KR100392405B1 - Screw type Vacuum pump having variable lead - Google Patents

Screw type Vacuum pump having variable lead Download PDF

Info

Publication number
KR100392405B1
KR100392405B1 KR10-2000-0032500A KR20000032500A KR100392405B1 KR 100392405 B1 KR100392405 B1 KR 100392405B1 KR 20000032500 A KR20000032500 A KR 20000032500A KR 100392405 B1 KR100392405 B1 KR 100392405B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
screw rotor
screw
inner shaft
vacuum pump
lead
Prior art date
Application number
KR10-2000-0032500A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010111817A (en
Inventor
남기일
Original Assignee
남기일
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 남기일 filed Critical 남기일
Priority to KR10-2000-0032500A priority Critical patent/KR100392405B1/en
Publication of KR20010111817A publication Critical patent/KR20010111817A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100392405B1 publication Critical patent/KR100392405B1/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum

Abstract

본 발명은 스크류형 진공펌프에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 공기의 입구측과 출구측을 구비하는 케이싱의 내부에 성형되는 압력실의 내부에 설치되는 스크류로터를, 입구측에서 출구측을 향하여 리이드가 점점 좁아짐과 동시에, 일체로 성형하는 것을 기본적인 특징으로 하고 있다. 그리고 입구측에서 출구측을 향하여 감소되는 리이드의 감소율은, 전구간에 걸쳐 동일한 감소율을 가지도록 성형하는 것이 바람직하다. 또한 스크류로터의 내부는 중공형으로 성형하고, 그 내부에는 축방향의 중공형 내부축이 설치되어, 상기 내부축의 내부와 내부축과 스크류로터의 내부 사이에 냉각용 유체가 흐를 수 있도록 구성될 수 있다.The present invention relates to a screw type vacuum pump. According to the present invention, a screw rotor provided in an interior of a pressure chamber formed inside a casing having an air inlet and an outlet side of air has a narrower lead from the inlet side toward the outlet side and is integrally molded. It is a basic feature. And it is preferable to shape | mold so that the reduction rate of the lead reduced from the inlet side toward the outlet side may have the same reduction rate over the whole period. In addition, the inside of the screw rotor is molded in a hollow, the inside of the axial hollow inner shaft is installed, the cooling fluid can flow between the inside of the inner shaft and the inner shaft and the screw rotor can be configured. have.

Description

가변 리이드를 가지는 스크류형 진공펌프{Screw type Vacuum pump having variable lead}Screw type vacuum pump having variable lead

본 발명은 스크류형 진공펌프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스크류의 리이드가 점점 작아지도록 하는 것에 의하여, 보다 충분한 토출압력을 가짐으로써 동작신뢰도가 높은 스크류형 진공펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a screw-type vacuum pump, and more particularly, to a screw-type vacuum pump having a high operating reliability by having a more sufficient discharge pressure by the screw leads to smaller.

일반적으로 스크류형 진공펌프는, 진공상태를 필요로 하는 일정한 챔버와 연결설치되어, 진공상태를 유지할 수 있는 기능을 가지고 있다.In general, a screw-type vacuum pump is connected to a constant chamber requiring a vacuum state, and has a function of maintaining a vacuum state.

전체적인 구성을 살펴보면, 케이싱(10)의 내부에는 압력실(12)이 성형되어 있다. 그리고 상기 압력실(12)의 내부에는 스크류로터(20)가 회동 가능하게 설치되어 있다. 상기 스크류로터(20)의 스크류치형은 등간격의 리이드를 가지고 있으며, 스크류치형의 외측단부는 케이싱(10)의 압력실(12) 내부의 벽과 밀착되어 있다.Looking at the overall configuration, the pressure chamber 12 is molded inside the casing 10. In addition, the screw rotor 20 is rotatably installed in the pressure chamber 12. The screw tooth type of the screw rotor 20 has an evenly spaced lead, and the outer end of the screw tooth type is in close contact with the wall inside the pressure chamber 12 of the casing 10.

상기 스크류로터(20)는, 도 2에서와 같은 회전축(22)과 연설되어 있어서, 도시하지 않은 모터와 같은 구동원의 회전동력이 상기 회전축(22)에 전달되면 회전하게 된다. 상기 스크류로터(20)의 회전에 의하여, 진공챔버와 연결되는 입구측(In)에서의 공기가 압력실(12)의 내부로 빨려들어가게 된다. 그리고 상기 압력실(12)내부에서 회전하는 스크류(20)에 의하여 도면상에서 좌측으로 진행하게 되면서 나중에는 출구측(Out)으로 빠져나가게 된다. 이러한 과정을 반복하는 것에 의하여, 상기 입구측(In)과 연결된 부분, 예를 들면 진공을 요하는 챔버는 진공상태를 유지할 수 있게 되는 것이다.The screw rotor 20 is struck with the rotary shaft 22 as shown in FIG. 2, and rotates when a rotational power of a driving source such as a motor (not shown) is transmitted to the rotary shaft 22. By the rotation of the screw rotor 20, air at the inlet side (In) connected to the vacuum chamber is sucked into the pressure chamber 12. In addition, the screw 20 rotates in the pressure chamber 12 to the left in the drawing, and later exits to the outlet (Out). By repeating this process, a portion connected to the inlet side In, for example, a chamber requiring a vacuum, can maintain a vacuum state.

그리고 상기 스크류로터(20)는 도 1에 도시한 바와 같이 평면상에서 보았을 경우 서로 반대반향으로 회전하는 한쌍의 스크류로터(20)로 구성되고, 이들은 상기 회전축(22)에 축고정되어 있는 기어(24a)와 맞물려 있는 기어(24b)에 의하여 각각 회전하게 된다.And the screw rotor 20 is composed of a pair of screw rotors 20 that rotate in opposite directions when viewed in a planar view as shown in Figure 1, they are gear 24a fixed to the rotary shaft 22 Are rotated by the gears 24b engaged with each other.

도 1 및 도 2에 도시한 실시예는, 진공을 위한 펌핑과정에서 발생하는 고열을 쉽게 방열시키기 위하여, 상기 스크류로터(20)의 내부를 공냉식으로 냉각시킬수 있도록 구성되는 것이다. 구성을 살펴보면, 상기 스크류로터(20)를 내부가 비어있는 상태로 성형하고, 그 내부에는 파이프형상을 가지는 내부축(22a)이 설치된다. 그리고 상기 내부축(22a)의 우측은 통기형축(22b)에 의하여 연결되어 있다.1 and 2 is configured to cool the inside of the screw rotor 20 by air cooling in order to easily dissipate high heat generated in the pumping process for vacuum. Looking at the configuration, the screw rotor 20 is molded in an empty state, and the inner shaft 22a having a pipe shape is installed therein. The right side of the inner shaft 22a is connected by a venting shaft 22b.

상기 스크류로터(20)의 회전이 시작되면, 도 3의 B부분에 도시한 바와 같이, 상기 통기형축(22b)의 통기공(22c)을 통하여 내부축(22a)와, 통기형축(22b) 사이로 유입된다. 이렇게 유입된 후 도 3의 A부분에 도시한 바와 같이, 상기 내부축(22a)의 좌측단부에서 구멍(22d)를 통하여 내부축(22a)의 내부로 유입된다. 상기 내부축(22a)의 내부로 유입된 공기는 상기 내부축(22a)의 우측단부를 통하여 외부로 빠져나가게 되는 것이다.When the rotation of the screw rotor 20 starts, as shown in part B of FIG. 3, the inner shaft 22a and the venting shaft 22b through the vent hole 22c of the venting shaft 22b. Flows through). After the inflow, as shown in part A of FIG. 3, the inflow is introduced into the inner shaft 22a through the hole 22d at the left end of the inner shaft 22a. Air introduced into the inner shaft 22a is drawn out through the right end of the inner shaft 22a.

이렇게 상기 스크류로터(20)의 내부를 통과하는 공기를 순환시키는 것에 의하여, 진공압축과정에서 상기 스크류로터에 발생하는 열을 충분하게 방열시키게 된다.By circulating the air passing through the inside of the screw rotor 20, the heat generated in the screw rotor in the vacuum compression process is sufficiently radiated.

그리고 도 1 내지 도 3에 도시한 종래의 구성예에서는, 공냉식에 의하여 스크류로터를 방열시킬 수 있도록 구성하고 있지만, 종래의 다른 구성예에 의하면, 진공펌프의 스크류로터의 내부가 완전하게 채워져 있는 것도 있다.In the conventional structural examples shown in FIGS. 1 to 3, the heat dissipation of the screw rotor is achieved by air cooling. However, according to another conventional configuration example, the inside of the screw rotor of the vacuum pump is completely filled. have.

그러나 상술한 바와 같은 종래의 구성예에 의하면, 상기 스크류로터에서 압력실의 내측면과 접촉하게 되는 스크류부분의 리이드가 일정하다. 스크류부분의 리이드가 일정하다는 것은, 실제로 그 내부의 압력이 동일한 거리내에서는 동일한 압축비를 가지고 있다는 것을 의미한다. 따라서 종래의 구조에 의하면, 진공펌프의 효율면에서 일정한 한계를 가질 수 밖에 없는 단점이 제기된다.However, according to the conventional configuration as described above, the lead of the screw portion which is in contact with the inner surface of the pressure chamber in the screw rotor is constant. The constant lead of the screw part means that the pressure inside it actually has the same compression ratio within the same distance. Therefore, according to the conventional structure, there is a disadvantage that can have a certain limit in terms of efficiency of the vacuum pump.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 진공도를 충분히 높일 수 있는 스크류형 진공펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a screw-type vacuum pump that can sufficiently increase the degree of vacuum.

도 1은 종래의 스크류형 진공펌프의 횡단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional screw type vacuum pump.

도 2는 종래의 스크류형 진공펌프의 종단면도.Figure 2 is a longitudinal sectional view of a conventional screw type vacuum pump.

도 3은 종래의 스크류로터 부분의 확대도.3 is an enlarged view of a conventional screw rotor part.

도 4은 본 발명에 의한 스크류형 진공펌의 단면도.4 is a cross-sectional view of the screw-type vacuum pump according to the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 스크류로터부분의 확대도.5 is an enlarged view of a screw rotor part according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

30 ..... 케이싱 32, 34 ..... 엔드케이싱30 ..... casing 32, 34 ..... end casing

40 ..... 압력실 44 ..... 스크류로터40 ..... Pressure chamber 44 ..... Screw rotor

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 진공펌프는, 공기의 입구측과 출구측을 구비하는 케이싱의 내부에 성형되는 압력실과; 상기 압력실 내부에 설치되고, 입구측에서 출구측을 향하여 리이드가 점점 좁아짐과 동시에, 일체로 성형되는 스크류로터를 포함하여 구성되는 것을 기술적 요지로 하고 있다.Vacuum pump according to the present invention for achieving the above object, the pressure chamber is formed in the casing having an inlet side and an outlet side of the air; The technical gist of the present invention is to include a screw rotor which is provided inside the pressure chamber and gradually narrows from the inlet side toward the outlet side and is integrally formed.

그리고 상기 스크류로터의 리이드감소율은, 전구간에 걸쳐 동일한 감소율을 가지도록 성형하는 것이 바람직하다.The lead reduction rate of the screw rotor is preferably molded to have the same reduction rate throughout the entire period.

본 발명의 일실시예에 의하면, 스크류로터의 내부는 중공형으로 성형되고, 그 내부에는 축방향의 중공형 내부축이 설치되어, 상기 내부축의 내부와 내부축과 스크류로터의 내부 사이에 냉각용 유체가 흐를 수 있도록 구성된다.According to one embodiment of the invention, the inside of the screw rotor is molded in a hollow, the inner hollow shaft of the axial direction is installed therein, for cooling between the inner shaft and the inner shaft and the inside of the screw rotor It is configured to allow fluid to flow.

다음에는 도면에 도시한 실시예에 기초하면서 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명하기로 한다.Next, the present invention will be described in more detail with reference to the embodiments shown in the drawings.

먼저 도 4에는 본 발명의 제1실시예에 의한 진공펌프의 단면구성이 도시되어 있다. 도시한 바와 같이, 양측단부의 엔드케이싱(32,34)과 케이싱(30)에 의하여 형성되는 압력실(40)에는 본 발명에 의한 스크류로터(44)가 설치되어 있다.4 is a cross-sectional view of a vacuum pump according to a first embodiment of the present invention. As shown, the screw rotor 44 according to the present invention is provided in the pressure chamber 40 formed by the end casings 32 and 34 and the casing 30 at both end portions.

본 발명에 의한 스크류로터(44)는, 도시한 바와 같이, 가변 리이드를 가지고 있음과 동시에, 스크류로터(44)는 일체로 가공되어져 있다는 점에 특징을 가지고있다.As shown in the figure, the screw rotor 44 according to the present invention has a variable lead, and at the same time, the screw rotor 44 is integrally processed.

먼저 스크류로터(44)가 하나의 부품에서 절삭가공된 일체로 성형된다는 점에 대하여 살펴본다. 다수개의 스크류를 가지는 스크류로터(44)는 실제로 연속되는 나사형을 가지고 있으며, 그 각각의 외형단부는 상기 압력실(40)의 내측면에 접촉된 상태로 회전하게 되는 것은 상술한 바와 같다. 그리고 본 발명에 의하면 상기 스크류로터(44)는 하나의 부품에서 절삭가공하는 것에 의하여 성형되기 때문에, 스크류부분이 전체적으로 연속적으로 이어지게 되고 어떠한 단절상태로 발생하지 않게 된다. 따라서 상기 스크류로터(44)에 의하여 압력실(40) 내부를 통과하는 유체는 연속적으로 압축될 수 있게 된다.First, the screw rotor 44 will be described as being integrally molded by cutting in one component. The screw rotor 44 having a plurality of screws actually has a continuous screw type, and each of the outer ends thereof is rotated in contact with the inner surface of the pressure chamber 40 as described above. In addition, according to the present invention, since the screw rotor 44 is formed by cutting in one component, the screw portion is continuously connected as a whole and does not occur in any disconnected state. Therefore, the fluid passing through the pressure chamber 40 by the screw rotor 44 can be continuously compressed.

만일 스크류로터가 전체적으로 하나의 부품에서 일체로 가공되지 않는다면, 조립상의 문제점도 발생하게 되는 것은 당연하거니와, 스크류부분의 연속성에도 문제가 발생하게 된다. 따라서 본 발명에 의하면, 상기 스크류로터(44) 전체는 하나의 부품을 가공하는 것에 의하여, 일체로 구현되는 것을 기본적인 조건으로 하고 있다.If the screw rotor is not integrally machined in one part as a whole, it is natural that assembly problems also occur, but also problems in the continuity of the screw portion. Therefore, according to the present invention, the entire screw rotor 44 is a basic condition that is integrally implemented by processing a single component.

도 4에 도시한 바와 같이, 상기 스크류로터(44)는, 구동모터(도시 생략)와 연결되는 회전축(36)과는 별도로 성형되어 서로 결합되는 것으로 도시하고 있음을 알 수 있다. 이와 같이, 상기 스크류로터(44)와, 상기 스크류로터에 회전동력을 전달하기 위한 회전축(36)은 별도 성형되어도 무방하다. 또한 상기 스크류로터(44)와 회전축(36)은 일체로 가공되어도 좋다. 본 발명에 있어서는 적어도, 스크류로터(44) 자체가 일체로 성형되어 있다는 점에 주목해야 한다.As shown in FIG. 4, it can be seen that the screw rotor 44 is formed separately from the rotating shaft 36 connected to the driving motor (not shown) and illustrated as being coupled to each other. As such, the screw rotor 44 and the rotating shaft 36 for transmitting rotational power to the screw rotor may be separately formed. In addition, the screw rotor 44 and the rotating shaft 36 may be integrally processed. At least in the present invention, it should be noted that the screw rotor 44 itself is integrally molded.

그리고 상기 스크류로터(44)를 일체로 성형하기 위한 가공에 있어서는, 예를 들면 엔드밀 또는 커터 등을 이용하는 절삭가공이 가능할 것이다. 또한 1차적으로는 주물 또는 다이캐스팅에 의하여 정도가 낮은 제품을 성형한 다음, 2차적으로 절삭가공에 의하여 정도가 높은 완전한 제품으로 가공하는 것도 가능함은 물론이다.In the machining for integrally forming the screw rotor 44, for example, cutting using an end mill or a cutter may be possible. In addition, it is also possible, of course, to form a low-degree product primarily by casting or die casting, and then to secondly complete a high-definition product by cutting.

다음에는 본 발명에 의한 스크류로터(44)의 형상에 대하여 살펴보기로 한다. 도시한 바와 같이, 본 발명의 스크류로터(44)는 가변 리이드를 가지고 있음을 알 수 있다. 진공을 위하여 공기를 흡입하는 입구측(In) 에 있어서의 스크류의 리이드는 상대적으로 크게 성형하는 한편, 진공펌프에서 공기를 토출하는 출구측(Out) 측의 리이드는 상대적으로 작게 성형하고 있다.Next, the shape of the screw rotor 44 according to the present invention will be described. As shown, it can be seen that the screw rotor 44 of the present invention has a variable lead. The lead of the screw on the inlet side In that sucks in air for vacuum is molded relatively large, while the lead on the outlet side that discharges air from the vacuum pump is formed relatively small.

그리고 상기 스크류의 리이드의 변화는, 입구측의 리이드에 비하여 출구측의 리이드를 작게한다는 기본적인 범위내에서, 여러가지 형태로 실시하는 것이 가능하다. 그러나 압축되는 공기의 압축비를 고려하면, 압축되는 공기의 연속적인 압축상태 또는 원활한 압축을 위하여, 균등한 비율로 리이드가 감소하도록 구성하는 것이 바람직할 것이다.The lead of the screw can be changed in various ways within the basic range of reducing the lead on the outlet side as compared with the lead on the inlet side. However, in consideration of the compression ratio of the air to be compressed, it may be desirable to configure the lead to decrease in an equal ratio for continuous compression or smooth compression of the air to be compressed.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 진공펌프의 입구측(In)에서 출구측(out)를 향하여 점점 리이드가 작아지도록 스크류로터(44)를 형성하고 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 실질적으로 압력실(40)의 내부에서 스크류로터(44)의 회전에 의하여, 입구측(In)에서 출구측(Out)으로 갈수록 공기의 압축비가 높아지게 된다. 출구측(Out)으로 갈수록 압축비가 높아진다는 것은, 출구측(Out)으로 토출되는 공기의 속도가 높아지게 된다는 것을 의미하고, 실질적으로 펌프의 진공 효율을 높일수 있다는 것을 의미하게 된다. 이와 같이 구성하는 것에 의하여, 실제 진공펌프로서의 진공도를 더욱 높일 수 있게 된다.Thus, according to this invention, the screw rotor 44 is formed so that a lead may become small gradually from the inlet side In of the vacuum pump toward the outlet side out. According to such a structure, by the rotation of the screw rotor 44 substantially inside the pressure chamber 40, the compression ratio of air becomes high as it goes from the inlet side In to the outlet side Out. The higher compression ratio toward the outlet side means that the velocity of the air discharged to the outlet side is increased, which means that the vacuum efficiency of the pump can be substantially increased. By such a configuration, the degree of vacuum as an actual vacuum pump can be further increased.

다음에는 도 5에 기초하면서 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명하기로 한다. 도 5는 도 3에서, 스크류로터의 구성을 더욱 상세하게 도시하고 있는 것이고, 그 내부에 공기 또는 냉각수 등과 같은 냉각용 유체를 출입하도록 함으로써, 냉각효율을 극대화시킬 수 있는 예를 보이고 있다.Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. FIG. 5 illustrates the configuration of the screw rotor in more detail in FIG. 3, and shows an example of maximizing cooling efficiency by allowing a cooling fluid, such as air or cooling water, to enter and exit therein.

도 5에 도시한 바와 같이 본 실시예에 의한 스크류로터(140)도, 입구측에서 출구측을 향하여 점점 리이드가 좁아지도록 구성하고 있으며, 더욱이 스크류로터(140) 자체는 하나의 부재를 가공하는 것에 의하여, 일체로 성형되고 있음을 알 수 있다. 이러한 스크류로터의 구성은 상술한 실시예와 동일하니 본 실시예에 의한 냉각구조를 살펴보기로 한다.As shown in FIG. 5, the screw rotor 140 according to the present embodiment is also configured such that the lead is gradually narrowed from the inlet side toward the outlet side. Furthermore, the screw rotor 140 itself is used for processing one member. It can be seen that the molded body is integrally formed. Since the configuration of the screw rotor is the same as the above-described embodiment, the cooling structure according to the present embodiment will be described.

도시한 바와 같이, 본 실시예에 있어서는, 진공을 위한 펌핑과정에서 발생하는 고열을 쉽게 방열시키기 위하여, 상기 스크류로터(140)의 내부를 공냉식 또는 수냉식으로 냉각시킬 수 있도록 구성되는 것이다. 구성을 살펴보면, 상기 스크류로터(140)를 내부가 비어있는 상태로 성형하고, 그 내부에는 파이프형상을 가지는 내부축(150)이 설치된다. 그리고 상기 내부축(150)의 우측은 통기형축(152)에 의하여 연결되어 있다.As shown, in this embodiment, in order to easily dissipate the high heat generated in the pumping process for the vacuum, it is configured to cool the inside of the screw rotor 140 by air-cooled or water-cooled. Looking at the configuration, the screw rotor 140 is molded in an empty state, and the inner shaft 150 having a pipe shape is installed therein. The right side of the inner shaft 150 is connected by a vented shaft 152.

상기 스크류로터(140)의 회전이 시작되면, B부분에 도시한 바와 같이, 상기 통기형축(152)의 통기공(154)을 통하여 내부축(150)와, 통기형축(152) 사이로 유입된다. 이렇게 유입된 후에는, 스크류로터(140)와 내부축(150) 사이를 따라 좌측으로 흐르게 된다. 그리고 A부분에 도시한 바와 같이, 상기 내부축(150)의 좌측단부에서 구멍(151)를 통하여 내부축(150)의 내부로 유입된다. 상기 내부축(150)의 내부로 유입된 공기는 상기 내부축(150)의 우측단부를 통하여 외부로 빠져나가게 되는 것이다.When the rotation of the screw rotor 140 is started, as shown in part B, the air flows between the inner shaft 150 and the vent shaft 152 through the vent hole 154 of the vent shaft 152. do. After this flow, it flows to the left along the screw rotor 140 and the inner shaft 150. And as shown in part A, it is introduced into the inner shaft 150 through the hole 151 at the left end of the inner shaft 150. The air introduced into the inner shaft 150 is drawn out through the right end of the inner shaft 150.

이렇게 상기 스크류로터(140)의 내부를 통과하는 공기 또는 물과 같은 냉각성 유체를 순환시키는 것에 의하여, 진공압축과정에서 상기 스크류로터에 발생하는 열을 충분하게 방열시키게 된다.By circulating a coolant fluid such as air or water passing through the inside of the screw rotor 140, heat generated in the screw rotor in the vacuum compression process is sufficiently dissipated.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명에 의하면, 스크류형 진공펌프에 있어서 스크류로터를 공기의 입구측에서 출구측을 향하여 리이드가 점점 좁아지도록 구성함과 동시에, 스크류로터가 일체로 구성되도록 성형하는 것을 기본적인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.According to the present invention as described above, in the screw-type vacuum pump, the screw rotor is configured such that the lead is gradually narrowed from the inlet side to the outlet side of the air, and at the same time forming the screw rotor integrally formed It can be seen that it is thought.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명에 의하면, 진공펌프의 진공효율을 더욱 높일 수 있게 됨을 알 수 있다. 즉, 가변리이드를 가지는 스크류로터를 일체로 성형하는 것에 의하여, 압축효율이 높아지게 되고, 토출공기가 더욱 원활하게 배기될 수 있도록 함으로써 진공도를 더욱 높일 수 있게 되는 것이다. 진공도를 더욱 높일 수 있다는 것은, 동일한 동력을 사용하게 되면 진공도를 더욱 높일 수 있다는 의미를 가짐과 동시에, 동일한 진공도를 달성하기 위해서는 구동에 필요한 동력이 더욱 작아질 수 있다는 것을 의미하는 것은 당연하다.According to the present invention as described above, it can be seen that the vacuum efficiency of the vacuum pump can be further increased. In other words, by integrally molding the screw rotor having a variable lead, the compression efficiency is increased, and the degree of vacuum can be further increased by allowing the discharged air to be exhausted more smoothly. Further increasing the degree of vacuum means that the same power can be used to increase the degree of vacuum, and at the same time, it means that the power required for driving can be smaller to achieve the same degree of vacuum.

Claims (3)

공기의 입구측과 출구측을 구비하는 케이싱의 내부에 성형되는 압력실과;A pressure chamber formed inside a casing having an inlet side and an outlet side of air; 상기 압력실 내부에 설치되고, 입구측에서 출구측을 향하여 리이드가 점점 감소함과 동시에, 일체로 성형되는 스크류로터를 포함하고;A screw rotor installed inside the pressure chamber, the screw rotor being integrally formed while the lead gradually decreases from the inlet side toward the outlet side; 상기 리이드 감소율은 전체 구간에 걸쳐 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 스크류형 진공펌프.The lead reduction rate is a screw-type vacuum pump, characterized in that formed over the entire section. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 스크류로터의 내부는 중공형으로 성형하고, 그 내부에는 축방향의 중공형 내부축이 설치되어, 상기 내부축의 내부와 내부축과 스크류로터의 내부 사이에 냉각용 유체가 흐를 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스크류형 진공펌프.The method of claim 1, wherein the inside of the screw rotor is molded in a hollow, the inside of the axial hollow inner shaft is installed, the cooling fluid between the inner shaft and the inner shaft and the inside of the screw rotor Screw-type vacuum pump, characterized in that configured to flow.
KR10-2000-0032500A 2000-06-13 2000-06-13 Screw type Vacuum pump having variable lead KR100392405B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0032500A KR100392405B1 (en) 2000-06-13 2000-06-13 Screw type Vacuum pump having variable lead

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0032500A KR100392405B1 (en) 2000-06-13 2000-06-13 Screw type Vacuum pump having variable lead

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020020000906U Division KR200273392Y1 (en) 2002-01-11 2002-01-11 Screw type Vacuum pump having variable lead

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010111817A KR20010111817A (en) 2001-12-20
KR100392405B1 true KR100392405B1 (en) 2003-07-31

Family

ID=45932679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0032500A KR100392405B1 (en) 2000-06-13 2000-06-13 Screw type Vacuum pump having variable lead

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100392405B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103195715A (en) * 2013-04-03 2013-07-10 威海智德真空科技有限公司 Stainless steel hollow screw rod
US11359632B2 (en) * 2014-10-31 2022-06-14 Ingersoll-Rand Industrial U.S., Inc. Rotary screw compressor rotor having work extraction mechanism

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57198905A (en) * 1981-05-08 1982-12-06 Creusot Loire Method and facility for supplying fuel to combustion chamber
JPS62197681A (en) * 1986-02-26 1987-09-01 Hitachi Ltd Screw pump
JPS62197681U (en) * 1986-06-04 1987-12-16
JPH04203280A (en) * 1990-11-28 1992-07-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fluid rotary device
KR20000035974A (en) * 1996-09-12 2000-06-26 아뜰리에 부쉬 에스.에이. Screw rotor set

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57198905A (en) * 1981-05-08 1982-12-06 Creusot Loire Method and facility for supplying fuel to combustion chamber
JPS62197681A (en) * 1986-02-26 1987-09-01 Hitachi Ltd Screw pump
JPS62197681U (en) * 1986-06-04 1987-12-16
JPH04203280A (en) * 1990-11-28 1992-07-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fluid rotary device
KR20000035974A (en) * 1996-09-12 2000-06-26 아뜰리에 부쉬 에스.에이. Screw rotor set

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010111817A (en) 2001-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1882856B1 (en) Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotors
KR101324873B1 (en) Screw pump
US4995796A (en) Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type
TWI453342B (en) Vacuum pump
KR100682586B1 (en) Dry-compressing screw pump
KR101888156B1 (en) turbo compressor with separated paths for cooling air
JP2001055992A (en) Compressive medium discharger
JP2009074554A (en) Multi-stage helical screw rotor
KR100392405B1 (en) Screw type Vacuum pump having variable lead
KR200273392Y1 (en) Screw type Vacuum pump having variable lead
US6200116B1 (en) Vacuum pumps
US6129534A (en) Vacuum pumps
KR20060047511A (en) Screw fluid machine
EP2264319B1 (en) Oil free screw compressor
US6019586A (en) Gradationally contracted screw compression equipment
JP5313260B2 (en) Dry pump
JP3127973B2 (en) Operation Noise Reduction Structure of Internal Gear Type Liquid Pump Using Trochoidal Tooth
KR20040077882A (en) Compressed air motor
JP7072417B2 (en) Screw compressor
JP5074511B2 (en) Positive displacement gas compressor
JP6836922B2 (en) Oil pump
KR200203008Y1 (en) Air-circulating cooling unit of screw rotor for screw-type vacuum pump
JPS63147989A (en) Combination vacuum pump
KR200267804Y1 (en) vacuum pump
JP2618825B2 (en) Intercoolerless air-cooled 4-stage roots vacuum pump

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060703

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee