KR100257703B1 - 전계방출 표시소자의 배기방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전계방출 표시소자의 배기방법에 관한 것으로, 특히 종래의 단일게터를 사용하여 전계방출 표시소자 내부를 진공으로 만들던 것에 비하여 각각 다른 온도에서 활성화 되는 두 종류의 게터를 전계방출 표시소자 내부에 설치하고, 배기공정을 실시하면서 하나의 게터를 활성화 시켜 1차배기를 실시하고, 배기공정 후 배기관을 실링한 다음 나머지 게터를 활성화시켜 2차배기를 실시함으로서 전계방출 표시소자의 배기시간을 단축하고 내부공간을 고진공화시키는 전계방출 표시소자의 배기방법을 제공한다.

Description

전계방출 표시소자의 배기방법

본 발명은 특히 전계방출 표시소자의 제조공정중, 전계방출 표시소자 내부의 공기를 배기시켜 내부를 고진공 상태로 만드는 전계방출 표시소자의 배기방법에 관한 것으로, 특히 각각 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터를 전계방출 표시소자 내부에 설치하고, 진공펌프에 의한 배기공정 중 하나의 게터를 활성화시켜 배기시간을 단축하고, 배기관을 실링한 후 밀폐된 전계방출 표시소자 내부의 다른 게터를 활성화시켜 잔류기체를 제거함으로서 전계방출 표시소자 내부를 고진공으로 만드는 전계방출 표시소자의 배기방법에 관한 것이다.

일반적으로 전계방출 표시소자의 배기방법은 애노드 전극과 형광체가 형성되어 있는 상부기판과, 필드 에미터와 일측면에 배기구가 형성되어 있는 하부기판을 스페이서를 매개로 정렬 접합 시킨 후, 밀봉제를 테두리에 바른다. 이때 내부공간에 한가지 종류의 게터를 설치한다. 다음에 하부기판의 배기구에 배기관을 연결하고 배기관에 진공펌프를 연결하여 1차적으로 내부공간의 공기를 배기시키고, 배기관을 실링하여 내부공간을 완전 밀폐시킨 후, 내부공간에 설치된 게터를 활성화 시켜 2차적으로 내부공기를 제거함으로써 전계방출 표시소자 내부의 공기를 배기시켰다. 즉, 게터에 의한 2차 배기는 전계방출 표시소자 내부를 좀더 고진공으로 만들기 위한 수단으로 사용된 것이다. 이때 설치되는 게터는 한가지 종류의 게터를 사용하되 형상이나 갯수를 달리하는 방법은 여러 가지로 시도되고 있다.

최근들어서는 여러 가지 게터기술의 발달로 게터의 활성화 시기를 달리하는 시도가 있다. 즉 고온에서 활성화하는 게터를 사용해서 배기관의 실링 후 게터를 활성화 시키는 방법과, 저온에서 활성화되는 게터를 사용함으로써 배기관을 통해 가열배기 중에 게터를 활성화시키는 방법들이 사용되고 있다.

상술한 바와 같이 한가지의 게터를 사용하게 되면 다음과 같은 문제점들이 발생한다.

먼저 배기관을 통해 1차적인 배기공정을 수행한 후, 게터를 활성화시켜 2차배기를 실시하는 경우에는 우선적으로 전계방출 표시소자의 공간이 높이가 약 200μm정도로 매우 작기 때문에 1차 배기시간이 많이 걸린다. 그런데 경제적인 측면에서 볼 때 1개의 전계방출 표시소자를 만들기 위하여 많은 시간동안 1차배기공정을 실시할 수 없다. 이런 경우에 단시간 동안 배기관을 통해 1차배기를 실시한 소자 내부의 진공도가 좋지 않기 때문에 게터를 활성화시켜 2차배기를 실시한다 하더라도 소자의 진공도를 10^-5torr이상으로 올리기 힘들다는 문제점이 발생한다.

다음에 배기관을 통해 1차배기를 실시하면서 게터를 활성화시켜 동시에 2차배기를 실시할 경우는 1차배기와 2차배기를 동시에 실시함으로 인하여 배기시간을 단축할 수 있다는 장점은 있으나 1차배기공정과 동시에 게터의 많은 부분이 활성화 되기 때문에 배기관 실링 후 게터를 더 이상 활성화 시키지 못하여 추가적인 진공도의 향상을 얻기 힘들다는 문제점이 있다.

따라서 본 발명은 전계방출 표시소자 내부에 각각 다른 온도에서 활성화 되는 두가지의 게터를 설치하고, 한종류의 게터는 배기관을 통한 1차배기공정을 수행하면서 활성화시키고, 나머지 게터는 배기관 실링 후 활성화시켜 2차배기공정을 실시함으로써, 배기시간을 단축하고, 전계방출 표시소자의 진공도를 향상시킨 전계방출 표시소자의 배기방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도1A 내지 도1C는 일반적으로 전계방출 표시소자 내부를 진공상태로 만들기 위한 배기공정 중 배기관을 통해 진공펌핑 하면서 내부에 설치된 게터를 활성화 시켜 배기공정을 수행하는 동안의 내부공기의 흐름을 나타낸 도면.

도2는 본 발명에 따른 전계방출 표시소자의 배기공정을 실시하기 위하여 전계방출 표시소자 내부에 두가지 종류의 게터를 설치한 것을 나타낸 도면.

*도면의주요부분에대한부호의설명*

11 : 애노드 전극과 형광체가 형성된 상부 기판

12 : 필드 에미터가 형성된 하부기판

13 : 밀봉제 14 : 배기관

15 : 가스이동 방향 16: 보조기판

17 : 게터실 18 : 전극 인출선

19: 화면 10,20,30,40 : 게터

본 발명은 전게방출 표시소자의 내부공간을 고진공으로 만들기 위해 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 사용한 전계방출 표시소자의 배기방법에 관한 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조로하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

먼저 도1A 내지 도1C는 배기관에 연결된 진공펌프와 활성화된 게터를 통한 배기공정이 실시되는 동안의 내부공기 흐름도를 나타낸 것으로, 도1A는 게터(10)가 애노드 전극과 형광체가 형성된 상부기판과(11, 이하; 상부기판)과 필드 에미터가 형성된 하부기판(12, 이하; 하부기판)사이에 게터(10)를 설치한 후, 배기관(14)을 통한 배기와 동시에 게터(10)를 활성화시켜 배기공정을 실시하는 중에 기체의 흐름(15)을 나타낸 것이고, 도1B는 하부기판(12)에 홈 또는 홀을 형성하고 홀 하부에 보조기판(16)을 설치한 후, 그 홀에 게터(10)를 설치하여 배기공정을 실시하는 것을 나타낸 것이다. 다음에 도1C는 배기관(15)이 설치된 이외의 배기구에 별도의 게터실(17)을 설치하고, 그 게터실(17)에 게터를 설치하여 배기공정을 실시하는 것을 나타낸 것이다.

도시된 바와 같이 배기관(14)에 연결되는 진공펌프(도시되지 않음)와 활성화된 게터(10)에 의해 동시에 배기공정을 수행하게 되면 활성화된 게터(10)의 근접 기체들은 게터(10)에 흡수되고 그 이외의 기체들은 배기관(15)를 통해 배출되므로 단시간 내에 내부공간을 진공상태로 만들 수 있다. 이때 진공펌프에 의한 배기와 동시에 활성화되는 게터는 배기구로부터 먼곳에 설치하는데 그 이유는 진공펌프에 의한 배기시 배기관에서 먼곳은 배기관에서 가까운 곳에 비해 진공도가 좋지 않기 때문이다.

다음에 활성화되는 온도가 고온배기시 온도보다 높은 게터를 설치한다면 배기관을 실링한 다음 활성화시켜 2차 배기를 실시함으로서 소자 내부의 잔류기체를 제거하여 좀더 고진공의 전계방출 표시소자를 얻을 수 있다.

도2는 상술한 바와 같은 배기공정의 효율을 높이기 위해 효과적으로 배열된 게터의 위치를 나타낸 것으로, 진공펌프 배기시 활성화되는 게터(30 또는 40)는 배기관(14)과 멀리 떨어진 곳에 설치하고, 배기관(14)를 실링 후 활성화 되는 게터(20)는 화면(19)에 영향을 주지 않는 곳이라면 어느 곳에도 위치시킬 수 있다. 이때 사용하는 게터의 형상은 도2에 도시된 것과 같은 모양을 갖거나 패널의 제조공정에 따라 그 모양을 달리할 수 있다.

상술한 두가지의 게터(20, 30 또는 40)를 선택하는 기준은 먼저, 하나는 450℃이하의 저온에서 활성화되는 게터를 사용하고, 다른 하나는 500℃이상의 고온에서 활성화되는 게터를 사용한다. 이때 저온에서 활성화되는 게터는 배기관을 통해 1차배기공정을 수행중에 활성화시키고, 고온에서 활성화되는 게터는 배기관 실링 후 2차배기공정에 사용한다.

상술한 바와 같이 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 사용한 전계방출 표시소자의 배기방법은 저온에서 활성화되는 게터를 진공펌프에 의한 배기공정 실시중 활성화시킴으로써 배기시간을 단축시킬 수 있고, 고온에서 활성화되는 게터를 배기관을 실링한 후 활성화시켜 잔류기체를 2차배기심킴으로써 진공도가 향상된 전계방출 표시소자를 제공할 수 있다.

Claims (4)

1. 배기구가 형성되어 있는 전계방출 표시소자의 내부에 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 설치하는 단계와,

   상기 배기구에 배기관을 통해 배기를 실시하면서 하나의 게터를 활성화시켜 1차배기를 실시하는 단계와,

   상기 1차배기후 배기관을 실링하여 내부공간을 밀폐시키고, 나머지 게터를 활성화시켜 내부의 잔류기체를 제거하는 2차배기를 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시소자의 배기방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 배기관을 통한 배기공정중 활성화 되는 게터는 450℃이하의 저온에서 활성화되는 게터를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시소자의 배기방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 배기관 실링 후 2차배기를 실시하는 게터는 500℃이상의 고온에서 활성화되는 게터를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시소자의 배기방법.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 1차배기공정중에 활성화되는 게터는 배기구에서 먼곳에 설치하는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시소자의 배기방법.