KR100341494B1 - Apparatus for aligning laser diode bar - Google Patents

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/30Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
    • H01S5/32Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures

Abstract

본 발명은 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치에 관한 것으로, 얼라인 장치는 레이저 다이오드 바가 선단부 스테이지, 레이저 다이오드 바가 정렬 상태로 안착되는 후단부 스테이지, 레이저 다이오드 바를 선단부 스테이지에서 후단부 스테이지로 이동시키는 운반부, 선단부 스테이지 상에 놓여진 레이저 다이오드 바의 초기 위치를 인식하는 화상 처리부, 화상 처리부로부터 화상 신호를 입력받아 레이저 다이오드 바의 위치 정보를 분석하여 선단부 스테이지, 후단부 스테이지 및 운반부를 구동시키는 제어부를 구비하다. 여기서, 레이저 다이오드 바의 정렬 위치는 선단부 스테이지 및 후단부 스테이지의 구동에 의해 결정된다. 이와 같은 장치에 의하면, 화상 처리부에서 레이저 다이오드 바의 초기 위치를 인식하고, 그 위치 정보에 의해 선단부 스테이지, 운반부 및 후단부 스테이지를 차례로 구동시켜, 레이저 다이오드 바가 최종 정렬 위치에 정렬되도록 함으로써, 레이저 다이오드 바를 정확한 위치에 정렬시킬 수 있다.The present invention relates to an alignment device for a laser diode bar, wherein the alignment device includes a front end stage in which the laser diode bar is seated in an aligned state, a rear end stage in which the laser diode bar is seated in alignment, and a transport unit for moving the laser diode bar from the front end stage to the rear end stage. And an image processor which recognizes an initial position of the laser diode bar placed on the tip stage, and a controller which receives the image signal from the image processor and analyzes the position information of the laser diode bar to drive the tip stage, the rear stage stage, and the carrying unit. . Here, the alignment position of the laser diode bar is determined by the driving of the leading stage and the trailing stage. According to such an apparatus, the image processing unit recognizes the initial position of the laser diode bar, and in turn drives the leading stage stage, the carrying section and the rear stage stage according to the positional information so that the laser diode bar is aligned at the final alignment position. The diode bars can be aligned in the correct position.

Description

레이저 다이오드 바 얼라인 장치{APPARATUS FOR ALIGNING LASER DIODE BAR}Laser diode bar alignment device {APPARATUS FOR ALIGNING LASER DIODE BAR}

본 발명은 레이저 다이오드의 제조 장치에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 레이저 다이오드 바를 정확하게 정렬시키기 위한 얼라인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a laser diode, and more particularly to an alignment apparatus for accurately aligning a laser diode bar.

반도체 레이저 다이오드는 광저장 기기 및 광프린터 등과 같은 정보 처리 장치에 널리 사용되고 있는 소자로, 주로 3족이나 5족 원소로 구성된 화합물을 사용하여 제조된다. 반도체 레이저 다이오드는 다른 반도체 소자들과는 달리 레이저 다이오드의 양측 단면을 가공하여 형성된 거울면을 갖는다. 이러한 거울면을 제조하기 위하여, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 복수개의 레이저 다이오드 셀을 바(bar) 형태로 절단한 후 개별적인 레이저 다이오드 셀로 나누게 된다. 레이저 다이오드 바를 개별 레이저 다이오드 셀로 가공하는 방법은 스크라이빙 장비로 레이저 다이오드 바 상에 절단선을 그은 후 브레이크 장비가 절단선을 따라 레이저 다이오드 셀을 절단하는 방법으로 진행한다.Semiconductor laser diodes are widely used in information processing devices such as optical storage devices and optical printers, and are manufactured using compounds mainly composed of Group 3 or Group 5 elements. Unlike other semiconductor devices, the semiconductor laser diode has a mirror surface formed by processing both end surfaces of the laser diode. In order to manufacture such a mirror surface, a plurality of laser diode cells formed on a semiconductor wafer are cut into bars and then divided into individual laser diode cells. The method of processing the laser diode bar into individual laser diode cells proceeds by drawing a cutting line on the laser diode bar with scribing equipment and then breaking the laser diode cell along the cutting line by the brake equipment.

그런데, 종래 기술에 의하면, 브레이크 장비 내에 레이저 다이오드 바를 정렬시키는 공정이 작업자의 수작업에 의해 진행되었다. 따라서, 레이저 다이오드 바를 정확히 정렬시키는데 어려움이 있을 뿐만 아니라 레이저 다이오드 바를 대량으로 가공하는 것이 불가능하였다.By the way, according to the prior art, the process of aligning the laser diode bar in the brake equipment has been performed by the operator's manual work. Therefore, it was not only difficult to align the laser diode bars correctly, but also it was impossible to process the laser diode bars in large quantities.

본 발명은 상술한 제반 문제를 해결하기 위해 제안된 것으로, 레이저 다이오드 바를 개별 레이저 다이오드 셀로 절단하기 위해 레이저 다이오드 바를 정확히 정렬시킬 수 있는 얼라인 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide an alignment device capable of accurately aligning a laser diode bar for cutting the laser diode bar into individual laser diode cells.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치를 나타내는 개략도; 그리고1 is a schematic diagram showing an alignment device of a laser diode bar according to an embodiment of the present invention; And

도 2a 및 도 2b는 레이저 다이오드 바의 정렬 상태를 나타내기 위해 얼라인 장치의 선단부 스테이지 및 후단부 스테이지의 상면을 나타내는 개략도이다.2A and 2B are schematic diagrams showing the top surfaces of the leading end stage and the rear end stage of the alignment device to show the alignment of the laser diode bars.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10: 선단부 스테이지 14: 후단부 스테이지10: tip stage 14: rear stage stage

20: 운반부 24: 화상 처리부20: carrying unit 24: image processing unit

28: 화상 검사부 30: 시스템 제어부28: image inspection unit 30: system control unit

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 레이저 다이오드 바 얼라인 장치는, 레이저 다이오드 바가 인입되고, X축 및 Y축으로 이동할 수 있도록 설치된 선단부 스테이지; 상기 레이저 다이오드 바가 정렬 상태로 안착되고, X축 및 Y축으로 이동할 수 있도록 설치된 후단부 스테이지; 상기 레이저 다이오드 바를 상기 선단부 스테이지에서 상기 후단부 스테이지로 이동시키는 운반부; 상기 선단부 스테이지 상에 놓여진 상기 레이저 다이오드 바의 초기 위치를 인식하는 화상 처리부; 상기 화상 처리부로부터 화상 신호를 입력받아 상기 레이저 다이오드 바의 위치 정보를 분석하여 상기 선단부 스테이지, 상기 후단부 스테이지 및 상기 운반부를 구동시키는 제어부를 구비하되, 상기 레이저 다이오드 바의 정렬 위치는 상기 선단부 스테이지 및 상기 후단부 스테이지의 구동에 의해 결정되는 것을 특징으로 한다.Laser diode bar alignment apparatus according to the present invention for achieving the above object, the front end stage is installed so that the laser diode bar is retracted, and move in the X-axis and Y-axis; A rear end stage in which the laser diode bar is seated in an aligned state and installed to move in X and Y axes; A carrying part for moving said laser diode bar from said leading end stage to said rear end stage; An image processor for recognizing an initial position of the laser diode bar placed on the tip stage; A control unit for receiving the image signal from the image processor and analyzing the position information of the laser diode bar to drive the front end stage, the rear end stage, and the carrying unit, wherein the alignment position of the laser diode bar is the front end stage; It is determined by the driving of the rear end stage.

본 발명의 실시예에 의하면, 상기 선단부 스테이지 및 상기 후단부 스테이지는 각각 상기 레이저 다이오드 바가 놓이는 테이블 및 상기 테이블을 X축 및 Y축으로 이동시키기 위한 구동 모터를 구비하는 것이 바람직하다.According to an embodiment of the present invention, the front end stage and the rear end stage may each include a table on which the laser diode bar is placed and a driving motor for moving the table on the X and Y axes.

또한, 상기 화상 처리부는 상기 레이저 다이오드 바의 화상을 정확히 인식하기 위한 광학 렌즈, 상기 광학 렌즈의 상을 촬영하기 위한 카메라 및 상기 카메라에서 촬영한 화상을 화상 정보로 처리하는 화상 처리기를 구비하는 것이 바람직하다.The image processing unit may further include an optical lens for accurately recognizing an image of the laser diode bar, a camera for photographing an image of the optical lens, and an image processor for processing the image photographed by the camera as image information. Do.

이에 더하여, 상기 운반부는 상기 레이저 다이오드 바를 이동시키기 위한 피커, 상기 피커를 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 피커를 이동시키기 위한 수평 실린더를 구비하되 상기 구동 모터에 의해 상기 피커가 회전함으로써 상기 레이저 다이오드 바의 각도를 보정하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the carrying part includes a picker for moving the laser diode bar, a drive motor for rotating the picker, and a horizontal cylinder for moving the picker, wherein the picker rotates by the drive motor, It is desirable to correct the angle.

(실시예)(Example)

이하, 도 1 및 도2 를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치를 나타내는 개략도이다. 도 2a 및 도 2b는 레이저 다이오드 바의 정렬 상태를 나타내기 위해 얼라인 장치의 선단부 스테이지 및 후단부 스테이지의 상면을 나타내는 개략도이다.1 is a schematic diagram showing an alignment device of a laser diode bar according to an embodiment of the present invention. 2A and 2B are schematic diagrams showing the top surfaces of the leading end stage and the rear end stage of the alignment device to show the alignment of the laser diode bars.

도 1을 참조하면, 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치는 레이저 다이오드 바가 초기에 인입되는 선단부 스테이지(10) 및 레이저 다이오드 바가 최종 정렬되는 후단부 스테이지(14)를 구비한다. 선단부 스테이지 및 후단부 스테이지는 각각 레이저 다이오드 바가 놓여지는 테이블(11,15) 및 테이블과 결합되어 테이블을 X축 및 Y축 방향으로 이동시키기 위한 구동 모터(12,16)로 구성된다. 각 스테이지(10,11)는 예를 들어, 테이블과 구동 모터가 일체형으로 이루어진 플레이트 플레이너(plate planer)로 설치하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 1, the alignment device of the laser diode bar has a leading stage 10 in which the laser diode bar is initially introduced and a trailing stage stage 14 in which the laser diode bar is finally aligned. The front end stage and the rear end stage are composed of tables 11 and 15 on which the laser diode bar is placed and drive motors 12 and 16 for moving the table in the X-axis and Y-axis directions, respectively. Each stage 10, 11 is preferably provided with, for example, a plate planer in which a table and a drive motor are integrally formed.

선단부 스테이지(10)의 테이블(11) 상면에는 도 2a에 도시된 바와 같이, 레이저 다이오드 바가 초기에 인입될 때, 각 레이저 바들의 위치를 지정하기 위한 복수개의 바홀(bar hole; 42)들이 형성된다. 작업자가 테이블(11) 상면의 바홀(42) 내부에 레이저 다이오드 바를 위치시키게 된다. 또한, 후단부 스테이지(14)의 테이블(15) 상면에는 도 2b에 도시된 바와 같이, 최종 정렬된 레이저 다이오드 바들을 절단 장치로 이송시킬 때, 레이저 다이오드 바들의 최종 정렬 상태를 유지할 수 있도록 접착성이 있는 기재(42), 예를 들어 블루 테이프가 부착된다.As shown in FIG. 2A, when the laser diode bar is initially drawn, a plurality of bar holes 42 are formed on the top surface of the table 11 of the tip stage 10 to designate the positions of the respective laser bars. . The operator places the laser diode bar inside the bar hole 42 on the upper surface of the table 11. In addition, the upper surface of the table 15 of the rear end stage 14 is adhesive to maintain the final alignment of the laser diode bars when transferring the final aligned laser diode bars to the cutting device, as shown in Figure 2b With substrate 42, for example a blue tape.

선단부 스테이지(10)와 수직 대향하는 상부에는 선단부 스테이지(10) 상에 놓인 레이저 다이오드 바의 초기 위치를 인식하기 위한 화상 처리부(24)가 구비된다. 화상 처리부(24)는 레이저 다이오드 바의 형태 및 위치를 정확한 상으로 인식하기 위한 광학 렌즈와 광학 렌즈의 상을 촬영하는 카메라(25)와 카메라(25)에서 촬영한 화상을 화상 신호로 처리하는 화상 처리기로 구성된다. 또한, 후단부 스테이지(14)의 상부에는 화상 처리부(24)에서 인식한 화상 정보에 의해 후단부 테이블(15) 상에 안착된 레이저 다이오드 바들의 정렬 상태를 확인하기 위한 화상검사부(28)가 구비된다. 화상검사부(28)는 화상처리부(24)와 동일한 기재들, 즉 광학 렌즈, 카메라(29) 및 화상처리기로 구성된다.An image processor 24 for detecting the initial position of the laser diode bar placed on the tip stage 10 is provided at an upper portion of the top portion opposite to the tip stage 10. The image processing unit 24 processes the image taken by the camera 25 and the image taken by the camera 25 and the image of the optical lens and the image of the optical lens to recognize the shape and position of the laser diode bar as an accurate image as an image signal. It consists of a processor. In addition, an upper portion of the rear stage stage 14 is provided with an image inspection unit 28 for checking the alignment state of the laser diode bars seated on the rear end table 15 by the image information recognized by the image processing unit 24. do. The image inspection unit 28 is composed of the same substrates as the image processing unit 24, that is, the optical lens, the camera 29 and the image processor.

선단부 스테이지(10)에 인입된 레이저 다이오드 바들을 후단부 스테이지(14)로 이송시키기 위한 운반부(20)가 구비된다. 운반부(20)는 레이저 다이오드 바를 운반하는 운반 수단인 피커(21), 피커를 회전시키기 위한 구동 모터(22) 및 피커(21)의 이동축이 되어 피커(21)를 수평 이동시키는 수평 실린더(20)로 구성된다. 피커(21)는 예를 들어, 진공을 사용하여 레이저 다이오드 바를 흡착하여 이송하는 버큠(vacuum)으로 설치된다. 버큠은 선단부 테이블(11) 상의 레이저 다이오드 바의 상단까지 근접하여 레이저 다이오드 바를 흡착한 후 초기 위치로 복귀하도록 설치된다. 또한, 구동모터(22)는 피커(21)가 레이저 다이오드 바를 흡착한 후 레이저 다이오드 바의 각도를 보정하기 위해 피커(21)를 회전시키기 위한 장치이며, 예를 들어 피커(21)의 회전 운동을 정밀하게 조절할 수 있는 스텝핑 모터(stepping motor)로 설치하는 것이 바람직하다.A carrying unit 20 is provided for transferring the laser diode bars introduced into the leading end stage 10 to the rear end stage 14. The transport unit 20 is a horizontal cylinder for horizontally moving the picker 21 by being a moving shaft of the picker 21, which is a transport means for transporting the laser diode bar, the drive motor 22 for rotating the picker, and the picker 21 ( 20). The picker 21 is installed as a vacuum, for example, to suck and transport the laser diode bar using a vacuum. The pusher is installed to return to the initial position after adsorbing the laser diode bar close to the top of the laser diode bar on the tip table 11. In addition, the driving motor 22 is a device for rotating the picker 21 to correct the angle of the laser diode bar after the picker 21 adsorbs the laser diode bar, for example, to rotate the picker 21. It is desirable to install with a stepping motor that can be precisely adjusted.

화상 처리부(24)에서 인식한 위치 정보를 분석하여, 얼라인 장비 내의 각종 구동 장치들을 제어하기 위한 시스템 제어부(30)가 구비된다. 시스템 제어부(30)에는 레이저 다이오드 바의 규격 치수 및 기준 위치가 입력되어 있으며, 이러한 입력값들과 화상 처리부(24)에서 전달된 위치 정보를 비교하여 구동 장치의 움직임을 제어하게 된다.A system control unit 30 is provided for analyzing the positional information recognized by the image processing unit 24 and controlling various driving devices in the alignment equipment. The standard size and reference position of the laser diode bar are input to the system controller 30, and the movement of the driving apparatus is controlled by comparing the input values with the position information transmitted from the image processor 24.

이하, 본 발명의 실시예에 의해 상술한 바와 같이 구성된 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치의 동작에 대해 설명한다.The operation of the alignment device of the laser diode bar constructed as described above according to the embodiment of the present invention will be described below.

우선, 일정 수량의 레이저 다이오드 바들을 도 2a 에 도시된 바와 같이, 선단부 스테이지(10) 상의 바홀(40) 내부에 인위적으로 정렬시킨다. 화상처리부(24)에서 바홀(40) 내부에 안착된 레이저 다이오드 바들의 좌표 및 바홀(40)의 수평 선상으로부터 기울어진 각도를 화상으로 인식하여 화상 신호로 처리한 후 시스템 제어부(30)로 전달한다. 이때, 레이저 다이오드 바들의 크기 및 형태도 화상 신호로 전달되므로, 시스템 제어부(30)에 입력되어 있는 규격 치수와 비교하여 레이저 다이오드 바의 불량 여부도 판별한다.First, a certain amount of laser diode bars are artificially aligned inside the bar hole 40 on the tip stage 10, as shown in FIG. 2A. The image processing unit 24 recognizes the coordinates of the laser diode bars seated inside the bar hole 40 and the inclination angle from the horizontal line of the bar hole 40 as an image, processes the image signal, and transmits the image signal to the system control unit 30. . In this case, since the size and shape of the laser diode bars are also transmitted as an image signal, the laser diode bars are also discriminated from the standard dimensions input to the system controller 30 to determine whether the laser diode bars are defective.

화상 신호가 시스템 제어부(30)로 전달되면, 시스템 제어부(30)는 레이저 다이오드 바의 현재의 위치를 미리 입력되어 있는 기준값들과 비교한다. 시스템 제어부(30)에서 분석한 위치 정보에 의해, 우선 선단부 스테이지(10)가 구동된다. 이때, 선단부 스테이지(10)는 X축 및 Y축 양방향으로 구동됨으로써, 피커(21)가 레이저 다이오드 바를 흡착하는 초기 기준 위치에 정확히 위치하게 된다.When the image signal is transmitted to the system control unit 30, the system control unit 30 compares the current position of the laser diode bar with reference values which are input in advance. The tip stage 10 is driven first by the positional information analyzed by the system control unit 30. At this time, the tip stage 10 is driven in both X-axis and Y-axis so that the picker 21 is accurately positioned at the initial reference position where the laser diode bar is attracted.

선단부 스테이지(10)가 기준 위치에 고정되면, 피커(21)가 레이저 다이오드 바의 상단으로 근접하여 레이저 다이오드 바를 흡착한다. 레이저 다이오드 바를 흡착한 피커(21)가 원래의 위치로 복귀하면, 시스템 제어부(30)에서 분석한 위치 정보에 따라 구동 모터(22)에 의해 피커가 회전하여 레이저 다이오드 바의 각도를 보정한다.When the tip stage 10 is fixed at the reference position, the picker 21 is close to the top of the laser diode bar to adsorb the laser diode bar. When the picker 21 which has absorbed the laser diode bar returns to its original position, the picker rotates by the drive motor 22 according to the positional information analyzed by the system control unit 30 to correct the angle of the laser diode bar.

이어서, 피커(21)가 후단부 스테이지(14)와 대향하는 위치로 수평 실린더(20)에 의해 수평 이동된다. 후단부 스테이지(14) 상의 최종 정렬 위치에 레이저 다이오드 바가 안착될 수 있도록 후단부 스테이지(14)를 구동시킨다. 후단부 스테이지(14)의 위치가 고정되면, 피커(21)가 후단부 스테이지(14)의 상면으로 접근하여, 레이저 다이오드 바를 최종 정렬 위치에 안착시킨다. 그러면, 도 2b에 도시된 바와 같이, 후단부 스테이지(14) 상의 블루 테이프(42)에 레이저 다이오드 바들이 정렬된 상태로 접착된다.Subsequently, the picker 21 is horizontally moved by the horizontal cylinder 20 to a position facing the rear end stage 14. The rear stage stage 14 is driven such that the laser diode bar can be seated in the final alignment position on the rear stage stage 14. When the position of the rear end stage 14 is fixed, the picker 21 approaches the top surface of the rear end stage 14 to seat the laser diode bar in its final alignment position. Then, as shown in FIG. 2B, the laser diode bars are bonded to the blue tape 42 on the rear end stage 14 in an aligned state.

정해진 수량의 레이저 다이오드 바들이 후단부 스테이지(14)로 옮겨질 때까지 이와 같은 동작들을 반복한다. 레이저 다이오드 바들이 후단부 스테이지(14) 상에 안착되면, 화상 검사부(28)에서 최종 정렬 상태를 확인한다.These operations are repeated until a fixed number of laser diode bars are transferred to the rear stage 14. When the laser diode bars are seated on the rear end stage 14, the image inspection unit 28 confirms the final alignment.

이와 같은 얼라인 장치에 의하면, 화상 처리부(24)에 의해 인식된 레이저 다이오드 바의 초기 위치 및 각도에 대한 화상 정보가 시스템 제어부(30)로 전달되고, 입력된 화상 정보에 의해 시스템 제어부(30)가 선단부 스테이지(10), 운반부(20) 및 후단부 스테이지(14)를 차례로 구동시킴으로써, 레이저 다이오드 바가 최종 정렬 위치에 안착되도록 한다. 이때, 레이저 다이오드 바의 최종 정렬 위치는 선단부 스테이지 및 후단부 스테이지를 X축 및 Y축으로 구동시킴으로써 결정되므로, 각 스테이지의 구동을 정확히 조절하면 정렬 오차를 감소시킬 수 있다.According to such an alignment device, the image information on the initial position and angle of the laser diode bar recognized by the image processing unit 24 is transmitted to the system control unit 30, the system control unit 30 by the input image information Drives the leading stage 10, the carrying section 20 and the trailing stage 14 in turn so that the laser diode bar is seated in its final alignment position. At this time, since the final alignment position of the laser diode bar is determined by driving the front end stage and the rear end stage in the X-axis and the Y-axis, by accurately adjusting the driving of each stage, the alignment error can be reduced.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 얼라인 장치의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.Although the configuration and operation of the laser diode alignment device according to the preferred embodiment of the present invention as described above are shown according to the above description and drawings, this is merely described for example and does not depart from the spirit of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 화상 장치를 사용하여 레이저 다이오드 바를 정확한 위치에 정렬시키게 되므로, 레이저 다이오드 바를 개별 레이저 다이오드 셀로 절단하는 공정에서 정렬 오류로 인한 불량이 발생하는 것을 방지하여 소자의 신뢰성 및 생산성을 향상시키는 효과가 있다. 또한, 복수개의 레이저 다이오드 바들을 정확히 정렬시킬 수 있으므로, 대량 생산이 가능해진다.According to the present invention as described above, since the laser diode bar is aligned at the correct position by using an imaging device, the reliability and productivity of the device can be prevented by a defect caused by misalignment in the process of cutting the laser diode bar into individual laser diode cells. Has the effect of improving. In addition, the plurality of laser diode bars can be accurately aligned, thus enabling mass production.

Claims (5)

레이저 다이오드 바가 인입되고, X축 및 Y축으로 이동할 수 있도록 설치된 선단부 스테이지;A leading stage stage into which the laser diode bar is retracted and installed to move in the X and Y axes; 상기 레이저 다이오드 바가 정렬 상태로 안착되고, X축 및 Y축으로 이동할 수 있도록 설치된 후단부 스테이지;A rear end stage in which the laser diode bar is seated in an aligned state and installed to move in X and Y axes; 상기 레이저 다이오드 바를 상기 선단부 스테이지에서 상기 후단부 스테이지로 이동시키는 운반부;A carrying part for moving said laser diode bar from said leading end stage to said rear end stage; 상기 선단부 스테이지 상에 놓여진 상기 레이저 다이오드 바의 초기 위치를 인식하는 화상 처리부; 및An image processor for recognizing an initial position of the laser diode bar placed on the tip stage; And 상기 화상 처리부로부터 화상 신호를 입력받아 상기 레이저 다이오드 바의 위치 정보를 분석하여 상기 선단부 스테이지, 상기 후단부 스테이지 및 상기 운반부를 구동시키는 제어부를 구비하되, 상기 레이저 다이오드 바의 정렬 위치는 상기 선단부 스테이지 및 상기 후단부 스테이지의 구동에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 얼라인 장치.A control unit for receiving the image signal from the image processor and analyzing the position information of the laser diode bar to drive the front end stage, the rear end stage, and the carrying unit, wherein the alignment position of the laser diode bar is the front end stage; Laser diode bar alignment device, characterized in that determined by the driving of the rear end stage. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼라인 장치는 상기 후단부 스테이지 상에 안착된 상기 레이저 다이오드 바의 최종 정렬 상태를 확인하기 위한 화상 검사부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 얼라인 장치The alignment device further comprises an image inspection unit for confirming a final alignment state of the laser diode bar seated on the rear end stage. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 선단부 스테이지 및 상기 후단부 스테이지는 각각 상기 레이저 다이오드 바가 놓이는 테이블 및 상기 테이블을 X축 및 Y축으로 이동시키기 위한 구동 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 얼라인 장치.And the front end stage and the rear end stage each have a table on which the laser diode bar is placed and a drive motor for moving the table on the X and Y axes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화상 처리부는 상기 레이저 다이오드 바의 화상을 정확히 인식하기 위한 광학 렌즈, 상기 광학 렌즈의 상을 촬영하기 위한 카메라 및 상기 카메라에서 촬영한 화상을 화상 정보로 처리하는 화상 처리기를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 얼라인 장치.The image processing unit includes an optical lens for accurately recognizing an image of the laser diode bar, a camera for photographing an image of the optical lens, and an image processor for processing the image photographed by the camera as image information. Laser diode bar alignment device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 운반부는 상기 레이저 다이오드 바를 이동시키기 위한 피커, 상기 피커를 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 피커를 이동시키기 위한 수평 실린더를 구비하되 상기 구동 모터에 의해 상기 피커가 회전함으로써 상기 레이저 다이오드 바의 각도를 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바의 얼라인 장치.The carrying unit includes a picker for moving the laser diode bar, a drive motor for rotating the picker, and a horizontal cylinder for moving the picker, and the picker rotates by the drive motor to correct the angle of the laser diode bar. Alignment device for a laser diode bar.
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