KR100379900B1 - microwave electric elements fabricated using porous oxidized silicon layer and fabricating method of the same - Google Patents
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Abstract
실리콘 기판 위에 다공성 산화 실리콘으로 이루어진 기둥이 형성되어 있고, 이 기둥 위에는 구멍을 가지는 절연막이 형성되어 있으며, 절연막 위에는 인덕터, 축전기, 저항 등의 수동 소자가 형성되어 있다. 이렇게 하면 수동 소자가 다공성 산화 실리콘 기둥에 의하여 실리콘 기판으로부터 분리되어 있으므로 전자기장은 대부분 공중에 형성된다. 따라서 1GHz 이상의 초고주파 영역에서도 실리콘 기판에 의한 신호 손실은 거의 발생하지 않는다.A pillar made of porous silicon oxide is formed on the silicon substrate, and an insulating film having holes is formed on the pillar, and passive elements such as an inductor, a capacitor, and a resistor are formed on the insulating film. In this way, the electromagnetic field is mostly formed in the air because the passive element is separated from the silicon substrate by the porous silicon oxide pillar. Therefore, signal loss due to the silicon substrate hardly occurs even in the ultra-high frequency region of 1 GHz or more.
Description
본 발명은 다공성 산화 실리콘층(porous oxidized silicon layer)을 이용하여 형성한 수동 전기 소자 즉 인덕터(inductor), 축전기(capacitor), 저항 (resistor) 등에 관한 것으로서, 특히 MMIC(monolithic microwave integrated circuit)를 구현하기 위한 초고주파용 수동 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to passive electrical elements formed using a porous oxidized silicon layer, ie inductors, capacitors, resistors, etc., in particular to implement a MMIC (monolithic microwave integrated circuit). It relates to an ultra-high frequency passive device for.
MMIC는 아날로그(analog) 회로로써 초고주파 신호를 베이스밴드(baseband) 신호로 변환하거나 반대로 베이스밴드 신호를 초고주파 신호로 변환하는 회로이다. MMIC는 초고주파수에서 동작해야 하기 때문에 무선 통신에 있어서도 가장 고급 기술을 필요로 하는 분야이며, MMIC의 동작이 무선 연결의 범위, 전지의 수명 및 통신 품질을 좌우한다.The MMIC is an analog circuit that converts an ultrahigh frequency signal into a baseband signal, or conversely, converts a baseband signal into an ultrahigh frequency signal. MMICs require the most advanced technology in wireless communications because they must operate at very high frequencies, and the operation of MMICs determines the range of wireless connections, battery life and communication quality.
한편, MMIC를 형성함에 있어서 기판으로 실리콘 기판이 널리 사용되는데 이는 알루미나 기판에 비해 가격이 저렴하고 열전도도가 높으며 트랜지스터나 IC 등의 능동 소자를 기판에 직접 형성할 수 있을 뿐만 아니라 실리콘 기판을 사용하는 반도체 공정 기술이 충분히 개발되어 있어서 실용화하기 쉽기 때문이다. 그러나 실리콘 기판은 반도체인 특성상 절연성이 떨어져 초고주파 영역에서 사용하기 어려운 단점이 있다. 능동 소자의 경우에는 공정 기술의 발달로 수십 GHz에서도 동작하는 것도 개발되고 있으나 수동 소자의 경우에는 지나친 신호 손실로 인하여 일정 주파수 이상에서는 실리콘 기판을 사용하기 어렵다. 이러한 문제점을 해결하고자 두꺼운 폴리이미드막을 사용한다거나 유리 물질을 국부적으로 이용하는 방법 등이 개발되고 있으나 충분한 수준은 아니다.On the other hand, silicon substrates are widely used as substrates for forming MMIC, which is cheaper than alumina substrates, has high thermal conductivity, and can form active elements such as transistors or ICs directly on the substrates. This is because the semiconductor process technology has been sufficiently developed and easily used. However, the silicon substrate has a disadvantage in that it is difficult to use in the ultra-high frequency region because of its insulating property due to the semiconductor. Active devices have been developed to operate at several tens of GHz due to the development of process technology, but passive devices have difficulty in using silicon substrates above a certain frequency due to excessive signal loss. In order to solve this problem, a method of using a thick polyimide film or locally using a glass material has been developed, but not enough.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 초고주파 영역에서 발생하는 실리콘 기판에 의한 신호 손실을 방지하여 수십 GHz의 초고주파 영역에서도 동작하는 초고주파용 소자를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an ultra high frequency device that operates in an ultra high frequency region of several tens of GHz by preventing signal loss caused by a silicon substrate occurring in an ultra high frequency region.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 사시도이고,1 is a perspective view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a first embodiment of the present invention,
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 단면도이고,2 is a cross-sectional view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a second embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 사시도이고,3 is a perspective view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a third embodiment of the present invention,
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이고,4 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a fourth embodiment of the present invention,
도 5는 본 발명의 제5 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이고,5 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a fifth embodiment of the present invention,
도 6은 본 발명의 제6 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이고,6 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a sixth embodiment of the present invention,
도 7은 본 발명의 제7 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 저항의 사시도이고,7 is a perspective view of a resistance formed by using a porous silicon oxide layer according to a seventh embodiment of the present invention,
도 8은 본 발명의 제8 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 에어 브리지의 사시도이고,8 is a perspective view of an air bridge formed using a porous silicon oxide layer according to an eighth embodiment of the present invention;
도 9는 본 발명의 제9 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 사시도이고,9 is a perspective view of a coplanar or strip line fetch antenna formed using a porous silicon oxide layer according to a ninth embodiment of the present invention;
도 10은 본 발명의 제10 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 사시도이고,10 is a perspective view of a coplanar or strip line fetch antenna formed using a porous silicon oxide layer according to a tenth embodiment of the present invention;
도 11은 본 발명의 제11 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 수동 소자를 사용하여 형성한 MMIC의 사시도이다.11 is a perspective view of an MMIC formed using a passive element formed using a porous silicon oxide layer according to an eleventh embodiment of the present invention.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 실리콘 기판 위에 다공성 산화 실리콘으로 기둥을 형성하고 그 위에 소자 패턴을 형성한다.In order to solve this problem, in the present invention, a pillar is formed of porous silicon oxide on a silicon substrate, and an element pattern is formed thereon.
이 때, 기둥과 소자 패턴 사이에는 절연막을 형성할 수 있다.At this time, an insulating film can be formed between the pillar and the element pattern.
또는, 실리콘 기판 위에 다공성 산화 실리콘 기둥을 형성하고, 실리콘 기판의 일부를 다공성 산화 실리콘 기둥과 같은 높이로 남겨둔다. 이러한 실리콘 기둥위에 능동 소자를 형성하고, 다공성 산화 실리콘 기둥 위에는 능동 소자와 연결되어 있는 수동 소자를 형성한다.Alternatively, a porous silicon oxide pillar is formed on the silicon substrate, and part of the silicon substrate is left at the same height as the porous silicon oxide pillar. An active element is formed on the silicon pillar, and a passive element connected to the active element is formed on the porous silicon oxide pillar.
또, 실리콘 기판 위에 함몰부를 가지는 다공성 산화 실리콘층을 형성하고, 함몰부 바닥을 따라 제1 배선을 형성하며, 함몰부 위에 걸치도록 제2 배선을 형성한다.Further, a porous silicon oxide layer having a depression is formed on the silicon substrate, a first wiring is formed along the bottom of the depression, and a second wiring is formed so as to extend over the depression.
그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 초고주파용 소자에 대하여 설명한다.Next, an ultra high frequency device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 사시도이다.1 is a perspective view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a first embodiment of the present invention.
실리콘 기판(10) 위에 다공성 산화 실리콘으로 이루어진 기둥(20, 21)이 형성되어 있고, 기둥(20, 21) 위에는 질화 실리콘막, 산화 실리콘막, SOG 또는 폴리이미드 등의 물질로 이루어진 얇은 절연막(30)이 형성되어 있다. 이 때, 절연막 (30)은 기둥(20, 21) 위에 놓여 있어서 실리콘 기판(10)과는 분리되어 공기 중에 떠있는 형태로 형성되어 있고, 절연막(30)에는 다수의 구멍(31)이 뚫려 있다. 절연막(30) 위에는 알루미늄, 티타늄 또는 금 등의 금속으로 이루어진 인덕터 배선 (41)이 형성되어 있다. 인덕터 배선은 코일(coil)화 되어 있고, 인덕터 배선(41)이 교차하는 지점에는 에어 브리지(air bridge)(61)가 형성되어 있어서 인덕터 배선(41)이 중간에서 단락되는 것을 방지하고 있다.Pillars 20 and 21 made of porous silicon oxide are formed on the silicon substrate 10, and a thin insulating film 30 made of a material such as silicon nitride film, silicon oxide film, SOG or polyimide is formed on the pillars 20 and 21. ) Is formed. At this time, the insulating film 30 is formed on the pillars 20 and 21 so as to be separated from the silicon substrate 10 and float in the air. A plurality of holes 31 are formed in the insulating film 30. . An inductor wiring 41 made of a metal such as aluminum, titanium, or gold is formed on the insulating film 30. The inductor wiring is coiled, and an air bridge 61 is formed at the point where the inductor wiring 41 intersects, thereby preventing the inductor wiring 41 from being shorted in the middle.
이렇게 하면 인덕터 배선(41)이 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)에 의하여 실리콘 기판(10)으로부터 분리되어 있으므로 전자기장은 대부분 인덕터 배선(41)주위의 공중에 형성된다. 따라서 실리콘 기판(10)에 의한 신호 손실은 거의 발생하지 않는다.In this case, since the inductor wiring 41 is separated from the silicon substrate 10 by the porous silicon oxide pillars 20 and 21, the electromagnetic field is mostly formed in the air around the inductor wiring 41. Therefore, signal loss by the silicon substrate 10 hardly occurs.
그러면 이러한 구조의 초고주파용 인덕터를 형성하는 여러 방법 중 하나에 대하여 설명한다.Next, one of several methods of forming an ultra-high frequency inductor having such a structure will be described.
먼저, 실리콘 기판(10) 위에 감광막을 도포하고 노광, 현상하여 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)을 형성하고자 하는 부분만을 노출시키고 나머지 부분은 덮는 감광막 패턴을 형성한다. 이어서, 양극화에 의한 전기 화학법을 사용하여 실리콘 기판의 노출된 부분에만 다공성 실리콘층을 형성하고, 이 다공성 실리콘층을 다시 열산화하여 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)을 형성한다.First, a photoresist film is coated on the silicon substrate 10, and the photoresist film is exposed and developed to expose only a portion of the porous silicon oxide pillars 20 and 21 and to form a photoresist pattern covering the remaining portions. Subsequently, a porous silicon layer is formed only on the exposed portion of the silicon substrate using an electrochemical method by anodization, and the porous silicon layer is thermally oxidized again to form the porous silicon oxide pillars 20 and 21.
다음, 위에서 형성된 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21) 및 실리콘이 그대로 남아 있어야 할 부분을 덮는 감광막 패턴을 다시 형성한다. 다시 양극화에 의한 전기 화학법을 사용하여 실리콘 기판의 노출되어 있는 부분을 다공성 실리콘층으로 변화시킨다.Next, the photosensitive film pattern covering the portions of the porous silicon oxide pillars 20 and 21 formed above and the portion where the silicon should remain intact is formed again. The exposed part of the silicon substrate is then changed to a porous silicon layer using an electrochemical method by anodization.
다음, 감광막 패턴을 제거하고, 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition : CVD) 등을 사용하여 산화 실리콘막, 질화 실리콘막, SOG막 또는 폴리이미드막 등의 절연막(30)을 다공성 산화 실리콘층(20, 21) 위에 형성한다.Next, the photoresist pattern is removed, and an insulating film 30 such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, an SOG film, or a polyimide film is removed by chemical vapor deposition (CVD) or the like. 21) form on.
절연막(30) 위에 도금 공정(plating)을 통하여 인덕터 배선(41)을 형성한다. 도금 공정은 다음과 같이 진행된다. 먼저, 절연막(30) 전면에 얇은 두께로 알루미늄, 티타늄 또는 금 등의 금속을 증착하여 씨드(seed)층을 형성하고, 그 위에 인덕터 배선(41)이 형성될 부분만을 노출시키는 감광막 패턴을 형성하여 도금틀을 만든다. 이어서, 전기 도금하고 감광막 패턴을 제거한 다음, 전면 식각하여 씨드층을 제거하고 나면 씨드층에 비하여 두께가 충분히 두꺼운 인덕터 배선(41)만 남게 된다. 에어 브리지(61) 부분은 인덕터 배선(41)의 교차 부분을 덮는 감광막 패턴을 형성한 다음 그 위에 도금 공정을 다시 한번 진행하여 형성한다.The inductor wiring 41 is formed on the insulating film 30 by plating. The plating process proceeds as follows. First, a thin layer of metal such as aluminum, titanium, or gold is deposited on the entire surface of the insulating film 30 to form a seed layer, and a photoresist layer pattern exposing only a portion on which the inductor wiring 41 is to be formed is formed thereon. Make a plating mold. Subsequently, after the electroplating, the photoresist pattern is removed, and the entire surface is etched to remove the seed layer, only the inductor wiring 41 thicker than the seed layer is left. The air bridge 61 portion is formed by forming a photosensitive film pattern covering an intersection portion of the inductor wiring 41 and then performing a plating process thereon once again.
다음, 사진 식각법(photolithography)을 통하여 절연막(30)에 구멍(31)을 형성하고, 이 구멍(31)을 통하여 식각 물질[예 : 수산화나트륨(NaOH)]을 주입하여 다공성 실리콘층을 식각함으로써 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)만을 남긴다.Next, a hole 31 is formed in the insulating film 30 through photolithography, and an etching material (eg, sodium hydroxide (NaOH)) is injected through the hole 31 to etch the porous silicon layer. Only the porous silicon oxide pillars 20 and 21 are left.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a second embodiment of the present invention.
제2 실시예의 인덕터는 도 1의 제1 실시예에서와 마찬가지로 실리콘 기판 (10), 실리콘 기판(10) 위에 형성되어 있는 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21), 기둥(20, 21) 위에 형성되어 있으며 구멍(31)을 가지는 제1 절연막(30) 및 제1 절연막(30) 위에 형성되어 있는 제1 인덕터 배선(41)으로 이루어져 있다. 다만, 제1 인덕터 배선(41) 위에 형성되어 있는 제2 절연막(50)과 제2 절연막(50) 위에 형성되어 있는 제2 인덕터 배선(42)을 더 포함하고 있으며, 제1 인덕터 배선(41)과 제2 인덕터 배선(42)을 연결하기 위한 접촉구(51, 52)가 형성되어 있는 점이 제1 실시예와 다르다. 즉, 제2 실시예는 인덕터 배선(41, 42)을 이중층으로 형성하여 인덕터 배선의 길이를 증가시킴으로써 인덕턴스를 크게 한 것이다.The inductor of the second embodiment is formed on the silicon substrate 10, the porous silicon oxide pillars 20, 21 and the pillars 20, 21 formed on the silicon substrate 10 as in the first embodiment of FIG. And a first insulator wire 30 having a hole 31 and a first inductor wire 41 formed on the first insulator film 30. The first inductor wire 41 may further include a second insulator wire 50 formed on the first inductor wire 41 and a second inductor wire 42 formed on the second insulator wire 50. The contact points 51 and 52 for connecting the second inductor wire 42 with each other are formed differently from the first embodiment. That is, in the second embodiment, the inductance is increased by forming the inductor wirings 41 and 42 in a double layer to increase the length of the inductor wiring.
이러한 인덕터를 형성하는 방법은 제1 실시예에서와 거의 동일하다. 다만, 제2 절연막(50)과 제2 인덕터 배선(42)을 형성하는 공정이 추가되나 이는 제1 절연막(30) 및 제1 인덕터 배선(41) 형성 공정과 동일한 방법에 의한다. 이 때, 공정 단순화 측면에서 식각 물질[예 : NaOH]을 주입하기 위한 구멍(31)은 접촉구(51, 52)와 함께 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 제2 절연막(50) 적층 후 제2 금속 배선 형성 전에 제2 절연막(50)에 접촉구(51, 52)를 형성할 때 구멍(31)도 함께 형성하면 사진 식각법 적용 회수를 줄일 수 있다.The method of forming such an inductor is almost the same as in the first embodiment. However, a process of forming the second insulating film 50 and the second inductor wiring 42 is added, but this is based on the same method as the process of forming the first insulating film 30 and the first inductor wiring 41. At this time, in order to simplify the process, it is preferable to form the holes 31 for injecting the etching material (eg, NaOH) together with the contact holes 51 and 52. That is, when the contact holes 51 and 52 are formed in the second insulating film 50 after the second insulating film 50 is stacked before the second metal wiring is formed, the number of holes 31 is also formed to reduce the number of photolithography applications. have.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 인덕터의 사시도이다.3 is a perspective view of an inductor formed using a porous silicon oxide layer according to a third embodiment of the present invention.
제3 실시예는 도 1의 제1 실시예에서 인덕터 배선(41) 하부의 절연막(30)이 생략된 형태이며, 에어 브리지를 형성하는 대신 와이어 본딩(wire bonding)(60)을 통하여 인덕터 배선(41)의 중간 단락을 방지하고 있다.The third embodiment is a form in which the insulating film 30 under the inductor wiring 41 is omitted in the first embodiment of FIG. 1, and instead of forming an air bridge, the inductor wiring (wire bonding) 60 is formed through the wire bonding 60. 41) prevents an intermediate short circuit.
이러한 구조의 인덕터를 형성하는 하나의 방법을 설명한다.One method of forming an inductor of this structure will be described.
먼저, 실리콘 기판(10)을 사진 식각법을 통하여 패터닝함으로써 실리콘 기둥을 형성한다.First, a silicon pillar is formed by patterning the silicon substrate 10 through photolithography.
다음, 양극화에 의한 전기 화학법을 통하여 실리콘 기둥을 다공성 실리콘 기둥으로 변화시키고, 다시 열산화시켜 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)을 형성한다. 이 때, 감광막 패턴을 형성한 후 전기 화학법, 열산화 및 식각을 적용함으로써 부분에 따라 선택적으로 다공성 산화 실리콘 기둥을 형성하거나 실리콘 기둥을 그대로 남길 수 있다.Next, the silicon pillar is changed into a porous silicon pillar through electrochemical method by anodization, and thermally oxidized to form porous silicon oxide pillars 20 and 21. At this time, after forming the photoresist pattern, by applying electrochemical method, thermal oxidation and etching, it is possible to selectively form a porous silicon oxide pillar or leave the silicon pillar as it is depending on the part.
이어서, 기둥(20, 21) 주위를 유전율이 낮은 유전체를 도포하여 채움으로써 평탄화하고, 그 위에 씨드 금속층을 증착하고, 감광막 패턴을 형성하여 도금틀을만들고, 금속을 도금한다. 다음 와이어를 본딩한다. 도금틀인 감광막 패턴을 제거하고 금속을 전면 식각하여 씨드 금속층을 제거함으로써 인덕터 배선(41)을 형성한 다음, 기둥(20, 21) 주위를 채우고 있는 유전체를 제거하거나 소자의 보호를 위하여 인덕터 배선(41) 위에 추가로 유전율이 낮은 유전체를 도포한다.Subsequently, the pillars 20 and 21 are flattened by applying and filling a dielectric having a low dielectric constant, depositing a seed metal layer thereon, forming a photosensitive film pattern to form a plating mold, and plating the metal. Bond the next wire. The inductor wiring 41 is formed by removing the photoresist pattern, which is a plating frame, and etching the entire metal to remove the seed metal layer, and then removing the dielectric filling around the pillars 20 and 21 or protecting the device. 41) Apply an additional low dielectric constant on top.
이렇게 하면 제1 실시예의 브리지 부분으로 인해 발생하던 신호 간섭을 감소시킬 수 있고, 더 높은 Q 팩터(factor)를 얻을 수 있으며, 직렬 정전 용량 (capacitance)을 줄일 수 있다.This reduces the signal interference caused by the bridge portion of the first embodiment, obtains a higher Q factor, and reduces the series capacitance.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이다.4 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a fourth embodiment of the present invention.
제4 실시예도 실리콘 기판(10), 다공성 산화 실리콘 기둥(21, 20) 및 제1 절연막(30)은 제1 실시예와 동일하다. 다만, 제1 절연막(30) 위에 인덕터 배선 대신 정전 용량을 형성하기 위한 제1 전극(43)과 제2 전극(44) 및 이들 사이에 끼워져 있는 제2 절연막(50)이 형성되어 있는 점이 다르다.In the fourth embodiment, the silicon substrate 10, the porous silicon oxide pillars 21 and 20, and the first insulating film 30 are the same as in the first embodiment. However, the first electrode 43 and the second electrode 44 and the second insulating film 50 sandwiched therebetween are formed on the first insulating film 30 to form the capacitance instead of the inductor wiring.
이렇게 하면 수 pF 이상의 정전 용량을 가지는 축전기를 형성할 수 있다. 이 때, 정전 용량은 제1 및 제2 전극(43, 44)의 면적 및 절연막의 두께와 유전율에 의하여 결정된다.In this way, a capacitor having a capacitance of several pF or more can be formed. At this time, the capacitance is determined by the area of the first and second electrodes 43 and 44 and the thickness and dielectric constant of the insulating film.
이러한 구조의 축전기를 형성하는 방법에 있어서도 다공성 산화 실리콘 기둥 (20, 21)을 형성하는 방법은 제1 실시예와 동일하다. 다만, 인덕터 배선 형성 공정 대신 도금 공정을 통하여 제1 전극(43)을 형성하고, 제1 전극(43) 위에 절연막의 증착 및 사진 식각법을 통하여 제2 절연막(50)을 형성하고, 다시 도금 공정을진행하여 제2 전극(44)을 형성한다.Also in the method of forming the capacitor of this structure, the method of forming the porous silicon oxide pillars 20 and 21 is the same as in the first embodiment. However, instead of the inductor wiring forming process, the first electrode 43 is formed through the plating process, the second insulating film 50 is formed on the first electrode 43 through the deposition and photolithography of the insulating film, and the plating process is performed again. Proceed to form the second electrode (44).
도 5는 본 발명의 제5 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이다.5 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a fifth embodiment of the present invention.
실리콘 기판(10), 다공성 산화 실리콘 기둥(21, 20) 및 절연막(30)은 제1 실시예와 동일하다. 다만, 절연막(30) 위에 정전 용량을 형성하기 위한 두 전극(43, 44)이 서로 분리되어 형성되어 있는 점이 다르다. 이 때, 두 전극(43, 44)은 각각 다수의 가지 전극을 가지고 있으며 이들 가지 전극은 서로 교대로 배치되어 있어서 깍지낀 모양을 하고 있다. 이는 두 전극(43, 44) 사이에 중첩되는 면적을 크게 하여 정전 용량을 증가시키기 위함이다. 여기서 정전 용량은 가지 전극의 수, 가지 전극의 중첩되는 길이 등에 의하여 결정된다. 이러한 구조의 축전기는 수 pF 이하의 정전 용량을 필요로 하는 소자에 주로 사용된다.The silicon substrate 10, the porous silicon oxide pillars 21 and 20 and the insulating film 30 are the same as in the first embodiment. However, the two electrodes 43 and 44 for forming the capacitance on the insulating film 30 are different from each other. At this time, the two electrodes 43 and 44 each have a plurality of branch electrodes, and these branch electrodes are alternately arranged with each other to form a clad shape. This is to increase the capacitance by increasing the overlapping area between the two electrodes 43 and 44. The capacitance is determined by the number of branch electrodes, the overlapping length of the branch electrodes, and the like. Capacitors of this structure are mainly used in devices requiring capacitance of several pF or less.
이러한 형태의 축전기는 제1 실시예의 인덕터를 형성하는 공정과 동일한 방법을 통하여 형성할 수 있어서 제4 실시예에 따른 축전기에 비하여 형성 공정이 간단하다.This type of capacitor can be formed by the same method as that of forming the inductor of the first embodiment, so that the forming process is simpler than that of the capacitor according to the fourth embodiment.
도 6은 본 발명의 제6 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 축전기의 사시도이다.6 is a perspective view of a capacitor formed using a porous silicon oxide layer according to a sixth embodiment of the present invention.
제6 실시예의 축전기는 제5 실시예에서 절연막(30)을 생략한 형태이다. 이러한 구조에서는 두 전극(43, 44) 주위에 형성되는 전자기장이 모두 공기 중에 놓이게 되므로 기생 성분을 최소화 할 수 있다.The capacitor of the sixth embodiment is a form in which the insulating film 30 is omitted in the fifth embodiment. In this structure, since the electromagnetic fields formed around the two electrodes 43 and 44 are all placed in the air, parasitic components can be minimized.
이러한 구조의 축전기는 도 3의 제3 실시예에 따른 인덕터를 형성하는 공정과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.The capacitor of this structure can be formed in the same manner as the process of forming the inductor according to the third embodiment of FIG.
도 7은 본 발명의 제7 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 저항의 사시도이다.7 is a perspective view of a resistance formed using a porous silicon oxide layer according to a seventh embodiment of the present invention.
실리콘 기판(10), 다공성 산화 실리콘 기둥(21, 20) 및 절연막(30)은 제1 실시예와 동일하다. 다만, 절연막(30) 위에 저항이 큰 물질인 니크롬과 같은 금속으로 이루어진 저항 패턴(60)이 형성되어 있고, 그 양단에 다른 소자와 연결하기 위한 금속 배선(45)이 연결되어 있다. 이 때, 금속 배선(45)은 알루미늄이나 티타늄 또는 금 등으로 형성된다.The silicon substrate 10, the porous silicon oxide pillars 21 and 20 and the insulating film 30 are the same as in the first embodiment. However, a resistance pattern 60 made of a metal such as nichrome, which is a material having a large resistance, is formed on the insulating film 30, and metal wires 45 for connecting with other elements are connected at both ends thereof. At this time, the metal wiring 45 is made of aluminum, titanium, gold, or the like.
이러한 구조의 저항을 형성하는 공정은 절연막(30) 위에 니크롬 등을 고진공 증착 방법에 의하여 증착하고 패터닝하여 저항 패턴(60)을 형성한 후에 도금 공정을 통하여 금속 배선(45)을 형성하는 과정을 제외하고는 제1 실시예와 동일하다.The process of forming a resistor having such a structure excludes a process of depositing and patterning nichrome and the like on the insulating film 30 by a high vacuum deposition method to form a resistance pattern 60 and then forming a metal wiring 45 through a plating process. Is the same as the first embodiment.
도 8은 본 발명의 제8 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 에어 브리지의 사시도이다.8 is a perspective view of an air bridge formed using a porous silicon oxide layer according to an eighth embodiment of the present invention.
실리콘 기판(10) 위에 다공성 산화 실리콘층(22)이 형성되어 있고, 다공성 산화 실리콘층(22) 위에는 두 금속 배선(45, 46)이 서로 교차하고 있다. 이 때, 다공성 산화 실리콘층(22)에는 함몰부(23)가 형성되어 있고, 두 금속 배선(45, 46)은 이 함몰부(23)에서 서로 교차하고 있다. 제1 배선(45)은 함몰부(23) 바닥을 따라 형성되어 있고, 제2 배선(46)은 함몰부(23) 위에 걸쳐져 있어서 두 배선(45, 46)은 서로 분리되어 있다.The porous silicon oxide layer 22 is formed on the silicon substrate 10, and the two metal wires 45 and 46 cross each other on the porous silicon oxide layer 22. At this time, the depression 23 is formed in the porous silicon oxide layer 22, and the two metal wires 45 and 46 cross each other at this depression 23. As shown in FIG. The first wiring 45 is formed along the bottom of the depression 23, and the second wiring 46 is over the depression 23 so that the two wirings 45 and 46 are separated from each other.
이러한 에어 브리지를 형성하는 방법을 설명한다.A method of forming such an air bridge will be described.
먼저, 실리콘 기판(10)을 선택 식각하여 함몰부(23)를 형성하고, 양극 산화 및 열산화를 통하여 실리콘 기판(10) 상부를 다공성 산화 실리콘층(22)으로 변화시킨다.First, the silicon substrate 10 is selectively etched to form the depression 23, and the upper portion of the silicon substrate 10 is changed to the porous silicon oxide layer 22 through anodization and thermal oxidation.
이어서, 제1차로 도금 공정을 통하여 제1 배선(45)을 형성하고, 유전체 등을 함몰부에 채워 넣어 평탄화 한 다음, 제2차로 도금 공정을 진행하여 제2 배선(46)을 형성하고, 함몰부 안의 유전체를 제거하거나 보호를 위하여 제2 배선(46) 위에 추가로 유전체를 도포한다.Subsequently, the first wiring 45 is formed through the first plating process, the dielectric and the like are filled in the recessed portion to be flattened, and the second plating process is performed to form the second wiring 46, and the depression is made. An additional dielectric is applied over the second interconnect 46 to remove or protect the dielectric in the compartment.
도 9는 본 발명의 제9 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 사시도이다.9 is a perspective view of a coplanar strip line fetch antenna formed using a porous silicon oxide layer according to a ninth embodiment of the present invention.
실리콘 기판(10), 그 위의 다공성 산화 실리콘 기둥(20), 절연막(30)은 제1 실시예와 동일한 구조이다. 절연막(30) 위에는 금속으로 이루어진 안테나 패턴(48)과 안테나 패턴(48)을 둘러싸는 금속 접지부(47)가 형성되어 있다.The silicon substrate 10, the porous silicon oxide pillar 20, and the insulating film 30 thereon have the same structure as in the first embodiment. An antenna pattern 48 made of metal and a metal ground portion 47 surrounding the antenna pattern 48 are formed on the insulating layer 30.
이러한 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 형성 방법은 제1 실시예와 동일하다.The formation method of the coplanar strip line fetch antenna is the same as that of the first embodiment.
도 10은 본 발명의 제10 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 사시도이다.10 is a perspective view of a coplanar strip line fetch antenna formed using a porous silicon oxide layer according to a tenth embodiment of the present invention.
제10 실시예의 코플래나 스트립 라인 페치 안테나는 제9 실시예에서 절연막 (30)을 생략한 구조이다.The coplanar strip line fetch antenna of the tenth embodiment has a structure in which the insulating film 30 is omitted in the ninth embodiment.
이러한 구조의 코플래나 스트립 라인 페치 안테나의 형성 방법은 제3 실시예와 동일하다.The method of forming the coplanar or strip line fetch antenna of this structure is the same as in the third embodiment.
도 11은 본 발명의 제11 실시예에 따라 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 수동 소자를 사용하여 형성한 MMIC의 사시도이다.11 is a perspective view of an MMIC formed using a passive element formed using a porous silicon oxide layer according to an eleventh embodiment of the present invention.
제11 실시예는 앞서 설명한 제1 부터 제10 까지의 실시예에 보여준 수동 소자들을 이용하여 MMIC를 형성한 경우의 한 예이다. 실리콘 기판(10) 위에 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21)이 형성되어 있다. 이 때, 기둥 역할을 하는 부분 중에는 다공성 산화 실리콘화 되지 않은 부분, 즉 실리콘인 부분도 존재한다. 다공성 산화 실리콘 기둥(20, 21) 위에는 구멍(31)을 가지는 절연막(30)이 형성되어 있다. 절연막(30) 위에는 인덕터(100), 축전기(200), 저항(300) 등의 수동 소자가 형성되어 금속 배선에 의하여 연결되어 있고, 기둥 중에서 실리콘인 부분에는 능동소자(400)가 형성되어 있다. 능동 소자(400)와 수동 소자의 연결은 와이어 본딩 또는 훌립칩 본딩 등에 의하여 이루어진다.The eleventh embodiment is an example in which the MMIC is formed using the passive elements shown in the first to tenth embodiments described above. Porous silicon oxide pillars 20 and 21 are formed on the silicon substrate 10. At this time, there is a part that is not porous silicon oxide, that is, a part that serves as a pillar. An insulating film 30 having a hole 31 is formed on the porous silicon oxide pillars 20 and 21. Passive elements such as the inductor 100, the capacitor 200, and the resistor 300 are formed on the insulating layer 30, and are connected by metal wires. An active element 400 is formed in a silicon portion of the pillar. The active element 400 and the passive element are connected by wire bonding or chip chip bonding.
필요한 경우, 능동 소자 아래에는 절연막(30)을 설치하지 않는다.If necessary, the insulating film 30 is not provided below the active element.
이상과 같이, 수동 소자를 손실이 큰 실리콘 기판으로부터 분리하여 공중에 띄워 형성함으로써 초고주파에서 구동하더라도 과도한 신호손실을 방지할 수 있다.As described above, the passive element is separated from the silicon substrate having a high loss and floated in the air, thereby preventing excessive signal loss even when driving at a very high frequency.
도 11은 본 발명의 개념을 설명하기 위하여 간략화하여 나타낸 것이고 실제 MMIC에 있어서는 매우 복잡한 회로가 될 것이다.11 is a simplified diagram for explaining the concept of the present invention and will be a very complicated circuit in actual MMIC.
본 발명에 따르면 알루미나 기판 등에 비하여 열전도와 평탄도 등이 우수하며 저렴한 실리콘 기판을 사용하면서 1GHz 이상의 초고주파 영역에서도 신호 손실이 극히 적은 소자를 구현할 수 있다.According to the present invention, a device having excellent thermal conductivity and flatness as compared to an alumina substrate and using an inexpensive silicon substrate can realize a device having extremely low signal loss even in an ultra-high frequency region of 1 GHz or more.
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