KR100266398B1 - 광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법 - Google Patents

광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100266398B1
KR100266398B1 KR1019940001609A KR19940001609A KR100266398B1 KR 100266398 B1 KR100266398 B1 KR 100266398B1 KR 1019940001609 A KR1019940001609 A KR 1019940001609A KR 19940001609 A KR19940001609 A KR 19940001609A KR 100266398 B1 KR100266398 B1 KR 100266398B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
component
filament
frequency spectrum
coating
spatial frequency
Prior art date
Application number
KR1019940001609A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940018648A (ko
Inventor
유진 알레그레토 알렌
조세프 애트우드 토마스
와렌 레딩 브루스
메이슨 트루스티 로버트
Original Assignee
알프레드 엘. 미첼슨
코닝 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 알프레드 엘. 미첼슨, 코닝 인코포레이티드 filed Critical 알프레드 엘. 미첼슨
Publication of KR940018648A publication Critical patent/KR940018648A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100266398B1 publication Critical patent/KR100266398B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
    • G01B11/10—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving
    • G01B11/105—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving using photoelectric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

본 발명은 광도파관 섬유상의 밀폐코팅의 두께를 측정하는 방법에 관한 것으로, 여기서 섬유에 레이저 빔을 조사하므로써 간섭패턴이 제조된다. 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼이 생성되며, 섬유의 외부직경에 해당하는 스펙트럼의 제1성분이 확인된다. 이 성분의 크기는 코팅의 두께에 역관계에 있는데, 즉 이의 크기는 코팅두께가 증가함에 따라 감소되며, 이에 따라 이 성분의 크기는 예를들면 코팅공정동안 코팅의 두께를 측정하는데 사용될 수 있다. 공간 진동수 스펙트럼의 DC성분의 크기로 제1성분의 크기를 표준화시키므로써 레이저 빔 파워의 변동 및/또는 상기 빔에 대한 섬유의 이동에 따른 효과를 최소화시킬 수 있다.

Description

광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법
제1도는 파-필드(far-field) 간섭패턴을 이용하여 섬유의 직경을 측정하는 와트킨스-형(Watkins-type) 시스템의 기본성분을 나타내는 개략도이고,
제2도는 53.5 내지 69.5도의 각도범위에 대해 코팅되지 않은 125마이크론의 무코아(coreless) 섬유의 전형적인 파-필드 간섭패턴을 나타낸 도면이며,
제3도는 제2도의 프린지(fringe) 패턴의 진동수 스펙트럼을 나타낸 도면이고,
제4도는 본 발명에 사용될 수 있는 섬유의 직경 측정시스템의 성분을 나타내는 개략도이며,
제5(a), 5(b), 5(c)도는 각각 얇은 밀폐코팅(200Å), 중간 밀폐코팅(500Å), 및 두꺼운 밀폐코팅(800Å)을 53.5 내지 69.5도의 각도 범위에 대해 125마이크론의 무코아 섬유의 전형적인 파-필드 간섭패턴을 나타낸 도면이고,
제6(a), 6(b), 및 6(c)도는 각각 제5(a), 5(b), 및 5(c)도의 간섭패턴의 퓨리어(Fourier) 진동수 스펙트럼을 나타낸 도면이며,
제7도는 O.D.선 주위에서 제6(a), 6(b), 및 6(c)도의 스펙트럼 부분을 확대시킨 도면이고,
제8도는 DC선 파워(power)에 대한 O.D.선 파워의 비율 대 코팅두께의 전형적인 곡선을 나타낸 도면이다.
본 발명은 광도파관 섬유에 적용되는 밀폐코팅(hermetic coating)을 측정(monitor)하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 상기와 같은 코팅의 두께를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
당해 분야에 알려진 바와 같이, 예를들면, 박막의 탄소 또는 탄소 코팅을 광도파관 섬유위에 침적시키므로써 화학적으로 유도된 다른 형태의 피로(fatigue) 뿐만 아니라 섬유의 부식을 감소시킬 수 있다. 게다가, 상기와 같은 코팅들은 수소가 주위 대기로부터 섬유에 흡수되므로써 야기되는 광의 감쇠현상(attenuation)을 감소시키는데 효과가 있다.
상기와 같은 박막 또는 코팅들은 통상 밀폐코팅으로 언급된다. 여기에 사용된 것에 따르면, “밀폐코팅”이라는 용어는 필라멘트에 적용되는 박막을 의미하며, 여기서 상기 막은 광을 흡수할 수 있다.
코팅공정을 조절하기 위하여, 코팅의 두께를 급속하고 신뢰성있게 측정하는 수단이 제공되어야 한다.
프라지(Frazee)의 미합중국 특허 제4,952,226호에는 폴리머(polymer)코팅을 가지는 섬유위에 형성된 탄소코팅의 두께를 측정하는 시스템이 개시되어 있는데, 상기 시스템에서 레이저 빔은 섬유에 조사되고 전방으로 산란된 광의 강도가 측정되며, 상기 광의 강도는 탄소코팅의 두께에 반복하여 반비례한다. 레이저 빔은 둘로 분리되어 서로서로에 대해 직각에서 두 개의 강도가 측정될 수 있다. 이것은 굴절 및 반사된 광선의 간섭에 해당하는 미세구조(fine structure)를 제거할 것은 요구한다.
이노우에(Inoue)등의 “Development of Non-Contact Coating Thickness Monitor for Hermetically Carbon Coated Fiber”, Conference Digest for the Proceedings of the Optical Fibre Measurement Conference, September 1991, York, England, pages 135-138에 따르면, 전방으로 산란된 광은 프라지의 특허에서와 같이 산란 패턴으로부터 나온 모든 미세구조를 제거시키는 단일의 포토다이오드(photodiode)위에 집결된다.
이러한 방법들은 많은 문제점을 갖고 있다. 그중 하나의 문제점은 광원의 파워에서 두께측정의 변동에 미치는 효과에 관계된 것이다. 각각의 경우에서, 파워가 감소된다는 것은 코팅두께가 증가된다는 것으로 해석될 것이며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다.
이노우에의 문헌에는 “참조 광(reference light)”의 파워를 측정하는 제2포토다이오드를 포함시키므로써 이러한 문제점을 해결하려고 한다. 이러한 접근방법이 가지는 하나의 문제점은 인발 및 밀폐코팅 공정이 일어날때 광섬유는 하나의 장소에 머무르기 보다는 오히려 광원빔의 주위로 이동된다는 것이다. 대부분의 레이저 광원빔은 가우스 파워분포(Gaussian power distribution)를 가지기 때문에, 이러한 이동은 섬유가 시간의 함수로서 서로 다른 파워강도를 보일 것이라는 것을 의미한다. 이노우에의 포토다이오드 B는 공간에 고정되고 이에 따라 섬유와 상호작용한 광의 파워라기 보다는 오히려 빔의 평균적인 파워에 관한 정보만을 제공한다.
프라지의 장치에는 회전가능한 큐브(cube, 45 및 46)가 포함되는데, 상기 큐브는 각각 프라지의 직각 레이저 빔을 섬유에 배열하기 위한 서보 모터(servo motor)의 샤프트(shaft)위에 장착된다. 프라지 특허의 column 5, lines 22-27을 참조. 그러나, 프라지 특허에는 인발 및 코팅공정이 진행될때 섬유의 변화되는 위치를 추적하는데 큐브를 사용한다는 내용은 개시되어 있지 않다. 또한 프라지 특허는 이의 레이저의 총 파워변화를 추적하는 시스템을 제공하지 않는다.
이노우에의 접근방법이 가지는 또 다른 문제점은 이노우에의 감쇠 인자는 대략 800Å의 코팅두께까지의 크기로 증가되고 그후 크기가 감소된다는 것이다. 즉, 그러한 함수는 이중으로 계산되며, 즉, 상기와 같은 감쇠값은 두개의 코팅두께에 해당된다. 상기 방법을 작동 제어에 제공하는데 있어서, 콘트롤러(controller)는 코팅두께를 실제로 감소시킬 필요가 있는 곳에서 증가시키는 등 판독오류를 야기시킬 수 있다.
프라지 및 이노우에의 접근방법에서의 근본적인 문제점은 각각의 경우에서 측정된 변수인 전방으로 산란된 전체 광의 강도는 반사 및 굴절된 광의 조합인 반면, 상기 조합된 광은 코팅을 통과한 굴절광이기 때문에 단지 코팅의 두께에 정보를 포함하는 굴절된 광이라는 점이다. 즉, 프라지 및 이노우에는 부수적인 시그날(signal)을 검사하는데, 여기서 굴절된 광에서 원하는 정보는 원하지 않는 반사광에 비해 낮은 강도에 관한 것이고 둔감해지는 것이다. 이것은 코팅의 두께가 증가함에 따라 점점 더 심각한 문제로 된다. 후술될 것에 따르면, 본 발명에서 측정된 변수인 프린지 콘트래스트(contrast)의 변화는 실질적으로 굴절된 광의 직접적인 함수이며 이에 따라 반사된 광에 의해서 둔감해지는 것에는 영향을 받지 않는다.
전술한 기술의 견지에서 볼때, 본 발명의 목적은 광도파관 섬유, 좀 더 일반적으로는 투명한 필라멘트 위의 밀폐코팅의 두께를 측정하는 개선된 방법 및 장치를 제공하는데 있다. 좀 더 상세하게는, 본 발명의 목적은 광원에 대한 필라멘트의 이동 및 광원의 파워변동을 자동적으로 보충하는 그러한 광학적 측정방법을 제공하는데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 공간 프린지 패턴의 퓨리어 영역에 구체적으로 도움을 주는 정보를 사용하여 밀폐코팅의 두께를 결정한다. 좀 더 상세하게는 본 발명은 다음의 단계들로 이루어지는 투명 필라멘트 위의 밀폐코팅의 두께를 측정하는 방법을 제공하는데 있다.
(a) 필라멘트에 복사빔을 조사하여 간섭패턴을 제조하는 단계 ;
(b) 간섭패턴을 검출하는 단계 ;
(c) 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼을 생성시키는 단계 ;
(d) 상기 필라멘트의 외부직경에 해당하는 공간 진동수 스펙트럼의 제1성분을 확인하는 단계 ; 및
(e) 밀폐코팅의 두께를 나타내는 제1성분의 크기값을 결정하는 단계.
바람직한 특정의 구체예에서, 상기 방법은 다음의 부수적인 단계를 포함한다 :
(f) 공간 진동수 스펙트럼의 DC성분인 상기 스펙트럼의 제2성분을 확인하는 단계 ;
(g) 제2성분의 크기값을 결정하는 단계 ; 및
(h) 상기 제2성분의 크기값으로 제1성분의 크기값을 표준화키는 단계, 여기서 상기 표준화된 값은 밀폐코팅의 두께를 나타낸다.
또 다른 바람직한 구체예에서, 복사빔은 실질적으로 일정한 편광을 가지며, 좀 더 바람직하게로는, 필라멘트의 종방향 축에 실질적으로 평행한 이의 전기장 성분을 가진다. 바람직한 또 다른 구체예에서, 간섭패턴은 광원빔의 축으로부터 각변위 지점, 예를들면, 상기 축으로부터 61.4°각도에서 검출된다.
전술한 바에 따르면, 본 발명은 투명한 필라멘트위에 형성된 밀폐코팅의 두께를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 특히 중요한 분야는 상기와 같은 코팅들을 광도파관 섬유들에 제공하기 위한 조절시스템 분야이다. 전술한 바 있는 종래의 기술에서 지적한 바에 따르면, 밀폐코팅은 인발공정동안 광도파관 섬유들에 통상 제공되며, 따라서 본 발명의 장치 및 방법들이 상기 공정동안 전체 섬유의 측정/조절 시스템에 바람직하게 결합된다.
섬유의 인발조절 시스템에는 섬유의 직경 측정장치가 포함된다. 폭넓게 사용되는 이러한 측정방법은 로렌스 와트킨스(Lawrence Watkins)의 미합중국 특허 제3,982,815호 및 제4,067,651호에 기재되어 있다. 머피(Murthy)등의 미합중국 특허 제4,280,827호를 참조. 상기 와트킨스 특허의 시스템의 기본성분들이 제1도에 도시되어 있다.
여기에 도시된 것에 따르면, 충분한 공간적 코히어런스(coherence) 및 단색성(monochromaticity)을 가지는 광(15)을 설명을 위해 단면을 상당히 확대시킨 광도파관 섬유(13)에 횡방향으로 조사하여 파-필드에서 식별가능한 간섭패턴을 생성시키는데, 상기 간섭패턴은 섬유의 표면(17)으로부터 반사된 광 및 섬유의 바디(body, 13)를 통하여 굴절된 광의 겹쳐놓음(superposition)에 의해 생성된다. 실제로, 레이저, 예를들면 HeNe 레이저는 바람직한 광원인데, 그 이유는 이의 파장은 안정성이 있기 때문이다. 다음의 설명은 레이저 광원의 견지에서 본 것이며, 원한다면 충분한 공간적 조화 및 단색성을 가지는 다른 광원이 사용될 수 있을 것으로 생각된다.
상기 와트킨스의 특허에서 설명한 바와 같이, 파-필드에서 이러한 반사 및 굴절된 광은 프린지 패턴(19)을 형성하도록 간섭된다. 하나의 코아 및 하나의 클래딩을 가지는 광도파관 섬유의 경우, 프린지 패턴은 통상 입사광의 파장의 함수이며 섬유 및 클래딩의 직경 및 굴절율의 함수일 것이다. 그러나, 와트킨스의 특허에 도시된 바와 같이, 만약 코아/클래드 비가 그다지 크지 않으며 프린지 패턴의 충분히 큰 각도, 예를들면 코아/클래드의 비가 약 0.5보다 작은 경우에 제1도에서 약 ±50°보다 큰 각도에서 검사된다면, 상기 패턴은 클래딩의 굴절율 및 직경에 거의 독점적으로 의지할 것이다.
따라서, 만약 클래딩의 굴절율을 안다면, 섬유의 외부직경(O.D.)은 프린지 패턴을 분석하므로써 결정될 수 있다. 예를들면, 직경의 경우에는 두개의 각도사이에 있는 프린지의 총 갯수 및 일부의 갯수를 계산하고, 와트킨스 특허의 방정식 또는 실험적인 계산법을 사용하여 상기 갯수를 섬유의 직경으로 변환시키므로써 상당히 정확한 직경을 추측할 수 있다.
125마이크론의 단일모드 섬유에 대한 +50°에서 +70°범위에서의 전형적인 프린지 패턴이 제2도에 도시되어 있다. 대략 62개의 프린지들이 이 20°의 범위내에 나타나며, 이것은 와트킨스 모델에 의해 예상된 것에 따른 것이다.
프린지들의 갯수를 계산하기 보다는 오히려, 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼을 생성시키고 섬유의 외부직경(이후 “O.D.성분”, “O.D.선, “제1성분”이란 언급)에 해당하는 상술한 진동수 스펙트럼의 성분을 검출하므로써 섬유의 직경들이 또한 결정될 수 있다. 두개의 각도사이의 프린지의 갯수와 같이, O.D.성분의 진동수는 섬유의 직경에 직접 관계된다.
제2도의 프린지 패턴에 대한 전형적인 공간 진동수 스펙트럼은 제3도에 도시되어 있다. 이 도면에서 O.D.선은 약 3.1프린지/도(degree)에 위치한다. DC 성분(여기서 “제2성분”이라 언급, 하기에 설명)이 상기 도면에 또한 도시되어 있으며, DC 성분은 0.0프린지/도에 위치한다.
압수하구르(Absuhagur) 및 조오지(George)의 문헌인, Applied Optics Vol. 19, page 2031(1980)에는 O.D.성분이 검출되어 나오는 진동수 스펙트럼을 생성하는데 FFT(Fast Fourier Transformation)를 사용한다는 내용이 설명되어 있다. “Measurement of Fiber Diameters with High Precision”이라는 명칭의 상기와 관련된 출원에는 O.D.성분의 진동수를 결정하기 위한 개선된 방법이 기재되어 있다. 상기 출원에 개시된 O.D.성분의 확인방법들은 본 발명을 실시하기 위한 바람직한 방법들이며, 그러한 방법들에 관련된 상기 출원의 개시내용은 참고적으로 본 출원에 기재하였다.
본 발명에 따르면, 투명한 필라멘트의 표면위에 형성된 밀폐코팅의 두께는 O.D성분의 크기(피크의 높이)에 의하여 측정될 수 있다는 것을 발견하였다. 이러한 크기는 간섭패턴의 콘트래스트 함수로서 간주될 수 있다.
이러한 관계들은 다음에 따라 알 수 있다. 전술한 바에 따르면, 간섭패턴은 반사 및 굴절된 광의 상호작용의 결과인데, 여기서 밀폐코팅된 섬유의 경우, 반사된 광은 코팅의 외피로부터 반사된 광이며, 굴절된 광은 섬유 및 코팅을 통과한 광이다. 반사의 일부는 섬유의 외피에서 일어나며, 굴절의 일부는 공기/코팅 및 코팅/섬유의 경계면에서 일어난다. 그러나, 코팅두께, 예를들면 100 내지 1000Å, 공칭값이 500Å두께의 견지에서 볼때 이러한 효과들은 통상 미약하다.
코팅이 전혀 없는 경우를 고려하고 반사 및 굴절된 광이 동일한 강도 Io를 가진다고 가정하자. 첫번째 접근방법에 대해, 간섭패턴은 피크의 강도 2Io및 밸리(valleys)의 강도 0을 갖는 “고 콘트래스트”사인 곡선(sinusoid)이 될 것이다. 이 패턴의 공간 진동수 스펙트럼은 Io에 각각 비례하는 크기의 O.D.선 및 DC선을 가질 것이다.
그 다음, 밀폐코팅이 너무 두꺼워서 이것이 굴절된 광원 빔을 완전히 흡수해 버리는 경우를 생각해보자. 이 경우, 첫번째 접근방법에 검출된 패턴은 일정한 조도(illumination)의 강도 Io, 즉 반사된 빔의 강도를 가질 것이다. 따라서, 상기 패턴은 콘트래스트를 전혀 가지지 않으며, 이의 공간 진동수 패턴은 크기를 전혀 가지지 않는 O.D.선 및 Io에 비례하는 크기의 DC선이 될 것이다.
이러한 극치들(extremes) 사이에서, 굴절된 빔의 강도는 밀폐코팅의 두께에 따라 반복하여 감소하며 이에 따라 간섭패턴의 콘트래스트 및 O.D.선의 크기도 그렇게 될 것이다. 따라서, O.D.선의 크기를 측정하므로써, 코팅의 두께를 측정하는 것이다.
실제로, O.D.선을 측정한다는 것은 섬유가 광원을 지나 인발될 때 이 선의 크기를 반복해서 결정한다는 것을 의미한다. 코팅공정을 조절한다는 것은 O.D.선의 사용하여 섬유에 제공된 코팅물질의 양을 증가시키고 감소시키며, 또는 일정하게 유지시키는 그러한 측정수단을 기초로 한 것이다. 종래의 것에 따르면, 증가, 감소, 또는 일정하게 유지시키는 것에 대한 결정은 통상 인식된 코팅두께를 가지는 섬유들을 사용하여 얻어진 O.D크기에 대한 계산값(및/또는 OD/DC비, 하기 참조)를 기초로 할 것이다.
전술한 작동모드의 견지에서, 본 발명은 어떠한 밀폐코팅도 필수적으로 존재하는데 사용될 수 있으며, 상기 코팅의 광 흡수는 두께에 따라 증가된다. 물 및 수소의 흡수로부터 광도파관 섬유들을 보호하는데 사용되는 탄소코팅들은 이러한 형태의 것들이다.
상기 분석결과에서 알 수 있듯이, O.D.선의 크기는 프라지 및 이노우에 방법에서와 같이 밀폐코팅의 두께의 부수적인 함수가 아니라, 이의 직접적인 함수이다. 따라서, 본 발명은 종래의 방법에서 처럼 반사된 빔에 의해 제조된 이의 시그날을 가지는 것에 대해 영향을 받지 않는다.
상기에서 지적한 바와 같이, 종래의 방법들은 1) 광원의 파워의 변화, 및/또는 2) 광원에 대한 섬유의 이동으로 인하여 문제점이 있었다. 본 발명에 따르면, 이러한 문제점들은 DC선의 크기(피크 높이)에 의해 O.D.선의 크기를 표준화시키므로써, 즉 O.D.선의 크기를 DC선의 크기로 나눔으로써 해결하였다.
DC 및 O.D.퓨리어 선의 크기는 광원의 강도에 선형적으로 관계된다. 그러므로, 이 두개의 비는 광원의 파워변화에 독립적이다. 이것은 0Å부터 굴절된 광선을 완전히 감쇠시킬 수 있는 두께에 이르기까지 모든 코팅두께의 값들에 대해 적용된다.
얇은 밀폐코팅을 갖는 섬유와 전혀 코팅되지 않은 섬유사이에 전이가 일어난다는 것을 인식해야 한다. 구체적으로는, 실질적으로 일정한 반사를 달성하기 위하여, 최소 코팅두께, 예를들면 탄소코팅의 경우 대략 200Å정도의 두께가 요구된다. 따라서, 상기 제1차 분석법은 이러한 최소의 코팅수준을 가지는 섬유들에 대해 적용된다. 200Å보다 작은 코팅의 경우에는 기본적인 방법을 계속적으로 적용할 수 있지만, 상기 분석법은 반사된 광선이 더이상 일정하지 않다는 사실을 고려할 필요가 있다는 점을 또한 인식해야 할 것이다.
반사 및 굴절된 광의 강도는 입사광의 편광에 따라 변할 것이다. 따라서, 코팅두께의 측정시의 실수를 방지하기 위하여, 광원의 편광은 실질적으로 일정해질 필요가 있다. 바람직하기로는, 편광은 고순도의 선형 편광이어야 한다. 또한, 실제로 만약 빔의 전기장 성분이 섬유의 종방향 축에 실질적으로 평행하게 편광이 된다면, 공간 진동수 스펙트럼은 좀 더 깨끗해진다(노이즈(noise)가 적다)는 것으로 밝혀졌다. 편광은 편광방향의 견지에서 이 둘을 조절하며, 시간에 따른 편광의 변화는 레이저 광원 및 편광용 빔스플리터(beamsplitter)를 사용하므로써 용이하게 달성될 수 있다. 선택적으로, 선형적으로 편광된 레이저가 사용될 수 있다. 원한다면, 편광된 광을 달성하는 또 다른 방법들이 사용될 수도 있다.
시스템의 작용이 제5-8도에 도시되어 있다. 제5(a), 5(b),및 5(c)도는 각각 얇은 밀폐코팅(200Å), 중간 밀폐코팅(500Å), 및 두꺼운 밀폐코팅(800Å)에 대한 전형적인 파-필드 간섭패턴을 나타낸 도면이다. 제6(a), 6(b), 및 6(c)도는 각각 제5(a), 5(b), 및 5(c)도의 간섭패턴의 퓨리어 진동수 스펙트럼을 나타낸 도면이고, 제7도는 O.D.선 주위에서 이들 스펙트럼부분을 확대시킨 도면이다. 코팅두께가 증가함에 따라 O.D.선의 크기가 변한다(감소)는 사실은 이들 도면에 명백히 나타나 있다.
제8도는 O.D./DC 비율 대 코팅두께의 전형적인 곡선을 나타낸다. 두께에 따른 이러한 변수의 단조로운 성질이 상기 도면에 나타나 있다.
상술한 바에 따르면, 본 발명은 미합중국 특허출원 제07/816,882호, 제07/816,491호, 및 제07/816,883호에 개시된 형태의 성능을 가지는 전체 섬유 측정/조절 시스템의 일부로서 바람직하게 실시될 수 있다. 제4도는 전술한 “Method for Measuring Diameters of Non-Circular Fibers”라는 명칭의 특허출원에 따라 제조된 측정 시스템을 나타낸다.
상기 시스템은 평행하고, 코히어런트하며 단색의 광으로 이루어진 빔(25)을 만드는 레이저(23)를 포함한다. 상기에 따르면, 빔(25)에서 나온 광은 제1도에 도시된 형태의 파-필드 간섭패턴을 만들기 위하여 섬유(134)에 의해 반사 및 굴절된다. 광학 시스템(26, 27)은 파-필드 간섭패턴을 좌, 우 검출기(29, 31)위로 발사한다. 상기 검출기들은 선형 배열의 광검출기들(photodetectors)을 포함할 수 있는데, 상기 광검출기들의 출력은 아날로그(analog)에서 디지탈로 전환된 후, 프린지 패턴의 디지탈 표현들을 구성한다. 광학 시스템(26, 27) 및 검출기(29, 31)에 대한 이들의 관계에 대한 설명은 “Measurement of fiber Diameters with High Precision”이라는 명칭의 관련 특허출원에서 알 수 있다. 제4도에 도시된 것에 따르면, 검출기(29)의 중심은 +61.5°에 있고 검출기(31)의 중심은 -61.5°에 있다. 이 값들의 오차는 “Method for Measuring Diameters of Non-Circular Fibers”라는 명칭의 전술한 관련 특허출원에 상세히 설명되어 있다. 각각의 검출기에 대한 적당한 각도범위는 20°, 즉 검출기(29)의 경우 +51.5°에서 +71.5°까지이고 검출기(31)의 경우에는 -51.5°에서 -71.5°까지이다. 만약 원한다면 다른 각도범위를 가지는 검출기들이 물론 사용될 수도 있다. 예를들면, 실제로 16°의 각도범위를 가지는 검출기가 효과가 있다는 것으로 밝혀졌다.
상기 특허출원에 따르면, 각 검출기의 출력은 별도로 분석되어 섬유의 직경을 나타내는 하나의 시그날을 이루며, 두개의 시그날이 평균화되어 섬유의 직경을 나타내며 섬유의 타원율(ellipticity)에 실질적으로 무감각한 최종 시그날을 만든다. 본 발명에 따르면, 검출기들 각각의 출력이 분석되어 두개의 O.D.크기, 또는 바람직하기로는 O.D./DC크기를 결정할 수 있다. 이러한 값들은 서로 비교 및/또는 평균화시키므로써, 원한다면 코팅두께를 훨씬 더 미세하게 조절할 수 있다. 또한, 다수의 검출기에 의해 밀폐코팅의 불균일성이 검출될 수 있다.
검출기(29, 31)의 탈축(off-axe) 지역은 산란되지 않은 광, 즉 섬유와 상호작용하지 않는 과원에서 나온 광으로부터 나온 실수를 방지하므로써 본 발명에 잇점을 제공한다는 것을 인식해야 한다.
제2-3도 및 5-8도의 그래프는 125마이크론의 무코아 섬유에 대한 연산된 프린지 패턴, 즉 결과들을 모델화시킨 프린지 패턴에 기초한 것이다. 특히, 상기 그래프들은 파 이론 모델(wave theory model)을 사용하여 만들었다. 상기 모델을 합성 굴절율 n=2.5 + 1.5i인 비정질 외각 탄소층에 의해 코팅된 굴절율 n=1.457인 광학적으로 비흡수성인 125마이크론의 중심지역을 가지는 원형상 대칭인 실린더로 가정하였다. 실린더의 축에 평행하게 편광되고 실린더에서 상기 축에 수직으로 유도된 E-필드를 가지는 0.633마이크론 파장의 평면파는 도시된 파-필드 강도의 패턴을 만들었다.
설명을 위하여, 쿨리(Cooley), 루이스(Lewis), 및 웰치(Welch)가 1967년 2월 9일에 발표한 논문인 “The Fast Fourier Transform and its Applications”, IBM Research Paper RC 1743에 기재된 것과 같은 쿨리, 루이스, 및 웰치의 방법을 사용하여 FFT를 계산된 프린지 데이타에 수행하므로써 공간 진동수 스펙트럼을 산출하였다. 상술한 바에 따르면, 본 발명의 실시에서, “Measurement of Fiber Diameters with High Precision”이라는 명칭의 관련 특허출원의 방법을 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 여기에 기술된 불연속 퓨리어 변환방법은 좀 더 정밀한 O.D.선 지역을 제공하며 이에 따라 밀폐코팅 두께를 측정하는데 사용되는 좀 더 정확한 O.D.선 크기값을 제공한다. DC 성분의 위치는 0.0프린지/도에 있기 때문에, FFT 스펙트럼은 이러한 성분들의 크기를 결정하는데 사용될 수 있다.
상술한 본 발명의 공정은 적합한 프로그램 작업에 의해 배열된 디지탈 컴퓨터 시스템에서 실행되어 다양한 연산, 확인, 크기 결정, 및 표준화단계를 수행한다. 알려져 있는 다양한 프로그래밍 언어에서 프로그램 작업이 수행될 수 있다. 바람직한 프로그래밍 언어는 과학적인 계산에 특히 적합한 C 언어이다. 포트란(FORTRAN), 베이직(BASIC), 파스칼(PASCAL), C++, 이와 유사한 것들과 같은 다른 언어들이 사용될 수 있다.
컴퓨터 시스템은 Digital Equipment Corporation, IBM, Hewlett-Packard, 또는 이와 유사한 회사에 의해 제조된 현재의 컴퓨터 및 주변장치와 같은 일반적인 과학 컴퓨터 및 이에 관련된 주변장치를 포함할 수 있다. 선택적으로, 다수의 디지탈 시그날 동작 칩을 사용하는 시스템과 같이 특정목적의 시스템이 본 발명의 실시에 사용될 수 있다.
바람직하기로는, 컴퓨터 시스템의 동작부는 다음과 같은 특성을 가져야 한다 : 1초당 50밀리온 부동소수점(floating point) 연산의 동작속도; 32bits 부동소수점의 단어 길이, 적어도 4메가바이트의 기억용량, 및 적어도 40메가바이트의 디스크 저장용량. 상기 시스템은 광 검출기 어레이에서 나온 데이타를 입력시키는 수단, 및 작동제어에 사용하기 위한 전자적인 형태와 시스템 작동기, 관리자(maintenance personnel), 및 이와 유사한 것에 의해 관찰될 수 있도록 시각적인 형태로 두께검출의 결과들을 출력시키는 수단을 포함하여야 한다. 출력은 또 다른 분석 및/또는 후속의 디스플레이(display)를 위하여 디스크 드라이브(disk drive), 테이프 드라이브, 또는 유사한 것에 또한 저장될 수 있다.
그다지 두껍지 않는 밀폐코팅의 경우, 즉 O.D.선이 공간진동수 스펙트럼에 확인될 수 있는 밀폐코팅의 경우, O.D.선의 위치는 “Measurement of Fiber Diameters with High Precision”이라는 명칭의 관련 특허출원에 따라 섬유의 직경을 측정하는데 사용될 수 있다는 것을 인지해야 한다. 유사하게도, “Method for Detecting Defects in Fibers”라는 명칭의 관련 특허출원의 방법, 구체적으로는 공간 진동수 스펙트럼을 통해 DC 피크와 O.D, 피크 사이의 피크의 존재를 조사하는 방법을 사용하여 결함들을 검출할 수 있는데, 여기서 상기와 같은 피크는 섬유에 결함이 존재한다는 것을 나타낸다. 따라서, 전술한 특허 출원의 방법들과 본 발명의 방법들을 조합하므로써, 코팅 측정, O.D. 측정, 및 결함 검출공정이 단일의 공간 진동수 스펙트럼에 의해 모두 동시에 수행될 수 있다(만약, “Method for Measuring Diameters of Non-Circular Fibers”라는 명칭의 전술한 관련 특허출원에 따라 비원형 섬유들의 문제점을 또한 해결하려고 한다면, 둘 또는 그이상의 상기 스펙트럼에 의해 수행될 수 있다).

Claims (26)

  1. (a) 투명 필라멘트에 복사빔을 조사하여 간섭패턴을 제조하는 단계 ; (b) 상기 간섭패턴을 검출하는 단계 ; (c) 상기 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼을 생성시키는 단계 ; (d) 상기 필라멘트의 외부직경에 해당하는 공간 진동수 스펙트럼의 제1성분을 확인하는 단계 ; (e) 밀폐코팅의 두께를 나타내는 제1성분의 크기값을 결정하는 단계 ; 및 (f) 상기 제1성분의 크기로부터 필라멘트의 코팅에 대한 제어 시그날을 생성시키는 단계로 이루어지는 밀폐막을 가지는 투명 필라멘트의 코팅을 측정 및 조절, 또는 측정하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방법이 f) 상기 공간 진동수 스펙트럼의 DC성분인 상기 스펙트럼의 제2성분을 확인하는 단계 ; g) 상기 제2성분의 크기값을 결정하는 단계 ; 및 h) 밀폐코팅의 두께를 나타내는 표준화된 값을 얻을 수 있도록 상기 제2성분의 크기값으로 제1성분의 크기값을 표준화시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 복사빔의 편광이 실질적으로 일정한 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 필라멘트가 종방향 축을 가지며 복사빔의 전기장 성분이 상기 종방향 축에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 복사빔이 하나의 축을 한정하며, 상기 간섭패턴이 상기 축으로부터 각변위상의 지점에서 검출되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 밀폐코팅이 탄소로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 직경을 측정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 결함을 검출하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 (b)~(e) 단계가 공간적으로 분리된 두 개의 지점의 그 각각에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 코히어런트광을 광섬유에 횡방향으로 조사하므로써 간섭 프린지 패턴을 생성시키는 단계, 및 상기 프린지 패턴을 분석하여 두께를 결정하는 단계로 이루어지는 광섬유상의 밀폐코팅의 두께를 측정하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 코히어런트광의 편광이 실질적으로 일정한 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 광섬유가 종방향 축을 가지며 상기 코히어런트광의 전기장 성분이 상기 종방향 축에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 방법.
  13. (a) 투명 필라멘트에 복사빔을 조사하여 간섭패턴을 제조하는 단계 ; (b) 상기 간섭패턴을 검출하는 단계 ; (c) 상기 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼을 생성시키는 단계 ; (d) 상기 필라멘트의 외부직경에 해당하는 공간 진동수 스펙트럼의 제1성분을 확인하는 단계 ; (e) 밀폐코팅의 두께를 나타내는 제1성분의 크기값을 결정하는 단계 ; 및 (f) 상기 제1성분의 크기로부터 필라멘트의 코팅에 대한 제어 시그날을 생성시키는 단계로 이루어지는 밀폐막을 가지는 투명 필라멘트의 코팅을 조절하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 복사빔의 편광이 실질적으로 일정한 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 필라멘트가 종방향 축을 가지며 복사빔의 전기장 성분이 상기 종방향 축에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 복사빔이 하나의 축을 한정하며, 상기 간섭패턴이 상기 축으로부터 각변위상의 지점에서 검출되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제13항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 직경을 측정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제13항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 결함을 검출하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제13항에 있어서, 상기 (b)∼(f) 단계가 공간적으로 분리된 두개의 지점의 그 각각에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. (a) 투명 필라멘트에 복사빔을 조사하여 간섭패턴을 제조하는 단계 ; (b) 상기 간섭패턴을 검출하는 단계 ; (c) 상기 간섭패턴에 대한 공간 진동수 스펙트럼을 생성시키는 단계 ; (d) 상기 필라멘트의 외부직경에 해당하는 공간 진동수 스펙트럼의 제1성분을 확인하는 단계 ; (e) 상기 제1성분의 크기값을 결정하는 단계 ; (f) 상기 공간 진동수 스펙트럼의 DC성분인 상기 스펙트럼의 제2성분을 확인하는 단계 ; g) 상기 제2성분의 크기값을 결정하는 단계 ; h) 밀폐코팅의 두께를 나타내는 표준화된 값을 얻을 수 있도록 상기 제2성분의 크기값으로 제1성분의 크기값을 표준화시키는 단계 ; 및 i) 상기 제1성분의 평균화된 크기값으로부터 필라멘트의 코팅에 대한 제어 시그날을 생성시키는 단계로 이루어지는 밀폐막으로 가지는 투명 필라멘트의 코팅을 조절방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 복사빔의 편광이 실질적으로 일정한 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 필라멘트가 종방향 축을 가지며 복사빔의 전기장 성분이 상기 종방향 축에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 방법.
  23. 제20항에 있어서, 상기 복사빔이 하나의 축을 한정하며, 상기 간섭패턴이 상기 축으로부터 각변위상의 지점에서 검출되는 것을 특징으로 하는 방법.
  24. 제20항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 직경을 측정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  25. 제20항에 있어서, 상기 공간 진동수 스펙트럼이 필라멘트의 결함을 검출하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  26. 제20항에 있어서, 상기 (b)∼(i) 단계가 공간적으로 분리된 두개의 지점의 그 각각에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
KR1019940001609A 1993-01-29 1994-01-28 광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법 KR100266398B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/011,393 1993-01-29
US08/011,393 US5408308A (en) 1993-01-29 1993-01-29 Method for monitoring hermetically-coated fibers
US8/011,393 1993-01-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940018648A KR940018648A (ko) 1994-08-18
KR100266398B1 true KR100266398B1 (ko) 2001-01-15

Family

ID=21750190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940001609A KR100266398B1 (ko) 1993-01-29 1994-01-28 광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5408308A (ko)
EP (1) EP0608538B1 (ko)
JP (1) JP3486677B2 (ko)
KR (1) KR100266398B1 (ko)
AU (1) AU662085B2 (ko)
CA (1) CA2111011A1 (ko)
DE (1) DE69309032T2 (ko)
TW (1) TW245770B (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5519487A (en) * 1994-12-30 1996-05-21 Corning Incorporated Method for monitoring the position of a fiber
FR2732762B1 (fr) * 1995-04-05 1997-05-09 Alcatel Fibres Optiques Procede de detection de la variation du diametre d'une fibre optique et procede de fabrication de fibre optique
CA2288765A1 (en) 1997-05-22 1998-11-26 Corning Incorporated Methods and apparatus for detecting surface defects of an optical fiber
FR2792066B1 (fr) 1999-04-08 2001-06-22 Jean Francois Fardeau Dispositif pour la mesure dimensionnelle et le controle des defauts des fibres optiques en production
US7833389B1 (en) * 2005-01-21 2010-11-16 Microcontinuum, Inc. Replication tools and related fabrication methods and apparatus
US7674103B2 (en) 2005-01-21 2010-03-09 Microcontinuum, Inc. Replication tools and related fabrication methods and apparatus
US9307648B2 (en) 2004-01-21 2016-04-05 Microcontinuum, Inc. Roll-to-roll patterning of transparent and metallic layers
WO2007100849A2 (en) 2006-02-27 2007-09-07 Microcontinuum, Inc. Formation of pattern replicating tools
UA105182C2 (ru) 2008-07-03 2014-04-25 Ньюрексон, Інк. Бензоксазины, бензотиазины и родственные соединения, которые имеют ингибирующую nos активность
WO2013020914A1 (en) 2011-08-10 2013-02-14 Celares Gmbh Peg-conjugated peptides
US9589797B2 (en) 2013-05-17 2017-03-07 Microcontinuum, Inc. Tools and methods for producing nanoantenna electronic devices
KR102180113B1 (ko) 2019-04-30 2020-11-18 한양대학교 산학협력단 두께 측정 장치
KR102167799B1 (ko) * 2019-07-24 2020-10-20 한양대학교 산학협력단 두께 측정 장치
CN113617594B (zh) * 2021-09-02 2022-09-13 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 一种光纤自动涂覆装置及系统

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3982816A (en) * 1974-06-21 1976-09-28 Western Electric Company, Inc. Method for measuring the parameters of optical fibers
US4067651A (en) * 1974-06-21 1978-01-10 Western Electric Company, Inc. Method for measuring the parameters of optical fibers
US4280827A (en) * 1979-09-04 1981-07-28 Corning Glass Works System for measuring optical waveguide fiber diameter
JPS6283340A (ja) * 1985-10-08 1987-04-16 Yokogawa Hewlett Packard Ltd 光フアイバ被膜用炉
JPS6283339A (ja) * 1985-10-08 1987-04-16 Yokogawa Hewlett Packard Ltd 光フアイバ被膜形成方法
US4735856A (en) * 1986-03-31 1988-04-05 Spectran Corporation Hermetic coatings for optical fiber and product
DE3715922C2 (de) * 1986-05-15 1995-07-20 Klaus Dipl Ing Jakob Verfahren und Anordnung zur Messung der Dicke eines fadenförmigen Objekts
US5000541A (en) * 1987-09-18 1991-03-19 At&T Bell Laboratories Hermetically sealed optical fibers
AU624203B2 (en) * 1988-12-21 1992-06-04 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method and apparatus for producing coated optical fiber
US4952226A (en) * 1989-02-27 1990-08-28 American Telephone And Telegraph Company Lightguide coating control
US5142228A (en) * 1989-04-24 1992-08-25 Corning Incorporated Method for statically or dynamically monitoring the thickness of electrically-conductive coatings on optical fibers
US5013130A (en) * 1989-07-31 1991-05-07 At&T Bell Laboratories Method of making a carbon coated optical fiber
CA2034162A1 (en) * 1990-02-23 1991-08-24 Akira Inoue Method and apparatus for measuring the thickness of a coating
IT1240980B (it) * 1990-09-10 1993-12-27 Sip Apparecchiatura per la misura e il controllo dell'eccentricita' dello strato di rivestimento colorato di fibre ottiche.

Also Published As

Publication number Publication date
US5408308A (en) 1995-04-18
TW245770B (ko) 1995-04-21
JP3486677B2 (ja) 2004-01-13
AU5384994A (en) 1994-08-04
CA2111011A1 (en) 1994-07-30
EP0608538A1 (en) 1994-08-03
DE69309032T2 (de) 1997-10-09
EP0608538B1 (en) 1997-03-19
AU662085B2 (en) 1995-08-17
JPH0727521A (ja) 1995-01-27
KR940018648A (ko) 1994-08-18
DE69309032D1 (de) 1997-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100266398B1 (ko) 광도파관 섬유용 밀폐코팅의 측정방법
US3982816A (en) Method for measuring the parameters of optical fibers
US5185636A (en) Method for detecting defects in fibers
US4067651A (en) Method for measuring the parameters of optical fibers
US5309221A (en) Measurement of fiber diameters with high precision
US5551967A (en) Method for controlling fiber diameter during drawing
CA1071858A (en) Method for monitoring the concentricity of plastic coatings on optical fibers
US5519487A (en) Method for monitoring the position of a fiber
US6055058A (en) Method and device for determining the thickness and concentricity of a layer applied to a cylindrical body
EP0549914B1 (en) Measurement of fiber diameters and detection of defects
CA2030302C (en) Apparatus and method for determining elastic properties of optical fiber by contact area measurement
US5283628A (en) Method for measuring diameters of non-circular fibers
CA1052564A (en) Method for measuring the parameters of optical fibers
JP3220252B2 (ja) Ｅｏプローブ
Glazov et al. Photothermal deflection and interferometric methods of signal detection in thermal-wave microscopy and spectroscopy
CA1068099A (en) Method of measuring the parameters of optical fibers
Domanskii et al. Fiber-optic surface roughness sensor based on polarization measurements
JPH04109136A (ja) 屈折率分布測定装置
JPH0658324B2 (ja) 流体屈折計およびこれを用いた流体密度計
Wang et al. A New Interferometer for Measuring Ultra-small Thickness and Spacing
Gagnaire et al. New scattering method for the measurement of optical fiber outer dimension
CA2051977A1 (en) Method for measuring the fibre orientation anisotropy in a fibrous structure
JPS62142251A (ja) テ−プ状フアイバ−心線の異常検出方法
KR19980051185A (ko) 합금화도 측정용 주사위치 자동제어장치 및 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee