KR100316611B1 - 플라즈마를이용한난분해성폐수처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치에 관한 것으로,반응조와; 상기 반응조의 상부에 설치되는 이젝터와; 상기 반응조의 하단과 이젝터를 연결하는 폐수순환관과; 상기 폐수순환관의 도중에 설치된 순환펌프와; 고전압 펄스 발생기에 연결되는 상,하부 전극과 비드가 내장되고, 서로 직렬로 연결되며, 최선단의 것이 상기 순환펌프의 토출단에 바이패스관으로 연결되고, 최종단의 것이 상기 이젝터에 이젝터 연결관으로 연결되는 다수개의 플라즈마 반응기와;를구비하여서 되며, 플라즈마 반응기와 반응조를 연계하여 처리함과 아울러 발생된 오존을 완전히 사용할 수 있으며 플라즈마 반응기내에서의 폐수의 정체 현상이 배제되어 폐수 처리 능력이 향상된다. 또한 플라즈마 반응기와 반응조예 의하여 처리되지 못한 오염물질을 바이오 리액터에 의하여 재처리함으로써 폐수 처리 능력을 더욱 높일 수 있게 된다.

Description

플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치

본 발명은 폐수 처리 장치에 관한 것으로, 특히 플라즈마(plasma)를 이용하여 난분해성 폐수를 처리하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치에 관한 것이다.

이러한 폐수 처리 기술은 주로 고도 산화법(AOP : Advanced Oxidization Process)에 속한다.

고도 산화법은 주로 오존에 의한 방법과 펜톤(Fenton) 산화법에 의한 러치방식이 주류를 이루고 있으며, 최근에는 전자선을 이용한 방법이 개발되고 있다.

고도 산화법의 목적은 점점 강화되는 환경 규제를 만족시키기 위해 산업 분야에서는 필수적으로 설치하여야 하는 환경설비로 인식되고 있다.

따라서 예로부터 다양한 기술이 개발되어 왔으며, 또한 상용화되어 있으나 각각 난분해성 폐수를 처리하는 나름대로의 성능을 가지는 데 비해 단점 또한 많이 지적되고 있는 실정이다.

예를 들면 오존 산화법은 오존 발생 효율이 낮아 전력 소모가 크며, 펜톤 산화법은 투입되는 약품의 가격이 비쌀 뿐만 아니라 이로 인한 2차 오염의 우려가 있는 등 여러 가지 문제가 제기되고 있으며, 전자빔을 이용한 방법 역시 장치의 복잡성이라든지 기타 인체 위해성 등이 문제로 드러나고 있다.

따라서 난분해성 폐수 처리를 위한 기술로서 2차 오염을 유발하지 않고 경제적으로 처리하는 방법이 요구되고 있다.

이하에서 상술한 종래의 폐수 처리 방법을 구체적으로 살펴보기로 한다.

도 8은 오존 산화법을 구현하는 장치를 도시한 것으로, 오존 발생기(1)에서 발생된 오존을 산기관(3)을 통해 반응조(bio-reactor)(2)에 공급하고, 반응조(2)내에서 폐수와 오존이 반응할 수 있도록 분위기를 만들어 주는 형태로 되어 있으며, 반응 후 잔여 오존을 활성탄(4) 등을 통해 처리하게 된다

이러한 오존 산화법의 경우 해당 기술에 의한 동작은 위에서 언급한대로 발새오딘 오존들 반응조(2)에 투입하여 산화 반응을 일으키는 것으로 원리적으로 간단한 과정을 거쳐 일이나고, 이 방법에 의한 폐수 처리 방법은 널리 알려져 있으므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

도 9는 플라즈마 반응기를 도시한 것으로, 플라즈마 반응기(5)는 하부 전극(6)에 의해 2개의 부분으로 나누어지는데 하나는 상부에서 공기를 공급하기 위한 상부 영역(S1)이고, 또 하나는 하부에서 플라즈마에 의한 수처리 반응이 일어나도록 하는 하부 영역(S2)이다.

즉, 2개의 부분을 나누는 하부 전극(6)에 의해 하부 영역(S2)으로부터 상부영역(S1)으로 공기가 공급되게 되어 있다. 상부 영역(S1)을 흐르는 처리 대상 폐수는 비드(bead)(7)사이를 통과하도록 되어 있고, 비드(7)의 외부에 존재하는 또는 다른 상부 전극(8)과 하부 전극(6) 사이에 고전압 펄스 발생기(9)로부터 고전압 펄스를 인가하여 플라즈마 반응기 내에 플라즈마가 형성되도록 되어 있다.

이러한 종래 플라즈마 반응기의 동작 원리는 다음과 같다.

하부 영역(S2)으로 유입된 공기는 상부 영역(S1)의 비드(7)를 통과하여 흐르게 되는데 이때 고전압 펄스 발생기(9)로부터 상부 전극(8)과 하부 전극(6)에 고전압 펄스를 인가하여 주면 상부 전극(8)과 하부 전극(6)에는 강력한 코로나 스트리머(corona streamer)(CS)가 형성되어 상부 전극(8)과 하부 전극(6)사이 뿐만 아니라 두 전극(5,7) 사이에 존재하는 비드(7)의 주위 전체에 걸쳐서 플라즈마 형태의 코로나 스트리머(CS)가 형성되며, 이 코로나 스트리머(CS)는 공급되는 공기에 포함된 산소를 분해하여 오존 등 강력한 래디컬(radical)을 만들게 된다.

이때 비드(7) 사이에 폐수를 흘리면 표면장력에 의해 비드(7) 주위를 감싸게 되고, 따라서 폐수에 포함된 오염물질은 비드(7) 주위에서 발생된 플라즈마 에너지에 의해 처리되거나 기타 플라즈마에 의해 발생되는 강력한 래디컬인 수화전자( e^- _aq) 수소원자(H), 산소원자(O), 수산기(OH), 오존(O3), 자외선(UV) 등에 의해 처리되게 된다. 위에서 나열된 래디컬들은 강력한 산화력을 가지지만 수명이 길지 않으므로 이러한 래디컬은 생기는 시점에서 바로 오염물질 처리에 이용되어야 효과적인 설비로서 적용할 수 있다.

그러나 종래 폐수 처리 방법에서는 래디컬이 발생되는 그 장소에서 곧바로 이용되어야 경제적인 설비를 만들 수 있다고 볼 때, 종래 기술에 의한 오존 산화법은 오존발생기(1)로부터 반응조(2)에 도달하기까지 상당한 래디컬의 손실이 발생되며, 비교적 수명이 긴 오존만이 직접 반응에 관여하기 때문에 에너지 손실이 크고 따라서 운전 비용 중 전력비가 차지하는 비중이 커지기 때문에 경제성이 떨어질 수 밖에 없다. 따라서 오존 산화법은 생물막법 등 기존의 기술로 처리가 불가능한 난분해성 폐수리 처리를 위한 기술로만 사용 가능한 것으로 인식되어 왔다.

이러한 관점에서 볼 때 플라즈마 반응기는 현장에서 발생된 모든 래디컬이 폐수 처리 과정에 사용될 수 있으므로 오존 산화법에 비해 훨씬 높은 효율을 유지할 수 있다.

그러나 종래 플라즈마 반응기는 단 한번에 걸쳐 폐수를 처리하고자 할 때는 효과적인 방법일 수 있으나, 예를 들어 분해가 지극히 어려운 오염물질의 경우 플라즈마 반응기를 여러 번 통과시켜야 오염물질의 고리를 깰 수 있다면 실질적인 처리가 어렵게 된다. 즉 종래의 플라즈마 반응기를 2개 이상 직,병렬로 연결하여 오염물질을 제거하기 위한 반응시간을 확보하기 위한 시스템을 구성할 경우와 또 다른 경우 시스템이 설치되는 공간의 제약에 의해 2개 이상의 플라즈마 반응기를 사다리식으로 연결하여야 할 필요가 있는 경우 래디컬 발생을 원활히 하기 위해 공급되는 공기의 압력에 의해 페수의 흐름이 원활하지 못하게 된다. 또한 첫 번째인 상부 플라즈마 반응기로 들어간 폐수는 두 번째인 하부 플라즈마 반응기로 중력에 의해 공급되어야 하는데 하부에 위치한 플라즈마 반응기에는 공기에 의한 압력이 존재하므로 폐수가 그 압력을 이길 수 없어 하부 플라즈마 반응기로 흐르지 못하게 된다. 따라서 국부적으로 폐수의 정체 현상이 발생되고, 이로 인해 전압 강하(voltage drop)가 발생하며, 궁극적으로 플라즈마를 형성시키지 못하고 아크(arc)로 발전하게 된다. 일단 아크가 발생되면 에너지 손실은 물론이고 기기를 손상시키는 결과를 초래하게 된다.

또한 종래의 플라즈마 반응기 구조에 의하면 공기가 공급되지 않으면 플라즈마 반응기 상부로 흐르는 폐수가 하부 전극(6)에 형성되어 있는 구멍을 통해 하부로 흘러들기 때문에 이에 항상 주의를 기울여야 하며, 만일의 경우 정전 등으로 공기의 공급이 중단되면 폐수는 하부 공간에 가득 차게 되고, 이런 상태에서 전원이 투입되면 하부 전극(6)의 위치가 달라진 효과를 나타내며 이로 인한 단로(short circuit) 등이 발생되고, 고전압 펄스 발생기(9)나 플라즈마 반응기에 치명적인 악영향을 미칠 수 있을 뿐만 아니라 작업자도 위험하게 되는 상황이 발생될 수 있다. 따라서 일단 폐수가 하부로 유입되면 하부 공간을 깨끗이 한 다음 다시 폐수 처리 작업에 들어가야 하는 번거로움이 있다.

또한 1개의 플라즈마 반응기를 사용하는 경우에는 플라즈마 반응기 내에서 발생된 오존을 충분히 이용하지 못하는 결과를 가져온다. 플라즈마 반응기 내에서 오존은 비드(7)와 비드(7)들 사이의 공간에서 발생된다. 따라서 1개의 플라즈마 반응기를 사용하면 이 공간에서 발생된 오존은 제대로 이용되지 못하고 대기 중으로 방출되므로 폐수 처리 효율면에서 볼 때 바람직하지 못한 것이었다.

따라서 본 발명의 목적은 플라즈마 반응기와 반응조를 연계하여 처리함과 아울러 발생된 오존을 완전히 사용할 수 있으며 플라즈마 반응기내에서의 폐수의 정체 현상이 배제되어 폐수 처리 능력이 향상토록 한 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치를 제공하려는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 플라즈마 반응기와 반응조에 의하여 처리되지 못한 오염물질을 바이오 리액터에 의하여 재처리함으로써 폐수 처리 능력을 더욱 높일 수 있도록 하려는 것이다

도 1은 본 발명에 의한 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 방법을 구현하는 장치를 보인 계통도.

도 2는 본 발명에 사용되는 플라즈마 반응기의 분해 사시도.

도 3은 도 2의 종단 정면도.

도 4는 도 2의 평면도.

도 5 및 도 6은 본 발명에 사용되는 플라즈마 반응기의 각각 다른 실시례를 보인 종단 정면도.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시례를 도시하는 계통도.

도 8은 종래 오존 산화법에 의한 폐수 처리 장치를 보인 계통도.

도 9는 종래 플라즈마 반응기를 이용한 폐수 처리 장치를 보인 계통도.

**도면의주요부분에대한부호의설명**

10 : 반응조 11 : 폐수순환관

12 : 순환펌프 13 : 이젝터

20a,20b,20c : 플라즈마 반응기 21,22 : 전극

23 : 비드 24 : 공기흡입관

25 : 연결관 26 : 솔레노이드 밸브

27 : 타이머 28 : 이젝터 연결관

30 : 고전압 펄스 발생기 40a,40b : 바이패스관

41 : 니들밸브 50 : 필터링 챔버

51 : 필터 52 : 잉여오존회수관

60 : 바이오 리액터

이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여반응조와; 상기 반응조의 상부에 설치되는 이젝터와; 상기 반응조의 하단과 이젝터를 연결하는 폐수순환관과; 상기 폐수순환관의 도중에 설치된 순환펌프와; 고전압 펄스 발생기에 연결되는 상,하부 전극과 비드가 내장되고, 서로 직렬로 연결되며, 최선단의 것이 상기 순환펌프의 토출단에 바이패스관으로 연결되고, 최종단의 것이 상기 이젝터에 이젝터 연결관으로 연결되는 다수개의 플라즈마 반응기와;를구비하여서 됨을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치가 제공된다.

상기 하부 전극이 파이프형으로 형성되어 그주벽에는 다수개의 공기유입공이 형성되고, 상기 하부 전극들이 일단이 개방된 공기흡입관에 연결되며, 상기 공기흡입관의 개방단에는 타이머에 의해 개폐 작동되는 솔레노이드 밸브가 설치된다.

상기순환펌프와 최선단 플라즈마 반응기를 연결하는 바이패스관의 도중에는필터가 내장된 필터링 챔버가 설치되고, 상기 순환펌프와 필터링 챔버를 연결하는바이패스관의 도중에는 바이패스관으로 바이패스되는 폐수의 유량을 조정하기 위한 니들밸브가 설치된다.

상기 필터링 챔버와 상기 반응조는 잉여오존회수관으로 연결된다.

상기최종단 플라즈마 반응기의 후단에는 박테리아에 의한 폐수 처리를 수행하는 바이오 리액터가 설치된다.

이하, 본 발명에 의한 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수의 처리 장치를 실시례에 따라 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수의 처리 장치의 구성을 보인 것으로, 10은 반응조로서, 하부에 폐수순환관(11)이 연결되어 그 끝단이 반응조(10)의 상부로 연장되며, 폐수순환관(11)의 도중에는 순환펌프(12)가 설치되고, 폐수순환관(11)의 끝단에는 이젝터(ejector)(13)가 설치된다.

상기 반응조(10)의 일단에는 다수개의 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)가 다단계로 배열되고, 상기 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)는 연결관(25,25)에 의해 직렬로 연결된다.

상기 최종 플라즈마 반응기(20c)는 이젝터 연결관(28)을 통해 상기 이젝터(13)에 연결된다.

도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 상기 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)에는 복수개의 전극(21,22)과 다수개의 비드(23)가 설치된다.

상기 전극(21,22)은 고전압 펄스 발생기(30)에 연결된다.

상기 전극(21,22)은 모두 와이어(wire) 형태로 형성할 수도 있으나,전극(21)은 와이어 형태로 형성하고 전극(22)은 파이프 형태로 형성하여 그 주벽에 다수개의 공기유입공(22a)을 형성하는 것이 바람직하다.

도 4에 도시한 바와 같이 상기 파이프 형태의 전극(22)에는 일단이 개방된 공기흡입관(24)이 연결되고, 공기흡입관(24)의 개방단부에는 타이머(27)에 의해 개폐 작동되는 솔레노이드 밸브(26)가 설치된다.

도 1에 도시한 바와 같이 상기 순환펌프(12)의 토출단에는 바이패스관(40a,40b)이 연결되며, 이 바이패스관(30)의 도중에는 니들밸브(41)가 설치된다.

도 1에 도시한 바와 같이 상기 바이패스관(40)의 끝단에는 필터(51)가 내장된 필터링 챔버(50)가 연결되고, 이 필터링 챔버(50)는 잉여오존회수관(52)을 통해 반응조(10)에 연결된다.

이하, 본 발명의 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 과정을 설명한다.

먼저, 상기 순한펌프(12)가 가동되면, 반응조(10) 내에 들어 있는 폐수가 반응조(10)의 하부로부터 폐수순환관(11)으로 펌핑되고, 펌핑된 폐수의 대부분은 폐수순환관(11)의 상단에 설치된 이젝터(13)를 통해 다시 반응조(10)로 공급되는 식으로 순환된다.

이때, 순환펌프(12)에 의해 펌핑된 폐수 중 일부는 바이패스관(40a,40b)으로 바이패스되어 니들밸브(41)에 의해 조정된 후 필터링 챔버(50)를 통해 첫 번째의 플라즈마 반응기(20a)로 유입된다.

이와 같이 폐수가 바이패스관(40a,40b)과 필터링 챔버(50)를 통해 플라즈마반응기(20a)로 공급될 수 있는 것은 반응조(10)의 폐수가 순환되면서 이젝터(13)에 의해 필터링 챔버(40)로부터 이젝터(13)까지 진공 상태가 유지되기 때문이다.

최선단 플라즈마 반응기(20a)로 유입된 폐수는 비드(23) 사이를 통과하여 흐를 때, 전혀 정체되거나 막힘이 없이 연결관(25)을 통해 다음 번 플라즈마 반응기(20b)로 유입되고, 다시 연결관(25)을 통해 최종 플라즈마 반응기(20c)로 유입되며, 최종적으로 이젝터 연결관(28)을 통해 이젝터(13)에서 이젝팅되는 것에 의하여 반응조(10)로 복귀 된다.

상기 필터링 챔버(50) 내에서 폐수가 플라즈마 반응기(20a)로 유입될 때 폐수만 유입되는 것이 아니고 바이패스관(40b)을 통해 공기가 함께 빨려 들어가기 때문에 플라즈마 반응기(20a) 속으로 폐수와 공기가 동시에 공급된다.

이때 공급된 공기는 앞서 언급한 비드(23)와 전극(21) 사이에서 생기는 플라즈마에 의해 생기는 오존의 소스(source)로서 역할을 하게 된다.

한편, 파이프 형태로 된 전극(22)을 연결하는 공기흡입관(24)에 설치된 솔레노이드밸브(26)를 열어 주게 되면 전극(22)에 형성된 다수개의 공기유입공(22a)을 통해 공기가 공급된다. 이때 공급된 공기는 비드(23) 사이를 타고 올라오면서 비드(23) 사이에서 오존이나 기타 래디컬이 원활하게 생산될 수 있도록 하는 작용을 하게 되고, 특히 비드(23) 사이를 흐르는 폐수의 유동을 첨가하여 주게 되어 보다 효과적으로 폐수 처리가 이루어지도록 하는 작용을 하게 된다.

특히 비드(23)를 통과하고 상부 공간으로 나오는 공기는 다량의 습기 및 미세한 입자를 포함하고 있어 플라즈마 분위기에서는 쉽게 오존 및 수산기(OH-) 등의래디컬을 생성할 수 있어 폐수 처리 능력 향상에 결정적인 영향을 미치게 된다.

한편, 공기공급관(24)으로부터 전극(22)의 공기유입공(22a)을 통해 공기를 계속 공급하는 것은 각 플라즈마 반응기(20a,20b,20c) 내에 형성된 진공 상태를 깨는 역할을 하므로 어느 정도 시간이 지나면 솔레노이드 밸브(26)를 닫고, 또 시간이 흐른 후 열어 주는 동작이 반복되어야 하는데 이러한 작동은 타이머(27)에 의하여 이루어진다. 이때의 시간 간격은 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)의 구조, 펄스 전원의 특성, 처리 대상 폐수의 특성에 따라 결정된다.

상기 고전압 펄스 발생기(30)로부터 전극(21,22)에 고전압 펄스가 공급되면 전극(21,22) 및 비드(23)에는 코로나 스트리머(CS)가 발생되며, 이에 의해 앞서 언급된 수많은 래디컬이 발생된다. 대부분 종류의 래디컬은 수명이 짧기 때문에 발생과 동시에 소멸하지만 그 과정에서 폐수 내의 각종 오염 물질과 복잡한 산화 반응을 일으키게 되며, 이에 따라 폐수 처리가 이루어지게 되는 것이다.

비교적 수명이 긴 오존은 각각의 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)에 단계적으로 발생되기 때문에 반응기(20a,20b,20c)를 많이 거칠수록 농도가 진해지게 된다.

최종적으로 처리된 폐수와 오존은 이젝터 연결관(28)을 통해 다시 반응조(10)로 유입되는데 유입과정에서 반응조(10) 내의 폐수와 오존이 격렬하게 반응하여 한번 더 폐수를 처리하게 된다.

이 과정에서 완전히 소모되지 못하고 남은 오존이 존재하게 되는데 이는 잉여오존회수관(52)을 통해 다시 필터링 챔버(50)로 유입되고 여기서 바이패스관(40b)을 통해 다시 플라즈마 반응기(20a)로 유입되어 유입되는 플라즈마반응기(20a) 내의 오존 농도를 높게 하여 준다.

이때 전체 시스템의 압력 상승을 막기 위해 반응조(10)의 상부에 벤트용 홀(14)을 형성하여 반응조(10)의 내부가 대기압으로 유지되도록 함으로써 발생된 오존을 완전히 사용할 수 있는 시스템이 구성되는 것이다.

또 종래 기술과는 달리 공기흡입관(24)과 파이프 형태의 전극(22)을 통해 공기가 공급되지 않더라도 솔레노이드 밸브(26)에 의해 공기 공급 라인이 폐쇄되므로 플라즈마 반응기(20a,20b,20c) 내의 폐수가 전극(22)내로 유입되지 않으며, 최악의 경우 전극(22)안에 폐수가 채워지더라도 다시 솔레노이드 밸브(26)를 열어 공기를 공급하게 되면 전극(22)에 채워졌던 폐수는 공기유입공(22a)을 통해 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)로 배춘되기 때문에 문제를 야기하지 않게 된다.

도 5는 본 발명에 의한 장치의 다른 실시례를 도시하는 것으로, 본 실시례에서는 상기 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)의 내부에 배플(baffle)(29)을 설치함으로써 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)내에서의 폐수의 흐름을 제어할 수 있다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시례를 도시하는 것으로, 본 실시례에서는 전극(21,22)을 폐수의 흐름 방향에 대하여 직각으로 설치함과 아울러 폐수의 흐름 방향에 대하여 일정 간격으로 배열한 것이다.

도 7은 반응조(10)의 후단에 바이오 리액터(60)를 설치하여 플라즈마 반응기(20a,20b,20c)에서 처리하지 못한 오염물질을 박테리아에 의해 재처리함으로써 폐수 처리 능력을 더욱 높일 수 있도록 한 것이다.

이상과 같이 본 발명에 의하면 발생된 오존을 완전히 사용할 수 있으며 플라즈마 반응기내에서의 폐수의 정체 현상이 배제되어 폐수 처리 능력이 향상되는 효과가 있다. 또한 플라즈마 반응기와 반응조를 연계하여 처리함으로써 폐수의 처리 능력이 더욱 향상되는 효과가 있다. 또한 플라즈마 반응기와 반응조에 의하여 처리 되지 못한 오염물질을 바이오 리액터에 의하여 재처리함으로써 폐수 처리 능력을 더욱 높일 수 있게 되는 것이다.

Claims (5)

1. 반응조와;

   상기 반응조의 상부에 설치되는 이젝터와;

   상기 반응조의 하단과 이젝터를 연결하는 폐수순환관과;

   상기 폐수순환관의 도중에 설치된 순환펌프와;

   고전압 펄스 발생기에 연결되는 상,하부 전극과 비드가 내장되고, 서로 직렬로 연결되며, 최선단의 것이 상기 순환펌프의 토출단에 바이패스관으로 연결되고, 최종단의 것이 상기 이젝터에 이젝터 연결관으로 연결되는 다수개의 플라즈마 반응기와;를구비하여서 됨을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 하부 전극이 파이프형으로 형성되어 그주벽에는 다수개의 공기유입공이 형성되고, 상기 하부 전극들이 일단이 개방된 공기흡입관에 연결되며, 상기 공기흡입관의 개방단에는 타이머에 의해 개폐 작동되는 솔레노이드 밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기순환펌프와 최선단 플라즈마 반응기를 연결하는 바이패스관의 도중에는필터가 내장된 필터링 챔버가 설치되고, 상기 순환펌프와 필터링 챔버를 연결하는 바이패스관의 도중에는 바이괘스관으로 바이패스되는 폐수의유량을 조정하기 위한 니들밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 필터링 챔버와 상기 반응조는 잉여오존회수관으로 연결됨을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치.
5. 제1항, 제2항, 제3항 또는제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기최종단 플라즈마 반응기의 후단에는 박테리아에 의한 폐수 처리를 수행하는 바이오 리액터가 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 난분해성 폐수 처리 장치.