shown) when the level of the waste liquid reaches a predetermined level. You will be notified. When the level of the waste liquid reaches a predetermined degree, the waste liquid stored through the drain parts 114 and 124 is discharged and transferred to an appropriate waste liquid treatment facility for treatment.
폐액 저장조(110)(120) 내부의 진공도는 상기 진공계(112)(122)에 의하여 측정되는데, 상기 진공배관 개폐밸브(113)(123) 및 진공형성장치는 상기 진공계(112)(122)와 연동되어 있어, 상기 진공계(112)(122)에 의하여 측정된 폐액저장조(110)(120) 내부의 진공도가 소정 설정치 미만이 되면 후술할 진공형성장치가 자동적으로 작동함과 동시에 상기 진공배관 개폐밸브(113)(123)가 개방되며, 반대로 진공도가 소정 설정치 이상이면 후술할 진공형성장치의 작동이 자동적으로 정지됨과 동시에 상기 진공배관 개폐밸브(113)(123)가 폐쇄된다.The degree of vacuum inside the waste liquid storage tanks 110 and 120 is measured by the vacuum gauges 112 and 122, and the vacuum pipe opening / closing valves 113 and 123 and the vacuum forming apparatus are connected to the vacuum gauges 112 and 122. When the vacuum degree inside the waste storage tank 110 and 120 measured by the vacuum gauges 112 and 122 is less than a predetermined set value, the vacuum forming apparatus to be described below is automatically operated and at the same time, the vacuum pipe opening and closing valve. When the degree of vacuum exceeds a predetermined value, the operation of the vacuum forming apparatus to be described later is automatically stopped, and the vacuum pipe open / close valves 113 and 123 are closed.
다음으로는 진공형성장치에 대하여 설명한다. 진공형성장치는 상기 폐액 저장조(110)(120)의 내부를 지속적으로 진공상태로 만들기 위하여 사용되는데, 본 발명에 있어서 진공형성장치는, 순환수를 가압하여 순환수 배관(131)을 통하여 압송하므로써 순환시키는 순환수 펌프(132)와, 상기 순환수 펌프(132)에 의하여 가압되어 압송되는 순환수가 통과되면서 벤츄리 원리에 따라 압력차에 의한 흡인력을 발생시키는 벤츄리관 구조의 이젝터(133)와, 상기 순환수를 저장하는 순환수 저장조(130)를 구비하고 있다.Next, a vacuum forming apparatus will be described. The vacuum forming apparatus is used to continuously vacuum the inside of the waste liquid storage tanks 110 and 120. In the present invention, the vacuum forming apparatus pressurizes the circulating water and feeds it through the circulating water pipe 131. An ejector 133 having a venturi tube structure for generating a suction force due to a pressure difference according to the Venturi principle while the circulating water pump 132 circulating and the circulating water pressurized and pumped by the circulating water pump 132 pass through the A circulation water storage tank 130 for storing the circulation water is provided.
일측이 상기 폐액 저장조(110)(120)와 연통된 진공배관(103)의 타측은 상기 이젝터(133)와 연통되는데, 순환수 펌프(132)에 의하여 가압되어 압송되는 순환수가 벤츄리관 구조의 이젝터(133)를 통과하게 되면 벤츄리 원리에 의하여 압력차가 발생하게 되고 그로 인하여 흡인력이 발생하게 되어 상기 진공배관(103)을 통하여 폐액 저장조(110)(120) 내부의 공기를 흡입하므로써 상기 폐액 저장조(110)(120)의 내부를 항상 진공상태로 만들게 된다.The other side of the vacuum pipe 103, one side is in communication with the waste reservoir 110, 120 is in communication with the ejector 133, the circulating water is pressurized by the circulating water pump 132, the ejector of the venturi tube structure When passing through 133, a pressure difference is generated according to the Venturi principle, and thus a suction force is generated, thereby sucking the air inside the waste liquid storage tanks 110 and 120 through the vacuum pipe 103. 120 will always be made in a vacuum state.
이러한 구성의 진공형성장치는, 앞서 설명한 바와 같이, 폐액 저장조(110)(120)에 설치된 진공계(112)(122)와 연동되어 있어, 측정된 폐액 저장조(110)(120) 내부의 진공도가 소정 설정치 미만이 되면 상기 진공형성장치가 자동적으로 작동하여 폐액 저장조(110)(120) 내부의 공기를 흡입하여 그 진공도를 높이게 되고, 반대로 진공도가 소정 설정치 이상이면 상기 진공형성장치의 작동이 자동적으로 정지된다. 상기 진공계(112)(122)와 진공형성장치의 연동관계는 진공계(112)(122)와 상기 순환펌프(132)의 전기적인 연결에 의하여 형성할 수 있다.As described above, the vacuum forming apparatus having such a configuration is interlocked with the vacuum gauges 112 and 122 installed in the waste liquid storage tanks 110 and 120, so that the measured vacuum degree in the waste liquid storage tanks 110 and 120 is predetermined. When the set value is less than the set value is automatically operated the vacuum forming apparatus to suck the air in the waste reservoir 110, 120 to increase the vacuum degree, on the contrary, the operation of the vacuum forming device is automatically stopped if the vacuum degree is more than a predetermined set value. do. The interlocking relationship between the vacuum gauges 112 and 122 and the vacuum forming apparatus may be formed by an electrical connection between the vacuum gauges 112 and 122 and the circulation pump 132.
상기 순환수 저장조(130)에는 내부에 물을 보충하기 위해 물공급부(104)와 순환수공급 배관(105)이 연결되어 있다. 또한, 상기 순환수 저장조(130)의 상부에는 상기 폐가스 정화장치(140)와 연통하는 폐가스 배출 배관(106)이 연결되어 있다.The water supply unit 104 and the circulation water supply pipe 105 are connected to the circulation water storage tank 130 to replenish water therein. In addition, a waste gas discharge pipe 106 communicating with the waste gas purification device 140 is connected to an upper portion of the circulation water storage tank 130.
진공형성장치에 의하여 상기 폐액 저장조(110)(120)로부터 흡입된 기체에는 산성 폐액 또는 알칼리성 폐액으로부터 나온 폐가스가 포함되어 있을 수 있는데, 이러한 폐가스는 진공형성장치의 순환수와 함께 이송되어 상기 순환수 저장조(130)에 포집된다. 이러한 폐가스는 상기 폐가스 배출 배관(106)을 통하여 폐가스 정화장치(140)로 이송된 후 정화되어 외기로 배출된다. 상기 폐가스 배출 배관(106)에는 폐가스를 인출하여 상기 폐가스 정화장치(140)측으로 송출하기 위한 배기팬(107)이 구비될 수 있다.The gas sucked from the waste liquid storage tanks 110 and 120 by the vacuum forming apparatus may include waste gas from an acidic waste liquid or an alkaline waste liquid, and the waste gas is transferred together with the circulating water of the vacuum forming apparatus to be circulated. It is collected in the reservoir 130. The waste gas is transferred to the waste gas purification device 140 through the waste gas discharge pipe 106, and then purified and discharged to the outside air. The waste gas discharge pipe 106 may be provided with an exhaust fan 107 for extracting the waste gas to be sent to the waste gas purification device 140 side.
구체적인 실시예로서 상기 폐가스 정화장치(140)는, 내부에 제올라이트 및/또는 활성탄으로 이루어진 여과재가 충진된 직립 원통형 구조로 구성되어 폐가스가 상향류를 이루어 상기 여과재를 통과하면서 유해 물질이 여과, 흡착되므로써 정화되도록 하는 구조로 구성할 수 있다.As a specific embodiment, the waste gas purification device 140 has an upright cylindrical structure in which a filter material made of zeolite and / or activated carbon is filled therein, so that the waste gas flows upward to pass through the filter material, thereby filtering and adsorbing harmful substances. It can be configured as a structure to be purified.
또한, 상기 순환수 저장조(130)에는 저장된 물의 수위를 감지하는 수위계(134)와, 물의 온도를 측정하기 위한 온도센서(135)와, 상기 물공급부(104)로부터 운반되는 물의 공급을 제어하기 위한 급수용 온/오프 자동밸브(136)와, 저장조 내의 물을 배출하기 위한 배수용 온/오프 자동밸브(137)가 구비된다.In addition, the circulating water storage tank 130 has a water level meter 134 for detecting the water level of the stored water, a temperature sensor 135 for measuring the temperature of the water, and for controlling the supply of water carried from the water supply unit 104. A water supply on / off automatic valve 136 and a water drain on / off automatic valve 137 for discharging the water in the reservoir are provided.
상기 온도센서(135)는 순환수 저장조(130) 내의 수온을 측정하게 되는데, 측정된 수온이 설정치를 초과할 경우, 상기 배수용 온/오프 자동밸브(137)가 개방되어 순환수 저장조(130) 내의 물을 자동 배출시키게 되는 한편, 상기 급수용 온/오프 자동밸브(136)는 물공급부(104)로부터 공급되는 물을 자동 보충하여 순환수 저장조(130)를 채우게 된다. 수위계(134)도 순환수 저장조(130) 내의 순환수 수위를 측정하여, 상기 온도센서(135)와 마찬가지로 배수용 온/오프 자동밸브(137)와 급수용 온/오프 자동밸브(136)를 제어하여 순환수의 수위를 조절한다.The temperature sensor 135 measures the water temperature in the circulating water storage tank 130. When the measured water temperature exceeds a set value, the on / off automatic valve for drainage is opened to open the circulating water storage tank 130. While the water is automatically discharged, the on / off automatic valve for water supply 136 automatically replenishes the water supplied from the water supply unit 104 to fill the circulation water storage tank 130. The water level meter 134 also measures the circulating water level in the circulating water storage tank 130 to control the on / off automatic valve 137 for drainage and the on / off automatic valve for water supply like the temperature sensor 135. To adjust the level of the circulating water.
다음에서는 위와 같은 구성을 갖는 도 1의 폐액 수거 및 저장 장치(100)의 작동과정에 대하여 설명한다.Next, the operation of the waste liquid collection and storage device 100 of FIG. 1 having the above configuration will be described.
우선 진공형성장치는 다음과 같은 과정을 통하여 폐액 저장조(110)(120) 내부를 진공상태로 만든다. 상기 순환펌프(132)의 작동에 의해 순환수 저장조(130)내의 순화수가 순환수 배관(131)을 따라 강제 순환하게 되고 이 순환수는 이젝터(133)를 통과하게 되는데, 이때 상기 이젝터(133) 내부에서는 직경차이로 인한 압력차가 발생하고(벤츄리 원리), 이로 인해 상기 진공배관(103)을 통해 상기 폐액 저장조(110)(120) 내의 기체가 배출되어 상기 폐액 저장조(110)(120)에는 진공이 형성된다.First, the vacuum forming apparatus makes the interior of the waste liquid storage tanks 110 and 120 into a vacuum state through the following process. By the operation of the circulation pump 132, the purified water in the circulation water storage tank 130 is forced to circulate along the circulation water pipe 131, and the circulation water passes through the ejector 133, wherein the ejector 133 There is a pressure difference due to the diameter difference inside (venturi principle), due to which the gas in the waste liquid reservoir 110, 120 through the vacuum pipe 103 is discharged to the waste liquid reservoir 110, 120 Is formed.
이와 같이 폐액 저장조(110)(120) 내부가 진공을 이루고 있으므로, 상기 폐액발생처에 구비된 폐액 배수구(미도시)에 폐액이 투입되면, 폐액 저장조(110)(120) 내의 진공 상태에 의한 흡입력에 의하여 상기 폐액이 빨아들여져 각각 상기 폐액 수집관(101)(102)을 통하여 신속하게 이송되어 각각의 폐액 저장조(110)(120)로 수집된다. 따라서, 본 발명의 장치에서는 순환펌프(132)가 폐액과 직접 접촉하지 않으므로 순환펌프(132)의 내구성이 향상된다.As such, since the waste liquid storage tanks 110 and 120 have a vacuum inside, when the waste liquid is introduced into the waste liquid drainage port (not shown) provided at the waste liquid generating place, the suction force by the vacuum state in the waste liquid storage tanks 110 and 120 is applied. By the waste liquid is sucked by each of the waste liquid collection pipe 101, 102 is quickly transferred to each of the waste liquid storage tank 110, 120 is collected. Therefore, in the apparatus of the present invention, since the circulation pump 132 does not directly contact the waste liquid, the durability of the circulation pump 132 is improved.
반복된 폐액 투입 과정에서 공기도 함께 빨아들여져서 상기 폐액 수집관(101)(102)으로 공기가 유입되거나 또는 수집된 폐액으로부터 폐가스가 발생하게 되면 폐액 저장조(110)(120) 내부의 진공도가 저하되는데, 진공계(112)(122)는 폐액 저장조(110)(120) 내부의 진공도가 소정 설정치 미만이 되면 상기 진공배관 개폐밸브(113)(123) 및 상기 진공형성장치를 작동시켜 위의 진공형성과정을 수행하므로써 폐액 저장조(110)(120) 내부를 다시 진공상태로 만들게 된다.In the repeated waste liquid input process, the air is also sucked together, and when the air flows into the waste liquid collection pipes 101 and 102 or waste gas is generated from the collected waste liquid, the degree of vacuum inside the waste liquid storage tank 110 and 120 decreases. The vacuum gauges 112 and 122 operate the vacuum pipe opening / closing valves 113 and 123 and the vacuum forming apparatus when the degree of vacuum inside the waste liquid storage tank 110 and 120 is lower than a predetermined set value. By performing the process, the inside of the waste liquid storage tanks 110 and 120 is made into a vacuum again.
한편, 상기 폐액 저장조(110)(120) 내부를 진공으로 만드는 과정에서 폐액으로부터 발생된 폐가스도 함께 진공배관(103)을 통하여 흡입되어, 이젝터(133)와 순환수 배관(131)을 흐르는 순환수에 흡착되어 상기 순환수 저장조(130)로 유입된다. 상기 순환수 저장조(130)내에 포집된 폐가스는 배기팬(107)에 의해 송출되어 폐가스 정화장치(140)에서 정화된 후, 외기로 배출된다.Meanwhile, the waste gas generated from the waste liquid in the process of making the waste liquid storage tanks 110 and 120 into a vacuum is also sucked through the vacuum pipe 103, and the circulating water flowing through the ejector 133 and the circulating water pipe 131. Adsorbed to the circulating water storage tank 130 is introduced. The waste gas collected in the circulating water storage tank 130 is sent out by the exhaust fan 107 to be purified by the waste gas purification device 140 and then discharged to the outside air.
이때, 산성 폐액 저장조(110)와 알칼리성 폐액 저장조(120)로부터 유입되는 폐가스는 결국 순환수 저장조(130)에서 서로 혼합되므로써 다소 중화된다. 위의실시예에서는 폐액 수거 및 저장 장치(100)가 산성 폐액 저장조(110)와 알칼리성 폐액 저장조(120)를 모두 구비한 것으로 설명하였으나, 필요에 따라서는 두 저장조 중 어느 하나만을 구비하여 한가지의 폐액만을 수거, 저장할 수 있도록 구성할 수도 있다.At this time, the waste gas flowing from the acidic waste liquid storage tank 110 and the alkaline waste liquid storage tank 120 is eventually neutralized by being mixed with each other in the circulating water storage tank 130. In the above embodiment, the waste liquid collection and storage device 100 has been described as having both an acidic waste liquid storage tank 110 and an alkaline waste liquid storage tank 120, but if necessary, only one of the two storage tanks are provided with one waste liquid. It can also be configured to collect and store bays.
다음에서는 도 2의 계통도를 참조하여, 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 또다른 일례로서, 유기용제 폐액을 수거하고 저장하기에 적합한 장치의 구성을 설명한다. 도 2에 도시된 실시예는, 도 1에 도시된 실시예와 폐액 저장조의 내부를 진공으로 만들기 위한 진공형성장치의 구성만이 상이할 뿐 그 외의 구성은 실질적으로 동일하다.Next, referring to the schematic diagram of FIG. 2, as another example of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, a configuration of an apparatus suitable for collecting and storing the organic solvent waste liquid will be described. The embodiment shown in FIG. 2 differs from the embodiment shown in FIG. 1 only in the configuration of the vacuum forming apparatus for making the interior of the waste liquid reservoir into a vacuum, and the rest of the configuration is substantially the same.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 유기용제 폐액 수거 및 저장 장치(200)는 유기용제 폐액을 수거하여 저장하는 폐액 저장조(210)(220)와, 상기 유기용제 폐액 저장조(210)(220)내에 진공을 형성하기 위한 진공펌프(230)와, 상기 진공펌프(230)와 연동하여 순환하는 씰링워터가 저장된 씰링워터 저장조(240)와, 상기 유기용제 폐액 저장조(210)(220)내의 유기용제 폐액에 의해 발생된 폐가스를 정화하여 외기로 배출시키기 위한 폐가스 정화장치(250)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the organic solvent waste liquid collection and storage device 200 includes waste liquid storage tanks 210 and 220 for collecting and storing the organic solvent waste liquid, and the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220. A vacuum pump 230 for forming a vacuum, a sealing water storage tank 240 in which a sealing water circulating in cooperation with the vacuum pump 230 is stored, and organic solvent waste liquid in the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220. Waste gas purification device 250 for purifying the waste gas generated by the discharge to the outside.
상기 유기용제 폐액 저장조(210)(220)는 각각 할로겐족 유기용제 폐액을 수거 및 저장하는 저장조(210)와 비할로겐족 유기용제 폐액을 수거 및 저장하는 저장조(220)로 구분되는 것이 바람직한데, 각각의 유기용제 폐액 저장조(210)(220)는 할로겐족과 비할로겐족으로 구분하여 설치된 폐액 수집관(201)(202)을 통하여 유기용제 폐액발생처로부터 배출되는 유기용제 폐액을 저장조(210)(220) 내부의 진공 상태에 의한 흡입력에 의하여 빨아들여 신속하게 이송시키므로서 저장조(210)(220)로 수거하여 저장한다.The organic solvent waste solution storage tanks 210 and 220 are preferably divided into a storage tank 210 for collecting and storing a halogen group organic solvent waste solution and a storage tank 220 for collecting and storing a non-halogen group organic waste solution, respectively. The organic solvent waste solution storage tanks 210 and 220 store the organic solvent waste liquid discharged from the organic solvent waste solution source through the waste liquid collection pipes 201 and 202 installed separately from halogen and non-halogen groups. It is collected and stored in the storage tanks 210 and 220 while being sucked by the suction force by the vacuum state and quickly transferred.
상기 각 폐액 저장조(210)(220)에는 유기용제 폐액의 수위를 측정하는 수위계(211)(221)와, 상기 각 폐액 저장조(210)(220)내의 진공도를 감지하는 진공계(212)(222)와, 상기 저장된 유기용제 폐액을 배출하기 위한 드레인부(213)(223)가 각각 구비된다.Each of the waste liquid storage tanks 210 and 220 has a water level gauge 211 and 221 for measuring the level of the organic solvent waste liquid, and a vacuum gauge 212 and 222 for detecting the degree of vacuum in the waste liquid storage tanks 210 and 220. And drain portions 213 and 223 for discharging the stored organic solvent waste liquid, respectively.
상기 유기용제 폐액 저장조(210)(220)에 구비된 상기 수위계(211)(221) 및 드레인부(213)(223)에 대한 사항은 앞서 살펴본 산성 및/또는 알칼리성 폐액 저장조(110)(120)에 구비된 수위계(111)(121) 및 드레인부(114)(124)와 동일하므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다.Details of the water level gauges 211, 221 and the drain portions 213, 223 provided in the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220 are described above in the acid and / or alkaline waste liquid storage tanks 110 and 120. It is the same as the water level meter 111, 121 and drain portion 114, 124 provided in the repeated description thereof will be omitted.
상기 진공계(212)(222)는 유기용제 폐액 저장조(210)(220) 내부의 진공도가 소정 설정치 미만이 되면 후술할 진공형성장치를 자동으로 작동시키고, 소정 설정치 이상이 되면 진공형성장치를 자동으로 정지시킨다.The vacuum gauges 212 and 222 automatically operate a vacuum forming apparatus to be described later when the degree of vacuum inside the organic solvent waste liquid storage tank 210 and 220 is lower than a predetermined set value, and automatically operates the vacuum forming apparatus when the vacuum level becomes higher than a predetermined set value. Stop it.
유기용제 폐액 수거 및 저장 장치(200)에 구비된 진공형성장치에는, 상기 수봉식 진공펌프(230)가 구비된다. 도 2에 도시된 실시예에서는 유기용제 폐액을 수거 및 저장하게 되므로 장치의 부식의 우려가 산성 및/또는 알칼리성 폐액의 수거 및 저장에 비하여 상대적으로 적으므로, 진공형성장치를 진공펌프(230)로 구성하여도 무방하다. 상기 진공펌프(230)는 유기용제 폐액 저장조(210)(220)와 진공배관(203)을 통하여 연결되어 펌프 작용에 의하여 유기용제 폐액저장조(210)(220) 내부의 공기를 흡입하므로써 유기용제 폐액 저장조(210)(220) 내부를 지속적으로 진공상태로 만든다. 상기 진공펌프(230)는 수봉식 펌프로서, 작동시 씰링워터가 씰링워터 배관(241)을 통하여 씰링워터 저장조(Sealing Water Tank)(240)와 진공펌프(230) 사이를 순환한다.The vacuum forming apparatus provided in the organic solvent waste liquid collection and storage device 200 is provided with the water-sealed vacuum pump 230. In the embodiment shown in FIG. 2, since the organic solvent waste liquid is collected and stored, the risk of corrosion of the apparatus is relatively less than that of the acid and / or alkaline waste liquid collected and stored, so that the vacuum forming apparatus is replaced with the vacuum pump 230. It may be configured. The vacuum pump 230 is connected through the organic solvent waste liquid storage tank 210, 220 and the vacuum pipe 203, the organic solvent waste liquid by sucking the air in the organic solvent waste liquid storage tank 210, 220 by the pump action The interior of the reservoirs 210 and 220 is continuously vacuumed. The vacuum pump 230 is a water-sealed pump, and the sealing water circulates between the sealing water tank 240 and the vacuum pump 230 through the sealing water pipe 241 during operation.
상기 유기용제 폐액 저장조(210)(220)와 씰링워터 저장조(240)는 내부에 물을 보충하기 위해 물공급부(204)와 물공급 배관(205)으로 각각 연결되고, 상기 씰링워터 저장조(240)는 폐가스 정화장치(250)와 폐가스 배관(206)으로 연결된다. 유기용제 폐액 저장조(210)(220)를 진공으로 만드는 과정에서 상기 진공펌프(230)를 통하여 상기 씰링워터 저장조(240)로 유입된 폐가스(폐액에서 발생된 가스)는 상기 폐가스 배관(206)을 통하여 폐가스 정화장치(250)로 전송되어 정화처리된 후 외기로 배기된다.The organic solvent waste liquid reservoir 210 and 220 and the sealing water reservoir 240 are connected to the water supply unit 204 and the water supply pipe 205 to replenish water therein, respectively, and the sealing water reservoir 240 The waste gas purification device 250 and the waste gas pipe 206 is connected. Waste gas (gas generated from the waste liquid) introduced into the sealing water storage tank 240 through the vacuum pump 230 in the process of making the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220 into a vacuum forms the waste gas pipe 206. It is sent to the waste gas purification apparatus 250 through the purification process is exhausted to the outside air.
상기 폐가스 정화장치(250)의 구성은 앞서 설명한 산성 또는 알칼리성 폐액 저장조(110)(120)에 구비된 폐가스 정화장치(140)와 동일하므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다. 또한, 상기 씰링워터 저장조(240)에도 산성 또는 알칼리성 폐액 저장조(110)(120)에 구비된 순환수 저장조(130)와 마찬가지로 수위계, 온도센서, 급수용 온/오프 자동밸브, 배수용 온/오프 자동밸브가 구비될 수 있다. 이에 대한 반복 설명은 생략한다.Since the configuration of the waste gas purification device 250 is the same as the waste gas purification device 140 provided in the acidic or alkaline waste liquid storage tank 110 and 120 described above, repeated description thereof will be omitted. In addition, the sealing water storage tank 240, like the circulating water storage tank 130 provided in the acid or alkaline waste liquid storage tank 110, 120, water level meter, temperature sensor, water supply on / off automatic valve, drain on / off An automatic valve may be provided. Repeated description thereof will be omitted.
다음에서는 위와 같은 구성을 갖는 도 2의 유기용제 폐액 수거 및 저장 장치(200)의 작동과정에 대하여 설명한다. 진공펌프(230)가 작동하여 유기용제 폐액 저장조(210)(220) 내부의 공기가 진공배관(203)을 통하여 흡입되므로써 유기용제 폐액 저장조(210)(220)의 내부가 진공상태로 된다. 이때 씰링워터 저장조(240) 내의 씰링워터가 씰링워터 배관(241)을 통해 순환한다.Next, an operation process of the organic solvent waste liquid collection and storage device 200 of FIG. 2 having the above configuration will be described. The vacuum pump 230 operates to allow the air in the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220 to be sucked through the vacuum pipe 203 so that the inside of the organic solvent waste liquid storage tanks 210 and 220 is in a vacuum state. At this time, the sealing water in the sealing water reservoir 240 circulates through the sealing water pipe 241.
진공펌프(230)의 작동으로 유기용제 폐액 저장조(210)(220) 내부가 진공을 이루고 있으므로, 상기 폐액발생처로 폐액이 투입되면 진공에 의한 흡입력에 의하여 상기 폐액이 빨아들여져 각각 폐액 수집관(201)(202)을 통하여 신속하게 이송되어 각각의 유기용제 폐액 저장조(210)(220)로 수집된다.Since the inside of the organic solvent waste liquid storage tank 210 and 220 is vacuumed by the operation of the vacuum pump 230, when the waste liquid is introduced into the waste liquid generating place, the waste liquid is sucked by suction force by vacuum, respectively, and the waste liquid collection pipe 201 is used. 202 is quickly conveyed and collected into each organic solvent waste solution reservoir 210 (220).
반복된 폐액 투입 과정에서 공기도 함께 빨아들여져서 상기 폐액 수집관(201)(202)으로 공기가 유입되거나 또는 수집된 폐액으로부터 폐가스가 발생하게 되면 폐액 저장조(210)(220) 내부의 진공도가 저하되는데, 진공계(212)(222)는 폐액 저장조(210)(220) 내부의 진공도가 소정 설정치 미만이 되면 상기 진공펌프(230)를 작동시켜 위의 진공형성과정을 수행하므로써 폐액 저장조(210)(220) 내부를 다시 진공상태로 만들게 된다.In the repeated waste solution input process, the air is also sucked together, and when the air flows into the waste liquid collection tubes 201 and 202 or waste gas is generated from the collected waste liquid, the degree of vacuum inside the waste liquid storage tanks 210 and 220 decreases. The vacuum gauges 212 and 222 operate the vacuum pump 230 when the degree of vacuum inside the waste liquid reservoir 210 and 220 is less than a predetermined set value, thereby performing the above vacuum forming process. 220) The inside is vacuumed again.
한편, 상기 폐액 저장조(210)(220) 내부를 진공으로 만드는 과정에서 폐액으로부터 발생된 폐가스도 함께 진공배관(203)을 통하여 흡입되어, 진공펌프(230)로 이송되는데, 폐가스는 씰링워터 저장조(240)와 진공펌프(230) 사이를 순환하는 씰링워터에 흡착되어 상기 씰링워터 저장조(240)로 유입된다. 상기 씰링워터 저장조(240)내에 포집된 폐가스는 폐가스 배관(206)을 통하여 폐가스 정화장치(250)로 이송되고 그곳에서 정화된 후, 외기로 배출된다. 위의 장치(200)에서는 유기용제 폐액을 할로겐족과 비할로겐족으로 구분하여 각각에 대한 저장조(210)(220)를 별도로 구비하는 것으로 설명하였으나, 필요에 따라서는 할로겐족 또는 비할로겐족 어느 한 종류의 폐액을 수거, 저장하는 장치로 구성할 수도 있다.Meanwhile, the waste gas generated from the waste liquid in the process of making the inside of the waste liquid storage tanks 210 and 220 is also sucked through the vacuum pipe 203 and transferred to the vacuum pump 230, and the waste gas is sealed water storage tank ( Adsorbed by the sealing water circulating between the 240 and the vacuum pump 230 is introduced into the sealing water reservoir (240). The waste gas collected in the sealing water reservoir 240 is transferred to the waste gas purification device 250 through the waste gas pipe 206 and is purified there, and then discharged to the outside air. In the device 200 described above, the organic solvent waste solution is divided into halogen and non-halogen groups, and the storage tanks 210 and 220 for each are separately provided. However, if necessary, the waste solution of either halogen or non-halogen groups may be used. It can also be configured as a collection and storage device.
한편, 이상에서는 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 실시예로서 산성 또는 알칼리성 폐액 수거 및 저장 장치(도 1)와, 유기용제 폐액 수거 및 저장 장치(도 2)에 대하여 별도로 설명하였으나, 이들 장치를 도 3에 도시된 바와 같이 하나의 시스템으로 결합하여 구성할 수도 있다.On the other hand, in the above with reference to Figures 1 and 2 as an embodiment of the waste liquid collection and storage device according to the present invention, the acid or alkaline waste liquid collection and storage device (Fig. 1), and the organic solvent waste liquid collection and storage device (Fig. 2) As described separately, these devices may be combined into one system as shown in FIG. 3.
즉, 도 3에 도시된 실시예와 같이, 앞서 설명한 구성의 산성 또는 알칼리성 폐액 수거 및 저장 장치와, 유기용제 폐액 수거 및 저장 장치가 하나의 시스템으로 결합되어 있는 폐액 수거 및 저장 장치로 구성할 수도 있는 것이다. 도 3에 도시된 실시예에 대한 내용은 앞서 설명한 내용과 중복되므로 이에 대한 설명은 생략한다.That is, as in the embodiment shown in Figure 3, the acid or alkaline waste liquid collection and storage device of the above-described configuration, and the organic solvent waste liquid collection and storage device may be composed of a waste liquid collection and storage device combined in one system It is. Since the details of the embodiment illustrated in FIG. 3 overlap with those described above, description thereof will be omitted.
다음에서는 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 실제 사용 모델의 구체적인 제원에 대하여 설명한다.Next, specific specifications of the actual use model of the waste liquid collection and storage device according to the present invention will be described.
우선, 상기 폐액 저장조(110)(120)는 직립 원통형의 밀폐구조로 이루어질 수 있는데, 통상 카본 스틸(제품명 : SS400), 스테인레스 스틸(제품명 : SUS 304), 카본 스틸(제품명 : SS400)에 폴리테트라 플루오르 에틸렌(PTFE :PolyTetraFluoro Ethylene)을 코팅한 재질 등으로 구성될 수 있다. 산성 폐액(염산, 황산, 초산, 불산 등)에 대한 내식성을 고려할 때 카본 스틸(제품명 : SS400)에 폴리테트라 플루오르 에틸렌(PTFE)을 코팅한 재질이 모든 산성 폐액에 대해 사용가능하고 내식성도 양호하므로, 산성 폐액 저장조(110)는 카본 스틸(제품명 : SS400)에 폴리테트라 플루오르 에틸렌을 코팅한 구성의 라이닝 저장조로 구성하는 것이 바람직하다. 한편, 알칼리성 폐액(수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨 등)에 대한 내식성을 고려할 때 스테인레스 스틸(제품명:SUS 304)의 재질이 상기 모든 알칼리성 폐액에 대해 사용가능하고 내식성도 양호하므로, 알칼리성 폐액 저장조(120)는 스테인레스 스틸(제품명:SUS 304) 재질의 저장조로 구성하는 것이 바람직하다. 유기용제 폐액 저장조(210)(220)는 직립 원통형의 밀폐구조로 이루어지되, 재질은 내식성을 가진 스테인레스 스틸(제품명:SUS 304)로 구성되는 것이 바람직하다.First, the waste liquid storage tank 110, 120 may be made of an upright cylindrical sealed structure, usually carbon steel (product name: SS400), stainless steel (product name: SUS 304), carbon steel (product name: SS400) polytetra It may be composed of a material coated with fluoroethylene (PTFE: PolyTetraFluoro Ethylene). Considering corrosion resistance to acidic waste liquids (hydrochloric acid, sulfuric acid, acetic acid, hydrofluoric acid, etc.), the material coated with polytetrafluoroethylene (PTFE) on carbon steel (product name: SS400) can be used for all acidic waste liquids and has good corrosion resistance. , Acidic waste liquid storage tank 110 is preferably composed of a lining storage tank of a polytetrafluoroethylene coated on carbon steel (product name: SS400). On the other hand, considering the corrosion resistance of alkaline waste liquids (sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, etc.), since the material of stainless steel (product name: SUS 304) can be used for all the alkaline waste liquids and the corrosion resistance is good, the alkaline waste liquid storage tank 120 ) Is preferably a reservoir made of stainless steel (product name: SUS 304). Organic solvent waste liquid storage tank 210, 220 is made of an upright cylindrical closed structure, the material is preferably made of stainless steel (product name: SUS 304) having corrosion resistance.
폴리테트라 플루오르 에틸렌(PTFE) 또는 PFA(PerFluoroAlkoxy) 튜브는 내열성이 뛰어나 230℃까지 견딜 수 있어 고온에서 사용이 가능하고, 배관으로 사용시 시공성이 양호하며, 용접 또는 부속품에 의한 접합 등이 필요없이 하나의 관으로 구성될 수 있을 뿐만 아니라, 내식성도 높고 제작 및 설치비용이 저렴하므로 폐액을 이송하는 배관은 폴리테트라 플루오르 에틸렌(PTFE) 또는 PFA(PerFluoroAlkoxy) 튜브로 구성하는 것이 바람직하다.Polytetrafluoroethylene (PTFE) or PFA (PerFluoroAlkoxy) tubes are excellent in heat resistance and can withstand temperatures up to 230 ° C, so they can be used at high temperatures, workability is good when used as piping, and there is no need for welding or joining by accessories. Not only can it be configured as a pipe, but also high corrosion resistance and low manufacturing and installation costs, the pipe for transporting the waste liquid is preferably composed of polytetrafluoroethylene (PTFE) or PFA (PerFluoroAlkoxy) tube.
또한, 본 발명의 폐액 수거 및 저장 장치에서는 배관 내부를 따라 유동하는 폐액의 유속은 공기와 폐액이 같이 이송되는 특성을 고려하여 펌프 토출측과 동일한 2.5m/sec를 기준으로 하되, 펌프 흡입측의 유속은 1.0-2.5m/sec로 하고, 펌프 배출측의 유속은 1.8-3.5m/sec로 하며, 쿨링워터 흡입측의 유속은 0.6-1.5m/sec로 하고, 쿨링워터 배출측의 유속은 0.9-2.5m/sec로 하고, 압축공기의 유속은 11-23m/sec를 유지하도록 배관의 치수를 정하는 것이 바람직하다.In addition, in the waste liquid collection and storage device of the present invention, the flow rate of the waste liquid flowing along the inside of the pipe is based on the same 2.5 m / sec as the pump discharge side in consideration of the characteristics that the air and the waste liquid is transferred together, the flow rate of the pump suction side Is 1.0-2.5 m / sec, the flow rate of the pump discharge side is 1.8-3.5 m / sec, the flow rate of the cooling water suction side is 0.6-1.5 m / sec, and the flow rate of the cooling water discharge side is 0.9- It is preferable to set the size of the pipe so as to be 2.5 m / sec and maintain the flow rate of compressed air at 11-23 m / sec.
상기와 같은 유속을 유지하도록 하는 배관의 치수는 아래와 같은 달시(Darcy's)의 공식에 의해 산정할 수 있다.The size of the pipe to maintain the flow rate as described above can be calculated by the Darcy's formula as follows.
여기서, A는 배관의 단면적(㎡), B는 유량(barrel/hr), d는 배관내경(㎜), q는 유량(㎥/sec), Q는 유량(ℓ/min), w는 유량(㎏/sec), W는 유량(㎏/hr), v는 유속(m/sec), V는 유체비중(㎥/㎏)이다.Where A is the cross-sectional area of the pipe (m 2), B is the flow rate (barrel / hr), d is the pipe internal diameter (mm), q is the flow rate (m 3 / sec), Q is the flow rate (l / min), and w is the flow rate ( Kg / sec), W is the flow rate (kg / hr), v is the flow rate (m / sec), and V is the fluid specific gravity (m 3 / kg).
순환수 저장조(130)는 직립 원통형의 밀폐구조로 구성할 수 있으며, 폐가스에 의한 부식을 방지하기 위하여 카본 스틸(제품명 : SS400)에 폴리테트라 플루오르 에틸렌을 코팅한 구성의 라이닝 저장조로 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 폐액 및 폐가스에 의한 부식을 방지하기 위해서 상기 이젝터(133)는 재질이 스테인레스 스틸(제품명:SUS304)에 폴리테트라 플루오르 에틸렌을 코팅한 구성으로 제작되는 것이 바람직하다.The circulating water storage tank 130 may be configured as an upright cylindrical sealed structure, and is preferably composed of a lining storage tank having a polytetrafluoroethylene coated on carbon steel (product name: SS400) in order to prevent corrosion by waste gas. Do. In addition, in order to prevent corrosion by waste liquid and waste gas, the ejector 133 is preferably made of a material in which polytetrafluoroethylene is coated on stainless steel (product name: SUS304).
순환펌프(132)로는 형식은 수평 원심분리형을 사용하고 재질은 STS 316으로이루어진 것을 사용하는 것이 바람직하다.As the circulation pump 132, it is preferable to use a horizontal centrifugal type and a material made of STS 316.
배기팬(107)은 터보 팬 형식으로 되어 있고 재질은 SS400으로 이루어진 것을 사용하는 것이 바람직하다.Exhaust fan 107 is a turbo fan type and the material is preferably made of SS400.
진공펌프(230)는 GC 200 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 폐가스 정화장치(140)(250)는 직립원통형의 밀폐구조로 이루어지며 그 재질은 SS 400으로 구성되는 것이 바람직하다. 폐가스 정화장치(140)(250)의 내부에는 제올라이트(ZEOLITE) 및/또는 활성탄으로 이루어진 여과재가 충진되며, 구체적인 형상은 상부 및 하부 맨홀, 측부 맨홀, 사이트 글라스(Sight Glass), 여과재층으로 구성할 수 있다. 충분한 양의 여과재를 사용하면 여과재 교체주기를 장기화할 수 있다.The vacuum pump 230 is preferably made of GC 200 material. Waste gas purification device 140, 250 is made of an upright cylindrical sealed structure and the material is preferably composed of SS 400. The waste gas purifier 140 or 250 is filled with a filter material made of zeolite and / or activated carbon, and a specific shape may include upper and lower manholes, side manholes, sight glass, and filter layer. Can be. Using enough filter media can prolong the filter replacement cycle.
위에서 본 발명에 따른 폐액 수거 및 저장 장치의 구체적인 설계 사양에 대하여 살펴보았으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.Although a specific design specification of the waste liquid collection and storage device according to the present invention has been described above, the present invention is not limited thereto.
이와 같이, 본 발명은 폐액발생처로부터 배출되는 각종 폐액을 저장조의 진공상태를 이용하여 강제 흡입하여 이송하므로써 더욱 신속하고 안전하게 폐액을 수거하여 저장할 수 있게 된다.As described above, the present invention can collect and store waste liquids more quickly and safely by forcibly sucking and transferring various waste liquids discharged from the waste liquid generator using the vacuum state of the storage tank.
또한, 본 발명에 따르면 폐액이 진공에 의해 강제로 흡입되므로 폐액이 이송되는 배관 내부에 체류하지 않게 된다. 특히, 그 구체적인 설계예에 있어서는 배관의 표면이 폐액의 잔류를 저지하는 재질로 만들어져 있어 폐액이 배관의 내부 표면에 남아 있지 않게 된다. 이러한 효과는 반도체 제조용 크린룸에 있어서 매우 획기적인 유용성을 가진다. 반도체 제조용 크린룸의 경우 폐액이 배관 내부에 체류하게 되면 그에 따른 크린룸에 대한 악영향이 매우 지대하나, 본 발명에서는 위와 같이 폐액이 배관 내부에서 체류하지 않게 되므로 위와 같은 반도체 제조용 크린룸에서의 문제점을 해소할 수 있기 때문이다.Further, according to the present invention, the waste liquid is forcibly sucked by the vacuum so that the waste liquid does not stay inside the pipe to which the waste liquid is transferred. In particular, in the specific design example, the surface of the pipe is made of a material which prevents the remaining of the waste liquid so that the waste liquid does not remain on the inner surface of the pipe. This effect is very useful in the clean room for semiconductor manufacturing. In the case of a clean room for semiconductor manufacturing, if the waste liquid stays inside the pipe, the adverse effect on the clean room is very great. However, in the present invention, the waste liquid does not stay inside the pipe as described above. Because there is.
그 뿐만 아니라, 본 발명에 따르면 배관 내에서 폐액이 역류하거나 가스발생의 염려가 없어 반응열 또는 가스 등에 의한 설비손상을 미연에 방지할 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, there is no fear of backflow of waste liquid in the pipe or generation of gas, and thus it is possible to prevent equipment damage due to reaction heat or gas.
또한, 본 발명에서는 폐액이 진공에 의하여 흡입되므로, 폐액이 이송되는 배관의 크기를 종래의 자연유하방식에 비하여 획기적으로 축소할 수 있으며, 그에 따라 배관의 설치 등 전체 장치의 설치에 소요되는 비용을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.In addition, in the present invention, the waste liquid is sucked by the vacuum, it is possible to significantly reduce the size of the pipe to which the waste liquid is transported compared to the conventional natural flow method, thereby reducing the cost required for the installation of the entire device, such as the installation of the pipe It can be greatly reduced.
특히, 본 발명에서는 산성 또는 알칼리성 폐액의 수거 및 저장시 진공을 형성하는 진공형성장치로서, 벤츄리 원리가 적용되는 벤츄리 구조의 이젝터와 순환수 펌프를 사용하므써, 산성 또는 알칼리성 폐액의 직접적인 접촉으로 인한 진공형성장치의 내구성 저하를 획기적으로 방지할 수 있게 된다.In particular, in the present invention, as a vacuum forming apparatus for forming a vacuum during the collection and storage of the acidic or alkaline waste liquid, by using a venturi structure ejector and a circulating water pump to which the Venturi principle is applied, due to the direct contact of the acidic or alkaline waste liquid. It is possible to drastically prevent deterioration in durability of the vacuum forming apparatus.
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