KR100255751B1 - 구동각을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치 - Google Patents

구동각을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 구동각을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치에 관한 것으로, 구동기판 상에 평행한 2개의 캔틸레버로 이루어진 액츄에이터가 구비되며, 상기 평행한 2개의 캔틸레버가 서로 반대방향으로 구동될 수 있도록 어느 일측 캔틸레버는 순차적으로 맴브레인, 하부전극, 변형층 및 상부전극으로 이루어지며, 타측 캔틸레버는 순차적으로 하부전극, 변형층, 상부전극 및 맴브레인으로 이루어지며, 상기 평행한 2개의 캔틸레버를 포함하는 상부에 캔틸레버의 구동방향과 직각방향으로 구동될 수 있도록 거울이 지지되는 광로 조절 장치를 제공한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치는 2개의 캔틸레버를 이용하여 거울을 지지하므로서 캔틸레버 고유의 구동각을 배가시켜 거울의 구동각으로 작용할 수 있도록 할 수 있으며, 2개의 캔틸레버 사이의 간격을 조절하는 것만으로 구동각의 범위를 조절할 수 있어 광변조 효율을 향상시킬 수 있으며, 화상의 질을 향상시킬 수 있는 효과를 가져올 수 있다.

Description

구동각을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치
본 발명은 박막형 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 2개의 캔틸레버를 이용하여 거울을 지지하므로서 거울의 구동각을 배가시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 광속을 조절하여 화상을 형성할 수 있는 광로 조절 장치는 크게 광원으로부터 입사되는 광속을 스크린에 투영하는 방법에 따라서 CRT(Cathod Ray Tube) 등의 직시형 화상 표시 장치와 투사형 화상 표시 장치로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display:이하 'LCD'라 칭함), DMD(Deformable Mirror Device), 또는 AMA(Actuated Mirror Arrays)등이 있다.
CRT 장치는 화상의 질은 우수하지만 화면의 대형화에 따라 장치의 중량과 용적이 증가하며 그 제조비용이 상승하는 문제가 있으며, 이에 비하여 액정 표시 장치(LCD)는 평판으로 형성할 수 있으나 입사되는 광속의 편광으로 인하여 1∼2％의 낮은 광효율을 가지며, 그 내부의 액정 물질의 응답 속도가 느린 문제점이 있었다.
이에 따라, 상술바와 같은 LCD의 문제점들을 해결하기 위하여 DMD, 또는 AMA등의 장치가 개발되었다. 현재, DMD가 약 5% 정도의 광효율을 가지는 것에 비하여 AMA는 10% 이상의 광효율을 얻을 수 있다. 또한, AMA는 입사되는 광속의 극성에 의해 영향을 받지 않을 뿐만아니라 광속의 극성에 영향을 끼치지 않는다.
통상적으로, AMA 내부에 형성된 각각의 액츄에이터들은 인가되는 화상 신호 및 바이어스 전압에 의하여 발생되는 전계에 따라 변형을 일으킨다. 이 액츄에이터가 변형을 일으킬 때, 상기 액츄에이터의 상부에 장착된 각각의 거울들은 전계의 크기에 비례하여 경사지게 된다.
따라서, 이 경사진 거울들은 광원으로부터 입사된 빛을 소정의 각도로 반사시킬 수 있게 된다. 이 각각의 거울들을 구동하는 액츄에이터의 구성 재료로서 PZT(Pb(Zr, Ti)O3), 또는 PLZT((Pb, La)(Zr, Ti)O3)등의 압전 세라믹이 이용된다. 또한, 이 액츄에이터의 구성 재료로 PMN(Pb(Mg, Nb)O3)등의 전왜 세라믹을 이용할 수 있다.
상술한 AMA는 벌크(bulk)형과 박막(thin film)형으로 구분된다. 현재 AMA는 박막형 광로 조절 장치가 주종을 이루는 추세이다. 이 박막형 광로 조절 장치는 본 출원인이 1996년 11월 28일 대한민국 특허청에 특허 출원한 특허 출원 제 96-59191 호에 개시되어 있다.
도 1은 선행 출원에 의해 기재된 박막형 광로 조절 장치의 평면도를 도시한 것이며, 도 2는 도 1 의 A-A' 선으로 자른 단면도를 도시한 것이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 선행 출원에 의해 기재된 박막형 광로 조절 장치는 기판(5)과 그 상부에 형성된 액츄에이터(65) 및 거울(60)을 포함한다.
상기 액츄에이터(65)는 아래에 드레인(10)이 형성된 부분에 일측이 지지되는 캔틸레버 형상을 이루며, 멤브레인(30), 하부전극(35), 변형층(40), 상부전극(45)을 포함하며, 드레인 패드(10)와 하부전극(35)이 전기적으로 연결되도록 드레인(10)까지 수직하게 형성된 비아컨택(55)을 포함한다.
상기 액츄에이터(65)의 평면형상의 일측은 그 중앙부에 사각형 형상의 오목한 부분을 가지며, 이러한 오목한 부분이 양쪽 가장자리로 갈수록 계단형으로 넓어지는 형상으로 형성된다. 상기 액츄에이터(65)의 타측은 상기 오목한 부분에 대응하여 중앙부로 갈수록 계단형으로 좁아지는 사각형 형상의 돌출부를 가진다. 그러므로, 상기 액츄에이터(65)의 오목한 부분에 인접한 액츄에이터(65)의 오목한 부분이 끼워지고, 상기 사각형 형상의 돌출부가 인접한 액츄에이터(65)의 오목한 부분에 끼워지게 된다.
이와같은 종래의 박막형 광로 조절 장치는 신호전극인 하부전극(35)에 화상 신호 전압이 인가되며, 공통전극인 상부전극(45)에 바이어스 전압이 인가되면 상부전극(45)과 하부전극(35) 사이에 전계가 발생하게 된다. 이 전계에 의하여 상부전극(45)과 하부전극(35) 사이의 변형층(40)이 변형을 일으키게 되며, 상기 변형층(40)은 전계와 수직한 방향으로 수축하게 된다. 이에 따라 변형층(40)을 포함하는 액츄에이터(65)가 소정의 각도로 휘어지고, 액츄에이터(65)의 상부전극(45)의 상부에 장착된 거울(60)은 휘어진 상부전극(45)에 의해 그 축이 움직여서 경사지게 되어 광원으로부터 입사되는 광속을 반사한다. 상기 거울(60)에 의하여 반사된 광속은 슬릿을 통하여 스크린에 투영됨으로서 화상을 맺게 한다.
그런데 이와같은 종래의 광로 조절 장치는 액츄에이터(65)의 구동방향과 거울(60)의 구동방향이 서로 동일한 방향으로 거울(60)의 구동각(drive tilt angle)은 액츄에이터(65)의 구동각에 대해 1 : 1 로 결정되는 형상을 갖고 있으며, 거울(60)의 구동각을 증가시키기 위해서는 액츄에이터(65)의 구동각을 증가시켜야 하는데 액츄에이터(65)의 구동각을 증가시키는데는 한계가 있어 높은 구동각을 얻기가 어려운 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 액츄에이터의 구동각에 대해 1 배 이상으로 거울의 구동각을 얻을 수 있으며, 구동각의 크기를 용이하게 조절할 수 있도록 액츄에이터의 구동방향 및 거울의 지지구조를 개선한 박막형 광로 조절 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 구동기판 상에 평행한 2개의 캔틸레버로 이루어진 액츄에이터가 구비되며, 상기 평행한 2개의 캔틸레버가 서로 반대방향으로 구동될 수 있도록 어느 일측 캔틸레버는 순차적으로 맴브레인, 하부전극, 변형층 및 상부전극으로 이루어지며, 타측 캔틸레버는 순차적으로 하부전극, 변형층, 상부전극 및 맴브레인으로 이루어지며, 상기 평행한 2개의 캔틸레버를 포함하는 상부에 캔틸레버의 구동방향과 직각방향으로 구동될 수 있도록 거울이 지지되는 광로 조절 장치를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로 부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 본 출원인의 선행 출원에 따른 박막형 광로 조절 장치의 평면도,
도 2는 도 1의 A-A' 선 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 사시도,
도 4는 본 발명에 도 3의 A-A'선 단면도,
도 5는 본 발명에 도 3의 B-B'선 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 평면도,
도 7a 내지 7j는 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 제조공정도,
도 8은 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 작용을 도시한 개념도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100:기판 105:드레인
110:보호층 115:식각 방지층
120; 제 1 희생층 125 ; 제 1 에어갭
130a,b:멤브레인 135a,b:하부 전극
140a,b:변형층 145a,b:상부 전극
150:비아홀 155:비아컨택
160:액츄에이터 165:제 2 희생층
170:제 2 에어갭 175;거울
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치를 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치를 보인 사시도이며, 도 4는 도 3의 A-A' 선 단면도이며, 도 5는 도 3의 B-B' 선 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치를 도시한 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 광로 조절 장치는 기판(100)과 기판(100)의 상부에 형성된 액츄에이터(160) 및 거울(175)을 포함한다. 상기 기판(100)은 기판(100)의 일측 상부에 형성된 드레인(105), 기판(100) 및 드레인(105)의 상부에 적층된 보호층(110), 보호층(110)의 상부에 적층된 식각 방지층(115)을 포함한다.
상기 액츄에이터(160)는 평행한 2개의 캔틸레버(160)로 이루어져 각각 식각 방지층(115) 중 하부에 드레인(105)이 형성된 부분에 접촉되어 타측까지 지탱하는 형상을 이루며, 상기 일측 캔틸레버(160)는 식각 방지층(115)과 평행하도록 적층된 멤브레인(130), 멤브레인(130) 상부에 적층된 하부전극(135), 하부전극(135) 상부에 적층된 변형층(140), 변형층(140) 일측 상부에 적층된 상부전극(145), 변형층(140)이 노출된 타측으로부터 변형층(140), 하부전극(135), 멤브레인(130), 식각 방지층(115) 및 보호층(110)을 통하여 상기 드레인(105)까지 수직하게 형성된 비아홀(150), 비아홀(150) 내에 상기 하부전극과 드레인(105)이 전기적으로 연결되도록 수직하게 형성된 비아컨택(155)을 포함한다.
한편, 타측 캔틸레버(160)는 식각 방지층(115)과 평행하도록 적층된 하부전극(135), 하부전극(135) 상부에 적층된 변형층(140), 변형층(140) 일측 상부에 적층된 상부전극(145), 변형층(140)이 노출된 타측을 포함하는 상부전극(145) 상부에 적층된 멤브레인(130), 멤브레인(130)으로부터 변형층(140), 하부전극(135), 식각 방지층(115) 및 보호층(110)을 통하여 상기 드레인(105)까지 수직하게 형성된 비아홀(150), 비아홀(150) 내에 상기 하부전극(135)과 드레인(105)이 전기적으로 연결되도록 수직하게 형성된 비아컨택(155)을 포함한다.
또한, 상기 일측 캔틸레버(160)의 상부전극(145) 및 타측 캔틸레버(160)의 멤브레인(130) 상단에 지지되는 거울(175)을 포함한다.
이하, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 제조방법을 상세하게 설명한다.
도 7a 내지 도 7j는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 제조공정도를 도시한 것이다.
도 7a를 참조하면, M×N개의 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고, 그 일측 상부에 드레인(105)이 형성되어 있는 기판(100)의 상부에 인 실리케이트 유(PSG)재질의 보호층(110)을 형성한다. 보호층(110)은 화학 기상 증착(CVD) 방법을 이용하여 1.0∼2.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 보호층(110)은 후속하는 공정 동안 트랜지스터가 내장된 기판(100)이 손상되는 것을 방지한다.
보호층(110)의 상부에는 질화물로 이루어진 식각 방지층(115)을 형성한다. 식각 방지층(115)은 저압 화학 기상 증착(LPCVD) 방법을 이용하여 1000∼2000Å 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 식각 방지층(115)은 기판(100) 및 보호층(110)이 후속되는 식각 공정으로 인하여 손상되는 것을 방지한다.
식각 방지층(115)의 상부에는 제 1 희생층(120)을 형성한다. 제 1 희생층(120)은 인 실리케이트 유리(PSG)를 대기압 화학 기상 증착(APCVD) 방법으로 0.5∼4.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 이때, 제 1 희생층(120)은 트랜지스터가 내장된 기판(100)의 상부를 덮고 있으므로 그 표면의 평탄도가 매우 불량하다. 따라서, 희생층(120)의 표면을 스핀 온 글랙스(Spin On Glass:SOG)를 사용하는 방법 또는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 방법을 이용하여 평탄화한다. 이어서, 희생층(120)중 드레인(105)이 형성되어 있는 부분을 식각하여 식각 방지층(115)의 일부를 노출시킴으로써 액츄에이터(160)의 지지부가 형성될 부분을 만든다.
도 7b 및 7c는 도 7a의 C-C'선 단면도로서, 도시된 바와 같이, 노출된 식각 방지층(115)의 상부 및 희생층(120)의 상부를 2 구역으로 분할하여 일측 구역에만 제 1 멤브레인(130)을 형성한 후 소정 길이를 갖도록 패터닝한다. 이어서, 신호전극인 제 1, 2 하부전극(135)을 타측 구역의 노출된 식각 방지층(115)의 상부 및 희생층 상부 및 일측 구역에 형성된 제 1 멤브레인(130)의 상부에 형성한 후 패터닝한다.
상기 제 1 멤브레인(130)은 질화물(nitride)을 저압 화학 기상 증(LPCVD) 방법을 이용하여 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성하며, 제 1 하부전극(135)은 백금 또는 백금-탄탈륨등의 금속을 스퍼터링 방법을 이용하여 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 하부전극(135)에는 화상 신호가 기판(100)에 내장된 트랜지스터로부터 드레인(105) 및 후속 공정을 통해 접속되는 비아컨택(155)을 통하여 인가된다.
상기 제 1, 2 하부전극(135)의 상부에는 제 1, 2 변형층(140)을 형성한다. 제 1, 2 변형층(140)은 PZT 또는 PZLT등의 압전물질을 졸-겔(Sol-Gel)법, 스퍼터링 방법, 또는 화학 기상 증착(CVD) 방법을 이용하여 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 그리고, 제 1, 2 변형층(140)을 급속 열처리(RTA) 방법을 이용하여 상변이시킨다.
상기 제 1, 2 변형층(140) 상부에는 제 1, 2 상부전극(145)을 형성한다. 제 1, 2 상부전극(145)은 알루미늄, 백금 또는 은등을 스퍼터링 방법을 이용하여 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다. 상부전극(145)은 공통 전극으로서 바이어스 전압이 인가된다.
상기 제 2 상부전극(145) 상부에는 제 2 멤브레인(130)을 형성한다. 상기 제 2 멤브레인(130)은 질화물(nitride)을 저압 화학 기상 증착(LPCVD) 방법을 이용하여 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성한다.
도 7d는 7c의 D-D' 단면도이며, 7e는 7c의 E-E' 단면도로서, 선행 공정에 의해 액츄에이터(160)가 평행한 2개의 캔틸레버(160)로 이루어지며, 제 1 캔틸레버(160)는 순차적으로 멤브레인(130), 하부전극(135), 변형층(140) 및 상부전극(145)으로 이루어지며, 제 2 캔틸레버(160)는 순차적으로 하부전극(135), 변형층(140), 상부전극(145) 및 멤브레인(130)으로 이루어져 하부전극(135)에 화상 신호가 인가되고 상부전극(145)바이어스 전압이 인가되면, 상부전극(145)과 하부전극(135) 사이에 전계가 발생되며, 이 전계에 의하여 변형층(140)이 변형을 일으키는데 멤브레인(130)과의 상대적인 관계에 의해 제 1 캔틸레버(160)는 상부로 휘어지며, 제 2 캔틸레버(160)는 하부로 휘어지게 된다.
도 7f는 제 1 캔틸레버의 비아컨택공정을 보인 단면도로서, 변형층(140)중 드레인(105) 형성된 부분으로부터 변형층(140), 하부전극(135), 멤브레인(130), 식각 방지층(115), 그리고 보호층(110)을 차례로 식각하여 비아홀(150)을 형성한 후, 비아홀(150)의 내부에 텅스텐, 백금, 알루미늄, 또는 티타늄등의 금속을 스퍼터링 방법을 이용하여 드레인(105)과 하부전극(135)이 전기적으로 연결되도록 비아컨택(155)을 형성한다. 비아컨택(155)은 비아홀(150)내에서 하부전극(135)로부터 드레인(105)의 상부까지 수직하게 형성된다. 따라서, 화상신호는 기판(100)에 내장된 트랜지스터로부터 드레인(105) 및 비아컨택(155)을 통하여 하부전극(135)에 인가된다.
도 7g는 제 2 캔틸레버의 비아컨택공정을 보인 단면도로서, 멤브레인(130)중 드레인(105) 패드가 형성된 부분으로부터 멤브레인(130), 변형층(140), 하부전극(135), 식각 방지층(115), 그리고 보호층(110)을 차례로 식각하여 비아홀(150)을 형성한 후, 제1 캔틸레버(160)와 동일한 방법으로 비아컨택(155)을 형성한다.
이어지는 단계로 제 1 희생층(120)을 불산(HF) 증기로 식각하여 제 1 에어갭(125)을 형성한 후 도 7h에 도시된 바와 같이, 결과물 전면에 제 2 희생층(165)을 형성한다. 상기 제 2 희생층(165)은 거울(175)의 장착을 용이하게 하고 거울(175)의 수평도를 향상시키는 기능을 수행하며, 거울(175)이 장착된 후에 제거된다. 바람직하게는 상기 제 2 희생층(165)은 유동성이 좋은 폴리머 등으로 구성된 포토 레지스트를 스핀 코팅 방식으로 형성하며, 상기 제 1 에어갭(125)을 완전히 채우면서 일정한 두께를 갖도록 도포한다. 이와 같이 액츄에이터(160)가 형성된 결과물 전면에 제 2 희생층(165)을 도포하게 되면 제 1 에어갭(125)에 상기 제 2 희생층(160)이 채워지면서 편평한 표면을 형성하게 된다.
도 7i를 참조하면, 제 2 희생층(166)을 포토 마스킹 공정을 통해 거울(175)을 지지할 수 있는 지지부를 패터닝한다. 즉, 제 1 캔틸레버(160)의 상부전극(145)의 일단과 도면에는 도시되지 않았으나 제 2 캔틸레버(160)의 멤브레인(130)의 일단을 노출한 다음 스퍼터링 공정을 이용하여 반사도가 좋은 알루미늄(Al)이나 은(Ag)을 0.1∼1.0㎛ 정도의 두께로 증착하여 거울(175)을 형성한다.
도 7j를 참조하면, 상기와 같이 거울(175)을 형성한 후 화소간의 분리를 위하여 상기 제 2 희생층(165)을 산소 플라즈마(O2plasma)로 제거하고, 헹굼 및 건조처리를 수행한다. 그 결과, 거울(175)과 캔틸레버(160) 사이에 제 2 에어갭(170)이 형성되며, 상기 거울(175)은 제 1 캔틸레버(160)와 미도시된 제 2 캔틸레버(160)에 의해 지지되어 서로 반대되는 방향으로 구동되는 제 1, 2 캔틸레버(160)에 의해 구동방향 및 구동각의 크기가 결정되는 구조를 갖는다.
즉, 도 8은 본 발명에 따른 구동각의 크기를 도시한 개념도로서, 일반적으로 구동각의 크기는 캔틸레버의 구동축으로부터 거울(175)을 지지하는 지지부까지의 길이를 l이라하고, 변위량을 x라 할 때,
Figure 1019970042091_B1_M0001
로 결정된다.
본 발명에서는 제 1 캔틸레버(a)와 제 2 캔틸레버(b) 사이의 폭(w)에 따라 변위량(x)이 결정되며, 예를 들어 폭(w)이 캔틸레버 길이(l)의 1/2이라고 하고, 캔틸레버의 구동각(θ)이 동일하다고 한다면, 제 1 캔틸레버(160)와 제 2 캔틸레버(160)의 구동방향이 서로 반대이므로,
Figure 1019970042091_B1_M0002
로 나타나므로, θ'=4θ이다.
즉, 본 발명에 따르면, 동일한 구동각을 갖는 액츄에이터(160)에 의해 4배의 구동각을 얻을 수 있다.
계속되는 제조공정 단계로, 선행공정에 의해 M×N개의 AMA 소자를 완성한 후 저항성 접촉을 위해 크롬, 니켈, 또는 금 등의 금속을 스퍼터링 방법, 또는 증착방법을 이용하여 기판(100)의 하단에 증착한다. 그리고 후속하는 공통 전극인 2개의 상부전극(145)에 바이어스 전압을 인가하고 신호전극인 2개의 하부전극(135)에 화상신호를 인가하기 위한 TCP 본딩을 대비하여 기판(100)을 소정 두께까지만 잘라낸다. 이어서, AMA 패널의 패드와 TCP의 패드를 연결하여 AMA 모듈의 제조를 완료한다.
이와같이 제조된 본발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
2개의 캔틸레버(160)의 상부전극(145)에는 TCP의 패드 및 AMA 패널의 패드를 통하여 바이어스 전압이 인가된다. 동시에 상기 TCP 패드 및 AMA 패널의 패드를 통하여 전달된 화상신호는 상기 기판(100)에 내장된 트랜지스터와 드레인(105) 및 2개의 캔틸레버(160)의 비아컨택(155)을 통하여 하부전극(135)에 인가된다.
따라서, 상기 2개의 캔틸레버(160)의 상부전극(145)과 하부전극(135) 사이에 각각 전계가 발생되며, 이 전계에 의하여 2개의 캔틸레버(160)의 상부전극(145)과 하부전극(135) 사이의 변형층(140)이 변형을 일으킨다.
2개의 캔틸레버(160)의 변형층(140)은 각각 전계에 대하여 수직한 방향으로 수축하며, 2개의 캔틸레버(160)의 맴브레인은 상대적으로 변형이 일어나지 않으므로 지지부를 중심으로 멤브레인(130)의 반대방향으로 소정각도 휘어지게 된다.
즉, 제 1 캔틸레버(160)는 변형층(140)의 아래쪽에 멤브레인(130)이 형성되므로 윗방향으로 휘어지게 되며, 제 2 캔틸레버(160)는 변형층(140)의 윗쪽에 멤브레인(130)이 형성되므로 아랫방향으로 휘어지게 된다.
한편, 거울(175)은 2개의 캔틸레버(160)에 의해 지지되고 있으므로 서로 반대되는 방향으로 휘어지는 2개의 캔틸레버(160)의 작용에 의해 휘어지는 방향에 대하여 직각방향으로 움직이게 된다.
앞서 언급한 바와 같이, 거울(175)의 구동각의 크기는 캔틸레버(160)의 고유한 구동각과 함께 2개의 캔틸레버(160)의 폭에 따라 결정될 수 있으며, 동일한 캔틸레버(160)의 구동각으로 수배에 해당하는 크기로 구동되는 거울(175)의 구동각을 얻을 수 있다.
한편, 상기 거울(175)은 광원으로부터 입사되는 광속을 반사하며, 반사된 광속은 슬릿을 통하여 스크린에 화상을 맺게 된다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치는 2개의 캔틸레버를 이용하여 거울을 지지하므로서 캔틸레버 고유의 구동각을 배가시켜 거울의 구동각으로 작용할 수 있도록 할 수 있으며, 2개의 캔틸레버의 폭을 조절하는 것만으로 구동각의 범위를 조절할 수 있어 광변조 효율을 향상시킬 수 있으며, 화상의 질을 향상시킬 수 있는 효과를 가져올 수 있다.

Claims (1)

  1. M×N(M, N은 정수)개의 트랜지스터가 내장되고 일측 상부에 드레인(105)이 형성된 기판(100)과;
    구동기판 상에 평행하게 2개의 캔틸레버가 구비되며, 상기 평행한 2개의 캔틸레버가 서로 반대방향으로 구동될 수 있도록 어느 일측 캔틸레버는 순차적으로 맴브레인, 하부전극, 변형층 및 상부전극으로 이루어지며, 타측 캔틸레버는 순차적으로 하부전극, 변형층, 상부전극 및 맴브레인으로 이루어지는 액츄에이터와, 상기 평행한 2개의 캔틸레버를 포함하는 상부에 캔틸레버의 구동방향과 직각방향으로 구동될 수 있도록 지지되는 거울을 구비하는 박막형 광로 조절 장치.
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