KR100375191B1 - Fe-Ni based alloy for semi tension mask, plate thereof and semi tension mask and color braun tube using said alloy - Google Patents

Fe-Ni based alloy for semi tension mask, plate thereof and semi tension mask and color braun tube using said alloy Download PDF

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Abstract

크리프현상이 생기면 마스크가 신장됨으로써 가장(架張)된 가중이 완화되어, 주름발생, 진동특성의 저하 등 여러가지의 문제가 발생한다. 특히 자기특성개선을 위해 고온에서 흑화처리를 실시할 경우에 크리프속도가 커진다.When a creep phenomenon occurs, the mask is stretched to mitigate most of the weighting, causing various problems such as wrinkles and deterioration of vibration characteristics. In particular, when the blackening treatment is performed at high temperature to improve the magnetic characteristics, the creep rate increases.

Ni 를 34 질량백분율 (%) (이하 % 로 함) 이상 45% 이하, Mn 을 0.01% 이상 0.5% 이하, Cu, Nb, Mo, W, Ta 의 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 0.01% 이상 1.5% 이하를 함유하여, 잔부 Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는, 우수한 크리프특성을 갖는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.Ni is 34% by mass (%) (hereinafter referred to as%) or more and 45% or less, Mn is 0.01% or more and 0.5% or less, and 0.01, or more, in total of one or two or more of Cu, Nb, Mo, W, and Ta. A Fe-Ni-based alloy for a semi-tension mask, containing 1.5% or less, and having excellent creep characteristics, consisting of residual Fe and unavoidable impurities.

Description

세미텐션마스크용 Fe-Ni계 합금 및 합금판재와 이를 이용한 세미텐션마스크 및 컬러브라운관{Fe-Ni based alloy for semi tension mask, plate thereof and semi tension mask and color braun tube using said alloy}Fe-Ni based alloy and alloy plate for semi-tension mask and semi-tension mask and color braun tube using same {Fe-Ni based alloy for semi tension mask, plate Y and semi tension mask and color braun tube using said alloy}

본 발명은 음극선관 (브라운관) 에 사용되는 Fe-Ni 계 합금으로 이루어지는 세미ㆍ스트레치드ㆍ텐션ㆍ마스크 (Semi-stretched Tension Mask, SST 마스크, 간략하게 세미텐션마스크(Semi Tension Mask) 라고 함) 에 있어서, 크리프특성이 우량하고, 텐션을 걸은 후의 베이킹 후의 마스크의 주름 발생억제에 우수한 재료, 또한 그재료를 사용한 세미텐션마스크, 및 상기 세미텐션마스크를 사용한 컬러브라운관에 관한 것이다.The present invention relates to a semi-stretched tension mask (SST mask, briefly referred to as a semi-tension mask) made of a Fe-Ni-based alloy used in a cathode ray tube (brown tube). The present invention relates to a material having excellent creep characteristics and excellent in suppressing wrinkle generation of a mask after baking after applying tension, a semi-tension mask using the material, and a color brown tube using the semi-tension mask.

브라운관의 마스크는 마스크소재를 전자선투과용의 도트 또는 슬롯을 에칭가공에 의해 형성한 후, 마스크 형태로 프레스성형하는 샤도우마스크방식과, 마스크소재에 전자선투과용의 긴 슬릿을 에칭가공에 의해 형성한 후, 상하로 인장하여 프레임에 가장(架張)하는 애퍼처 그릴방식으로 크게 나뉘어진다.The mask of CRT is formed by forming the mask material by dot or slot for electron beam transmission by etching, and then press-molding in the form of a mask, and by forming a long slit for electron beam transmission on the mask material by etching. After that, it is divided into a plurality of aperture grilles that stretch upward and downward to impart the best shape to the frame.

샤도우마스크방식은 열팽창으로 발생하는 도밍특성을 개선하기 위해 Fe-36 % Ni (Invar 합금) 이 일반적으로 사용되고 있다. 한편, 애퍼처 그릴방식에서는 그 구조적특징으로부터 열팽창에 의한 도밍이 발생하기 어려우며, 열팽창계수가 높아도 보다 저렴한 연강이 사용되고 있다.In the shadow mask method, Fe-36% Ni (Invar alloy) is generally used to improve the dope characteristics caused by thermal expansion. On the other hand, in the aperture grill system, the ducting due to thermal expansion is less likely to occur due to its structural characteristics, and even inexpensive mild steel is used even if the thermal expansion coefficient is high.

각각의 방식은 일장일단이 있으며 2 방식 모두 시장에서 사용되고 있는데, 최근 2 방식의 각각의 장점을 취한 세미ㆍ스트레치드ㆍ텐션ㆍ마스크 (세미텐션마스크) 방식이 새롭게 검토되기 시작하였다.Each method has one piece and both methods are used in the market. Recently, semi-stretched, tension masks (semi-tension masks) which take advantage of the two methods are newly considered.

이 방식은 전자선투과용의 도트 또는 슬롯을 에칭가공에 의해 형성한 마스크소재를 프레스하지 않고 애퍼처 그릴방식과 동일하게 상하로 인장하여, 프레임으로 지지하는 방법이다 (가장방법). 이 새로운 방식의 개발 당초, 마스크소재는 상하 뿐 아니라 좌우로도 4 방향으로 인장되었다. 그러나, 마스크소재가 4 방향으로 인장되었을 때, 마스크가 찢어지는 사태가 간혹 발생한다. 그러한 마스크가 찢어지는 위험성을 피하기 위해, 마스크소재를 2 방향 만에서 인장하는 시험이 이루어져 양호한 결과를 얻었다. 이 개선에 의해 제작된 마스크는 4 방향에서의 인장이 아니라, 「상하 방향으로 약한 힘으로 인장」함으로써 채용된 의미로 세미ㆍ스트레치드ㆍ텐션ㆍ마스크 (간략하게 세미텐션마스크) 라고 불리우게 되었다.This method is a method in which a dot or slot for electron beam transmission is stretched up and down in the same manner as the aperture grill method without pressing a mask material formed by etching, and supported by a frame (most method). At the beginning of the development of this new method, the mask material was stretched in four directions not only up and down, but also from side to side. However, when the mask material is stretched in four directions, the mask is sometimes torn. In order to avoid the risk of tearing such a mask, a test was made in which the mask material was pulled in only two directions to obtain good results. The mask produced by this improvement was called semi-stretched tension mask (abbreviated semi-tension mask) by the meaning employ | adopted by "stretching with weak force in an up-down direction" rather than the tension in four directions.

도 (1a) 및 (1b) 는, 세미텐션방식 마스크와 애퍼처 그릴방식 마스크를 개략적으로 예시하는 설명도이다. 양형식의 마스크 모두 상하로 인장된다. 세미텐션마스크에 있어서는, 다수의 수직슬롯열이 폭전체에 형성되며, 각 슬롯열은인접하는 슬롯간에 브리지를 개재시킨 다수의 슬롯으로 구성되며, 한편 애퍼처 그릴방식 마스크는 폭전체에 다수의 긴 수직슬릿을 포함하며, 스피커와 같은 음향원으로부터의 마스크의 진동을 억제하기 위해 댐퍼선을 필요로 한다. 세미텐션방식 마스크에서의 브리지는, 에칭에 의해 슬롯을 형성할 때에 각 슬롯열에서의 슬롯간의 미에칭부분이다. 브리지는 수직슬롯열의 비틀림을 방지하는 작용을 한다. 세미텐션방식 마스크는 각 슬롯열에 브리지가 존재하기 때문에 브리지 딸린 텐션마스크라고도 불리운다.1A and 1B are explanatory diagrams schematically illustrating a semi-tension mask and an aperture grill mask. Both types of masks are stretched up and down. In the semi-tension mask, a plurality of vertical slot rows are formed in the whole width, and each slot row is composed of a plurality of slots with a bridge between adjacent slots, while an aperture grille mask has a plurality of long widths in the full width. It includes a vertical slit and requires a damper wire to suppress the vibration of the mask from a sound source such as a speaker. A bridge in a semi-tension mask is an unetched portion between slots in each slot row when forming a slot by etching. The bridge serves to prevent twisting of the vertical slot rows. The semi-tension mask is also called a tension mask with a bridge because a bridge exists in each slot row.

SST 방식은, 프레스에 의한 샤도우마스크방식에 비해, 보다 평면화가 가능해지며, 또 고휘도화, 고해상화가 가능해진다. 그리고, 애퍼처 그릴방식보다 진동특성이 우수하며 댐퍼선을 필요로 하지 않으며, 또 상하로 인장하는 하중도 낮게 할 수 있어 비용절감에 기여한다.Compared to the shadow mask method by the press, the SST method can be made more flat, and also high brightness and high resolution can be achieved. In addition, vibration characteristics are superior to the aperture grill method, and a damper wire is not required, and the load to be pulled up and down can be lowered, contributing to cost reduction.

한편, 세미텐션마스크방식에서는, 애퍼처 그릴방식과 달리, 가장력이 낮은 것 및 브리지가 있는 것 등으로부터 열팽창에 의한 도밍현상이 발생하기 때문에, 열팽창계수가 낮은 Invar 합금을 중심으로 하는 Fe-Ni 계 합금의 채용이 검토되고 있다. 그러나, 종래의 프레스방식에 채용되었던 Invar 합금을 사용한 바, 마스크조립단계에서의 열처리에 의해, 텐션다운이 일어나, 주름발생 등의 큰 문제가 발생하는 것이 판명되었다.On the other hand, in the semi-tension mask method, unlike the aperture grill method, the dominant phenomenon due to thermal expansion occurs due to the lowest strength, the presence of a bridge, and the like. Therefore, Fe-Ni based on the Invar alloy having a low thermal expansion coefficient is mainly used. Adoption of a system alloy is considered. However, when the Invar alloy used in the conventional press method was used, it was found that the heat treatment in the mask assembly step caused tension down, causing a large problem such as wrinkles.

이상, 세미텐션마스크방식에는 종래의 Invar 합금은 부적합한 것이 판명되었는데, 그 원인을 마스크제조의 각 단계에서 상세하게 조사한 결과, 재료의 크리프특성에 관계하는 것이 판명되었다.As mentioned above, it was found that the conventional Invar alloy was unsuitable for the semi-tension mask method, and the cause was examined in detail at each stage of the mask production, and it was found that it was related to the creep characteristics of the material.

다시말하면, 도트형상 또는 슬롯형상으로 에칭된 재료를 흑화처리를 실시한 후 틀재에 용접하여 일정하중이 가해지도록 가장되지만, 그 후 베이킹으로 용접 등으로 발생한 변형을 제거한다. 이 때, 프레임재로 인장되어 있는 Invar 합금이, 고온에서의 소성변형, 다시말하면 크리프현상을 나타내는 것을 발견하였다. 크리프현상이 생기면, 마스크가 신장됨으로써 가장된 하중이 완화 (텐션다운) 되어, 주름발생, 진동특성의 저하 등의 여러가지의 문제를 발생시킨다.In other words, the material etched in the shape of dots or slots is subjected to a blackening treatment, and then welded to the frame member so as to apply a constant load, but thereafter, deformation caused by welding or the like is removed by baking. At this time, it was found that the Invar alloy tensioned with the frame member exhibits plastic deformation at high temperature, that is, creep phenomenon. When creep occurs, the mask is stretched to reduce the tension (tension down), causing various problems such as wrinkles and deterioration of vibration characteristics.

도 1 도면 (1a) 및 도면 (1b) 는, 세미텐션방식 마스크와 애퍼처 그릴방식 마스크를 개략적으로 예시하는 설명도이다.1A and 1B are explanatory views schematically illustrating a semi-tension mask and an aperture grill mask.

즉 본 발명은, 상기의 문제점을 해결한 것으로,That is, the present invention solves the above problems,

(1) Ni 를 34% 이상 45% 이하, Mn 을 0.01% 이상 0.5% 이하, Cu, Nb, Mo, W, Ta 의 1 종 또는 2 종 이상을 합계 0.01% 이상 1.5% 이하를 함유하고, 잔부 Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는, 우수한 크리프 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.(1) The Ni content is 34% or more and 45% or less, Mn is 0.01% or more and 0.5% or less, and one or two or more of Cu, Nb, Mo, W, and Ta is 0.01% or more and 1.5% or less in total. An Fe-Ni-based alloy for a semi-tension mask, which has excellent creep characteristics, which is composed of Fe and unavoidable impurities.

(2) Si 를 0.005% 이상 0.20% 이하, Al 을 0.005% 이상 0.030% 이하 함유하는 (1) 에 기재의 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.(2) The Fe-Ni-based alloy for semitension mask according to (1), which contains Si at 0.005% or more and 0.20% or less and Al at 0.005% or more and 0.030% or less.

(3) 불가피한 불순물 중, C 가 0.010% 이하, P 가 0.015% 이하, S 가 0.010% 이하인 (1) ∼ (2) 에 기재의 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.(3) The Fe-Ni-based alloy for semitension mask according to (1) to (2), wherein C is 0.010% or less, P is 0.015% or less, and S is 0.010% or less among unavoidable impurities.

(4) 상기 (1) ∼ (3) 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연의 가공도를 15% 이상 60% 이하로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni계 합금 판재.(4) In the sheet material manufactured by hot-rolling and cold-rolling the alloy of the above-mentioned (1) to (3), the semi-tension mask for which the final cold rolling has a workability of 15% or more and 60% or less. Fe-Ni-based alloy sheet.

(5) 상기 (1) ∼ (3) 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후의 인장강도가 600 N/㎟ 이상 700 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금 판재.(5) A sheet material produced by hot rolling or cold rolling by melting the alloy of the above (1) to (3), wherein the tensile strength after the final cold rolling is 600 N / mm 2 or more and 700 N / mm 2 or less. Fe-Ni alloy sheet material for semi tension mask.

(6) 상기 (1) ∼ (3) 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후의 0.2% 내력이 570 N/㎟ 이상 670 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.(6) A sheet material produced by hot rolling or cold rolling by melting the alloy of the above-mentioned (1) to (3), wherein 0.2% yield strength after final cold rolling is 570 N / mm 2 or more and 670 N / mm 2 or less. Fe-Ni alloy for semi-tension masks.

(7) 상기 (1) ∼ (3) 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후에 변형제거소둔을 실시하는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.(7) A sheet material produced by hot rolling or cold rolling by melting the alloy of (1) to (3), wherein the strain removal annealing is performed after the final cold rolling. -Ni based alloy.

(8) 상기 (1) ∼ (7) 기재의 Fe-Ni 계 합금 및 합금판재를 사용한 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크.(8) A semi-tension mask using Fe-Ni-based alloys and alloy plate materials described in the above (1) to (7).

(9) 상기 (8) 의 세미텐션마스크를 사용하는 것을 특징으로 하는 컬러브라운관.(9) A color-brown tube, characterized in that the semi-tension mask according to (8) is used.

세미텐션마스크방식에서는, 일반적으로 흑화처리를 한후 가장한다. 흑화처리온도가 Fe-Ni 계 합금의 재결정온도와 비교하여 훨씬 낮은 경우에는, 앞에 특허출원 (일본특허출원 평10-356219) 에 기재와 같이, 이 합금의 가공경화를 이용하여 크리프특성을 개선할 수 있다. 그러나, 흑화온도나 베이킹이라 불리는 열처리 등이 더욱 까다로워지면, 가공경화에 의한 크리프특성의 향상효과가 기대하는 만큼은 아니게 된다.In the semi-tension mask method, blackening is generally performed after the blackening treatment. If the blackening treatment temperature is much lower than the recrystallization temperature of the Fe-Ni-based alloy, as described in the patent application (Japanese Patent Application No. Hei 10-356219), the work hardening of this alloy can be used to improve the creep characteristics. Can be. However, when the blackening temperature, heat treatment called baking, etc. become more difficult, the improvement effect of the creep characteristic by work hardening is not as much as expected.

여기에서, 흑화처리온도를 높게함으로써 기대되는 최고의 효과는 자기특성개선이다. 예를 들면 프레스성형 샤도우마스크용 Invar 합금의 경우에서, 590 ℃ 에서 흑화처리한 경우의 최대비투자율 870 ∼ 1000 인 것에 대하여, 50 ℃높은 640 ℃ 에서 흑화처리하면 최대비투자율 1030 ∼ 1200 으로 된다. 또한, 브라운관과 같이 교류소자후의 지자기실드에 있어서는, 최대비투자율이 큰 것이 그 실드성이 좋아진다.Here, the best effect expected by increasing the blackening treatment temperature is the improvement of the magnetic characteristics. For example, in the case of an Invar alloy for press molding shadow masks, the maximum specific permeability of 870 to 1000 when blackening at 590 ° C. is blackened at 640 ° C., which is 50 ° C., to a maximum specific permeability of 1030 to 1200. In addition, in the geomagnetic shield after an alternating current element like a CRT tube, the greater the maximum specific permeability, the better the shielding property.

즉 본 발명은 Fe-Ni 계 합금에 첨가하는 원소의 종류와 양을 선택함으로써, 열팽창계수의 상승이 거의 없고, 에칭의 방해가 되는 석출물을 발생시키지 않고, 가공경화가 더욱 우수한 효과를 발생시켜, 크리프속도를 작게 할 수 있는 발명에 관한 것이다. 본 발명은, 종래의 Fe-Ni 계 합금에서는 연화가 시작되는 온도에서 흑화처리 등의 열처리를 하는 경우에, 특히 현저한 효과를 발휘한다.That is, the present invention, by selecting the type and amount of elements added to the Fe-Ni-based alloy, there is almost no increase in the coefficient of thermal expansion, without generating precipitates that hinder etching, thereby producing a more excellent work hardening effect, The present invention relates to an invention that can reduce the creep speed. In the present Fe-Ni alloy, the present invention exhibits a particularly remarkable effect when heat treatment such as blackening treatment is performed at a temperature at which softening starts.

또, 미량원소의 첨가에 의해, 최종가공도가 작은 경우의 기계적성질에도 우수하고, 최종가공도가 커도 연화되기 어려운 특성을 갖고 있다. 세미텐션마스크는, 일반적으로 가장하기 전에 흑화처리되기 때문에, 도트형상 또는 슬롯형상으로 에칭했을 때에 잔류응력의 불균일을 일으켜, 그것이 흑화처리로 개방될 때에 형상이 변형되는 일이 있기 때문에, 최종냉간압연후에 변형제거 소둔을 실시함으로써 이것을 막는 것이 바람직하다.In addition, the addition of the trace element is excellent in the mechanical properties in the case where the final workability is small, and it is difficult to soften even if the final workability is large. Since the semi-tension mask is generally blackened before disguising, the final stress rolling may be caused by non-uniformity of residual stress when etched in a dot or slot shape, and may deform when it is opened by blackening. It is preferable to prevent this by performing strain removal annealing later.

다시말하면, 본 발명자들은, Fe-Ni 계 합금에, Cu, Nb, Mo, W 및 Ta 의 1 종 또는 2 종 이상을 첨가하는 것과, Al 과 Si 를 적당량으로 하여, 또한, 최종가공도를 적당한 범위로 하여, 필요에 따라 변형제거소둔을 실시함으로써, 흑화처리, 가장, 베이킹의 각 공정에서 주름 등이 발생하지 않고, 대폭적으로 크리프특성을 개선할 수 있는 것을 발견하였다.In other words, the present inventors added one kind or two or more kinds of Cu, Nb, Mo, W, and Ta to the Fe-Ni-based alloy, and made Al and Si into an appropriate amount, By carrying out strain removal annealing as needed, it was found that creep characteristics can be significantly improved without wrinkles or the like in each step of blackening, disinfection, and baking.

다음으로 본 발명의 한정이유를 서술한다.Next, the reason for limitation of this invention is described.

Ni : Ni 의 함유량은 열팽창특성과 연화특성에 영향을 준다. Ni 가 36% 를 초과하면 열팽창계수가 커져, 비용적으로 불리해진다. 그러나, 연화온도가 상승하여, 베이킹에서의 크리프신장이 작아지므로, 세미텐션마스크의 가장력을 크게 하여, 열팽창에 의한 도밍특성의 열화를 방지할 수 있다. 또한, Ni 가 많을수록 자기특성이 향상되고, 자기실드의 점에서 유리해진다. 단, Ni 가 45% 를 초과하면 열팽창특성에서 연강과의 차이가 작아지기 때문에, 비용을 고려하면 Fe-Ni 계 합금을 세미텐션마스크에 사용하는 이점이 없어진다. 따라서, Ni 의 상한을 45% 로 한다. 또한, Ni 가 36% 보다 작아져도 열팽창계수가 커진다. 단, Ni 가 적은 경우에는 연화온도가 낮아지기 때문에 베이킹에서의 크리프신장은 커지는 경향에 있고, 세미텐션마스크의 가장력으로 열팽창에 의한 도밍특성의 열화를 방지할 수 없다. 따라서, Ni 의 하한을 34% 로 한다. 또한, 세미텐션마스크로 가장력을 크게 하는 것은, 프레임에도 고강도가 요구되어 비용이 상승되기 때문에, 열팽창특성과 비용으로부터 총합적으로는 Ni 의 성분범위는 34% 이상 38% 이하가 바람직하다.Ni: The content of Ni affects the thermal expansion and softening characteristics. When Ni exceeds 36%, the coefficient of thermal expansion becomes large, which is disadvantageous in terms of cost. However, since the softening temperature rises and creep elongation in baking becomes small, the maximum force of the semi-tension mask can be increased, and deterioration of the doming characteristic due to thermal expansion can be prevented. In addition, the more Ni, the better the magnetic characteristics, which is advantageous in terms of the magnetic shield. However, when Ni exceeds 45%, the difference with the mild steel in the thermal expansion characteristics is small, and in view of cost, there is no advantage of using the Fe-Ni-based alloy in the semi-tension mask. Therefore, the upper limit of Ni is made into 45%. Further, even if Ni is smaller than 36%, the coefficient of thermal expansion is large. However, when Ni is low, the softening temperature is lowered, so creep elongation in baking tends to be large, and deterioration of the doming characteristic due to thermal expansion cannot be prevented by the most force of the semi-tension mask. Therefore, the lower limit of Ni is made into 34%. In order to increase the maximum force with the semi-tension mask, the frame is required to have high strength and the cost is increased. Therefore, the total component range of Ni is preferably 34% or more and 38% or less from the thermal expansion characteristics and cost.

Mn : Mn 은 열간가공성을 저해하는 불순물로서 함유되는 S 를 무해화시키는데 필요하다. 그리고 Mn 이 0.01% 보다 적으면 이 효과가 없고, 0.5% 를 초과하면 에칭성을 저해하여, 열팽창계수가 커진다. 따라서, 그 성분범위를 0.01% 이상 0.5% 이하로 하는데, 에칭성과 열팽창특성을 보다 좋게 하는데 바람직한 범위는, 0.01% 이상 0.1% 이하이다.Mn: Mn is necessary to detoxify S contained as an impurity that inhibits hot workability. And when Mn is less than 0.01%, this effect will be ineffective. When it exceeds 0.5%, etching property will be inhibited and a thermal expansion coefficient will become large. Therefore, although the component range is made into 0.01% or more and 0.5% or less, the preferable range for making etching property and thermal expansion characteristics better is 0.01% or more and 0.1% or less.

Si : Si 는 탈산제로서 첨가되는데, Si 가 0.2% 보다 많으면 에칭성을 크게 저해하기 때문에 0.20% 이하로 하는 것이 바람직하다. 그러나, 작으면서도 크리프특성을 개선하는 효과가 있기때문에 그 하한값의 성분범위를 0.005% 이상으로한다. 단, 에칭성을 보다 좋게하는데 바람직한 범위는 0.005% 이상 0.03% 이하이다.Si: Si is added as a deoxidizer, but when Si is more than 0.2%, the etching property is greatly inhibited, so it is preferable to be 0.20% or less. However, the component range of the lower limit is made 0.005% or more because of its small and effective effect of improving creep characteristics. However, in order to improve etching property, the preferable range is 0.005% or more and 0.03% or less.

Al : Al 은 탈산재로서 사용되고, Al 을 0.005% 보다 많이 고용시키면 크리프특성을 개선하는 효과가 있다. 그러나, Al 함유량을 0.03% 보다 많게 하면 알루미나를 형성하여, 에칭성을 저해함과 동시에, 냉간압연에 있어서 알루미나에서 기인하는 표면흠집이 발생한다. 따라서 그 성분범위를 0.005% 이상 0.030% 이하로 한다.Al: Al is used as a deoxidizer, and when Al is used in an amount of more than 0.005%, the creep property is improved. However, when the Al content is more than 0.03%, alumina is formed, the etching property is inhibited, and surface scratches caused by alumina in cold rolling are generated. Therefore, the component range is made into 0.005% or more and 0.030% or less.

C : C 는 탄화물을 형성하는데, C 가 0.010% 를 초과하면 탄화물이 과잉으로 생성되고, 이것이 에칭성을 저해한다. 따라서, C 를 0.01% 이하로 하는데, 고용 C 도 에칭성에 악영향을 주기때문에 C 는 가능한한 적은 것이 좋고, C 의 더욱 바람직한 범위는 0.005% 이하이다.C: C forms carbide, but when C exceeds 0.010%, carbides are excessively produced, which inhibits etching property. Therefore, while C is made 0.01% or less, since solid solution C also adversely affects etching property, C should be as few as possible, and the more preferable range of C is 0.005% or less.

P : P 는 과잉으로 함유되면 에칭불량의 원인이 된다. 따라서 함유량을 0.015% 이하로 할 필요가 있다.P: Excessive P content causes etching failure. Therefore, it is necessary to make content into 0.015% or less.

S : S 는 0.010% 를 초과하면 열간가공성을 저해함과 동시에, 황화물계 개재물이 많아져 에칭성에 악영향을 준다. 따라서 상한을 0.010% 이하로 한다.S: When S exceeds 0.010%, hot workability is inhibited and sulfide-based inclusions increase, which adversely affects the etching property. Therefore, an upper limit is made into 0.010% or less.

Cu, Nb, Mo, W, Ta : Cu, Nb, Mo, W, Ta 를 첨가함으로서 크리프특성을 개선할 수 있다. 그러나, 합계량이 0.01% 미만에서는 크리프개선효과가 작다.Cu, Nb, Mo, W, Ta: By adding Cu, Nb, Mo, W, Ta, creep characteristics can be improved. However, if the total amount is less than 0.01%, the creep improvement effect is small.

또한, 첨가량이 많을수록 크리프특성은 좋아지지만, 열팽창계수가 커져, 특히 Nb, Mo, W, Ta 의 첨가량을 증가시키는 것은 비용이 상승되기도 한다. 단, Cu, Nb, Mo, W, Ta 를 첨가함으로써 연화온도가 상승되기 때문에, Ni 를 증가시킨경우와 마찬가지로 세미텐션마스크의 가장력을 크게 함으로써 열팽창에 의한 도밍특성의 열화를 방지할 수 있다. 그러나, 1.5% 보다 많이 첨가하면 비용이 많이 상승되기 때문에, 이들 원소의 성분범위를 1 종 또는 2 종 이상의 합계로 0.01% 이상 1.5% 이하로 한다.In addition, the more the addition amount, the better the creep characteristic, but the coefficient of thermal expansion becomes larger, and in particular, increasing the addition amount of Nb, Mo, W, and Ta may increase the cost. However, since the softening temperature is increased by adding Cu, Nb, Mo, W and Ta, deterioration of the doming characteristic due to thermal expansion can be prevented by increasing the maximum force of the semi-tension mask as in the case of increasing Ni. However, if it adds more than 1.5%, since cost will increase much, the component range of these elements shall be 0.01% or more and 1.5% or less in 1 type, or 2 or more types in total.

최종냉간압연가공도 : 최종냉간압연가공도가 15% 미만이면 가공경화량이 적고, 크리프 개선효과가 그다지 현저하게 나타나지 않는다. 또한, 가공도가 60% 를 초과하면 흑화처리시에 연화가 시작되어, 오히려, 고온강도와 크리프특성이 저하된다. 따라서, 최종냉간압연 가공도는 15% 이상 60% 이하로 한다. 흑화처리온도가 600℃ 를 초과하는 경우에는, 최종냉간압연의 가공도는 20% 이상 40% 이하가 바람직하다.Final cold rolling: If the final cold rolling is less than 15%, the amount of hardening is small and creep improvement is not so remarkable. In addition, when the workability exceeds 60%, softening starts at the time of blackening treatment, and rather, high temperature strength and creep characteristics are deteriorated. Therefore, the final cold rolling workability is 15% or more and 60% or less. In the case where the blackening treatment temperature exceeds 600 ° C, the workability of the final cold rolling is preferably 20% or more and 40% or less.

변형제거소둔 : 변형제거소둔을 실시하여도 흑화처리후의 크리프신장에는 영향을 주지않으나, 흑화처리시에 잔류응력이 개방됨으로써 발생하는 불균일변형을 억제하기 위해 실시하는 것이 바람직하다.Deformation annealing: Deformation annealing does not affect creep elongation after blackening, but is preferably carried out to suppress uneven deformation caused by opening of residual stress during blackening.

최종냉간압연후의 인장강도 : 세미텐션마스크용 재료에서는, 텐션을 거는 때의 마스크강도나, 베이킹열처리시의 마스크의 고온강도 및 크리프강도가 높은 것이 설계의 여유도가 생겨 바람직하다. 이들 마스크의 기계적특성은, 최종냉간압연후의 재료강도로 규정할 수 있는 것을 알았다. 최종냉간압연후의 인장강도는 600N/㎟ 미만에서는, 마스크에 가장할 수 있는 하중이 바람직한 범위의 설정이 매우 어려워지기 때문에, 하한을 600 N/㎟ 로 하였다. 또한, 700N/㎟ 을 초과하면 연화개시온도가 저하되기 시작한다. 따라서 최종냉간압연후의 인장강도의범위를 600 N/㎟ 이상 700 N/㎟ 이하로 한다.Tensile strength after final cold rolling: In the material for a semi-tension mask, it is preferable that the mask strength at the time of applying tension and the high temperature strength and creep strength of the mask at the time of baking heat treatment have high design margin. It was found that the mechanical properties of these masks can be defined by the material strength after final cold rolling. When the tensile strength after the final cold rolling is less than 600 N / mm 2, the setting of the range in which the load that can be best imposed on the mask becomes very difficult, so the lower limit is set to 600 N / mm 2. Moreover, when it exceeds 700 N / mm <2>, softening start temperature will begin to fall. Therefore, the range of tensile strength after final cold rolling shall be 600 N / mm 2 or more and 700 N / mm 2 or less.

최종냉간압연후의 0.2% 내력 : 최종냉간압연후의 0.2% 내력이 670 N/㎟ 를 초과하는 것은, 인장강도가 700N/㎟ 을 초과하는 것과 마찬가지로 연화개시온도가 낮아지는 것을 의미한다. 또한, 570 N/㎟ 미만에서는, 가장하는 인장응력과의 차가 작기때문에 크리프현상을 일으켜, 주름발생이나 진동특성열화 등의 문제가 발생한다. 따라서 최종냉간압연후의 0.2% 내력의 범위를 570N/㎟ 이상 670 N/㎟ 이하로 한다.0.2% yield strength after final cold rolling: When the 0.2% yield strength after final cold rolling exceeds 670 N / mm 2, the softening start temperature is lowered as the tensile strength exceeds 700 N / mm 2. In addition, if it is less than 570 N / mm 2, since the difference from the tensile stress to be simulated is small, creep phenomenon occurs and problems such as wrinkle generation and vibration characteristic deterioration occur. Therefore, the range of 0.2% yield strength after final cold rolling shall be 570 N / mm <2> or more and 670 N / mm <2>.

(실시예)(Example)

이하에 본 발명을 상세하게 설명한다.The present invention will be described in detail below.

표 1 에 본 발명예에서 사용한 합금조성을 나타낸다.Table 1 shows the alloy composition used in the examples of the present invention.

표 1 에 나타낸 성분을 갖는 Fe-Ni 계 합금을 진공용해로에서 용제후, 단조 및 열간압연으로 3 ㎜ 두께로 한 후, 냉간압연과 광휘(光輝)소둔을 반복 실시하여,약 0.3 ㎜ 내지 약 0.11 ㎜ 두께의 냉간압연재로 가공하였다.After the Fe-Ni-based alloy having the components shown in Table 1 was melted in a vacuum melting furnace to 3 mm thick by forging and hot rolling, cold rolling and bright annealing were repeatedly performed, and about 0.3 mm to about 0.11. It was processed into a cold rolled material having a thickness of mm.

또한, 이들의 재료를 재결정소둔후에 냉간으로 0.1 ㎜ 두께까지 압연하여, 최종가공도를 여러가지 변화시킨 재료를 제작하였다. 이들을, 실온에서의 인장강도와 0.2% 내력을 측정함과 동시에, 605 ℃ 와 640 ℃ 에서 15 분간 흑화처리한 후, 460 ℃ 로 가열하면서 100 N/㎟ 또는 200 N/㎟ 의 인장응력을 부하하여, 1 시간후의 크리프신장을 측정하였다. 이 때, 인장방향은 압연평행방향으로 하였다.Furthermore, after recrystallization annealing of these materials, they were cold rolled to a thickness of 0.1 mm to prepare materials having various changes in final workability. They were measured at room temperature for tensile strength and 0.2% yield strength, blackened at 605 ° C. and 640 ° C. for 15 minutes, and then loaded with 100 N / mm 2 or 200 N / mm 2 tensile stress while heating to 460 ° C. , Creep height was measured after 1 hour. At this time, the tensile direction was made into the rolling parallel direction.

또, 표 1 의 A ∼ Y 의 화학성분을 갖는 재료로, 최종냉간압연가공도가 약 35% 인 것에 대하여, 30 ℃ 내지 100 ℃ 간의 평균열팽창계수를 측정함과 동시에, 그 표면에 60 ℃ 에서 포메의 염화제2철 수용액을 0.3 ㎫ 의 압력으로 스프레이하여 에칭면의 상태를 관찰하였다.In addition, the material having a chemical composition of A to Y in Table 1, the final cold rolling degree of about 35%, while measuring the average coefficient of thermal expansion between 30 ℃ and 100 ℃, at the surface of 60 ℃ Aqueous ferric chloride solution was sprayed at a pressure of 0.3 MPa to observe the state of the etching surface.

표 2 에 인장강도, 0.2% 내력, 크리프신장의 결과 및 에칭성으로서 에칭면의 상태를 나타낸다.Table 2 shows the state of the etching surface as a result of tensile strength, 0.2% yield strength, creep elongation, and etching property.

No.1 내지 No.14 는 청구항 1 내지 청구항 6 을 충족시키는 본 발명예이다.Nos. 1 to 14 are examples of the invention that satisfy claims 1 to 6.

흑화처리한 실제의 세미텐션마스크에 있어서, 베이킹후에 주름이 발생한 재료와 발생하지 않은 재료를 640 ℃ 에서 15 분간 흑화처리하여 460 ℃ 에서 200 N/㎟ 의 응력을 1 시간 부하하여 크리프 신장을 측정한 바, 주름발생의 경계가 되는 크리프신장은 0.16% 이었다. No.1 내지 No.14 는, 흑화처리온도가 640 ℃ 로 높고, 또한 인장응력이 커도 크리프신장이 0.16% 미만으로 되어 있다. 이들 중, No.8 과 No.9 로부터는, 첨가원소 (Mo) 가 많은 경우에는, 최종냉간압연가공도가 커도 640 ℃ 흑화처리후의 크리프신장은, 최종냉간압연 가공도가 No.9 보다도 낮은 No.8 의 그것과 비교하여도 작아지는 것을 알 수 있다. 이것은, 첨가원소가 많은 경우에는, 연화온도가 고온측으로 이동했기 때문에 흑화처리온도가 높아져도 크리프신도가 커지지않는 것을 나타내고 있다.In the real blackened mask, the crease elongation was measured by blackening the wrinkled and non-occurring materials after baking for 15 minutes at 640 ° C and applying a stress of 200 N / mm 2 at 460 ° C for 1 hour. The creep elongation at which wrinkles occurred was 0.16%. Nos. 1 to 14 have a creep extension of less than 0.16% even when the blackening treatment temperature is high at 640 ° C. and the tensile stress is large. Among them, from No. 8 and No. 9, when there are many additive elements (Mo), even if the final cold rolling process is large, creep elongation after blackening treatment at 640 ° C. is lower than the final cold rolling process No. 9. It turns out that it becomes small even compared with that of No.8. This indicates that the creep elongation does not increase even when the blackening treatment temperature is increased because the softening temperature has moved to the high temperature side when there are many additive elements.

또한, No.15 와 No.17 은, 최종냉간압연가공도가 15% 미만이기 때문에, 최종냉간압연후의 강도가 낮고, 에칭 등의 핸들링에 바람직하지 않다. 또, No.16 과 No 18 은, 최종냉간압연 가공도가 60% 를 초과하기 때문에 연화개시온도가 저하되어, 그 결과, 200 N/㎟ 를 부하한 경우의 크리프신장이 크고, 특히 640 ℃ 흑화처리후의 크리프신장이, 세미텐션마스크로 주름이 발생하는 하한으로 추정한 0.16% 를 초과하고 있다. No.16 과 No.18 에서는, Nb 를 첨가하고 있는 No.18 의 것이 크리프신장이 작기때문에, 첨가원소 (Cu, Nb, Mo, W, Ta) 에 의해 연화개시온도가 고온측으로 이동하고 있는 것을 엿볼 수 있다.In addition, since No.15 and No.17 have a final cold rolling workability of less than 15%, the strength after the final cold rolling is low, which is not preferable for handling such as etching. Further, in No. 16 and No 18, since the final cold rolling workability exceeded 60%, the softening start temperature was lowered. As a result, the creep elongation at the time of loading 200 N / mm 2 was large, especially 640 ° C. blackening. The creep elongation after treatment exceeds 0.16% estimated by the minimum which wrinkles generate | occur | produce with a semi tension mask. In No. 16 and No. 18, since the creep extension is small in No. 18 to which Nb is added, the softening start temperature is shifted to the high temperature side by the added elements (Cu, Nb, Mo, W, Ta). You can get a glimpse.

No.19 와 No.20 은, 첨가원소 (Cu, Nb, Mo, W, Ta) 를 본 발명의 청구항 1 에서 규정한 양을 포함하고 있지 않기 때문에, 최종냉간압연 가공도에 관게없이 600 ℃ 에서 흑화처리한 경우에서도 200 N/㎟ 의 응력을 부하하면 크리프신장이 0.16% 를 초과하고 있다.No. 19 and No. 20 do not contain the additive elements (Cu, Nb, Mo, W, Ta) in an amount defined in claim 1 of the present invention, and therefore at 600 ° C regardless of the final cold rolling process. Even in the case of blackening, the creep elongation exceeds 0.16% when a stress of 200 N / mm 2 is loaded.

그리고, No.21, No.25, No32 는, 화학성분(Nb 또는 Ni) 이 본 발명의 청구항 1 에서 규정한 범위를 벗어나기 때문에 열팽창계수가 크고, 도밍특성의 관점에서 세미텐션마스크용 재료로서 부적당하다. 또한, Cu, Nb, Mo, W, Ta 의 첨가원소량이 본 발명의 특허청구범의를 초과한 예로서, Nb 에서만 비교하고 있으나, Cu,Mo, W, Ta 도 함유량이 증가하면 열팽창이 커지는 것은, 표 2 의결과로부터 명확하고, 특허청구범위를 초과하면 세미텐션마스크용 재료로서 부적당해진다.No. 21, No. 25, and No32 have a large coefficient of thermal expansion because the chemical component (Nb or Ni) is out of the range defined in claim 1 of the present invention, and is unsuitable as a material for a semi-tension mask from the viewpoint of the doming characteristic. Do. In addition, although the added elements of Cu, Nb, Mo, W, Ta exceeded the claims of the present invention as an example, they are compared only in Nb, but the Cu, Mo, W, Ta also increased when the content increased. It is clear from the result of Table 2, and when it exceeds a claim, it becomes unsuitable as a material for a semi-tension mask.

또한, No.22 부터 No.24 및 No.26 부터 No.28 은, No.22 는 Si 가, No.23 은 Al 이, No.24 는 Mn 이, No.26 은 C 가, No.27 은 P 가, No.28 은 S 가 규정량을 초과한다. 이들의 크리프신장은 0.16% 이하에서는 세미텐션마스크의 주름발생에는 문제가 없으나, 재료중에 다량으로 함유되는 이물 등 (개재물에서 No.22 에서는 SiO2, No.23 에서는 Al2O3, No.24 와 No.28 에서는 MnS, No.26 에서는 철탄화물, No.27 에서는 인편석) 이, 에칭한 경우에 에칭흔적으로 되어 에칭면을 거칠게 하기 때문에 세미텐션마스크용 제료로서 충분하다고는 할 수 없다. 특히, Al203는 클러스터형상으로 존재하고, MnS 나 인편석은 연성이 있어 선형상으로 신장되어 있기 때문에, 이들이 도트형상 또는 슬롯형상의 에칭가공구멍의 가장자리의 형상을 악화시킨다. 또, No.24 는 Mn 이 열팽창계수를 크게 하고 있다.In addition, No. 22 to No. 24 and No. 26 to No. 28, No. 22 is Si, No. 23 is Al, No. 24 is Mn, No. 26 is C, No. 27 Silver P, No.28 S exceeds the specified amount. These creep elongations are not a problem for wrinkle generation of the semi-tension mask at 0.16% or less, but foreign matters contained in a large amount in the material (SiO 2 in No. 22, Al 2 O 3 in No. 23, No. 24 in inclusions, etc.). And MnS in No. 28, iron carbide in No. 26, and flakes in No. 27) are etched when they are etched to roughen the etching surface, and thus, they are not sufficient as a material for semitension masks. Particularly, since Al 2 O 3 is present in the form of a cluster, and MnS or phosphate is ductile and elongated in a linear shape, they deteriorate the shape of the edge of the dot- or slot-shaped etching hole. In addition, in No. 24, Mn increases the coefficient of thermal expansion.

또, No.29 는, Si 가 0.005% 미만이기 때문에, 본 발명예의No.1 ∼ No.14 와 비교하면 흑화처리후의 크리프신장이 크고, 640 ℃ 에서 흑화처리하여 200 N/㎟ 의 응력을 부하하여 가장하는 세미텐션마스크에서 주름이 발생하는 하한으로 추정한 0.16% 에 가깝기 때문에, 이 이상의 흑화처리온도의 고온화는 바람직하지 않다. No.31 은 Al 이 0.005% 미만이기 때문에 동일한 현상이 일어나고 있다.In addition, since No. 29 is less than 0.005% of Si, the creep elongation after the blackening treatment is larger than that of Nos. 1 to 14 in the present invention, and blackening is performed at 640 ° C. to load a 200 N / mm 2 stress. Because the temperature is close to 0.16%, which is estimated as the lower limit of the occurrence of wrinkles in the semi-tension mask to be impersonated, the higher temperature of blackening treatment temperature higher than this is not preferable. No. 31 has the same phenomenon because Al is less than 0.005%.

그리고, No.30 은, 크리프신장이 0.16% 이하이고, 또한 열팽창계수도 작지만, Mn 이 0.01% 미만이기 때문에, 열간가공시에 S 편석에 의해 약해지는 것을 무해화할 수 없어 단조나 열간압연시에 균열이나 박리가 발생하는 경우가 있다. 또, 에칭한 경우에 결정입계의 요철이 크며, 이것은 S 의 결정입계로의 편석에 의한 것으로 생각된다.Since No. 30 has a creep extension of 0.16% or less and a small coefficient of thermal expansion, but Mn is less than 0.01%, it cannot be harmed by S segregation during hot working. Cracking or peeling may occur. In the case of etching, the unevenness of the grain boundary is large, which is considered to be due to segregation of S into the grain boundary.

또한, 본 발명의 실시예에서는, 최종냉간압연후에 변형제거소둔을 실시하고 있지 않지만, No.4 와 동일한 조건으로 시험편을 제작하여, 700 ℃ 에서 1 초의 변형제거소둔을 실시하여도, 640 ℃ 흑화처리후에 200 N/㎟ 을 부하하여 가장한 경우의 크리프신장은 0.128% 로 영향을 주지 않는 것을 확인하고 있다. 단, 변형제거를 실시하지 않은 경우에는, 에칭으로 도트형상 또는 슬롯형상의 마스크에 가공했을 때에 잔류응력분포의 균형이 깨져, 그것이 흑화처리로 해방되어 형상이 열화되는 경우가 있으므로, 가장하는 작업상은 변형제거소둔을 실시하여 흑화처리로 형상이 변화하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 필요에 따라 텐션레벌러 등에 의한 형상교정을 실시하는 경우가 있으나, 당연 이들의 공정이 들어가도 본 특허의 유효성은 문제없고, 본 특허청구의 범위에 포함되는 것은 말할 필요도 없다.In addition, although the strain removal annealing is not performed after the final cold rolling in the Example of this invention, even if the test piece is produced on the same conditions as No.4, and the strain removal annealing is performed at 700 degreeC for 1 second, it will be blackened 640 degreeC. It is confirmed that the creep elongation at the time of 200 N / mm 2 load after treatment is not affected by 0.128%. However, if the deformation removal is not carried out, the balance of the residual stress distribution may be broken when the mask is processed into a dot or slot mask by etching, which may be released by blackening and deteriorate the shape. It is preferable to perform deformation removal annealing so that the shape does not change by blackening. In addition, although shape correction by a tension leveler etc. may be performed as needed, the validity of this patent does not have a problem even if these processes enter naturally, it goes without saying that it is contained in the scope of this claim.

본 발명의 Fe-Ni 계 합금은 우수한 크리프특성을 구비하고, 또한 열팽창계수도 낮으므로 색어긋남이 없는 컬러브라운관용 재료로서 바람직하다. 특히 자기실드성을 좋게 하기위해 고온 (600 ℃ 를 초과) 에서 흑화처리를 실시하는 경우에 효력을 발휘한다.Since the Fe-Ni alloy of the present invention has excellent creep characteristics and low thermal expansion coefficient, it is preferable as a material for color brown tube without color shift. It is especially effective when the blackening treatment is performed at high temperature (above 600 ° C) to improve magnetic shielding properties.

또, 본 발명으로 이루어지는 세미텐션마스크는, 컬러브라운관의 화면의 평면화를 가능하게 하는데 적합하다.Moreover, the semi tension mask which consists of this invention is suitable for enabling the flattening of the screen of a color-brown tube.

Claims (9)

Ni 를 34 질량백분율 (%) (이하, % 로 함) 이상 45% 이하, Mn 을 0.01% 이상 0.5% 이하, Cu, Nb, Mo, W, Ta 의 1 종 또는 2 종 이상을 합계 0.01% 이상 1.5% 이하를 함유하고, 잔부 Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는, 우수한 크리프 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.Ni is 34% by mass (%) (hereinafter referred to as%) or more and 45% or less, Mn is 0.01% or more and 0.5% or less, and one or two or more of Cu, Nb, Mo, W, and Ta is 0.01% or more in total. A Fe-Ni-based alloy for a semi-tension mask containing 1.5% or less, and having excellent creep characteristics, which is composed of residual Fe and unavoidable impurities. 제 1 항에 있어서, Si 를 0.005% 이상 0.20% 이하, Al 을 0.005% 이상 0.030% 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.The Fe-Ni-based alloy for semi-tension mask according to claim 1, wherein Si is 0.005% or more and 0.20% or less and Al is 0.005% or more and 0.030% or less. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 불가피한 불순물 중, C 가 0.010% 이하, P 가 0.015% 이하, S 가 0.010% 이하인 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금.The Fe-Ni-based alloy for semitension mask according to claim 1 or 2, wherein C is 0.010% or less, P is 0.015% or less, and S is 0.010% or less among the unavoidable impurities. 제 1 항 또는 제 2 항 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연의 가공도를 15% 이상 60% 이하로 하는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni계 합금 판재.The sheet material manufactured by hot-rolling and cold-rolling the alloy of the base material of Claim 1 or 2 WHEREIN: The workability of final cold rolling is 15% or more and 60% or less, The semi tension mask for Fe-Ni-based alloy sheet. 제 1 항 또는 제 2 항 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후의 인장강도가 600 N/㎟ 이상 700 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금 판재.A sheet material produced by hot rolling or cold rolling by melting the alloy according to claim 1 or 2, wherein the tensile strength after final cold rolling is 600 N / mm 2 or more and 700 N / mm 2 or less. Fe-Ni-based alloy sheet for masks. 제 1 항 또는 제 2 항 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후의 0.2% 내력이 570 N/㎟ 이상 670 N/㎟ 이하인 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금 판재.The sheet | seat material manufactured by hot-rolling and cold-rolling which melt | dissolves the alloy of Claim 1 or 2, The 0.2% yield strength after final cold rolling is 570 N / mm <2> or more and 670 N / mm <2> or less Fe-Ni-based alloy sheet for tension mask. 제 1 항 또는 제 2 항 기재의 합금을 용제하여, 열간압연, 냉간압연을 통해서 제조하는 판재에 있어서, 최종냉간압연후에 변형제거소둔을 실시하는 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크용 Fe-Ni 계 합금 판재.The sheet material manufactured by hot-rolling or cold-rolling the alloy of the base material of Claim 1 or 2, The strain removal annealing is performed after final cold rolling, The Fe-Ni-type alloy for semi tension masks characterized by the above-mentioned. Plate. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 Fe-Ni 계 합금을 사용한 것을 특징으로 하는 세미텐션마스크.A semi-tension mask comprising the Fe-Ni-based alloy according to claim 1 or 2. 제 8 항에 기재된 세미텐션마스크를 사용하는 것을 특징으로 하는 컬러브라운관.The color-brown tube which uses the semi tension mask of Claim 8.
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