KR100334953B1 - 소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법 - Google Patents

소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 번짐 길이 및 번짐 방향을 사용해서 소형 다이스 홀(2mm 이하) 검사용 카메라의 고속자동 초점조절방법에 관한 것이다. 이에 따라 본 방법은, 초기 최대밝기값 및 초기 최소밝기값을 일정한 값으로 세팅하고, 홀의 중심좌표로부터 1내지 360도 사이의 각 각도마다 에지점까지의 밝기값을 획득하고, 상기 획득한 밝기값중에서 최대 밝기값 및 최소 밝기값을 추출하고, 상기 최대 밝기값과 상기 최소 밝기값간의 차의 절대값이 기설정된 임계값보다 적은 지를 비교하고, 최소 밝기값과 초기 최소밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ2))이 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ1))보다 적은 지를 비교하고, 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의 차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 +이동(카메라와 물체의 거리를 가깝게 하는)시키고, 최소 밝기값과 초기 최소 밝기값의 차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 -이동(카메라와 물체의 거리를 멀리하는)시키는 단계로 이루어진다.
따라서, 3회이하의 영상 획득만으로도 고속으로 초점조절하여 최적의 초점위치를 계산할 수 있으므로 다이스 홀의 크기 및 변형도에 대한 고속의 검사가 가능하게 된다.

Description

소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법{Highspeed autofocusing method for camera for inspecting small dies hole}
본 발명은 고속자동 초점조절방법에 관한 것으로 특히 소형(2mm이하) 다이스 홀 검사용 카메라의 고속자동 초점조절방법에 관한 것이다.
다이스는 전선을 사출하거나 전선을 코팅할 때 사용하는 구조물로 정밀한 크기를 유지해야한다. 본 발명의 방법을 이용하여 다이스에 요구되는 정밀도를 만족하는 다이스 홀의 검사기를 개발하였다.
일반적으로 종래의 다이스 홀 비젼 검사시스템은 하나의 다이스를 카메라의 측정위치에 놓은 후 수동으로 초점의 위치를 조절하거나 수십번의 영상획득을 통해 초점영상의 획득이 가능한 위치를 찾아가는 방법을 사용하고 있다.
도 1은 종래의 다이스 홀 검사를 위한 비젼시스템을 설명하는 블록도이다. 종래의 비젼 검사기는 다이스 홀이 카메라의 축에 놓이도록 수동으로 위치시킨 후, 초점 영상의 획득을 위해 수동으로 Z축에 탑재된 카메라를 이동시키거나 초점평가함수를 이용하여 Z축의 일정한 구간에서 수십개의 영상을 획득한 후 최대의 초점평가함수를 갖는 위치로 이동시켜 초점 영상을 획득하는 방법을 사용한다.
도 1에서 첫번째 방법인 육안에 의존하여 수동으로 초점영상을 획득하는 경우는 두 번째 방법인 초점평가함수를 이용하여 최대함수값의 위치를 자동으로 찾는 방법에 비해 정확도가 변할 뿐아니라 시간이 많이 걸리므로 비교의 대상이 되지 못한다. 두 번째 방법의 경우 초당 30번의 영상을 획득하고 평가함수를 계산하는데 소요되는 시간을 tI초라 하면 영상 하나의 획득 및 평가함수 계산에 소요되는 시간은 (tI+ 0.03)초가 소요된다. Z축의 모터를 1단계조절하는데 걸리는 시간을 tM초라 하면, n회의 영상획득이 필요한 방법은 하나의 다이스 홀에 대한 초점영상의 획득을 위해 (tI+ tM+ 0.03)n초가 소요된다. 일반적으로 n은 20회 정도이다. 그러므로, 다이스 홀의 검사에서 기존의 비젼검사기는 영상의 처리시간이 길어지는 데 그 이유는 다이스 홀의 번짐으로 인한 오차로 인해 자동초점영상을 획득하는 데 많은 시간이 소요되었기 때문이다.
본 발명은 홀의 자동초점 영상의 획득에 소요되는 시간을 최소화 하기 위해 창출한 것으로, 초점영상의 위치를 최소한의 영상획득을 통해 결정하고 평가함수를 영상의 번짐 위치 및 크기로 설정함으로써 복잡한 산술계산을 피하여 tI를 절반 수준으로, n은 최대 3회로 축소하여 초점영상의 획득에 소요되는 시간을 6배이상 빠르게 하는 방법을 사용함으로써 다이스 홀의 비젼검사기를 실용화함을 목적으로한다.
도 1은 종래의 다이스 홀 검사를 위한 비젼 시스템의 블록도.
도 2는 본 발명에 따른 고속자동 초점조절방법을 수행하기위한 장치의 블록도.
도 3은 초점영상 근처에서 발생하는 번짐길이를 도시하는 도면.
도 4는 초점영상 위치를 기준으로 영상의 번짐방향을 도시하는 도면.
도 5는 홀의 크기를 계산할 때 에지점에서의 밝기분포와 가격함수를 이용한 에지점의 검출의 도시도.
도 6은 다이스 홀의 기울어짐을 측정하는 도시도.
도 7은 도 2의 번짐 길이 및 방향 측정부(3)에서 이루어지는 고속자동 초점조절방법을 설명한 흐름도.
이러한 목적을 달성하기위한 본 발명에 따른 소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속자동 초점조절방법은, 초기 최대밝기값 및 초기 최소밝기값을 일정한 값으로 세팅하는 단계와, 홀의 중심좌표로부터 1내지 360도 사이의 각 각도마다 에지점까지의 밝기값을 획득하는 단계와, 그 획득한 밝기값중에서 최대 밝기값 및 최소 밝기값을 추출하는 단계와, 최대 밝기값과 최소 밝기값간의 차의 절대값이 기설정된 임계값보다 적은 지를 비교하는 단계와, 최소 밝기값과 초기 최소밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ2))이 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ1))보다 적은 지를 비교하는 단계와, 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 +이동(카메라와 물체의 거리를 가깝게 하는)시키는 단계와, 최소 밝기값과 초기 최소 밝기값의 차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 -이동(카메라와 물체의 거리를 멀리하는)시키는 단계를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참고로하여 상세히 설명한다.
도 2는 홀 검사용 고속자동 초점조절 시스템의 구성도이다.
도 2의 XY테이블 서보제어부(1)에서 측정대상 다이스를 카메라의 측정가능 위치로 이동하기 위해서 비젼서보방법을 사용한다. 카메라가 다이스 홀의 위치로 이동할 때 다양한 원인에 의해 정확한 위치로의 이동이 불가능하며 홀의 일부만이 카메라의 측정범위에 위치하게 된다. 이 경우 측정위치내의 부분적인 홀의 중심을 계산하고 카메라의 광학축과 일직선상에 놓이는 CCD의 중앙(Cx, Cy)으로 이동시킨다. (X, Y)new를 XY테이블 서보제어부(1)의 입력이라 하면 그 값들은 다음의 식 (1)과 (2)에 의해 결정된다. 식에서 n은 영상 내의 화소들 중에서 밝기가 임의의 임계값 t보다 큰 화소들의 수를 나타내고 (Xo, Yo)는 이들 화소의 중심을 나타낸다.
(1)
(X, Y)new=(Cx- X0, CY- Y0) (2)
상기와 같이, 화소의 중심을 구할 수 있으므로 카메라가 다이스 홀의 위치로 이동할 때 정확한 위치로의 이동이 가능하다.
그후 영상 획득부(2)에서 도 2에 나타난바와 같은 화상이 컴퓨터 스크린에 도시되고 밝은 부분과 어두운 부분과의 경계선을 본원에서는 에지점이라고 부른다
영상 획득부(2)의 출력은 번짐 길이 및 방향 측정부(3)에 입력된다.
번짐 길이 및 방향 측정부(3)에서 카메라로 물체를 측정하는 원리는 도 3과 같고 또한 동도는 초점영상 근처에서 발생하는 번짐 길이도 나타낸다. 초점거리가f인 렌즈를 중심으로i만큼 떨어진 위치에 CCD가 고정되는 경우 초점영상을 얻기 위해서는 렌즈의 법칙(식 3)에 의해 물체는 렌즈의 반대편에 o만큼 떨어진 위치에 있어야 한다.
(3)
CCD를 영상평면, 물체의 위치를 물체평면이라 부른다. 물체평면의 위치가 렌즈쪽으로 δ2만큼 이동하면 초점영상의 위치는 영상평면의 오른쪽으로 멀어지게 되고 따라서 영상평면에는 원래 영상의 에지점이 번짐길이(τ2)만큼 확장되어 번진 영상이 얻어진다. 반대로 물체평면의 위치가 렌즈에서 δ1만큼 멀어지면 초점영상의 위치가 영상평면의 앞쪽으로 가까워지고 따라서 영상평면에는 원래의 영상과 크기는 같지만 번짐길이(τ1)만큼 번짐 영상이 얻어진다.
도 3에서 알 수 있듯이 물체평면이 초점영상을 만드는 위치에서 렌즈로부터 멀어지면 번짐길이(τ1)값이 커지게 되고 렌즈에 가까워지면 번짐길이(τ2)가 커져 번짐효과가 모두 커지게 된다.
도 4는 초점영상의 위치를 기준으로 영상의 번짐방향을 도시한다.
실제로 영상평면이 초점영상의 위치에 놓이더라도 초점영상이 도 4(a)와 같이 에지점에서 τ= 0 인 계단함수 형태의 밝기분포를 갖지 못한다. 이는 렌즈가 가지는 왜곡에 의해 발생하는 현상으로 도 4(b)는 물체평면이 렌즈에 가까워질 때 번짐길이(τ2)의 변화를, 도 4(c)는 물체 평면이 렌즈에서 멀어질 때 번짐길이(τ1)의 변화를 보여준다.
도 4는 번짐 영상이 연속해서 얻어지면 물체평면이 초점영상을 이루는 위치에서 렌즈를 기준으로 어느 방향에 놓였는지를 비교할 수 있음을 설명해 준다. 이를 기반으로 초점영상을 얻기위한 렌즈의 이동방향은 연속적으로 획득한 영상의 번짐 영역을 비교하여 도 4(b)와 같이 상승점이 고정이면 δ1방향으로, 하강점이 고정이면 δ2방향으로 결정한다.
도 4(a)는 이상적인 에지선이고 도 4(b)는 오른 쪽을 중심으로 왼편에 번짐이
발생한 경우, 도 4(c)는 왼쪽을 중심으로 오른쪽에 번짐이 발생한 경우를 보여준다.
도 3에서 물체평면상의 P가 영상평면에서 초점영상을 만드는 점이 Q이다. 따라서 그 카메라의 배율m은가 된다. 물체평면이 렌즈로부터 δ만큼 이동하면 도 3의 카메라 구조에서 초점영상의 위치는 Q2가 되며, 그 좌표값 (x(Q2), y(Q2))은 Q2에 대응하는 번짐길이(τ2)를 이용한 닮은 삼각형 관계(식 (4))로부터 식 (5)과 같이 얻어진다.
(4)
(5)
x(Q2)와 δ를 이용한 렌즈방정식(식 (6))으로부터 이동거리(δ)를 다음의 식 (7)와 같이 결정한다.
(6)
(7)
상기에서 알 수 있듯이, 번짐 길이 및 방향 측정부(3)에서 번짐길이(τ2)에 따라 초점 영상의 위치(Q2)를 계산하여 카메라의 이동거리(δ)를 계산할수 있다.
그후, 카메라의 상기 이동거리(δ)는 Z축 위치제어부(4)에 입력된다. Z축 위치제어부(4)는 카메라를 탑재하여 그 카메라의 이동거리에 따라 카메라를 이동 제어시킨다. 그리고 이동 제어된 카메라에서 얻어진 영상이 영상 획득부(2)로 보내져서 홀의 영상을 신속 및 정밀하게 표시하게한다.
그후, 영상 획득부(2)에서 얻어진 홀의 영상에서 다이스 홀 검사를 하기위해서는 홀의 크기, 홀의 변형도, 및 홀의 기울기를 측정해야한다.
첫째로, 홀의 크기를 측정해야한다. 홀의 크기는 홀의 반지름으로 나타낸다. 홀이 완전한 원이 아닌 경우가 대부분으로 홀의 반지름을 중심에서 각 에지점까지의 거리의 평균값으로 정의한다. 홀의 중심으로부터 1∼360도 사이의 각 각도마다 에지점까지의 거리를 측정하는 방법을 사용하였다. 따라서, 이를 위해서는 에지점을 정확히 결정해야한다. 그 과정은 다음과 같은 데, 우선 상기 식(1)에 의해 홀의 중심좌표를 구한다. 이 계산된 좌표에서부터 각 각도별로 외부방향으로 나아가며 밝기 정보는 최대밝기(maxi)를 1, 최소밝기(mini)를 0로 정규화하여 저장한다.
q=1,2,...360, r=1,2,...rmax(8)
x=X0+rcos(q)
y=YO+rsin(q) (9)
여기서 rmax는 최대거리, I(x,y)는 (x,y)좌표의 밝기정보가 된다.
각 각도별 거리를 계산하는 방법은 이상적인 에지와의 상관관계를 통해 얻어진다. 상관관계를 나타내는 가격함수(Cq(r))중 최소값을 갖게하는 r이 에지까지의 거리가 된다.
Cq(r) =(10)
g(i)= o<i<W/2 이면 0
W/2<i<W 이면 1 (11)
rq= minr(Cq(r)) (12)
여기서 W는 검색하는 구간 윈도우 크기이다. 도 5(a)는 홀의 에지점에서 밝기의 분포를 보여주며 도 5(b)는 식 (12)를 적용해서 에지점을 찾은 결과를 도시한다.
홀 에지점에서의 거칠기를 나타내기위해 에지점의 표준편차와 최대, 최소반경을 함께 계산한다.
·평균반경 :(13)
·최대오차 :(14)
·표준편차 :(15)
둘째로, 홀의 변형도를 측정해야한다. 홀의 변형도는 홀을 타원으로 고려하여 장축과 단축의 비율로 계산한다. 홀을 타원으로 고려하기 위해서 아이겐(eigen) 벡터 방법을 사용한다. 홀의 각 각도마다 구한 거리값을 홀의 중심을 원점으로 하는 2차원 좌표로 변환한다.
xq=rqcos(q), yq=rqsin(q)
q=1,2, ....., 360 (16)
홀의 변형도 특성을 아이겐 벡터로 표현하기 위해 (xq, yq) 집합에서 정규화 스캐터 매트릭스 A를 구한다.
(17)
이 matrix A의 아이겐 벡터x1, y2가 장축과 단축을 나타내는 직선이 되고, 아이겐 값λ1, λ2가 장축과 단축의 길이를 나타낸다.
ll= max(λ1, λ2), ls= min(λ1, λ2) (18)
여기서 ll은 장축의 길이, ls는 단축의 길이라 할 때 변형도 ω는 다음과 같다.
ω=(19)
셋째로, 홀의 기울기를 측정해야한다.
도 6(a)에서 다이스 홀의 기울기인 다이스 전선유도관과 외형구조물의 두 축 간의 각도를 나타낸다. 다이스의 전선유도관이 외형구조물에 삽입될 때, 혹은 사용 도중에 변형으로 인해 발생되는 이러한 현상은 홀의 크기 측정만으로는 검출이 불가능하다. 전선유도관이 기울어진 경우, 측정되는 홀의 영상에는 도 6(b)와같이 그림자가 발생하게 되며 그림자의 크기에 의해 홀의 기울어짐을 추정할 수 있다. 전선 유도관의 길이를 β라하고 그림자의 길이가 d이면 기울기θ는 다음의 식(12)에 의해 결정된다.
θ= sin-1 (20)
상기에서 측정된 홀의 크기, 변형도 및 기울기를 구했는 데 이 수치들은 홀의 정상/불량을 판정하는 기준이 된다. 다이스가 정상판정을 받기위해서는 홀의 크기, 변형도 및 기울기 등이 모두 정상형태에서 일정범위안에 들어와야한다. 일반적으로, 홀의 크기인 반경오차는 2미크론미만, 홀의 변형도는 0.99이상, 및 홀의 기울기는 10미만이어야 정상판정을 받는 다.
그런데, 본발명을 응용한 다이스 홀 검사기의 특징은,
- 0.2mm 홀의 경우 2미크론 오차를 갖고, 2mm 홀의 경우 5미크론 오차를 가지며
- 10개/1초의 고속측정이 가능하며,
-홀의 크기뿐 아니라 홀의 변형도까지 측정하여 홀의 정상/불량을 판정하고,
-홀 검사의 전과정을 자동화할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 도 2의 번짐 길이 및 방향 측정부(3)에서 이루어지는 고속자동 초점조절방법이 도 7의 흐름도를 참조해서 상세히 설명된다.
먼저, 단계(S1)에서 본 장치의 초기 최대밝기값(Maxold) = 초기최소밝기값(Minold) = 0 이라고 세팅한다.
그후 단계(S2)에서 상기 식(1)에 의해 구해진 홀의 중심좌표로부터 1내지 360도 사이의 각 각도마다 에지점(식 (13)의 평균반경)에서의 밝기값을 획득한다.
상기 밝기값중에서 최대 밝기값(Maxnew) 및 최소 밝기값(Minnew)을 추출하는 단계(S3)로 진행된다.
그 다음 단계(S4)로 진행되어 최대 밝기값(Maxnew)과 최소 밝기값(Minnew)간의 차의 절대값이 기설정된 임계값보다 적은 지를 비교한다. 만약 적다면 자동 초점조절이 종료된다. 그래서, Z축 위치 제어부(4)의 어떤 동작없이 영상 획득부(2)에서 이미 얻어진 영상에서 홀의 크기 및 변형도 등을 1번의 영상 획득만으로 즉시 측정할 수 있다.
그러나, 만약 적지 않다면, 단계(S5)로 진행하여 그 단계에서 최소 밝기값(Minnew)과 초기 최소밝기값(Minold)의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ2))이 최대 밝기값(Minnew)과 초기 최대 밝기값(Maxold)의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ1))보다 적은 지를 비교한다. 만약 그 차가 적다면 단계(S6)로 진행한다. 그러나, 그 차가 크면, 단계(S7)로 진행한다.
그 단계(S6)에서 최대 밝기값(Maxnew)과 초기 최대 밝기값(Maxold)의 차의 절대값에 따라 상기 식(4)를 이용해서 초점 영상의 위치(Q)(식(5)를 참조)를 계산한다. 그 위치를 상기 식(7)에 대입하여 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축 위치제어부(4)에 입력되어 번짐 방향이 초점위치의 앞방향이었을 때 및 카메라가 물체와 멀었을 때 Z축이 +이동(카메라와 물체의 거리를 가깝게 하는)된다.
단계(S7)에서 최소 밝기값(Minnew)과 초기 최소 밝기값(Minold)의 차의 절대값에 따라 상기 식(4)를 이용해서 초점 영상의 위치(Q)(식(5)를 참조)를 계산한다. 그 위치를 상기 식(7)에 대입하여 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축 위치제어부(4)에 입력되어 번짐 방향이 초점위치의 뒤방향이었을 때 및 카메라가 물체와 가까웠을 때 Z축이 -이동(카메라와 물체의 거리를 멀리하는)된다.
상기와 같이, Z축이 + 또는 -이동되어 다시 초점이 맞추어진다.
이어서, 앞에서 주어진 초기 밟기값들을 갱신하기위해, 단계(S8)로 진행된다. 그 단계(S8)에서 초기 최대밝기값(Maxold) = 0을 상기 최대 밝기값(Maxnew)으로 갱신하고 초기 최소밝기값(Minold) = 0을 최소 밝기값(Minnew)으로 갱신한다. 그후, 초점조절된 후, 단계(S2), 단계(S3) 및 단계(S4)를 다시 거치게 되는 데, 단계(S4)에서 초점조절된 새로운 최대 밝기값(Max'new)과 최소 밝기값(Min'new)간의 차의 절대값이 기설정된 임계값보다 적은 지를 비교한다. 만약 적다면 자동초점 조절단계가 끝난다.
상기에서 설명된 것은 2회의 영상 획득만으로 홀을 검사하고 있으나 필요에 따라 상기 단계를 반복함으로써 2회이상의 영상 획득도 가능하여 홀을 검사할 수 있음은 당연하다.
상기 설명된 실시예에서는 다이스 홀을 검사하기위한 고속 자동초점조절방법이 개시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 미세한 홀을 카메라로 검사하고자 할 때에는 본 발명의 방법이 적용될 수 있음은 물론이다.
본 발명에 의한 고속 자동초점조절방법에서는, 길이에 편차가 있는 다이스의 홀의 크기 및 변형도를 측정하는 경우 영상의 번짐효과(즉, 번짐길이 및 번짐방향)만을 분석하여 초점영상의 획득에 소요되는 시간을 최소화함으로써 다수의 다이스 검사를 신속히 처리할 수 있는 효과를 거둘 수 있다.

Claims (2)

  1. 소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법에 있어서,
    초기 최대밝기값 및 초기 최소밝기값을 일정한 값으로 세팅하는 단계와;
    홀의 중심좌표로부터 1내지 360도 사이의 각 각도마다 에지점에서의 밝기값을 획득하는 단계와;
    상기 획득한 밝기값중에서 최대 밝기값 및 최소 밝기값을 추출하는 단계와;
    상기 최대 밝기값과 상기 최소 밝기값간의 차의 절대값이 기설정된 임계값보다 적은 지를 비교하는 제 1비교 단계와;
    상기 최대 밝기값과 상기 최소 밝기값간의 차의 절대값이 적지 않다면, 최소 밝기값과 초기 최소밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ2))이 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의 차의 절대값(즉,번짐길이(τ1))보다 적은 지를 비교하는 제 2비교 단계와;
    상기 제 2비교 단계에서 최소 밝기값과 초기 최소밝기값의 차의 절대값이 적다면, 최대 밝기값과 초기 최대 밝기값의 차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 +이동(카메라와 물체의 거리를 가깝게 하는)시키는 단계와;
    상기 제 2비교 단계에서 최소 밝기값과 초기 최소밝기값의 차의 절대값이 적지 않다면, 최소 밝기값과 초기 최소 밝기값의 차의 절대값에 따라 초점 영상의 위치(Q)를 계산한 후 그 위치에 의해 카메라의 이동거리(δ)가 계산되어 Z축을 -이동(카메라와 물체의 거리를 멀리하는)시키는 단계와;
    상기 세팅하는 단계에서 결정된 초기 밟기값들을 갱신하기위해, 초기 최대밝기값을 상기 최대 밝기값으로 갱신하고 초기 최소밝기값을 최소 밝기값으로 갱신하는 단계와;
    초점조절된 후, 상기 획득하는 단계, 제 1비교단계 및 제 2비교단계를 다시 거치게 되는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법.
  2. 제 1항에 있어서, 번짐 방향이 초점위치의 앞방향으로 되는 경우에는 Z축을 +이동시키고, 번짐 방향이 초점위치의 후방향으로 되는 경우에는 Z축을 -이동시켜서 자동초점조절하는 것을 특징으로 하는 소형 다이스 홀 검사용 카메라의 고속 자동초점조절방법.
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