KR100394390B1 - Equipment for Production of Metal Nano Powders By Electrical Explosion of Wire and it's Method - Google Patents

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KR100394390B1 KR10-2001-0029606A KR20010029606A KR100394390B1 KR 100394390 B1 KR100394390 B1 KR 100394390B1 KR 20010029606 A KR20010029606 A KR 20010029606A KR 100394390 B1 KR100394390 B1 KR 100394390B1
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Abstract

본 발명은 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치에 관한 것으로, 그 목적은 금속, 합금 및 화학적 재료로부터 전기 폭발법(Electrical explosion of wire method : EEW)을 이용해 금속, 금속-세라믹, 세라믹 조성합금, 다른 금속 및 기구의 제품에 사용되는 대략 100nm 나 그 이하의 입자 크기를 갖는 나노금속분말을 얻을 수 있는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치를 제공함에 있다.The present invention relates to a method for producing a metal nanopowder by an electric explosion method and an apparatus thereof, the object of which is to use a metal, metal-ceramic, The present invention provides a method for producing a metal nanopowder by an electroexplosion method and apparatus for obtaining a nanometal powder having a particle size of about 100 nm or less used in ceramic composition alloys, products of other metals and appliances.

본 발명은 와이어 피딩장치에서 반응기 내부로 와이어를 공급하는 단계와, 상기 와이어 피딩장치내의 측정롤러로 와이어 폭발길이를 측정하는 단계와, 상기 와이어 폭발길이 측정신호로 스파크갭의 구동신호를 발생하는 단계와, 상기 구동신호가 스파크 갭의 구동전극에 공급될때까지 축전지를 충전하는 단계와, 상기 스파크갭의 구동신호로 충전된 축전지의 고전압이 스파크 갭의 고전압전극과 저전압전극 사이의 절연체를 관통해 반응기의 고전압전극에 공급되는 단계와, 상기 고전압으로 반응기 내로 공급된 와이어가 폭발하여 나노 금속분말을 얻는 단계와, 상기 나노금속분말을 정확한 산소압에서 포집하는 단계를 포함하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법을 제공함에 있다.The present invention comprises the steps of supplying a wire into the reactor in the wire feeding apparatus, measuring the wire explosion length by the measuring roller in the wire feeding device, and generating a spark gap drive signal with the wire explosion length measurement signal And charging the battery until the driving signal is supplied to the driving electrode of the spark gap, and the high voltage of the battery charged with the driving signal of the spark gap passes through the insulator between the high voltage electrode and the low voltage electrode of the spark gap. Supplying a high voltage electrode of the metal, the wire supplied into the reactor at the high voltage to explode to obtain a nano metal powder, and collecting the nano metal powder at an accurate oxygen pressure, the metal nano by the explosion method To provide a powder manufacturing method.

Description

전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법 및 장치 {Equipment for Production of Metal Nano Powders By Electrical Explosion of Wire and it's Method}Equipment for Production of Metal Nano Powders By Electrical Explosion of Wire and it's Method}

본 발명은 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 금속, 합금 및 화학적 재료로부터 전기 폭발법(Electrical explosion of wire method : EEW)을 이용해 대략 100nm 나 그 이하의 입자 크기를 갖는 나노금속분말을 얻을 수 있는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing metal nanopowders by an electric explosion method and a device thereof, and more particularly, to about 100 nm or less using an electrical explosion of wire method (EEW) from metals, alloys and chemical materials. The present invention relates to a method for producing a metal nanopowder by an electroexplosion method and a device for obtaining a nanometal powder having a particle size of.

일반적으로 금속 분말을 제조하는 방법은 아토마이제이션(atomization), 액상환원법, 플라즈마를 이용하는 방법 등이 있으나 아토마이제이션 방법으로는 나노크기로 분말을 제조 할 수 없고 대략 50㎛정도 크기의 분말을 제조 할 수 있다. 한편 액상환원법은 나노크기로 몇 가지 귀금속만을 제조 할 수 있어 일반적인 금속 분말에는 적용 할 수가 없다. 플라즈마 방법은 생산에 비해 전력 소모도크며 분말 포집 할 때 산화를 방지시키는 별도의 장치가 필요하는 등 기존의 방식으로는 나노크기의 금속 분말을 안정적으로 생산 할 수가 없는 단점이 있었다.In general, the metal powder may be prepared by atomization, liquid phase reduction, or plasma. However, the atomization method may not produce a powder in nano size, and may produce a powder having a size of about 50 μm. can do. The liquid reduction method, on the other hand, can produce only a few precious metals with nano size, so it cannot be applied to general metal powder. Plasma method consumes more power than production and requires a separate device to prevent oxidation when powders are collected. However, conventional methods cannot produce nano-sized metal powders stably.

본 발명은 상기와 같은 결점을 해결하기 위해 안출된 것으로 금속, 합금 및 화학적 재료로부터 전기 폭발법(Electrical explosion of wire method : EEW)을 이용해 금속, 금속-세라믹, 세라믹 조성합금, 다른 금속 및 기구의 제품에 사용되는대략 100nm 나 그 이하의 입자 크기를 갖는 나노금속분말을 얻을 수 있는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치를 제공함을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above drawbacks, and has been developed from metals, alloys, and chemical materials by using an electrical explosion of wire method (EEW) for metals, metal-ceramic, ceramic composition alloys, and other metals and devices. An object of the present invention is to provide a method for producing a metal nanopowder by an electroexplosion method and an apparatus for obtaining a nanometal powder having a particle size of about 100 nm or less used in a product.

본 발명은 와이어 피딩장치에서 반응기 내부로 와이어를 공급하는 단계와, 상기 와이어 피딩장치내의 측정롤러로 와이어 폭발길이를 측정하는 단계와, 상기 와이어 폭발길이 측정신호로 스파크갭의 구동신호를 발생하는 단계와, 상기 구동신호가 스파크 갭의 구동전극에 공급될때까지 축전지를 충전하는 단계와, 상기 스파크갭의 구동신호로 충전된 축전지의 고전압이 스파크 갭의 고전압전극과 저전압전극 사이의 절연체를 관통해 반응기의 고전압전극에 공급되는 단계와, 상기 고전압으로 반응기 내로 공급된 와이어가 폭발하여 나노 금속분말을 얻는 단계와, 상기 나노금속분말을 정확한 산소압에서 포집하는 단계를 포함하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치를 제공함을 목적으로 한다The present invention comprises the steps of supplying a wire into the reactor in the wire feeding apparatus, measuring the wire explosion length by the measuring roller in the wire feeding device, and generating a spark gap drive signal with the wire explosion length measurement signal And charging the battery until the driving signal is supplied to the driving electrode of the spark gap, and the high voltage of the battery charged with the driving signal of the spark gap passes through the insulator between the high voltage electrode and the low voltage electrode of the spark gap. Supplying a high voltage electrode of the metal, the wire supplied into the reactor at the high voltage to explode to obtain a nano metal powder, and collecting the nano metal powder at an accurate oxygen pressure, the metal nano by the explosion method An object of the present invention is to provide a powder production method and a device thereof.

도 1 은 본 발명 펄스발생기의 작동 원리도1 is a working principle of the pulse generator of the present invention

도 2 는 본 발명 와이어 피딩장치의 작동 원리도2 is a working principle of the present invention wire feeding device

도 3 은 본 발명 전기폭발법에 의한 나노금속분말 장치의 전체 구성도Figure 3 is an overall configuration diagram of the nano-metal powder apparatus according to the present invention explosion

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

A : 펄스 발생장치 B : 와이어 폭발반응기A: pulse generator B: wire explosion reactor

C : 와이어 피딩장치 D : 가스제공장치C: Wire feeding device D: Gas providing device

E : 분말포집장치E: Powder Collector

1 : 전압 2 : 축전기1: voltage 2: capacitor

3 : 전압분배기위 상측 저항 4 : 전압분배기의 하측 저항3: Upper resistance on voltage divider 4: Lower resistance on voltage divider

5 : 스파크 갭의 고전압 전극 6 : 스파크 갭(spark gap)5: high voltage electrode of spark gap 6: spark gap

7 : 스파크 갭의 구동전극 8 : 스파크 갭의 저전압 전극7: driving electrode of spark gap 8: low voltage electrode of spark gap

9 : 반응기의 고전압전극 11 : 절연체9: high voltage electrode of reactor 11: insulator

12 : 저항 13 : 와이어12 resistance 13 wire

15 : 유도파 형성장치 16 : 연소파 형성 모듈15: guided wave forming device 16: combustion wave forming module

17 : 고전압 접지 18 : 그라운드 스위치17: high voltage ground 18: ground switch

21 : 와이어 코일 22 : 측정롤러21: wire coil 22: measuring roller

23 : 자유회전축 24 : 측정롤러의 구멍23: free rotation shaft 24: hole of the measuring roller

25 : 와이어 변형모듈 27 : 전기램프25: wire deformation module 27: electric lamp

28 : 광전 변환장치 29 : 로드28: photoelectric converter 29: rod

31 : 반응기 홀 32 : 작동가스 입구31 reactor hole 32 working gas inlet

33 : 분말과 작동가스 출구 34 : 펌프33 powder and working gas outlet 34 pump

41 : 트랩 42 : 버퍼탱크41: trap 42: buffer tank

43 : 호퍼 44 : 제1싸이클론43: Hopper 44: the first cyclone

45 : 제2싸이클론 46 : 제1전기필터45: second cyclone 46: the first electric filter

47 :제2전기필터 48 : 기계적필터47 second electric filter 48 mechanical filter

51 : 아르곤가스통 52 : 산소통51: argon gas cylinder 52: oxygen cylinder

53 : 산소공급수량조절장치 54 : 산소분압검출기53: oxygen supply quantity control device 54: oxygen partial pressure detector

55 : 블러워55: Blur

60 : 전기필터 고전압 공급장치 61 : 제어, 감시 컨솔60: electric filter high voltage supply 61: control, monitoring console

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명의 실시예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail with reference to the accompanying drawings, the configuration and the operation of the embodiment of the present invention to achieve the object as described above and to perform the task for eliminating the conventional drawbacks.

도 1 은 본 발명 전기폭발 장치의 작동 원리도이고, 도 2 는 본 발명 와이어 피딩장치의 작동 원리도로서,1 is a working principle diagram of the present invention an explosion device, Figure 2 is a working principle diagram of the wire feeding device of the present invention,

본 발명은 전원, 축전지, 높은 전압에 의한 와이어(Wire) 폭발 반응기, 접지전극, 축전장치의 구동된 배전반(driven switchboard)(commutator : 정류자), 와이어 공급장치 및 분말포집기로 구성된다.The invention consists of a power supply, a battery, a high voltage wire explosion reactor, a ground electrode, a driven switchboard (commutator) of a power storage device, a wire supply device and a powder collector.

도 1에 도시된 바와 같이 세 개의 전극 방전장치(three electrodes discharger)는 구동된 정류자로 사용된다. 여기에서 낮은 전압전극은 관통된 절연체를 통한 높은 전극 반응기로 연결되어 있고 구멍난 전극전압은 저항기를 가로질러 접지 되어 있다. 높은 전극전압은 전기적으로 축전기와 전압 분배기의 상측 저항(upper arm)에 연결되어 있다. 그 곳에서 구동전극은 연소파(incendiary pulse) 형성 모듈과 전압분배기의 하측 저항(low arm)에 연결되어 있다.As shown in Fig. 1, three electrode dischargers are used as driven rectifiers. Here the low voltage electrode is connected to the high electrode reactor through the perforated insulator and the punctured electrode voltage is grounded across the resistor. The high electrode voltage is electrically connected to the upper arm of the capacitor and the voltage divider. There the drive electrode is connected to the incendiary pulse forming module and the low arm of the voltage divider.

특히, 스파크 갭의 정류는 와이어와 높은 전압 전극 반응기 사이의 감소하는 갭의 분열과정에서 일어난다.In particular, commutation of the spark gap occurs during the dividing process of the decreasing gap between the wire and the high voltage electrode reactor.

전기폭발법에 의해 제조된 금속, 합금 및 화학적 조성의 분말제품을 위한 장비는 기술적인 본질에서 크게 단절되어 있다. 본 발명은 축전지를 포함한 전원과 스위치보드, 높은 전압을 갖는 와이어 폭발 반응기와 접지, 와이어 변형기구를 포함한 와이어 공급기, 가스제공기, 배기를 포함한 분말 포집기, 사이클론, 분말 포집을 위한 전기적 볼륨필터 그리고 잘려진 콘(truncated cone)을 갖는 분말 분류기를 갖고 있다.Equipment for powder products of metals, alloys and chemical compositions produced by electroexplosion is greatly disconnected from the technical nature. The present invention provides a power supply and switchboard including a battery, a wire explosion reactor with high voltage and grounding, a wire feeder including a wire strainer, a gas supply, a powder collector including an exhaust, a cyclone, an electrical volume filter for powder collection, and a cutout. It has a powder classifier with truncated cones.

도 2 에서 도시한 바와 같이 와이어 공급기는 링 또는 안내 홈을 가진 자유롭게 회전하는 롤러처럼 만들어져 있다. 롤러는 와이어 축방향 주위로 회전운동을 하는 밧줄(cartridge)에 고정되어 있다. 밧줄(becket)은 밧줄 회전축으로부터 일정한 거리에서 링이나 롤러의 운동에 대한 축의 보조로 회전운동을 한다.As shown in Fig. 2, the wire feeder is made like a freely rotating roller with a ring or guide groove. The roller is fixed to a cartridge that rotates around the wire axial direction. A rope is a rotating movement with the aid of an axis to the movement of a ring or roller at a distance from the rope axis of rotation.

상기와 같이 구성된 본 발명은 와이어의 전기적인 폭발(EEW)에 의해 분산된금속분말, 합금, 화학조성의 생산에 대한 장비는 전기적으로 축전지와 관련된 전원, 고전압 전극에서 절연된 와이어 폭발에 대한 반응기, 구동배전판, 와이어 스트레이팅(straighting)기구를 갖는 와이어 공급기, 분말포집장치, 가스 공급기가 있다. 와이어 공급기는 롤러로 만들어졌으며, 안내 홈이 있으며, 와이어 이동축 주위를 회전운동할 수 있는 밧줄에 고정되어 있다. 밧줄은 밧줄 회전축으로부터 일정한 거리에서 링이나 롤러의 운동에 대한 축의 보조로 회전운동을 한다. 또한 연소파와 전압분배기도 장비에 포함되어 있다. 세 전극의 스파크 갭은 구동 스위치보드로 사용되고 있으며, 스파크 갭의 저압 전극은 전기적으로 절연체를 통해 고압전극과 연결되어 있다. 그리고 저압 전극은 저항체를 통해 접지되어 있다. 저항값은 RC > t3 의 식에 의해 구해지며, 여기서 C 는 에너지 축전 용량이고, t3은 충전시간이다. 스파크 갭의 구동 전극은 연소파와 전압분배기의 하측 저항과 연결되어 있다.The present invention configured as described above, the equipment for the production of metal powder, alloy, chemical composition dispersed by the electrical explosion (EEW) of the wire is electrically connected to the storage battery, the reactor for the explosion of wire insulated from the high voltage electrode, There is a drive switchboard, a wire feeder having a wire straightening mechanism, a powder collecting device, and a gas feeder. The wire feeder is made of rollers, has guide grooves, and is fixed to a rope that can rotate around the wire shaft. The rope rotates with the aid of the axis to the movement of the ring or roller at a distance from the rope axis of rotation. Combustion waves and voltage dividers are also included in the equipment. The spark gap of the three electrodes is used as a driving switchboard, and the low voltage electrode of the spark gap is electrically connected to the high voltage electrode through an insulator. The low voltage electrode is grounded through a resistor. The resistance value is obtained by the formula RC> t3, where C is energy storage capacity and t3 is charging time. The driving electrode of the spark gap is connected to the combustion wave and the lower resistance of the voltage divider.

또한, 와이어 공급기구가 와이어 길이 측정 장치에 의해 제공된다. 와이어 길이 측정기는 자유 회전축에 강하게 고정된 롤러의 측정으로 만들어졌고, 구동파의 한 종류로서 연소파에 대한 구동파를 만들어 내기 위한 가능성을 가지고 있다.In addition, a wire supply mechanism is provided by the wire length measuring device. The wire length measuring device is made by measuring a roller strongly fixed to a free rotation axis, and has a possibility to generate a driving wave for a combustion wave as a kind of driving wave.

롤러의 측정은 폭발 와이어의 길이와 똑같은 원형 길이를 가지고 있거나 폭발 와이어 길이에 나눠져 있다. 또한 롤러 측정은 한 개 또는 몇 개의 구멍을 가지고 있다. 홀을 통한 광기록계쪽으로 광폴(light falls)과 광기록계부터의 신호는 연소파 형성 모듈에 대해 구동파 형성 장치로 바꿔진다.The measurement of the roller has a circular length equal to the length of the explosion wire or divided by the explosion wire length. The roller measurement also has one or several holes. Light falls to the optical recorder through the hole and signals from the optical recorder are converted to a drive wave forming device for the combustion wave forming module.

그리고, 측정롤러가 로도(rod)를 가지고 있기 때문에 행해진다. 이 경우에 만약 스위치가 마그네틱 드라이버를 가지고 있다면 전기적인 드라이브나 마그넷 드라이버에 의해 구동파 형성 장치의 스위치를 작동할 수 있다.And it is performed because the measuring roller has a rod. In this case, if the switch has a magnetic driver, the switch of the driving wave shaping device can be operated by an electric drive or a magnetic driver.

금속분말을 얻어지는데 이는 분말포집장치 내에 사이클론들이 연속적으로 연결되어 있고, 이너셜 트렙(inertial)과 버퍼탱크(auger separator)가 티밴드(t-bend)에 의해 연결된 전기 필터와 송풍구가 있다. 트랩과 버퍼탱크 으로 들어가는 입구는 반응기로부터 작동가스의 출구로 연결되어 있으며, 버퍼탱크의 출구는 첫 번째 사이클론으로 들어가는 작동가스 입구로 연결되어 있다. 분리기로 들어가는 입구와 버퍼탱크의 출구가 t-bend로 연결되고 분리기와 사이클론 바깥의 채널벽에 대해서 작동가스 흐름의 방위 변화가 없도록 만들어져 있다.A metal powder is obtained, in which the cyclones are continuously connected in the powder collecting device, and the electric filter and the tuyere are connected to the inletial and the buffer tank by the t-bend. The inlet to the trap and buffer tank is connected to the outlet of the working gas from the reactor, and the outlet of the buffer tank is connected to the working gas inlet to the first cyclone. The inlet to the separator and the outlet of the buffer tank are connected t-bend and are made so that there is no change in the orientation of the working gas flow with respect to the channel wall outside the separator and the cyclone.

또한, 반응기에서 가스가 소비될때 들어오는 작동가스의 방사 흐름을 차축(axled) 흐름으로 변형시키는 구멍이 나있는 칸막이가 있다. 이 경우 가스 소비는 C<v<f로 구해지며, 여기서 V : 반응기 부피, v : 반응기 입구에서 가스소비, f : 폭발 진동수이다. 그리고, 역밸브가 반응기 쪽으로 작동가스의 입구에 구비되어 설치된다.There is also a perforated partition that transforms the radial flow of incoming working gas into an axled flow when gas is consumed in the reactor. In this case, gas consumption is obtained as C <v <f, where V is the reactor volume, v is the gas consumption at the reactor inlet, and f is the explosion frequency. Then, a reverse valve is provided at the inlet of the working gas toward the reactor.

또한, 분말 포획 장치, 송풍기, 산소 분압 검출기로 구성되는데, 산소 분압 검출기는 산화물 합성의 화학 반응 중에 산소 감소 과정에서 산소 공급 장치의 드라이버로서 작동한다. 또한 검출기는 금속과 합금 분말의 생산 과정에서 중성가스의 양을 조절한다. 검출기는 산소양이 허가된 양을 초과할 때 분말 생산을 중단하고, 그 때 검출기는 분말 포집 장치와 송풍구 사이에 놓여있게 되며, 기계적 필터에 의해 보호된다. 또한 장치가 보호성 액체로 된 분말 포집기와 저장고를 위한 벙커(bunker)로 제공되지 않기 때문에 금속분말을 얻는다. 저장고는 래킹(laking) 밸브로 되어 있는 파이프라인에 의한 분말 포집용의 모든 벙커로 연결되어 있다. 벙커는 반응기와 같은 분위기를 갖는 방수용 박스에 놓여져 있다.It also consists of a powder trapping device, a blower, and an oxygen partial pressure detector, which acts as a driver for the oxygen supply in the process of oxygen reduction during the chemical reaction of oxide synthesis. The detector also regulates the amount of neutral gas in the production of metal and alloy powders. The detector stops powder production when the amount of oxygen exceeds the permitted amount, at which time the detector lies between the powder capture device and the tuyeres and is protected by a mechanical filter. Metal powders are also obtained since the device is not provided as a bunker for powder collectors and reservoirs with protective liquids. The reservoirs are connected to all bunkers for powder collection by pipelines, which are laking valves. The bunker is placed in a waterproof box having the same atmosphere as the reactor.

와이어 폭발에 대한 전기 장치의 작동원리를 도 1 에 도시한 바로 설명하면 다음과 같다. 고전압원(1)은 선택된 전압이 전압분배기(3,4)와 스파크 갭(6)의 고전압 전극(5)에 공급될 때까지 에너지 축전지(2)를 충전한다. 전압분배기의 하측 저항(4)으로부터 충전 전압 부분은 스파크 갭의 구동전극(7)에 공급되어 진다. 또한 스파크 갭의 낮은 전압 전극(8)은 절연체(11)를 통하여 반응기(10)의 높은 전압전극(9)와 연결되어 있다. 그리고 낮은 전압 전극은 저항기(12)와 접지되어 있다. 전극 5-7과 7-8 사이에 높인 스파크갭(6)에서 갭들은 전극간의 거리가 선택된 작동 전압의 1.5에서 2배 정도가 되는 거리를 초과하는 거리에 놓여있다. 전압분배기의 저항이 축전기의 충전시간과 전극 7, 8 사이의 용량이 저항기 4에서의 매우 작은 것과 비교함으로서 전압분배기를 통해 축전기(2)의 과도한 방전 시간의 상태로부터 선택되어지기 때문에 실제로 축전기에서의 전압에 비례하여 변화된다. 와이어가 와이어 공급장치(14)에 의해 공급되고 전극(9)에 도달할 때(gap 이 1mm 정도에 도달할 때) 유도파 형성장치가 변환되고 스파크 갭(6)에 대한 제동파를 형성하는 발생기(16)에 신호를 준다. 발생기는 돌아가고, 축전기(2)에 전압의 극성에 반대 극성을 지닌 연소파는 구동전극에 도달하고 스파크 갭이 시작된다. 축전기는 와이어(13)에 방전되고, 와이어는 폭발한다. 고려된 장치에서 저항기(12)는 저항기를 통하여 축전기의 지속적인 방전으로 선택되어 진다. 1.5kΩ의 값을 갖는 대부분의 경우들에서는 제때에 두 개의 오더 차이를 제공한다.The operating principle of the electric device for the wire explosion will be described immediately as shown in FIG. The high voltage source 1 charges the energy storage battery 2 until the selected voltage is supplied to the voltage dividers 3 and 4 and the high voltage electrode 5 of the spark gap 6. The charge voltage portion from the lower resistor 4 of the voltage divider is supplied to the drive electrode 7 of the spark gap. The low voltage electrode 8 of the spark gap is also connected to the high voltage electrode 9 of the reactor 10 through the insulator 11. The low voltage electrode is grounded with resistor 12. In the spark gap 6 raised between electrodes 5-7 and 7-8, the gaps lie at a distance beyond which the distance between the electrodes is about 1.5 to 2 times the selected operating voltage. In practice, the resistance of the voltage divider is selected from the state of excessive discharge time of the capacitor 2 through the voltage divider by comparing the charge time of the capacitor and the capacitance between the electrodes 7, 8 to a very small value in resistor 4. Change in proportion to voltage. Generator, when the wire is supplied by the wire supply 14 and reaches the electrode 9 (when the gap reaches about 1 mm), the guided wave former is converted and forms a braking wave for the spark gap 6 Give signal to (16). The generator rotates, and the combustion wave having a polarity opposite to the polarity of the voltage in the capacitor 2 reaches the drive electrode and the spark gap starts. The capacitor is discharged to the wire 13 and the wire explodes. In the contemplated arrangement, the resistor 12 is selected for the continuous discharge of the capacitor through the resistor. In most cases with a value of 1.5 kΩ, two order differences are provided in time.

계 왜곡(field distortion)을 가진 배전반은 트리거(trigger) 배전반과 비교해볼 때 갭의 재배열 없이 보다 완만한 범위의 작동 전압을 갖는다. 트리거 스위치보드 작동은 단지 플라즈마가 주요한 갭에서 움직이고, 자외선 방사는 가스를 이온화하기 때문에 일어난다. 제안된 구동파의 배전반 진폭은 변환된 전압에 비례한다. 따라서 두 갭에서 계(field)의 증폭과 갑작스런 왜곡 증폭은 샤프 스파이크(sharp spike)를 가진(이 경우에 구동전극은 30mm 직경의 가운데 구멍을 가진 3mm 두께의 판이다.) 구동 전극에서 구동파의 공급 중에 발생한다. 구동파의 양극에서 변환된 전압에 비교해 볼 때 반대이다. 40kv는 발전된 배전반에서의 작동전압이다. 이 전압은 전압 분배기에 의해 1:3(위 부분은 200MΩ, 아래부분은 100MΩ)으로 나뉘고, +13.3kV 전압은 구동과 접지된 전극 사이의 차이이다. 배전반 갭안의 계는 균일하고 에어 브레이크다운(air breakdown) 전압 응력은 30kv/cm 이다. 만일 낮은 갭 폭이 7mm(파괴에서보다 17배 이상에서)로 같게 되고 위의 갭 폭이 1.5cm(파괴보다 1.7배)로 같게되면 또 그때 공급되는 구동파가 -40kV( 1 J 에너지)라면, 위, 아래 갭에서의 전압응력은 브레이크 전압응력보다 1.8과 1.9배 이상이다. 동시에 계의 왜곡과 증폭은 구동 전극 안의 구멍 가장자리에서 일어난다. 이것은 아랫부분 갭의 빠른 파괴를 유도하고 그 다음 위 부분 갭의 파괴를 유도한다.Switchboards with field distortion have a gentler range of operating voltages without rearrangement of the gaps compared to trigger switchboards. Trigger switchboard operation only occurs because the plasma moves in the major gap and ultraviolet radiation ionizes the gas. The switchboard amplitude of the proposed driving wave is proportional to the converted voltage. Thus, field amplification and sudden distortion amplification in both gaps are sharp spikes (in this case the drive electrode is a 3 mm thick plate with a 30 mm diameter center hole). Occurs during supply. The opposite is true when compared to the voltage converted at the anode of the driving wave. 40kv is the working voltage in the advanced switchgear. This voltage is divided by a voltage divider by 1: 3 (200 MΩ on top, 100 MΩ on bottom), and the +13.3 kV voltage is the difference between the driven and grounded electrodes. The system in the switchgear gap is uniform and the air breakdown voltage stress is 30 kv / cm. If the low gap width is equal to 7 mm (17 times more than at break) and the upper gap width is equal to 1.5 cm (1.7 times more than at break) and then the driving wave supplied is -40 kV (1 J energy), The voltage stresses in the upper and lower gaps are 1.8 and 1.9 times more than the brake voltage stresses. At the same time the distortion and amplification of the system takes place at the edge of the hole in the drive electrode. This leads to a quick break of the bottom gap and then to a break of the top gap.

트리거 니들(trigger needle) 구동 전압과 비교할 때 계를 왜곡시키는 큰 사각형의 가장자리는 전극의 대체 없이 스위치 보드의 수명을 증가시키도록 한다.Large square edges that distort the system as compared to the trigger needle drive voltage allow to increase the life of the switchboard without replacing the electrodes.

추가 측정 롤러는 와이어 코일과 와이어 변형 모듈 사이의 와이어 공 기구 내에 있다. 측정 롤러는 자유 회전축에 단단히 묶여있고 측정 롤러는 공급된 와이어에 의해 회전된다. 측정 롤러는 폭발 와이어의 길이와 같거나, 또는 폭발 와이어 길이로 나뉘어지는 원주 길이를 가지고 있다. 또한 측정 롤러는 몇 개의 구멍이 있다. 전기 램프로부터 빛은 구동파 모양의 장치로 변환시키는 광전변환장치로 떨어진다. 만일 기계적 스위치보드가 구동파 형성 장치에 사용된다면 그 때 로드(rod)는 축위에 놓여 있다. 스위치보드는 선택된 각도에서 로드의 회전에 의해 작동된다. 만약 자석이 로드대신 사용된다면, 스위치 보드(자기적으로 작동하는 밀폐된 스위치)는 마그네틱 드라이버를 갖는다. 이 경우에 측정롤러는 고전압이 구동체계안으로 도달하지 못하도록 하기 위해서 절연체로 만들어 진다.An additional measuring roller is in the wire tool between the wire coil and the wire deformation module. The measuring roller is tightly tied to the free axis of rotation and the measuring roller is rotated by the supplied wire. The measuring roller has a circumferential length equal to the length of the explosion wire or divided by the length of the explosion wire. The measuring roller also has several holes. Light from the electric lamp falls into a photoelectric converter that converts it into a drive wave shaped device. If a mechanical switchboard is used in the drive wave forming device then the rod is on the shaft. The switchboard is activated by the rotation of the rod at the selected angle. If a magnet is used instead of a rod, the switchboard (magnetically actuated sealed switch) has a magnetic driver. In this case the measuring rollers are made of insulators to prevent high voltages from reaching the drive system.

측정롤러를 포함하여 자유 회전축에서는 폭발파의 공급과 함께 선택한 길이의 와이어의 공급이 동시에 일어나게 하였다. 측정 롤러는 와이어가 미끄러진다면 움직임이 감소되거나 정지된다. 이 경우에 폭발파의 공급은 요구되는 길이의 와이어 공급이 되는 순간에 일어 난다. t-bend 에 의해 연결된 인터셜 트랩과 버퍼탱크 은 분말 분류기 대신에 분말 포집 장치에 넣어져 있다.In the free rotating shaft including the measuring roller, the supply of the explosive wave and the supply of the wire of the selected length occurred simultaneously. The measuring roller is reduced in motion or stopped if the wire slips. In this case, the supply of the blast wave occurs at the moment when the supply of the wire of the required length is made. Intermediate traps and buffer tanks connected by t-bend are placed in the powder collection unit instead of the powder classifier.

트랩과 버퍼탱크 입구는 반응기로부터 작동가스 출구와 연결되어 있다. 버퍼탱크 출구는 첫 번째 사이클론 안으로 작동가스의 입구와 연결되어 있다. 쪽의 입구와 버퍼탱크 으로부터 첫 번째 사이클론까지의 출구로 된 t-bend의 연결은 과 사이클론 바깥 채널 벽의 분말 입자들을 가진 작동가스 흐름의 방위 변화 없이 만들어졌다. 트랩은 큰 입자(와이어 끝의 파괴의 경우 생기는)를 트래핑하는 경향이 있고 버퍼탱크 은 1-10㎛까지의 직경을 가진 입자를 트래핑하려는 경향이 있다. 버퍼탱크 은 나노 차원의 산화물 입자들의 생산에 사용된다. 산화물 입자들은 끓는점까지 금속 와이어의 펄스 열 끓는 입자들을 연소하는 수단으로 사용된다.The trap and buffer tank inlet are connected to the working gas outlet from the reactor. The buffer tank outlet is connected to the inlet of the working gas into the first cyclone. The connection of the t-bend with the inlet on the side and the outlet from the buffer tank to the first cyclone was made without changing the orientation of the working gas flow with powder particles in the over-cyclone channel wall. Traps tend to trap large particles (which occur in the case of wire breakage) and buffer tanks tend to trap particles with diameters up to 1-10 μm. Buffer tanks are used to produce nano-dimensional oxide particles. Oxide particles are used as a means of burning pulsed thermal boiling particles of the metal wire to the boiling point.

두 개 장치들의 작동 원리는 관성의 법칙에 기초를 두고 있다. 큰 입자와 작은 입자들은 티-밴드(t-bend)에서 작동가스와 함께 방향을 바꿀만한 시간이 없고, 그것들은 스트림(stream)으로부터 트랩의 파이프로 날아가서, 반사판에 부딪혀서 벙커에 떨어진다. 더 작은 입자들(nm에서 수십 ㎛)은 나선형 표면에서 작동 가스와 함께 움직이기 시작한다.The principle of operation of the two devices is based on the law of inertia. Large particles and small particles do not have time to change direction with the working gas in the t-bend, they fly from the stream into the trap's pipe, hit the reflector and fall into the bunker. Smaller particles (tens of microns in nm) begin to move with the working gas on the helical surface.

이 방법은 큰 입자에 의해 버퍼탱크 홈의 바깥 층에서 행해지고, 만일 버퍼탱크홈이 벙커의 접점에 연결되어 있다면 그들의 선택을 할 수 있다. 이것은 버퍼탱크 분리기의 몇몇 장소에서 분말이 얻어진다.This method is done in the outer layer of the buffer tank grooves by large particles, and if the buffer tank grooves are connected to the bunker contacts, they can make their choice. This results in the powder being obtained at several locations in the buffer tank separator.

버퍼탱크의 출구와 버퍼탱크 입구의 연결은 티-밴드(T-bend)의 보조로 연결된다. 따라서 동작흐름의 바깥 층, 더 큰 입자로 가득한 티-밴드(T-bend)는 버퍼탱크에 남아있게 된다. 그 다음에 첫 번째 사이클론, 이른바, 작동 가스 흐름의 방위 회전이 없는 곳으로 간다.The connection between the outlet of the buffer tank and the inlet of the buffer tank is connected to the auxiliary of the T-bend. Thus, the outer layer of the flow, T-bend, filled with larger particles, remains in the buffer tank. Then go to the first cyclone, the so-called rotation of the working gas flow.

여기서 버퍼탱크는 와이어 폭발반응기에서 폭발되고 응집이 이루어지는 수간 블라워(blower)(55)에서 아르곤 가스를 불어내고 있는데, 버퍼탱크는 볼륨(volume)이 커 단열팽창 하므로 응집을 방지 할 수 있다.Here, the buffer tank blows argon gas from an intra-floor blower 55 which is exploded in a wire explosion reactor and agglomerates, and the buffer tank has a large volume, and thus adiabatic expansion, thereby preventing agglomeration.

홀이 있는 부분 11은 반응기 10에 있다. 그 부분은 축방향으로 입회 가스의 방사방향으로 변형된다.Part 11 with holes is in reactor 10. The part is deformed in the radial direction of the gas in the axial direction.

가스 소비는 Vp < V/f 로 구해진다. 여기서 Vp는 반응기 부피이고, V는 반응기 입구에서의 가스소비이다.Gas consumption is obtained by Vp < V / f. Where Vp is the reactor volume and V is the gas consumption at the reactor inlet.

"dead(non-venting) zone"는 작동가스의 라디얼 스트림(radial stream) 하에서 반응기에서 만들어진다. 매우 작은 입자들은 "dead zone"에 남아있고, 잇따른 폭발 시에 응축중앙에 있다. 이것은 분말 입자를 합쳐지게 하거나 폭발 빈도를 감소시킨다. 그리고 그것은 생산성을 감소시킨다. 만약 반응기 입구에서 가스 소비가 선택되어진다면, 가스의 완전 대체가 폭발들 사이에서 일어나고, 그때 그것은 작은 입자들 생산에 대한 가장 최상의 상태를 제공한다.A "dead (non-venting) zone" is produced in the reactor under a radial stream of working gas. Very small particles remain in the "dead zone" and are in the center of condensation during subsequent explosions. This causes the powder particles to coalesce or reduce the explosion frequency. And it reduces productivity. If gas consumption is chosen at the reactor inlet, a complete replacement of the gas takes place between the explosions, which then provides the best condition for the production of small particles.

역밸브는 작동가스 입구에 위치해 있다. 역밸브는 송풍기로부터 가스에 의해 자유롭게 열리고 와이어 폭발로부터의 압력에 의해 닫힌다. 압력이 폭발로부터 입자 흐름 앞으로 통과하기 때문에 이 밸브는 반응기입구로부터 분말 포집 장치쪽으로 큰 입자들이 통과하는 것을 막아준다.(전기 필터 또는 사이클론)The reverse valve is located at the working gas inlet. The reverse valve is freely opened by the gas from the blower and closed by the pressure from the wire explosion. Because the pressure passes in front of the particle flow from the explosion, this valve prevents large particles from passing from the reactor inlet to the powder capture device (electric filter or cyclone).

장비는 산소 공급 장치에 있는 부분압력의 보호기로부터 공급받는다. 보호기로부터의 신호는 중성가스에서 산소농도가 기준을 초과할 경우 금속과 합금 분말의 생산하는 과정이나 분말 생산을 중단시키는 중에 중성가스로 드라이버를 조작하고 산소농도를 제어시킨다. 보호기는 분말 포기 장치와 통풍구 사이에 위치하며, 보호기의 표면은 기계적 필터에 의해서 분말로부터 보호된다.The equipment is supplied from a partial pressure protector in the oxygen supply. Signals from the protector control the driver and control the oxygen concentration with neutral gas during the production of metal and alloy powders or when the powder production is interrupted if the oxygen concentration in the neutral gas exceeds the standard. The protector is located between the powder aeration device and the vent and the surface of the protector is protected from the powder by a mechanical filter.

보호기의 필요성은 생태학적 요구와 경제적 타당성에 의해 지시되어진다. 또한 장비 테스트는 정확한 산소압 하에서 작업을 해야 좀더 작은 분말을 생산할 수 있음을 보여주고 있다. 예를 들면, 총 산소와 니트로겐의 합의 압력이 105Pa 이고 더작은 알루미나 입자의 지름은 dBET= 19nm 이며 산소 농도는 18vol% 이다. 만약dDET= 27nm 이면 산소의 농도는 20vol% 이다.The need for protecting groups is dictated by ecological needs and economic feasibility. Equipment tests also show that working under the correct oxygen pressure yields smaller powders. For example, the pressure of the sum of total oxygen and nitrogen is 10 5 Pa, the diameter of the smaller alumina particles is d BET = 19 nm and the oxygen concentration is 18 vol%. If d DET = 27 nm, the oxygen concentration is 20 vol%.

깨끗한 금속에서 분말을 생산할 때 산소의 농도 조절과 저 수준의 유지는 필요하다. 이 경우 산소에 의해 오염되지 않는다.When producing powders from clean metals, oxygen concentration control and low levels of maintenance are necessary. In this case, it is not contaminated by oxygen.

보호기는 통풍구 앞과 분말포집 장치 뒤에 위치한다. 왜냐하면 이러한 위치에서는 작동가스가 분말 입자들을 담고 있지 않기 때문이다.The protector is located in front of the vent and behind the powder capture device. This is because the working gas does not contain powder particles at this location.

또한 기계적 필터는 보호기의 수명을 증가시키기 위해서 놓여지는데 그러한 기계적 필터는 분말을 거의 통과시킨다.Mechanical filters are also placed to increase the life of the protector, which mechanically passes through the powder.

이 장비는 보호액이 있는 저장고를 갖고 있고 이 저장고는 laking 밸브를 갖고 있는 파이프라인에 의해 모든 분말 벙커와 연결되어 있다. 벙커들은 밀폐된 상자에 놓여 있고 반응기의 분위기와 같다.The equipment has a reservoir with a protective fluid, which is connected to all powder bunkers by a pipeline with a laking valve. The bunkers are placed in a closed box and look like the atmosphere of a reactor.

보호액의 도입은 기압의 감소 없이 분말을 공급하고 분말을 오래 유지하는 것을 가능하게 하면 분말 다음 작업 과정을 위해 필요하다. 보호액이 있는 저장고는 사이클론 벙커를 갖고 있는 연결밸브와 전기필터 벙커를 통하여 연결되어 있는 파이프라인을 갖고 있다. 파이프라인은 보호액에 의해 밸브까지 연결된 파이프를 충전하게 하고 장치를 따라서 벙커까지 밸브로부터 이들파이프들을 진공으로 만들고 파이프라인들은 벙커를 채운 후 분말을 보호하도록 한다.The introduction of the protective liquid is necessary for the powder next work process, as long as it is possible to supply the powder and maintain the powder for a long time without decreasing the air pressure. The reservoir with the protective fluid has a connecting valve with a cyclone bunker and a pipeline connected via an electric filter bunker. The pipeline allows the pipe connected to the valve by the protective liquid to vacuum these pipes from the valve to the bunker along the device and the pipelines to protect the powder after filling the bunker.

밀폐된 상자에서 여러 벙커의 배치는 장비의 기압 감소 없이 벙커로부터의 보충을 할 수 있도록 한다.The placement of several bunkers in a closed box allows replenishment from bunkers without reducing the pressure in the equipment.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

상기와 같이 구성되고 작용하는 본 발명 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법과 그 장치는 금속, 합금 및 화학적 재료로부터 전기 폭발법(Electrical explosion of wire method : EEW)을 이용해 금속, 금속-세라믹, 세라믹 조성합금, 다른 금속 및 기구의 제품에 사용되는 대략 100nm 나 그 이하의 입자 크기를 갖는 나노금속분말을 얻을 수 있고, 장비의 신뢰성과 생산성증가 그리고 분말의 질을 향상 할 수 있어 산업발전에 이바지할 수 있는 유용한 발명이다.The method and apparatus for manufacturing metal nanopowders according to the present invention, which are constructed and functioned as described above, may be manufactured using metal, metal-ceramic, Nanometal powder with particle size of about 100nm or less used in ceramic composition alloy, other metals and equipment products can be obtained, and the reliability and productivity of equipment can be improved, and the quality of powder can be contributed to industrial development. It is a useful invention that can be done.

Claims (8)

금속 분말을 제조하는 방법에 있어서,In the method for producing a metal powder, 와이어 피딩장치에서 반응기 내부로 와이어를 공급하는 단계와, 상기 와이어 피딩장치내의 측정롤러로 와이어 폭발길이를 측정하는 단계와, 상기 와이어 폭발길이 측정신호로 스파크갭의 구동신호를 발생하는 단계와, 상기 구동신호가 스파크 갭의 구동전극에 공급될때까지 축전지를 충전하는 단계와, 상기 스파크갭의 구동신호로 충전된 축전지의 고전압이 스파크 갭의 고전압전극과 저전압전극 사이의 절연체를 관통해 반응기의 고전압전극에 공급되는 단계와, 상기 고전압으로 반응기 내로 공급된 와이어가 폭발하여 나노 금속분말을 얻는 단계와, 상기 나노금속분말을 정확한 산소압에서 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조방법Supplying a wire into a reactor in a wire feeding apparatus, measuring a wire explosion length with a measuring roller in the wire feeding apparatus, generating a spark gap driving signal using the wire explosion length measuring signal, and Charging the battery until the driving signal is supplied to the driving electrode of the spark gap, and the high voltage of the battery charged with the driving signal of the spark gap passes through the insulator between the high voltage electrode and the low voltage electrode of the spark gap, and then the high voltage electrode of the reactor. Supplying the metal to the reactor, exploding the wire supplied into the reactor at the high voltage to obtain the nano metal powder, and collecting the nano metal powder at an accurate oxygen pressure. Nano powder manufacturing method 금속분말을 제조하는 장치에 있어서,In the apparatus for producing a metal powder, 높은 전압을 발생하는 펄스 발생장치(A)의 스파크 갭(6)의 저전압전극(8)과 와이어 폭발반응기(B)의 절연체(11)가 연결되고, 상기 와이어 폭발반응기 상측에 와이어를 공급하는 와이어 피딩장치(C)가 연결되며, 상기 와이어 폭발반응기 측면상단에 가스제공장치(D)의 블러워가 연결되고 측면 하단에 분말포집장치(E)의 버퍼탱크가 연결되며, 상기 와이어 피딩장치는 스파크갭(6)을 구동시키는 유도파 형성모듈(15)과 전기적으로 연결 결합되어 구성된 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조 장치The low voltage electrode 8 of the spark gap 6 of the pulse generator A generating high voltage and the insulator 11 of the wire explosion reactor B are connected, and a wire for supplying a wire to the wire explosion reactor. Feeding device (C) is connected, the blower of the gas providing device (D) is connected to the upper side of the wire explosion reactor, the buffer tank of the powder collecting device (E) is connected to the lower side, the wire feeding device is sparked Metal nano-powder manufacturing apparatus by the electro-explosion method characterized in that it is electrically connected and coupled to the guided wave forming module 15 for driving the gap (6) 제 2 항에 있어서The method of claim 2 상기 펄스 발생장치(A)는 구동된 정류자로 사용되는 세 개의 전극 방전장치로 구성하되,The pulse generator (A) is composed of three electrode discharge device used as a driven rectifier, 저전압전극(8)은 관통된 절연체를 통한 고전압전극(5)으로 연결되고, 스파크갭(6)의 구동전극(7)은 저항기를 가로질러 접지되며, 상기 고전압전극은 전기적으로 충전기(2)와 전압분배기의 상측 저항(3)과 연결되고, 상기 저전압전극은 절연체(11)를 통하여 반응기의 고전압 전극(9)과 저항기(12)와 연결되어 접지되며, 상기 구동전극의 한쪽은 전압분배기 하측저항(4)과 다른 한쪽은 연소파 형성 모듈(16)과 연결되어 구성된 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The low voltage electrode 8 is connected to the high voltage electrode 5 through the perforated insulator, the drive electrode 7 of the spark gap 6 is grounded across the resistor, and the high voltage electrode is electrically connected to the charger 2. The low voltage electrode is connected to the high voltage electrode 9 and the resistor 12 of the reactor through an insulator 11 and grounded, and one side of the driving electrode is connected to the voltage divider lower resistance. An apparatus for producing metal nanopowder by an electroexplosion method, characterized in that (4) and the other side are connected to the combustion wave forming module 16. 제 2 항에 있어서The method of claim 2 상기 와이어 폭발반응기(B)는 하측에 반응기 고전압전극(9)이 절연체(11)를 통해 펄스 발생장치(A)의 저전압전극(8)과 연결되고, 상측에 와이어를 공급하는 와이어 피딩장치(C)가 연결되며, 측면 상단에 작동가스가 들어오는 입구와 측면 하단에 금속분말과 작동가스가 배출되는 출구가 구비되고, 내부에 반응기에서 가스가 소비될때 들어오는 작동가스의 방사흐름을 차축흐름으로 변형시키는 홀(31)이 구비된것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The wire explosion reactor (B) is a wire feeding device (C) for supplying a wire to the upper side of the reactor high voltage electrode (9) is connected to the low voltage electrode (8) of the pulse generator (A) through the insulator (11) ) Is connected to the upper side of the working gas inlet and the lower side of the metal powder and the outlet gas outlet is provided, and when the gas is consumed in the reactor inside to transform the radial flow of the working gas into the axle flow Metal nano-powder manufacturing apparatus by the electric explosion method characterized in that the hole 31 is provided 제 4 항에 있어서The method of claim 4 상기 와이어 폭발반응기(B)는 와이어가 공급되는 상측 입구 둘레에 와이어 폭발반응시 고전압 접지(17)가 구비된 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The wire explosion reactor (B) is a metal nano-powder manufacturing apparatus by the electric explosion method characterized in that the high voltage ground (17) is provided during the wire explosion reaction around the upper inlet to which the wire is supplied 제 2 항에 있어서The method of claim 2 상기 와이어 피딩장치(C)는 와이어 코일(21)과 와이어 변형모듈(25) 사이에 측정롤러(22)를 위치시켜 구성하되,The wire feeding device (C) is configured by placing the measuring roller 22 between the wire coil 21 and the wire deformation module 25, 측정롤러(22)는 폭발 와이어의 길이를 측정할 수 있는 몇 개의 구멍(24)이 있고, 상기 구멍으로 전기램프(27)의 빛이 광전 변환장치(28)에 입사되어 폭발 와이어의 길이를 측정하여 스파크 갭을 트리거 시키는 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The measuring roller 22 has several holes 24 for measuring the length of the explosion wire, and the light of the electric lamp 27 is incident on the photoelectric conversion device 28 to measure the length of the explosion wire. Metal nano-powder manufacturing apparatus by the electric explosion method characterized in that for transmitting a signal to trigger a spark gap 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 가스공급장치(D)는 산소(52)와 아르곤가스(51)가 공급되는 앞단에 블라워(55)가 설치되어 작동가스가 공급되고, 상기 블라워와 가스공급장치 사이에 산소분압검출기(54)가 설치되어 분말포집장치(E)의 기계적필터(48)와 연결되어 구성된 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The gas supply device (D) is a blower 55 is installed at the front end of the oxygen 52 and the argon gas 51 is supplied with a working gas, the oxygen partial pressure detector (B) between the blower and the gas supply device ( 54) is installed and connected to the mechanical filter 48 of the powder collecting device (E), characterized in that the metal nano-powder manufacturing apparatus by the electric explosion method 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 분말포집장치(E)는 와이어 폭발 반응기의 작동가스 출구(33)와 연결되어 트랩(41)과 버퍼탱크(42)로 연결되고, 상기 버퍼탱크 출구는 연속적으로 연결된 제 1,2 사이클론(44,45)과 연결되며, 상기 사이클론 출구는 연속적으로 연결된 제 1,2 전기필터(46,47)를 통해 기계적 필터(48)로 연결되고, 상기 기계적 연결필터는 가스공급장치의 산소분압검출기(54)로 연결되어 구성된 것을 특징으로 하는 전기폭발법에 의한 금속 나노분말 제조장치The powder collecting device (E) is connected to the working gas outlet 33 of the wire explosion reactor to the trap 41 and the buffer tank 42, the buffer tank outlet is continuously connected to the first and second cyclones (44) 45, the cyclone outlet is connected to the mechanical filter 48 through the first and second electrical filters 46 and 47 connected in series, and the mechanical connection filter is the oxygen partial pressure detector 54 of the gas supply device. Metal nano-powder manufacturing apparatus by an electric explosion method characterized in that connected to
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