KR100268039B1 - Sampling device and method for analysis of chemical chemicals for semiconductor - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A sample extracting apparatus and a method for analysis of semiconductor chemicals are provided to be capable of preventing contamination and shortening working time while assuring safety by extracting the chemicals within a drum from sampling tanks using a vacuum pump. CONSTITUTION: Samples of the chemicals extracted from a drum(50) in which the chemicals to be analyzed is stored are stored in a plurality of sampling tanks(20). A flexible hose(70) suitable for the chemicals is connected to the sampling tank(20). A vacuum pump(40) is acted as a power source for extracting the chemicals from the drum(50). A control box(30) controls the operation of the vacuum pump(40). A branch pipe(80) is connected to the vacuum pump and is branched into several lines to be connected to the plurality of sampling tanks and to have respectively check valves(82).

Description

반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치 및 방법Sampling device and method for analysis of chemical chemicals for semiconductor

본 발명은 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시료 채취의 신뢰도의 향상과 이에 따른 분석 결과의 신뢰도를 향상할 뿐만 아니라 작업자의 안전을 기할 수 있는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sampling device and method for the analysis of chemical chemicals for semiconductors, and more particularly, to improve the reliability of the sampling and accordingly improve the reliability of the analysis results, as well as to improve the safety of the operator It relates to a sampling device and method for the analysis of chemical chemicals.

잘 알려진 바와 같이, 반도체를 제조하는 데는 여러 가지 화공 약품이 사용되고 있다. 이러한 화공 약품들은 그 용도에 따라 반도체 제조에 적합한 지를 파악하기 위하여, 수입되는 화공 약품을 분석하는 바, 이 과정에서 첫째, 오염 방지, 둘째, 안정성, 셋째, 작업시간 단축 및 넷째, 편리성 등을 고려하는 것이 가장 중요한 것이다.As is well known, a variety of chemicals are used to manufacture semiconductors. In order to determine whether these chemicals are suitable for semiconductor manufacturing according to their use, the chemicals imported are analyzed. In this process, first, pollution prevention, second, stability, third, reduction of working time and fourth, convenience, etc. It is the most important thing to consider.

하지만, 종래에는 수입된 화공 약품이 들어 있는 드럼에 직접 진공캡을 씌우고, 이 상태에서 직접 분석 시료를 추출하는 방식이므로, 작업이 불편하고, 유독 가스를 용이하게 해소하지 못하므로서 안전성에 문제가 있었다.However, in the related art, the vacuum cap is directly put on the drum containing the imported chemicals, and the analysis sample is directly extracted in this state, which makes the operation inconvenient and does not easily solve the toxic gas, thereby causing safety problems. .

따라서, 본 발명은 이에 따라 안출된 것으로, 그 목적은 안전성을 확보하면서도 오염을 방지하고 작업시간을 단축할 수 있는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료를 용이하게 추출할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made in accordance with the present invention, the object is to provide a device and method that can easily extract a sample for analysis of chemical chemicals for semiconductors that can prevent contamination and shorten the working time while ensuring safety It is.

이러한 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채치장치는 분석하고자 하는 화공 약품이 저장된 드럼으로부터 추출된 상기 화공 약품의 시료를 저장하는 복수개의 샘플링 탱크와, 상기 화공 약품에 적합한 샘플링 탱크에 연결되는 가요성 호스과, 상기 드럼으로부터 상기 화공 약품을 추출하는 동력원으로서의 진공 펌프와, 상기 진공 펌프의 작동을 제어하는 콘트롤 박스와, 일단이 상기 진공 펌프와 연결되고, 타단은 분기되어 상기 복수개의 샘플링 탱크의 각각에 연결되며, 각 관마다 역류방지밸브가 설치된 분기관으로 이루어져서,As a means for achieving the above object, the sample collecting device for the analysis of chemical chemicals for semiconductor of the present invention comprises a plurality of sampling tanks for storing the sample of the chemicals extracted from the drum in which the chemicals to be analyzed are stored; A flexible hose connected to a sampling tank suitable for chemical chemicals, a vacuum pump as a power source for extracting the chemical chemicals from the drum, a control box for controlling the operation of the vacuum pump, and one end connected to the vacuum pump, the other end Is branched and connected to each of the plurality of sampling tanks, and each of the pipes includes a branch pipe provided with a non-return valve.

상기 진공 펌프의 작동에 의해 상기 드럼으로 부터의 상기 화공 약품을 선택적으로 상기 복수개의 샘플링 탱크의 하나에 추출하는 것을 특징으로 한다.The chemicals from the drum are selectively extracted into one of the plurality of sampling tanks by operation of the vacuum pump.

또한 본 발명의 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취방법은 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 가요성 호스과, 시료채취병을 청정하는 단계와, 상기 가요성 호스를 상기 화공 약품이 들어있는 드럼에 일단을 연결하고, 타단은 상기 화공 약품에 적합한 재질의 샘플링 탱크에 연결한 후, 상기 샘플링 탱크내에 상기 시료채취병을 설치하고, 당해 샘플링 탱크에 연결된 분기관의 역류 방지밸브는 개방하고, 나머지 샘플링 탱크에 연결된 역류방지밸브는 폐쇄하는 단계와, 콘트롤 박스를 조작하여 진공 펌프를 작동하는 단계와, 상기 샘플링 탱크내의 상기 시료채취병에 상기 화공 약품이 소정량 추출된 것을 확인하고 상기 진공 펌프를 정지하는 단계와, 상기 샘플링 탱크로부터 상기 시료 채취병을 추출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the sampling method for the analysis of the chemical chemicals for semiconductor of the present invention, the flexible hose suitable for the chemical chemicals to be analyzed, the step of cleaning the sampling bottle, and the flexible hose once in the drum containing the chemical chemicals The other end is connected to a sampling tank made of a material suitable for chemical chemicals, the sampling bottle is installed in the sampling tank, the backflow prevention valve of the branch pipe connected to the sampling tank is opened, and the remaining sampling tank is opened. A check valve connected to the valve; closing the check valve, operating a control box to operate a vacuum pump, checking that the chemicals are extracted from the sampling bottle in the sampling tank, and stopping the vacuum pump. And extracting the sampling bottle from the sampling tank. .

이와 같은 본 발명의 시료 채취장치 및 방법에 의하면, 드럼내의 화공 약품을 진공 펌프를 이용하여 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 샘플링 탱크내에서 추출함으로서 안전성이 확보되고, 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 가요성 호스를 청정한 후 당해 샘플링 탱크에 연결함으로서 오염을 방지하고 가요성 호스만을 교체하면, 다른 화공 약품을 채취할 수 있으므로, 작업시간을 단축할 수 있게 된다.According to the sampling device and method of the present invention as described above, by extracting the chemical chemicals in the drum in a sampling tank suitable for the chemicals to be analyzed using a vacuum pump, the safety is secured, and the flexibility suitable for the chemicals to be analyzed By cleaning the hose and connecting it to the sampling tank to prevent contamination and replacing only the flexible hose, other chemicals can be collected, thereby reducing the working time.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치의 구성을 나타내는 개략도이고,1 is a schematic diagram showing the configuration of a sampling device for the analysis of chemical chemicals for semiconductors according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 샘플링 탱크를 나타내는 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating the sampling tank of FIG. 1. FIG.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10 : 카트 11 : 손잡이부10: cart 11: handle

12 : 상부 프레임부 13 : 시약 보관함12: upper frame portion 13: reagent storage

14 : 각부 15 : 커버14: parts 15: cover

16 : 바퀴 18 : 하부 프레임부16: wheel 18: lower frame portion

20 : 샘플링 탱크 22 : 탱크 본체20: sampling tank 22: tank body

24 : 유리창 25 : 연결관24: glass window 25: connector

26 : 뚜껑 27 : 배기관 밸브26: lid 27: exhaust pipe valve

30 : 콘트로 박스 40 : 진공 펌프30: Contro Box 40: Vacuum Pump

50 : 드럼 52 : 진공캡50: drum 52: vacuum cap

60 : 시료채취병 70 : 가요성 호스60: sampling bottle 70: flexible hose

72 : 콘넥터 74,82 : 역류방지 밸브72: connector 74,82: non-return valve

86 : 압력 게이지86: pressure gauge

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치 및 방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a sampling device and method for the analysis of chemical chemicals for semiconductors according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치를 도시하는 것으로, 도시된 바와 같이, 본 발명의 시료 채취장치는 카트(10)에 장착되므로서 이동이 편리하게 된다.Figure 1 shows a sampling device for the analysis of chemical chemicals for semiconductors according to a preferred embodiment of the present invention, as shown, the sampling device of the present invention is mounted on the cart 10 is convenient to move Done.

이러한 카트(10)는 상부 프레임부(12)와, 이 상부 프레임부(12)의 각 모서리에 각부(14)가 설치되고, 하부에는 바퀴(16)가 부착되어 있다. 이러한 각부(14)의 중간에는 하부 프레임부(18)가 장착된다. 또한 상부 프레임부(12)의 일측 단부에는 손잡이부(11)가 형성되고, 도면중 미설명 부호 (13)는 시약 보관함이고, (15)는 커버이다.The cart 10 has an upper frame portion 12, a corner portion 14 is provided at each corner of the upper frame portion 12, and a wheel 16 is attached to the lower portion. The lower frame portion 18 is mounted in the middle of the corner portion 14. In addition, a handle portion 11 is formed at one end of the upper frame portion 12, and reference numeral 13 in the figure is a reagent container, and 15 is a cover.

카트(10)의 상부 프레임부(12)의 상부에는 복수개의 샘플링 탱크(20)가 설치되고, 바닥의 일측에는 콘트롤 박스(30)가 부착되며, 하부 프레임부(18)에는 진공 펌프(40)가 설치되며, 샘플링 탱크(20)는 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 재질로 구성된다. 예를 들면, 제 1 샘플링 탱크(20)는 불산, 인산, 염산, 질산과 같은 산류에 적합하도록 테프론 재질로 만들고, 제 2 샘플링 탱크(20')는 암모니아와 같은 염기류에 적합하도록, 폴리프로필렌 재질로 만들며, 제 3 샘플링 탱크(20")에는 테트라 에틸과 같은 솔벤트류에 적합하도록, 스테인레스 스틸 재질로 만들어진다. 이와 같이, 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 샘플링 탱크를 선택하듯이 가요성 호스(70)을 선택하여, 이 가요성 호스(70)의 일단의 콘넥터(72)를 드럼(50)의 진공캡(52)과 연결하고, 역류방지 밸브(74)가 부착된 타단의 콘넥터(72)는 샘플링 탱크(20)에 연결한다. 또한, 각각의 샘플링 탱크(20)는 분기관(80)을 통해 진공 펌프(40)에 연결되며, 분기관(80)에는 각각 역류방지 밸브(82)가 설치된다. 또한 진공 펌프(40)에 연결된 분기관(80)에는 역류방지 밸브(82)의 하부에 압력 게이지(86)가 부착되어 있다.A plurality of sampling tanks 20 are installed at an upper portion of the upper frame portion 12 of the cart 10, a control box 30 is attached to one side of the bottom, and a vacuum pump 40 is attached to the lower frame portion 18. Is installed, the sampling tank 20 is made of a material suitable for chemicals to be analyzed. For example, the first sampling tank 20 is made of Teflon material to be suitable for acids such as hydrofluoric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid and nitric acid, and the second sampling tank 20 'is made of polypropylene material to be suitable for bases such as ammonia. The third sampling tank 20 "is made of stainless steel, suitable for solvents such as tetraethyl. Thus, the flexible hose 70 is selected as if the sampling tank is suitable for the chemical to be analyzed. To connect the connector 72 of one end of the flexible hose 70 to the vacuum cap 52 of the drum 50, and the connector 72 of the other end to which the non-return valve 74 is attached is sampled. It is connected to the tank 20. In addition, each sampling tank 20 is connected to the vacuum pump 40 through the branch pipe 80, the branch pipe 80 is provided with a non-return valve 82, respectively. In addition, the branch pipe (80) connected to the vacuum pump (40) has a check valve (8). The pressure gauge 86 is attached to the lower part of 2).

각각의 샘플링 탱크(20)는, 도 2로부터 잘 알 수 있는 바와 같이, 중공의 실린더 본체(22)에는 500 또는 1000ml의 시료채취병(60))이 내장되고, 이 본체(22)에 내장된 시료채취병(60)에 채취되는 양을 확인할 수 있도록 본체(22)의 벽면에 유리창(24)이 형성된다. 이 유리창(24)에는 추출량을 확인할 수 있도록 눈금이 그어진 것이 바람직하다. 한편, 본체(22)의 상부에는 개폐가능하게 뚜껑(26)이 형성되며, 이 뚜껑(26)에는 연결관(25)과 배기관 밸브(27)이 각각 형성되어, 드럼(50)의 화공 약품이 가요성 호스(70)과 연결된 연결관(25)을 통해 채취되며, 채취된 화공 약품의 유독가스는 배기관 밸브(27)을 통해 배출된다.As can be seen from FIG. 2, each sampling tank 20 has a 500 or 1000 ml sampling bottle 60 built into the hollow cylinder body 22, and is built into this body 22. A glass window 24 is formed on the wall surface of the main body 22 so that the amount collected in the sampling bottle 60 can be confirmed. It is preferable that the scale is drawn in this glass window 24 so that extraction amount can be confirmed. On the other hand, a lid 26 is formed on the upper portion of the main body 22 so as to be openable and closed, and the lid 26 is formed with a connecting pipe 25 and an exhaust pipe valve 27, respectively, and chemicals of the drum 50 are formed. It is collected through the connecting pipe 25 connected to the flexible hose 70, the toxic gas of the chemical chemicals collected is discharged through the exhaust pipe valve (27).

상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취방법을 설명하면 다음과 같다.Referring to the sampling method for analysis of the chemical chemicals for semiconductor of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 분석하고자 하는 화공 약품이 질산이라 하면, 질산에 적합한 테프론 재질의 가요성 호스(70)과, 시료채취병(60)을 질산 용액에 담가서 청정(cleaning)한다.First, if the chemicals to be analyzed are nitric acid, the flexible hose 70 and the sampling bottle 60 made of Teflon suitable for nitric acid are immersed in a nitric acid solution and cleaned.

이어서, 가요성 호스(70)의 일단의 콘넥터(72)를 질산이 들어있는 드럼(50)에 연결하고, 타단의 콘넥터(72)은 질산에 적합한 재질의 제 1 샘플링 탱크(20)에 연결한 후, 샘플링 탱크(20)의 뚜껑(26)을 열고, 시료채취병(60)을 설치한 다음, 뚜껑(26)을 닫은 다음, 제 1 샘플링 탱크(20) 및 진공 폄프(40)에 연결된 분기관(80)의 역류 방지밸브(82)는 개방하고, 나머지 샘플링 탱크(20', 20")에 연결된 역류방지밸브(82)는 폐쇄한다.Next, the connector 72 of one end of the flexible hose 70 is connected to the drum 50 containing nitric acid, and the connector 72 of the other end is connected to the first sampling tank 20 made of a material suitable for nitric acid. Then, the lid 26 of the sampling tank 20 is opened, the sampling bottle 60 is installed, the lid 26 is closed, and the powder connected to the first sampling tank 20 and the vacuum pump 40. The non-return valve 82 of the engine 80 is opened, and the non-return valve 82 connected to the remaining sampling tanks 20 ', 20 "is closed.

이 상태에서, 콘트롤 박스(30)를 조작하여 진공 펌프(40)를 작동하여 진공 게지지(86)의 바늘이 움직여서 적당히 진공이 걸리면, 제 1 샘플링 탱크(20) 및 진공 펌프(40)에 연결된 분기관(80)의 역류 방지 밸브(82)를 잠그고 진공 펌프(40)의 작동을 정지한 후, 가요성 호스(70)의 역류방지 밸브(74)를 서서히 개방하면, 드럼(50)내의 질산은 가요성 호스(70)를 통해 제 1 샘플링 탱크(20)내의 시료채취병(60)에 추출되고, 탱크(20)의 유리창(24)을 통해 추출되는 양을 확인한 다음 소정의 양이 추출되면, 신속히 가요성 호스(70)의 역류방지 밸브(74)를 폐쇄하고, 배기관 밸브(27)를 개방하여 화공 약품의 유독가스를 덕트(도시하지 않음)를 통해 배출한다.In this state, the control box 30 is operated to operate the vacuum pump 40 so that the needle of the vacuum cradle 86 moves and the vacuum is appropriately connected to the first sampling tank 20 and the vacuum pump 40. After closing the non-return valve 82 of the branch pipe 80 and stopping the operation of the vacuum pump 40, if the non-return valve 74 of the flexible hose 70 is gradually opened, the silver nitrate in the drum 50 When the amount is extracted to the sampling bottle 60 in the first sampling tank 20 through the flexible hose 70 and extracted through the glass window 24 of the tank 20, and then a predetermined amount is extracted, The non-return valve 74 of the flexible hose 70 is quickly closed, and the exhaust pipe valve 27 is opened to discharge toxic gas of chemicals through a duct (not shown).

이후, 제 1 샘플링 탱크(20)의 뚜껑(26)을 개봉하고, 시료채취병(60)을 꺼내어 뚜껑(26)을 닫으므로서 시료채취를 완료한다.Thereafter, the lid 26 of the first sampling tank 20 is opened, the sampling bottle 60 is taken out, and the sampling is completed while closing the lid 26.

상술한 바와 같이 본 발명의 시료채취장치는 드럼내의 화공 약품을 진공 펌프를 이용하여 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 샘플링 탱크내에서 추출함으로서 안전성이 확보되고, 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 가요성 호스를 청정한 후 당해 샘플링 탱크에 연결함으로서 시료채취과정에서의 오염 및 누출 가능성을 방지하고 분석 결과에 대한 신뢰도를 개선하여 위험성을 크게 줄였으며, 가요성 호스만을 교체하면, 다른 화공 약품을 채취할 수 있으므로, 작업시간을 단축할 수 있으며, 진공 펌프를 이용한 자동화 시스템으로서 작업의 편리성을 향상한 효과를 가진다.As described above, the sampling device of the present invention extracts the chemical chemicals in the drum in a sampling tank suitable for the chemicals to be analyzed by using a vacuum pump, thereby ensuring safety and providing a flexible hose suitable for the chemicals to be analyzed. By connecting to the sampling tank after cleaning, it prevents the possibility of contamination and leakage in the sampling process and improves the reliability of the analysis results, greatly reducing the risk, and by replacing only the flexible hose, other chemicals can be collected. The working time can be shortened and the automation system using the vacuum pump has the effect of improving the convenience of the work.

Claims (7)

반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치에 있어서,In the sampling device for analysis of chemical chemicals for semiconductor, 분석하고자 하는 화공 약품이 저장된 드럼으로부터 추출된 상기 화공 약품의 시료를 저장하는 복수개의 샘플링 탱크와,A plurality of sampling tanks for storing a sample of the chemical agent extracted from the drum in which the chemical agent to be analyzed is stored; 상기 화공 약품에 적합한 샘플링 탱크에 연결되는 가요성 호스과,A flexible hose connected to a sampling tank suitable for the chemical agent; 상기 드럼으로부터 상기 화공 약품을 추출하는 동력원으로서의 진공 펌프와,A vacuum pump as a power source for extracting the chemicals from the drum, 상기 진공 펌프의 작동을 제어하는 콘트롤 박스와,A control box for controlling the operation of the vacuum pump; 일단이 상기 진공 펌프와 연결되고, 타단은 분기되어 상기 복수개의 샘플링 탱크의 각각에 연결되며, 각각 역류방지밸브가 설치된 분기관으로 이루어져서,One end is connected to the vacuum pump, the other end is branched and connected to each of the plurality of sampling tanks, each consisting of a branch pipe provided with a non-return valve, 상기 진공 펌프의 작동에 의해 상기 드럼으로 부터의 상기 화공 약품을 선택적으로 상기 복수개의 샘플링 탱크의 하나에 추출하는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.And sampling the chemical agent from the drum to one of the plurality of sampling tanks by operation of the vacuum pump. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 샘플링 탱크가 상부에 설치되고, 상기 콘트롤 박스가 바닥의 일측에 부착되는 상부 프레임부과, 상기 상부 프레임부의 각 모서리에 설치되어 하부에 바퀴가 설치된 각부와, 상기 각부의 각각의 중간에 장착되어 상기 진공 펌프가 설치되는 하부 프레임부와, 상기 상하부 프레임부사이의 일측에 형성된 시약 보관함과, 상기 복수개의 탱크를 덮을 수 있는 커버와, 상기 상부 프레임부의 일측단부에 형성된 손잡이부로 이루어진 카트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.According to claim 1, wherein the plurality of sampling tanks are installed in the upper portion, the upper frame portion to which the control box is attached to one side of the bottom, the corner portion is installed in each corner of the upper frame portion, the lower portion, the corner portion A lower frame part mounted in each middle of the vacuum pump, a reagent container formed on one side between the upper and lower frame parts, a cover for covering the plurality of tanks, and a handle formed at one end of the upper frame part. Sample collection device for analysis of chemical chemicals for semiconductors further comprises a cart consisting of a portion. 제 1 항에 있어서, 상기 샘플링 탱크는 시료채취병이 내장되는 중공의 실린더 본체와, 상기 본체의 벽면에 형성된 유리창과, 상기 가요성 호스에 연결되고, 채취된 화공 약품의 유독가스를 배출하도록 연결관과 배기관 밸브가 각각 형성되어 상기 본체 상부에 개폐가능하게 설치되는 뚜껑으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.The method of claim 1, wherein the sampling tank is connected to the hollow cylinder body in which the sampling bottle is built, the glass window formed on the wall surface of the body, the flexible hose, and to discharge the toxic gas of the collected chemical chemicals Tube and exhaust pipe valves are formed respectively, the sampling device for analysis of chemical chemicals for semiconductors, characterized in that the lid is formed to be opened and closed on the upper body. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 샘플링 탱크에는 산류를 추출하는 것으로, 테프론으로 만드는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.The sample collection apparatus of claim 1, wherein the first sampling tank is made of Teflon by extracting an acid stream. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 샘플링 탱크에는 염기류를 추출하는 것으로, 폴리프로필렌으로 만드는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.The sample collection device for analysis of chemical chemicals for semiconductors according to claim 1, wherein the second sampling tank is made of polypropylene by extracting bases. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 샘플링 탱크에는 솔벤트류를 추출하는 것으로, 스테인레스 스틸로 만드는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취장치.The sampling device for analyzing chemical chemicals for semiconductors according to claim 1, wherein the third sampling tank is made of stainless steel by extracting solvents. 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 채취방법에 있어서,In the sampling method for analysis of chemical chemicals for semiconductor, 분석하고자 하는 화공 약품에 적합한 가요성 호스와, 시료채취병을 청정하는 단계와,A flexible hose suitable for the chemical agent to be analyzed, the step of cleaning the sampling bottle, 상기 가요성 호스를 상기 화공 약품이 들어있는 드럼에 일단을 연결하고, 타단은 상기 화공 약품에 적합한 재질의 샘플링 탱크에 연결한 후, 상기 샘플링 탱크내에 상기 시료채취병을 설치하고, 당해 샘플링 탱크에 연결된 분기관의 역류 방지밸브는 개방하고, 나머지 샘플링 탱크에 연결된 역류방지밸브는 폐쇄하는 단계와,One end of the flexible hose is connected to the drum containing the chemical agent, and the other end is connected to a sampling tank made of a material suitable for the chemical agent. Then, the sampling bottle is installed in the sampling tank, and the sampling tank is connected to the sampling tank. Opening the non-return valve of the connected branch pipe and closing the non-return valve connected to the remaining sampling tank; 콘트롤 박스를 조작하여 진공 펌프를 작동하는 단계와,Operating the vacuum pump by operating the control box, 상기 샘플링 탱크내의 상기 시료채취병에 상기 화공 약품이 소정량 추출된 것을 확인하고 상기 진공 펌프를 정지하는 단계와,Confirming that the chemical agent has been extracted to the sampling bottle in the sampling tank and stopping the vacuum pump; 상기 샘플링 탱크로부터 상기 시료 채취병을 추출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체용 화공 약품의 분석을 위한 시료 취출방법.And extracting the sample collection bottle from the sampling tank.
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