KR100356137B1 - Ozonated water generation apparatus and method - Google Patents

Ozonated water generation apparatus and method Download PDF

Info

Publication number
KR100356137B1
KR100356137B1 KR1019990061043A KR19990061043A KR100356137B1 KR 100356137 B1 KR100356137 B1 KR 100356137B1 KR 1019990061043 A KR1019990061043 A KR 1019990061043A KR 19990061043 A KR19990061043 A KR 19990061043A KR 100356137 B1 KR100356137 B1 KR 100356137B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ozone
water
gas
container
dissolution tank
Prior art date
Application number
KR1019990061043A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010057670A (en
Inventor
양원식
Original Assignee
동부전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부전자 주식회사 filed Critical 동부전자 주식회사
Priority to KR1019990061043A priority Critical patent/KR100356137B1/en
Publication of KR20010057670A publication Critical patent/KR20010057670A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100356137B1 publication Critical patent/KR100356137B1/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/72—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation
    • C02F1/78—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation with ozone
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/20—Mixing gases with liquids
    • B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/20—Mixing gases with liquids
    • B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
    • B01F23/237—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids characterised by the physical or chemical properties of gases or vapours introduced in the liquid media
    • B01F23/2376—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids characterised by the physical or chemical properties of gases or vapours introduced in the liquid media characterised by the gas being introduced
    • B01F23/23761—Aerating, i.e. introducing oxygen containing gas in liquids
    • B01F23/237613—Ozone
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/80—After-treatment of the mixture
    • B01F23/802—Cooling the mixture
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/90—Heating or cooling systems
    • B01F35/91—Heating or cooling systems using gas or liquid injected into the material, e.g. using liquefied carbon dioxide or steam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/90—Heating or cooling systems
    • B01F2035/98—Cooling

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)

Abstract

본 발명은 오존 용해 탱크에서의 압력과 온도 조절을 통해 고농도의 오존수를 생성할 수 있도록 한 오존수 제조 기법에 관한 것으로, 이를 위하여 본 발명은, 물과 오존을 포함하는 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시켜 오존수를 제조할 때, 물과 오존 가스가 유입된 오존 용해 탱크에 기설정된 소정 레벨의 압력을 발생시키고, 오존 용해 장치의 내부 온도를 기설정된 소정 레벨로 냉각시켜 오존수를 생성하도록 함으로써, 단시간내에 오존수의 고농도화를 실현할 수 있는 것이다.The present invention relates to an ozonated water production technique capable of generating a high concentration of ozone water by adjusting the pressure and temperature in the ozone dissolved tank. To this end, the present invention provides ozone gas containing water and ozone into an ozone dissolved tank. In order to produce ozone water, a predetermined level of pressure is generated in an ozone dissolution tank into which water and ozone gas are introduced, and the internal temperature of the ozone dissolving device is cooled to a predetermined level to generate ozone water. High concentration of ozone water can be realized.

Description

오존수 제조 장치 및 그 제조 방법{OZONATED WATER GENERATION APPARATUS AND METHOD}Ozone water production apparatus and its manufacturing method {OZONATED WATER GENERATION APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 오존수(ozonated water)를 제조하는 기법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 산업 분야에서 세척제, 살균 처리제 등으로 사용되는 고농도의 오존수를 제조하는 데 적합한 오존수 제조 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for producing ozonated water, and more particularly, to an ozone water production apparatus and a method of manufacturing the same, which are suitable for producing a high concentration of ozone water used as a cleaning agent, a sterilizing agent and the like in the industrial field.

잘 알려진 바와같이, 오존(O3)은 강한 산화제로써 작용하기 때문에 반도체 뿐만 아니라 다른 산업 분야에서 세척제나 살균 처리제로 널리 사용되고 있는 데, 이러한 오준수의 사용은 환경이나 인체에 유해한 다른 화학 약품의 사용을 없애거나 사용량을 줄일 수 있게 해 준다. 즉, 세척제 또는 살균 처리제로써 오존수를 사용함으로써, 유해한 화학 약품의 소모량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 화학 약품의 사용에 따른 폐수 처리 비용을 절감할 수 있으며, 또한 환경 오염 등의 문제를 줄일 수 있다.As is well known, ozone (O3) acts as a strong oxidant and is widely used as a cleaning or disinfectant not only in semiconductors but also in other industries. The use of OH eliminates the use of other chemicals that are harmful to the environment or human body. Or reduce usage. That is, by using ozone water as a cleaning agent or a sterilizing agent, not only the consumption of harmful chemicals can be reduced, but also the cost of wastewater treatment due to the use of chemicals can be reduced, and problems such as environmental pollution can be reduced.

한편, 웨이퍼상에 수많은 미세 패턴을 반복적으로 형성하는 과정을 통해 제조되는 반도체의 경우 패터닝을 위해 필요로하는 포토리쏘그라피 공정에서 사용되는 포토레지스트를 제거하는 데 오존수를 사용할 수 있으며, 기타 다른 공정으로의 적용 또한 고려해 볼 수 있다.Meanwhile, in the case of a semiconductor manufactured by repeatedly forming a large number of fine patterns on a wafer, ozone water may be used to remove photoresist used in a photolithography process required for patterning. The application of can also be considered.

다른한편, 오존(O3)을 제조하는 일반적인 방법으로는 산소(O2)에 RF를 가하여 오존을 형성하는 방법과 물을 분해하여 오존을 만드는 방법이 있으나, 실제 응용에서는 상기한 두가지 방법에 의해 만들어진 오존을 물에 용해시키고, 오존이 용해된 물을 오존수로써 사용하고 있다.On the other hand, general methods for preparing ozone (O3) include the method of forming ozone by applying RF to oxygen (O2) and the method of producing ozone by decomposing water, but in practical applications ozone produced by the above two methods Is dissolved in water, and ozone-dissolved water is used as ozone water.

도 3은 종래 방법에 따라 오존수를 제조하는 장치를 개략적으로 도시한 블록구성도로써, 종래의 오존수 제조 장치는 펌프(302), 오조나이저(304) 및 오존 용해 탱크(306)를 포함한다.FIG. 3 is a block diagram schematically showing an apparatus for producing ozone water according to a conventional method, wherein the conventional ozone water producing apparatus includes a pump 302, an ozonizer 304, and an ozone dissolving tank 306.

도 3을 참조하면, 펌프(302)는 외부로부터 제공되는 물(순수 물 또는 초순수 물)을 펌핑하여 오존 용해 탱크(306)로 공급하고, 오조나이저(또는 오존 발생 장치)(304)는 오존을 생성, 즉 외부로부터 공급되는 산소(O2)에 플라즈마를 가하거나 물을 전기 분해하여 오존(O3) 가스를 생성하는 것으로, 여기에서 생성된 오존 가스는 도시 생략된 흡기 덕트 및 흡기관을 통해 오존 용해 탱크(306)로 공급된다.Referring to FIG. 3, the pump 302 pumps water (pure water or ultrapure water) supplied from the outside to the ozone dissolving tank 306, and the ozonizer (or ozone generating device) 304 supplies ozone. Production, that is, ozone (O3) gas is generated by applying plasma to oxygen (O2) supplied from the outside or by electrolyzing water, wherein the ozone gas is dissolved in ozone through an intake duct and an intake pipe (not shown). Supplied to tank 306.

다음에, 오존 용해 탱크(306)는 펌프(302)를 통해 공급되는 물과 오조나이저(304)로부터 공급되는 오존 가스를 이용하여 목표로하는 오존수를 생성한다. 즉, 도 3에서의 상세한 도시는 생략되었으나 오존 용해 탱크(306)내에는 물이 유입되는 멤브레인이 구비되어 있는 데, 펌프(302)를 통해 공급되는 물은 멤브레인으로 유입되고, 오조나이저(304)로부터 공급되는 오존 가스는 오존 용해 탱크(306)의 내부 공간(즉, 멤브레인을 둘러싸는 공간)으로 유입된다.Next, the ozone dissolution tank 306 uses the water supplied through the pump 302 and the ozone gas supplied from the ozonizer 304 to generate the target ozone water. That is, although the detailed illustration of FIG. 3 is omitted, the membrane for introducing water is provided in the ozone dissolving tank 306, and the water supplied through the pump 302 is introduced into the membrane, and the ozoneizer 304 is provided. The ozone gas supplied from the gas flows into the inner space of the ozone dissolution tank 306 (that is, the space surrounding the membrane).

따라서, 오존 용해 탱크(306)의 내부 공간에 유입된 오존 가스중의 오존 농도와 멤브레인으로 유입된 물의 오존 농도의 차이에 의해 오존 가스중의 오존이 물속으로 확산되어 감으로써 오존수가 형성된다. 이때, 형성되는 오존수중의 오존 농도는 기본적으로 오존 가스중의 오존 농도에 의해 결정된다.Therefore, ozone in ozone gas is diffused into the water by the difference between the ozone concentration in the ozone gas introduced into the internal space of the ozone dissolution tank 306 and the ozone concentration of the water introduced into the membrane, thereby forming ozone water. At this time, the ozone concentration in the ozone water formed is basically determined by the ozone concentration in the ozone gas.

한편, 오존수중의 오존 농도를 높이면 오존수중의 오존 활성이 더욱 증가하여 세척 공정, 살균 처리 공정 등의 처리 시간을 단축할 수 있다. 즉, 오존수를 고농도로 한다는 것은 세척력, 살균 처리 능력 등을 더욱 배가시킨다는 것을 의미하며, 이것은 곧 세척, 살균 처리 공정 등의 처리 시간 단축으로 이어지게 된다.On the other hand, when the ozone concentration in the ozone water is increased, the ozone activity in the ozone water is further increased, thereby reducing the treatment time of the washing process and the sterilization process. That is, the high concentration of ozone water means that the washing power, sterilization capacity, etc. are further increased, which leads to a shortening of the treatment time of the washing and sterilization process.

따라서, 순수 물과 오존 가스를 이용하여 오존수를 생성할 때 단시간내에 오존 농도를 고농도로 하여 오존수를 생성하는 것이 요구되고 있는 실정이다.Accordingly, when ozone water is generated using pure water and ozone gas, it is required to generate ozone water at a high concentration of ozone within a short time.

본 발명은 상기한 점에 착안하여 안출한 것으로, 오존 용해 탱크에서의 압력과 온도 조절을 통해 단시간내에 고농도의 오존수를 생성할 수 있는 오존수 제조 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above point, and an object thereof is to provide an ozone water production apparatus capable of generating a high concentration of ozone water within a short time through pressure and temperature control in an ozone dissolving tank.

본 발명의 다른 목적은 오존 가스중에 소정의 압력을 가하고, 오존수를 생성하는 주변 환경의 온도를 소정 레벨로 낮추어 주므로써 단시간내에 고농도의 오존수를 생성할 수 있는 오존수 제조 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a method for producing ozone water which can generate a high concentration of ozone water in a short time by applying a predetermined pressure to ozone gas and lowering the temperature of the surrounding environment for generating ozone water to a predetermined level.

상기 목적을 달성하기 위한 일관점에 따른 본 발명은, 물과 오존을 포함하는 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시켜 오존수를 제조하는 장치에 있어서, 상기 물을 펌핑하여 상기 오존 용해 탱크로 유입시키는 제 1 펌프; 외부로부터 제공되는 산소를 이용해 오존 가스를 생성하는 오조나이저; 상기 오조나이저에서 생성된 오존 가스를 펌핑하여 상기 오존 용해 탱크로 유입시키는 제 2 펌프; 및 가스 흡기구를 통해 유입되는 상기 오존 가스를 충진하는 콘테이너, 상기 콘테이너 내부에 내장되어 물 흡기구를 통해 유입되는 물을 상기 콘테이너의 배기구측으로 관통시키는 멤브레인으로 구성된 상기 오존 용해 장치를 포함하고, 상기 콘테이너의 내측 공간에는 상기 제 2 펌프에서의 펌핑력과 상기 배기구의 크기에 의해 소정 레벨의 압력이 발생하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 장치를 제공한다.In accordance with an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for producing ozone water by introducing ozone gas containing water and ozone into an ozone dissolution tank, comprising: pumping the water and introducing the ozone gas into the ozone dissolution tank; 1 pump; An ozonizer for generating ozone gas using oxygen provided from the outside; A second pump for pumping the ozone gas generated in the ozonizer to flow into the ozone dissolution tank; And the ozone dissolving device including a container filling the ozone gas introduced through a gas inlet port, and a membrane embedded in the container to allow water introduced through the water inlet port to penetrate the exhaust port side of the container. In the inner space, an ozone water producing apparatus is provided, wherein a predetermined level of pressure is generated by the pumping force of the second pump and the size of the exhaust port.

상기 목적을 달성하기 위한 다른 관점에 따른 본 발명은, 물과 오존을 포함하는 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시켜 오존수를 제조하는 방법에 있어서,상기 물과 오존 가스가 유입된 상기 오존 용해 탱크에 기설정된 소정 레벨의 압력을 발생시키고, 상기 오존 용해 장치의 내부 온도를 기설정된 소정 레벨로 냉각시켜 상기 오존수를 생성하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for producing ozone water by introducing ozone gas containing water and ozone into an ozone dissolution tank, wherein the water and ozone gas are introduced into the ozone dissolution tank. It provides a ozone water production method characterized by generating a predetermined predetermined level of pressure, and cooling the internal temperature of the ozone dissolving device to a predetermined predetermined level to generate the ozone water.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오존수 제조 장치의 블록구성도,1 is a block diagram of an ozone water production apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,

도 2는 도 1에 도시된 오존 용해 탱크의 단면도,2 is a cross-sectional view of the ozone dissolution tank shown in FIG.

도 3은 종래 방법에 따라 오존수를 제조하는 장치를 개략적으로 도시한 블록구성도.Figure 3 is a block diagram schematically showing an apparatus for producing ozone water according to the conventional method.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

102, 106 : 펌프 104 : 오조나이저102, 106: pump 104: ozonizer

108 : 오존 용해 탱크 1081 : 하부 지지 케이스108: ozone dissolution tank 1081: lower support case

1081a : 물 흡기구 1082 : 콘테이너1081a: water intake 1082: container

1082a : 가스 흡기구 1083 : 멤브레인1082a: gas intake 1083: membrane

1084 : 냉각 장치 1085 : 배기구1084 cooling device 1085 exhaust port

1086 : 내측 공간1086: inner space

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

잘 알려진 바와같이, 오존수를 생성하기 위해 오존 가스중의 오존을 물에 녹이는 메카니즘은 확산에 의해 제어된다. 따라서, 고농도의 오존수를 얻기 위해서는 오존 가스와 물 사이에 확산이 잘 일어날 수 있도록 해 주어야한다.As is well known, the mechanism of dissolving ozone in ozone gas in water to produce ozone water is controlled by diffusion. Therefore, in order to obtain a high concentration of ozone water, it is necessary to allow diffusion between ozone gas and water well.

한편, 오존 가스와 물 사이에 확산이 잘 일어나도록 하는 방법으로는, 첫째 물의 오존에 대한 용해도를 큰 조건으로 해 주거나, 둘째 오존 가스중의 오존 농도를 높게 해 주거나, 셋째 오존 가스와 물의 접촉 시간을 길게 해 주거나, 넷째 오존과 물의 접촉 면적을 크게하여 확산이 일어날 수 있는 면적을 넓게 해 주거나, 다섯째 오존 가스중의 오존이 물 속으로 빨리 확산될 수 있도록 확산 계수를 큰 조건으로 만들어 주는 방법을 고려해 볼 수 있다.On the other hand, in order to diffuse well between ozone gas and water, first, the solubility of ozone in water is large, second, the ozone concentration in ozone gas is increased, or third, the contact time between ozone gas and water. To increase the area where diffusion can occur by increasing the contact area between ozone and water, or to make the diffusion coefficient large so that ozone in the ozone gas can quickly diffuse into the water. You can consider.

따라서, 본 발명은 상기한 여러 가지 방법중 어느 하나의 방법을 이용해 오존 가스와 물 사이의 오존 확산을 증진시킴으로써, 고농도의 오존수를 단시간내에 생성한다는 것이 그 주된 기술적 요지이다.Therefore, the main technical point of the present invention is to generate high concentration ozone water in a short time by promoting ozone diffusion between ozone gas and water using any one of the above-described methods.

즉, Sievert's Law에 따르면, 액체의 기체에 대한 용해도는 용해되는 기체가 분자 형태로 액체에 용해될 때 용해되는 기체의 부분 압력에 비례한다. 따라서, 오존의 부분 압력을 높여 주면 물에 녹을 수 있는 오존의 양이 증가하게 되므로, 오존수중의 오존 농도를 높일 수 있다.In other words, according to Sievert's Law, the solubility of the liquid in the gas is proportional to the partial pressure of the dissolved gas when the dissolved gas is dissolved in the liquid in molecular form. Therefore, when the partial pressure of ozone is increased, the amount of ozone that can be dissolved in water increases, so that the concentration of ozone in ozone water can be increased.

또한, 일반적인 경우 온도가 올라가면 용해도가 증가하는 것으로 알려져 있으나 오존의 경우에는 온도가 낮을수록 용해되는 오존의 농도가 높아지는 것으로 알려져 있다.In addition, in general, it is known that the solubility increases as the temperature increases, but in the case of ozone, it is known that the lower the temperature, the higher the concentration of dissolved ozone.

따라서, 본 발명은 상기한 두가지 관점(부분 압력 및 온도)에 착안한 것으로, 오존의 부분 압력을 일정 레벨로 증가시켜 주고, 또한 오존 용해 탱크의 온도를 낮게 조절해 주므로써 단시간내에 고농도의 오존수를 생성한다는 것이 그 핵심 기술요지이며, 이러한 기술적 요지를 통해 본 발명에서 목적으로 하는 바를 쉽게 달성할 수 있다.Accordingly, the present invention focuses on the above two aspects (partial pressure and temperature), and increases the partial pressure of ozone to a certain level, and also controls the temperature of the ozone dissolving tank to be low, thereby reducing the high concentration of ozone water in a short time. It is the core technical gist of the production, and through this technical gist it is easy to achieve the purpose of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오존수 제조 장치의 블록구성도로써, 본 발명의 오존 수 제조 장치는 제 1 펌프(102), 오조나이저(104), 제 2 펌프(106) 및 오존 용해 탱크(108)를 포함한다.1 is a block diagram of an ozone water producing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, the ozone water producing apparatus of the present invention is the first pump 102, the ozonizer 104, the second pump 106 and ozone dissolving. Tank 108.

도 1을 참조하면, 제 1 펌프(102)는 외부로부터 제공되는 물(순수 물 또는 초순수 물)을 펌핑하여 오존 용해 탱크(108)로 공급하고, 오조나이저(또는 오존 발생 장치)(104)는 오존을 생성, 즉 외부로부터 공급되는 산소(O2)에 플라즈마를 가하거나 물을 전기 분해하여 오존(O3) 가스를 생성한다.Referring to FIG. 1, the first pump 102 pumps water (pure water or ultrapure water) provided from the outside to supply the ozone dissolving tank 108, and the ozonizer (or ozone generating device) 104 is Ozone is generated, that is, ozone (O3) gas is generated by applying plasma to oxygen (O2) supplied from the outside or electrolyzing water.

또한, 제 2 펌프(106)는 생성된 오존의 부분 압력을 높여주기 위한 것으로, 오조나이저(104)에서 생성된 오존 가스를 펌핑하여 도시 생략된 흡기 덕트 및 흡기관을 통해 오존 용해 탱크(108)로 공급된다.In addition, the second pump 106 is to increase the partial pressure of the generated ozone, and pumps the ozone gas generated by the ozonizer 104 to pump the ozone dissolving tank 108 through an intake duct and an intake pipe not shown. Is supplied.

다음에, 오존 용해 탱크(108)는, 제 1 펌프(102)를 통해 공급되는 물과 제 2 펌프(106)를 통해 공급되는 오존 가스를 이용하여 목표로하는 오존수를 생성하는 것으로, 도 2에 도시된 바와같이, 하부 지지 케이스(1081), 콘테이너(1082), 멤브레인(1083), 냉각 장치(1084) 및 배기구(1085)를 포함한다. 여기에서, 냉각 장치(1084)는, 예를들면 냉매를 이용하는 냉각 장치 또는 반도체형의 냉각 장치를 이용할 수 있다.Next, the ozone dissolving tank 108 generates target ozone water by using the water supplied through the first pump 102 and the ozone gas supplied through the second pump 106. As shown, it includes a lower support case 1081, a container 1082, a membrane 1083, a cooling device 1084, and an exhaust port 1085. Here, the cooling device 1084 can use a cooling device using a refrigerant | coolant or a semiconductor type cooling device, for example.

또한, 하부 지지 케이스(1081)내 임의의 위치에는 물이 유입되는 물 흡기구(1081a)가 설치되고, 콘테이터(1082)와 냉각 장치(1084)의 일측에는 오존 가스가 유입되는 가스 흡기구(1082a)가 설치된다.In addition, a water intake port 1081a into which water is introduced is provided at an arbitrary position in the lower support case 1081, and a gas intake port 1082a into which one side of the container 1082 and the cooling device 1084 is introduced. Is installed.

다음에, 상술한 바와같은 구조를 갖는 본 발명의 오존수 제조 장치에서 고농도의 오존수를 생성하는 과정에 대하여 설명한다.Next, a process of generating high concentration ozone water in the ozone water production apparatus of the present invention having the structure as described above will be described.

도 1의 제 1 펌프(102)를 통해 펌핑되는 물은 오존 용해 탱크(108)의 물 흡기구(1081a)를 통해 유입되며 이와같이 유입된 물은 멤브레인(1083)안으로 흘러 들어간다. 또한, 도 1의 오조나이저(104)에서 생성된 오존 가스는 제 2 펌프(106)를 통해 펌핑되어 오존 용해 탱크(108)의 가스 흡기구(1082a)를 통해 콘테이너(1082)의 내측 공간(1086)으로 유입된다.Water pumped through the first pump 102 of FIG. 1 flows through the water intake 1081a of the ozone dissolving tank 108 and thus flows into the membrane 1083. In addition, ozone gas generated in the ozonizer 104 of FIG. 1 is pumped through the second pump 106 and the inner space 1086 of the container 1082 through the gas inlet 1082a of the ozone dissolving tank 108. Flows into.

이때, 내측 공간(1086)으로 유입되는 오존 가스는 제 2 펌프(106)의 펌핑력에 따라 유입되는 속도와 배기 가스를 배출하는 배기구(1085)의 크기에 의해 적정 레벨의 압력을 받게 된다. 즉, 내측 공간(1086)으로 유입되는 오존 가스량과 배기구(1085)를 통해 배출되는 배기 가스량을 적절하게 조절함으로써, 콘테이터(1082)의 내측 공간(1086)에 압력을 발생시킨다. 여기에서, 내측 공간(1086)에 발생하는 압력에 대응할 수 있도록 멤브레인(1083)속으로 유입되는 물의 압력도 조절해 줄 필요가 있다.At this time, the ozone gas introduced into the inner space 1086 is subjected to an appropriate level of pressure by the speed of the inflow and the size of the exhaust port 1085 for discharging the exhaust gas according to the pumping force of the second pump 106. That is, pressure is generated in the inner space 1086 of the container 1082 by appropriately adjusting the amount of ozone gas flowing into the inner space 1086 and the amount of exhaust gas discharged through the exhaust port 1085. Here, the pressure of the water flowing into the membrane 1083 needs to be adjusted to cope with the pressure generated in the inner space 1086.

따라서, 상술한 바와같이 내측 공간(1086)에 유입된 오존 가스에 적정 레벨의 압력을 가하여 오존 가스중의 오존이 멤브레인(1083) 속의 물로 녹아들어갈 수 있는 용해도(solubility)를 크게 해 줌으로써 단시간내에 오존수중의 오존 농도를 증가시킨다. 예를들어, 2기압 조건의 오존 용해 탱크에서 물에 용해될 수 있는 오존 농도는 동일한 시간/상압 조건의 오존 용해 탱크에서 물에 용해될 수 있는 오존 농도의 대략 두배가 된다.Therefore, as described above, by applying an appropriate level of pressure to the ozone gas introduced into the inner space 1086, the solubility of ozone in the ozone gas can be dissolved into the water in the membrane 1083, thereby increasing the solubility of the ozone water in a short time. Increase the ozone concentration in water. For example, the ozone concentration that can be dissolved in water in an ozone dissolution tank at 2 atmospheres is approximately twice the ozone concentration that can be dissolved in water in an ozone dissolution tank at the same time / atmospheric conditions.

한편, 오존의 경우 온도가 낮을수록 용해되는 오존의 농도가 높아지는 특성을 갖는 데, 이러한 점을 이용하여 생성되는 오존수의 고농도화를 실현할 수 있도록 본 발명의 오존수 제조 장치에서는 콘테이너(1082)의 외측에 냉각 장치(1084)를 설치하며, 이러한 냉각 장치(1084)를 이용해 콘테이너(1082) 내부의 온도를 낮게 유지시켜 주므로써, 생성되는 오존수의 고농도화를 짧은 시간내에 실현할 수 있다. 이때, 냉각 온도는 물이 얼지 않을 정도의 온도 범위로 설정하는 것이 바람직하다.On the other hand, in the case of ozone, the lower the temperature, the higher the concentration of dissolved ozone, and the ozone water producing apparatus of the present invention can realize the high concentration of ozone water generated by using this point. By providing the cooling device 1084 and keeping the temperature inside the container 1082 low by using the cooling device 1084, high concentration of the generated ozone water can be realized in a short time. At this time, the cooling temperature is preferably set to a temperature range such that the water does not freeze.

이상 설명한 바와같이 본 발명에 따르면, 펌프를 이용하여 생성된 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시키고, 오존 용해 탱크의 배기구 크기를 적절하게 조절하여 오존 용해 탱크의 콘테이너에 적정 레벨의 압력을 발생시키며, 또한 냉각 장치를 부착하여 콘테이너의 내측 공간의 온도를 소정 레벨로 낮추어 주므로써, 오존수의 고농도화를 단시간내에 실현할 수 있다.As described above, according to the present invention, an ozone gas generated by using a pump is introduced into an ozone dissolution tank, and an appropriate level of pressure is generated in a container of the ozone dissolution tank by appropriately adjusting the exhaust port size of the ozone dissolution tank. In addition, by attaching a cooling device to lower the temperature of the inner space of the container to a predetermined level, it is possible to realize high concentration of ozone water in a short time.

따라서, 본 발명에 따라 제조된 고농도의 오존수를 이용하여 세척 공정, 살균 처리 공정 등을 수행함으로써, 해당 공정에서의 처리 시간을 대폭 단축할 수 있기 때문에 특정 제품의 생산성 향상을 도모할 수 있다.Therefore, by performing a washing process, a sterilization process, etc. using a high concentration of ozone water prepared according to the present invention, it is possible to significantly shorten the processing time in the process, it is possible to improve the productivity of a specific product.

Claims (7)

물과 오존을 포함하는 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시켜 오존수를 제조하는 장치에 있어서,An apparatus for producing ozone water by introducing an ozone gas containing water and ozone into an ozone dissolution tank, 상기 물을 펌핑하여 상기 오존 용해 탱크로 유입시키는 제 1 펌프;A first pump for pumping the water into the ozone dissolution tank; 외부로부터 제공되는 산소를 이용해 오존 가스를 생성하는 오조나이저;An ozonizer for generating ozone gas using oxygen provided from the outside; 상기 오조나이저에서 생성된 오존 가스를 펌핑하여 상기 오존 용해 탱크로 유입시키는 제 2 펌프; 및A second pump for pumping the ozone gas generated in the ozonizer to flow into the ozone dissolution tank; And 가스 흡기구를 통해 유입되는 상기 오존 가스를 충진하는 콘테이너, 상기 콘테이너 내부에 내장되어 물 흡기구를 통해 유입되는 물을 상기 콘테이너의 배기구측으로 관통시키는 멤브레인으로 구성된 상기 오존 용해 장치를 포함하고,And the ozone dissolving device comprising a container filling the ozone gas flowing through a gas inlet, and a membrane embedded in the container to allow water introduced through the water inlet to penetrate the outlet side of the container, 상기 콘테이너의 내측 공간에는 상기 제 2 펌프에서의 펌핑력과 상기 배기구의 크기에 의해 소정 레벨의 압력이 발생하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 장치.And a predetermined level of pressure is generated in the inner space of the container due to the pumping force of the second pump and the size of the exhaust port. 제 1 항에 있어서, 상기 오존 용해 장치는, 상기 콘테이너의 외측에 장착되어 상기 콘테이너 내부의 온도를 기설정된 소정 레벨로 조절하는 냉각 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 장치.The ozone water producing apparatus according to claim 1, wherein the ozone dissolving device further comprises a cooling device mounted outside the container to adjust a temperature inside the container to a predetermined level. 제 2 항에 있어서, 상기 냉각 장치는, 냉매를 이용하는 냉각 장치인 것을 특징으로 하는 오존수 제조 장치.The ozone water production apparatus according to claim 2, wherein the cooling device is a cooling device using a refrigerant. 제 2 항에 있어서, 상기 냉각 장치는, 반도체형의 냉각 장치인 것을 특징으로 하는 오존수 제조 장치.The ozone water production apparatus according to claim 2, wherein the cooling device is a semiconductor cooling device. 물과 오존을 포함하는 오존 가스를 오존 용해 탱크로 유입시켜 오존수를 제조하는 방법에 있어서,In the method for producing ozone water by introducing an ozone gas containing water and ozone into the ozone dissolution tank, 상기 물과 오존 가스가 유입된 상기 오존 용해 탱크에 기설정된 소정 레벨의 압력을 발생시키고, 상기 오존 용해 장치의 내부 온도를 기설정된 소정 레벨로 냉각시켜 상기 오존수를 생성하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 방법.Generating a predetermined level of pressure in the ozone dissolving tank into which the water and ozone gas are introduced, and cooling the internal temperature of the ozone dissolving apparatus to a predetermined predetermined level to generate the ozone water. . 제 5 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 오존 용해 장치로 상기 오존 가스를 유입시키는 펌핑력과 상기 오존 용해 장치의 배기구의 크기를 조절하여 상기 압력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 방법.6. The method of claim 5, wherein the pressure is generated by adjusting a pumping force for introducing the ozone gas into the ozone dissolving device and a size of an exhaust port of the ozone dissolving device. 제 5 항에 있어서, 상기 방법은, 냉매를 이용하여 상기 오존 용해 탱크의 내부 온도를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 방법.The ozone water production method according to claim 5, wherein the method cools an internal temperature of the ozone dissolution tank by using a refrigerant.
KR1019990061043A 1999-12-23 1999-12-23 Ozonated water generation apparatus and method KR100356137B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990061043A KR100356137B1 (en) 1999-12-23 1999-12-23 Ozonated water generation apparatus and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990061043A KR100356137B1 (en) 1999-12-23 1999-12-23 Ozonated water generation apparatus and method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010057670A KR20010057670A (en) 2001-07-05
KR100356137B1 true KR100356137B1 (en) 2002-10-19

Family

ID=19628718

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990061043A KR100356137B1 (en) 1999-12-23 1999-12-23 Ozonated water generation apparatus and method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100356137B1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020078562A (en) * 2001-04-04 2002-10-19 (주)미지텍 Forced Oxygen Ozone Generator
KR100918758B1 (en) * 2008-12-31 2009-09-24 다불산업주식회사 Progress apparatus of water treatment system used in advanced ultraviolet and oxidation, and method for progressing the same
KR101665078B1 (en) * 2016-07-01 2016-10-12 주식회사 파오 A ballast water treatment system using ozone

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010057670A (en) 2001-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6635459B1 (en) Ozone water production method
EP1027291B1 (en) Method and system to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain this increased quantity until utilized
US9080131B2 (en) Method for producing high concentration ozonated water and device for producing high concentration ozonated water
JP2007243113A (en) Production method, production device, and washing device for gas dissolution washing water
TW201619045A (en) Gas-dissolved-liquid manufacturing apparatus and manufacturing method thereof
WO2012073574A1 (en) Method for removal of photoresist
JP2009112979A (en) Apparatus and method for producing ozone water
JP2004188246A (en) System for manufacturing ozonized water
JP2002210340A (en) Ozone water producer
JP2009297588A (en) Method of preparing heated ozone water
KR100356137B1 (en) Ozonated water generation apparatus and method
JP2014117628A (en) Circulation type method and apparatus for supplying ozone water
KR100625320B1 (en) Apparatus for supplying functional water of substrate cleaning equipment
KR100360593B1 (en) Ozonated water generation apparatus
KR20070062833A (en) Apparatus for making ozone water
KR102066339B1 (en) Plasma Dissolved-Water Production System
JP4637329B2 (en) Hydrogen dissolver
JP3598022B2 (en) Water treatment method using ozone and hydrogen peroxide
KR102171795B1 (en) Pesticide spraying apparatus
JP2005019876A (en) Method of manufacturing semiconductor device, ozone water cleaning system, and ozone water concentration control system
JP2002231683A (en) Wafer-cleaning device and method
KR200192963Y1 (en) Apparatus for manufacturing an ozonic water
KR100411956B1 (en) Ozone And Oxigen Supplier
JP3347671B2 (en) High concentration ozone water production equipment
JP2005161163A (en) Ozone water treatment apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090825

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee