KR100275315B1 - Insulator composition for field emission device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An insulator composite for field emission display is provided to ward barrier rib in cell and forming a visible ray cut off member at sustain electrode. CONSTITUTION: A pair of a sustain electrode is composed of a transparent electrode to make a surface discharge being formed parallel to an upper substrate(24) and a bus electrode to minimize a resist of the transparent electrode. A barrier rib is formed to secure a cell space at a lower substrate(22). An address electrode is formed at the middle height of the barrier rib and makes an address discharge. A first dielectric layer is formed on the pair of the sustain electrode. A protection film is formed on the first dielectric layer. A second dielectric layer is formed on the address electrode and protects the address electrode from the discharge. A phosphor is sprayed on the barrier rib and the lower substrate(22).

Description

전계방출 소자용 절연체 조성물 (Composition of Insulator for Field Emission Element)Composition of Insulator for Field Emission Element

본 발명은 전계방출 소자에 관한 것으로, 특히 전계방출 소자용 절연체 조성물에 관한 것이다. 또한, 상기 절연체 조성물을 이용한 전계방출 소자에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission device, and more particularly to an insulator composition for a field emission device. The present invention also relates to a field emission device using the insulator composition.

통상적으로, 전계방출 표시장치(Field Emission Display ; 이하 "FED"라 함)는 구동전압을 공급하는 로오 드라이버(Raw Driver)와, 화상데이터를 공급하는 칼럼 드라이버(Column Driver)와, 상기 로오 및 칼럼 드라이버의 교차부에 매트릭스(Matrix) 구조로 형성된 화소(Pixel)를 구비한다. FED는 로오 드라이버(Raw Driver) 또는 칼럼 드라이버(Column Driver)로부터 공급되는 구동전압 또는 화상데이터에 따라 매트릭스 구조로 형성된 화소에서 전자가 방출되어 화상을 표시하게 된다. 이때, 각각의 화소(Pixel)에는 적색(Red; 이하 "R"라 함), 녹색(Green; 이하 "G"라 함), 청색(Blue;이하 "B"라 함)의 서브픽셀(Sub-Pixel)을 갖도록 구성되어 있으며, 상기 화소의 R, G, B에 각각에 형성된 캐소우드(Cathode) 전극과 상기 화소의 상부에 형성된 애노드 전극 사이에 고전계를 집중해 양자역학적인 터널(Tunnel) 효과에 의하여 전자가 방출되도록 한다. 상기 방출된 전자는 게이트 전압에 의해 가속되어 애노드(Anode) 전극의 하부에 형성된 형광체막과 충돌하여 형광체를 여기. 발광시켜 화상을 표시하게 된다. 한편, FED의 여러방식중 하나인 마이크로 팁(Micro Tip)방식의 경우는 박막 및 식각 공정을 활용한 스핀트 타입(Spindt Type)이 마이크로 팁을 제조하는 방법의 주류를 이루고 있으나, 스핀트 타입은 그 공정이 복잡함과 아울러 저전압용 형광체를 사용하기 때문에 성능 및 양산성을 고려할 때 상당한 문제점을 가지게 된다. 이로인해, 고전압용 형광체를 사용하고 제조공정이 마이크로 팁 방식에 비해 용이한 평면 전자원 방식 및 프린터블 전계방출(Printable Field Emission; 이하 "PFE"라 함) 방식을 사용하는 평면형 FED에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이하, 평면형 FED의 하나인 PFE에 대해서 살펴 보기로 한다. PFE는 전도성 입자를 포함한 페이스트(Paste)를 유리기판상의 전극 재료위에 도포,소성하여 형성된 프린터블 이미터(Printable Emitter)를 채용한 전계방출 소자이다.In general, a field emission display (hereinafter referred to as "FED") includes a row driver for supplying a driving voltage, a column driver for supplying image data, the row and column A pixel formed in a matrix structure is provided at the intersection of the driver. In the FED, electrons are emitted from pixels formed in a matrix structure according to a driving voltage or image data supplied from a raw driver or a column driver to display an image. At this time, each pixel Pixel has a sub-pixel of red (hereinafter referred to as "R"), green (hereinafter referred to as "G"), and blue (hereinafter referred to as "B"). Quantum mechanical tunnel effect by concentrating a high electric field between a cathode electrode formed on each of R, G, and B of the pixel and an anode electrode formed on the pixel. By means of emitting electrons. The emitted electrons are accelerated by the gate voltage and collide with the phosphor film formed under the anode electrode to excite the phosphor. The light is emitted to display an image. On the other hand, in the case of the micro tip method, which is one of FED's methods, the spindt type using a thin film and an etching process is the mainstream of the method of manufacturing the micro tip. In addition to the complexity of the process, there is a significant problem in considering performance and mass productivity because of the use of low voltage phosphors. Due to this, a study on a planar FED using a high voltage phosphor and a planar electron source method and a printable field emission (PFE) method, which are easier to manufacture than a micro tip method, has been conducted. It is actively underway. Hereinafter, the PFE, which is one of the planar FEDs, will be described. PFE is a field emission device that employs a printable emitter formed by coating and firing a paste containing conductive particles on an electrode material on a glass substrate.

도 1을 참조하면, PFE는 유리기판(2)의 상부에 형성되어 전도성을 갖는 도전층(4)과, 도전층(4)의 상부에 형성된 절연층(6)과, 상기 절연층(6)의 내부에 분포되어 전자를 방출하는 전도성 입자(8)를 구비한다. 도전층(4)과 절연층(6)의 상부에 위치한 전극(도시되지 않음)에 소정의 전압을 인가하면, 도전층(4)으로부터 전도성 입자(8)쪽으로 전자가 방출되며 전도성 입자(8)로 이동된 전자는 상기 전도성 입자(8)의 예리한 끝부위를 통하여 진공으로 방출된다. 도 2a 및 도 2b와 결부하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2a에 도시된 바와같이, 도전층(4)에 인가되는 전압에 의해 도전층(4)의 상부에 형성된 절연층(6)과 절연층(6)의 내부의 전도성 입자(8)에는 전계(Electric Field)가 형성된다. 도 2b에 도시된바와같이, 도전층(4)과 전도성 입자(8) 사이에는 전기력선(Electric Line of Force)이 집중되는 영역이 나타나게 된다. 또한, 상기 전기력선이 집중되는 영역에서는 브레이크다운(Breakdown)이 일어나 전기적으로 격리된 도전층(4)과 전도성 입자 (8) 사이에 도전 채널(Conducting Channel)이 형성된다. 이로인해, 상기 도전 채널을 통해 도전층(4)의 전자는 전도성 입자(8)로 방출되어진다. 한편, 전도성 입자 (8)로 방출된 전자로 인해 도전층(4)의 반대쪽(즉, 전도성 입자 의 상부)에는 전계가 형성되어 전기력선이 분포하게 된다. 이때, 전도성 입자 (8)의 예리한 끝부분에서는 전도성 입자(8)와 절연층(6)의 상부에 형성된 전극(도시되지 않음) 사이에 도전채널이 형성되어 전자가 진공으로 방출된다. 이때, 진공으로 방출된 전자는 형광체막과 충돌하여 형광체를 여기.발광시켜 화상을 표시하게 된다. 또한, 상기 절연층(6)은 전도성 입자를 포함한 페이스트(Paste)를 도전층(4)의 상부에 스핀 코팅(Spin Caoting), 스크린 프린팅(Screen Printing) 등의 방법으로 소정의 두께로 도포 및 소성하여 형성하게 된다. 또한, PFE는 도전층(4)의 상부에 형성된 절연층(6)과, 절연층(6)의 내부에 분포된 전도성 입자(8)와, 상기 절연층(6)의 상부에 형성된 진공영역을 갖도록 형성되어 "MIMIV(Metal-Insulator- Metal-Insulator- Vacuum; 이하 "MIMIV"라 함)구조"를 갖는다고 한다.Referring to FIG. 1, the PFE is formed on the glass substrate 2 and has a conductive conductive layer 4, an insulating layer 6 formed on the conductive layer 4, and the insulating layer 6. And conductive particles 8 which are distributed inside of and emit electrons. When a predetermined voltage is applied to the conductive layer 4 and the electrode (not shown) positioned above the insulating layer 6, electrons are emitted from the conductive layer 4 toward the conductive particles 8 and the conductive particles 8 are provided. The electrons transferred to the vacuum are emitted through the sharp end of the conductive particles 8. This will be described in detail with reference to FIGS. 2A and 2B. As shown in FIG. 2A, an electric field is applied to the insulating layer 6 formed on the conductive layer 4 and the conductive particles 8 inside the insulating layer 6 by the voltage applied to the conductive layer 4. Electric Field) is formed. As shown in FIG. 2B, an area in which an electric line of force is concentrated appears between the conductive layer 4 and the conductive particles 8. In addition, a breakdown occurs in a region where the electric line of force is concentrated, and a conducting channel is formed between the electrically isolated conductive layer 4 and the conductive particles 8. As a result, electrons in the conductive layer 4 are released to the conductive particles 8 through the conductive channel. On the other hand, due to the electrons emitted to the conductive particles 8, an electric field is formed on the opposite side of the conductive layer 4 (that is, the upper portion of the conductive particles) to distribute the electric field lines. At this time, at the sharp end of the conductive particles 8, a conductive channel is formed between the conductive particles 8 and an electrode (not shown) formed on the insulating layer 6 to emit electrons in a vacuum. At this time, the electrons emitted by the vacuum collide with the phosphor film to excite and emit the phosphor to display an image. In addition, the insulating layer 6 is coated and baked to a predetermined thickness by a paste including conductive particles on the conductive layer 4 by spin coating, screen printing, or the like. To form. In addition, the PFE includes an insulating layer 6 formed on the conductive layer 4, conductive particles 8 distributed in the insulating layer 6, and a vacuum region formed on the insulating layer 6. It is formed to have a "MIMIV (Metal-Insulator-Metal-Insulator-Vacuum)" structure (hereinafter referred to as "MIMIV").

그러나, 상기 페이스트는 수지(Resin) 계통의 것을 사용하므로, PFE의 구동중에 발생하는 열과, 상부 및 하부유리기판을 합착하는 실링(Sealing)공정에서 가열되는 400 - 450℃의 온도에 의해 페이스트가 열화되는 문제점이 도출되고 있다. 이로인해, 열에 의한 영향력을 최소화 할수 있는 유리 계통의 페이스트가 요구되고 있는 실정이다.However, since the paste is resin-based, the paste deteriorates due to the heat generated during the operation of the PFE and the temperature of 400-450 ° C. which is heated in the sealing process of joining the upper and lower glass substrates together. Problem is being derived. As a result, there is a demand for a glass-based paste capable of minimizing the influence of heat.

따라서, 본 발명의 목적은 열적 요구특성을 만족시키는 전계방출 소자용 절연체 조성물 및 제조방법을 제공 하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an insulator composition and a manufacturing method for a field emission device that satisfies thermal requirements.

또한, 본 발명의 다른 목적은 절연체 조성물을 이용한 전계방출 소자를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a field emission device using an insulator composition.

도 1은 프린터블 전계방출 소자의 구조를 도시한 도면.1 is a view showing the structure of a printable field emission device.

도 2a 및 도 2b는 도 1의 전자방출 과정을 도시한 도면.2A and 2B illustrate the electron emission process of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전계방출 소자의 절연체 제조공정 수순을 도시한 도면.3 is a view showing an insulator manufacturing process procedure of the field emission device according to the first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 전계방출 소자의 절연체 제조공정 수순을 도시한 도면.4 is a view showing an insulator manufacturing process procedure of the field emission device according to the second embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 전계방출 소자를 도시한 도면.5 is a view showing a field emission device according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

2,12 : 유리기판 4,14 : 도전층2,12 glass substrate 4,14 conductive layer

6,16 : 절연층 8,18 : 전도성 입자6,16: insulating layer 8,18: conductive particles

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 절연체 조성물은 SiO2-ZnO계 유리를 함유한다.In order to achieve the above object, the insulator composition according to the present invention contains SiO 2 -ZnO-based glass.

또한, 본 발명에 따른 절연체 조성물을 이용한 전계방출 소자는 SiO2-ZnO계 유리가 소정의 두께로 형성된 절연층을 구비한다.In addition, the field emission device using the insulator composition according to the present invention includes an insulating layer in which SiO 2 -ZnO-based glass is formed to a predetermined thickness.

또한, 본 발명에 따른 절연체 제조방법은, 비정질유리 분말을 형성하는 단계와, 분말에 전도성 입자 및 유기용매를 소정비율로 혼합하여 페이스트를 형성하는 단계와, 페이스트를 도전층이 형성된 기판에 소정의 두께로 도포하여 절연층을 형성하는 단계와, 기판을 소정온도로 소정시간 소결하는 단계를 포함한다.In addition, the method for manufacturing an insulator according to the present invention comprises the steps of forming an amorphous glass powder, mixing conductive particles and an organic solvent in the powder at a predetermined ratio to form a paste, and pasting the paste on a substrate on which the conductive layer is formed. Forming an insulating layer by applying a thickness; and sintering the substrate at a predetermined temperature for a predetermined time.

상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention other than the above object will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

전계방출 소자용 절연체의 제조방법에 대해서 설명하면, 비정질유리의 원재료(Raw Material)를 일정한 조성비로 혼합하고 용융시킨후 급속냉각함에 의해 미세한 입자를 갖는 분말을 형성한후, 상기 분말에 전도성입자 및 유기용매(Vehicle)를 소정비율로 혼합하여 페이스트(Paste)화 하게 된다. 상기 전도성 입자를 포함한 페이스트를 도전층이 형성된 유리기판에 소정의 두께로 도포하여 일정한 온도로 소결함에 의해 절연체를 형성하게 된다. 이렇게 제작된 절연체는 열적요구특성이 향상된다.The manufacturing method of the field-emitting device insulator will be described. After the raw material of amorphous glass is mixed and melted in a constant composition ratio to form a powder having fine particles by rapid cooling, the conductive particles and Organic solvent (Vehicle) is mixed in a predetermined ratio to make a paste (Paste). The paste including the conductive particles is applied to a glass substrate on which the conductive layer is formed to have a predetermined thickness and sintered at a constant temperature to form an insulator. The insulator manufactured in this way has improved thermal requirements.

이하에 본 발명에 따른 절연체의 조성비와 그 제조방법의 실시예를 설명하나, 본 발명의 범위가 이들 실시예들에 국한되는 것은 아님을 밝혀둔다.Hereinafter, the composition ratio of the insulator according to the present invention and an embodiment of the method of manufacturing the same will be described, but the scope of the present invention is not limited to these embodiments.

제1 실시예First embodiment

본 발명의 제1 실시예에서는 절연체의 조성물 및 그 제조방법에 대해서 설명하기로 한다. 절연체는 SiO2-ZnO계 비정질유리 분말의 조성물을 가지게 된다. 이때 SiO2-ZnO계 비정질유리 분말의 조성비가 표 1에 나타나 있다.In the first embodiment of the present invention, the composition of the insulator and the manufacturing method thereof will be described. The insulator will have a composition of SiO 2 -ZnO based amorphous glass powder. At this time, the composition ratio of the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass powder is shown in Table 1.

표 1에서의 조성비는 SiO2-ZnO계 비정질유리 분말유리의 무게를 100 중량%로하여 산출된 것이다.The composition ratio of Table 1 is the calculated to the weight of SiO 2 -ZnO-based glass powder, amorphous glass is 100% by weight.

SiO2-ZnO계 비정질유리 분말의 조성비Composition ratio of SiO 2 -ZnO based amorphous glass powder 비정질 유리Amorphous glass 중 량 %weight % ZnOZnO 20 - 4020-40 SiO2 SiO 2 15 - 2315-23 B2O3 B 2 O 3 10 - 2010-20 Na2ONa 2 O 3 - 83-8 K2OK 2 O 2 - 102-10 CaOCaO 1 - 51-5 Al2O3 Al 2 O 3 1 - 41-4 PbOPbO 0 - 250-25 Li2OLi 2 O 0 - 50-5 Sb2O3 Sb 2 O 3 0 - 40-4 As2O3 As 2 O 3 0 - 20-2

상기, SiO2-ZnO계 유리는 PbO의 함량이 낮은 저 PbO함량 유리로 소결시 저 소성온도를 갖게된다.The SiO 2 -ZnO-based glass has a low firing temperature when sintered to a low PbO content glass having a low PbO content.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 프린터블 전계방출 소자의 절연체 제조공정 수순을 도시한 도면이 도시되어 있다.Referring to FIG. 3, there is shown a diagram illustrating an insulator manufacturing process of a printable field emission device according to a first embodiment of the present invention.

SiO2-ZnO계 비정질유리의 분말을 형성한다(제21 단계) 상기 SiO2-ZnO계 비정질유리의 분말형성 과정에 대해서 상세히 설명하면, 첫 번째 공정에서 SiO2-ZnO계 비정질유리의 원재료(Raw Material)를 상기 표 1의 조성비에 따라 혼합한다. 상기 SiO2-ZnO계 비정질유리의 원재료(Raw Material)를 일정한 조성비에 따라 칭량하여 텀블링 믹서(Tumbling Mixer)에서 소정시간(예를들면, 10시간) 혼합하게 된다. 두 번째 공정에서 혼합된 원재료를 용융로에 투입하여 용융시킨다. 이때의 용융조건(Melting Condition)은 1000 - 1200℃에서 소정시간(예를들면, 1-5시간) 용융하며, 용융도중에 원재료가 골고루 용융되도록 2-3 차례 교반(Stirring)시킴에 의해 균질화되어 용융된 유리는 치밀한 조직을 가지게 된다. 세 번째 공정에서 용융된 유리를 급속냉각 시킴에 의해 미세한 입자를 갖는 분말을 형성시킨다. 상기 용융된 유리는 쿠엔칭 롤러(Quenching Roller)를 통과시킨후 급속냉각하면 미세한 크랙(Crack)을 갖는 파쇄유리(Cullets)가 생성되며, 이 파쇄유리를 볼밀링(Ball Milling)법에 의해 소정시간(예를들어, 16 시간) 밀링하고 #170, #270, #350 시버(Siver)를 순차적으로 통과시킴에 의해 입자크기가 약 6 ㎛이하의 양호한 입도분산을 갖는 분말을 만들 수 있다.Forming Powder of SiO 2 -ZnO Amorphous Glass (Step 21) The powder forming process of the SiO 2 -ZnO amorphous glass will be described in detail. In the first step, raw materials of SiO 2 -ZnO amorphous glass are used. Material) is mixed according to the composition ratio of Table 1. Raw material of the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass is weighed according to a predetermined composition ratio and mixed in a tumbling mixer for a predetermined time (for example, 10 hours). The raw materials mixed in the second process are put into a melting furnace and melted. Melting condition is melted for a predetermined time (for example, 1-5 hours) at 1000-1200 ℃, and homogenized by stirring 2-3 times so that raw materials are melted evenly during melting. The glass will have a dense structure. In the third process, the molten glass is rapidly cooled to form a powder having fine particles. When the molten glass is passed through a quenching roller and rapidly cooled, crushed glass having fine cracks is formed, and the crushed glass is subjected to a predetermined time by a ball milling method. By milling (eg, 16 hours) and sequentially passing through # 170, # 270, and # 350 sibers, a powder having a good particle size dispersion of about 6 μm or less can be made.

분말에 전도성 입자 및 유기용매(Vehicle)를 소정비율로 혼합하여 전도성 입자를 포함한 페이스트(Paste) 또는 슬러리(Slurry)를 형성한다.(제22 단계) 페이스트 형성과정에 대해서 상세히 설명하면, 상기 분말에 전도성 입자와 유기용매(Vehicle)를 일정비율로 혼합하여 전도성 입자를 포함한 페이스트를 만든다. 이때의 유기용매(Vehicle)는 BCA(Butyl-Carbitol-Acetate; 이하 "BCA"라 함),BC(Butyl-Carbitol; 이하 "BC"라 함) 및 EC(Ethyl-Cellulose; 이하 "EC"라 함)가 일정비율로 혼합된 유기용매를 사용하며, 이중 EC의 양에 의해서 페이스트의 점도가 변화되어 리올리지(Rheology) 및 소결특성에 영향을 주므로 EC의 혼합비율은 10%가 바람직하다. 또한, BCA의 혼합비율은 60%, BC의 혼합비율은 20%가 바람직 하다. 이때 페이스트(Paste)의 점도는 70000 - 100,000 CPS가 바람직하며, 슬러리(Slurry)의 점도는 700 - 1,000 CPS가 바람직하다. 또한, 페이스트는 스크린 프린팅(Screen Printing)용으로 사용되며, 슬러리는 테이프 캐스팅(Tape Casting)용 또는 스핀 코팅(Spin Coating)용으로 사용된다.The conductive particles and the organic solvent are mixed in the powder at a predetermined ratio to form a paste or slurry containing the conductive particles. The conductive particles and the organic solvent (Vehicle) are mixed at a ratio to make a paste containing the conductive particles. At this time, the organic solvent (Vehicle) is referred to as BCA (Butyl-Carbitol-Acetate; "BCA"), BC (Butyl-Carbitol; "BC") and EC (Ethyl-Cellulose; "EC" The organic solvent mixed with a predetermined ratio is used, and since the viscosity of the paste is changed by the amount of EC, it affects the rheology and sintering characteristics, so the mixing ratio of EC is preferably 10%. In addition, the mixing ratio of BCA is 60%, BC is preferably 20%. At this time, the viscosity of the paste is preferably 70000-100,000 CPS, and the viscosity of the slurry is preferably 700-1,000 CPS. In addition, the paste is used for screen printing, and the slurry is used for tape casting or spin coating.

전도성 입자를 포함한 페이스트를 도전층이 형성된 유리기판의 상부에 소정의 두께로 도포하여 절연체층을 형성(제23 단계)한후, 소정온도에 소정시간 소결한다.(제24 단계) 절연체층은 도전층이 형성된 유리기판의 상부에 전도성 입자를 포함한 페이스트 또는 슬러리를 스크린 프린팅, 테이프 캐스팅 및 스핀 코팅 방법들중 하나를 선택하여 소정의 두께로 형성하게 된다. 이때, 전도성 입자의 재질로는 흑연 등의 탄소화합물, 금속, 전도성 물질등이 사용된다. 또한, 절연체층이 형성된 유리기판을 드라이 오븐에서 소정시간(예를들어 20분) 건조한후 가열로에 건조된 유리기판을 투입하여 결정화 온도에 따라 소결하여 절연체층을 형성하게 된다. 이때, 드라이오븐에서는 페이스트 내에 함유된 유기물이 소거된다. 상기 소결온도는 혼합분말에 대한 DTA(Differential Thermal Analysis; 이하 "DTA"라 함)분석 으로부터 결정화 온도를 정하게 되며, SiO2-ZnO계의 경우 소결온도를 500-580℃로 설정하여 소정시간(예를들면, 15-30분) 소결하는 것이 바람직 하다. 이에따라, 열적 요구특성을 만족시키는 절연체층을 형성하게 된다.A paste containing conductive particles is coated on the glass substrate on which the conductive layer is formed to a predetermined thickness to form an insulator layer (Step 23), and then sintered at a predetermined temperature for a predetermined time (Step 24). The paste or slurry containing conductive particles is formed on the formed glass substrate to have a predetermined thickness by selecting one of screen printing, tape casting, and spin coating methods. In this case, as the material of the conductive particles, carbon compounds such as graphite, metals, conductive materials, and the like are used. In addition, the glass substrate on which the insulator layer is formed is dried in a dry oven for a predetermined time (for example, 20 minutes), and then the dried glass substrate is introduced into a heating furnace and sintered according to the crystallization temperature to form an insulator layer. At this time, the organic substance contained in the paste is erased in the dry oven. The sintering temperature determines the crystallization temperature from the DTA (Differential Thermal Analysis; "DTA") analysis of the mixed powder, and in the case of SiO 2 -ZnO system by setting the sintering temperature to 500-580 ℃ For example, 15-30 minutes). Accordingly, an insulator layer is formed that satisfies the thermal requirements.

제2 실시예Second embodiment

본 발명의 제2 실시예에서는 절연체의 조성물 및 그 제조방법에 대해서 설명하기로 한다. 절연체는 SiO2-ZnO계 비정질유리 분말에 산화물 충진제 분말을 소정의 비로 혼합한 혼합분말의 조성물을 가지게 된다. 이때 SiO2-ZnO계 비정질유리 분말의 조성비가 표 1에 나타나 있으며, SiO2-ZnO계 비정질유리에 첨가되는 충진제의 조성비가 표 2에 나타나 있다. 표 2에서의 조성비는 SiO2-ZnO계 비정질유리의 무게를 100 중량%로하여 산출된 것이다.In the second embodiment of the present invention, the composition of the insulator and the manufacturing method thereof will be described. The insulator has a composition of a mixed powder in which the oxide filler powder is mixed with the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass powder in a predetermined ratio. The composition ratio of the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass powder is shown in Table 1, and the composition ratio of the filler added to the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass is shown in Table 2. Composition ratio in Table 2 was determined by the weight of SiO 2 -ZnO-based amorphous glass to 100% by weight.

SiO2-ZnO계 비정질유리에 첨가되는 충진제의 조성비Composition ratio of filler added to SiO 2 -ZnO based amorphous glass 충진제Filler TiO2 TiO 2 Al2O3 Al 2 O 3 Mg2Al3(AlSi5O18)Mg 2 Al 3 (AlSi 5 O 18 ) LiAl(Si2O6)LiAl (Si 2 O 6 ) 중량%weight% 0 - 150-15

상기 SiO2-ZnO계 비정질유리에 첨가되는 충진제에 대해서 예를들어 설명하면, Al2O3는 낮은 열팽창계수를 갖는 절연체를 형성하도록 한다. 이를 상세히 설명하면, 비정질유리의 열팽창계수는 101 X 10-7/℃이고 Al2O3의 열팽창계수는 70 X 10-7/℃이며, 상기 비정질유리에 Al2O3를 첨가하여 형성된 절연체의 열팽창계수는 85-90 X 10-7/℃로 유리기판(소다석회 유리)의 열팽창계수인 83-85 X 10-7/℃에 근사하게 된다. 한편, TiO2, Al2O3, Mg2Al3(AlSi5O18), LiAl(Si2O5)를 비정질유리에 모두 첨가하여 절연체를 형성할수도 있으며, 절연체에서 요구되는 특성에 따라 비정질유리에 상기 TiO2, Al2O3, Mg2Al3(AlSi5O18), V2O5및 LiAl(Si2O5)를 선택적으로 첨가하여 절연체를 형성할수도 있다.For example, the filler added to the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass, Al 2 O 3 to form an insulator having a low coefficient of thermal expansion. In detail, the thermal expansion coefficient of amorphous glass is 101 X 10 -7 / ℃ and the thermal expansion coefficient of Al 2 O 3 is 70 X 10 -7 / ℃, the insulator formed by adding Al 2 O 3 to the amorphous glass The coefficient of thermal expansion is 85-90 × 10 −7 / ° C., approximating the thermal expansion coefficient of 83-85 × 10 −7 / ° C. of the glass substrate (soda lime glass). Meanwhile, TiO 2 , Al 2 O 3 , Mg 2 Al 3 (AlSi 5 O 18 ) and LiAl (Si 2 O 5 ) may be added to the amorphous glass to form an insulator, and according to the characteristics required for the insulator TiO 2 , Al 2 O 3 , Mg 2 Al 3 (AlSi 5 O 18 ), V 2 O 5 and LiAl (Si 2 O 5 ) may be selectively added to glass to form an insulator.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프린터블 전계방출 소자의 절연체 제조공정 수순을 도시한 도면이 도시되어 있다.Referring to FIG. 4, there is shown a diagram illustrating an insulator manufacturing process of a printable field emission device according to a second embodiment of the present invention.

SiO2-ZnO계 비정질유리 분말과 충진제 분말을 혼합하여 혼합분말을 형성한다(제31 단계) 상기 SiO2-ZnO계 비정질유리의 분말형성 과정은 도 3과 동일하므로 상세히 설명은 생략하기로 한다. 또한, 상기 비정질유리 분말에 표 2의 조성비에 따라 충진제를 선택적으로 첨가하여 텀블링 믹서(Tumbling Mixer)에서 소정시간(예를들면, 7시간) 혼합하여 혼합분말을 형성하게 된다.SiO 2 -ZnO-based amorphous glass powder and the filler powder is mixed to form a mixed powder (step 31) The powder forming process of the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass is the same as in Fig. 3 and will not be described in detail. In addition, the filler is selectively added to the amorphous glass powder according to the composition ratio of Table 2 to form a mixed powder by mixing a predetermined time (for example, 7 hours) in a tumbling mixer.

혼합분말에 전도성 입자 및 유기용매(Vehicle)를 소정비율로 혼합하여 전도성 입자를 포함한 페이스트(Paste) 또는 슬러리(Slurry)를 형성한다.(제32 단계) 전도성 입자를 포함한 페이스트 형성과정에 대해서 상세히 설명하면, 상기 혼합분말에 전도성 입자 및 유기용매(Vehicle)를 일정비율로 혼합하여 페이스트 상태를 만든다. 이때의 유기용매(Vehicle)는 BCA(Butyl-Carbitol-Acetate; 이하 "BCA"라 함),BC(Butyl-Carbitol; 이하 "BC"라 함) 및 EC(Ethyl-Cellulose; 이하 "EC"라 함)가 일정비율로 혼합된 유기용매를 사용하며, 이중 EC의 양에 의해서 페이스트의 점도가 변화되어 리올리지(Rheology) 및 소결특성에 영향을 주므로 EC의 혼합비율은 10%가 바람직하다. 또한, BCA의 혼합비율은 60%, BC의 혼합비율은 20%가 바람직 하다. 이때 페이스트(Paste)의 점도는 70000 - 100,000 CPS가 바람직하며, 슬러리(Slurry)의 점도는 700 - 1,000 CPS가 바람직하다. 또한, 페이스트는 스크린 프링팅(Screen Printing)용으로 사용되며, 슬러리는 테이프 캐스팅(Tape Casting)용 또는 스핀 코팅(Spin Coating)용으로 사용된다.Conductive particles and organic solvent (Vehicle) are mixed in the mixed powder at a predetermined ratio to form a paste or slurry containing the conductive particles (step 32). When the conductive powder and the organic solvent (Vehicle) is mixed in a predetermined ratio to the mixed powder to form a paste state. At this time, the organic solvent (Vehicle) is referred to as BCA (Butyl-Carbitol-Acetate; "BCA"), BC (Butyl-Carbitol; "BC") and EC (Ethyl-Cellulose; "EC" The organic solvent mixed with a predetermined ratio is used, and since the viscosity of the paste is changed by the amount of EC, it affects the rheology and sintering characteristics, so the mixing ratio of EC is preferably 10%. In addition, the mixing ratio of BCA is 60%, BC is preferably 20%. At this time, the viscosity of the paste is preferably 70000-100,000 CPS, and the viscosity of the slurry is preferably 700-1,000 CPS. In addition, the paste is used for screen printing and the slurry is used for tape casting or spin coating.

전도성 입자를 포함한 페이스트를 도전층이 형성된 유리기판의 상부에 소정의 두께로 도포하여 절연체층을 형성(제23 단계)한후, 소정온도에 소정시간 소결한다.(제24 단계) 절연체층은 도전층이 형성된 유리기판의 상부에 전도성 입자가 함유된 페이스트 또는 슬러리를 스크린 프린팅, 테이프 캐스팅 및 스핀 코팅 방법들중 하나를 선택하여 소정의 두께로 형성하게 된다. 이때, 전도성 입자의 재질로는 흑연 등의 탄소화합물, 금속, 전도성 물질등이 사용된다. 또한, 절연체층이 형성된 유리기판을 드라이 오븐에서 소정시간(예를들어 20분) 건조한후 가열로에 건조된 유리기판을 투입하여 결정화 온도에 따라 소결하여 절연체층을 형성하게 된다. 이때, 드라이오븐에서는 페이스트 내에 함유된 유기물이 소거된다. 상기 소결온도는 혼합분말에 대한 DTA(Differential Thermal Analysis; 이하 "DTA"라 함)분석 으로부터 결정화 온도를 정하게 되며, SiO2-ZnO계의 경우 소결온도를 500-580℃로 설정하여 소정시간(예를들면, 15-30분) 소결하는 것이 바람직 하다. 이에따라, 열적 요구특성을 만족시키는 절연체층을 형성하게 된다.A paste containing conductive particles is coated on the glass substrate on which the conductive layer is formed to a predetermined thickness to form an insulator layer (Step 23), and then sintered at a predetermined temperature for a predetermined time (Step 24). The paste or slurry containing conductive particles on the formed glass substrate is formed to have a predetermined thickness by selecting one of screen printing, tape casting and spin coating methods. In this case, as the material of the conductive particles, carbon compounds such as graphite, metals, conductive materials, and the like are used. In addition, the glass substrate on which the insulator layer is formed is dried in a dry oven for a predetermined time (for example, 20 minutes), and then the dried glass substrate is introduced into a heating furnace and sintered according to the crystallization temperature to form an insulator layer. At this time, the organic substance contained in the paste is erased in the dry oven. The sintering temperature determines the crystallization temperature from the DTA (Differential Thermal Analysis; "DTA") analysis of the mixed powder, and in the case of SiO 2 -ZnO system by setting the sintering temperature to 500-580 ℃ For example, 15-30 minutes). Accordingly, an insulator layer is formed that satisfies the thermal requirements.

한편, 상기와 같은 제조방법에 의해 SiO2-ZnO계 비정질유리에 충진제를 첨가하여 형성된 절연체층의 특성이 표 3에 나타나 있다.On the other hand, the characteristics of the insulator layer formed by adding a filler to the SiO 2 -ZnO-based amorphous glass by the above manufacturing method is shown in Table 3.

SiO2-ZnO계 비정질유리에 충진제를 첨가한 절연체층의 특성Characteristics of Insulator Layer Added with Filler in SiO 2 -ZnO-based Amorphous Glass 내전압(KV)Withstand voltage (KV) 1.51.5 열팽창 계수(10-7/℃)Thermal expansion coefficient (10 -7 / ℃) 78-8778-87 소결온도(℃)Sintering Temperature (℃) 500-580500-580 표면조도(100㎛,Å)Surface Roughness (100㎛, Å) 30003000

상기와 같은 방법으로 형성된 절연체층은 열에 의한 영향력을 최소화 함과 아울러 열팽창 게수가 향상된다.The insulator layer formed by the above method minimizes the influence of heat and improves the coefficient of thermal expansion.

도 5를 참조하면,본 발명에 따른 전계방출 소자는 유리기판(12)의 상부에 형성되어 전도성을 갖는 도전층(14)과, 도전층(14)의 상부에 소정의 두께로 형성된 절연층(16)과, 상기 절연층(16)의 내부에 분포되어 전자를 방출하는 전도성 입자(18)를 구비한다. 이때, 전도성 입자의 재질로는 흑연 등의 탄소화합물, 금속, 전도성 물질등이 사용된다. 상기 절연층(18)은 SiO2-ZnO계 비정질유리 또는 SiO2-ZnO계 비정질유리에 충진제를 첨가한 조성물로 형성되어 구동중에 발생하는 열과, 상부 및 하부유리기판을 합착하는 실링(Sealing)공정에서 가열되는 온도에 의해 페이스트가 열화되는 것을 방지하므로 열적 요구특성을 만족 시키게 된다.Referring to FIG. 5, the field emission device according to the present invention includes a conductive layer 14 formed on the glass substrate 12 to have conductivity and an insulating layer formed on the conductive layer 14 to have a predetermined thickness. 16) and conductive particles 18 distributed within the insulating layer 16 to emit electrons. In this case, as the material of the conductive particles, carbon compounds such as graphite, metals, conductive materials, and the like are used. The insulating layer 18 is an amorphous SiO 2 -ZnO-based glass or a SiO 2 -ZnO system is formed by an amorphous glass composition was added to the filler in the sealing of the column and attached to each other, the upper and lower glass substrates that may occur during the driving (Sealing) process It prevents the paste from deteriorating due to the temperature heated at, thereby satisfying the thermal requirements.

상술한 바와같이, 본 발명에 따른 절연체 조성물은 열에 의한 영향력을 최소화 할수 있는 장점이 있다.As described above, the insulator composition according to the present invention has an advantage of minimizing the influence of heat.

또한, 본발명에 따른 절연체 조성물을 이용한 전계방출 소자는 열에 의한 영향력을 최소화 함과 아울러, 열팽창특성을 향상시킬수 있는 장점이 있다.In addition, the field emission device using the insulator composition according to the present invention has the advantage of minimizing the influence of heat and improving the thermal expansion characteristics.

이상 설명한 내용을 통해 당업자 라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

전계방출 소자용 절연체 조성물에 있어서,In the insulator composition for a field emission device, 상기 절연체 조성물이 SiO2-ZnO계 유리를 함유하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 조성물.Insulator composition for a field emission device, characterized in that the insulator composition contains a SiO 2 -ZnO-based glass. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연체 조성물은 SiO2-ZnO계 유리분말에 충진제로 산화물분말을 섞어 형성되는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 조성물.The insulator composition is an insulator composition for a field emission device, characterized in that the oxide powder is formed by mixing the SiO 2 -ZnO-based glass powder with a filler. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 SiO2-ZnO계 유리는 20 내지 40 중량%의 ZnO와, 15 내지 23 중량%의 SiO2와, 10 내지 20 중량%의 B2O3와, 3 내지 8 중량%의 Na2O와, 2 내지 10 중량%의 K2O와, 1 내지 5 중량%의 CaO와, 1 내지 4 중량%의 Al2O3와, 0 내지 25 중량%의 PbO와, 0 내지 5 중량%의 Li2O와, 0 내지 4 중량%의 Sb2O3와, 0 내지 2 중량%의 As2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 조성물.The SiO 2 -ZnO-based glass is 20 to 40% by weight of ZnO, 15 to 23% by weight of SiO 2 , 10 to 20% by weight of B 2 O 3 , 3 to 8% by weight of Na 2 O, 2 to 10 wt% K 2 O, 1 to 5 wt% CaO, 1 to 4 wt% Al 2 O 3 , 0 to 25 wt% PbO and 0 to 5 wt% Li 2 O And 0 to 4% by weight of Sb 2 O 3 and 0 to 2% by weight of As 2 O 3 . 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 충진제가 0 내지 15 중량%의 Al2O3, TiO2, Mg2Al3(AlSi5O18) 및 LiAl(Si2O6)중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 조성물.For the field emission device characterized in that the filler comprises at least one or more of 0 to 15% by weight of Al 2 O 3 , TiO 2 , Mg 2 Al 3 (AlSi 5 O 18 ) and LiAl (Si 2 O 6 ) Insulator composition. 프린터블 전계방출 소자에 있어서,In the printable field emission device, SiO2-ZnO계 유리가 소정의 두께로 형성된 절연층을 구비하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자.A field emission device comprising: an SiO 2 -ZnO-based glass having an insulating layer formed to a predetermined thickness. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 절연층이 SiO2-ZnO계 유리에 0 내지 15 중량%의 충진제를 첨가하여 형성된 것을 특징으로 하는 전계방출 소자.The insulating layer is a field emission device, characterized in that formed by adding a filler of 0 to 15% by weight to the SiO 2 -ZnO-based glass. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 SiO2-ZnO계 유리는 20 내지 40 중량%의 ZnO와, 15 내지 23 중량%의 SiO2와, 10 내지 20 중량%의 B2O3와, 3 내지 8 중량%의 Na2O와, 2 내지 10 중량%의 K2O와, 1 내지 5 중량%의 CaO와, 1 내지 4 중량%의 Al2O3와, 0 내지 25 중량%의 PbO와, 0 내지 5 중량%의 Li2O와, 0 내지 4 중량%의 Sb2O3와, 0 내지 2 중량%의 As2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출 소자.The SiO 2 -ZnO-based glass is 20 to 40% by weight of ZnO, 15 to 23% by weight of SiO 2 , 10 to 20% by weight of B 2 O 3 , 3 to 8% by weight of Na 2 O, 2 to 10 wt% K 2 O, 1 to 5 wt% CaO, 1 to 4 wt% Al 2 O 3 , 0 to 25 wt% PbO and 0 to 5 wt% Li 2 O And 0 to 4% by weight of Sb 2 O 3 and 0 to 2% by weight of As 2 O 3 . 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 충진제가 0 내지 15 중량%의 Al2O3, TiO2, Mg2Al3(AlSi5O18) 및 LiAl(Si2O6)중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자.The filler is a field emission device characterized in that it comprises at least one or more of 0 to 15% by weight of Al 2 O 3 , TiO 2 , Mg 2 Al 3 (AlSi 5 O 18 ) and LiAl (Si 2 O 6 ). 비정질유리 분말을 형성하는 단계와,Forming amorphous glass powder, 상기 분말에 전도성 입자 및 유기용매를 소정비율로 혼합하여 페이스트를 형성하는 단계와,Forming a paste by mixing conductive particles and an organic solvent in a predetermined ratio with the powder; 상기 페이스트를 도전층이 형성된 기판에 소정의 두께로 도포하여 절연층을 형성하는 단계와,Applying the paste to a substrate having a conductive layer to a predetermined thickness to form an insulating layer; 상기 기판을 소정온도로 소정시간 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 제조방법.And sintering the substrate at a predetermined temperature for a predetermined time. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 비정질유리 분말에 충진제로 0 내지 15중량%의 산화물 분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자용 절연체 제조방법.Method for producing an insulator for a field emission device characterized in that it further comprises the step of mixing the amorphous glass powder with an oxide powder of 0 to 15% by weight as a filler to form a mixed powder.
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