KR100404369B1 - Electroless Nickel Plating Solution and Method - Google Patents
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Abstract
수용성 니켈염, 환원제 및 착화제로 이루어진 무전해 니켈도금용액에 S-S결합을 갖는 화합물, 예컨대 티오황산염, 디티온산염, 폴리티온산염 및 아디티온산염을 첨가한다. 또한 본 발명은 무전해 니켈도금 욕에 워크피스를 침지하여 워크피스상에 니켈피막을 화학적으로 부착하는 단계 및 무전해 금도금 욕에 니켈도금된 워크피스를 침지하여, 워크피스상에 금피막을 화학적으로 부착하는 단계로 이루어진 하이빌드 무전해 금도금 방법을 제공한다.To an electroless nickel plating solution consisting of a water soluble nickel salt, a reducing agent and a complexing agent is added a compound having an S-S bond such as thiosulfate, dithiate, polythiate and addiate. The present invention also provides a method of chemically attaching a nickel film onto a workpiece by immersing the workpiece in an electroless nickel plating bath and immersing the nickel plated workpiece in the electroless gold plating bath, thereby chemically coating the gold film on the workpiece. It provides a high build electroless gold plating method consisting of attaching.
Description
발명의 배경Background of the Invention
발명의 분야Field of invention
본 발명은 개선된 파인 패턴화 능력(fine patterning capability)을 갖는 무전해 니켈도 금용액 및 워크피스상에 니켈피막을 화학적으로 부착시키는 방법에 관한 것이다. 또한 화학적으로 니켈도금된 워크피스상에 두꺼운 금피막을 화학적으로 부착시킬 수 있는 하이빌드(high-build) 금도금 방법에 관한 것으로, 방법은 산업적으로 프린트 배선기판 및 전자부품에 금피막을 형성하는데 이점이 있다.The present invention relates to an electroless nickel-plated gold solution with improved fine patterning capability and a method for chemically depositing a nickel film on a workpiece. The present invention also relates to a high-build gold plating method capable of chemically attaching a thick gold film on a chemically nickel-plated workpiece. The method is industrially advantageous for forming a gold film on printed wiring boards and electronic components. There is this.
종래기술Prior art
무전해 또는 화학적 니켈도금은 그것의 유익한 성질때문에 여러분야에서 활용되고 있다. 예컨대, 무전해 니켈도금은 전자제품에 폭넓게 적용되어 왔다. 그러나 무전해 니켈도금기술은 전자제품분야에서의 긴급한 요구에 대하여 충분히 뒤따라가지 못하였다.Electroless or chemical nickel plating is used in you field because of its beneficial properties. For example, electroless nickel plating has been widely applied to electronic products. However, electroless nickel plating technology has not kept up with the urgent demands in the electronics sector.
전자 제품에서의 중량감소에 대한 요구는 구성회로의 밀도의 증가를 촉진하여 더욱더 파인 회로패턴으로 된다. 종래의 무전해 도금용액이 이러한 파인패턴상에서의 도금에 사용될때 몇가지 문제가 발생한다. 감소된 라인폭은 도금이 얇은 어깨부(thin shoulder)를 갖는 문제를 발생시킨다. 좁은 패턴 피치는 도금돌출이나 아우트그로스(outgrowth) 및 도금브릿지(bridge)에 의한 단락화에 의한 라인 사이의 감소된 저항의 문제를 발생시킨다. "얇은 어깨부"란 용어는 도금이 단면에서 본 바와같이 회로러너(circuit runner)의 어깨부 상에 충분히 부착되지 않고 어깨부에서의 도금영역이 나머지 도금보다 현저하게 얇다는 것을 의미한다.The demand for weight reduction in electronic products promotes an increase in the density of constituent circuits, resulting in even finer circuit patterns. Several problems arise when conventional electroless plating solutions are used for plating on such fine patterns. Reduced line widths create a problem with plating having thin shoulders. Narrow pattern pitches create problems of reduced resistance between lines due to plating protrusions or outgrowth and shorting by the plating bridges. The term "thin shoulder" means that the plating is not sufficiently adhered on the shoulder of the circuit runner as seen in cross section and the plating area at the shoulder is significantly thinner than the rest of the plating.
이것은 아마도 안정제가 어깨부에 과도하게 부착되어 금속부착을 제한하기 때문이다. "도금아우트그로스"란 용어는 도금이 금속성 구리나 회로러너에서 돌출하고 피막이 회로러너 주위에 부착된 것을 의미한다. 이것은 아마도 팔라듐(작용자)처리후 회로러너 주위에 부착되어 남아있는 팔라듐이온이 무전해 니켈도금용액과 함께 촉매작용을 일으키는 금속성 팔라듐으로 환원하여 그위에 니켈의 부착을 돕기 때문이다.This is probably because the stabilizer is excessively attached to the shoulders to limit metal adhesion. The term "plated out-gross" means that the plating protrudes from metallic copper or circuit runners and the coating is attached around the circuit runners. This is probably because palladium ions, which remain attached to the circuit runner after palladium treatment, are reduced to metallic palladium that catalyzes with the electroless nickel plating solution to aid the deposition of nickel thereon.
또한, 무전해 금 도금은 금이 전기 전도성, 열압착 결합능력과 같은 물리적성질, 내산화성 및 내약품성을 포함하여 많은 잇점을 갖기 때문에 프린트 배선기판, 세라믹 IC패키지, ITO기판 및 IC카드와 같은 전자공업부품의 분야에 주로 사용된다. 프린트 배선 기판업계에서는 효율적인 방법으로 두꺼운 금피막을 화학적으로 부착시키는 것이 중요한 과제이다.In addition, electroless gold plating has many advantages such as physical properties such as electrical conductivity, thermocompression bonding ability, oxidation resistance, and chemical resistance, so that electronics such as printed wiring boards, ceramic IC packages, ITO substrates, and IC cards Mainly used in the field of industrial parts. In the printed wiring board industry, it is an important task to chemically attach a thick gold film in an efficient manner.
발명의 개요Summary of the Invention
본 발명의 목적은 패턴라인상의 얇은 어깨부와 니켈피막 아우트그로스의 문제를 극복하는 무전해 니켈도금용액 및 방법을 제공하여 파인패턴 선명도를 개선하는 것이다.An object of the present invention is to improve the fine pattern sharpness by providing an electroless nickel plating solution and method that overcomes the problems of thin shoulders on the pattern line and nickel coating outgrowth.
본 발명의 또다른 목적은 산업상으로 유익한 하이빌드 무전해 금도금 방법 즉 단시간에 두꺼운 금피막을 화학적으로 부착시키는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an industrially advantageous high build electroless gold plating method, that is, a method of chemically attaching a thick gold film in a short time.
본 발명자들은 무전해 니켈도금용액에 S-S결합 특히, 티오황산염, 디티온산염, 폴리티온산염이나 아디티온산염를 갖는 화합물을 첨가하여, 전혀 예기치 않게 얇은 어깨부 및 니켈 도금 아우트그로스의 문제를 극복할 수 있고, 브릿지에 의한 단락화의 문제가 제거되는 것을 발견하였다. 본 발명자들은 워크피스가 S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕에서 화학적 니켈도금되고 니켈도금된 워크피스에 추가로 화학적 금도금을 제공할때, 금도금이 실질적인 두께로 간단하게 부착될 수 있다는 것을 추가로 발견하였다.The present inventors have unexpectedly overcomed the problem of thin shoulders and nickel plated outgrowths by adding compounds with SS bonds, in particular thiosulfate, dithionate, polythiate or adithionate, to the electroless nickel plating solution. It has been found that the problem of short circuit caused by the bridge is eliminated. The inventors have found that when a workpiece provides additional chemical gold plating to a chemical nickel plated and nickel plated workpiece in an electroless nickel plating bath containing a compound having an SS bond, the gold plating can be simply attached to a substantial thickness. Was found further.
본 발명자들은 워크피스를 먼저 S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕에 침지하여 워크피스상에 니켈하부피막을 화학적으로 부착한 후, S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금욕에 침지하여 니켈하부피막상에 니켈피막을 화학적으로 부착하고, 이 중 니켈도금된 워크피스가 화학적 금도금에 추가로 제공될때, 금 피막을 실질적인 두께로 간단히 부착할 수 있다는 것을 추가로 발견하였다. 금피막은 시간의 경과에 따라 변색되지 않고 우수한 외관을 갖는다. 본 발명은 이들 발견에 기초를 둔다.The inventors first immersed the workpiece in an electroless nickel plating bath without a compound having an SS bond to chemically attach a nickel undercoat onto the workpiece, and then the electroless nickel plating bath containing a compound having an SS bond. It was further discovered that when the nickel film is chemically attached to the nickel undercoat by immersion, and the nickel plated workpiece is additionally provided to the chemical gold plating, the gold film can be simply attached to a substantial thickness. The gold film does not discolor over time and has an excellent appearance. The present invention is based on these findings.
본 발명의 제 1의 양상에 따라, 수용성 니켈염, 환원제, 착화제 및 S-S결합을 갖는 화합물로 이루어지는 무전해 니켈도금용액이 제공된다.According to the first aspect of the present invention, there is provided an electroless nickel plating solution composed of a water-soluble nickel salt, a reducing agent, a complexing agent and a compound having an S-S bond.
본 발명의 제 2의 양상에 따라, 상기 정의된 무전해 니켈도금용액에 워크피스를 침지하여 워크피스상에 니켈피막을 화학적으로 부착시키는 단계로 이루어지는 무전해 니켈 도금방법이 제공된다.According to a second aspect of the present invention, there is provided an electroless nickel plating method comprising immersing a workpiece in an electroless nickel plating solution as defined above and chemically attaching a nickel film on the workpiece.
본 발명의 제 3의 양상에 따라, 상기에서 정의된 무전해 니켈도금용액에 워크피스를 침지하여, 워크피스상에 니켈피막을 화학적으로 부착시키고, 무전해 금도금 욕에 니켈도금된 워크피스를 침지하여 워크피스상에 금피막을 화학적으로 부착시키는 단계들로 이루어지는 하이빌드 무전해 금도금 방법이 제공된다.According to a third aspect of the invention, a workpiece is immersed in an electroless nickel plating solution as defined above, chemically attaching a nickel coating on the workpiece, and immersing the nickel plated workpiece in an electroless gold plating bath. There is provided a high build electroless gold plating method comprising the steps of chemically attaching a gold film on a workpiece.
추가의 양상에서, 본 발명은 S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕에 워크피스를 침지하여 워크피스상에 니켈하부피막을 화학적으로 부착시키고; S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕에 워크피스를 침지하여 니켈하부피막상에서 니켈피막을 화학적으로 부착시키고; 이중 니켈도금된 워크피스에 무전해 금도금을 실행하는 단계로 이루어지는 하이빌드 무전해 금도금 방법을 제공한다.In a further aspect, the present invention provides a method for chemically attaching a nickel undercoat to a workpiece by immersing the workpiece in an electroless nickel plating bath free of compounds having S-S bonds; Immersing the workpiece in an electroless nickel plating bath containing a compound having an S-S bond to chemically attach the nickel film on the nickel undercoat; It provides a high build electroless gold plating method comprising electroless gold plating on a double nickel plated workpiece.
발명의 상세한 설명Detailed description of the invention
일반적으로, 무전해 니켈도금용액은 수용성 니켈염, 환원제 및 착화제를 함유한다.Generally, electroless nickel plating solutions contain water-soluble nickel salts, reducing agents and complexing agents.
황산니켈 및 염화니켈은 전형적인 수용성 니켈염이다. 사용된 니켈염의 양은 바람직하게는 0.01 내지 1몰/리터, 더 바람직하게는 0.05 내지 0.2몰/리터이다.Nickel sulfate and nickel chloride are typical water soluble nickel salts. The amount of nickel salt used is preferably 0.01 to 1 mol / liter, more preferably 0.05 to 0.2 mol / liter.
환원제의 예는 차아인산, 차아인산나트륨과 같은 차아인산염, 디메틸아민보란, 트리메틸아민보란 및 히드라진을 포함한다. 사용된 환원제의 양은 바람직하게는 0.01 내지 1몰/리터, 더 바람직하게는 0.05 내지 0.5몰/리터이다.Examples of reducing agents include hypophosphorous acid, hypophosphite such as sodium hypophosphite, dimethylamineborane, trimethylamineborane and hydrazine. The amount of reducing agent used is preferably 0.01 to 1 mol / liter, more preferably 0.05 to 0.5 mol / liter.
착화제의 예는 말산, 숙신산, 락트산 및 시트르산과 같은 카르복실산, 카르복실산의 나트륨염 및 글리신, 알라닌, 이미노디아세트산, 알기닌 및 글루탐산과 같은 아미노산을 포함한다. 사용된 착화제의 양은 바람직하게는 0.01 내지 2몰/리터, 더 바람직하게는 0.05 내지 1몰/리터이다.Examples of complexing agents include carboxylic acids such as malic acid, succinic acid, lactic acid and citric acid, sodium salts of carboxylic acids and amino acids such as glycine, alanine, iminodiisacetic acid, arginine and glutamic acid. The amount of complexing agent used is preferably 0.01 to 2 mol / liter, more preferably 0.05 to 1 mol / liter.
보통 안정제가 무전해 니켈도금용액에 더 첨가된다. 안정제의 예는 아세트산납과 같은 수용성 납염 및 티오디글리콜산과 같은 황화합물이다. 안정제는 0.1 내지 100mg/리터의 양을 사용하는 것이 바람직하다.Usually stabilizers are added to the electroless nickel plating solution. Examples of stabilizers are water soluble lead salts such as lead acetate and sulfur compounds such as thiodiglycolic acid. It is preferred to use stabilizers in amounts of 0.1 to 100 mg / liter.
본 발명에 따르면, S-S결합을 갖는 화합물이 무전해 니켈도금용액에 첨가된다. 이 화합물의 첨가로 파인패턴상에 도금할 경우, 얇은 어깨부 및 니켈피막의 아우트그로스의 문제없이 니켈피막을 화학적으로 부착시키는 용액을 허용한다.According to the present invention, a compound having an S-S bond is added to the electroless nickel plating solution. When plating on the fine pattern with the addition of this compound, a solution that chemically attaches the nickel film is allowed without the problem of thin shoulders and the outer gross of the nickel film.
S-S결합을 갖는 화합물은 유기황화합물도 허용가능하지만, 티오황산염, 디티온산염, 폴리티온산염 및 아디티온산염과 같은 무기황화합물이 바람직하다. 폴리티온산염은 O3S-Sn-SO3(여기서 n은 1 내지 4)의 구조식이다.Compounds having an SS bond are also organic sulfur compounds, but inorganic sulfur compounds such as thiosulfate, dithiate, polythiate and addiate are preferred. Polythionate is a structural formula of O 3 SS n -SO 3 , wherein n is from 1 to 4.
수용성염, 전형적으로 알칼리 금속염이 자주 사용된다. S-S결합을 갖는 화합물은 0.01 내지 100mg/리터, 특히 0.05 내지 50mg/리터의 양이 첨가되는 것이 바람직하다. 0.01mg/리터 이하의 화합물은 본 발명의 목적에 대하여 효과가 없는 반면에 100mg/리터이상의 화합물은 니켈피막의 부착을 방해한다.Water-soluble salts, typically alkali metal salts, are often used. The compound having an S-S bond is preferably added in an amount of 0.01 to 100 mg / liter, especially 0.05 to 50 mg / liter. Compounds of 0.01 mg / liter or less are ineffective for the purposes of the present invention, while compounds of 100 mg / liter or more interfere with the adhesion of the nickel coating.
본 발명의 무전해 니켈도금용액은 pH 4 내지 7, 특히 pH 4 내지 6이다.The electroless nickel plating solution of the present invention is pH 4-7, especially pH 4-6.
상기한 조성의 무전해 니켈 도금 용액을 사용하여, 니켈피막이 종래기술에 의해 즉 도금용액에 워크피스를 단지 침지하여 파인패턴이나 워크피스에 화학적으로 형성될 수 있다. 도금되는 워크피스는 철, 코발트, 니켈, 팔라듐 및 그것의 합금과 같은 무전해 니켈피막의 촉매환원 부착을 촉진시킬 수 있는 금속이다. 환원부착이 시작될때까지 워크피스에 전기를 가해 전기시동하는 한 비촉매금속이 사용될 수 있다. 다른 방법으로는 상기한 바와 같은 촉매금속의 피막이 미리 도금된 후 비촉매 금속워크피스상에 무전해 도금이 실행된다. 더욱이, 팔라듐 핵과 같은 촉매금속핵이 종래기술에 의해 적용된 후 유리, 세라믹, 플라스틱 또는 비촉매 금속의 워크피스에 무전해도금을 실행할 수 있다. 도금온도는 40 내지 95℃, 특히 60 내지 95℃가 바람직하다. 원한다면, 도금용액이 도금동안 교반된다.Using the electroless nickel plating solution of the above-described composition, a nickel film can be chemically formed in the fine pattern or the workpiece by conventional art, that is, simply immersing the workpiece in the plating solution. The workpiece to be plated is a metal capable of promoting catalytic reduction adhesion of the electroless nickel film such as iron, cobalt, nickel, palladium and alloys thereof. Non-catalytic metals can be used as long as the workpiece is energized until the reduction starts. Alternatively, electroless plating is performed on the non-catalytic metal workpiece after the coating of the catalyst metal as described above is preplated. Moreover, a catalytic metal nucleus, such as a palladium nucleus, may be applied by the prior art to conduct electroless plating on workpieces of glass, ceramic, plastic or noncatalytic metals. The plating temperature is preferably 40 to 95 ° C, particularly 60 to 95 ° C. If desired, the plating solution is stirred during plating.
니켈피막이 본 발명에 따른 무전해 니켈도금 욕에서 파인패턴상에 부착될때, 니켈피막의 아우트그로스를 극복하기 때문에 패턴라인 어깨부 및 브릿지에 의한 단락화 문제에서 박편화가 거의 일어나지 않는다.When the nickel film is deposited on the fine pattern in the electroless nickel plating bath according to the present invention, since the overgrowth of the nickel film is overcome, flakes hardly occur in the short circuit problem by the pattern line shoulder and the bridge.
화학적으로 부착된 니켈피막을 갖는 워크피스는 무전해 금도금을 하기 쉽다. 더 구체적으로, S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 무전해 니켈 도금용액으로 부터 화학적으로 부착된 니켈피막상에 무전해 금도금을 실행할때, 종래의 무전해 니켈 도금용액에서 화학적으로 부착된 니켈피막상의 무전해 금도금과 비교하여 단시간에 두꺼운 금피막을 부착시킬 수 있다.Workpieces with chemically attached nickel films are susceptible to electroless gold plating. More specifically, when electroless gold plating is carried out on a nickel film chemically deposited from an electroless nickel plating solution, characterized by containing a compound having an SS bond, the chemically adhered chemically in a conventional electroless nickel plating solution. Compared to the electroless gold plating on the nickel film, a thick gold film can be attached in a short time.
여기에서 사용된 무전해 금도금 욕은 금원료, 착화제 및 다른 성분을 함유한다. 금원료는 종래 금도금 욕에서 사용되는 예컨대 시안화금, 아황산금 및 티오황산금에서 선택될 수도 있다. 시안화금칼륨과 같은 시안화금의 수용성염이 특히 유용하다. 첨가된 금원료의 양은 결정적의지는 않지만, 욕중의 금농도는 0.5 내지 10g/리터, 특히 1 내지 5g/리터가 바람직하다. 부착속도는 첨가된 금원료양 즉, 욕중의 금이온 농도에 실질적으로 비례하여 증가한다. 10g/리터 이상의 금농도는 부착속도가 증가하지만, 욕의 안정성이 불량하다. 0.5g/리터 미만의 금농도는 부착속도가 매우 낮게 된다.Electroless gold plating baths used herein contain gold ingredients, complexing agents and other ingredients. The gold raw material may be selected from gold cyanide, gold sulfite and gold thiosulfate, which are used in conventional gold plating baths. Water-soluble salts of gold cyanide, such as potassium cyanide, are particularly useful. The amount of gold material added is not critical, but the gold concentration in the bath is preferably 0.5 to 10 g / liter, especially 1 to 5 g / liter. The deposition rate increases substantially in proportion to the amount of gold source added, ie the concentration of gold ions in the bath. Gold concentrations above 10 g / liter increase the adhesion rate, but bath stability is poor. Gold concentrations below 0.5 g / liter will result in very low adhesion rates.
무전해 금도금 욕에는 어떠한 공지의 착화제가 사용될 수도 있다. 예를들면, 황산암모늄, 아미노카르복실레이트, 카르복실레이트 및 히드록시카르복실레이트가 바람직하다. 착화제는 5 내지 300g/리터, 특히 10 내지 200g/리터의 양으로 첨가되는 것이 바람직하다. 5g/리터 미만의 착화제는 효과가 적고 용액 안정성에 유해한 영향을 미친다. 300g/리터 이상의 착화제는 더 이상의 추가의 효과가 없기 때문에 비경제적이다.Any known complexing agent may be used for the electroless gold plating bath. For example, ammonium sulfate, aminocarboxylate, carboxylate and hydroxycarboxylate are preferred. The complexing agent is preferably added in an amount of 5 to 300 g / liter, especially 10 to 200 g / liter. Complexing agents below 5 g / liter are less effective and have a detrimental effect on solution stability. Complexing agents of 300 g / liter or more are uneconomical as there are no further effects.
추가로, 티오황산염, 히드라진 및 아스코르브산염이 환원제로서 혼합된다.티오황산염의 예로는 티오황산암모늄, 티오황산나트륨 및 티오황산칼륨이다. 환원제는 단독으로 또는 둘이상을 혼합하여 사용될 수도 있다. 첨가되는 환원제의 양은 결정적이지는 않지만, 0 내지 10g/리터, 특히 0 내지 5g/리터의 농도가 바람직하다. 부착속도는 환원제의 농도에 실질적으로 비례하여 증가한다. 10g/리터 이상의 환원제가 첨가되면, 부착속도가 더이상 증가하지 않고 욕의 안정성이 저하된다. 만약 환원제가 첨가되지 않으면, 금부착은 니켈과의 치환반응을 통하여 발생할 것이다.In addition, thiosulfate, hydrazine and ascorbate are mixed as reducing agents. Examples of thiosulfate are ammonium thiosulfate, sodium thiosulfate and potassium thiosulfate. The reducing agent may be used alone or in combination of two or more. The amount of reducing agent added is not critical, but a concentration of 0 to 10 g / liter, in particular 0 to 5 g / liter, is preferred. The adhesion rate increases substantially in proportion to the concentration of the reducing agent. When 10 g / liter or more of reducing agent is added, the adhesion rate no longer increases and the stability of the bath is lowered. If no reducing agent is added, gold adhesion will occur through substitution with nickel.
상기의 화합물에 더하여, 무전해 금도금욕은 인산염, 차아인산염 및 카르복실레이트와 같은 pH조절제, Tl, AS 및 Pb와 같은 결정조절제 및 다른 여러가지 첨가제를 더 함유할 수도 있다.In addition to the above compounds, the electroless gold plating bath may further contain pH regulators such as phosphates, hypophosphites and carboxylates, crystal regulators such as Tl, AS and Pb and various other additives.
무전해 금도금 욕은 보통 pH 3.5 내지 9, 특히 pH 4 내지 9의 중성부근에서 사용되는 것이 바람직하다.Electroless gold plating baths are preferably used in the vicinity of neutrals, usually at pH 3.5-9, especially pH 4-9.
무전해 금도금 욕은 하이빌드 시스템으로서 본원에서 사용된다. 본 발명에 따른 무전해 금도금 방법은 상기한 무전해 금도금 욕을 사용하는 것을 제외하고는 종래의 방법으로 실행할 수 있다. 상기한 무전해 금도금 욕을 사용하여, 금피막을 본 발명에 따라 화학적으로 부착된 니켈피막을 갖는 워크피스상에 직접 화학적으로 부착시킬 수 있다. 특히 두꺼운 금피막을 형성하기 위해서는 스트라이크 무전해 금도금후에 하이빌드 무전해 금도금을 하는 것이 바람직하다. 앞선 스트라이크 무전해 금도금은 뒤이은 두꺼운 금도금을 잘 수용하도록 니켈도금된 워크피스의 표면을 개질하도록 작용한다. 그결과, 뒤이은 두꺼운 금피막이 밑에 있는 워크피스에 밀착되고 균일한 두께로 된다.Electroless gold plated baths are used herein as high build systems. The electroless gold plating method according to the present invention can be carried out by a conventional method except using the electroless gold plating bath described above. Using the electroless gold plating bath described above, the gold coating can be chemically attached directly onto a workpiece having a nickel coating chemically attached according to the present invention. In particular, in order to form a thick gold film, it is preferable to perform high-build electroless gold plating after strike electroless gold plating. The preceding strike electroless gold plating acts to modify the surface of the nickel-plated workpiece to accommodate the subsequent thick gold plating. As a result, the subsequent thick gold film adheres to the underlying workpiece and has a uniform thickness.
여기에서 사용된 스트라이크 무전해 금도금은 금의 0.5 내지 10g/리터, 특히 1 내지 5g/리터 농도의 상기한 바와같은 금원료 및 5 내지 300g/리터, 특히 10 내지 200g/리터 농도의 EDTA, 그것의 알칼리 금속염 및 상기한 바와같은 시약과 같은 착화제를 함유하는 조성을 갖는다. 욕은 pH 3.5 내지 9로 조절된다.Strike electroless gold plating used herein comprises gold raw materials as described above at concentrations of 0.5 to 10 g / liter, in particular 1 to 5 g / liter of gold and EDTA at concentrations of 5 to 300 g / liter, especially 10 to 200 g / liter, its It has a composition containing an alkali metal salt and a complexing agent such as a reagent as described above. The bath is adjusted to pH 3.5-9.
금도금을 상기한 무전해 금 도금용액을 사용하여 실행할때 스트라이크 무전해 금도금 욕에 대해서는 20 내지 95℃, 특히 30 내지 90℃의 온도 및 1/2 내지 30분, 특히 1 내지 15분의 시간의 도금조건이 바람직하며, 하이빌드 무전해 도금 욕에 대해서는 20 내지 95℃, 특히 50 내지 90℃의 온도 및 1 내지 60분, 특히 5 내지 40분의 시간의 도금조건이 바람직하다. 만일 하이빌드 무전해 금도금 욕의 온도가 20℃ 보다 낮으면, 부착속도가 느리게 되어, 두꺼운 도금에 있어서 생산성이 낮아져 비경제적이다. 95℃를 넘는 온도에서는 도금욕의 분해가 일어날 수 있다.When the gold plating is carried out using the electroless gold plating solution described above, for a strike electroless gold plating bath, a temperature of 20 to 95 ° C., in particular 30 to 90 ° C. and a time of 1/2 to 30 minutes, in particular 1 to 15 minutes, is applied. Conditions are preferred, and for high build electroless plating baths, plating conditions of 20 to 95 ° C., especially 50 to 90 ° C. and a time of 1 to 60 minutes, in particular 5 to 40 minutes, are preferred. If the temperature of the high-build electroless gold plating bath is lower than 20 ° C., the deposition rate is slow, and the productivity is low for the thick plating, which is uneconomical. At temperatures above 95 ° C., decomposition of the plating bath may occur.
니켈 도금된 워크피스상에 직접 하이빌드 무전해 금도금을 실행할때, 욕의 온도는 50 내지 95℃, 특히 70 내지 90℃가 바람직하다. 50℃ 이하의 욕의 온도에서는 부착속도가 낮아지고, 반면에 95℃이상의 욕 온도에서는 부착속도가 증가하지만 생성된 금피막의 안정성이 저하된다.When high build electroless gold plating is carried out directly on a nickel plated workpiece, the bath temperature is preferably from 50 to 95 ° C, in particular from 70 to 90 ° C. At bath temperatures below 50 ° C, the deposition rate is lower, whereas at bath temperatures above 95 ° C, the adhesion rate increases, but the stability of the resulting gold film is lowered.
본 발명에 따르면, 두꺼운 금피막은 상기한 바와같이 S-S결합을 갖는 화합물의 함유를 특징으로 하는 무전해 니켈도금용액으로 부터 화학적으로 부착된 니켈피막상에 무전해 금도금을 실행하여 부착시킬 수 있다. 이점에 관해서는 니켈하부피막을 화학적으로 부착시키기 위해 S-S결합을 갖는 화합물이 없는 욕에서 워크피스상에 무전해 니켈도금을 실행한후, 니켈하부피막상에 니켈피막을 화학적으로 부착시키기 위해 S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 욕에서 무전해 니켈도금을 실행하고, 마지막으로 무전해 금도금을 실시하는 것을 추천한다.According to the present invention, the thick gold film can be attached by performing electroless gold plating on the nickel film chemically attached from the electroless nickel plating solution characterized by containing a compound having an S-S bond as described above. In this regard, electroless nickel plating is performed on the workpiece in a bath without a compound having an SS bond to chemically attach the lower nickel coating, and then the SS bonding is used to chemically attach the nickel coating onto the lower nickel coating. It is recommended to carry out electroless nickel plating in a bath containing a compound having a compound having a compound having a compound, and finally to conduct electroless gold plating.
이유는 하기에 기술된다. 무전해 금도금 욕에서 환원제의 함유여부에 관계없이, 특히 무전해 금도금 욕의 금원료가 시안화금의 염인 경우, 금의 화학적 도금은 본질적으로 무전해 니켈피막(S-S결합을 갖는 화합물을 함유한 욕으로 부터 생성됨)과의 치환 반응을 통하여 발생하고 즉, 니켈피막이 무전해 금도금 욕에서 용해됨으로써 동시에 금이온 Au+가 환원하는 메카니즘이다.The reason is described below. Regardless of the presence of reducing agents in electroless gold-plated baths, especially when the gold material of an electroless gold-plated bath is a salt of gold cyanide, the chemical plating of gold is essentially an electroless nickel coating (a bath containing a compound with an SS bond). from occurring through the substitution reaction with the generated), and that is, the nickel coating is a mechanism which at the same time, electroless gold Au + ion reduction by being dissolved in a gold plating bath.
Ni0→Ni2+2eNi 0 → Ni 2+ 2e
2Au++2e→2Au0 2Au + + 2e → 2Au 0
제 2도를 참조하면, 워크피스(1)는 S-S결합을 갖는 화합물을 함유한 무전해 니켈 도금 욕으로 부터 거기에 부착된 니켈피막(2)과 무전해 금도금 욕으로부터 거기에 부착된 금피막(3)을 갖는다. 상기한 메카니즘은 금의 화학도금동안 니켈피막(2)이 국부적으로 용해하여 워크피스(1)에 도달하는 핀홀(4)을 형성할 수 있다는 것을 제안한다. 핀홀(4)이 워크피스까지 깊게 연장된 상황하에서, 워크피스 기초물질이 구리와 같은 부식성 금속이면, 부식성 금속은 용해될 수 있다.Referring to FIG. 2, the workpiece 1 includes a nickel film 2 attached thereto from an electroless nickel plating bath containing a compound having an SS bond and a gold film attached thereto from an electroless gold plating bath. Have 3). The above mechanism suggests that during chemical plating of gold, the nickel film 2 can be locally dissolved to form a pinhole 4 reaching the workpiece 1. Under the situation that the pinhole 4 extends deeply into the workpiece, if the workpiece base material is a corrosive metal such as copper, the corrosive metal may dissolve.
일단 용해되면, 부식성 금속이 핀홀을 통하여 이동하여, 무전해 금도금 욕을 오염시키고, 금피막에 부착되어 그것을 변색시킨다.Once dissolved, corrosive metal migrates through the pinholes to contaminate the electroless gold plating bath and adhere to the gold film to discolor it.
제 3도는 바람직한 구체예의 구조를 나타내는 것으로, 니켈 하부피막(5)이워크피스(1)와 니켈피막(2)사이에 끼워진다. 더 구체적으로, 니켈하부피막(5)이 S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕으로부터 워크피스(1)상에 부착되고, 니켈피막(2)이 S-S결합을 갖는 화합물을 함유한 무전해 니켈도금 욕으로부터 그위에 부착된다. 무전해 금도금 욕에서 무전해 니켈피막의 용해속도(금이온의 금속성 금으로의 전환속도)에 관해서는, S-S 결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 생성된 니켈피막(2)은 S-S결합은 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 생성된 니켈하부피막(5)보다 훨씬 빠르다. 즉, S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 생성된 니켈 하부피막(5)은 매우 낮은 용해속도를 갖는다. 그러면, S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 생성된 니켈도금(2)이 국부적으로 용해되어 제 3도에 나타낸 바와같이 피막(2)을 통과하여 핀홀(4)이 형성될 지라도, 이들 핀홀(4)은 니켈하부피막(5)의 표면에서 종결된다. 니켈하부피막(5)으로 더 연장되는 핀홀은 없다. 다음 상태는 새로운 핀홀이 니켈피막(2)중의 상이한 자리에 형성되거나 이미 형성된 핀홀(4)이 옆으로 넓어지는 것이다.3 shows the structure of the preferred embodiment, in which the nickel lower coating 5 is sandwiched between the workpiece 1 and the nickel coating 2. More specifically, the nickel undercoat 5 is attached onto the workpiece 1 from an electroless nickel plating bath without a compound having an SS bond, and the nickel film 2 contains an electroless containing a compound having an SS bond. It is attached thereon from a nickel plating bath. As for the rate of dissolution of the electroless nickel film in the electroless gold plating bath (speed of conversion of gold ions to metallic gold), the nickel film 2 produced from the electroless nickel plating bath containing a compound having an SS bond is The SS bond is much faster than the nickel undercoat 5 produced from the electroless nickel plating bath without the compound having it. That is, the nickel undercoat 5 produced from the electroless nickel plating bath without the compound having S-S bonds has a very low dissolution rate. Then, the nickel plating (2) produced from the electroless nickel plating bath containing the compound having SS bond is locally dissolved to pass through the coating (2) as shown in FIG. 3 to form the pinhole (4). However, these pinholes 4 terminate at the surface of the nickel undercoat 5. There is no pinhole further extending to the nickel undercoat 5. The next state is that new pinholes are formed at different positions in the nickel film 2 or the pinholes 4 already formed are widened sideways.
따라서, S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕으로부터 니켈피막(2)을 S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 생성된 니켈하부피막(5)상에 부착한 후에 무전해 금도금을 실행할때, 무전해 금도금 욕이 워크피스 기초물질이 용해된 금속이온으로 오염될 수 있고, 금피막이 그것으로 변색될 수 있는 문제없이 단시간 안에 실질적인 두께의 금피막을 부착시킬 수 있다.Therefore, the electroless nickel plating bath containing the compound having the SS bond was attached to the nickel film 2 on the nickel undercoat 5 produced from the electroless nickel plating bath without the compound having the SS bond. When performing gold plating, the electroless gold plating bath can be contaminated with metal ions in which the workpiece base material is dissolved, and a gold film of substantial thickness can be attached in a short time without the problem that the gold film can discolor with it.
S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금 욕의 조성은 S-S결합을 갖는화합물이 빠진 것을 제외하고는 S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 상기한 무전해 니켈도금 욕의 조성과 동일할 수 있다. 또한 도금조건도 동일할 수 있다.The composition of the electroless nickel plated bath without the compound having S-S bond may be the same as the composition of the electroless nickel plated bath containing the compound having the S-S bond, except that the compound having the S-S bond is omitted. In addition, the plating conditions may be the same.
따라서, 니켈하부피막을 사용하는 바람직한 구체예는 워크피스의 기초금속이 구리와 같은 부식성 금속일때, 예를들면 워크피스가 프린트 배선기판일때 유익하게 허용가능하다.Thus, a preferred embodiment using a nickel undercoat is advantageously acceptable when the base metal of the workpiece is a corrosive metal such as copper, for example when the workpiece is a printed wiring board.
S-S결합을 갖는 화합물이 없는 무전해 니켈도금욕으로 부터 생성된 니켈하부피막은 0.5 내지 5㎛, 특히 1 내지 3㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하다. 이 니켈하부피막상에, 니켈피막이 S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕으로 부터 바람직하게는 0.5 내지 5㎛, 특히 1 내지 5㎛의 두께로 부착된다.It is preferable that the nickel undercoat produced from the electroless nickel plating bath without a compound having an S-S bond has a thickness of 0.5 to 5 mu m, especially 1 to 3 mu m. On this nickel undercoat, the nickel coating is deposited from an electroless nickel plating bath containing a compound having an S-S bond, preferably at a thickness of 0.5 to 5 mu m, especially 1 to 5 mu m.
워크피스 기판이 부식성 금속이 아닌 경우에, 니켈피막은 S-S결합을 갖는 화합물을 함유하는 무전해 니켈도금 욕에서 워크피스상에 직접 부착시킬 수 있다. 이 구체예에서, 니켈피막은 0.5 내지 10㎛, 특히 1 내지 8㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하다. 바람직하게는 니켈피막을 충분한 두께로 부착시켜 피막을 통과하여 연장되는 핀홀을 방지하고 또는 핀홀을 줄인다.If the workpiece substrate is not a corrosive metal, the nickel coating can be deposited directly on the workpiece in an electroless nickel plating bath containing a compound having an S-S bond. In this embodiment, the nickel coating preferably has a thickness of 0.5 to 10 mu m, especially 1 to 8 mu m. Preferably, the nickel coating is attached to a sufficient thickness to prevent pinholes extending through the coating or to reduce the pinholes.
무전해 금피막의 두께는 결정적이지는 않지만, 일반적으로 0.1 내지 2㎛, 바람직하게는 0.3 내지 0.8㎛이다.The thickness of the electroless gold film is not critical, but is generally 0.1 to 2 mu m, preferably 0.3 to 0.8 mu m.
실시예Example
본 발명의 실시예는 설명을 위해 하기에 주어진 것이고 제한하려는 목적은아니다.Embodiments of the invention are given below for illustrative purposes and are not intended to be limiting.
제시한 온도에서 각각의 도금용액을 사용하여, 두께 18㎛, 라인폭 50㎛ 및 슬릿폭 50㎛를 갖는 구리의 시험패턴상에 니켈을 화학적으로 부착시켜, 5.0㎛두께의 니켈피막을 형성하였다. 입체 현미경으로 회로라인위의 니켈의 아우트그로스 및 브릿지에 대하여 니켈피막을 시각적으로 관찰하였다. 패턴을 절단하고, 회로라인의 절단면을 입체현미경으로 어깨부 박편화에 대하여 관찰하였다. 그 결과를 표 1에 나타낸다.Using each plating solution at the indicated temperature, nickel was chemically deposited on a test pattern of copper having a thickness of 18 μm, a line width of 50 μm, and a slit width of 50 μm to form a nickel film having a thickness of 5.0 μm. Nickel coatings were visually observed for the outgrowth and bridge of nickel on the circuit lines by stereoscopic microscope. The pattern was cut and the cut surface of the circuit line was observed for shoulder flaking with a stereomicroscope. The results are shown in Table 1.
실시예 4Example 4
실시예 1의 무전해 니켈도금용액을 사용하여 구리판상에 5㎛두께의 니켈피막을 화학적으로 부착시켰다. 다음에 하기 조건하에서 하기 조성의 스트라이크 무전해 금도금용액에서 니켈도금된 구리판상에 스트라이크 도금을 실행한후, 하기 조건하에서 하기 조성의 하이빌드 무전해 금도금 용액에서 거기에 두꺼운 금피막을 화학적으로 부착시켰다. 금피막의 두께를 경시적으로 측정하였다. 그 결과를 제 1도의 그래프에 표시한다.Using the electroless nickel plating solution of Example 1, a 5 μm thick nickel film was chemically attached onto the copper plate. Next, the strike plating was carried out on a nickel plated copper plate in a strike electroless gold plating solution of the following composition under the following conditions, and then a thick gold film was chemically attached thereto in the high build electroless gold plating solution of the following composition under the following conditions. . The thickness of the gold film was measured over time. The results are shown in the graph of FIG.
비교예 3Comparative Example 3
비교예 1의 무전해 니켈도금용액을 사용한 것을 제외하고는 실시예 4를 반복하였다. 또한 그 결과를 제 1도의 그래프에 나타낸다.Example 4 was repeated except that the electroless nickel plating solution of Comparative Example 1 was used. The results are also shown in the graph of FIG.
실시예 1의 무전해 니켈도금용액에서 화학적으로 부착된 니켈피막상에 무전해 금도금(실시예 4)을 수행할때, 비교예 1의 무전해 니켈도금용액에서 화학적으로 부착된 니켈 피막상의 무전해 금도금(비교예3)과 비교하여 단위시간당 유의하게 두꺼운 금피막이 부착될 수 있다는 것을 제1도로 부터 알 수 있다.When electroless gold plating (Example 4) was carried out on the nickel film chemically attached to the electroless nickel plating solution of Example 1, the electroless on the nickel film chemically attached to the electroless nickel plating solution of Comparative Example 1 Compared with gold plating (Comparative Example 3), it can be seen from FIG. 1 that a significantly thicker gold film can be attached per unit time.
0.5㎛이상의 두께인 금피막을 단시간에 부착시킬 수 있다.A gold film having a thickness of 0.5 µm or more can be attached in a short time.
실시예 5Example 5
하기에 나타낸 조성의 무전해 니켈도금용액을 사용하여, 하기에 나타낸 조건하에서 15분 동안 화학적 니켈도금을 실행하여 구리판상에 2.5㎛두께의 니켈하부피막을 부착시켰다.Using an electroless nickel plating solution having the composition shown below, chemical nickel plating was performed for 15 minutes under the conditions shown below to attach a 2.5 μm thick nickel undercoat to the copper plate.
하기에 나타낸 조성의 무전해 니켈도금용액을 사용하여, 하기에 나타낸 조건하에서 15분 동안 화학적 니켈도금을 실행하여 니켈하부피막상에 3.0㎛두께의 니켈피막을 부착 시켰다.Using an electroless nickel plating solution having the composition shown below, chemical nickel plating was performed for 15 minutes under the conditions shown below to attach a 3.0 μm thick nickel film on the nickel undercoat.
그 다음에, 실시예 1에서와 동일한 조건하에서 동일한 조성의 스트라이크 무전해 금도금 용액에서 이중니켈도금된 구리판상에 7분동안 스트라이크 도금을 실시한후, 실시예 1과 같은 조건하에서 동일한 조성의 하이빌드 무전해 금도금용액에서 20분동안 금도금을 실행하여, 0.5㎛두께의 두꺼운 금피막을 부착시켰다.Subsequently, after a 7-minute strike plating on the double nickel plated copper plate in the strike electroless gold plating solution of the same composition under the same conditions as in Example 1, the high build electroless of the same composition under the same conditions as in Example 1 Gold plating was carried out for 20 minutes in the plating solution, and a thick gold film having a thickness of 0.5 µm was attached.
도금된 판을 외관시험전에 공기중 150℃에서 4시간동안 유지하였다. 변색화를 발견하지 못했고, 외관은 도금한 직후와 동일하게 유지되었다.The plated plate was kept at 150 ° C. in air for 4 hours before the appearance test. No discoloration was found and the appearance remained the same immediately after plating.
상기한 바와같은 동일한 시험후에, 니켈하부피막이 없는 유사한 시료는 약간 변색하였지만 실제사용에서는 충분히 허용가능하였다.After the same test as described above, a similar sample without nickel undercoat was slightly discolored but sufficiently acceptable in practical use.
일부 바람직한 구체예를 기술하였지만, 많은 수정과 변형이 상기 기술의 견지에서 이루어질 수도 있다. 그러므로, 첨부된 특허청구범위내에서, 본 발명은 구체적으로 기술한 것과 다르게 실행될 수도 있다는 것을 이해해야 한다.While some preferred embodiments have been described, many modifications and variations may be made in light of the above description. It is, therefore, to be understood that within the scope of the appended claims, the invention may be practiced otherwise than as specifically described.
제 1도는 화학적으로 부착된 니켈피막상에 금피막을 화학적으로 부착시킬 경우, 도금시간의 함수로서 금피막의 두께를 나타내는 그래프이다.FIG. 1 is a graph showing the thickness of the gold film as a function of plating time when the gold film is chemically attached onto the chemically deposited nickel film.
제 2도는 니켈피막을 통과 연장하는 핀홀을 나타내고 니켈피막과 금피막을 포함하는 워크피스(workpiece)상의 피막구조와 도식적인 단면도이다.FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a coating structure on a workpiece showing a pinhole extending through the nickel film and including the nickel film and the gold film.
제 3도는 니켈피막을 통과 연장하는 핀홀을 나타내고 니켈하부피막, 니켈피막 및 금피막을 포함하는 워크피스상의 피막구조의 도식적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a coating structure on a workpiece showing pinholes extending through the nickel coating and including a nickel undercoat, a nickel coating and a gold coating.
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