KR100312494B1 - Inter-digital transducer having step electrode pad - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An inter-digital transducer having a step electrode pad is provided to prevent a passing band of an undesired frequency in an approximation process to a structure of a withdrawal inter-digital transducer. CONSTITUTION: The first electrode pad(32A) is connected with an input line. The second electrode pad(32B) is connected with a ground voltage source(GND). A step pad(32C) generates a null point. A multitude of relay electrode bar(32D) is connected with the step pad(32C), the first electrode pad(32A) or the second electrode pad(32B). A multitude of signal electrode bar(32E) and a multitude of ground electrode bar(32F) are arranged on the first and the second electrode pads(32A,32B) and the step pad(32C). A filtering characteristic is improved by forming a filter coefficient using a multi-level withdrawal inter-digital transducer.

Description

계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기 (Inter-Digital Transducer with Electrode Pad of Stairs)Inter-Digital Transducer with Electrode Pad of Stairs

본 발명은 표면탄성파(Surface Acoustic Wave ; 이하 "SAW"라 함) 필터(Filter)에 관한 것으로, 특히 SAW를 전기적신호로 또는 전기적신호를 SAW로 변환하는 인터-디지탈 변환기(Inter-Digital Transducer, 이하 "IDT"라 함)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to Surface Acoustic Wave ("SAW") filters, and more particularly to an Inter-Digital Transducer, which converts an SAW into an electrical signal or an SAW. "IDT").

통상의 SAW 필터는 전기적신호로부터 원하는 주파수 성분만을 검출하기 위하여 전기적신호를 SAW로 변환한 다음 그 SAW를 다시 전기적신호로 변환하게 된다. 이러한 SAW 필터는 전기적신호를 SAW로 변환하는 변환기에 따라 아포디제이션(Apodization) IDT 방식과 위드드로월(Withdrawal) IDT 방식으로 나누어진다. 이들 두가지의 IDT 방식의 SAW 필터들은 필터링 특성과 변환이득에서 큰 차이를 보이고 있다.A typical SAW filter converts an electrical signal into a SAW and then converts the SAW into an electrical signal in order to detect only a desired frequency component from the electrical signal. The SAW filter is divided into an Apodization IDT method and a Withdrawal IDT method according to a converter for converting an electrical signal to SAW. These two IDT type SAW filters show significant differences in filtering characteristics and conversion gains.

실제로, 아포디제이션 IDT 방식 SAW 필터는 도1 에서와 같이 차단막대(10)를 사이에 두고 대향되어진 아포디제이션 IDT(12)와 위드드로월 IDT(14)로 구성되어 있다. 아포디제이션 IDT(12)는 특정 주파수 대역의 전기적신호 만을 SAW로 변환하게 된다. 이를 위하여, 아포디제이션 IDT(12)는 입력라인(11)에 접속되어진 제1 전극패드(12A), 기저전압원(GND)에 접속되어진 제2 전극패드(12B), 이들 전극패드들(12A,12B) 사이에 배열되어진 제1 신호전극바들(12C)과 제1 기저전극바들(12D)로 구성되어 있다. 제1 신호전극바들(12C)과 제1 기저전극바들(12D)은 주파수에 따라 변하게 되는 이득 파형을 이루게끔 전극패드들(12A,12B)의 중앙부에서는 길고 전극패드들(12A12B)의 양측으로 갈수록 짧아지게 된다. 제1 신호전극바들(12C)은 제1 전극패드(12A)에 공통적으로 접속되고 제1 기저전극바들(12D)은 제2 접지패드(12B)에 공통적으로 접속되게 된다. 이와 같이, 형성되어진 제1 신호전극바들( 12C)과 제1 기저전극바들(12D)은 제1 전극패드(12A)에 특정 주파수 대역의 전기적신호에 따라 서로 끌어당기거나 밀쳐냄으로써 SAW가 발생되게 한다. 이렇게 발생되어진 SAW는 위드드로월 IDT(14)쪽으로 진행하게 된다. 위드드로월 IDT(14)는 SAW를 전기적신호로 변환하게 된다. 이를 위하여, 위드드로월 IDT(14)는 출력라인(13)에 접속되어진 제3 전극패드(14A), 기저전압원(GND)에 접속되어진 제4 전극패드(14B), 이들 전극패드들(14A,14B) 사이에 배열되어진 제2 기저전극바들(14C)과 제2 신호전극바들(14D)로 구성되어 있다. 제2 신호전극바들(14D)은 제1 신호전극바들(12C)과는 달리 동일한 길이를 가지는 반면에 제3 전극패드(14A)의 영역에 따라 그 밀도가 달라지게 된다. 이를 상세히 하면, 제2 신호전극바들(14D)은 주파수에 따른 이득의 크기에 따라 제3 전극패드(14A)의 중앙부에서는 많이 설치되고 제3 전극패드(14A)의 양측으로 갈수록 작아지게 설치된다. 한편, 제2 기저전극바들(14C)은 제2 신호전극바들(14D)과 마찬가지로 동일한 길이를 가지는 반면에 제2 신호전극바들(14D)과 상반된 밀도를 가지게 된다. 이를 상세히 하면, 제2 기저전극바들(14C)은 주파수에 따른 이득의 크기에 따라 제4 전극패드(14B)의 중앙부에서는 작게 설치되고 제4 전극패드(14B)의 양측으로 갈수록 많게 설치된다. 이들 제2 신호전극바들(14D)과 제2 기저전극바들(14C)의 밀도는 주파수에 따른 이득을 정규화함에 의해 생성된 정규화 이득값에 따르게 된다. 이러한 제2 신호전극바들(14D)과 제2 기저전극바들(14C)은 아포디제이션 IDT(12)로부터의 SAW에 감응함으로써 제3 전극패드(14A)에 접속되어진 출력라인(13)에 특정 주파수 대역의 전기적신호가 나타나게 한다. 이와 같이, 아포디제이션 IDT(12)는 특정 주파수의 전기적신호에 대해서만 응답하는 아포디제이션 IDT(12)를 입력측에 사용하는 SAW 필터에서는 필터링 특성이 매우 좋게 된다. 이는 아포디제이션 IDT(12)는 필터 계수를 1:1로 구현할 수 있는 아날로그 합성(Analog synthesis) 방식으로 구현되는데에 기초한다. 그러나 이러한 SAW 필터에서는 이득에 따라 길이가 달라지는 신호전극바들 및 기저전극바들로 인하여 변환효율이 매우 낮아지게 된다. 또한, 아포디제이션 IDT(12)는 일반적인 지연선 필터(Transversal Filter)가 갖는 양방향 손실, 메탈릭 손실(metallic loss), 부정합 손실(mismatch loss) 외에 아포디제이션 손실과 회절 손실(diffraction loss)등이 문제점으로 나타나고 있다.In fact, the apodization IDT method SAW filter is composed of the apodization IDT 12 and the withdrawal IDT 14 opposed to each other with the blocking bar 10 interposed therebetween as shown in FIG. The apodization IDT 12 converts only an electrical signal of a specific frequency band into a SAW. To this end, the apodization IDT 12 includes a first electrode pad 12A connected to the input line 11, a second electrode pad 12B connected to the ground voltage source GND, and these electrode pads 12A, It consists of the first signal electrode bars 12C and the first base electrode bars 12D arranged between 12B. The first signal electrode bars 12C and the first base electrode bars 12D are long in the center of the electrode pads 12A and 12B and toward both sides of the electrode pads 12A12B to form a gain waveform that varies with frequency. Will be shortened. The first signal electrode bars 12C are commonly connected to the first electrode pad 12A, and the first base electrode bars 12D are commonly connected to the second ground pad 12B. In this way, the formed first signal electrode bars 12C and the first base electrode bars 12D may generate SAW by attracting or pushing each other on the first electrode pad 12A according to an electrical signal of a specific frequency band. . The generated SAW proceeds to the withdrawal wall IDT 14. Withdrawal IDT 14 converts the SAW into an electrical signal. To this end, the withdrawal IDT 14 includes a third electrode pad 14A connected to the output line 13, a fourth electrode pad 14B connected to the ground voltage source GND, and these electrode pads 14A, The second base electrode bars 14C and the second signal electrode bars 14D arranged between 14B) are formed. Unlike the first signal electrode bars 12C, the second signal electrode bars 14D have the same length, but the density of the second signal electrode bars 14D varies according to the area of the third electrode pad 14A. In detail, the second signal electrode bars 14D may be installed in the center of the third electrode pad 14A and become smaller toward both sides of the third electrode pad 14A, depending on the size of the gain according to the frequency. Meanwhile, the second base electrode bars 14C have the same length as the second signal electrode bars 14D, but have a density opposite to that of the second signal electrode bars 14D. In detail, the second base electrode bars 14C are installed at a small portion in the center of the fourth electrode pad 14B according to the magnitude of the gain according to the frequency, and are installed toward both sides of the fourth electrode pad 14B. The density of the second signal electrode bars 14D and the second base electrode bars 14C depends on the normalized gain value generated by normalizing the gain according to the frequency. The second signal electrode bars 14D and the second base electrode bars 14C are sensitive to the SAW from the apodization IDT 12 and thus have a specific frequency on the output line 13 connected to the third electrode pad 14A. The electrical signal of the band appears. In this way, the apodization IDT 12 has a very good filtering characteristic in the SAW filter using the apodization IDT 12, which responds only to an electrical signal of a specific frequency, on the input side. This is based on that the apodization IDT 12 is implemented in an analog synthesis scheme that can implement the filter coefficients in a 1: 1 ratio. However, in such a SAW filter, the conversion efficiency is very low due to the signal electrode bars and the base electrode bars whose length varies depending on the gain. In addition, the apodization IDT 12 includes apodization loss and diffraction loss in addition to bidirectional loss, metallic loss, and mismatch loss of a general delay line filter. It appears to be a problem.

도 2는 위드드로월 IDT 방식 SAW 필터를 도시한 것으로서, 차단막대(10)를 사이에 두고 입력측과 출력측으로 대향되어진 입력측 위드드로월 IDT(16)와 출력측 위드드로월 IDT(14)로 구성되어 있다. 이 위드드로월 IDT 방식의 SAW 필터는 입력단이 위드드로월 IDT(16)로 구현되기 때문에 도 1과 같은 아포디제이션 IDT(12)와 대비할 때, 아포디제이션 손실과 회절손실을 줄이므로 변환효율은 향상되지만 필터링 특성이 떨어지는 단점이 있다. 이를 상세히 하면, 위드드로월 IDT(16)를 입력측에 사용하는 SAW 필터에서는 길이가 동일한 신호전극바들 및 기저전극바들에 의해 전기적신호가 SAW로 변환됨으로써 변환효율이 매우 높아지게 된다. 그러나, 동일한 길이의 신호전극바들 및 기저전극바들은 특정 주파수 대역의 전기적신호 뿐만 아니라 그 특정주파수 대역의 주변 주파수 대역의 전기적신호에도 감응되므로 위드드로월 IDT(16)가 입력측에 사용되어진 SAW 필터의 필터링 주파수 특성은 아포디제이션 IDT의 입력측에 사용되어진 SAW 필터의 그것에 비하여 현저하게 떨어지게 된다. 이러한 문제점이 발생하는 것은, 기본적으로 위드드로월 IDT(16)는 필터 계수들의 적분값이 일치하도록 1과 0을 사용하여 근사화시키는 디지털 합성(Digital synthesis) 방식으로 구현되어 원치않는 주파수에서 통과대역이 발생하기 쉽기 때문이다. 또한, 종래의 SAW 필터에서는 도면에서는 도시하지 않았지만 입력측과 출력측 IDT의 뒷 쪽으로 누설되는 SAW를 흡수하여 이에 의한 특성 악화를 최소화하기 위한 흡음제가 도포되고 있다. 그러나 이 흡음제가 입력측과 출력측 IDT의 뒤쪽에 도포되기 때문에 SAW 필터의 박형화를 제한하는 요인이 되고 있고, 흡수효율이 만족스러운 수준이 못되기 때문에 흡음제로부터 반사파가 발생되어 입력측의 IDT를 경유하여 출력측의 IDT에서 검출되는 신호에서 위상차를 발생시키게 된다.FIG. 2 illustrates a withdrawal wall IDT SAW filter, which is composed of an input side withdrawal IDT 16 and an output side withdrawal IDT 14 opposed to an input side and an output side with a blocking bar 10 interposed therebetween. have. This withdrawal IDT type SAW filter reduces conversion of apodization and diffraction as compared to the apodization IDT 12 as shown in FIG. Has the disadvantage that the filtering characteristics are poor. In detail, in the SAW filter using the withdrawal wall IDT 16 on the input side, the electrical signal is converted into the SAW by the signal electrode bars and the base electrode bars having the same length, and thus the conversion efficiency becomes very high. However, the signal electrode bars and the base electrode bars of the same length are sensitive not only to the electrical signals of the specific frequency band but also to the electrical signals of the peripheral frequency band of the specific frequency band, so that the withdrawal IDT 16 of the SAW filter is used. The filtering frequency characteristic is markedly inferior to that of the SAW filter used at the input side of the apodization IDT. This problem occurs by default, withdrawal IDT (16) is implemented by the digital synthesis method (approximately using 1 and 0) to match the integral value of the filter coefficients, so that the passband at an unwanted frequency It is easy to occur. In addition, in the conventional SAW filter, although not shown in the drawing, a sound absorbing agent is applied to absorb the SAW leaking to the back of the input side and the output side IDT and thereby minimize the deterioration of the characteristics. However, since the sound absorbing agent is applied on the back of the input side and the output side IDT, it becomes a factor to limit the thinning of the SAW filter, and since the absorption efficiency is not satisfactory, the reflected wave is generated from the sound absorbing agent and the output side passes through the IDT on the input side. The phase difference is generated in the signal detected by the IDT.

그러므로, 위드드로월 IDT가 가지는 근사하에 따른 손실을 줄여서 주파수 응답특성과 변환효율을 개선할 수 있는 IDT와, 흡음제의 흡음효율을 향상시킴으로써 반사파에 의한 필터링 특성 악화를 최소화할 수 있는 방안이 요구된다.Therefore, there is a need for a method capable of minimizing deterioration of filtering characteristics by reflected waves by improving IDT which can improve frequency response characteristics and conversion efficiency by reducing losses due to approximate loss of withdrawal IDT. .

따라서, 본 발명의 목적은 위드드로월 IDT 구조로 근사화할 때 발생하는 원하지 않는 주파수의 통과대역을 방지하도록한 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기를 제공하는데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inter-digital converter having stepped electrode pads to prevent passbands of unwanted frequencies that occur when approximating with a withdrawal IDT structure.

본 발명의 다른 목적은 위드드로월 IDT 구조로 근사화할 때 발생하는 오차를 줄임으로써 정확한 필터의 설계를 용이하게 하도록한 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기를 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide an inter-digital converter having a stepped electrode pad that facilitates the design of an accurate filter by reducing an error generated when approximating the withdrawal IDT structure.

본 발명의 또 다른 목적은 아포디제이션 IDT 구조로 필터를 구현할 때 발생하는 아포디제이션 손실을 줄임으로써 변환효율을 향상시키도록한 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide an inter-digital converter having a stepped electrode pad to improve conversion efficiency by reducing apodization loss generated when implementing a filter with an apodization IDT structure.

본 발명의 또 다른 목적은 반사파를 흡수하기 위한 흡음제의 분포면적을 충분히 확보함으로써 흡음제의 효율을 향상시키도록한 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide an inter-digital converter having a stepped electrode pad which improves the efficiency of the sound absorbing agent by sufficiently securing the distribution area of the sound absorbing agent for absorbing reflected waves.

도1 및 도2 는 종래의 SAW 필터를 개략적으로 도시하는 도면.1 and 2 schematically show a conventional SAW filter.

도3 은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 계단형 전극 패턴들을 가지는 음파변환를 개략적으로 도시하는 도면.3 is a diagram schematically showing a sonic transformation having stepped electrode patterns according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 필터 계수의 제로-크로싱에 따른 단계별 위드드로월(withdrawal) 인터-디지탈 변환기(IDT)의 개구(aperture) 크기를 나타내는 특성도.4 is a characteristic diagram showing the aperture size of a withdrawal inter-digital transducer (IDT) with zero-crossing of filter coefficients.

도 5a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 계단형 전극 패턴들을 가지는 음파변환를 개략적으로 도시하는 도면.FIG. 5A schematically illustrates a sonic transformation having stepped electrode patterns according to a second exemplary embodiment of the present invention. FIG.

도 5b는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 계단형 전극 패턴들을 가지는 음파변환를 개략적으로 도시하는 도면.FIG. 5B schematically illustrates a sonic transformation having stepped electrode patterns according to a third exemplary embodiment of the present invention. FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

12 : 아포디제이션 IDT 12A,32A,42A,52A : 제1 전극패드12: apodization IDT 12A, 32A, 42A, 52A: first electrode pad

12B,32B,42B,52B : 제2 전극패드 12C,14D : 신호 전극바12B, 32B, 42B, 52B: second electrode pad 12C, 14D: signal electrode bar

12D,14C,32F : 기저 전극바 14,16 : 위드드로월 IDT12D, 14C, 32F: Base electrode bar 14,16: Withdrawal IDT

14A : 제3 전극패드 14B : 제4 전극패드14A: third electrode pad 14B: fourth electrode pad

32C,42C,52C : 계단패드 32D,42D,52D : 중계 전극바32C, 42C, 52C: Stair pad 32D, 42D, 52D: Relay electrode bar

34,36 : 흡음제34,36: Sound Absorbers

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 임의의 압전체 기판과, 필터 계수에서 널포인트가 발생하는 부분을 기준으로 구분되어 각 영역에서 단차를 이루어 압전체 기판에 패터닝된 계단형 전극패드와, 계단형 전극패드에 접속되어 전기적 신호를 표면 탄성파로 변환시키는 전극바 패턴을 구비한다.In order to achieve the above object, an inter-digital converter having a stepped electrode pad of the present invention is divided on an arbitrary piezoelectric substrate and a portion where a null point occurs in a filter coefficient, and is formed on the piezoelectric substrate by forming a step in each region. And a patterned stepped electrode pad and an electrode bar pattern connected to the stepped electrode pad to convert electrical signals into surface acoustic waves.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to Figures 3 to 5 attached to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기를 도시한 것이다. 도 3은 본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기에서 전기적신호를 표면 탄성파로 변환하는 입력측 IDT를 도시한다.3 shows an inter-digital converter having a stepped electrode pad according to a first embodiment of the present invention. 3 illustrates an input side IDT for converting an electrical signal into a surface acoustic wave in an inter-digital converter having a stepped electrode pad of the present invention.

도 3의 구성에서, 본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 입력라인(31)에 접속되어진 제1 전극패드(32A)와, 기저전압원(GND)에 접속되어진 제2 전극패드(32B)와, 널포인트(null point)가 발생하는 부분으로 각각 분리되어져 단차를 이루는 계단형 패드들(32C)과, 계단형 패드들(32C)과 제1 전극패드(32A) 또는 제2 전극패드(32B)에 접속되어진 중계 전극바들(32D)과, 제1 및 제2 전극패드들(32A,32B) 및 계단형 패드들(32C)에 배열되는 신호전극바들(32E) 및 기저전극바들(32F)로 구성되어 있다.In the configuration of FIG. 3, the inter-digital converter having the stepped electrode pads of the present invention includes a first electrode pad 32A connected to an input line 31 and a second electrode pad connected to a ground voltage source GND. 32B, stepped pads 32C separated into portions in which null points occur, and forming stepped steps, stepped pads 32C, first electrode pads 32A, or second electrode pads. The relay electrode bars 32D connected to the 32B, the signal electrode bars 32E and the base electrode bars 32F arranged on the first and second electrode pads 32A and 32B and the stepped pads 32C. It consists of).

원하는 필터 특성을 얻기 위해서는 우선, 디지털 설계 방법 중의 하나인 유한 임펄스 응답(Finite Impulse Response) 방법을 이용하여 차수(order)가 N인 필터 계수를 찾아낸다. 그리고 다음 구해진 N+1 개의 필터 계수를 어포디제이션이나 위드드로월 IDT를 이용하여 구현한다. 계단형 패드들(32C)은 도 4와 같은 싱크 함수(Sinc function) 형태를 갖는 필터 계수에서 널포인트가 발생하는 부분으로 구분되어 위드드로월 IDT로 근사화하도록 제1 및 제2 전극패드(32A,32B) 사이에서 중심부에서 양쪽으로 갈수록 좁은 폭을 이루도록 위치하게 된다. 이와 같은 구조에 의해, 제1 전극패드(32A), 제2 전극패드(32B) 또는 계단형 패드들(32C)에 접속되어진 신호전극바들(32E) 및 기저전극바들(32F)은 필터계수에서 널포인트가 발생하는 부분으로 주파수에 따라 변하게 되는 이득파형과 근사하게 다단계 위드드로월 IDT로 구현된다. 따라서, 본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 필터계수의 널포인트로 구분되어 중앙부에서 양쪽으로 갈수록 짧아지는 신호전극바들(32E) 및 기저전극바들(32F)로 이루어진 다단계 위드드로월 IDT로 이루어진다. 종래의 위드드로월 IDT 구조와 대비할 때, 종래의 위드드로월 IDT는 싱크 함수의 각 값을 0과 1의 두레벨로 근사화하게 되어 필터링 특성이 떨어지는 단점을 초래하게 되지만 본 발명에서는 0과 1 사이 이외의 중간레벨(예를 들면, 0.5의 레벨)을 갖는 위드드로월 IDT 구조를 갖게 되기 때문에 필터링 특성이 향상된다. 이를 상세히 하면, 필터계수가 도 4와 같은 형태를 갖게될 때, N+1 개의 계수는 M 개의 제로 크로싱 포인트를 갖게 된다. 이들 필터 계수를 제로 크로싱이 이루어진 M-1 개의 영역들로 분류하고 각각의 영역에서 최대값을 계산한다. 그리고 각 영역의 최대값(1,a,b,c)을 이용하여 근사화하게 됨에 따라 다단계 위드드로월 IDT로 이루어진다. 이에 따라, 다단계 위드드로월 IDT를 이용하여 필터 계수를 구현함으로써 본 발명은 필터링 특성이 향상됨은 물론 종래의 아포디제이션 IDT 구조로 구현될 때 발생하는 아포디제이션 손실과 회절손실을 줄임으로써 변환효율을 향상시킬 수 있다.To obtain the desired filter characteristics, first, the filter coefficients of order N are found by using a finite impulse response method, which is one of digital design methods. Then, the obtained N + 1 filter coefficients are implemented using affirmation or withdrawal IDT. The stepped pads 32C may be divided into portions in which null points are generated in a filter coefficient having a sink function form as shown in FIG. 4, so that the first and second electrode pads 32A, approx. 32B) between the center and the narrower to both sides. With this structure, the signal electrode bars 32E and the base electrode bars 32F connected to the first electrode pad 32A, the second electrode pad 32B, or the stepped pads 32C are nulled in the filter coefficient. The point is generated as a multi-step withdrawal IDT to approximate the gain waveform that varies with frequency. Therefore, the inter-digital converter having a stepped electrode pad of the present invention is divided into null points of filter coefficients, and is composed of a multi-step withdrawal wall consisting of signal electrode bars 32E and base electrode bars 32F that are shortened from both sides to the center portion. It consists of IDT. In contrast to the conventional withdrawal IDT structure, the withdrawal IDT of the related art approximates each value of the sink function to two levels of 0 and 1, resulting in a drop in filtering characteristics, but in the present invention, between 0 and 1 Since the filter has a withdrawal IDT structure having an intermediate level (for example, a level of 0.5), filtering characteristics are improved. In detail, when the filter coefficient has a shape as shown in FIG. 4, N + 1 coefficients have M zero crossing points. These filter coefficients are classified into M-1 regions with zero crossing and the maximum value in each region is calculated. As the approximation is performed using the maximum values 1, a, b, and c of each region, a multi-step withdrawal IDT is formed. Accordingly, by implementing the filter coefficients using the multi-stage withdrawal IDT, the present invention improves the filtering characteristics and reduces the apodization loss and the diffraction loss generated when the conventional apodization IDT structure is implemented. Can improve.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제2 및 제3 실시예를 나타낸 것이다.5A and 5B show the second and third embodiments of the present invention.

도 5a를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 필터계수의 널포인트로 구분되는 다단계 위드드로월 IDT와, 입력단 쪽에서 제1 또는 제2 전극패드(42A,42B)와 계단형 패드들(42C) 사이에 접속되는 중계 전극바들(42D) 위에 도포되는 흡음제(34)를 구비한다.Referring to FIG. 5A, an inter-digital converter having a stepped electrode pad according to a second embodiment of the present invention includes a multi-stage withdrawal IDT divided by a null point of a filter coefficient, and a first or second electrode pad at an input end thereof. And a sound absorbing agent 34 applied over the relay electrode bars 42D connected between the 42A and 42B and the stepped pads 42C.

흡음제(34)는 제1 전극패드(42A) 또는 제2 전극패드(42B)와 계단형 패드들(42C) 사이에서 여유면적이 존재하기 때문에 이 영역에 도포된다. 흡음제(34)는 종래와 비교할 때, 계단형 패드들(42C)에 근접하여 양측에 도포되기 때문에 흡음효율을 향상시킬 수 있게 된다.The sound absorbing agent 34 is applied to this area because a spare area exists between the first electrode pad 42A or the second electrode pad 42B and the stepped pads 42C. Since the sound absorbing agent 34 is applied to both sides in close proximity to the stepped pads 42C, the sound absorbing material 34 can improve the sound absorbing efficiency.

도 5b의 구성에서, 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 입력단에서 제1 전극패드(52A), 제2 전극패드(52B) 및 중계 전극바들(52D)을 제거하며 도포되는 흡음제(36)를 구비한다. 이 경우 도 5a에 도시된 본 발명의 제2 실시예보다 간단한 구조를 갖게 되며 입력단에 흡음제(36)가 도포된다. 이 때, 입력단 쪽에서 윗쪽의 계단형 패드들(52C)은 입력라인으로부터 신호전압이 공급될 수 있도록 서로 접속되어 제1 전극패드(52A)에 접속되고 아래 쪽의 계단형 패드들(52C)은 기저 전압(GND)이 공급될 수 있도록 서로 접속되어 제2 전극패드(52B)에 접속된다.In the configuration of FIG. 5B, the inter-digital converter having the stepped electrode pads according to the third embodiment of the present invention has a first electrode pad 52A, a second electrode pad 52B, and relay electrode bars 52D at an input terminal. It is provided with a sound absorbing agent 36 is applied to remove. In this case, it has a simpler structure than the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5A and a sound absorbing agent 36 is applied to the input terminal. At this time, the upper stepped pads 52C at the input end are connected to each other so that the signal voltage can be supplied from the input line, and are connected to the first electrode pad 52A, and the lower stepped pads 52C are at the bottom. They are connected to each other so that the voltage GND can be supplied, and are connected to the second electrode pad 52B.

본 발명의 제2 및 제3 실시예에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 다단계 위드드로월 IDT의 구조를 취하여 여유공간에 흡음제(34,36)을 도포함으로써 반사파를 최소화하여 필터특성을 향상시킬 수 있게 된다.As can be seen in the second and third embodiments of the present invention, the inter-digital transducers having the stepped electrode pads of the present invention take the structure of a multi-stage withdrawal IDT to absorb sound absorbers 34 and 36 in the free space. By coating, the reflected wave can be minimized to improve the filter characteristics.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 종래 위드드로월 IDT 구조로 근사화할 때 발생하는 주파수의 통과대역을 방지할 수 있게 된다.As described above, the inter-digital converter having a stepped electrode pad according to the present invention can prevent the passband of the frequency generated when approximating the conventional withdrawal IDT structure.

본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 오차를 줄임으로써 정확한 필터의 설계의 용이성을 제공한다.The inter-digital transducer with stepped electrode pads of the present invention provides the ease of designing an accurate filter by reducing errors.

본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 종래 아포디제이션 IDT 구조로 필터를 구현할 때 발생하는 아포디제이션 손실과 회절손실을 줄임으로써 변환효율을 향상시킬 수 있게 된다.The inter-digital converter having the stepped electrode pad of the present invention can improve conversion efficiency by reducing apodization loss and diffraction loss generated when a filter is implemented with a conventional apodization IDT structure.

본 발명의 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기는 반사파를 흡수하기 위한 흡음제의 분포면적을 충분히 확보함으로써 필터의 성능을 향상시킬 수 있게 된다.The inter-digital converter having the stepped electrode pad of the present invention can improve the performance of the filter by sufficiently securing the distribution area of the sound absorbing agent for absorbing the reflected wave.

이상 설명한 내용을 통해 당업자 라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (6)

주파수 필터 계수에서 널포인트가 발생하는 부분을 기준으로 구분되어진 각 영역에서 상기 주파수 필터 계수의 절대치 최대값에 근사화된 개구를 가지게끔 단차를 이루도록 계단형으로 패터닝되어 특정 신호전압이 공급되는 신호전극패드와, 상기 신호전극패드와 대칭을 이루도록 상기 계단형으로 패터닝되어 기저전압이 공급되는 기저전극패드와, 상기 신호전극패드 및 기저전극패드 사이에 위치하고 상기 신호전극패드에 접속되는 신호전극바 패턴과, 상기 신호전극패드 및 기저전극패드 사이에 위치하고 상기 기저전극패드에 접속되는 기저전극바 패턴과, 상기 신호전극패드, 상기 기저전극패드, 상기 신호전극바 패턴 및 상기 기저전극바 패턴이 형성되어 표면탄성파를 전달하는 압전체기판을 구비하고, 상기 신호전극바 패턴과 상기 기저전극바 패턴은 상기 신호전극패드로부터의 신호를 상기 표면탄성파로 변환하는 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.Signal electrode pads supplied with a specific signal voltage by being stepped to form a step to have an opening approximated to an absolute maximum value of the frequency filter coefficients in each region divided by a portion where a null point occurs in the frequency filter coefficients. A base electrode pad patterned in steps so as to be symmetrical with the signal electrode pad and supplied with a base voltage, and a signal electrode bar pattern positioned between the signal electrode pad and the base electrode pad and connected to the signal electrode pad; A surface acoustic wave formed between the signal electrode pad and the base electrode pad and connected to the base electrode pad, and the signal electrode pad, the base electrode pad, the signal electrode pattern, and the base electrode bar pattern. Comprising a piezoelectric substrate for transmitting the signal electrode bar pattern and the base electrode The pattern having a step-like internal electrode pad, characterized in that for converting a signal from the signal electrode pad in the surface acoustic wave-digital converter. 제1항에 있어서, 상기 신호전극바 패턴과 기저전극바 패턴은 상기 표면 탄성파를 상기 전기적신호로 역변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.The inter-digital converter having a stepped electrode pad according to claim 1, wherein the signal electrode bar pattern and the base electrode bar pattern are capable of inverting the surface acoustic wave into the electrical signal. 제1항에 있어서, 상기 신호전극바 패턴과 기저전극바 패턴은 상기 영역단위로 길이가 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.The inter-digital converter having a stepped electrode pad according to claim 1, wherein the signal electrode bar pattern and the base electrode bar pattern have different lengths in units of the region. 제1항에 있어서, 상기 신호전극패드 및 기저전극패드는 상기 특정신호전압이 공급되는 제1 전극패드와, 상기 기저전압이 공급되는 제2 전극패드와, 상기 제1 및 제2 전극패드 사이에 위치하며 상기 각 영영별로 상기 주파수 필터 계수의 절대치 최대값에 근사화된 높이를 가지게끔 단차를 이루며 패터닝된 중계패드와, 상기 제1 전극패드와 상기 중계패드를 접속시킴과 아울러 상기 제2 전극패드와 상기 중계패드를 접속시켜 상기 특정신호전압 및 기저전압이 상기 중계패드로 공급되도록 하는 중계 전극바 패턴을 구비한 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.The method of claim 1, wherein the signal electrode pad and the base electrode pad are disposed between the first electrode pad to which the specific signal voltage is supplied, the second electrode pad to which the base voltage is supplied, and the first and second electrode pads. A relay pad patterned to form a step so as to have a height approximated to an absolute maximum value of the frequency filter coefficient for each of the regions, the first electrode pad and the relay pad, and the second electrode pad and And a relay electrode bar pattern for connecting the relay pad to supply the specific signal voltage and the ground voltage to the relay pad. 제1항에 있어서, 상기 신호전극패드 및 기저전극패드는 상기 특정신호전압이 공급되는 제1 전극패드와, 상기 기저전압이 공급되는 제2 전극패드와, 상기 제1 및 제2 전극패드에 접속되고 상기 각 영역별로 상기 주파수 필터계수의 절대치 최대값에 근사화된 높이를 가지게끔 단차를 이루며 패터닝된 중계패드를 구비한 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.The display device of claim 1, wherein the signal electrode pad and the base electrode pad are connected to a first electrode pad supplied with the specific signal voltage, a second electrode pad supplied with the base voltage, and the first and second electrode pads. And a relay pad patterned to form a step to have a height approximated to an absolute maximum value of the frequency filter coefficient for each region. 제1항에 있어서, 상기 표면 탄성파의 누설을 흡수하도록 상기 계단형 신호전극패드 및 기저전극패드에 인접하여 도포되는 흡음제를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 계단형 전극패드를 가지는 인터-디지탈 변환기.The inter-digital converter having a stepped electrode pad according to claim 1, further comprising a sound absorbing agent applied adjacent to the stepped signal electrode pad and the base electrode pad to absorb leakage of the surface acoustic wave.
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