KR100279000B1 - Exhaust Line Assembly - Google Patents
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Abstract
본 발명은 배기라인 아셈블리에 대한 것으로, 배기수단과 연결된 벨로우즈와, 상기 벨로우즈와 일측이 연결되고, 타측은 공정쳄버를 진공시키는 진공펌프에 연결된 연결수단과, 상기 연결수단과 상기 벨로우즈를 결합시키는 클램프를 포함하는 배기가스 아셈블리에 있어서, 상기 클램프는 삽입형태의 잠금나사가 형성된 제 1 잠금편과, 상기 제 1 잠금편과 일측이 힌지결합되고, 타측이 상기 잠금나사의 삽입홈이 형성된 제 2 잠금편으로 구성되고, 상기 제 1 잠금편 및 제 2 잠금편에 가열부가 매설되어 상기 배기부와 상기 벨로우즈의 결합부위를 가열하도록 한다.The present invention relates to an exhaust line assembly, which has a bellows connected to an exhaust means, one side of which is connected to the bellows, and the other side of which is connected to a vacuum pump for vacuuming a process chamber, and coupling the connection means and the bellows. In the exhaust gas assembly comprising a clamp, the clamp is a first locking piece is formed with a locking screw of the insertion type, the first locking piece and one side is hinged, the other side is formed with the insertion groove of the locking screw It consists of two locking pieces, the heating portion is embedded in the first locking piece and the second locking piece to heat the coupling portion of the exhaust portion and the bellows.
따라서, 배기가스에 포함된 이물질이 배기라인 아셈블리내에 증착되어 배기가스 이동통로를 막게 되어 발생되는 진공펌프의 고장 또는 배기가스의 역유입등이 방지된다.Therefore, the foreign matter contained in the exhaust gas is deposited in the exhaust line assembly to prevent the exhaust gas flow path, and the failure of the vacuum pump or the inflow of the exhaust gas is prevented.
Description
본 발명은 이물질의 증착이 억제되는 배기라인 아셈블리에 관한 것으로, 특히, 공정쳄버내의 배기가스가 배기될 때 배기가스에 포함된 폴리머등의 이물질이 증착되어 증착되는 것을 방지하는 배기라인 아셈블리이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exhaust line assembly in which deposition of foreign matters is suppressed. In particular, the present invention relates to an exhaust line assembly which prevents deposition of foreign substances such as polymers contained in the exhaust gas when the exhaust gas in the process chamber is exhausted. .
제 1 도는 반도체 제조용 식각장치에 종래의 배기라인 아셈블리가 장착된 것을 보인 도면으로써, 종래의 배기라인 아셈블리는 진공펌프(10)를 통해 공정쳄버(9)의 가스를 배기수단(11)으로 배기시키기 위해 진공펌프(10)와 배기수단(11)사이에 형성된다.1 is a view illustrating a conventional exhaust line assembly mounted on an etching apparatus for manufacturing a semiconductor. The conventional exhaust line assembly is configured to transfer gas from a process chamber 9 to an exhaust means 11 through a vacuum pump 10. It is formed between the vacuum pump 10 and the exhaust means 11 to exhaust.
상기 배기라인 아셈블리는 단열재킷(12)에 의해 단열이 유지되며 공정쳄버(9)내부를 배기시키는 진공펌프(10)와 연결된 배기관(1)과, 상기 배기관(1)과 일측이 연결되고, 타측이 배기수단(11)과 연결되는 벨로우즈(6)와, 상기 배기관(1)과 상기 벨로우즈(6)를 서로 접합시켜주는 클램프(2)로 이루어진다.The exhaust line assembly is maintained by the insulation jacket 12, the exhaust pipe 1 is connected to the vacuum pump 10 for exhausting the interior of the process chamber (9), the exhaust pipe 1 and one side is connected, The other side is composed of a bellows 6 connected to the exhaust means 11 and a clamp 2 for joining the exhaust pipe 1 and the bellows 6 to each other.
이때, 상기 벨로우즈(6)를 사용하는 것은 진공펌프(10)의 펌핑모터(미도시)의 회전에 의해 발생되는 진동을 감쇄시키고, 배기라인 아셈블리의 이음형태에 유연성을 주기위한 것이다.At this time, the use of the bellows (6) is to attenuate the vibration generated by the rotation of the pumping motor (not shown) of the vacuum pump 10, to give flexibility to the joint form of the exhaust line assembly.
배기라인 아셈블리에 대해 좀더 구체적으로 살펴보면, 제 2 도에 도시된 배기라인 아셈블리의 부분 사시도 및 제 3 도에 도시된 제 2 도의 Ⅲ-Ⅲ방향의 단면도를 참조하면 된다.The exhaust line assembly will be described in more detail with reference to a partial perspective view of the exhaust line assembly shown in FIG. 2 and a cross-sectional view in the III-III direction of FIG. 2 shown in FIG.
제 2 도 및 제 3 도는 단열재킷이 제거된 상태의 배기라인 아셈블리의 부분 사시도 및 단면도이다.2 and 3 are partial perspective and cross-sectional views of the exhaust line assembly with the insulation jacket removed.
상기 배기라인 아셈블리의 배기관(1)은 내측으로 배기가스가 흐르는 통로가 형성되고, 외측으로는 일정한 간격으로 히터패드(heater pad)(13)가 감싸고 있는 형태로 형성되어 상기 배기관(1)을 가열시킬수 있도록 되고, 히터패드(13)는 단열자켓에 의해 단열되어 발생되는 열이 외부로 방출되지 않도록 되어있다.The exhaust pipe 1 of the exhaust line assembly has a passage through which exhaust gas flows inward, and a heater pad 13 is formed at a predetermined interval on the outside to surround the exhaust pipe 1. The heater pad 13 is heated so that heat generated by the heat insulation jacket is not released to the outside.
그리고, 벨로우즈(6)는 내측으로 배기가스가 흐르는 통로가 형성되고, 외측으로는 히터패드(13)가 일정한 간격으로 감싸도록 형성되고, 단열자켓이 상기 히터패드(13)의 외측을 단열시키고 있다.In addition, the bellows 6 has a passage through which exhaust gas flows inward, and is formed to surround the heater pad 13 at regular intervals on the outside thereof, and an insulation jacket insulates the outside of the heater pad 13. .
이와같은 배기관(1)과 벨로우즈(6)는 클램프(2)에 의해 서로 맞대기 이음형태로 연결되어 있고, 연결부위에는 배기가스의 외부 누설을 방지하기 위해 오-링(O-ring)(7)이 오링받침대(8)위에 형성되어 있다.The exhaust pipe 1 and the bellows 6 are connected to each other in a butt joint form by the clamp 2, and the connection portion has an O-ring 7 to prevent external leakage of exhaust gas. It is formed on the o-ring stand (8).
상기 클램프(2)는 손잡이(5)가 돌출되어진 잠금나사(3)가 일측에 연결된 제 1 잠금편(2a)과, 상기 잠금나사(3)가 삽입 또는 이탈방향으로 이동가능한 체결홈(4)이 형성된 제 2 잠금편(2b)이 서로 힌지결합되어 이루어져, 제 1 잠금편(2a)과 제 2 잠금편(2b)이 힌지축을 기준으로 회전하면서 상기 잠금나사(3)를 상기 체결홈(4)에 삽입시키고, 손잡이(5)를 잠금방향으로 회전시켜 잠금상태를 유지시키고, 상기 손잡이(5)를 잠금 해제방향으로 회전시켜 잠금상태를 해제시키고, 상기 잠금나사(3)를 상기 체결홈(4)에서 이탈시켜 잠금상태를 해제하도록 형성되어 있다.The clamp 2 includes a first locking piece 2a having a locking screw 3 protruding from the handle 5 at one side thereof, and a locking groove 4 in which the locking screw 3 is movable in an insertion or disengagement direction. The formed second locking piece 2b is hinged to each other, so that the first locking piece 2a and the second locking piece 2b are rotated about the hinge axis to rotate the locking screw 3 to the fastening groove 4. ), The handle 5 is rotated in the locking direction to maintain the lock state, the handle 5 is rotated in the unlocking direction to release the lock state, and the locking screw 3 is fastened to the fastening groove ( It is formed to release from 4) to release the lock state.
이와같이 배기라인 아셈블리는 공정쳄버(9)내의 배기가스를 진공펌프(10)의 펌핑력에 의해 배기수단(11)으로 배출시키게 된다.In this way, the exhaust line assembly discharges the exhaust gas in the process chamber 9 to the exhaust means 11 by the pumping force of the vacuum pump 10.
그러나, 이러한 종래의 배기라인 아셈블리에서 진공펌프의 진동을 감쇄시키기 위해 사용되는 벨로우즈를 배기관과 서로 맞대기 이음형태로 연결시키기 위해 사용된 클램프에는 벨로우즈와 배기관과는 달리 가열을 위한 히터패드가 장착되어 있지 않고, 돌출된 잠금나사의 손잡이로 인해 단열자켓이 밀착되게 덮어씌워지지 않는다.However, in the conventional exhaust line assembly, a clamp used to connect the bellows used to attenuate the vibration of the vacuum pump in a butt joint with the exhaust pipe is equipped with a heater pad for heating unlike the bellows and the exhaust pipe. And the protruding locking screw handle does not cover the insulation jacket tightly.
따라서, 클램프는 낮은 온도의 외기환경에 배기관 또는 벨로우즈보다는 많이 노출되어 이부분을 통해 열손실이 매우 높게 발생된다.Therefore, the clamp is exposed to a lower temperature outside environment than the exhaust pipe or the bellows, so heat loss is very high through this part.
또한, 진공펌프와 배기장치 사이에 형성된 배기라인 아셈블리를 통과하는 배기가스의 배기속도는 공정쳄버와 배기장치사이의 배기속도보다 느리게 되어 배기가스가 배기라인 아셈블리에 머무르는 시간이 많다.In addition, the exhaust velocity of the exhaust gas passing through the exhaust line assembly formed between the vacuum pump and the exhaust apparatus is slower than the exhaust velocity between the process chamber and the exhaust apparatus, so that the exhaust gas stays in the exhaust line assembly.
따라서, 배기라인 아셈블리를 통과하는 배기가스는 느린 배기속도로 인해 이물질등이 증착될 가능성이 크다.Therefore, the exhaust gas passing through the exhaust line assembly is likely to deposit foreign matters due to the slow exhaust velocity.
이와같은 문제점으로 인해 배기관과 벨로우즈가 서로 맞대기 이음형태로 연결된 연결부위에 배기가스의 이물질이 증착되어 배기가스 흐름을 막게 된다.Due to such a problem, foreign matters of the exhaust gas are deposited on the connection portion where the exhaust pipe and the bellows are connected to each other in a butt joint shape, thereby preventing the exhaust gas flow.
그러므로, 배기가스의 이동통로가 점점 막히게 되어 진공펌프에 과부하가 걸리게 하고, 배기가스를 역류시켜 진공펌프의 고장을 유발시키고, 공정쳄버내로 배기가스가 역유입되는 문제점이 있다.Therefore, the movement path of the exhaust gas is gradually blocked, causing the vacuum pump to be overloaded, causing the failure of the vacuum pump by flowing the exhaust gas back, and causing the exhaust gas to flow back into the process chamber.
그리고, 증착된 이물질을 제거하기 위해 정기적인 세정을 실시해야 하는 번거로움이 발생되어 식각장치의 유지보수에 시간적 손실이 크다.In addition, the hassle of having to perform regular cleaning to remove the deposited foreign matter is a large time loss in the maintenance of the etching apparatus.
이에 본 발명은 배기가스에 포함된 이물질이 배기관과 벨로우즈의 연결부위에 증착되어 배기가스 이동통로가 좁아지는 것을 방지하는 이물질의 증착이 억제되는 배기라인 아셈블리를 제공하기 위해 안출된 것이다.Accordingly, the present invention is devised to provide an exhaust line assembly in which foreign matters contained in the exhaust gas are deposited on the connection portion between the exhaust pipe and the bellows and the deposition of the foreign matter is prevented from being narrowed.
따라서, 상기 목적을 이루고자, 본 발명은 배기수단과 연결된 벨로우즈와, 상기 벨로우즈와 일측이 연결되고, 타측은 공정쳄버를 진공시키는 진공펌프에 연결된 연결수단과, 상기 연결수단과 상기 벨로우즈를 결합시키는 클램프를 포함하는 배기가스 아셈블리에 있어서, 상기 클램프는 삽입형태의 잠금나사가 형성된 제 1 잠금편과, 상기 제 1 잠금편과 일측이 힌지결합되고, 타측이 상기 잠금나사의 삽입홈이 형성되어 상기 제 1 잠금편과 결합되는 제 2 잠금편으로 구성되고, 상기 제 1 잠금편 및 제 2 잠금편에 가열부가 매설되어 상기 배기부와 상기 벨로우즈의 결합부위가 가열되도록 한다.Therefore, in order to achieve the above object, the present invention is a bellows connected to the exhaust means, the bellows and one side is connected, the other side is connected to a vacuum pump for vacuuming the process chamber, the clamp means for coupling the connection means and the bellows In the exhaust gas assembly comprising a, the clamp is a first locking piece is formed with a locking screw of the insertion type, the first locking piece and one side is hinged, the other side is formed the insertion groove of the locking screw is And a second locking piece coupled to the first locking piece, and a heating part is embedded in the first locking piece and the second locking piece to heat the coupling portion of the exhaust part and the bellows.
여기서, 상기 가열부는 내열실리콘 코팅처리된 열선 또는 히팅패드로 하면 되고, 상기 연결수단은 내,외측관으로 된 이중관 구조로 하되, 상기 이중관 구조의 내,외측관 사이에 열선을 구비한다.Here, the heating unit may be a heating wire or a heating pad coated with heat-resistant silicon, and the connecting means has a double tube structure of inner and outer tubes, and a heating wire is provided between inner and outer tubes of the double tube structure.
또한, 상기 벨로우즈에 열선을 하나 이상 매설하고, 상기 벨로우즈에 보조펌프를 더 구비시킨다.In addition, at least one hot wire is embedded in the bellows, and the bellows is further provided with an auxiliary pump.
제 1 도는 종래의 배기라인 아셈블리가 장착된 상태를 보인 상태도이고,1 is a state diagram showing a state in which a conventional exhaust line assembly is mounted,
제 2 도는 종래의 배기라인 아셈블리에 대한 부분 사시도이고,2 is a partial perspective view of a conventional exhaust line assembly,
제 3 도는 제 2 도의 Ⅲ-Ⅲ방향의 단면도이고,3 is a cross-sectional view in the III-III direction of FIG.
제 4 도는 본 발명인 배기라인 아셈블리가 장착된 상태를 보인 상태도이고,4 is a state diagram showing a state in which the exhaust line assembly of the present invention is mounted,
제 5 도는 본 발명인 배기라인 아셈블리에 대한 부분 사시도이고,5 is a partial perspective view of the exhaust line assembly of the present invention,
제 6 도는 제 5 도의 Ⅵ-Ⅵ방향의 단면도이고,6 is a cross-sectional view taken in the VI-VI direction of FIG.
제 7 도는 제 5 도의 Ⅶ-Ⅶ방향의 단면도이고,7 is a sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 5,
제 8 도는 본 발명인 배기라인 아셈블리의 클램프에 대한 정면도이다.8 is a front view of the clamp of the exhaust line assembly of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 간략한 부호 설명 *Brief description of the major parts of the drawings
1,101 : 배기관 2,102 : 클램프 6,106 : 벨로우즈1,101: Exhaust Pipe 2,102: Clamp 6,106: Bellows
9,109 : 공정쳄버 10,110 : 진공펌프 11,111 : 배기장치9,109 Process chamber 10,110 Vacuum pump 11,111 Exhaust system
12,112 : 단열재킷12,112: Insulation Jacket
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 이물질 증착이 억제되는 배기라인 아셈블리를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an exhaust line assembly in which foreign matter deposition is suppressed as follows.
본 발명인 배기라인 아셈블리는 공정쳄버내에서 반응이 완료된 반응가스를 배기시키는 모든 장치에 적용될수 있는데, 여기서는 반도체 제조용 식각장치에 장착되어 공정쳄버내의 배기가스를 배기시키기 위한 일실시예를 들어 설명하겠다.The exhaust line assembly of the present invention can be applied to any apparatus for exhausting the reaction gas after the reaction has been completed in the process chamber, which will be described in an embodiment for exhausting the exhaust gas in the process chamber mounted in an etching apparatus for manufacturing a semiconductor. .
제 4 도는 반도체 제조용 식각장치에 본 발명인 배기라인 아셈블리가 장착된 것을 보인 도면으로써, 배기라인 아셈블리는 진공펌프(110)를 통해 배기되는 공정쳄버(109)의 반응가스를 배기수단(111)으로 배기시키기 위해 진공펌프(110)와 배기수단(111)사이에 형성된다.4 is a view showing an exhaust line assembly of the present invention mounted on an etching apparatus for manufacturing a semiconductor. The exhaust line assembly exhausts the reaction gas of the process chamber 109 exhausted through the vacuum pump 110. It is formed between the vacuum pump 110 and the exhaust means 111 to evacuate.
상기 배기라인 아셈블리는 공정쳄버(109)내부를 진공시키는 진공펌프(110)와 연결된 배기관(101)과, 상기 배기관(101)과 일측이 연결되고, 타측이 배기수단(111)에 연결되는 벨로우즈(106)와, 상기 배기관(101)과 상기 벨로우즈(106)를 서로 접합시켜주는 클램프(102)로 이루어진다.The exhaust line assembly is an exhaust pipe 101 connected to a vacuum pump 110 for vacuuming the inside of the process chamber 109, and one side of the exhaust pipe 101 is connected, and a bellows of which the other side is connected to the exhaust means 111. And a clamp 102 for joining the exhaust pipe 101 and the bellows 106 to each other.
또한, 벨로우즈(106)와 배기수단(111)사이에는 보조진공펌프(114)가 형성되어 있다.In addition, an auxiliary vacuum pump 114 is formed between the bellows 106 and the exhaust means 111.
이때, 상기 벨로우즈(102)를 사용하는 것은 진공펌프(110)의 펌핑모터가 회전하면서 발생되는 진동을 감쇄시키고, 배기라인 아셈블리의 이음형태에 유연성을 주기위해 형성된다.At this time, the use of the bellows 102 is formed to attenuate the vibration generated while the pumping motor of the vacuum pump 110 rotates, and to give flexibility to the joint shape of the exhaust line assembly.
제 5 도는 본 발명인 배기라인 아셈블리에 대한 부분 사시도이며, 제 6 도와 제 7 도는 제 5 도의 Ⅵ-Ⅵ방향 및 Ⅶ-Ⅶ방향의 단면도로, 단열재킷이 제거된 상태의 도면들이다.FIG. 5 is a partial perspective view of the exhaust line assembly of the present invention, and FIGS. 6 and 7 are cross-sectional views in the VI-VI direction and the V-X direction of FIG. 5, with the insulation jacket removed.
배기라인 아셈블리의 배기관(101)은 배기가스의 이동통로가 되는 내측배기관(101a)과, 상기 내측배기관(101a)에서 일정 간격 이격된 외측배기관(101b)으로 형성되어, 내부 공간을 갖는 이중 구조형태로 한다.The exhaust pipe 101 of the exhaust line assembly is formed of an inner exhaust pipe 101a serving as a movement path of the exhaust gas and an outer exhaust pipe 101b spaced apart from the inner exhaust pipe 101a by a predetermined interval, and has a double structure having an internal space. Form.
상기 내부 공간에는 내측 배기관(101a)을 감싸는 형태로 내열 실리콘 코팅처리된 열선(113a)이 내삽되는데, 히팅패드로 형성하여도 된다.The inner space is inserted into the heat-insulating silicone coating heat treatment 113a in a form surrounding the inner exhaust pipe (101a), it may be formed by a heating pad.
따라서, 상기 내측배기관(101a)과 외측배기관(101b)사이에는 열선(113a)이 형성되어 있어, 열선(113a)과 내측 배기관(101a)이 직접 접촉되는 부분은 열선(113a)에 의해 직접 가열되고, 직접 접촉되지 않는 부분은 열선(113a)에서 발산되는 열이 대류 또는 전도의 방법을 통해 전달되어 가열면적을 증대시켜 열전도율이 향상된다.Therefore, a heating wire 113a is formed between the inner exhaust pipe 101a and the outer exhaust pipe 101b, and a portion where the heating wire 113a and the inner exhaust pipe 101a directly contact are directly heated by the heating wire 113a. In the part not directly contacted, heat emitted from the hot wire 113a is transferred through the method of convection or conduction to increase the heating area, thereby improving the thermal conductivity.
또한, 상기 배기관(101)과 서로 맞대기 이음형태로 맞닿아지는 벨로우즈(106)는 열선(113b)을 벨로우즈(106)의 주름형태와 동일하게 길이방향으로 나란하게 내삽시켜 형성한다.In addition, the bellows 106 contacted with the exhaust pipe 101 in a butt joint form are formed by interpolating the hot wire 113b in the longitudinal direction side by side in the same manner as the bellows 106.
이때, 상기 열선(113b)은 벨로우즈(106)의 굴곡진 주름형태와 동일하게 굴곡지게 형성하여 단선등의 문제를 발생시키지 않도록 유연성을 갖게 하고, 굴곡진 주름형태로 벨로우즈(106)와 길이방향으로 나란하게 하나 이상으로 형성되어 있어 열전달면적을 증가시켜 열효율을 증대시키도록 한다.At this time, the hot wire 113b is formed to be bent in the same way as the bent bellows of the bellows 106 to have flexibility so as not to cause problems such as disconnection, and in the longitudinal direction with the bellows 106 in the bent bellows shape. It is formed in one or more side by side to increase the heat transfer area to increase the thermal efficiency.
상기 벨로우즈(106)와 상기 배기관(101)은 서로 맞대기 이음형태로 맞닿게 되는데, 맞대기 이음의 연결부위에는 배기가스의 누설을 방지하기 위해 오링(O-ring)(107)이 오링장착대(108)에 부착되어 있다.The bellows 106 and the exhaust pipe 101 are in contact with each other in the form of a butt joint, the connection portion of the butt joint O-ring (107) to prevent the leakage of exhaust gas O-ring mount 108 ) Is attached.
서로 맞대기 이음형태로 맞닿아진 상기 벨로우즈(106)와 상기 배기관(101)은 연결시 연결의 안정성을 유지시키기 위해 클램프(102)가 사용되는데, 상기 클램프(102)는 일측이 힌지결합된 제 1 및 2 잠금편(102a,102b)으로 이루어지진다.The bellows 106 and the exhaust pipe 101 abutted with each other in a butt joint form are used to maintain the stability of the connection when the clamp 102 is used, the clamp 102 is hinged on one side of the first And two locking pieces 102a and 102b.
제 8 도를 참조하면, 상기 제 1 잠금편(102a)에는 삽입형태의 잠금나사(103)가 위치하고, 제 2 잠금편(102b)에는 상기 제 1 잠금편(102a)이 힌지축을 기준으로 회전하여 결합되면 상기 잠금나사(103)와 접촉되는 위치에 삽입홈(104)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 8, the locking screw 103 of the insertion type is positioned on the first locking piece 102a, and the first locking piece 102a is rotated about the hinge axis on the second locking piece 102b. When coupled, the insertion groove 104 is formed in a position in contact with the locking screw 103.
따라서, 상기 제 1 잠금편(102a)을 상기 제 2 잠금편(102b)방향으로 힌지축을 기준으로 회전이동시켜 상기 잠금나사(103)를 상기 삽입홈(104)에 삽입시킨 다음, 상기 잠금나사(103)를 잠금방향으로 회전시키면 제 1 잠금편(102a)과 제 2 잠금편(102b)은 서로 결합되어 잠금상태로 되고, 상기 잠금나사(103)를 잠금 해제방향으로 회전시키면 잠금상태를 해제하여 상기 제 1 잠금편(102a)과 상기 제 2 잠금편(102b)을 개방시킬수 있다.Accordingly, the locking screw 103 is inserted into the insertion groove 104 by rotating the first locking piece 102a in the direction of the second locking piece 102b about the hinge axis, and then the locking screw ( When the 103 is rotated in the locking direction, the first locking piece 102a and the second locking piece 102b are engaged with each other to become a locked state. When the locking screw 103 is rotated in the unlocking direction, the locked state is released. The first locking piece 102a and the second locking piece 102b can be opened.
또한, 상기 제 1 및 2 잠금편(102a,102b)에는 열선(113c)이 매설되고, 열전달면적을 넓게 하기위해 폭방향의 크기를 크게 하여 맞대기 이음형태로 연결된 상기 배기관(101)과 상기 벨로우즈(106)와의 접촉면적을 크게한다.In addition, hot wires 113c are embedded in the first and second locking pieces 102a and 102b, and the exhaust pipe 101 and the bellows connected to each other in a butt joint form by increasing the width in the width direction in order to increase the heat transfer area. Increase the contact area with 106).
따라서, 상기 클램프(102)도 매설된 열선(113c)에 의해 가열이 되고, 잠금나사(103)가 제 1 잠금편(102a)의 외측 표면으로 돌출되지 않고, 삽입된 형태이므로 단열자켓(112)가 밀착되게 덮어씌워진다.Therefore, the clamp 102 is also heated by the embedded heating wire 113c, and the locking screw 103 does not protrude to the outer surface of the first locking piece 102a, and is inserted into the insulation jacket 112. Is covered tightly.
이와같이 상기 클램프(102)에 열선(113c)을 매설하고, 단열자켓(112)을 밀착되게 덮어씌울수 있게 되어 클램프(102)가 낮은 온도의 외부 환경에 노출되는 것을 방지하고, 일정한 온도로 유지되어 상기 클램프(102)에 의해 접합되는 상기 배기관(101)과 상기 벨로우즈(106)의 연결부위 내측에 발생되는 이물질의 증착이 억제된다.In this way, the heating wire 113c may be embedded in the clamp 102 and the insulation jacket 112 may be tightly covered to prevent the clamp 102 from being exposed to a low temperature external environment, and maintained at a constant temperature. Deposition of foreign matter generated inside the connection portion between the exhaust pipe 101 and the bellows 106 joined by the clamp 102 is suppressed.
또한, 증착되는 이물질의 양은 진공 펌프(110)와는 별도의 보조 펌프를 배기라인 아셈블리에 장착시켜 감소시킬수 있다.In addition, the amount of foreign matter deposited may be reduced by mounting an auxiliary pump separate from the vacuum pump 110 to the exhaust line assembly.
즉, 진공펌프(110)와 배기장치(111)사이에 형성되는 본 발명인 배기라인 아셈블리에서 배기장치(111)와 근접된 위치에 별도의 보조 펌프(114)를 장착시키면 된다.That is, in the exhaust line assembly according to the present invention formed between the vacuum pump 110 and the exhaust device 111, a separate auxiliary pump 114 may be mounted at a position close to the exhaust device 111.
따라서, 공정쳄버(109)내의 배기가스는 먼저 진공펌프(110)에 의해 배기되어 빠른 배기속도를 가진 상태에서 배기라인 아셈블리내로 유입되고, 상기 배기라인 아셈블리내로 유입되면서 배기속도가 저하된 배기가스는 보조펌프(114)에 의해 배기속도가 다시 증대되어 배기장치(111)로 배출되기 때문에 배기라인 아셈블리내에 머무르는 시간이 짧아지게 된다.Therefore, the exhaust gas in the process chamber 109 is first exhausted by the vacuum pump 110 to be introduced into the exhaust line assembly in a state having a high exhaust velocity, and the exhaust velocity is lowered while being introduced into the exhaust line assembly. Since the exhaust velocity is increased again by the auxiliary pump 114 and discharged to the exhaust apparatus 111, the gas staying in the exhaust line assembly is shortened.
상기에서 상술한 바와 같이, 본 발명인 배기라인 아셈블리는 배기관과 벨로우즈를 서로 연결시키는 클램프를 일정한 온도로 가열유지시킴으로써 배기가스에 포함된 이물질이 배기라인 아셈블리내에 증착되는 것이 방지되어 진공펌프에 과부하가 걸리는 것이 방지될뿐만 아니라 배기가스를 역류시켜 공정쳄버가 역류되는 이물질에 의해 오염되는 것이 방지된다.As described above, in the exhaust line assembly of the present invention, by maintaining the clamp connecting the exhaust pipe and the bellows to each other at a constant temperature, foreign matter contained in the exhaust gas is prevented from being deposited in the exhaust line assembly, thereby overloading the vacuum pump. Is prevented from being caught, and backflow of the exhaust gas is prevented from contaminating the foreign matter with the backflow of the process chamber.
그리고, 증착된 이물질을 제거하기 위해 정기적인 세정에 걸리는 시간적 손실을 크게 줄일수 있다.In addition, the time loss required for regular cleaning to remove the deposited foreign matter can be greatly reduced.
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