KR100372689B1 - A method for manufacturing microwave dielectrics - Google Patents

A method for manufacturing microwave dielectrics Download PDF

Info

Publication number
KR100372689B1
KR100372689B1 KR10-2000-0036171A KR20000036171A KR100372689B1 KR 100372689 B1 KR100372689 B1 KR 100372689B1 KR 20000036171 A KR20000036171 A KR 20000036171A KR 100372689 B1 KR100372689 B1 KR 100372689B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
milling
microwave dielectric
powder
sintering
mechanochemical
Prior art date
Application number
KR10-2000-0036171A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20020000696A (en
Inventor
박흥수
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR10-2000-0036171A priority Critical patent/KR100372689B1/en
Publication of KR20020000696A publication Critical patent/KR20020000696A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100372689B1 publication Critical patent/KR100372689B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B19/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing insulators or insulating bodies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties

Landscapes

  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

본 발명은 이동통신기기 등에 사용되는 마이크로파 유전체의 제조방법에 관한 것으로서, 마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서, 원료의 칭량 및 혼합후 기계화학적 방법을 이용해 밀링함으로써, 마이크로파 유전체 재료의 특성저하없이 저온에서 소결할 수 있는 마이크로파 유전체의 제조방법을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a microwave dielectric for use in a mobile communication device. The method for manufacturing a microwave dielectric, which is sintered at low temperature without degrading the characteristics of a microwave dielectric material by milling using a mechanochemical method after weighing and mixing a raw material. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a microwave dielectric.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서,The present invention for achieving the above object, in the method for producing a microwave dielectric,

마이크로파 유전체 원료분말을 칭량하여 예비혼합하는 단계;Weighing and premixing the microwave dielectric raw powder;

상기 예비혼합물을 밀링에 의해 분쇄 및 혼합하여 분말로 하는 단계; 그리고Milling and mixing the premix into a powder by milling; And

상기 분말을 소결하는 단계를 포함하여 이루어지고; 상기 밀링은 기계화학적 밀링(mechanochemical milling)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유전체의 제조방법을 그 기술적 요지로 한다.Sintering the powder; The milling is a technical subject of the method for producing a microwave dielectric, characterized by using mechanochemical milling (mechanochemical milling).

Description

마이크로파 유전체의 제조방법{A METHOD FOR MANUFACTURING MICROWAVE DIELECTRICS}A method of manufacturing a microwave dielectric {A METHOD FOR MANUFACTURING MICROWAVE DIELECTRICS}

본 발명은 이동통신기기 등에 사용되는 마이크로파 유전체의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마이크로파 유전체 조성물을 혼합한 다음, 기계화학적 방법으로 밀링함으로써, 제조공정을 단축함과 동시에 소결온도도 저하시킬 수 있는 마이크로파 유전체의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a microwave dielectric used in a mobile communication device, and more particularly, by mixing the microwave dielectric composition, and then milling by a mechanical chemical method, the manufacturing process can be shortened and the sintering temperature can be reduced. The present invention relates to a method for manufacturing a microwave dielectric.

최근 이동통신기기의 소형화에 의한 부품들의 칩화 및 모듈화에 따라, 기존 RF 수동 및 능동 부품들이 모두 칩 적층화 혹은 모듈화 되고 있다. 이와 같은 RF 모듈화에 있어서, 현재는 단순히 C혹은 L만을 내장시키고 적층체 내부에서 회로로 연결하거나, 혹은 그 위에 능동소자를 부착하여 만드는 모듈이 사용되고 있는데, 신호전달속도의 문제로 10 이하의 낮은 유전율을 갖는 글라스 세라믹스가 주종을 이루고 있는 실정이다(LTCC기술).In recent years, with the miniaturization and modularization of components due to miniaturization of mobile communication devices, both existing RF passive and active components have been stacked or modularized. In such RF modularization, a module that is simply built with only C or L and connected to a circuit inside a stack or by attaching an active element thereon is used, and has a low dielectric constant of 10 or less due to a problem of signal transmission speed. Glass ceramics having a dominant state is the situation (LTCC technology).

그러나, RF 부품중 유전체 필터나 듀플렉서 등과 같은 수동소자들의 칩적층화는, 설계하는 주파수에 따라 필터를 구성하는 전송선로의 길이에 의해 좌우되기때문에, 앞서의 LTCC와 같은 낮은 유전율을 갖는 소재로는 크기가 커져 칩화의 효과가 없어진다.However, since chip stacking of passive components such as dielectric filters and duplexers in RF components is dependent on the length of the transmission line constituting the filter according to the design frequency, a material having a low dielectric constant such as the LTCC described above is used. The larger size eliminates the effect of chipping.

따라서, 이와 같은 부품들을 구현하기 위해서는 필수적으로 일정한 수준의 유전율과 낮은 유전손실을 갖는 마이크로파 유전체 재료가 필요하다.Thus, the implementation of such components necessitates a microwave dielectric material having essentially a constant level of dielectric constant and low dielectric loss.

한편, 종래 마이크로파 유전체의 제조에서는 저온소결을 위해 글라스 프릿을 첨가하였으나, 마이크로파 특성이 열화되는 문제가 있었다. 또한, 저온 소결을 위해서 별도의 소결조제나 글라스 프릿을 첨가하는 것 외에, 옥살레이트법, 공침법, 수열합성법 및 알콕사이드 법 등과 같이 출발원료로서 초미립 세라믹 분말을 사용하여 소결하는 방법 등을 시도하였으나, 이와 같은 방법들은 기존의 산화물 혼합법에 비해 제조공정이 복잡하여 설비투자가 많이 들어가고, 사용하는 출발원료의 재료비가 비싸서 상용화하는데도 문제가 있었다.On the other hand, in the manufacture of the conventional microwave dielectric glass frit was added for low temperature sintering, there was a problem that the microwave characteristics deteriorate. In addition to the addition of a separate sintering aid or glass frit for low temperature sintering, a method of sintering using ultrafine ceramic powder as a starting material, such as oxalate method, coprecipitation method, hydrothermal synthesis method and alkoxide method, has been tried. However, these methods have a problem in commercialization because the manufacturing process is complicated compared to the conventional oxide mixing method, the facility investment is high, and the starting material used is expensive.

이에, 본 발명자들은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 연구와 실험을 거듭하고 그 결과에 근거하여 본 발명을 제안하게 된 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서, 원료의 칭량 및 혼합후 기계화학적 방법을 이용해 밀링함으로써, 마이크로파 유전체 재료의 특성저하없이 저온에서 소결할 수 있는 마이크로파 유전체의 제조방법을 제공하고자 하는데 있다.Accordingly, the present inventors have repeatedly conducted research and experiments to solve the above problems and propose the present invention based on the results, and an object of the present invention is to measure and mix raw materials in a method of manufacturing a microwave dielectric. After milling by using a mechanical chemical method, to provide a method for producing a microwave dielectric that can be sintered at a low temperature without degrading the characteristics of the microwave dielectric material.

본 발명은, 마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서,The present invention provides a method for producing a microwave dielectric,

마이크로파 유전체 원료분말을 칭량하여 예비혼합하는 단계;Weighing and premixing the microwave dielectric raw powder;

상기 예비혼합물을 밀링에 의해 분쇄 및 혼합하여 분말로 하는 단계; 그리고Milling and mixing the premix into a powder by milling; And

상기 분말을 소결하는 단계를 포함하여 이루어지고; 상기 밀링은 기계화학적 밀링(mechanochemical milling)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유전체의 제조방법에 관한 것이다.Sintering the powder; The milling relates to a method for producing a microwave dielectric characterized by using mechanochemical milling.

이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail.

본 발명은, 종래 원료의 칭량-밀링 및 혼합-열처리-분쇄-소결 등을 포함하여 이루어지는 마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서, 상기 밀링 및 혼합, 열처리, 분쇄 등의 공정을 생략할 수 있는 기계화학적 밀링법을 마이크로파 유전체에 적용하는 것이 특징이 있다.The present invention relates to a method for producing a microwave dielectric comprising conventional weighing-milling and mixing-heat treatment-crushing-sintering of a raw material, and mechanochemical milling which can omit the processes such as milling and mixing, heat treatment and grinding. It is characterized by the application of the method to microwave dielectrics.

즉, 종래 유전체 및 압전체 등의 세라믹스는, 구성성분 원료를 조성비에 맞게 칭량하고 물과 함께 용기에 넣은 다음 잘 섞고 일정 크기로 분쇄하는 단계, 건조용기에서 꺼내어 건조기에서 분리되지 않도록 건조한 다음 합성이 잘 되도록 일정형태의 덩어리(lump)로 만드는 단계, 원하는 단일상이 70% 이상되도록 900℃ 이상에서 3시간 이상동안 열처리(하소, calcination)하는 단계, 딱딱해진 덩어리를 미립분말로 분쇄하고 최종분말로 하는 단계, 및 글라스 프릿(glass frit) 등의 저온 소결조제를 첨가하여 소결하는 단계를 포함하여 제작하였다. 이 경우, 적절한 저온 소결조제를 선택함으로써, 재료특성의 열화없이도 100℃~200℃ 정도 낮은 온도에서 소결할 수 있었다.That is, conventional ceramics such as dielectrics and piezoelectric materials are weighed according to the composition ratio, placed in a container with water, mixed well, crushed to a certain size, taken out of a drying container, dried to be separated from a dryer, and then synthesized well. Forming into a lump of a certain shape as much as possible, heat-treating (calcination) at 900 ° C or more for 3 hours or more so that the desired single phase is 70% or more, pulverizing the hardened mass into fine powder And a step of sintering by adding a low temperature sintering aid such as glass frit. In this case, by selecting an appropriate low temperature sintering aid, it was possible to sinter at a temperature as low as 100 ° C to 200 ° C without deterioration of material properties.

그러나, 마이크로파 유전체의 경우, 가장 중요한 특성인 유전 손실(Qf)이 불순물 혹은 제2상에 따라 급격히 변하고, 특히 저온소결을 위해 여러 가지 소결 조제를 첨가하면 소결조제의 종류와 양에 관계없이 모두 특성이 떨어지는 결과를 초래하기 때문에, 출발 원료의 순도 관리는 물론 공정상의 관리도 다른 세라믹스 제품보다 철저히 해야하는 문제가 있다.However, in the case of microwave dielectrics, dielectric loss (Qf), which is the most important characteristic, changes rapidly depending on impurities or second phase, and especially when various sintering aids are added for low temperature sintering, regardless of the type and amount of sintering aids Since this leads to a drop, there is a problem in that not only the purity management of the starting raw materials but also the process management must be performed more thoroughly than other ceramic products.

이에 본 발명의 발명자는, 마이크로파 유전체제조에 있어 소결시 첨가제나 불순물의 혼입없이도 저온소결이 가능한 방법에 대해 연구한 결과, 종래 금속합금화 과정 및 압전세라믹스 등의 제조에서 사용되어 온 기계화학적 밀링(mechanochemical milling)을 적용한 것이다. 기계화학적 밀링에서는 고속분쇄에 의하여 분말의 분쇄와 합성이 동시에 일어난다. 종래에는 마이크로파 유전체제조에 있어 상기한 기계화학적 밀링법의 사용을 기피하였는데, 그 이유는 초고속 밀링에 따른 메디아(스텐레스 볼)와 용기 내벽(스텐레스)에서 마모에 의해 철 성분이 혼입하여 Qf가 급격히 떨어질 것으로 생각했기 때문이다. 그러나, 본 발명의 발명자는 많은 연구 및 실험을 통해, 마이크로파 유전체제조에 있어 상기 기계화학적 밀링법을 사용하면 다른 특성의 저하없이도 소결시 소결온도를 낮출 수 있다는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이른 것이다.Accordingly, the inventor of the present invention has studied a method capable of low-temperature sintering without incorporation of additives or impurities during sintering in the manufacture of microwave dielectrics. milling). In mechanochemical milling, powder milling and synthesis occur simultaneously by high speed milling. Conventionally, the use of the above-mentioned mechanochemical milling method in the production of microwave dielectrics has been avoided because the iron component is mixed by wear in the media (stainless ball) and the inner wall of the container (stainless steel) due to ultra-fast milling, which causes Qf to drop sharply. Because I thought. However, the inventors of the present invention, through many studies and experiments, found that the use of the mechanochemical milling method in the production of microwave dielectrics can lower the sintering temperature at the time of sintering without deteriorating other properties, and thus to complete the present invention. It is early.

한편, 상기 기계화학적 밀링은 예비혼합단계와 분쇄 및 혼합이 이루어지는 밀링단계로 이루어진다. 기계화학적 밀링 단계에서는 분말이 분쇄되면서 혼합(합성)되므로, 종래의 밀링-혼합-열처리-분쇄의 여러단계의 공정을 기계화학적 밀링으로 하나의 단계로 공정을 단축할 수 있다. 상기 예비혼합단계후 밀링에 앞서, 동일한 조성의 분말을 스테인레스 원형용기에 스테인레스 스틸 볼과 함께 넣고 분쇄시킨다. 그 이유는, 용기내벽과 메디아에 동일 조성의 세라믹 분말을 코팅함으로써 고속 분쇄에 따른 철 성분의 혼입을 최소화하기 위함이다. 그 다음, 고속 쉐이커(shaker) 분쇄기에서 기계화학적 합성을 실시한다. 고속쉐이커 분쇄기내에서 고속으로 회전하기 때문에 분말이 보다 미세하게 분쇄되며, 나아가 마찰에너지에 의한 열에 의해 하소가 동시에 이루어진다. 즉, 기계화학적 밀링에서 분쇄되면서 말찰에 의한 고열로 인하여 상당 부분의 단일상이 형성된다. 따라서, 종래의 하소와 조분쇄-미분쇄를 생략할 수 있는 것이다.상기한 바와 같이, 기계화학적 밀링공정의 분쇄시 특수한 건식 방법의 쉐이커 밀(shaker mill)을 사용함으로써, 건조 등의 부수공정은 불필요하게 된다.On the other hand, the mechanochemical milling is composed of a pre-mixing step and a milling step that is pulverized and mixed. In the mechanochemical milling step, the powder is mixed (synthesized) as it is pulverized, thereby reducing the process to one step by mechanochemical milling in the conventional multi-step process of milling-mixing-heat treatment-milling. Prior to milling after the premixing step, the powder of the same composition is put together with the stainless steel balls in a stainless circular container and pulverized. The reason is to minimize the incorporation of iron components due to high-speed grinding by coating ceramic powder of the same composition on the inner wall of the container and the media. The mechanochemical synthesis is then carried out in a high speed shaker mill. The powder is pulverized more finely because it rotates at a high speed in the high speed shaker grinder, and calcination is simultaneously performed by heat by friction energy. That is, a large portion of the single phase is formed due to the high heat caused by the friction during mechanical milling. Therefore, conventional calcination and coarse pulverization-fine pulverization can be omitted. As described above, by using a shaker mill of a special dry method in the grinding of the mechanochemical milling process, an additional process such as drying is performed. It becomes unnecessary.

상기와 같은 기계화학적 밀링에 의하면, 얻어진 분말의 입도를 종래 1㎛에서 10nm 이하의 미립으로 하는 것이 가능하다. 즉, 상기 분말의 입도가 10nm 이하로 되기 때문에 소결시 반응성이 커져 소결온도를 100~150℃ 정도 낮출 수 있게 된다.According to the above-mentioned mechanochemical milling, it is possible to make the particle size of the obtained powder into a fine particle of 10 nm or less at 1 micrometer conventionally. That is, since the particle size of the powder is 10 nm or less, the reactivity is increased during sintering, thereby lowering the sintering temperature by about 100 to 150 ° C.

이로 인하여, 본 발명에서는 다른 특성의 저하없이도 상기 기계화학적 밀링후 소결시 소결온도를 1100℃까지 낮출 수 있는 것이다. 즉, 본 발명의 마이크로파 유전체 제조시 소결은 1100~1400℃의 온도범위에서 행해질 수 있다. 이 때, 상기 소결온도가 1100℃ 미만이면, 반응이 충분이 이루어지지 않아서 미소결되는 문제가 있고, 1400℃보다 높으면 과소결로 인해 원하는 마이크로파 유전체 특성을 얻을 수 없고, 형태가 변형되기 쉬운 문제가 있다.For this reason, in the present invention, the sintering temperature during sintering after the mechanochemical milling can be lowered to 1100 ° C. without deteriorating other properties. That is, the sintering may be performed at a temperature range of 1100 to 1400 ° C. when manufacturing the microwave dielectric of the present invention. At this time, if the sintering temperature is less than 1100 ℃, there is a problem that the reaction is not made enough to micronize, if higher than 1400 ℃ can not obtain the desired microwave dielectric properties due to over sintering, there is a problem that the shape is easy to deform .

이하, 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.

(실시예)(Example)

출발원료로서 조성이 (Pb0.4Ca0.6)(Fe0.5Ta0.5)O3인 마이크로파 유전체 조성물을 이용하고, 합성효과를 높이기 위해 쿨롬바이트(columbite)법으로 1100℃에서 4시간 동안 열처리하였다. 그 후, 상기 출발원료에 대해 하기 표1과 같이 제조방법을 달리 적용하여 마이크로파 유전체를 제조하였다. 즉, 종래 산화물 혼합법을 이용하여 제조한 종래예(1)~(4)의 경우에는, 소결시 하기 표1과 같은 소결조제를 이용하였고, 기계화학적(mechanochemical) 합성 방법을 도입한 발명예(1)의 경우에는 특별한 고온합성 열처리공정 및 소결조제의 첨가없이 분쇄만으로 합성하여 분말로 만들고 소결하였다.As a starting material, a microwave dielectric composition having a composition of (Pb 0.4 Ca 0.6 ) (Fe 0.5 Ta 0.5 ) O 3 was used and heat-treated at 1100 ° C. for 4 hours by a columbite method in order to enhance the synthesis effect. Thereafter, a microwave dielectric was prepared by applying different manufacturing methods to the starting materials as shown in Table 1 below. That is, in the case of the conventional examples (1) to (4) manufactured using the conventional oxide mixing method, the sintering aid shown in Table 1 at the time of sintering was used, and the invention example in which a mechanochemical synthesis method was introduced ( In the case of 1), it was synthesized by pulverization only without the special high temperature synthetic heat treatment process and the addition of sintering aid to make powder and sintered.

본 발명의 방법에 따라 제조한 경우, 혼합효과를 높여주기 위해 에틸 알콜을 용매로하여 지름이 10mm 와 5mm인 안정화 지르코니아 볼을 사용하여 6시간 습식 예비 혼합한 후 넓은 바트에 옮기고 이후 80℃의 건조기 내에서 건조하였다.When prepared according to the method of the present invention, in order to enhance the mixing effect of the preliminary wet mixing for 6 hours using a stabilized zirconia ball of diameter 10mm and 5mm with ethyl alcohol as a solvent, transfer to a wide baht and then a dryer at 80 ℃ Dried within.

그 후, 기계화학적 분쇄 공정에 앞서, 동일한 조성의 분말 약 2g을 직경 40mm 깊이 60mm의 스테인레스 원형용기에 스테인레스 스틸 볼 12.7 mm 1개, 5mm 2개와 함께 첨가하고 6시간 정도 분쇄시키고, 500rpm으로 60시간 동안 기계화학적 분쇄공정을 실시하였다.Then, prior to the mechanochemical grinding process, about 2 g of powder of the same composition was added to a stainless circular container having a diameter of 40 mm and a depth of 60 mm, together with 1 stainless steel ball and 1 mm of 5 mm and two 5 mm, and pulverized for about 6 hours and 60 hours at 500 rpm. During the mechanochemical grinding process.

상기와 같이, 종래법 및 본 발명법으로 얻어진 각각의 마이크로파 유전체에 대해 유전특성을 조사하고, 그 결과를 하기 표1에 나타내었다.As described above, the dielectric properties of each of the microwave dielectrics obtained by the conventional method and the present invention were investigated, and the results are shown in Table 1 below.

구분division 제조조건Manufacture conditions 유전특성Dielectric properties 첨가제additive 소결온도Sintering Temperature kk QfQf 종래예1Conventional Example 1 12501250 6363 92009200 종래예2Conventional Example 2 글라스 프릿Glass frit 11001100 6161 75007500 종래예3Conventional Example 3 CuV2O5 CuV 2 O 5 11001100 6060 56005600 종래예4Conventional Example 4 B2O3-Li2OB 2 O 3 -Li 2 O 11001100 6262 40004000 발명예Inventive Example 11001100 6262 90009000 *Qf(=1/tanδ, Quality factor): 유전손실*k: 유전상수* Qf (= 1 / tanδ, Quality factor): Dielectric loss * k: Dielectric constant

상기 표1에 나타난 바와 같이, 본 발명의 기계화학적 분쇄를 행하고 1100℃에서 소결한 경우, 산화물 혼합법을 이용하고 1250℃에서 소결한 종래예(1)과 유전특성에 있어 큰 차이가 없음을 알 수 있다. 또한, 종래 산화물 혼합법으로 만든 분말에 글라스 프릿(glass frit) 등의 첨가제를 넣고 1100℃에서 3시간 소결한 종래예(2)~(4)와 비교시 유전특성이 월등히 우수함을 알 수 있다. 즉, 상기 표1에서 유전특성을 나타내는 Qf와 k는 서로 역의 관계를 가지고 있어서, 유전상수 k값이 크면 유전손실이 커져 Qf값은 저하하는데, 본 발명예의 경우에는, k값도 종래 대비 동등이상이면서 Qf값도 우수한 것을 알 수 있다.As shown in Table 1 above, when the mechanochemical grinding of the present invention was performed and sintered at 1100 ° C., it was found that there was no significant difference in dielectric properties from the conventional example (1) sintered at 1250 ° C. using an oxide mixing method. Can be. In addition, it can be seen that the dielectric properties are much superior to those of the prior arts (2) to (4), which were sintered at 1100 ° C. for 3 hours by adding an additive such as glass frit to the powder made by the conventional oxide mixing method. That is, in Table 1, Qf and k, which show dielectric properties, have an inverse relationship with each other. When the dielectric constant k is large, the dielectric loss increases and the Qf value decreases. It turns out that Qf value is also excellent while being above.

상기한 바와 같이 본 발명에 의하면, 분말 제조 공정을 단축시켜서 비용을 저감하고, 보다 미립의 분말로 제조하여 소결온도를 150℃ 정도 낮출 수 있는 효과가 있는 것이다. 또한, 불순물이나 첨가제의 혼입없이 마이크로파 유전체를 제조함으로써, 우수한 재질특성을 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, the powder manufacturing process is shortened, the cost is reduced, the fine powder is produced, and the sintering temperature can be lowered by about 150 ° C. In addition, by producing a microwave dielectric without incorporation of impurities and additives, excellent material properties can be obtained.

Claims (3)

마이크로파 유전체의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing a microwave dielectric, 마이크로파 유전체 원료분말을 칭량하여 예비혼합하는 단계;Weighing and premixing the microwave dielectric raw powder; 상기 예비혼합물을 밀링에 의해 분쇄 및 혼합하여 분말로 하는 단계; 그리고Milling and mixing the premix into a powder by milling; And 상기 분말을 소결하는 단계를 포함하여 이루어지고; 상기 밀링은 기계화학적 밀링(mechanochemical milling)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유전체의 제조방법Sintering the powder; The milling method of producing a microwave dielectric, characterized in that by using mechanochemical milling (mechanochemical milling) 제1항에 있어서, 상기 기계화학적 밀링후 분말의 입도는 10nm 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로파 유전체의 제조방법The method of claim 1, wherein the particle size of the powder after mechanochemical milling is 10 nm or less. 제1항에 있어서, 상기 기계화학적 밀링 후 소결은 1100~1400℃의 온도범위에서 실시하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유전체의 제조방법The method of claim 1, wherein the sintering after the mechanochemical milling is performed at a temperature range of 1100 to 1400 ° C. 6.
KR10-2000-0036171A 2000-06-28 2000-06-28 A method for manufacturing microwave dielectrics KR100372689B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0036171A KR100372689B1 (en) 2000-06-28 2000-06-28 A method for manufacturing microwave dielectrics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0036171A KR100372689B1 (en) 2000-06-28 2000-06-28 A method for manufacturing microwave dielectrics

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020000696A KR20020000696A (en) 2002-01-05
KR100372689B1 true KR100372689B1 (en) 2003-02-17

Family

ID=19674596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0036171A KR100372689B1 (en) 2000-06-28 2000-06-28 A method for manufacturing microwave dielectrics

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100372689B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4026811A (en) * 1973-08-02 1977-05-31 Raytheon Company Microwave dielectrics
JPH1072258A (en) * 1996-06-28 1998-03-17 Rii Hyoojongu Dielectric ceramic composition
KR20000009735A (en) * 1998-07-28 2000-02-15 박호군 Dielectric ceramics composition for high frequency
KR20010038164A (en) * 1999-10-22 2001-05-15 송재인 Dielectric composition and the manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4026811A (en) * 1973-08-02 1977-05-31 Raytheon Company Microwave dielectrics
JPH1072258A (en) * 1996-06-28 1998-03-17 Rii Hyoojongu Dielectric ceramic composition
KR20000009735A (en) * 1998-07-28 2000-02-15 박호군 Dielectric ceramics composition for high frequency
KR20010038164A (en) * 1999-10-22 2001-05-15 송재인 Dielectric composition and the manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020000696A (en) 2002-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6743744B1 (en) Low temperature sinterable and low loss dielectric ceramic compositions and method thereof
KR100365294B1 (en) Low temperature sinterable and low loss dielectric ceramic compositions and method of thereof
CN100457678C (en) Dielectric adjustable material of ceramics burned together at low temperature, and preparation method
CN111170734B (en) Two-phase composite microwave dielectric ceramic material for filter and preparation method thereof
CN102850048B (en) Niobium magnesium bismuth titanate ceramic material and preparation method thereof
CN107188557B (en) Microwave dielectric ceramic material and preparation method thereof
CN105777109A (en) Low-temperature-sintered giant-dielectric ceramic capacitor dielectric and preparation method thereof
CN111004030B (en) MgTiO (magnesium-titanium-oxide) powder3Microwave-based dielectric ceramic and preparation method thereof
CN113105231A (en) Microwave dielectric ceramic material and preparation method thereof
CN109516799B (en) High-dielectric ceramic capacitor material with high temperature stability and preparation method thereof
CN105198423A (en) Sr-La-Al-based microwave dielectric ceramic material and preparation method thereof
CN105399405B (en) A kind of low dielectric microwave ferroelectric ceramics and preparation method thereof
JP2000007429A (en) Dielectric material and its production
CN105601271B (en) A kind of microwave-medium ceramics of medium dielectric constant microwave medium and preparation method thereof
CN114736012B (en) Low dielectric microwave dielectric ceramic with ultrahigh Q value and LTCC material thereof
KR100372689B1 (en) A method for manufacturing microwave dielectrics
CN105967678A (en) Giant-dielectric ceramic capacitor medium and preparation method thereof
CN113831123B (en) Dielectric ceramic material for barium titanate-based chip capacitor and preparation method and application thereof
JP2004018365A (en) Composition for microwave dielectric ceramic and method of manufacturing the ceramic
CN115057698A (en) Low-dielectric calcium garnet type microwave dielectric ceramic material and preparation method thereof
CN114671682A (en) Microwave dielectric ceramic material and preparation method thereof
CN114804867B (en) Ceramic dielectric material suitable for hot-pressing sintering, ceramic device and preparation method thereof
KR100339097B1 (en) Compositions of Microwave Dielectrics and Production Method thereof
CN112250441B (en) Microwave dielectric ceramic with low sintering temperature and adjustable dielectric property
CN114180957B (en) Microwave dielectric ceramic and preparation method and application thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070125

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee